KR100681782B1 - 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용감지소자 및 제조방법 - Google Patents

마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용감지소자 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 압전 박막을 이용한 마이크로 압전 구동소자의 제작 및 이를 이용한 초소형 화학 센서에 필요한 감지소자의 제작방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 마이크로 압전 구동소자를 이용한 화학센서에 있어서, 상기 압전 구동소자에 사용된 압전 재료의 역 압전효과를 이용해 소자를 공진주파수로 구동시키고, 상기 소자위에 형성된 감지층에 감지 대상물질이 흡착되게 되어 소자 표면에 질량이 증가하게 되면, 상기 소자의 공진주파수가 변화하며 이러한 공진주파수 변화를 센서의 감지 신호로 사용하는 것을 특징으로 한다.
압전 구동소자, 화학센서, 상부 전극, 하부 전극, 지지층, 절연층

Description

마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자 및 제조방법{Sensor and Fabrication Method of Piezoelectric Ceramic Nanobalance}
도 1은 Cantilever형태의 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 구조도,
도 2는 Bridge형태의 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 구조도,
도 3은 Diaphragm형태의 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 구조도,
도 4는 하부 실리콘 기판의 식각 모습을 나타낸 도면,
도 5는 어레이 형태로 제작된 Cantilever형 마이크로 압전 구동 소자를 이용한 감지소자의 모식도,
도 6은 전체 센서 시스템의 구성에 관련된 다이어그램,
도 7은 PDMS(PolyDiMethylSiloxane)를 감지층 재료로 이용하여 톨루엔증기(Toluen Vapor)를 감지할 때 주파수 이동 곡선을 나타낸 도면,
도 8은 PDMS(PolyDiMethylSiloxane)를 감지층 재료로 이용하여 톨루엔증기(Toluen Vapor)를 감지할 때 톨루엔의 감지 정도를 나타낸 도면,
도 9는 PDMS(PolyDiMethylSiloxane)를 감지층 재료로 이용하여 벤젠증기(Benzene Vapor)를 감지할 때 주파수 이동 곡선을 나타낸 도면,
도 10은 PDMS(PolyDiMethylSiloxane)를 감지층 재료로 이용하여 벤젠증기(Benzene Vapor)를 감지할 때 벤젠의 감지 정도를 나타낸 도면,
도 11은 PMMA(PolyMethylMetacrylAte)를 감지층 재료로 이용하여 메탄올 증기(Methanol Vapor)를 감지할 때 메탄올의 주파수 이동 곡선을 나타낸 도면,
도 12는 PMMA(PolyMethylMetacrylAte)를 감지층 재료로 이용하여 메탄올 증기(Methanol Vapor)를 감지할 때 메탄올의 감지 정도를 나타낸 도면
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 하부 전극 20: 상부 전극
30: 절연층 40: 감지층
50: 압전 구동층 60: 실리콘 기판
70: 지지층
본 발명은 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자 및 제조방법에 관한 것이다.
기계적 에너지를 전기적 에너지로 변환시키는 압전 직접효과(piezoelectric direct effect)와 전기적 에너지를 기계적 에너지로 변환시키는 압전 역효과(piezoelectric converse effect)를 갖는 기능성 압전 재료를 이용한 미세 가스, 화학물질, 환경 유해물질 또는 생화학 물질 등의 감지센서들이 개발되거나 연구되고 있다.
또한, 미세전자기계소자(microelectromechanical system, MEMS) 기술을 이용하여 소량화 및 경량화한 마이크로 압전 구동 소자는 정보통신 소자로의 응용 뿐 아니라 DNA 및 유해 가스 분자 등과 같은 미량의 화학물질을 검출 할 수 있는 센서로 활용가능하고 이에 대한 활발한 연구가 진행 중에 있다.
종래기술로서, 미국특허6360585호는 QCM(Quartz Crystal Microbalance)를 공진기(Resonator)로 이용한 중력 화학센서 및 그 방법을 개시하고 있다.
