KR100640336B1 - Image sensor assembly - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 이미지 센서 조립체는, 관통홀을 갖는 커버 기판과; 상기 관통홀의 하측을 덮도록 상기 커버 기판에 고정되며, 상기 관통홀을 통해 노출된 수광 회로를 갖는 이미지 검출을 위한 이미지 센서와; 상기 관통홀의 상측을 덮도록 상기 커버 기판에 고정된 투명 부재를 포함한다.An image sensor assembly according to the present invention includes a cover substrate having a through hole; An image sensor fixed to the cover substrate to cover a lower side of the through hole, the image sensor having a light receiving circuit exposed through the through hole; It includes a transparent member fixed to the cover substrate to cover the upper side of the through hole.
이미지 센서, CSP, COB, 패키징 방식, 기판, 수광 회로 Image sensor, CSP, COB, packaging method, board, light receiving circuit
Description
도 1은 종래의 COF 방식을 설명하기 위한 도면,1 is a view for explaining a conventional COF scheme,
도 2는 종래의 COB 방식을 설명하기 위한 도면,2 is a view for explaining a conventional COB scheme,
도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 이미지 센서 조립체를 나타내는 단면도,3 is a cross-sectional view showing an image sensor assembly according to a first preferred embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 이미지 센서 조립체를 나타내는 단면도,4 is a cross-sectional view showing an image sensor assembly according to a second preferred embodiment of the present invention;
도 5는 도 3에 도시된 이미지 센서 조립체를 CSP 방식에 적용한 예를 나타낸 도면,5 is a view showing an example of applying the image sensor assembly shown in Figure 3 to the CSP method,
도 6은 도 3에 도시된 이미지 센서 조립체를 COB 방식에 적용한 예를 나타낸 도면,6 is a view showing an example of applying the image sensor assembly shown in Figure 3 to the COB method,
도 7은 도 4에 도시된 이미지 센서 조립체를 COB 방식에 적용한 예를 나타낸 도면.7 is a view showing an example of applying the image sensor assembly shown in Figure 4 to the COB method.
본 발명은 이미지 센서(image sensor)에 관한 것으로서, 특히 수광 회로(light receiving circuit)가 밀봉되는 이미지 센서 조립체(image sensor assembly)에 관한 것이다. 상기 수광 회로는 외부로부터 광을 입력받는 부분이다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to an image sensor, and more particularly to an image sensor assembly in which a light receiving circuit is sealed. The light receiving circuit is a portion that receives light from the outside.
휴대 전화용 카메라 모듈(camera module)은 점점 자동초점기능, 광학줌 기능 등 다양한 부가 기능을 갖도록 진화하고 있다. 특히, 디지탈 카메라 수준의 고화소로 빠르게 옮겨가고 있는 동시에 사이즈(size)의 소형화가 요구된다. 카메라 모듈에 구비되는 이미지 센서를 패키징(packaging)하는 방식에는 크게 COB(chip on board) 방식, COF(chip on film) 방식, CSP(chip scale package) 방식 등이 존재하며, 고화소 카메라 모듈에서는 공정이 안정적인 COB 방식이 선호되고 있다. 1 메가(mega) 이하의 저화소급에서는 대량 생산이 용이한 COF 방식이 주로 적용되고 있다. 이미지 센서의 패키징 공정은 이미지 센서가 외부와 전기 신호를 교신하도록 하며, 외부의 충격에 견딜 수 있도록 밀봉하는 공정을 말한다. 이미지 센서는 영상 신호를 전기 신호로 변환하는 반도체 칩으로서, 크게 CMOS(complementary metal oxide semiconductor) 이미지 센서와, CCD(charger coupled devices) 이미지 센서로 나눌 수 있으며, 저전력, 고집적의 가능성이 CMOS 타입이 저해상도의 열세에도 불구하고, 향후 광범위한 응용을 위해 그 성능을 향상시키려는 연구가 꾸준히 이루어지고 있다. Camera modules for mobile phones are gradually evolving to have various additional functions such as autofocus and optical zoom. In particular, while moving quickly to a high pixel level of a digital camera, a downsizing of the size is required. There are largely a chip on board (COB) method, a chip on film (COF) method, and a chip scale package (CSP) method for packaging an image sensor included in the camera module. Stable COB method is preferred. In low pixel class below 1 mega, COF method which is easy to mass production is mainly applied. The packaging process of the image sensor refers to a process in which the image sensor communicates electrical signals with the outside, and is sealed to withstand external shocks. An image sensor is a semiconductor chip that converts an image signal into an electrical signal. The image sensor can be broadly divided into a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) image sensor and a charge coupled device (CCD) image sensor. In spite of the inferiority of the company, there is a constant research to improve its performance for a wide range of applications in the future.
