KR100662455B1 - Green sheet for dielectric of plasma display panel and manufacturing method using the same - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.1 is a view showing the structure of a typical plasma display panel.
도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린 시트를 나타낸 도.2 illustrates a green sheet for a dielectric of a plasma display panel according to the present invention;
도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.3 is a view showing the structure of a plasma display panel according to the present invention;
도 4a 내지 도 4f는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법을 순차적으로 나타낸 도.4a to 4f sequentially illustrate a method of manufacturing a front substrate of a plasma display panel according to the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
200: 커버 필름 210: 제 1 드라이 필름200: cover film 210: first dry film
220: 제 2 드라이 필름 ` 230: 포토레지스트220: second dry film `230: photoresist
240: 베이스 필름240: base film
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 차등 유전체를 용이하게 형성할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린 시트 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a green sheet for a dielectric of a plasma display panel capable of easily forming a differential dielectric and a method of manufacturing a plasma display panel using the same.
현재까지 가장 널리 사용되던 표시장치소자는 음극선관(이하 CRT:Cathode Ray Tube)이었다. 그러나, CRT는 그 표시영역을 넓힐수록 무게가 무거워지고, 부피가 상당히 커진다는 문제가 있다. 따라서, 최근에는 이러한 CRT의 단점을 해결하고, 차세대 디스플레이산업을 선도할 평판형 표시 장치가 지속적으로 개발되고 있다.The most widely used display device device to date is a cathode ray tube (CRT). However, the CRT has a problem in that as the display area is widened, the weight becomes heavier and the volume becomes considerably larger. Therefore, recently, flat panel display devices are being developed to solve such shortcomings of the CRT and lead the next generation display industry.
이러한 결과 액정 표시 장치(LCD:Liquid Crystal Display)와 플라즈마 디스플레이 패널(PDP:Plazma Display Panel) 및 FED(Field Emittion Device) 등에 대한 연구와 투자가 활발히 진행중이다. 그리고, 전기화학적 성질을 이용한 Electro-cromic 디스플레이와 분산된 입자를 이용한 SPD(Suspended Particle Display) 등도 전망성 있는 평판형 표시 장치 소자로 연구되고 있다. As a result, research and investment in liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), field emission devices (FEDs), and the like, are being actively conducted. In addition, electro-cromic displays using electrochemical properties and suspended particle displays (SPD) using dispersed particles have also been studied as promising flat panel display devices.
이 중 특히 플라즈마 디스플레이 패널은 전면기판과 후면기판 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 각 셀 내에는 네온(Ne), 헬륨(He) 또는 네온과 헬륨의 혼합기체(Ne+He)와 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논을 함유하는 불활성 가스가 충진되어 있다. 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 불활성 가스는 진공자외선(Vacuum Ultraviolet Rays)을 발생하고 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상이 구현된다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차세대 표시장치로서 각광받고 있다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 자세히 살펴보면 다음과 같다.Particularly, in the plasma display panel, a partition wall formed between the front substrate and the rear substrate forms one unit cell, and in each cell, neon, helium, or a mixture of neon and helium (ne + he) is used. An inert gas containing a main discharge gas such as and a small amount of xenon is filled. When discharged by a high frequency voltage, the inert gas generates vacuum ultraviolet rays and emits phosphors formed between the partition walls to realize an image. Such a plasma display panel has a spotlight as a next generation display device because of its thin and light configuration. Looking at the structure of such a plasma display panel in detail as follows.
도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.1 illustrates a structure of a general plasma display panel.