미국특허6612190호는 압전 재료를 이용하여 구동소자를 제작하고 감지 대상물질의 흡착에 따른 소자의 공진주파수 변화를 센서의 감지신호로 활용한 화학센서 및 그 방법을 개시하고 있다.
또한, 문헌[참조: A cantilever array-based artificial nose, Ultramicroscopy, 82 (2000) 1-9]에는 다양한 감지층 재료가 적용된 실리콘 마이크로 칸티레버(Microcantilever) 어레이를 이용하여 각종 VOC(Volatile Organic Compound)들을 감지하며 감지신호를 얻기 위해 광학적 측정 장비를 이용해 칸티레버(cantilever)의 기계적 변형을 측정하는 기술이 개시되어 있다.
문헌[참조: Multicomponent analysis and prediction with a cantilever array based gas sensor, Sensor & actuator B, 78, (2001) 12-18]에는 다양한 감지층 재료가 적용된 질화규소(silicon nitride) 마이크로 칸티레버(Microcantilever) 어레이를 이용하여 각종 volatile organic compound(VOC)들을 감지하며, 감지 신호로 감지 대상물질 흡착에 따른 공진주파수 변화를 이용하고 공진주파수 변화를 측정하기 위해 광학적 측정 장비를 사용하는 기술이 개시되어 있다.
하지만, 상기 종래의 화학센서는 센서의 감도 및 응답속도가 떨어지거나, 센서의 감지부(감지소자) 및 신호 처리부 등을 포함한 센서 모듈을 초소형으로 집적하는데 한계가 있으며, 다양한 감지층 재료를 적용하기 곤란한 구조로 되어 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 기존의 센서에 비해 높은 감도, 빠른 응답속도를 갖고 소자표면에 다양한 감지환경에 필요한 감지층 물질을 형성하도록 한 화학센서를 제공하는데 있다.
아울러, MEMS(MicroElectroMechanical System)공정을 이용하여 초소형 집적 센서를 제공하기 위함이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 감지 대상물질을 감지하는 감지부에 해당되는 마이크로 압전 구동 소자로 외형적으로 Cantilever, Bridge, Diaphragm등 세 가지 형태를 제시하고 있으며 자체적으로 상기 압전 구동소자를 PCN(Piezoelectric Ceramic Nanobalance)이라 명명한다. 이러한 세 가지 형태의 구조물은 그 제작 방법에 있어 모두 동일한 제작 공정 및 순서를 갖는다.
도 1내지 도 3은 상기 세 가지 형태의 마이크로 압전 구동소자의 구조를 나타낸 것이다.
마이크로 압전 구동소자는 상부 전극(20), 하부전극(10), 압전 구동층(50)및 상·하부 전극(10,20)을 절연하는 절연층(30)으로 구성되는 압전 커패시터(capacitor)와 상기 커패시터 하부에 위치하는 지지층(70)및 실리콘기판(60)으로 구성된다. 그리고 상기 마이크로 압전 구동소자의 표면 전체에 걸쳐서 감지물질을 도포한 감지층(40)이 형성되어 감지소자를 구성한다.