도 1은 종래의 COF 방식을 설명하기 위한 도면이다. COF 방식은 수광 회로(135)를 갖는 이미지 센서(130)의 표면에 외부 접속 단자인 범프를 형성하고(범핑 (bumping)이라고 칭함), 연성 인쇄회로기판(flexible printed circuit board: FPCB, 110)에 구비된 홀(hole, 115) 상측을 덮도록 적외선 차단 필터(infra-red cut-off filter: IR filter) 또는 글래스와 같은 투명 커버(transparent cover, 140)를 에폭시(epoxy)로 디스펜싱(dispensing)하여 상기 연성 인쇄회로기판(110)에 부착하며, 상기 홀(115)의 하단 둘레에 배치된 도전성 접착제인 ACF(anisotropic conductive film, 120)와 상기 범프가 접촉되도록 상기 이미지 센서(130)를 상기 연성 인쇄회로기판(110)의 하단에 부착시키는(플립칩 본딩(flip chip bonding)이라고 칭함) 방식을 말한다. COF 방식은 상기 이미지 센서(130)를 상기 연성 인쇄회로기판(110)의 하단에 부착시키기 때문에 소형화에 유리하다. COF 방식은 자동화에 어려움이 있으나, 30만 화소급 CMOS 이미지 센서를 적용하는 카메라 모듈에서는 점차 보편적인 양산 방법으로 적용되고 있다. 1 is a view for explaining a conventional COF method. The COF method forms bumps, which are external connection terminals (called bumping), on the surface of the
도 2는 종래의 COB 방식을 설명하기 위한 도면이다. COB 방식은 인쇄회로기판(210) 상에 수광 회로를 갖는 이미지 센서(220)를 부착하고(다이 접착(die attaching)이라고 칭함), 상기 인쇄회로기판(210)과 상기 이미지 센서(220)를 와이어(240)와 본딩 패드(bonding pad, 230)를 이용하여 전기적으로 연결하는(와이어 본딩(wire bonding)이라고 칭함) 방식을 말한다. COB 방식은 검증된 기술이기 때문에, 공정이 안정적이고 신뢰성이 좋다는 이점이 있다. 한편, 상기 인쇄회로기판(210) 상에 상기 이미지 센서(220)가 부착되고, 와이어 본딩을 위한 공간이 확보되어야 하므로, 높이 측면에서 COF 방식에 비해 불리하다. 2 is a view for explaining a conventional COB method. The COB method attaches an
마지막 종래 예로서, 공지된 CSP 방식은 이미지 센서와 직접 부착되는 유리 와의 전극 연결을 웨이퍼 공정 상에서 구현할 수 있고, 와이어 본딩이 필요치 않다는 이점이 있으므로, 향후 소형 집적화에 있어서 넓은 응용성을 가질 것으로 예상되는 방식이다. As a last conventional example, the known CSP method can realize the electrode connection between the image sensor and the glass directly attached to the wafer process, and there is an advantage that wire bonding is not required, and thus it is expected to have wide applicability in future small integration. That's the way.
그러나, 상술한 바와 같은 COB 및 COF 방식들은 이미지 센서의 수광 회로가 공정 중에 노출되므로 파티클(particle)에 의한 오염이 빈번히 발생한다는 문제점이 있다. 이러한 경우에 상기 수광 회로 중 파티클이 붙은 부분은 작동하지 않게 되어 불량처리되고, 전체 수율을 떨어뜨리는 원인이 된다. 또한, 이러한 불량은 사후 공정으로도 제거하기 어려우므로, 이러한 불량을 줄이기 위해서 청정도가 극히 높은 작업 환경이 요구된다는 문제점이 있다. However, the COB and COF schemes described above have a problem in that contamination by particles occurs frequently because the light receiving circuit of the image sensor is exposed in the process. In such a case, the part to which the particle | grains of the said light-receiving circuit adheres will become inoperable, and will be badly processed, and will cause the whole yield to fall. In addition, since such defects are difficult to remove by a post process, there is a problem that an extremely high working environment is required to reduce such defects.
