KR100656694B1 - Transflective liquid crystal display device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것이며, 특히 반사투과형 액정표시장치에 관한 것으로, 먼저 화소영역 상에 투과홀이 형성된 반사판을 형성하고, 상기 반사판 상부에 절연층을 사이에 두고 화소전극을 형성하여 투과부와 반사부가 하나의 단일 전극으로 구동하는 반사투과형 액정표시장치를 형성함으로써 첫째, 상기 반사부를 반사전극으로 형성함으로서 생기는 반사전극의 단차에 의한 전기장의 왜곡을 방지할 수 있는 효과가 있고 둘째, 단일층에 반사전극과 투과전극을 동시에 형성하기 위한 반복적인 포토리소그라피 공정을 수행하지 않고 단지 반사판 상부에 화소전극을 적층하는 구조를 사용함으로써 공정이 단순화되는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a reflective transmissive liquid crystal display device. First, a reflective plate having a transmissive hole is formed on a pixel area, and a pixel electrode is formed on the reflective plate with an insulating layer interposed therebetween. And a reflection-transmissive liquid crystal display device in which the reflector is driven by a single electrode. First, there is an effect of preventing the distortion of the electric field caused by the step difference of the reflecting electrode formed by forming the reflector as the reflection electrode. There is an effect that the process is simplified by using a structure in which a pixel electrode is stacked only on the reflecting plate without performing a repetitive photolithography process for simultaneously forming a reflective electrode and a transmissive electrode.

또한, 상기 반사부를 반사판으로 형성함으로써 상기 반사판에 다양한 표현이 가능해져서 액정표시장치의 휘도를 높일수 있는 효과가 있다.In addition, by forming the reflector as a reflector, various expressions are possible on the reflector, thereby increasing the luminance of the liquid crystal display.

Description

반사투과형 액정표시장치{Transflective liquid crystal display device} Reflective liquid crystal display device             

도 1은 일반적인 반사투과액정표시장치의 일부를 도시한 분해사시도이고,1 is an exploded perspective view showing a part of a typical reflective liquid crystal display device;

도 2는 일반적인 반사투과 액정표시장치의 단면도이고,2 is a cross-sectional view of a typical transflective liquid crystal display device;

도 3은 종래기술에 따른 반사투과 액정표시장치용 어레이기판의 일부 평면도이고,3 is a partial plan view of an array substrate for a transmissive liquid crystal display device according to the prior art;

도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ와 Ⅲ-Ⅲ를 따라 절단한 단면도이고,4 is a cross-sectional view taken along II-II and III-III of FIG. 3,

도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 일부 평면도이고,5 is a partial plan view of an array substrate for a liquid crystal display device according to the present invention;

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ와 Ⅶ-Ⅶ를 따라 절단한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 단면도이고,6 is a cross-sectional view according to a first embodiment of the present invention cut along VI-VI and VIII-V of FIG. 5,

도 7은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ와 Ⅶ-Ⅶ를 따라 절단한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view according to a second embodiment of the present invention taken along lines VI-VI and VIII-V of FIG. 5.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

113 : 데이터배선 117 : 반사판 113: data wiring 117: reflector

119 : 게이트전극 120 : 게이트절연층119: gate electrode 120: gate insulating layer

121 : 소스전극 123 : 드레인전극121: source electrode 123: drain electrode

125 : 액티브층 128 : 제 1 보호층125: active layer 128: first protective layer

129 : 화소전극 131 : 제 2 보호층 129: pixel electrode 131: second protective layer

본 발명은 액정표시장치(liquid crystal display device)에 관한 것으로, 특히, 반사모드와 투과모드를 선택적으로 사용할 수 있는 반사투과형 액정표시장치(Transflective liquid crystal display device)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a reflective liquid crystal display device capable of selectively using a reflection mode and a transmission mode.

일반적으로 반사투과형 액정표시장치는 투과형 액정표시장치와 반사형 액정표시장치의 기능을 동시에 지닌 것으로, 백라이트(backlight)의 빛과 외부의 자연광원을 모두 이용할 수 있음으로 주변환경에 제약을 받지 않고, 전력소비(power consumption)를 줄일 수 있는 장점이 있다.In general, the transflective liquid crystal display device has the functions of a transmissive liquid crystal display device and a reflective liquid crystal display device, and is able to use both a backlight light and an external natural light source without being restricted by the surrounding environment. There is an advantage that can reduce power consumption (power consumption).

