KR100672294B1 - Method of Fabricating Barrier Rib for Plasma Display Panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a partition wall for a plasma display device.

본 발명의 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법은 하부기판의 상부에 1차 격벽패턴을 형성하는 단계와, 1차 격벽패턴의 상부에 마스크를 형성하는 단계와, 마스크를 이용하여 1차 격벽패턴 중 불필요한 부분을 제거하여 2차 격벽을 형성하는 단계를 포함한다.According to the present invention, a method of manufacturing a partition wall for a plasma display device includes forming a primary partition pattern on an upper portion of a lower substrate, forming a mask on an upper portion of the primary partition pattern, and using a mask to eliminate unnecessary partition patterns. Removing the portion to form a secondary partition.

이에따라, 본 발명의 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법은 미세격벽을 형성함과 아울러 격벽재 소모량을 저감시키게 된다.Accordingly, the method for manufacturing a partition wall for the plasma display device of the present invention forms a fine partition wall and reduces the consumption of the partition wall material.

Description

플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법{Method of Fabricating Barrier Rib for Plasma Display Panel} Method for manufacturing partition wall for plasma display device {Method of Fabricating Barrier Rib for Plasma Display Panel}             

도 1은 종래의 플라즈마 표시장치의 구성을 도시한 사시도.1 is a perspective view showing the configuration of a conventional plasma display device.

도 2는 스크린 프린트법을 이용한 격벽 제조방법을 설명하기위해 도시한 도면.Figure 2 is a view showing for explaining a barrier rib manufacturing method using the screen printing method.

도 3은 샌드블라스트법을 이용한 격벽 제조방법을 설명하기 위해 도시한 도면.Figure 3 is a view showing for explaining a partition wall manufacturing method using the sandblast method.

도 4는 첨가법을 이용한 격벽 제조방법을 설명하기 위해 도시한 도면.Figure 4 is a view showing for explaining a partition wall manufacturing method using the addition method.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법을 설명하기 위해 도시한 도면.5 is a view for explaining a method for manufacturing a partition wall for a plasma display device according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법을 설명하기 위해 도시한 도면.6 is a view for explaining a method for manufacturing a partition wall for a plasma display device according to another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

2 : 어드레스 전극 4 : 유지전극쌍2: address electrode 4: sustain electrode pair

6 : 형광체 8,36 : 격벽6: phosphor 8,36: partition wall

10 : 보호층 12,18 : 유전체층10: protective layer 12, 18: dielectric layer

14 : 하부유리판 16 : 상부유리판 14: lower glass plate 16: upper glass plate

20 : 페이스트 22,34 : 마스크20: paste 22,34: mask

24 : 라미네이트 32 : 격벽재
30 : 하부기판
24: laminate 32: partition wall material
30: lower substrate

본 발명은 플라즈마 표시소자 제조방법에 관한 것으로, 특히 미세 격벽을 형성하는 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display device, and more particularly, to a method for manufacturing a partition for a plasma display device for forming a fine partition.

최근, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; 이하 "LCD"라 함), 전계방출 표시장치(Field Emission Display; 이하 "FED"라 함) 및 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel; 이하 "PDP"라 함)등의 평면 표시장치가 활발히 개발되고 있으며, 이들중 PDP는 단순구조에 의한 제작의 용이성, 휘도 및 발광 효율의 우수, 메모리 기능 및 160。 이상의 광시야각을 갖는 점과 아울러 40 인치이상의 대화면을 구현할수 있는 장점을 가지고 있다.Recently, Liquid Crystal Display (hereinafter referred to as "LCD"), Field Emission Display (hereinafter referred to as "FED") and Plasma Display Panel (hereinafter referred to as "PDP") Flat display devices such as PDP have been actively developed. Among them, PDP is able to realize large screen of 40 inches or more as well as ease of fabrication by simple structure, excellent brightness and luminous efficiency, memory function and wide viewing angle of 160 ° or more. Has the advantage.