상기 압전 구동층(50)을 형성하기 위한 박막 재료로는 Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) 또는 ZnO와 같은 대표적인 압전 재료가 사용될 수 있다. 상기 지지층(70)으로 사용되는 재료는 질화규소(Silicon Nitride) 또는 ZrO2와 같은 탄성재료가 사용된다. 상기 압전 커패시터(Capacitor)는 지지층(70) 박막위로 상·하부 전극(10,20)사이에 압전 구동층(50)이 적층된 구조로 형성된다. 아울러, 상·하부 전극(10,20)사이에는 전극 간 절연을 위해 접하는 면에 절연층(30)이 삽입된다. 또한 상·하부 전극(10,20)에는 마이크로 압전 구동 소자의 구동을 위해 전계를 인가하기 위한 전극라인(미 도시)이 길게 이어진다. 감지층(40)이 도포된 마이크로 압전 구동소자는 전체 센서 시스템의 구성 시 센서 모듈에 내장된 오실레이터(Oscillator)로부터 인가된 교류 전계에 의해 소자의 공진 주파수로 강제 구동된다. 마이크로 압전 구동소자의 감지층(40)에 환경 유해물질 또는 생화학 물질 등의 감지 대상물질이 흡착 되면, 자체의 질량 증가에 의해 마이크로 압전 구동소자의 공진 주파수가 변화하게 되며, 이러한 공진주파수의 변화를 전체 센서 시스템의 감지 신호로 사용하게 된다. 마이크로 압전 구동소자의 기본 공진주파수 및 공진주파수의 변화는 복소 임피던스, 유전손실(Dielectric Loss), 커패시턴스 등과 같은 전기적 신호의 변화로 나타나게 되며, 이는 전체 센서 시스템 모듈에 내장된 임피던스 애널라이저(Impedance analyzer)에 의해 측정된다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 압전 구동소자의 제조공정을 설명하기로 한다.
본원 발명은 마이크로 압전 구동소자의 소형화, 경량화, 고집적화를 위해 MEMS(MicroElectroMechanical System)공정을 통해 제조 한다.
먼저, 100 방향성을 갖는 실리콘 기판(60)위에 압전 구동소자의 지지층(70)으로 사용되는 질화규소(Silicon Nitride) 또는 ZrO2등의 탄성 박막 층을 형성한다. 본 발명에서의 마이크로 압전 구동소자는 주로 박막 형태의 지지층, 전극 그리고 구동층 재료 등으로 이루어지기 때문에, 박막에 있어 특히 문제시 될 수 있는 잔류 응력 문제를 해결해야 한다. 각 박막의 잔류응력은 때에 따라서 최종 제작된 압전 구동소자에 외형적으로 원치 않는 변형을 가져올 수 있고, 성능 면에서 큰 저하를 가져올 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 지지층(70) 박막으로 질화규소(Silicon Nitride)를 사용하였으며 LPCVD법을 이용하여 1.2㎛ 두께로 증착 하였다. 상기 지지층(70) 박막을 형성한 후 지지층 재료에 따라 잔류 응력을 조절하기 위한 완충 박막층(미도시)을 더 형성할 수 있다. 본 발명에서는 완충 박막으로 SiO2를 사용하였으며, PECVD법으로 0.2~0.4㎛ 두께로 증착 하였다. 압전 구동층(50) 을 형성하는 압전 재료의 구동을 위한 상· 하부 전극(10,20)의 재료로는 백금(Pt) 금속 박막 또는 RuO2/Ru와 같은 산화물 전극 박막이 사용될 수 있으며, 상기 지지층(70) 및 완충 박막층이 형성된 기판위에 접합재와 함께 증착 한다. 본 발명에서는 상·하부 전극재료로 백금(Pt)을 사용하였으며, DC magnetron sputter로 0.02㎛ 두께의 탄탈(Ta) 접합층과 함께 0.15㎛ 두께로 증착 하였다. 이렇게 증착된 하부 전극(10) 위에 졸겔(Sol-Gel)법을 이용하여 압전 구동층(50) 재료인 PZT 박막을 0.5㎛ 두께로 증착하였다. 상기와 같이 압전 구동층(50) 박막이 형성된 후 Photo Lithography를 이용하여 압전 구동층(50) 재료인 PZT의 불필요한 부분을 식각하기 위해 감광제(Photo Resist)로 패터닝(Patterning) 하였다. PZT 박막의 식각은 ICP(Inductively Coupled Plasma)와 같은 고밀도 플라즈마 식각 장비를 이용하여 건식 식각 하였다. 상기 식각 후 보호막으로 사용된 감광제 (Photo Resist)는 애싱(Ashing)공정 등의 방법으로 제거 하였다. 상기와 같은 과정을 통해 압전 구동층(50)의 모양이 형성된 후에는 상·하부 전극(10,20)간 절연을 위해 절연층(30)을 형성하였다. 상기 절연층(30)의 재료로는 Photo Lithography로 모양을 형성할 수 있는 폴리이미드(Polyimide)와 같은 감광성 고분자 수지를 이용하였다. 상기와 같이 상·하부 전극(10,20)간 절연층을 형성한 후에는, 상기 압전 커패시터(Capacitor)의 상부 전극(20)을 형성하기 위해 전극의 모양을 Photo Lithography로 형성한 후, 전극의 접합층 및 전극 재료를 증착하여 리프트오프(Lift-Off)하였다.