또한, CSP 방식은 사후 공정으로 클리닝(cleaning) 작업을 수행함으로써 위 두 방식들의 문제점을 제거할 수 있으나, 그 제작 공정이 통상의 제작 공정들과 상이하고, 부가적인 과정들이 많이 필요하다는 문제점이 있다. In addition, the CSP method can eliminate the problems of the above two methods by performing a cleaning operation in a post process, but the manufacturing process is different from the conventional manufacturing processes, there is a problem that many additional processes are required. .
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 이미지 센서의 오염을 최소화하고, COB 방식과 CSP 방식에 적용 가능한 이미지 센서 조립체를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention to minimize the contamination of the image sensor, to provide an image sensor assembly applicable to the COB method and the CSP method.
상기한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 이미지 센서 조립체는, 관통홀을 갖는 커버 기판과; 상기 관통홀의 하측을 덮도록 상기 커버 기판에 고정되며, 상기 관통홀을 통해 노출된 수광 회로를 갖는 이미지 검출을 위한 이미지 센 서와; 상기 관통홀의 상측을 덮도록 상기 커버 기판에 고정된 투명 부재를 포함한다.In order to solve the above problems, the image sensor assembly according to the present invention comprises a cover substrate having a through hole; An image sensor fixed to the cover substrate to cover a lower side of the through hole, the image sensor having a light receiving circuit exposed through the through hole; It includes a transparent member fixed to the cover substrate to cover the upper side of the through hole.
이하에서는 첨부도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능이나 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention; In describing the present invention, detailed descriptions of related well-known functions and configurations are omitted in order not to obscure the subject matter of the present invention.
도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 이미지 센서 조립체를 나타내는 단면도이다. 상기 이미지 센서 조립체(300)는 이미지 센서(310), 커버 기판(cover substrate, 360), 투명 부재(transparent member, 370), 전극들(electrode, 382,384) 및 밀봉 부재(sealing member, 350)를 포함한다. 3 is a cross-sectional view illustrating an image sensor assembly according to a first exemplary embodiment of the present invention. The
상기 이미지 센서(310)는 기판(315)과, 상기 기판(315)의 상측에 위치한 회로층(circuit layer, 320)과, 상기 회로층(320) 상의 수광 회로(330)와, 상기 수광 회로(330)의 둘레에 배치된 상기 회로층(330) 상의 외부 접속 단자들(342,344)을 포함한다. The
상기 기판(315)은 전체적으로 사각 평판의 형상을 갖는다. The
상기 수광 회로(330)는 외부로부터 광을 입력받기 위해 상기 이미지 센서(310)의 표면에 노출되어 있으며, 상기 기판(315)의 중앙부에 위치하고, 전체적으로 사각형의 형상을 갖는다. The
상기 외부 접속 단자들(342,344)은 상기 수광 회로(330)의 가장 자리로부터 이격되어 사각형의 형상으로 상기 이미지 센서(310)의 표면에 노출되어 있다. 상기 이미지 센서(310)는 CMOS 이미지 센서 또는 CCD 이미지 센서일 수 있으며, 상기 외부 접속 단자들(342,344)은 범프들(bump) 또는 패드들(pad)일 수 있다. The
상기 커버 기판(360)은 그 중앙부에 관통홀(362)을 가지며, 상기 관통홀(362)을 통해 상기 수광 회로(330)가 노출될 수 있도록 상기 이미지 센서(310)의 상면에 탑재된다. The
상기 투명 부재(370)는 통상적으로 윈도우(window)라고 칭하는 부분으로서, 상기 관통홀(362)의 상측을 덮도록 상기 커버 기판(360)의 상단에 고정되며, 적외선 파장 대역은 반사시키고, 나머지 파장 대역은 통과시키는 적외선 필터(IR filter)로서 기능한다. The
상기 각 전극(382;384)은 상기 투명 부재(370)의 가장자리(상기 커버 기판(360)의 상단과 접하는 부분) 표면으로부터 상기 관통홀(362)을 이루는 내벽을 따라 해당 외부 접속 단자(342;344)까지 연장된다. 즉, 상기 각 전극(382;384)의 하단은 상기 커버 기판(360)의 하단 상에 해당 외부 접속 단자(342;344)의 면적과 유사한 면적을 갖도록 적층되어 있다. 이후, 상기 각 전극(382;384)의 상단 상에 인쇄회로기판과의 전기 접속을 위한 솔더 볼(solder ball)이 놓여질 수 있다. Each of the