도 1 은 일반적인 반사투과형 컬러액정표시장치를 도시한 분해사시도이다.FIG. 1 is an exploded perspective view showing a general reflective transmissive color liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 일반적인 반사투과형 액정표시장치(11)는 블랙매트릭스(16)를 포함하는 컬러필터(17)와 컬러필터 상에 투명한 공통전극(13) 이 형성된 상부기판(15)과, 화소영역(P)과 화소영역 상에 투과부(19a)와 반사부(19b)가 동시에 형성된 화소전극(19)과 스위칭소자(T)를 포함한 어레이배선이 형성된 하부기판(21)으로 구성되며, 상기 상부기판(15)과 하부기판(21) 사이에는 액정(23)이 충진되어 있다.As shown in the drawing, a typical reflective transmissive liquid crystal display device 11 includes a color filter 17 including a black matrix 16, an upper substrate 15 having a transparent common electrode 13 formed on the color filter, and a pixel region. And a lower substrate 21 having an array wiring including a switching electrode T and a pixel electrode 19 having a transmissive portion 19a and a reflecting portion 19b formed at the same time on the P region and the pixel region. The liquid crystal 23 is filled between the 15 and the lower substrate 21.

상기 하부기판(21)은 어레이기판이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스 형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터를 교차하여 지나가는 게이트배선(25)과 데이터배선(27)이 형성된다.The lower substrate 21 is also referred to as an array substrate, and the thin film transistor T, which is a switching element, is positioned in a matrix type, and the gate wiring 25 and the data wiring 27 passing through the plurality of thin film transistors cross each other. Is formed.

이때, 상기 화소영역(P)은 상기 게이트배선(25)과 데이터배선(27)이 교차하여 정의되는 영역이며, 상기 화소영역(P)상에 형성된 화소전극(19)의 투과부(19a)는 투과홀 또는 투명전극을 형성하여 구성한다. (본문에서는 상기 투과부에 투명전극이 형성되었다고 가정한다).In this case, the pixel region P is an area defined by the gate wiring 25 and the data wiring 27 intersecting, and the transmission portion 19a of the pixel electrode 19 formed on the pixel region P is transparent. It forms by forming a hole or a transparent electrode. (It is assumed in the text that a transparent electrode is formed in the transmission portion).

상기 화소전극(19)의 반사부(19b)를 형성하는 반사전극은 반사율이 뛰어난 도전성금속을 사용하여 형성하고, 상기 투과부(19a)를 형성하는 투명전극은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같은 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명도전성 금속을 사용한다. The reflective electrode for forming the reflective portion 19b of the pixel electrode 19 is formed using a conductive metal having excellent reflectance, and the transparent electrode for forming the transmissive portion 19a is indium-tin-oxide-. Oxide: ITO) uses a transparent conductive metal with relatively good light transmittance.

이와 같은 구성을 갖는 반사투과형 액정표시장치의 동작특성을 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는 일반적인 반사투과형 액정표시장치를 도시한 단면도이다.The operation characteristics of the reflective liquid crystal display device having such a configuration will be described with reference to FIG. 2 is a cross-sectional view showing a general reflective transmissive liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 개략적인 반사투과형 액정표시장치(57)는 공통전극(33)이 형성된 상부기판(43)과, 반사전극(49)와 투명전극(51)으로 구성된 화소전극이 형성된 하부기판(53)과, 상기 상부기판(43)과 하부기판(53)의 사이에 충진된 액정(56)과, 상기 하부기판(53)의 하부에 위치한 백라이트(41)로 구성된다.As shown in the drawing, the schematic reflection-transmissive liquid crystal display 57 includes an upper substrate 43 on which the common electrode 33 is formed, and a lower substrate on which a pixel electrode composed of the reflective electrode 49 and the transparent electrode 51 is formed. 53, a liquid crystal 56 filled between the upper substrate 43 and the lower substrate 53, and a backlight 41 positioned below the lower substrate 53.

이러한 구성을 갖는 반사투과형 액정표시장치(57)를 반사모드(reflective mode)로 사용할 경우에는 빛의 대부분을 외부의 자연광원 또는 인조광원을 사용하게 된다. When the reflective liquid crystal display device 57 having such a configuration is used in a reflective mode, most of the light is used as an external natural light or an artificial light source.

전술한 구성을 참조로 반사모드일 때, 투과반사형 액정표시장치의 동작을 설명한다. The operation of the transmissive reflection type liquid crystal display device in the reflective mode will be described with reference to the above-described configuration.

외부의 자연광원 또는 인조광원에서 상기 액정표시장치의 상부기판(43)으로 입사된 빛(B)은 상기 반사전극(49)에 반사되어 상기 반사전극과 상기 공통전극(33)의 전계에 의해 배열된 액정(56)을 통과하게 되고, 상기 액정(56)의 배열에 따라 액정을 통과하는 빛(B)의 양이 조절되어 이미지(image)를 구현하게 된다.The light B incident on the upper substrate 43 of the liquid crystal display device from an external natural or artificial light source is reflected by the reflective electrode 49 and arranged by an electric field of the reflective electrode and the common electrode 33. After passing through the liquid crystal 56, the amount of light B passing through the liquid crystal is adjusted according to the arrangement of the liquid crystal 56 to implement an image.

