KR100652857B1 - 반사식 공간 광 변조기의 구조 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 선택된 전압을 수용하기 위한 복수개의 전극과, 메모리 버퍼와, 비디오 신호 처리용 비디오 디스플레이 제어기와, 펄스 폭 변조 배열체를 포함하는 제어 회로 기판과,복수개의 마이크로 미러 판을 포함하는 비디오 디스플레이 픽셀들의 배열체와, 상기 복수개의 마이크로 미러 판을 제어 회로 기판으로부터 이격시키고 상기 마이크로 미러 판을 지지하기 위한 스페이서 지지 프레임과, 미러 판이 힌지에 의해 한정된 축을 중심으로 스페이서 지지 프레임에 대해 회전가능하게 하기 위해 각 힌지가 스페이서 지지 프레임 및 마이크로 미러 판에 직접 연결되는 복수개의 힌지를 포함하며 상기 제어 회로 기판에 접합되는 미러 배열체 기판을 포함하는, 디스플레이 애플리케이션용 공간 광 변조기.
- 제1항에 있어서, 복수개의 CMOS 변환기를 더 포함하며, 각각의 복수개의 전극은 상이한 CMOS 변환기에 의해 구동되는, 디스플레이 애플리케이션용 공간 광 변조기.
- 제1항에 있어서, 각각의 복수개의 마이크로 미러 판, 스페이서 지지 프레임, 및 각각의 복수개의 힌지는 단일 연속 재료 편의 부분인, 디스플레이 애플리케이션용 공간 광 변조기.
- 제3항에 있어서, 상기 재료는 단결정 실리콘인, 디스플레이 애플리케이션용 공간 광 변조기.
- 제1항에 있어서, 전극에 수용된 선택된 전압이 마이크로 미러 판의 회전 운동을 제어하기 위해 각 전극이 마이크로 미러 판 아래에 위치되고 마이크로 미러 판과 관련되도록 미러 배열체 기판은 제어 회로 기판과 정렬되는, 디스플레이 애플리케이션용 공간 광 변조기.
- 제1항에 있어서, 미러 배열체 기판은 섭씨 500 도 이하에서 수행되는 저온 접합법에 의해 제어 회로 기판과 접합되는, 디스플레이 애플리케이션용 공간 광 변조기.
- 선택된 전압을 수용하기 위한 복수개의 전극을 구비한 전극층과, 라인 메모리 버퍼 및 펄스폭 변조 배열체를 포함하는 제어 회로층을 포함하는 제어 회로 기판과,복수개의 마이크로 미러를 포함하는 비디오 픽셀 요소들의 배열체를 포함하고 제어 회로 기판에 접합되는 미러 배열체 기판을 포함하는, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기이며,상기 복수개의 마이크로 미러는, 복수개의 마이크로 미러 판과, 상기 복수개의 마이크로 미러 판을 제어 회로 기판으로부터 이격시키고 상기 마이크로 미러 판을 지지하기 위한 스페이서 지지 프레임과, 미러 판이 힌지에 의해 한정된 축을 중심으로 스페이서 지지 프레임에 대해 회전가능하게 하기 위해 각 힌지가 스페이서 지지 프레임 및 마이크로 미러 판에 직접 연결되는 복수개의 힌지를 포함하는, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 제7항에 있어서, 미러 배열체 기판의 마이크로 미러는 단일 연속 재료 편으로 제조되는, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 제8항에 있어서, 상기 단일 연속 재료 편은 단결정 실리콘인, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 삭제
- 제7항에 있어서, 마이크로 미러 판, 스페이서 지지 프레임, 및 힌지는 단일 연속 재료 편으로 제조되는, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 제7항에 있어서, 각 전극에 의해 수용된 선택된 전압이 관련된 미러 판의 회전 운동을 제어하기위해 작용하도록 미러 배열체 기판의 각각의 마이크로 미러 판은 제어 회로 기판의 복수개의 전극중 적어도 하나와 정렬되고 관련된, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 제7항에 있어서, 미러 배열체 기판은 섭씨 500 도 이하에서 수행되는 저온 접합법에 의해 제어 회로 기판과 접합되는, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 제7항에 있어서, 제어 회로 기판의 복수개의 전극은 패시베이션 층 상에 있는, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 제14항에 있어서, 상기 패시베이션 층은 라인 메모리 버퍼 및 펄스 폭 변조 배열체를 포함하는 회로층 상에 있는, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 제15항에 있어서, 상기 회로층은 비디오 신호를 처리하도록 구성된 비디오 디스플레이 제어기를 더 포함하는, 비디오 디스플레이용 단일 칩 공간 광 변조기.
- 단일 칩 상에 통합된 마이크로 미러 배열체 및 제어 회로를 모두 가지는 비디오 디스플레이 엔진용 공간 광 변조기이며,복수개의 마이크로 미러 판을 포함하는 비디오 픽셀 배열체와, 복수개의 마이크로 미러 판을 제어 회로 기판으로부터 이격시키고 마이크로 미러 판을 지지하기 위한 스페이서 지지 프레임과, 미러 판이 힌지에 의해 한정된 축을 중심으로 스페이서 지지 프레임에 대해 회전가능하게 하기 위해 각 힌지가 스페이서 지지 프레임 및 마이크로 미러 판에 직접 연결되는 복수개의 힌지를 포함하는 미러 배열체 기판과,복수개의 메모리 버퍼 및 펄스 폭 변조 배열체를 포함하는 제어 회로를 구비한 제어 회로층과, 제어회로로부터 선택된 전압을 수용하기 위해 제어 회로에 연결되며 각 전극은 전극에 의해 수용된 선택된 전압이 관련된 마이크로 미러 판의 회전 및 광이 관련된 마이크로 미러 판으로부터 반사되는 위치를 제어하는 전기장을 생성하도록 미러 배열체 기판의 복수개의 마이크로 미러 판과 관계된 복수개의 전극을 갖는 전극층을 구비한 제어 회로 기판을 포함하며,상기 제어 회로 및 제어 회로 기판의 전극이 제조되고, 이 후 제어 회로 기판이 미러 배열체 기판에 접합되는, 비디오 디스플레이 엔진용 공간 광 변조기.
- 제17항에 있어서, 마이크로 미러 판, 스페이서 지지 프레임 및 힌지는 단일 연속 재료 편으로 제조되는, 비디오 디스플레이 엔진용 공간 광 변조기.
- 제17항에 있어서, 마이크로 미러 배열체는 마이크로 미러 판들 아래에 공동들을 형성하는 것을 포함하여 부분적으로 제조된 후, 제어 회로 기판에 접합되고, 이후 마이크로 미러 배열체의 제조가 마이크로 미러 판들을 해제하는 것을 포함하여 완료되는, 비디오 디스플레이 엔진용 공간 광 변조기.
- 제17항에 있어서, 미러 배열체 기판은 섭씨 500도 이하에서 수행되는 저온 접합법에 의해 제어 회로 기판과 접합되는, 비디오 디스플레이 엔진용 공간 광 변조기.
- 제1항에 있어서, 각각의 힌지는 마이크로 미러 판의 내부로 연장하며, 마이크로 미러 판을 두 측면으로 분리시키는, 디스플레이 애플리케이션용 공간 광 변조기.
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