이와 같이, 지지층(70) 위에 압전 커패시터(Capacitor)를 형성한 후에는 본 발명에서 제시한 마이크로 압전 구동소자의 Cantilever, Bridge 또는 Diaphragm 형태와 같이 인가된 전계에 따라 자유롭게 움직일 수 있도록 도 4와 같이 실리콘 기판(60)의 불필요한 부분을 제거하였다. 실리콘 기판의 식각은 기존 KOH등을 이용한 습식 식각이나 고밀도 플라즈마를 이용하는 건식 식각 장비로 식각할 수 있다. 본 발명에서는 KOH를 이용한 습식 식각을 이용해 실리콘 기판(60)을 식각 하였다. Diaphragm구조의 경우는 하부 실리콘 기판(60)을 식각하는 것으로 센서의 기본적인 압전 구동소자의 제작이 완료되나, Cantilever 및 Bridge구조의 경우에는 지지층(70) 박막의 불필요한 부분을 제거해 주어야 한다. 따라서 Cantilever 및 Bridge 구조를 형성하기 위해 하부 실리콘기판(60)이 제거된 후 Photo Lithography를 이용하여 구조물 모양을 패터닝(Patterning)한 후, 고밀도 플라즈마 식각 장비를 이용해 추가로 건식 식각 하였다.
본 발명에서의 Cantilever 및 Bridge형 마이크로 압전 구동소자의 압전 커패시터(Capacitor)는 도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이, 소자 제작 공정 시 박막의 증착 및 식각에서 발생할 수 있는 미세한 두께 차이 또는 압전 구동층(50)의 특성 열화 등에 의한 불안정한 구동 특성을 방지하기 위해 지지층(70) 박막 위에 압전 커패시터(Capacitor)가 두개로 분리되어 좌·우 대칭적으로 U자 형태 구조를 이루어 형성된다.
센서의 감지부로 사용되는 압전 구동소자의 제작이 완료되면, 감지 대상물질을 감지하기 위한 감지층(40)의 형성이 이루어진다. 상기 감지층(40)을 형성하는 감지물질은 표면적이 극대화된 다공 성 세라믹 재료 또는 폴리머(Polymer)재료 등이 사용될 수 있다. 본 발명에서 사용된 감지층(40) 재료는 벤젠류 물질을 감지할 수 있는 PDMS(PolyDiMethylSiloxane)과 알콜류 물질을 감지할 수 있는 PMMA(PolyMethylMetacrylAte)등의 고분자 재료이다. 상기와 같은 감지층 재료는 감지 대상물질에 따라 다양하게 사용될 수 있다. 상기 감지층(40)의 형성은 고분자 물질을 포함한 용액을 이용해 압전 구동소자에 스핀코팅(Spin Coating)하거나 딥코팅(Dip Coating)하여 이루어진다. 따라서, 실제로 감지층(40) 재료는 압전 구동소자의 앞·뒤 양면, 즉 상부 전극(20)의 상부 및 지지층(70)의 하부에 코팅되며 결과적으로 감지 대상물질 감지에 작용하는 감지소자의 유효면적을 극대화 시킨다.