반대로, 투과모드(transmission mode)로 동작할 경우에는, 광원을 상기 하부기판(53)의 하부에 위치한 백라이트(41)의 빛(A)을 사용하게 된다. 상기 백라이트(41)로부터 출사한 빛은 상기 투명전극(51)을 통해 상기 액정(56)에 입사하게 되며, 상기 투과부의 투명전극(51)과 상기 공통전극(33)의 전계에 의해 배열된 액정(56)에 의해 상기 하부 백라이트(41)로부터 입사한 빛의 양을 조절하여 이미지를 구현하게 된다.On the contrary, when operating in a transmission mode, the light source uses the light A of the backlight 41 positioned below the lower substrate 53. Light emitted from the backlight 41 is incident on the liquid crystal 56 through the transparent electrode 51, and the liquid crystal arranged by the electric field of the transparent electrode 51 and the common electrode 33 of the transmission part. By 56, the image is controlled by adjusting the amount of light incident from the lower backlight 41.

도 3은 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 도시한 확대 평면도이고, 도시한 바와 같이, 반사투과형 액정표시장치용 어레이기판은 서로 교차하여 형성되는 게이트배선(25)과 데이터배선(27)과, 화소전극(19)과 상기 게이트배선(25)의 교차지점에 형성되고, 주사신호가 인가되는 게이트전극(61)과, 소스전극(63)과 드레인전극(65)을 포함하는 박막트랜지스터(T)가 형성된다.3 is an enlarged plan view showing a part of an array substrate for a liquid crystal display device, and as shown, the array substrate for a reflective transmissive liquid crystal display device includes a gate wiring 25 and a data wiring 27 formed to cross each other; A thin film transistor T formed at the intersection of the pixel electrode 19 and the gate wiring 25 and including a gate electrode 61 to which a scan signal is applied, and a source electrode 63 and a drain electrode 65. Is formed.

이때, 상기 화소전극(19)은 투과부(A)와 반사부(C)로 구성되는 반투과전극이다. 먼저 상기 화소영역(P)상에 제 1 드레인콘택홀(67)을 통해 상기 드레인전극(65)과 접촉하는 투명전극(19a)이 형성되고, 상기 투명전극(19a) 상부에 투과홀( A)이 형성된 반사전극(19b)을 형성한다.In this case, the pixel electrode 19 is a transflective electrode composed of a transmissive portion A and a reflective portion C. First, a transparent electrode 19a is formed on the pixel region P to contact the drain electrode 65 through a first drain contact hole 67, and a transmission hole A is formed on the transparent electrode 19a. The formed reflective electrode 19b is formed.

상기 투명전극(19a)은 상기 드레인전극(65)상부에 형성된 제 1 드레인콘택홀(67)을 통해 상기 드레인전극(65)과 접촉하고, 상기 반사전극(19b)은 제 2 드레인콘택홀(71)을 통해 상기 드레인전극(65)과 접촉하여 형성한다.The transparent electrode 19a contacts the drain electrode 65 through the first drain contact hole 67 formed on the drain electrode 65, and the reflective electrode 19b contacts the second drain contact hole 71. Is formed in contact with the drain electrode 65 through

도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ와 Ⅲ-Ⅲ를 따라 각각 절단한 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view taken along the lines II-II and III-III of FIG. 3, respectively.

상기 도 4를 참조로 전술한 첫 번째 방법으로 형성된 반사투과부의 제조공정을 알아본다. (Ⅱ-Ⅱ는 화소전극과 박막트랜지스터의 단면도이고, Ⅲ-Ⅲ는 데이터배선과 화소영역의 단면도다.)With reference to FIG. 4 looks at the manufacturing process of the reflective transparent portion formed by the first method described above. (II-II is a sectional view of a pixel electrode and a thin film transistor, and III-III is a sectional view of a data wiring and a pixel area.)

먼저, 기판(59)에 게이트배선(도 1의 25)과 게이트전극(61)이 패터닝되고, 상기 게이트전극(61)과 게이트배선 상부에 실리콘 나이트라이드(SiNX), 실리콘 다이옥사이드(SiO2) 등과 같은 무기절연물질이나 아크릴 또는 벤조사이클로 부텐(BCB)과 같은 유기절연물 등을 증착하여 게이트절연층(60)이 형성된다.First, a gate wiring (25 in FIG. 1) and a gate electrode 61 are patterned on the substrate 59, and silicon nitride (SiN X ) and silicon dioxide (SiO 2 ) are disposed on the gate electrode 61 and the gate wiring. The gate insulating layer 60 is formed by depositing an inorganic insulating material such as an organic insulating material such as acrylic or benzocyclobutene (BCB).

