KR100653682B1 - semiconductor memory device - Google Patents
semiconductor memory device Download PDFInfo
- Publication number
- KR100653682B1 KR100653682B1 KR1020000026129A KR20000026129A KR100653682B1 KR 100653682 B1 KR100653682 B1 KR 100653682B1 KR 1020000026129 A KR1020000026129 A KR 1020000026129A KR 20000026129 A KR20000026129 A KR 20000026129A KR 100653682 B1 KR100653682 B1 KR 100653682B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- internal voltage
- internal
- level
- signal
- response
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/30—Marginal testing, e.g. by varying supply voltage
- G01R31/3004—Current or voltage test
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/50—Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/50—Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
- G11C2029/5004—Voltage
Abstract
본 발명은 반도체 메모리 장치를 공개한다. 그 장치는 패키지 테스트시에 내부 전압 측정 제어신호 및 복수개의 내부 전압 선택신호들을 저장하기 위한 모드 설정 레지스터, 복수개의 내부 전압 선택신호들 각각에 응답하여 복수개의 내부 전압들중의 하나를 선택하여 출력하기 위한 내부 전압 선택회로, 내부 전압 측정 제어신호에 응답하여 내부 전압 선택회로로부터 출력되는 신호를 패드로 전송하기 위한 패드 스위칭 회로, 및 내부 전압 측정 제어신호에 응답하여 정상 동작시에 패드로부터 전송되는 신호를 버퍼하여 출력하고, 패키지 테스트시에 디스에이블되는 버퍼로 구성되어 있다. 따라서, 세라믹 패키지상에서 내부 전압들을 측정하는 것이 아니라 실제 패키지 상태에서 내부 전압들을 측정하게 되므로 정확한 측정이 이루어질 수 있고, 반도체 메모리 장치의 신뢰성이 향상될 수 있다.The present invention discloses a semiconductor memory device. The device selects and outputs one of the plurality of internal voltages in response to each of the plurality of internal voltage selection signals and a mode setting register for storing the internal voltage measurement control signal and the plurality of internal voltage selection signals during package testing. An internal voltage selection circuit for transmitting, a pad switching circuit for transmitting a signal output from the internal voltage selection circuit in response to the internal voltage measurement control signal, and a pad switching circuit in normal operation in response to the internal voltage measurement control signal It consists of a buffer that is buffered and output and is disabled during package testing. Therefore, since the internal voltages are measured in the actual package state instead of measuring the internal voltages on the ceramic package, accurate measurement can be made and the reliability of the semiconductor memory device can be improved.
Description
도1은 본 발명의 반도체 메모리 장치의 실시예의 블록도이다.1 is a block diagram of an embodiment of a semiconductor memory device of the present invention.
도2는 도1에 나타낸 내부 전압 선택회로의 실시예의 회로도이다.FIG. 2 is a circuit diagram of an embodiment of the internal voltage selection circuit shown in FIG.
도3은 도1에 나타낸 패드 스위칭 회로의 실시예의 회로도이다.3 is a circuit diagram of an embodiment of the pad switching circuit shown in FIG.
도4는 도1에 나타낸 버퍼의 실시예의 회로도이다.4 is a circuit diagram of an embodiment of the buffer shown in FIG.
본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 패키지 상태에서 내부 전압들의 레벨을 측정할 수 있는 반도체 메모리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a semiconductor memory device capable of measuring the level of internal voltages in a package state.
반도체 메모리 장치의 내부에는 많은 내부 전압들이 사용되고 있다. 이 전압들은 외부에서 공급되는 외부 전원전압과 외부에서 공급되는 전압에 의해서 내부에서 발생되는 내부 전압들로 구분된다. Many internal voltages are used in the semiconductor memory device. These voltages are divided into internal voltages generated internally by externally supplied power voltages and externally supplied voltages.