도 5는 어레이(Array) 형태로 제작된 마이크로 압전 구동 소자를 이용한 감지소자의 모식도이다. 다양한 물질을 감지해야 하는 경우, 감지소자를 복수로 나열된 구조로 구성하여 각 감지 소자의 감지층(40) 물질을 특성이 다른 물질로 형성하여 다양한 물질을 감지할 수 있다. 또한, 감지신호의 정량적인 변화량을 알아내기 위해서는 기준 소자의 필요성이 요구될 수 있다. 일례로, 도 5와 같이 좌측 감지소자를 기준 소자로 하고 나머지 우측에는 각각 다른 감지층(40) 물질이 형성된 감지소자로 구성될 수 있다.
도 6은 전체 화학센서의 블록도 이다. 상기의 제작공정을 통해 제작된 마이크로 압전 구동소자와 감지층(40)으로 이루어진 감지부(200)와 구동 전압부(210), 오실레이터(220), 주파수카운터(220), 데이터 획득부(240), 데이터 분석부(250) 및 디스플레이부(260)로 이루어진 화학센서를 통해 감지 대상물질의 종류에 따라 감도 및 Calibration Curve의 모양이 달라지며, 이러한 차이를 분석하여 패턴인식 등의 방법으로 감지 대상 물질에 대한 종류 및 농도를 분석할 수 있다.
도 7 및 도 8은 PDMS(PolyDiMethylSiloxane)를 감지층 재료로 이용하여 톨루엔증기(Toluen Vapor)를 감지할 때 톨루엔의 주파수 이동 곡선 및 감지정도를 나타내고 있다. 도 9 및 도 10은 PDMS(PolyDiMethylSiloxane)를 감지층 재료로 이용하여 벤젠증기(Benzene Vapor)를 감지할 때 벤젠의 주파수 이동곡선 및 감지정도를 나타내고 있다. 도 11 및 도 12는 PMMA(PolyMethylMetacrylAte)를 감지층 재료로 이용하여 메탄올 증기(Methanol Vapor)를 감지할 때 메탄올의 주파수 이동 곡선 및 감지정도를 나타내고 있다.
한편, PDMS 및 PMMA 이외에 다양한 물질을 감지하기 위한 여러 가지 감지층 재료를 선택하여 감지소자 표면에 형성할 수 있다. 도 7 내지 도 12에서 PDMS 및 PMMA 감지층(40) 재료를 마이크로 압전 구동소자 표면에 형성하여 감지 대상 물질을 감지한 실시 예에서, 마이크로 압전 구동소자의 공진주파수는 감지 대상물질의 농도에 따라 감소하는 경향을 확인할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
상기와 같이, 본 발명은 기존의 감지소자에 비해 압전 구동방식 및 박막 형태의 재료를 사용하므로 높은 감도, 빠른 응답 특성을 갖고 소자표면에 다양한 감지환경에 필요한 감지층 물질을 형성함으로써 해당 환경에 따라 여러 가지 물질을 감지할 수 있는 효과가 있다. 아울러, MEMS(MicroelEctroMechanical System)기술을 이용하여 산업체에서 초소형 센서 또는 집적화 된 센서 시스템의 제작에 적극 활용될 수 있다

Claims (11)

  1. 상부 전극, 하부 전극, 상기 상·하부 전극의 사이에 삽입된 압전 구동층 및 상기 상·하부 전극을 절연하는 절연층으로 구성 되는 압전 커패시터(capacitor)와 상기 압전 커패시터 하부에 위치하는 지지층 및 상기 지지층 하부에 위치하여 Cantilever, Bridge 또는 Diaphragm 형태로 식각된 실리콘 기판으로 이루어진 마이크로 압전 구동소자(PCN);
    상기 마이크로 압전 구동소자(PCN)의 표면에 감지 대상 물질을 흡착 또는 흡수할 수 있는 감지물질이 도포된 감지층;
    이 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 Cantilever 또는 Bridge 형태의 마이크로 압전 구동소자의 경우, 압전 커패시터(Capacitor)가 좌·우 대칭적으로 두개로 분리되어 U자 형태로 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 Cantilever, Bridge 또는 Diaphragm 형태의 마이크 로 압전 구동소자에 있어서, 상기 감지층이 상기 마이크로 압전 구동소자와 동일 영역 상에 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 미세 화학 센서용 감지소자는 감지 대상물의 정성적, 정량적인 분석을 위해 분석 하고자 하는 화학 물질을 직접 감지하는데 사용되는 복수개의 감지소자와 기준 신호를 발생하는 소자로 사용되는 한 개의 기준 소자를 포함하며,