상기 게이트전극(61)의 상부 게이트절연층(60)상에 아일랜드형태의 액티브층(62)이 형성되고, 상기 액티브층(62)상에 서로 소정간격 이격된 소스전극(63)과 드레인전극(65)이 형성된다.An island-type active layer 62 is formed on the upper gate insulating layer 60 of the gate electrode 61, and the source electrode 63 and the drain electrode spaced apart from each other by a predetermined distance from each other. 65) is formed.

상기 소스전극(63)은 데이터배선(27)과 연결되어 형성되며, 이때 상기 데이터배선은 상기 게이트배선(도 1의 25)과는 상기 게이트절연층(60)을 사이에 두고 교차하여 형성된다. 상기 소스전극(63) 등이 형성된 기판(59) 상에 전술한 절연물질을 증착하여 보호층(69)을 형성하고 패터닝하여, 상기 드레인전극 상부에 제 1 드레인콘택홀(67)을 형성한다. The source electrode 63 is formed to be connected to the data line 27. In this case, the data line is formed to cross the gate line (25 of FIG. 1) with the gate insulating layer 60 interposed therebetween. The above-described insulating material is deposited on the substrate 59 on which the source electrode 63 and the like are formed to form and pattern the passivation layer 69 to form a first drain contact hole 67 on the drain electrode.

상기 제 1 드레인콘택홀(67)이 형성된 기판(59)의 전면에 인듐-틴-옥사이드와 같은 투명도전성 물질을 증착하고 패터닝하여, 상기 제 1 드레인콘택홀을 통해 상기 드레인전극(65)과 접촉하는 투명한 화소전극(19a)을 상기 화소영역(도 1의 P참조)상에 형성한다.Depositing and patterning a transparent conductive material such as indium-tin oxide on the entire surface of the substrate 59 on which the first drain contact hole 67 is formed, and contacting the drain electrode 65 through the first drain contact hole. A transparent pixel electrode 19a is formed on the pixel region (see P in FIG. 1).

다음으로, 상기 화소전극(19a) 상부에 전술한 절연물질을 증착하여 보호층(69)을 형성하고 패터닝하여, 상기 드레인전극(65) 상부의 보호층(62)과 투명전극층(19a)과 상기 보호층(69)을 식각하여 제 2 드레인전극 콘택홀(71)을 형성한다.Next, the above-described insulating material is deposited on the pixel electrode 19a to form and pattern the passivation layer 69. The passivation layer 62 and the transparent electrode layer 19a and the upper portion of the drain electrode 65 are then patterned. The protective layer 69 is etched to form the second drain electrode contact hole 71.

다음으로, 알루미늄(Al)과 같이 반사특성이 우수한 불투명 도전성 금속을 증착하고 패터닝하여, 상기 화소영역 상에 투과홀(도 1의 A)을 포함한 반사전극(19b)을 형성한다.Next, an opaque conductive metal having excellent reflection characteristics, such as aluminum (Al), is deposited and patterned to form a reflective electrode 19b including a transmission hole (A in FIG. 1) on the pixel region.

이때, 상기 반사전극(19b)은 상기 드레인전극(65) 상부의 제 2 드레인콘택홀(71)을 통해 상기 드레인전극(65)과 접촉하여 형성한다.In this case, the reflective electrode 19b is formed in contact with the drain electrode 65 through the second drain contact hole 71 on the drain electrode 65.

이때, 투명전극(19a)과 반사전극(19b)으로 구성된 화소전극은 반사전극(19b)과 투명전극(19a)의 위치차이인 d에 의해 전압인가시 전장의 왜곡이 발생하여, 상기 화소전극 상부에 위치한 액정의 구동효율을 저하시키는 단점이 있다.At this time, the pixel electrode composed of the transparent electrode 19a and the reflective electrode 19b causes distortion of the electric field when voltage is applied by d, which is a position difference between the reflective electrode 19b and the transparent electrode 19a, so that the upper portion of the pixel electrode There is a disadvantage in reducing the driving efficiency of the liquid crystal located in.