도 1에 도시된 바와 같이, 전면기판은 전면 글라스(100) 상부에 투명전극과 버스전극으로 형성된 스캔 전극(101)과 서스테인 전극(102)이 쌍을 이룬 유지전극이 형성되고, 스캔 전극(101)과 서스테인 전극(102) 상부에는 방전전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 유전체층(103)이 형성된다. 이러한 유전체층(103) 상부에는 산화마그네슘(MgO)으로 이루어진 보호층(104)이 형성되어 전면기판을 이룬다.As illustrated in FIG. 1, the front substrate includes a sustain electrode formed by pairing a
후면기판은 상기 전면기판의 스캔 전극(101)과 서스테인 전극(102)와 교차되도록 후면 글라스(110)에 배열된 어드레스 전극(111)이 형성되고, 어드레스 전극(111) 상부에는 화이트백(112)이 형성된다. 이러한 화이트백(112) 상부에는 단위 방전셀을 구획하는 격벽(113)이 형성되며, 이러한 격벽(113) 사이에는 R, G, B 형광체가 도포되어 형광체층(114)이 형성된다.On the rear substrate, an
이와 같은 종래 플라즈마 디스플레이 패널에서 전면기판에 형성된 유전체층(103)은 벽 전하(wall charge)를 형성하여 방전유지전압에 의해 방전을 유지시키고, 플라즈마의 방전 시에 이온충격으로부터 전극을 보호하고, 확산 방지막 역할을 수행함과 아울러 보호막에 대한 기반 층의 역할을 수행한다.In the conventional plasma display panel, the
이러한 역할을 하는 유전체층에 홈을 형성하거나 돌출부를 형성하여 차등적으로 유전체층(103)을 형성하면 플라즈마 디스플레이 패널의 방전효율을 더욱 향상시킬 수 있다.If the
이러한 차등 유전체층은 스캔 전극(101)과 서스테인 전극(102)이 형성된 전면글라스 상에 여러 차례의 유전체 페이스트(Paste) 인쇄한 후, 노광 및 현상공정 을 거쳐 형성된다.The differential dielectric layer is formed through a plurality of dielectric pastes printed on the front glass on which the
그러나 상기와 같은 방법으로 차등 유전체층을 형성하면 유전체 막 특성이 좋지 않고, 차등 유전체층을 형성하기 위한 제조공정 수가 늘어나고 제조시간이 길어지는 문제점이 있다.However, when the differential dielectric layer is formed in the above manner, the dielectric film characteristics are not good, and the number of manufacturing processes for forming the differential dielectric layer is increased and the manufacturing time is long.
따라서 본 발명은 유전체용 그린시트를 개선하여 차등 유전체층을 형성하기 위한 제조 공정을 단순화 할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린시트 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a dielectric green sheet of a plasma display panel and a method of manufacturing a plasma display panel using the same, which can simplify a manufacturing process for forming a differential dielectric layer by improving a dielectric green sheet.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용름 상부에 형성된 제 1 드라이 필름, 그린시트는 베이스 필름, 상기 베이스 필 상기 제 1 드라이 필름 상부에 형성된 제 2 드라이 필름, 상기 제 2 드라이 필름 상부에 형성된 포토레지스트 및 상기 포토레지스트 상부에 형성된 커버필름을 포한다.In order to achieve the above object, the first dry film and the green sheet formed on the dielectric layer of the plasma display panel of the present invention, the base film, the base fill the second dry film formed on the first dry film, the second dry It includes a photoresist formed on the film and a cover film formed on the photoresist.
상기 제 1 드라이 필름은 유전체 파우더, 현상액에 용해되지 않는 고분자 유기물, 분산제, 가소제를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first dry film is characterized in that it comprises a dielectric powder, a polymer organic material that is not dissolved in the developer, a dispersant, a plasticizer.
상기 제 2 드라이 필름은 유전체 파우더, 현상액에 용해될 수 있는 고분자 유기물, 분산제, 가소제를 포함하는 것을 특징으로 한다.The second dry film is characterized in that it comprises a dielectric powder, a polymer organic material that can be dissolved in a developer, a dispersant, a plasticizer.
상기 현상액에 용해될 수 있는 고분자 바인더는 아크릴 계열인 것을 특징으 로 한다.The polymer binder that can be dissolved in the developer is characterized in that the acrylic series.
상기 포토레지스트는 네가티브(Negative)형의 감광성 유기물로 조성되는 것을 특징으로 한다.The photoresist is characterized in that it is composed of a negative photosensitive organic material.
또한, 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린시트를 이용하여 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 글라스에 스캔 전극 및 서스테인 전극을 형성하는 단계, 상기 글라스를 포함하여 상기 스캔 전극 및 상기 서스테인 전극 상부에 유전체용 그린시트를 라미네이팅하는 단계, 상기 유전체용 그린시트 상부에 소정의 패턴이 형성된 포토 마스크를 올려놓고 노광한 후 소정의 현상액을 도포하여 유전체층을 형성하는 단계 및 상기 유전체층 상부에 보호층을 형성하는 단계를 포함한다.In addition, a method of manufacturing a plasma display panel using a dielectric green sheet of the plasma display panel may include forming a scan electrode and a sustain electrode on a glass, and including the glass and a dielectric green on the scan electrode and the sustain electrode. Laminating a sheet, placing a photo mask having a predetermined pattern formed thereon on the dielectric green sheet, exposing the photomask, and applying a predetermined developer to form a dielectric layer; and forming a protective layer on the dielectric layer. do.