이중 내부에서 발생되는 내부 전압들은 메모리 장치 내부의 회로들을 구동하는데 사용된다. 따라서, 메모리 장치 내부의 내부 전압들의 레벨이 메모리 장치 내부의 회로들을 구동하기에 적합한 레벨로 발생되고, 그 레벨들을 얼마만큼 유지하고 있느냐는 메모리 장치의 안정된 동작 구현에 매우 큰 의미가 있다.Internal voltages generated inside the dual circuit are used to drive circuits inside the memory device. Therefore, the level of the internal voltages inside the memory device is generated at a level suitable for driving circuits inside the memory device, and how much the levels are maintained is very significant for the stable operation of the memory device.
그러나, 종래의 반도체 메모리 장치는 패키지 상태에서 이러한 내부 전압들의 레벨을 직접 측정하는 방법이 불가능했다. However, the conventional semiconductor memory device has not been possible to directly measure the level of these internal voltages in a packaged state.
이는 패키지 상태에서 이들 내부 전압들이 외부의 핀들에 모두 연결되어 있지 않기 때문이다. 즉, 웨이퍼 상태에서는 칩 내부가 노출되어 있으므로 원하는 내부 전압들의 레벨을 직접 측정하는 것이 가능하였지만, 패키지 상태에서는 내부 전압들이 외부의 핀에 연결되어 있지 않기 때문에 내부 전압들의 레벨을 측정할 수 있는 방법이 없었다. This is because these internal voltages are not all connected to external pins in the package. That is, in the wafer state, since the inside of the chip was exposed, it was possible to directly measure the level of the desired internal voltages. However, in the package state, since the internal voltages are not connected to the external pin, there is a method of measuring the level of the internal voltages. There was no.
따라서, 종래의 반도체 메모리 장치는 이러한 내부 전원들을 측정하기 위하여 메모리 패키지와는 별도로 제작된 세라믹 패키지(ceramic package)를 사용하여 이러한 내부 전압들의 레벨을 측정하는 방법을 사용하였다. 세라믹 패키지는 메모리 칩 내부가 보이도록 제작된 패키지로서, 내부 전압들을 테스트 장비를 이용하여 직접 검침(probing)하여 측정할 수 있도록 제작되어 있다.Therefore, the conventional semiconductor memory device uses a method of measuring the level of these internal voltages by using a ceramic package manufactured separately from the memory package to measure such internal power supplies. The ceramic package is a package made so that the inside of the memory chip is visible. The ceramic package is manufactured by measuring the internal voltages directly by using a test equipment.
그런데, 내부 전압들의 레벨을 측정하기 위하여 세라믹 패키지를 특별하게 제작하여야 하고, 이러한 세라믹 패키지를 제작하는데 비용이 많이 든다는 단점이 있었다. However, in order to measure the level of the internal voltages, a special ceramic package has to be manufactured, and there is a disadvantage in that it is expensive to manufacture such a ceramic package.
그리고, 세라믹 패키지상에서의 내부 전압들의 레벨과 실제 패키지로 하였을 경우에 내부 전압들의 레벨과는 오차가 있을 수 있으므로 세라믹 패키지상에서 측정된 내부 전압들의 레벨이 실제 패키지상에서의 내부 전압들의 레벨과 동일하다고는 할 수 없다. 따라서, 정확한 측정이 이루어질 수 없다.In addition, since the level of the internal voltages on the ceramic package may be different from the level of the internal voltages in the actual package, the level of the internal voltages measured on the ceramic package is the same as the level of the internal voltages on the actual package. Can not. Therefore, accurate measurement cannot be made.
본 발명의 목적은 패키지 상태에서 내부 전압들의 레벨을 측정할 수 있는 반도체 메모리 장치를 제공하는데 있다. It is an object of the present invention to provide a semiconductor memory device capable of measuring the level of internal voltages in a package state.