따라서, 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 전기장 왜곡이 없고 공정이 단순한 액정표시장치를 제안하는데 그 목적이 있다.
Accordingly, an object of the present invention is to propose a liquid crystal display device having no electric field distortion and a simple process in order to solve the above problems.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판은 기판을 구비하는 단계와; 상기 기판 상에 게이트배선과 게이트전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트전극이 형성된 기판의 전면에 게이트절연층을 형성하는 단계와; 상기 게이트전극 상부의 게이트절연층 상에 액티브층을 형성하는 단계와; 상기 액티브층이 형성된 기판 상에 소스전극과, 드레인전극과 상기 게이트배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터배선을 형성하는 단계와; 상기 소스전극과 드레인전극이 형성된 기판의 전면에 절연물질을 증착하여 제 1 보호층을 형성하는 단계와; 상기 화소영역 상의 제 1 보호층 상에 투과홀을 포함하는 반사판을 형성하는 단계와; 상기 반사판이 형성된 기판의 전면에 절연물질을 증착하여 제 2 보호층을 형성하고, 상기 드레인전극 상부의 제 1 보호층과 제 2 보호층을 동시에 식각하여 드레인 콘택홀을 형성하는 단계와; 상기 드레인 콘택홀이 형성된 제 2 보호층 상에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 접촉하는 투명 도전성금속인 화소전극을 형성하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an array substrate for a liquid crystal display device, the method including: providing a substrate; Forming a gate wiring and a gate electrode on the substrate; Forming a gate insulating layer on an entire surface of the substrate on which the gate electrode is formed; Forming an active layer on the gate insulating layer on the gate electrode; Forming a data wiring on the substrate on which the active layer is formed, the data wiring defining a pixel region by crossing the source electrode, the drain electrode and the gate wiring; Forming a first passivation layer by depositing an insulating material on an entire surface of the substrate on which the source and drain electrodes are formed; Forming a reflecting plate including a transmission hole on a first passivation layer on the pixel region; Depositing an insulating material on an entire surface of the substrate on which the reflector is formed to form a second protective layer, and simultaneously forming a drain contact hole by simultaneously etching the first protective layer and the second protective layer on the drain electrode; Forming a pixel electrode on the second protective layer where the drain contact hole is formed, the pixel electrode being a transparent conductive metal contacting the drain electrode through the drain contact hole.

상기 도전성 금속은 알루미늄, 몰리브덴, 텅스텐등의 도전성금속 그룹 중 선택된 하나인 것을 특징으로 한다.The conductive metal is one selected from the group of conductive metals such as aluminum, molybdenum and tungsten.

상기 절연층과 보호층은 실리콘옥사이드(SiO2) 또는 실리콘나이트라이드 (SiNx)인 것을 특징으로 한다.The insulating layer and the protective layer are characterized in that the silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x ).

상기 투명 도전성금속은 인듐-틴-옥사이드 또는 인듐-징크-옥사이드인 어레이기판인 것을 특징으로 한다.The transparent conductive metal is an array substrate which is indium tin oxide or indium zinc oxide.

상기 반사판의 표면은 굴곡진 요철 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.The surface of the reflector is characterized in that it has a curved concavo-convex shape.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 제 1 실시예와 제 2 실시예를 설명하도록 한다.Hereinafter, a first embodiment and a second embodiment according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

-- 제 1 실시예--Example 1

본 발명의 제 1 실시예는 종래와는 달리 상기 반사부에 반사전극을 사용하지 않고, 반사특성을 가진 반사판을 사용한 구조이다.Unlike the related art, the first embodiment of the present invention has a structure in which a reflection plate having reflection characteristics is used without using a reflection electrode in the reflection portion.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 도시한 평면도이다.5 is a plan view showing a part of an array substrate for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 액정표시장치용 어레이기판은 크게 게이트배선(111)과 데이터배선(113)과, 화소(P)와 박막트랜지스터(T)로 구성된다.As shown, the array substrate for a liquid crystal display device is largely composed of a gate wiring 111 and a data wiring 113, a pixel P, and a thin film transistor T. As shown in FIG.

상기 게이트배선(111)과 데이터배선(113)이 교차하여 정의되는 화소(P)는 투과부(D)와 반사부(E)로 구성된다.The pixel P defined by the intersection of the gate wiring 111 and the data wiring 113 includes a transmission part D and a reflection part E.

상기 박막트랜지스터(T)는 상기 게이트배선(111)에서 일방향으로 돌출 형성된 게이트전극(119)과, 상기 게이트전극의 상부에서 서로 소정간격 이격된 소스전극(121)과 드레인전극(123)으로 구성된다.The thin film transistor T includes a gate electrode 119 protruding in one direction from the gate wiring 111, and a source electrode 121 and a drain electrode 123 spaced apart from each other by a predetermined distance from an upper portion of the gate electrode 111. .

이때, 상기 화소영역(P)의 상기 반사부(E)는 투과홀(115)이 형성된 반ㅅ사(ㄷ도 6의 117)으로 구성되며, 상기 투과홀(115)이 형성된 반사판(도 6의 117)상부에 투명전극을 화소전면에 형성하여 화소전극(129)을 형성한다.In this case, the reflecting portion E of the pixel region P is composed of anti-reflective yarns (117 of FIG. 6) having the transmission holes 115 formed thereon, and a reflecting plate having the transmission holes 115 formed thereon (see FIG. 6). A transparent electrode is formed on the front surface of the pixel on the upper portion 117 to form the pixel electrode 129.