    상기 기준소자는 감지 대상물질에 노출되어 사용되지 않고, 물질 감지 시 감지 대상물질의 흡착에 의한 상기 감지 소자의 공진주파수 변화 이외에 주위 환경적 요인에 의해 변하게 되는 물리적 신호 변화를 보정하고, 동시에 화학 물질 흡착에 의한 상기 감지소자의 공진주파수 변화량을 용이하게 산출하기 위해 기준 신호를 발생하는 소자인 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 절연층은 폴리이미드(Polyimide)와 같은 Lithography를 이용하여 패터닝이 가능한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자.
  6. 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 제조방법에 있어서,
    100 방향성을 갖는 실리콘 기판위에 탄성 재료를 이용한 박막을 증착하여 지 지층을 형성하는 단계;
    상기 지지층 위에 하부 전극을 증착하는 단계;
    상기 하부 전극 위에 압전 재료를 사용한 압전 박막을 증착하고 불필요한 부분을 패터닝 한 후, 식각하여 압전 구동층을 형성하는 단계;
    상기 하부 전극의 불필요한 부분을 패터닝 하여 식각하는 단계;
    상기 하부 전극 상위 및 상기 압전 구동층 일 측면에 절연층을 형성하는 단계;
    상기 절연층 및 상기 압전 구동층 위에 상부 전극 형성하는 단계;
    상기 실리콘 기판의 하부를 인가된 전계에 따라 자유롭게 이동할 수 있도록 Cantilever, Bridge 또는 Diaphragm 형태로 식각하여 마이크로 압전구동 소자를 형성하는 단계 및;
    상기 마이크로 압전 구동소자 표면에 감지 대상 물질을 흡착, 또는 흡수할 수 있는 감지물질을 도포하여 이루어진 감지층을 형성하여 전체 감지소자를 형성하는 단계;
    로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 감지층을 형성하여 전체 감지소자를 형성하는 단계에서, 상기 감지층은 딥코팅(Dip Coating) 또는 스핀코팅(Spin Coating)법을 이용하 여 상기 압전 구동소자의 상부 전극 상위와 지지층 하부에 도포되어 감지 유효면적을 최대화 시킨 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 제조방법.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 감지층을 형성하여 전체 감지소자를 형성하는 단계에서, 상기 감지층 형성을 위한 감지물질은 표면적이 극대화된 다공 성 세라믹 재료 또는 폴리머(Polymer)재료인 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 제조방법
  9. 제 6항에 있어서, 상기 탄성 재료를 이용한 박막을 증착하여 지지층을 형성하는 단계에서, 상기 탄성재료는 질화규소(Sililcon Nitride) 또는 ZrO2 인 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 제조방법
  10. 제 6항에 있어서, 상기 탄성 재료를 이용한 박막을 증착하여 지지층을 형성하는 단계 이후, 상기 지지층 재료에 따라 잔류 응력을 조절하기 위한 완충 박막층 을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 제조방법
  11. 제 6항에 있어서, 상기 압전 재료를 사용한 압전 박막을 증착하고 불필요한 부분을 패터닝 한 후, 식각하여 압전 구동층을 형성하는 단계에서, 상기 압전 재료는 PZT(Pb(Zr,Ti)O3) 또는 ZnO를 사용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지소자의 제조방법
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