이와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 메모리 장치는 패키지 테스트시에 내부 전압 측정 제어신호 및 복수개의 내부 전압 선택신호들을 저장하기 위한 모드 설정 레지스터, 상기 복수개의 내부 전압 선택신호들 각각에 응답하여 복수개의 내부 전압들중의 하나를 선택하여 출력하기 위한 내부 전압 선택수단, 상기 내부 전압 측정 제어신호에 응답하여 상기 내부 전압 선택수단으로부터 출력되는 신호를 패드로 전송하기 위한 패드 스위칭 수단, 및 상기 내부 전압 측정 제어신호에 응답하여 정상 동작시에 상기 패드로부터 전송되는 신호를 버퍼하여 출력하고, 상기 패키지 테스트시에 디스에이블되는 버퍼를 구비한 것을 특징으로 한다.The semiconductor memory device of the present invention for achieving the above object is a mode setting register for storing an internal voltage measurement control signal and a plurality of internal voltage selection signals during the package test, in response to each of the plurality of internal voltage selection signals Internal voltage selection means for selecting and outputting one of a plurality of internal voltages, a pad switching means for transmitting a signal output from the internal voltage selection means to a pad in response to the internal voltage measurement control signal, and the internal And a buffer which buffers and outputs a signal transmitted from the pad in normal operation in response to the voltage measurement control signal, and is disabled in the package test.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 반도체 메모리 장치를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a semiconductor memory device of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도1은 본 발명의 반도체 메모리 장치의 실시예의 블록도로서, 모드 설정 레지스터(10), 내부 전압 선택 회로(20), 패드 스위칭 회로(30), 버퍼(40), 및 패드(50)로 구성되어 있다.1 is a block diagram of an embodiment of a semiconductor memory device of the present invention, which comprises a
도1에 나타낸 블록도의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the block diagram shown in FIG. 1 will now be described.
모드 설정 레지스터(10)는 테스트시에 테스트 모드를 설정하기 위한 레지스터로서, 일반적으로 외부의 테스터(미도시)로부터 어드레스 핀들을 통하여 입력되는 테스트 모드 설정 데이터를 저장한다. 내부 전압 선택회로(20)는 모드 설정 레 지스터(10)로부터 출력되는 내부 전압 선택신호들(M1, M2, ..., Mn) 각각에 응답하여 내부 전압들(IP1, IP2, ..., IPn)을 각각 신호(PP)로 출력한다. 패드 스위칭 회로(30)는 내부 전압 측정 제어신호(MM)에 응답하여 신호(PP)를 신호(P)로 하여 패드(50)로 출력하고, 버퍼(40)의 동작을 제어하기 위한 신호(BU)를 출력한다. 버퍼(40)는 테스트시에는 신호(BU)에 응답하여 디스에이블되고, 정상 동작시에는 패드(50)를 통하여 입력되는 신호(IN)를 버퍼하여 버퍼된 신호(INP)를 발생한다.The
도2는 도1에 나타낸 내부 전압 선택회로의 실시예의 회로도로서, n개의 레벨 쉬프터 및 인버터들(20-11, 20-12, ..., 20-1n), 및 n개의 내부 전압 스위칭 회로들(20-21, 20-22, ..., 20-2n)로 구성되어 있다.FIG. 2 is a circuit diagram of the embodiment of the internal voltage selection circuit shown in FIG. 1, with n level shifters and inverters 20-11, 20-12, ..., 20-1 n, and n internal voltage switching circuits. (20-21, 20-22, ..., 20-2n).
레벨 쉬프터 및 인버터들(20-11, 20-12, ..., 20-1n) 각각은 PMOS트랜지스터들(P1, P2), NMOS트랜지스터들(N1, N2), 및 인버터(I1)로 구성된 레벨 쉬프터와 인버터(I2)로 구성되어 있다. 그리고, 내부 전압 스위칭 회로들(20-21, 20-22, ..., 20-2n) 각각은 PMOS트랜지스터들(P3)로 구성되어 있다. 레벨 쉬프터들 각각은 외부 전원전압(EVCC)과 접지전압사이에 연결되고, 인버터(I2) 또한 외부 전원전압(EVCC)과 접지전압사이에 연결되어 구성된다. 그리고, PMOS트랜지스터(P3)의 기판은 외부 전원전압(EVCC)에 연결되어 구성된다.Each of the level shifter and inverters 20-11, 20-12, ..., 20-1 n is composed of PMOS transistors P1 and P2, NMOS transistors N1 and N2, and inverter I1. It consists of a shifter and inverter I2. Each of the internal voltage switching circuits 20-21, 20-22,..., 20-2n is composed of PMOS transistors P3. Each of the level shifters is connected between an external power supply voltage EVCC and a ground voltage, and the inverter I2 is also connected between an external power supply voltage EVCC and a ground voltage. The substrate of the PMOS transistor P3 is connected to an external power supply voltage EVCC.