도 1을 참조하면, 종래의 PDP는 어드레스 전극(2)을 실장한 하부유리판(14)과, 상기 하부 유리판(14)의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하(Wall Charge)를 형성하는 유전체층(18)과, 유전체층(18)의 상부에 형성되어 각각의 방전셀을 분할하는 격벽(8)과, 플라즈마 방전으로 발생된 빛에 의해 여기되어 발광하는 형광체(6)와, 상부유리판(16)의 상부에 형성된 유지전극쌍(4)과, 상기 상부유리판(16) 및 유지전극쌍(4)의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 유전체층(12)과, 유전체층(12)의 상부에 도포된 방전에 의한 스퍼터링으로부터 유전체층(12)을 보호하는 보호막(10)을 구비한다. 어드레스 전극(2) 및 유지전극쌍(4)에 소정의 구동전압(예를들어 200V)이 인가되면, 방전셀의 내부에는 어드레스전극(2)에서 방출된 전자에 의해 플라즈마 방전이 일어나게 된다. 이를 상세히 설명하면, 전극에서 방출된 전자가 방전셀에 봉입된 He+Xe 가스 또는 Ne+Xe 가스의 원자와 충돌하여 상기 가스의 원자들을 이온화 시켜면서 2차전자의 방출이 일어나며 이때의 2차전자는 가스의 원자들과 충돌을 반복하면서 차례로 원자를 이온화 해간다. 즉, 전자와 이온이 배로 증가하는 애벌런치(Avalanche)과정에 들어간다. 상기 애벌런치 과정에서 발생된 빛이 적색(Red; 이하 "R"라 함), 녹색(Green; 이하 "G"라 함), 청색(Blue;이하 "B"라 함)의 형광체를 여기 발광하게 되며 상기 형광체에서 발광된 R,G,B의 빛은 보호막(10), 유전체층(12) 및 유지전극쌍(4)을 경유하여 상부유리판(16)으로 진행되어 문자 또는 그래픽을 표시하게 된다. 한편, 상기 격벽(8)은 스트라이프(stripe) 형상으로 형성되어 각각의 방전셀을 분할함과 아울러, 형광체(6)에서 발광된 빛을 상부유리판(16) 쪽으로 반사시키게 된다. Referring to FIG. 1, a conventional PDP includes a lower glass plate 14 on which an address electrode 2 is mounted, and a dielectric layer coated on the lower glass plate 14 with a predetermined thickness to form a wall charge. (18), a partition (8) formed on the dielectric layer (18) and dividing each discharge cell, a phosphor (6) excited by and emitted by light generated by plasma discharge, and an upper glass plate (16). The sustain electrode pair 4 formed on the upper portion of the upper surface of the upper glass plate 16 and the sustain electrode pair 4 and having a predetermined thickness to form wall charges, and the dielectric layer 12 The protective film 10 which protects the dielectric layer 12 from sputtering by the discharge apply | coated on the top is provided. When a predetermined driving voltage (for example, 200 V) is applied to the address electrode 2 and the sustain electrode pair 4, plasma discharge is caused by electrons emitted from the address electrode 2 inside the discharge cell. In detail, the electrons emitted from the electrode collide with the atoms of the He + Xe gas or the Ne + Xe gas enclosed in the discharge cell to ionize the atoms of the gas, and the emission of the secondary electrons occurs. Repeats collisions with atoms in the gas, ionizing atoms in turn. In other words, they enter the avalanche process, where electrons and ions double. The light generated in the avalanche process is excited to emit red (Red; " R "), green (hereinafter, " G "), and blue (" B ") phosphors. The light of R, G, and B emitted from the phosphor passes through the protective film 10, the dielectric layer 12, and the sustain electrode pair 4 to the upper glass plate 16 to display characters or graphics. Meanwhile, the partition wall 8 is formed in a stripe shape to divide each discharge cell, and reflect the light emitted from the phosphor 6 toward the upper glass plate 16.