상기 밀봉 부재(350)는 상기 외부 접속 단자들(342,344)로부터 외측으로 이격되어 사각형의 형상으로 상기 이미지 센서(310)의 상단 및 상기 커버 기판(360)의 하단 사이에 배치된다. 상기 밀봉 부재(350)는 금속 재질로서 상기 수광 회로(330)의 측면 둘레를 밀봉하는 기능을 한다. 즉, 상기 수광 회로(330)는 상기 커버 기판(360), 투명 부재(370) 및 밀봉 부재(350)에 의해 그 상측 및 측면 둘레가 완전히 밀봉된다. The sealing
상기 이미지 센서(310)는 통상의 제작 공정에 의해 제작될 수 있으며, 예를 들자면 아래와 같다. The
첫 째, 상부 웨이퍼(upper wafer)의 제1 측에 산화(oxidation) 및 박막 증착을 통해 상기 투명 부재(370)를 증착한다. First, the
둘 째, 상기 상부 웨이퍼의 제2 측에 사진식각 공정(photolithography)을 통해 관통홀(362) 형성을 위한 패턴(pattern)을 형성하고, 상기 투명 부재(370)가 드러날 때까지 벌크 습식 에칭(bulk wet etching)을 수행함으로써 상기 상부 웨이퍼를 관통하는 홀(362)을 형성한다. Second, a pattern for forming the through
셋 째, 증착 및 드릴링(drilling) 공정을 통해 상기 전극들(382,384)을 형성한다. Third, the
넷 째, 상기 상부 웨이퍼를 상기 이미지 센서(310)가 배열된 하부 웨이퍼(lower wafer) 상에 본딩한다. Fourth, the upper wafer is bonded onto a lower wafer on which the
다섯 째, 다이싱(dicing) 및 클리닝 공정을 통해 도 3에 도시된 바와 같은 구조의 이미지 센서 조립체(300)를 생성한다. Fifth, an
도 4는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 이미지 센서 조립체를 나타내는 단면도이다. 상기 이미지 센서 조립체(400)는 이미지 센서(410), 커버 기판(460), 투명 부재(470) 및 밀봉 부재(450)를 포함한다. 4 is a cross-sectional view illustrating an image sensor assembly according to a second exemplary embodiment of the present invention. The
상기 이미지 센서(410)는 기판(415)과, 상기 기판(415)의 상측에 위치한 회 로층(420)과, 상기 회로층(420) 상의 수광 회로(430)와, 상기 수광 회로(430)의 둘레에 배치된 상기 회로층(420) 상의 외부 접속 단자들(442,444)을 포함한다. The
상기 기판(415)은 전체적으로 사각 평판의 형상을 갖는다. The
상기 수광 회로(430)는 외부로부터 광을 입력받기 위해 상기 이미지 센서(410)의 표면에 노출되어 있으며, 상기 기판(415)의 중앙부에 위치하고, 전체적으로 사각형의 형상을 갖는다. The
상기 외부 접속 단자들(442,444)은 상기 수광 회로(430)의 가장 자리로부터 이격되어 사각형의 형상으로 상기 이미지 센서(410)의 표면에 노출되어 있다. The
상기 커버 기판(460)은 그 중앙부에 관통홀(462)을 가지며, 상기 관통홀(462)을 통해 상기 수광 회로(430)가 노출될 수 있도록 상기 이미지 센서(410)의 상면에 탑재된다. The
상기 투명 부재(470)는 통상적으로 윈도우라고 칭하는 부분으로서, 상기 관통홀(462)의 상측을 덮도록 상기 커버 기판(460)의 상단에 고정되며, 적외선 파장 대역은 반사시키고, 나머지 파장 대역은 통과시키는 적외선 필터로서 기능한다. The
상기 밀봉 부재(450)는 상기 수광 회로(430) 및 외부 접속 단자들(442,444)의 사이, 그리고 상기 이미지 센서(410)의 상단 및 상기 커버 기판(460)의 하단 사이에 사각형의 형상으로 배치된다. 상기 밀봉 부재(450)는 에폭시 재질로서 상기 수광 회로(430)의 측면 둘레를 밀봉하는 기능을 한다. 즉, 상기 수광 회로(430)는 상기 커버 기판(460), 투명 부재(470) 및 밀봉 부재(450)에 의해 그 상측 및 측면 둘레가 완전히 밀봉된다. The sealing
상기 이미지 센서 조립체(400)는 CSP 방식에는 적용하기 어렵지만, 도 3에 도시된 구성에 비하여 간단한 구성을 갖고, 파티클로부터의 보호 기능을 효과적으로 구현할 수 있다. 또한, COB 방식 및 COF 방식에 적용 가능한 구성이다. Although the
도 5는 도 3에 도시된 이미지 센서 조립체를 CSP 방식에 적용한 예를 나타낸 도면이다. 도 5에는 상기 이미지 센서 조립체(300)와 중앙부에 홀(512)을 갖는 인쇄회로기판(510)이 도시되어 있다. 5 is a diagram illustrating an example in which the image sensor assembly illustrated in FIG. 3 is applied to a CSP method. FIG. 5 shows a printed
상기 이미지 센서 조립체(300)는 전극들(382,384)의 상단에 놓여진 솔더 볼들(522,524)에 의해 상기 인쇄회로기판(510)과 전기 접속된다. 또한, 상기 솔더 볼들(522,524)은 상기 인쇄회로기판(510)의 홀(512) 둘레에 배치된다. 상기 인쇄회로기판(510)의 홀(512)을 통과한 광은 투명 부재(370)를 통과하여 수광 회로(330)에 입사된다. The
본 방식은 COB 방식과는 달리 와이어 본딩을 위한 공간을 필요치 않으므로, 실장 면적이 최소화된다는 이점이 있다. Unlike the COB method, the present method does not require a space for wire bonding, so that the mounting area is minimized.