이와 같은 구성을 갖는 어레이기판의 제조공정을 도 6을 참조하여 설명한다.A manufacturing process of the array substrate having such a configuration will be described with reference to FIG.

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ와 Ⅶ-Ⅶ를 따라 절단한 단면도이다.6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI and VIII-V of FIG. 5.

먼저, 기판(118)에 도전성 금속인 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 기타의 도전성합금을 증착하고 패터닝하여 게이트배선(도5의 111참조)과, 상기 게이트배선에서 일방향으로 돌출형성된 게이트전극(119)을 형성한다.First, aluminum (Al), molybdenum (Mo), tungsten (W), and other conductive alloys, which are conductive metals, are deposited and patterned on the substrate 118 to form a gate wiring (see 111 in FIG. 5) and one direction in the gate wiring. Protruding gate electrode 119 is formed.

다음으로, 상기 게이트전극(119)이 형성된 기판(118)의 전면에 실리콘옥사이드(SiO2)와 실리콘나이트라이드(SiNx) 등의 절연물질을 증착하고, 연속으로 아몰퍼스실리콘(a-Si)과 불순물이 함유된 아몰퍼스실리콘을 증착하여 게이트절연층(120)과 반도체층(아몰퍼스실리콘 + 불순물 아몰퍼스실리콘)을 형성한다.Next, an insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) and silicon nitride (SiN x ) is deposited on the entire surface of the substrate 118 on which the gate electrode 119 is formed, and subsequently, amorphous silicon (a-Si) and A doped amorphous silicon is deposited to form a gate insulating layer 120 and a semiconductor layer (amorphous silicon + impurity amorphous silicon).

다음으로, 상기 반도체층을 패터닝하여 상기 게이트전극(119)의 상부에 아일랜드형태로 액티브층(125)을 형성한다.Next, the semiconductor layer is patterned to form an active layer 125 in an island shape on the gate electrode 119.

다음으로, 상기 액티브층(125)이 형성된 기판(118)의 전면에 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 등의 도전성금속을 증착하고 패터닝하여, 상기 게이트배선(도 5의 111)과 상기 게이트절연층(120)을 사이에 두고 교차하여 데이터배선(113)을 형성하고, 상기 데이터배선에서 일 방향으로 돌출 형성되고, 상기 액티브층(125)의 일측과 겹쳐지는 소스전극(121)과 이와는 소정간격 이격되고 상기 액티브층(125)의 타측과 겹쳐지는 드레인전극(123)을 형성한다.Next, a conductive metal such as molybdenum (Mo) or tungsten (W) is deposited and patterned on the entire surface of the substrate 118 on which the active layer 125 is formed, and the gate wiring (111 of FIG. 5) and the gate insulation are patterned. The data line 113 is intersected with the layer 120 interposed therebetween, protruding in one direction from the data line, and overlapping one side of the active layer 125 with a predetermined interval therebetween. A drain electrode 123 spaced apart from the other side of the active layer 125 is formed.

다음으로, 상기 소스전극(121)과 드레인전극(123)이 형성된 기판(118) 상에 전술한 절연물질을 증착하여 제 1 보호층(128)을 형성한다.Next, the first insulating layer 128 is formed by depositing the above-described insulating material on the substrate 118 on which the source electrode 121 and the drain electrode 123 are formed.

다음으로, 상기 화소영역(도 5의 P)의 제 1 보호층(128) 상에 투과홀을 포함한 반사판(117)을 형성한다.Next, a reflective plate 117 including a transmission hole is formed on the first passivation layer 128 of the pixel region (P of FIG. 5).

다음으로, 상기 반사판(117)이 형성된 기판(118)의 전면에 전술한 바와 같은 절연물질을 증착하여 제 2 보호층(131)을 형성한다.Next, an insulating material as described above is deposited on the entire surface of the substrate 118 on which the reflective plate 117 is formed to form the second protective layer 131.

다음으로, 상기 제 2 보호층(131)을 패터닝하여, 상기 드레인전극(123)의 상부의 제 1 보호층(128)과 제 2 보호층(131)을 동시에 식각하여 드레인콘택홀(127)을 형성한다. Next, the second protective layer 131 is patterned to simultaneously etch the first protective layer 128 and the second protective layer 131 on the drain electrode 123 to form the drain contact hole 127. Form.