도2에 나타낸 회로의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the circuit shown in Fig. 2 is as follows.
내부 전압 선택신호들(M1, M2, ..., Mn)이 각각 "하이"레벨, "로우"레벨, ..., "로우"레벨이라고 가정하고 설명하면 다음과 같다.Assuming that the internal voltage selection signals M1, M2, ..., Mn are "high" level, "low" level, ..., "low" level, respectively, are as follows.
레벨 쉬프터 및 인버터(20-11)의 레벨 쉬프터는 "하이"레벨의 신호에 응답하 여 NMOS트랜지스터(N1)와 PMOS트랜지스터(P2)가 온되어 "하이"레벨의 신호를 발생한다. 그리고, 레벨 쉬프터 및 인버터(20-11)의 인버터(I2)는 "하이"레벨의 신호를 반전하여 접지전압 레벨의 신호(N1)를 발생한다. The level shifter and the level shifter of the inverter 20-11 turn on the NMOS transistor N1 and the PMOS transistor P2 in response to the "high" level signal to generate a "high" level signal. Then, the level shifter and the inverter I2 of the inverter 20-11 invert the signal of the "high" level to generate the signal N1 of the ground voltage level.
나머지 레벨 쉬프터 및 인버터들(20-12, ..., 20-1n) 각각의 레벨 쉬프터는 "로우"레벨의 신호들(M2, ..., Mn) 각각에 응답하여 NMOS트랜지스터(N2)가 온되어 접지전압 레벨의 신호를 발생한다. 레벨 쉬프터 및 인버터들(20-12, ..., 20-1n) 각각을 구성하는 인버터(I2)는 접지전압 레벨의 신호를 반전하여 외부 전원전압 레벨의 신호를 발생한다. 따라서, 레벨 쉬프터 및 인버터들(20-12, ..., 20-1n) 각각은 외부 전원전압 레벨의 신호들(N2, ..., Nn)을 각각 발생한다.The level shifter of each of the remaining level shifters and the inverters 20-12, ..., 20-1n is connected to the NMOS transistor N2 in response to each of the "low" level signals M2, ..., Mn. On to generate a signal at ground voltage level. The inverter I2 constituting each of the level shifter and the inverters 20-12, ..., 20-1n inverts the signal of the ground voltage level to generate a signal of the external power supply voltage level. Thus, each of the level shifter and inverters 20-12, ..., 20-1n generates signals N2, ..., Nn of the external power supply voltage level, respectively.
내부 전압 스위칭 회로(20-21)는 접지전압 레벨의 신호(N1)에 응답하여 온되어 내부 전압(IP1)을 신호(PP)로 출력한다.The internal voltage switching circuits 20-21 are turned on in response to the signal N1 of the ground voltage level to output the internal voltage IP1 as the signal PP.
나머지 내부 전압 스위칭 회로들(20-22, ..., 20-2n) 각각은 외부 전원전압 레벨의 신호들(N2, ..., Nn) 각각에 응답하여 오프된다.Each of the remaining internal voltage switching circuits 20-22, ..., 20-2n is turned off in response to each of the signals N2, ..., Nn of the external power supply voltage level.
즉, 측정하고자 하는 내부 전압(IP1)이 신호(PP)로서 출력된다.That is, the internal voltage IP1 to be measured is output as the signal PP.
이때, PMOS트랜지스터(P3)의 기판이 외부 전원전압(EVCC)에 연결되어 있으므로, 접지전압 레벨부터 내부 전원전압(IVC) 레벨사이의 다양한 내부 전압들(IP1, IP2, ..., IPn)이 신호(PP)로서 출력될 수 있다. At this time, since the substrate of the PMOS transistor P3 is connected to the external power supply voltage EVCC, various internal voltages IP1, IP2,..., And IPn between the ground voltage level and the internal power supply voltage IVC level are generated. It can be output as a signal PP.