도 6은 도 3에 도시된 이미지 센서 조립체를 COB 방식에 적용한 예를 나타낸 도면이다. 도 6에는 상기 이미지 센서 조립체(300)와 인쇄회로기판(610)이 도시되어 있다. FIG. 6 is a diagram illustrating an example in which the image sensor assembly illustrated in FIG. 3 is applied to a COB method. 6 illustrates the
상기 이미지 센서 조립체(300)는 상기 인쇄회로기판(610)의 상면에 탑재되며, 상기 이미지 센서 조립체(300)의 전극들(382,384)은 상기 인쇄회로기판(610) 상의 본딩 패드들(bonding pad, 622,624)과 와이어 본딩을 통해 전기 접속된다. The
도 7은 도 4에 도시된 이미지 센서 조립체를 COB 방식에 적용한 예를 나타낸 도면이다. 도 7에는 상기 이미지 센서 조립체(400)와 인쇄회로기판(710)이 도시되어 있다. FIG. 7 is a diagram illustrating an example in which the image sensor assembly illustrated in FIG. 4 is applied to a COB method. 7 illustrates the
상기 이미지 센서 조립체(400)는 상기 인쇄회로기판(710)의 상면에 탑재되며, 상기 이미지 센서 조립체(400)의 외부 접속 단자들(442,444)은 상기 인쇄회로기판(710) 상의 본딩 패드들(722,724)과 와이어 본딩을 통해 전기 접속된다. The
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 이미지 센서 조립체는 이미지 센서를 파티클로부터 보호하는 커버 기판 및 투명 부재를 포함함으로써, 상기 이미지 센서의 오염을 최소화하고, COB 방식과 CSP 방식에 적용 가능하다는 이점이 있다. As described above, the image sensor assembly according to the present invention includes a cover substrate and a transparent member that protect the image sensor from particles, thereby minimizing contamination of the image sensor, and has an advantage of being applicable to a COB method and a CSP method. .
또한, 상기 이미지 센서 조립체를 카메라 모듈에 적용시 불량율을 줄임으로써 모듈 제작의 수율을 향상시킬 수 있다는 이점이 있다. In addition, there is an advantage that the yield of the module can be improved by reducing the defective rate when the image sensor assembly is applied to the camera module.
또한, 상기 이미지 센서는 CSP 방식에 적용 가능하므로, 부품의 소형화를 통한 고밀화된 패키지 구조에 적합하므로, 여러 기능들을 갖는 고밀화된 카메라 모듈의 제작을 가능하게 한다는 이점이 있다. In addition, since the image sensor is applicable to the CSP method, the image sensor is suitable for a compact package structure through miniaturization of components, and thus, there is an advantage of enabling the manufacture of a densified camera module having various functions.
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050014246A KR100640336B1 (en) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | Image sensor assembly |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050014246A KR100640336B1 (en) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | Image sensor assembly |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060093220A KR20060093220A (en) | 2006-08-24 |
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Family
ID=37601419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050014246A KR100640336B1 (en) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | Image sensor assembly |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100640336B1 (en) |
-
2005
- 2005-02-21 KR KR1020050014246A patent/KR100640336B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060093220A (en) | 2006-08-24 |
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