다음으로, 상기 드레인콘택홀(127)이 형성된 기판(118)의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 같은 투명 도전성금속을 증착하고 패터닝하여, 상기 드레인콘택홀(127)을 통해 상기 드레인전극(123)과 연결되고, 상기 제 2 보호층(131)상부에서 상기 반사판(117)과 평면적으로 겹쳐지는 투명전극(129)을 형성한다.Next, a transparent conductive metal such as indium tin oxide (ITO) is deposited and patterned on the entire surface of the substrate 118 on which the drain contact hole 127 is formed, and the drain electrode is formed through the drain contact hole 127. A transparent electrode 129 connected to 123 and overlapping with the reflective plate 117 on the second passivation layer 131 in plan view is formed.

따라서, 상기 화소전극은 투과홀(115)을 갖는 반사판(117)에 평면적으로 겹쳐지고 일정한 표면을 갖는 투명전극(129)을 형성함으로써 화소전극 자체는 단일층으로 형성됨으로 기존의 반사전극(도 4의 19b)과 투명전극(도 4의 19a)의 단차(d)에 의한 전장의 왜곡문제가 발생하지 않는 장점이 있다. 이와 같이 구성된 어레이기판과 투명전극이 형성된 상부기판을 합착하고, 상기 합착된 사이에 액정을 주입함으로써 액정표시장치가 완성된다.Accordingly, the pixel electrode is formed in a single layer by forming a transparent electrode 129 having a predetermined surface and overlapping with the reflecting plate 117 having the transmissive hole 115 in planar manner. The distortion of the electric field due to the step (d) of the 19b) and the transparent electrode (19a of FIG. 4) does not occur. The liquid crystal display device is completed by bonding the array substrate and the upper substrate on which the transparent electrode is formed, and injecting the liquid crystal between the bonded substrates.

-- 제 2 실시예 --Second Embodiment

제 2 실시예는 본 발명에 따른 반사투과형 액정표시장치용 어레이기판에 투과부를 형성하는 것과 동시에 반사부를 형성함에 있어서, 상기 반사부에 의한 반사율을 더욱 크게 하는 구조에 관한 것이다.The second embodiment relates to a structure in which the reflecting portion is further increased in forming the reflecting portion at the same time as forming the transmitting portion on the array substrate for a reflective transmissive liquid crystal display device according to the present invention.

도 7은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ와 Ⅶ-Ⅶ을 따라 절단한 단면도이다FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI and VI-VII of FIG. 5. FIG.

전술한 도 6의 소스전극과 드레인전극을 형성하기 까지는 동일한 공정을 행함으로 생략하기로 한다. Until the source electrode and the drain electrode of FIG. 6 are formed, the same process will be omitted.

도시한 바와 같이, 상기 소스전극(121)과 드레인전극(123)이 형성된 기판(118)의 전면에 절연물질을 증착하에 제 1 보호층(128)을 형성한다.As illustrated, the first passivation layer 128 is formed by depositing an insulating material on the entire surface of the substrate 118 on which the source electrode 121 and the drain electrode 123 are formed.

다음으로, 상기 화소영역(도 5의 P)의 제 1 보호층(128) 상에 투과홀(115)을 포함하는 반사판(117a)을 형성한다. Next, a reflective plate 117a including a transmission hole 115 is formed on the first passivation layer 128 of the pixel area P of FIG. 5.

이 때, 상기 반사판(117a)의 표면은 굴곡진 요철형태이다. At this time, the surface of the reflecting plate 117a is in the form of curved irregularities.

상기 반사판(117a)이 형성된 기판(118)의 전면에 벤조사이클로 부텐(BCB)또는 아크릴과 같은 투명절연성 물질을 증착하여 상기 반사판(117a)의 표면을 평탄화 하도록 제 2 보호층(131)을 형성한다. 여기서 상기 제 2 보호층(131)은 굴곡진 반사판(117a)의 형태에 의해 액정층에 영향을 주지 않도록 하는 역할을 한다.A second protective layer 131 is formed to planarize the surface of the reflecting plate 117a by depositing a transparent insulating material such as benzocyclobutene (BCB) or acrylic on the entire surface of the substrate 118 on which the reflecting plate 117a is formed. . Here, the second protective layer 131 serves to prevent the liquid crystal layer from being affected by the shape of the curved reflective plate 117a.

다음으로, 상기 제 2 보호층(131)을 패터닝하여, 상기 드레인전극(123) 상부의 일부 제 1 보호층(128)과 제 2 보호층(131)을 식각하여 드레인콘택홀(127)을 형성한다,Next, the second protective layer 131 is patterned to form a drain contact hole 127 by etching some of the first protective layer 128 and the second protective layer 131 on the drain electrode 123. do,

다음으로 상기 제 2 보호층(131) 상부에 인튬-틴-옥사이드와 같은 투명도전성 금속을 증착하고 패터닝하여, 상기 드레인콘택홀(127)을 통해 상기 드레인전극(123)과 접촉하는 투명전극(129a)을 형성한다.Next, a transparent conductive metal such as indium tin-oxide is deposited and patterned on the second passivation layer 131 to contact the drain electrode 123 through the drain contact hole 127. ).