도3은 도1에 나타낸 패드 스위칭 회로의 실시예의 회로도로서, 레벨 쉬프터(32), 인버터들(I4, I5), 및 PMOS트랜지스터(P6)로 구성되어 있다.FIG. 3 is a circuit diagram of the embodiment of the pad switching circuit shown in FIG. 1 and is composed of a level shifter 32, inverters I4 and I5, and a PMOS transistor P6.
레벨 쉬프터(32)는 PMOS트랜지스터들(P4, P5), NMOS트랜지스터들(N3, N4), 및 인버터(I3)로 구성되어 있다. 레벨 쉬프터(32)는 외부 전원전압(EVCC)과 접지전압사이에 연결되고, 인버터(I5)는 외부 전원전압(EVCC)과 접지전압 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터(P6)의 기판은 외부 전원전압(EVCC)에 연결되어 구성된다.The level shifter 32 is composed of PMOS transistors P4 and P5, NMOS transistors N3 and N4, and an inverter I3. The level shifter 32 is connected between the external power supply voltage EVCC and the ground voltage, and the inverter I5 is connected between the external power supply voltage EVCC and the ground voltage. The substrate of the PMOS transistor P6 is connected to an external power supply voltage EVCC.
도3에 나타낸 회로의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the circuit shown in Fig. 3 is as follows.
테스트시에 레벨 쉬프터(32)는 모드 설정 레지스터(10)로부터 인가되는 "하이"레벨의 내부 전압 측정 제어신호(MM)에 응답하여 NMOS트랜지스터(N3)와 PMOS트랜지스터(P5)가 온되어 외부 전원전압(EVCC) 레벨을 출력한다. 인버터(I5)는 외부 전원전압(EVCC) 레벨을 반전하여 접지전압 레벨을 출력한다. PMOS트랜지스터(P6)는 접지전압 레벨의 신호에 응답하여 온되어 신호(PP)를 신호(P)로 출력한다. 이때, PMOS트랜지스터(P6)의 기판이 외부 전원전압(EVCC)에 연결되어 있으므로 PMOS트랜지스터(P6)는 접지전압 레벨에서 내부 전원전압(IVC) 레벨사이의 다양한 내부 전압들을 출력하는 것이 가능하다.During the test, the level shifter 32 turns on the NMOS transistor N3 and the PMOS transistor P5 in response to the "high" level internal voltage measurement control signal MM applied from the
그리고, 인버터(I4)는 "하이"레벨의 내부 전압 측정 제어신호(MM)에 응답하여 "로우"레벨의 신호(BU)를 발생한다. "로우"레벨의 신호(BU)는 도1에 나타낸 버퍼(40)의 동작을 디스에이블한다.The inverter I4 generates a signal BU of the "low" level in response to the internal voltage measurement control signal MM of the "high" level. The signal BU at the " low " level disables the operation of the
정상 동작시에는 "로우"레벨의 내부 전압 측정 제어신호(MM)에 응답하여 레벨 쉬프터(32)는 "로우"레벨의 신호를 발생하고, 인버터(I5)는 "로우"레벨의 신호를 반전하여 외부 전원전압(EVCC)레벨의 신호를 발생한다. 따라서, PMOS트랜지스터(P6)가 오프됨으로써 신호(P)가 발생되지 않게 된다. 이때, 인버터(I4)는 "하이"레벨의 신호(BU)를 발생하고, "하이"레벨의 신호(BU)는 도1에 나타낸 버퍼(40)의 동작을 인에이블한다.In normal operation, the level shifter 32 generates a signal of the "low" level in response to the internal voltage measurement control signal MM of the "low" level, and the inverter I5 inverts the signal of the "low" level. Generates a signal of the external power supply voltage (EVCC) level. Accordingly, the signal P is not generated by turning off the PMOS transistor P6. At this time, the inverter I4 generates the signal BU of the "high" level, and the signal BU of the "high" level enables the operation of the
도4는 도1에 나타낸 버퍼의 실시예의 회로도로서, 차동 증폭기(42), PMOS트랜지스터(P10), PMOS트랜지스터(P11)와 NMOS트랜지스터(N7)로 구성된 인버터(44), 및 인버터(I6)로 구성되어 있다.FIG. 4 is a circuit diagram of the embodiment of the buffer shown in FIG. Consists of.