상기 유전체용 그린시트는 베이스 필름과 커버 필름이 제거된 제 1 드라이 필름, 제 2 드라이 필름, 포토레지스트로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The dielectric green sheet may include a first dry film, a second dry film, and a photoresist from which the base film and the cover film are removed.
상기 유전체층은 제 1 유전체층, 제 2 유전체층으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The dielectric layer is formed of a first dielectric layer and a second dielectric layer.
상기 제 1 드라이 필름은 제 1 유전체층을 형성하는 것을 특징으로 한다.The first dry film is characterized by forming a first dielectric layer.
상기 제 2 드라이 필름은 제 2 유전체층을 형성하는 것을 특징으로 한다.The second dry film is characterized by forming a second dielectric layer.
상기 제 2 드라이 필름에는 상기 스캔 전극과 상기 서스테인 전극 사이와 상응하는 부분에 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.In the second dry film, a groove is formed in a portion corresponding to between the scan electrode and the sustain electrode.
상기 현상액은 알칼리 수용액, 물 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The developer is characterized in that any one of an aqueous alkali solution, water.
이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린 시트를 나타낸 도이다.2 is a view showing a green sheet for a dielectric of a plasma display panel according to the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린시트는 하부에 커버 필름(200)과 커버 필름(200) 상부에는 제 1 유전체 드라이 필름(210)이 형성된다. 이러한 제 1 유전체 드라이 필름은 유전체 파우더, 노광과 관계없이 현상시 현상액에 용해되지 않는 고분자 유기물, 분산제 및 가소제로 이루어져 있다. 이와 같은 제 1 유전체 드라이 필름(210) 상부에는 제 2 유전체 드라이 필름(220)이 형성되며, 제 2 유전체 드라이 필름(220)은 유전체 파우더, 노광과 관계없이 현상시 현상액에 용해될 수 있는 고분자 유기물, 분산제 및 가소제로 이루어져 있다. 이 때, 현상액에 용해될 수 있는 고분자 유기물은 아크릴계인 것이 바람직하다. 이와 같은 제 2 유전체 드라이 필름(220) 상부에는 네거티브(Negative) 감광성 유기물로 조성된 포토레지스트(230)가 형성되며, 포토레지스트(230) 상부에는 베이스 필름(240)이 형성된다.As shown in FIG. 2, the dielectric green sheet of the plasma display panel according to the present invention has a
여기서, 제 1 유전체 드라이 필름(210)과 다르게 제 2 유전체 드라이 필름(220)이 현상액에 용해될 수 있는 고분자 유기물을 사용하는 이유는 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체층의 두께와 플라즈마 디스플레이 패널의 방전효율과 방전개시전압의 상관관계 때문이다. 본 발명과 같이 제 1 유전체 드라이 필름(210)과 제 2 유전체 드라이 필름(220)은 각각 제 1 유전체층과 제 2 유전체층을 이루게 되어 두 층을 가지는 유전체층을 형성하게 되는데, 이와 같이 두 층을 이루는 유전체층 을 종래에 비해 두께가 두꺼워지게 된다. 이러한 유전체층의 두께가 두꺼울수록 플라즈마 디스플레이 패널의 방전효율이 향상되는 장점은 있지만, 방전개시전압이 높아진다는 문제점이 있다. 따라서, 본 발명에서는 제 2 유전체층을 이루는 제 2 드라이 필름(220)을 현상시 현상액에 용해될 수 있는 고분자 유기물로 형성함으로써 제 2 유전체층을 차등적으로 형성하여 방전개시전압을 낮추기 위함이다.Here, the reason why the second dielectric
이러한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린시트는 다음과 같은 제조공정을 거치게 된다.The dielectric green sheet of the plasma display panel according to the present invention is subjected to the following manufacturing process.
먼저, 컨베이어 벨트상에 형성된 PET 재질인 베이스 필름(240) 상에 일정한 두께로 포토레지스트(230)를 형성한 후, 내부에 현상시 현상액에 용해될 수 있는 고분자 유기물과 유전체 파우더, 분산제, 가소제가 혼합된 제 2 슬러리를 포함한 코터에서 제 2 슬러리가 포토레지스트(230) 상에 일정한 두께로 도포된 후, 건조구역을 지나면 제 2 슬러리가 제 2 드라이 필름(220)으로 형성된다.First, after forming the photoresist 230 to a predetermined thickness on the PET film formed on the conveyor belt with a predetermined thickness, there is a polymer organic material, dielectric powder, dispersant, plasticizer that can be dissolved in the developing solution therein After the second slurry is applied to the photoresist 230 with a predetermined thickness in the coater including the mixed second slurry, the second slurry is formed as the second
이 후, 내부에 현상시 현상액에 용해되지 않는 고분자 유기물과 유전체 파우더, 분산제, 가소제가 혼합된 제 1 슬러리를 포함한 코터에서 제 1 슬러리가 제 2 드라이 필름(220) 상에 일정한 두께로 도포된 후, 건조구역을 지나면 제 1 슬러리가 제 1 드라이 필름(210)으로 형성된다. 이와 같이 형성된 제 1 드라이 필름(210) 상부에 커버 필름(200)을 덮어 롤의 형태로 제작하면 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린시트가 형성된다.Thereafter, the first slurry is coated on the second
이와 같은 유전체용 그린시트를 이용하여 형성된 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 살펴보면 다음과 같다.Looking at the structure of the plasma display panel according to the present invention formed by using the dielectric green sheet as follows.
도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.3 is a view showing the structure of a plasma display panel according to the present invention.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판은 기재가 되는 전면글라스(300) 상부에 투명전극과 버스전극으로 형성된 스캔 전극(301)과 서스테인 전극(302)이 쌍을 이룬 유지전극이 형성된다. 이러한 스캔 전극(301)과 서스테인 전극(302) 상부에는 제 1 유전체층(303)이 형성되고, 제 1 유전체층(303) 상부에는 상기 스캔 전극(301)과 서스테인 전극(302) 사이에 상응하는 부분에 홈(G)이 형성된 제 2 유전체층(304)이 형성된다. 이와 같이 형성되는 제 2 유전체층(304) 상부에는 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(305)이 형성된다.As shown in FIG. 3, in the front substrate of the plasma display panel according to the present invention, a pair of
다음, 후면기판을 살펴보면, 후면글라스(310) 상부에는 상기 전면기판의 스캔 전극(301) 및 서스테인 전극(302)과 교차되도록 배열된 어드레스 전극(311)이 형성되고, 어드레스 전극(311) 상부에는 화이트백(312)이 형성된다. 이러한 화이트백(312) 상부에는 단위 방전셀을 구획하는 격벽(313)이 형성되며, 격벽(313)으로 구획된 방전셀 내에는 R, G, B 형광체가 도포되어 형광체층(314)이 형성된다.Next, looking at the rear substrate, an
이와 같은 구조를 가지는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린시트를 이용하여 전면기판이 형성되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.In the plasma display panel having such a structure, a process of forming the front substrate using the green sheet for dielectric of the plasma display panel according to the present invention will be described as follows.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법을 순차적으로 나타낸 도이다.4A to 4F are diagrams sequentially illustrating a method of manufacturing a front substrate of a plasma display panel according to the present invention.
먼저, 도 4a에서 보는 바와 같이, 전면글라스(400)에 투명전극과 버스전극으 로 이루어지는 스캔 전극(401)과 서스테인 전극(402)을 형성한다. First, as shown in FIG. 4A, a
이러한 스캔 전극과 서스테인 전극의 형성방법의 일례를 살펴보면, 산화인듐과 산화주석으로 이루어진 ITO(Indium Tin Oxide)물질로 형성된 투명전극막 상부에 드라이 필름을 라미네이팅하여 소정의 패턴이 형성된 포토 마스크(Photo mask)의 패턴으로 노광한 후, 현상 및 에칭 공정을 거치면 스캔 전극용 투명전극과 서스테인 전극용 투명전극이 형성된다.An example of a method of forming the scan electrode and the sustain electrode is a photo mask in which a predetermined pattern is formed by laminating a dry film on a transparent electrode film formed of an indium tin oxide (ITO) material made of indium oxide and tin oxide. After exposing in a pattern of), the developing and etching processes form a transparent electrode for a scan electrode and a transparent electrode for a sustain electrode.