전술한 바와 같이, 상기 굴곡진 형태의 반사판(117a)을 형성함으로써, 반사특성이 뛰어난 액정표시장치를 얻을 수 있다.As described above, by forming the curved reflector plate 117a, a liquid crystal display device having excellent reflection characteristics can be obtained.

따라서, 본 발명에 따른 액정표시장치는 투과부와 반사부를 갖는 화소를 형성함에 있어서, 투과홀을 갖는 반사판의 상부에 드레인전극과 접촉하는 투명전극을 형성함으로써, 화소전극 자체는 단일층으로 형성됨으로 기존의 반사전극과 투명전극의 단차에 의한 전장의 왜곡문제가 발생하지 않는 장점이 있다. Accordingly, in the liquid crystal display according to the present invention, in forming a pixel having a transmissive part and a reflecting part, a transparent electrode contacting the drain electrode is formed on the reflective plate having the transmissive hole so that the pixel electrode itself is formed as a single layer. The distortion of the electric field due to the difference between the reflective electrode and the transparent electrode does not occur.

또한, 상기 반사판의 표면을 굴곡진 요철형태로 형성하여 반사특성이 뛰어난 투과반사형 액정표시장치를 제작할 수 있는 효과가 있다.







In addition, the surface of the reflector is formed in a curved concave-convex shape, there is an effect that can be produced a transmission reflection type liquid crystal display device excellent in reflection characteristics.







Claims (5)

기판을 구비하는 단계와;Providing a substrate; 상기 기판 상에 게이트배선과 게이트전극을 형성하는 단계와;Forming a gate wiring and a gate electrode on the substrate; 상기 게이트전극이 형성된 기판의 전면에 게이트절연층을 형성하는 단계와;Forming a gate insulating layer on an entire surface of the substrate on which the gate electrode is formed; 상기 게이트전극 상부의 게이트절연층 상에 액티브층을 형성하는 단계와;Forming an active layer on the gate insulating layer on the gate electrode; 상기 액티브층이 형성된 기판 상에 소스전극과, 드레인전극과 상기 게이트배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터배선을 형성하는 단계와;Forming a data wiring on the substrate on which the active layer is formed, the data wiring defining a pixel region by crossing the source electrode, the drain electrode and the gate wiring; 상기 소스전극과 드레인전극이 형성된 기판의 전면에 절연물질을 증착하여 제 1 보호층을 형성하는 단계와;Forming a first passivation layer by depositing an insulating material on an entire surface of the substrate on which the source and drain electrodes are formed; 상기 화소영역 상의 제 1 보호층 상에 투과홀을 포함하는 반사판을 형성하는 단계와 ;Forming a reflecting plate including a transmission hole on a first passivation layer on the pixel region; 상기 반사판이 형성된 기판의 전면에 절연물질을 증착하여 제 2 보호층을 형성하고, 상기 드레인전극 상부의 제 1 보호층과 제 2 보호층을 동시에 식각하여 드레인 콘택홀을 형성하는 단계와;Depositing an insulating material on an entire surface of the substrate on which the reflector is formed to form a second protective layer, and simultaneously forming a drain contact hole by simultaneously etching the first protective layer and the second protective layer on the drain electrode; 상기 드레인 콘택홀이 형성된 제 2 보호층 상에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 접촉하는 투명 도전성금속인 화소전극을 형성하는 단계Forming a pixel electrode of a transparent conductive metal contacting the drain electrode through the drain contact hole on the second protective layer where the drain contact hole is formed; 를 포함하는 투과반사용 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.Array substrate manufacturing method for a semi-reflective liquid crystal display device comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도전성 금속은 알루미늄, 몰리브덴, 텅스텐등의 도전성금속 그룹 중 선택된 하나인 어레이기판 제조방법.The conductive metal is an array substrate manufacturing method selected from the group of conductive metals, such as aluminum, molybdenum, tungsten. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연층과 보호층은 실리콘옥사이드(SiO2) 또는 실리콘나이트라이드 (SiNx)인 어레이기판 제조방법.The insulating layer and the protective layer is a silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x ) manufacturing method of the array substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 투명 도전성금속은 인듐-틴-옥사이드 또는 인듐-징크-옥사이드인 어레이기판 제조방법.The transparent conductive metal is indium tin oxide or indium zinc oxide manufacturing method of the array substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 반사판의 표면은 굴곡진 요철 형상을 갖는 액정표시장치 제조방법.The surface of the reflective plate has a curved concave-convex shape manufacturing method.
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