차동 증폭기(42)는 PMOS트랜지스터들(P7, P8, P9), 및 NMOS트랜지스터들(N5, N6)로 구성되어 있다. 차동 증폭기(42)와 인버터(44)는 내부 전원전압(IVC)과 접지전압사이에 연결되어 구성되고, PMOS트랜지스터(P10)의 소스가 내부 전원전압(IVC)에 연결되어 구성된다.The differential amplifier 42 is composed of PMOS transistors P7, P8 and P9, and NMOS transistors N5 and N6. The differential amplifier 42 and the inverter 44 are configured to be connected between the internal power supply voltage IVC and the ground voltage, and the source of the PMOS transistor P10 is connected to the internal power supply voltage IVC.
도4에 나타낸 회로의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the circuit shown in Fig. 4 is as follows.
정상 동작시에 "하이"레벨의 신호(BU)가 인가되면, PMOS트랜지스터(P7)가 온되어 차동 증폭기(42)의 동작이 인에이블된다. 차동 증폭기(42)의 동작이 인에이블되면 차동 증폭기(42)는 기준전압(VREFi)과 도1에 나타낸 패드(50)를 통하여 입력되는 신호(IN)를 비교하여 신호(A)를 출력한다. 차동 증폭기(42)는 만일 기준전압(VREFi)이 신호(IN)의 레벨보다 높다면 NMOS트랜지스터(N5)와 PMOS트랜지스터(P9)가 온되어 내부 전원전압(IVC) 레벨의 신호(A)를 발생한다. 인버터(44)는 신호(A)를 반전하여 접지전압 레벨의 버퍼된 신호(INP)를 발생한다. When the signal BU of the "high" level is applied in the normal operation, the PMOS transistor P7 is turned on to enable the operation of the differential amplifier 42. When the operation of the differential amplifier 42 is enabled, the differential amplifier 42 outputs a signal A by comparing the reference voltage VREFi with the signal IN input through the
테스트시에는 "로우"레벨의 신호(BU)에 응답하여 PMOS트랜지스터(P7)가 오프되어 차동 증폭기(42)의 동작이 디스에이블된다.In the test, the PMOS transistor P7 is turned off in response to the "low" level signal BU to disable the operation of the differential amplifier 42.
따라서, 도4에 나타낸 실시예의 버퍼는 테스트시에는 동작하지 않고, 정상 동작시에 패드(50)를 통하여 인가되는 신호(IN)를 버퍼하여 버퍼된 신호(INP)를 발 생한다.Therefore, the buffer of the embodiment shown in FIG. 4 does not operate during the test, but buffers the signal IN applied through the
상술한 실시예의 반도체 메모리 장치는 패키지 상태에서 접지전압 레벨에서 내부 전원전압(IVC) 레벨사이의 다양한 내부 전압들을 측정하는 것이 가능하다.The semiconductor memory device of the above-described embodiment can measure various internal voltages between the ground voltage level and the internal power supply voltage (IVC) level in the package state.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. I can understand that you can.
따라서, 본 발명의 반도체 메모리 장치는 패키지 상태에서 내부 전압들을 측정하는 것이 가능하므로 별도의 세라믹 패키지를 제작할 필요성이 없어지게 된다.Accordingly, the semiconductor memory device of the present invention can measure internal voltages in a package state, thereby eliminating the need to manufacture a separate ceramic package.
또한, 세라믹 패키지상에서 내부 전압들을 측정하는 것이 아니라 실제 패키지 상태에서 내부 전압들을 측정하게 되므로 정확한 측정이 이루어질 수 있다.In addition, since the internal voltages are measured in the actual package state rather than the internal voltages on the ceramic package, accurate measurement can be made.