이와 같이 형성된 스캔 전극용 투명전극과 서스테인 전극용 투명전극 상부에 감광성 은(Ag)페이스트를 스크린 인쇄(Screen-printing)방식으로 인쇄한 후, 포토 마스크의 패턴으로 노광공정을 실시한 후, 현상 및 에칭공정을 거쳐 소성을 하게 되면 스캔 전극(401)과 서스테인 전극(402)이 형성된다.The photosensitive silver (Ag) paste is printed on the upper portion of the transparent electrode for the scan electrode and the sustain electrode thus formed by the screen-printing method, followed by an exposure process using a pattern of a photo mask, followed by development and etching. When firing through the process, the
이 후, 도 4b에서 보는 바와 같이, 스캔 전극(401)과 서스테인 전극(402)이 형성된 전면글라스(400) 상부에 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체용 그린시트(403)의 커버 필름(미도시)을 롤러(404)를 이용하여 제거하면서 제 1 유전체 드라이 필름(403a), 제 2 유전체 드라이 필름(403b), 포토레지스트(403c), 베이스 필름(403d)을 라미네이팅 한 후, 도 4c에서 보는 바와 같이, 베이스 필름(403d)을 없앤다. 유전체용 그린시트(403)를 라미네이팅 할 때, 유전체용 그린시트(403)가 전극의 에지(Edge)부분까지 밀려들어가, 스캔 전극(401)과 서스테인 전극(402) 패턴이 형성된 전면글라스(400)과 유전체용 그린시트(403)간의 빈 공간이 발생하지 않도록 해야 한다. Thereafter, as shown in FIG. 4B, the cover film of the dielectric
이 후, 도 4d에서 보는 바와 같이, 소정의 패턴이 형성된 포토마스크(405)를 포토레지스트(403c) 상부에 올려놓고 노광한 후, 도 4e에서와 같이, 현상하면 소정의 패턴을 갖는 포토레지스트(403c)가 형성된다. 이 때, 포토레지스트(403c)는 네거티브 감광성 유기물로 조성된다.Thereafter, as shown in FIG. 4D, the
이 후, 도 4f에서 보는 바와 같이, 제 2 드라이 필름(403b)을 현상하기 위한 현상액으로 현상한 후, 포토레지스트(403c)를 박리하면 제 2 드라이 필름(403b)에는 홈이 형성된다. 이와 같이 형성된 제 2 드라이 필름(403b)을 포함한 전면글라스(400)를 소성하면 제 1 유전체층 및 제 2 유전체층이 형성된다. 여기서, 제 1 드라이 필름(403a)은 상기 스캔 전극(401)과 상기 서스테인 전극(402) 상부에 형성되는 제 1 유전체층을 형성하고, 홈이 형성된 제 2 드라이 필름(403b)은 제 2 유전체층을 형성하여 두 층으로 형성된 유전체층이 완성된다. 이 때, 제 2 드라이 필름(403b)을 현상하기 위한 현상액으로는 알칼리 수용액 또는 물 중 어느 하나이다.Thereafter, as shown in FIG. 4F, after developing the second
이와 같이 형성된 유전체층 상부에 CVD법, 이온도금법등을 이용하여 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(미도시)이 형성되면 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판이 완성된다.When a protective layer (not shown) made of magnesium oxide (MgO) is formed on the dielectric layer formed using the CVD method or the ion plating method, the front substrate of the plasma display panel according to the present invention is completed.
이와 같이 유전체용 그린시트를 개선함으로써 방전효율을 향상시킬 수 있는 차등 유전체를 용이하게 형성할 수 있고, 제조공정의 시간도 줄일 수 있다.By improving the green sheet for the dielectric as described above, it is possible to easily form the differential dielectric which can improve the discharge efficiency, and the time of the manufacturing process can be reduced.
또한, 유전체층의 두께 조절 및 유전체층의 유니포머티를 향상시킬 수 있다.In addition, the thickness control of the dielectric layer and the uniformity of the dielectric layer can be improved.
상술한 바와 같이 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the technical configuration of the present invention can be understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the above-described embodiments are to be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and All changes or modifications derived from the equivalent concept should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
이상에서 보는 바와 같이, 본 발명은 유전체용 그린시트를 복수의 층으로 형성하여 유전체층의 두께 조절 및 유전체층의 유니포머티를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As can be seen from the above, the present invention has the effect of forming the dielectric green sheet into a plurality of layers to control the thickness of the dielectric layer and improve the uniformity of the dielectric layer.
또한, 유전체층을 이루는 그린시트의 각 층의 조성을 달리함으로써 방전효율을 향상시킬 수 있는 차등유전체층을 용이하게 형성할 수 있으며, 차등유전체층을 형성하기 위한 제조공정의 시간도 줄일 수 있는 효과가 있다.In addition, by varying the composition of each layer of the green sheet constituting the dielectric layer, it is possible to easily form a differential dielectric layer that can improve the discharge efficiency, it is possible to reduce the time of the manufacturing process for forming the differential dielectric layer.
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