도 2를 참조하면, 스크린 프린트법(Screen Print Method)에 따른 격벽 제조방법이 도시되어 있다.Referring to FIG. 2, a barrier rib manufacturing method according to a screen print method is illustrated.

유리기판(14)의 상부에 스크린(도시되지 않음)을 정위치 시킨다. (제1 단계) 유전체후막(18)이 형성된 유리기판(14)에 패턴을 형성하기 위해 스크린(도시되지 않음)을 정위치 시킨다. 페이스트(20)를 소정의 두께로 유리기판에 도포한후, 소 정시간 건조시킨다. (제2 단계) 스크린의 상부에 페이스트(20)를 위치시킨후 롤러(도시되지 않음) 등을 이용하여 페이스트(20)를 유리기판(14)의 상부에 소정의 두께로 도포한후, 건조시킨다. 이러한 과정에 의해 도 2의 (a)에 도시된 바와같이 소정의 높이를 갖는 페이스트(20)가 형성되어 있다. 제1 및 제2 단계를 반복 수행하여 소정의 두께를 갖는 격벽(8)을 형성한다. (제3 단계) 제1 및 제2 단계를 반복적으로 수행함에 의해 도 2의 (b),(c)에 도시된 바와같이 격벽(8)의 높이가 증가하게 된다. 이에따라, 도 2의 (d)에 도시된 바와같이 소정의 두께(예를들어, 150 - 200㎛)를 갖는 격벽을 형성하게 된다. 상기와 같은 스크린 프린팅법은 공정이 간단하고 제조단가가 낮은 장점이 있으나, 스크린과 기판(14)의 위치조정을 하고 인쇄와 건조를 수회 되풀이하는 공정이 필요로 하게되어 제조시간이 많이 소요될뿐만 아니라 반복작업시 스크린과 기판의 위치가 어긋나 격벽의 형상정도가 저하되므로 미세한 폭을 갖는 격벽을 제작하는데 어려움이 있다. A screen (not shown) is positioned on the glass substrate 14. (First Step) A screen (not shown) is positioned in order to form a pattern on the glass substrate 14 on which the dielectric thick film 18 is formed. The paste 20 is applied to a glass substrate with a predetermined thickness and then dried for a predetermined time. (Second Step) After placing the paste 20 on the upper part of the screen, apply the paste 20 to the upper part of the glass substrate 14 by using a roller (not shown) or the like, and then dry it. . By this process, as shown in Fig. 2A, a paste 20 having a predetermined height is formed. The first and second steps are repeated to form the partition wall 8 having a predetermined thickness. (Third Step) By repeatedly performing the first and second steps, the height of the partition wall 8 is increased as shown in FIGS. 2B and 2C. Accordingly, as shown in FIG. 2 (d), a partition wall having a predetermined thickness (eg, 150 to 200 μm) is formed. The screen printing method as described above has the advantage of a simple process and low manufacturing cost, but requires a process of adjusting the position of the screen and the substrate 14 and repeating the printing and drying several times. Since the position of the screen and the substrate is displaced during the repetitive work and the shape of the partition is degraded, it is difficult to produce a partition having a fine width.

도 3을 참조하면, 샌드 블라스트법(Sand Blast Method)에 따른 격벽 제조방법이 도시되어 있다. Referring to FIG. 3, a method of manufacturing a partition wall according to a sand blast method is illustrated.

유리기판(14)의 상부에 페이스트(20), 라미네이트(24)를 순차적으로 도포한다 (제11 단계) 도 3의 (a)에 도시된 바와같이 유리기판(14)의 상부에 소정두께(예를들어, 150 - 200㎛)로 페이스트(20)를 도포한다. 이어서, 도 3의 (b)에 도시된 바와같이 페이스트(20)의 상부에 라미네이트(24)를 적층한다. 이때, 라미네이트는 포토 레지스트 또는 슬러리에 유기물 또는 무기물을 소정비율로 첨가하여 테이프(Tape)의 형태로 제작된 것을 의미하며, 상기 유기물 또는 무기물의 조성에 의 해 감광성을 가지게 된다. 사진식각법에 의해 패턴을 형성한다. (제12 단계) 도 3의 (c)에 도시된 바와같이 라미네이트(24)의 상부에 마스크(22)를 정위치시킨후 패턴을 형성한다. 이어서, 도 3의 (d)에 도시된 바와같이 사진식각법에 의한 패턴의 불필요한 부분을 식각한다. 상기 패턴에 연마제를 분사하여 패턴이 형성되지 않은 부분의 페이스트(20)를 제거시킨다. (제13 단계) 도 3의 (e)에 도시된 바와같이 연마제를 분사하여 불필요한 부분의 페이스트(20)를 제거시킨다. 상기 페이스트 상부의 라미네이트(24)를 제거한다. (제14 단계) 도 3의 (f)에 도시된 바와같이 페이스트(20) 상부의 라미네이트(24)를 제거하여 격벽(8)을 형성한다. 상기 샌드 블라스트법은 대면적의 기판에 격벽을 용이하게 형성할수 있는 장점이 있으나, 고속으로 날아가는 연마제는 방향성이 약하여 격벽의 측면을 연마시키게 되므로 격벽의 높이가 제한되는 문제점이 도출되고 있다. The paste 20 and the laminate 24 are sequentially applied on the glass substrate 14 (step 11). As shown in FIG. 3A, a predetermined thickness (eg, an upper portion of the glass substrate 14) is applied. For example, the paste 20 is applied at 150-200 mu m). Subsequently, as shown in FIG. 3B, the laminate 24 is laminated on the paste 20. In this case, the laminate means that the organic or inorganic material is added to the photoresist or slurry in a predetermined ratio, and is manufactured in the form of a tape. The laminate has photosensitivity by the composition of the organic or inorganic material. The pattern is formed by photolithography. (Twelfth Step) As shown in Fig. 3C, the mask 22 is positioned on the laminate 24, and then a pattern is formed. Subsequently, unnecessary portions of the pattern by the photolithography method are etched as shown in FIG. An abrasive is sprayed on the pattern to remove the paste 20 in the portion where the pattern is not formed. (Thirteenth Step) As shown in Fig. 3E, the abrasive is sprayed to remove the unnecessary portion of the paste 20. The laminate 24 on top of the paste is removed. (Step 14) As shown in FIG. 3F, the laminate 24 on the paste 20 is removed to form the partition wall 8. The sand blasting method has an advantage of easily forming a partition wall on a large-area substrate. However, the abrasive flying at high speed tends to polish the side surfaces of the partition wall due to its weak directionality, thereby limiting the height of the partition wall.

도 4를 참조하면, 첨가법(Additive Method)에 따른 격벽 제조방법이 도시되어 있다. Referring to FIG. 4, a barrier rib manufacturing method according to an additive method is illustrated.

유리기판(14)의 상부에 라미네이트(24)를 적층한다. (제21 단계) 도 4의 (a)에 도시된 바와같이 유리기판(14)의 상부에 소정의 두께를 갖는 라미네이트(24)를 적층한다. 이때, 라미네이트는 포토 레지스트 또는 슬러리에 유기물 또는 무기물을 소정비율로 첨가하여 테이프(Tape)의 형태로 제작된 것을 의미하며, 상기 유기물 또는 무기물의 조성에 의해 감광성을 가지게 된다. 사진식각법에 의해 패턴을 형성한다. (제22 단계) 도 4의 (b)에 도시된 바와같이 라미네이트(24)의 상부에 마스크(22)를 이용하여 패턴을 형성한다. 이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와같 이 사진식각법에 의해 형성된 패턴의 불필요한 부분을 식각한다. 라미네이트(24)가 제거된 부분에 페이스트(20)를 도포한후, 페이스트(20)와 인접한 라미네이트(24)를 제거한다. (제23 단계) 도 4의 (d)에 도시된 바와같이 라미네이트(24)가 제거된 부분에 소정의 두께로 페이스트(20)를 도포한다. 제21 내지 제23 단계를 반복수행하여 소정의 두께(예를들어, 150 - 200㎛)를 갖는 격벽(8)을 형성하게 된다. (제24 단계) 제21 내지 제23 단계를 반복 수행함에 의해 도 4의 (e)에 도시된 바와같이 소정의 두께를 갖는 격벽(8)을 형성하게 된다. 첨가법(Additive)은 미세한 형상의 격벽형성이 가능하고 대면적의 기판제작에 적합한 장점이 있으나, 격벽의 높이가 100㎛ 이상의 패턴을 도포할 경우 제조시간이 길게 소요될뿐만 아니라 격벽용 페이스트와 감광성 페이스트의 완전한 분리가 어려워 찌꺼기가 남게되는 문제점이 있다. 또한, 형성된 패턴이 허물어지거나 소성시에 격벽에 균열이 발생하는 문제점들이 도출되고 있다.The laminate 24 is laminated on the glass substrate 14. (Step 21) A laminate 24 having a predetermined thickness is laminated on the glass substrate 14 as shown in Fig. 4A. In this case, the laminate means that the organic or inorganic material is added to the photoresist or slurry at a predetermined ratio, and is manufactured in the form of a tape. The laminate has photosensitivity by the composition of the organic or inorganic material. The pattern is formed by photolithography. (Step 22) As shown in FIG. 4B, a pattern is formed on the laminate 24 using the mask 22. Subsequently, unnecessary portions of the pattern formed by the photolithography method are etched as shown in Fig. 4C. After the paste 20 is applied to the portion where the laminate 24 is removed, the laminate 24 adjacent to the paste 20 is removed. (Step 23) As shown in Fig. 4D, the paste 20 is applied to a portion where the laminate 24 is removed to a predetermined thickness. By repeating the twenty-first to twenty-third steps, the partition 8 having a predetermined thickness (for example, 150-200 mu m) is formed. (Step 24) By repeatedly performing steps 21 through 23, the partition wall 8 having a predetermined thickness is formed as shown in Fig. 4E. Additive method has the advantage of being able to form a partition of fine shape and suitable for the manufacture of a large area substrate.However, when the pattern of the partition is 100 μm or more, it takes a long time to manufacture and the partition paste and the photosensitive paste. There is a problem in that it is difficult to completely separate the residues. In addition, problems have arisen in that the formed pattern is torn down or cracks are generated in the barrier rib during firing.

상기와 같이, 종래의 격벽 제조방법에서는 미세격벽을 형성하기 어려운 문제점이 있었다. 이에따라, 미세격벽을 형성하기 위한 새로운 격벽제조방법이 요구되고 있는 실정이다.As described above, the conventional barrier rib manufacturing method has a problem in that it is difficult to form the fine barrier ribs. Accordingly, there is a demand for a new method for manufacturing partition walls for forming a fine partition wall.

따라서, 본 발명의 목적은 미세 격벽을 형성하는 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법을 제공 하는데 있다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a partition wall for a plasma display device for forming a fine partition wall.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법은 기판의 상부에 1차 격벽패턴을 형성하는 단계와, 1차 격벽패턴의 상부에 마스크를 형성하는 단계와, 마스크에 의해 2차 격벽을 형성하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing a partition wall for a plasma display device according to the present invention includes forming a primary partition pattern on an upper portion of a substrate, forming a mask on an upper portion of the primary partition pattern, and forming a secondary layer by a mask. Forming a partition.

상기 목적외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention other than the above object will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

도 5 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명 하기로 한다.A preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 6.

도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 표시장치용 격벽제조방법을 설명하기 위한 도면이 도시되어 있다. Referring to FIG. 5, a diagram for describing a method of manufacturing a partition wall for a plasma display device according to an exemplary embodiment of the present invention is illustrated.

하부기판(30)의 상부에 격벽재(32)를 부분적으로 도포하여 1차 격벽 패턴을 형성한다. (제1 단계) 스크린 프린트법을 이용하여 도 5의 (a)와 같은 하부기판(30)의 상부에 격벽재(32)를 부분적으로 도포함에 의해 도 5의 (b)에 도시된 1차 격벽패턴을 형성한다. 이때, 하부기판(30)에는 어드레스 전극(도시되지 않음)과 유전층(도시되지 않음)이 형성되어 있다. 이 경우, 격벽재(32)는 페이스트등을 사용하게 된다. The partition wall material 32 is partially coated on the lower substrate 30 to form a primary partition wall pattern. (First Step) The primary partition shown in FIG. 5B by partially applying the partition member 32 on the upper portion of the lower substrate 30 as shown in FIG. 5A using the screen printing method. Form a pattern. In this case, an address electrode (not shown) and a dielectric layer (not shown) are formed on the lower substrate 30. In this case, the partition wall material 32 uses a paste or the like.

상기 1차 격벽패턴의 상부에 마스크(34)를 형성한다. (제2 단계) 사진석판법(Photolithography)을 이용하여 도 5의 (c)에 도시된 1차 격벽패턴의 상부에 마스크(34)를 형성한다. 이때, 마스크(34)의 재료로는 드라이필름을 사용하는 것이 바람직하다. A mask 34 is formed on the first barrier rib pattern. (Second Step) A mask 34 is formed on the upper part of the primary partition pattern shown in FIG. 5C using photolithography. At this time, it is preferable to use a dry film as the material of the mask 34.

1차 격벽패턴의 불필요한 부분을 제거하여 2차 격벽을 형성한다. (제3 단계) 샌드블라스트법, 에칭법 및 감광성 페이스트법등을 이용하여 격벽(36) 이외의 부분을 제거한후 소성함에 의해 도 5의 (d)에 도시된 2차 격벽 즉, 미세한 폭을 갖는 미세격벽을 형성하게 된다. 이때, 제거되는 부분은 1차격벽의 불필요한 부분만 제거되므로 격벽재의 낭비를 줄이게 된다. An unnecessary portion of the primary partition pattern is removed to form a secondary partition. (Third Step) The secondary partition shown in FIG. The partitions will be formed. At this time, since the unnecessary part of the primary partition wall is removed only, the waste of the partition wall material is reduced.

상기와 같이 본 발명의 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법은 미세격벽을 형성할수 있을뿐 아니라 격벽재의 낭비를 줄일수 있게 된다. As described above, the method of manufacturing the partition wall for the plasma display device of the present invention can not only form a fine partition wall but also reduce waste of the partition wall material.

도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법을 설명하기 위한 도면이 도시되어 있다. Referring to FIG. 6, a diagram for describing a method of manufacturing a partition wall for a plasma display device according to another exemplary embodiment of the present invention is illustrated.

하부기판(30)의 상부에 감광성 격벽재를 부분적으로 도포하여 1차 격벽 패턴을 형성한다. (제11 단계) 스크린 프린트법을 이용하여 도 6의 (a)에 도시된 하부기판(30)의 상부에 소정의 폭을 갖도록 감광성 격벽재(32')를 부분적으로 도포함에 의해 도 6의 (b)에 도시된 바와같은 1차격벽 패턴을 형성하게 된다. 이때, 하부기판(30)에는 어드레스 전극(도시되지 않음)과 유전층(도시되지 않음)이 형성되어 있다. 이 경우, 감광성 격벽재(32')로는 감광성 페이스트 등을 사용하게 된다.A photosensitive partition wall is partially coated on the lower substrate 30 to form a primary partition pattern. (Step 11) By partially applying the photosensitive partition wall material 32 'to have a predetermined width on the upper portion of the lower substrate 30 shown in FIG. The primary partition wall pattern as shown in b) is formed. In this case, an address electrode (not shown) and a dielectric layer (not shown) are formed on the lower substrate 30. In this case, a photosensitive paste or the like is used as the photosensitive partition wall material 32 '.

상기 1차 격벽패턴의 상부에 포토마스크를 위치하고 노광시킨다. (제12 단계) 도 6의 (c)에 도시된 바와같이 1차 격벽패턴의 상부에 포토마스크(34')를 위치하고 노광시킴에 의해 미세격벽의 패턴을 형성하게 된다. A photomask is positioned and exposed on the first barrier rib pattern. (Twelfth Step) As shown in FIG. 6C, the photomask 34 'is positioned on the primary partition pattern and exposed to form a pattern of the micro partition wall.

불필요한 부분의 감광성격벽재를 제거하여 2차 격벽을 형성한다. (제13 단계) 패턴이 형성된 감광성격벽재(32')중 불필요한 부분의 감광성격벽재를 현상함에 의해 제거하고 소성함에 의해 2차 격벽 즉, 미세한 폭을 갖는 미세격벽을 형성하게 된다. 이때, 제거되는 부분은 1차격벽패턴의 불필요한 부분만 제거되므로 격벽재의 낭비를 줄이게 된다. 상기와 같이 본 발명의 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법은 미세격벽을 형성할수 있을뿐 아니라 감광성 격벽재의 낭비를 줄일수 있게 된다.Unnecessary portions of the photosensitive partition material are removed to form secondary partitions. (Thirteenth Step) The photosensitive partition wall material of the unnecessary portion of the patterned photosensitive partition material 32 'on which the pattern is formed is removed by developing and fired, thereby forming a secondary partition, that is, a fine partition wall having a fine width. At this time, since only the unnecessary portion of the primary partition pattern is removed, the portion to be removed reduces waste of the partition wall material. As described above, the method of manufacturing the partition wall for the plasma display device of the present invention can not only form the fine partition wall but also reduce the waste of the photosensitive partition wall material.

상술한 바와같이, 본 발명의 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법은 미세격벽을 형성함과 아울러 격벽재 소모량을 저감할수 있는 장점이 있다.As described above, the method for manufacturing a partition wall for the plasma display device of the present invention has the advantage of forming a fine partition wall and reducing the consumption of the partition wall material.

이상 설명한 내용을 통해 당업자 라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (6)

하부기판의 상부에 격벽재를 부분적으로 도포하여 1차 격벽패턴을 형성하는 단계와,Forming a primary partition pattern by partially applying a partition material on an upper portion of the lower substrate; 상기 1차 격벽패턴의 상부에 마스크를 형성하는 단계와,Forming a mask on the first barrier rib pattern; 상기 마스크를 이용하여 상기 1차 격벽패턴 중 불필요한 부분을 제거하여 2차 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법.Forming a secondary partition by removing an unnecessary portion of the primary partition pattern using the mask. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 1차 격벽패턴이 스크린 프린트법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법.And the primary partition pattern is formed by a screen printing method. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 2차 격벽이 샌드블라스트법, 에칭법 및 감광성 페이스트법 중 어느 하나의 방법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법.And the secondary partition wall is formed by any one of a sandblasting method, an etching method and a photosensitive paste method. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마스크 재료가 감광성 드라이 필름인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법.And the mask material is a photosensitive dry film. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 격벽재가 페이스트 및 감광성 페이스트중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법.A partition wall manufacturing method for a plasma display device, wherein the partition material is any one of a paste and a photosensitive paste.
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