따라서, 반도체 메모리 장치의 신뢰성이 향상될 수 있다.Therefore, the reliability of the semiconductor memory device can be improved.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020000026129A KR100653682B1 (en) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020000026129A KR100653682B1 (en) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | semiconductor memory device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010105564A KR20010105564A (en) | 2001-11-29 |
KR100653682B1 true KR100653682B1 (en) | 2006-12-04 |
Family
ID=19668743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020000026129A KR100653682B1 (en) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | semiconductor memory device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100653682B1 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7577050B2 (en) | 2005-09-29 | 2009-08-18 | Hynix Semiconductor, Inc. | Semiconductor memory device for measuring internal voltage |
KR100838389B1 (en) * | 2005-09-29 | 2008-06-13 | 주식회사 하이닉스반도체 | Measure circuit for inside-power voltage of memory device |
KR100810611B1 (en) | 2006-05-15 | 2008-03-07 | 삼성전자주식회사 | Level shifting circuit of semiconductor device |
KR20140016481A (en) | 2012-07-30 | 2014-02-10 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor device and method of driving the same |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0162032B1 (en) * | 1994-06-30 | 1999-02-01 | 기다오까 다까시 | Structure for externally identifying an internal state of a semiconductor device |
KR20000013810A (en) * | 1998-08-13 | 2000-03-06 | 윤종용 | Semiconductor device capable of controlling an internal signal in a package stage and a test method thereof |
-
2000
- 2000-05-16 KR KR1020000026129A patent/KR100653682B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0162032B1 (en) * | 1994-06-30 | 1999-02-01 | 기다오까 다까시 | Structure for externally identifying an internal state of a semiconductor device |
KR20000013810A (en) * | 1998-08-13 | 2000-03-06 | 윤종용 | Semiconductor device capable of controlling an internal signal in a package stage and a test method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010105564A (en) | 2001-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7173480B2 (en) | Device for controlling the operation of internal voltage generator | |
KR100314369B1 (en) | Semiconductor device | |
US20090003089A1 (en) | Semiconductor memory device having input device | |
JPH0689596A (en) | Parallel test circuit | |
US20080126894A1 (en) | Semiconductor integrated circuit which properly executes an operational test of a circuit under test in the semiconductor integrated circuit | |
US20030151962A1 (en) | Semiconductor integrated circuit device | |
KR100653682B1 (en) | semiconductor memory device | |
US8008943B2 (en) | Semiconductor device | |
US6711077B2 (en) | Wafer burn-in test and wafer test circuit | |
KR910006241B1 (en) | Mode select circuit test | |
US20060239100A1 (en) | Logic circuit setting optimization condition of semiconductor integrated circuit regardless of fuse cut | |
US8039274B2 (en) | Multi-chip package semiconductor device and method of detecting a failure thereof | |
US7876628B2 (en) | Data output circuit | |
KR100311972B1 (en) | Generation circuit of mode signal in semiconductor memory device | |
JP3595503B2 (en) | Semiconductor integrated circuit and test method therefor | |
KR20010105442A (en) | Semiconductor memory device | |
JP2003332902A (en) | Input buffer circuit and semiconductor integrated circuit device | |
KR100546276B1 (en) | Input buffer and input buffer control method of semiconductor memory device | |
US7477067B2 (en) | Semiconductor integrated circuit which can be burn-in-tested even when packaged and method of burn-in-testing semiconductor integrated circuit even when the semiconductor integrated circuit is packaged | |
US6496433B2 (en) | Semiconductor device and semiconductor device testing method | |
KR100434965B1 (en) | Sense amplifier driving apparatus, especially using a dynamic mode and a static mode selectively | |
KR19980060724A (en) | DC signal measuring circuit of semiconductor memory device | |
KR100200732B1 (en) | Semiconductor memory device having an operating condition changing means | |
KR100280486B1 (en) | Semiconductor pad function change circuit | |
JPH0566244A (en) | Scan path apparatus and semiconductor integrated circuit device containing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20091113 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |