KR100634159B1 - A vertical chemical vapor deposition apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 종형 CVD 장치에 관한 것으로, 핀홀을 갖는 고정 플레이트, 정렬핀을 갖는 플랜지와, 플랜지를 고정 플레이트로/로부터 로딩/언로딩시키기 위한 장치와; 상기 플랜지상에 착탈 가능하게 설치되고, 일부가 상기 고정 플레이트의 핀홀까지 연장되어 플랜지가 로딩되지 않은 상태에서 고정 플레이트의 핀홀과 의 정렬 여부를 확인하기 위한 정렬 부재를 구비한다.The present invention relates to a longitudinal CVD apparatus, comprising: a fixed plate having pinholes, a flange having alignment pins, and an apparatus for loading / unloading the flange into / from the fixed plate; Removably installed on the flange, a portion extends to the pinhole of the fixing plate is provided with an alignment member for confirming the alignment of the pinhole with the fixing plate in the state that the flange is not loaded.

Description

종형 씨브이디장치{A VERTICAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS}Vertical type CD device {A VERTICAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS}

도 1은 종래 종형 CVD장치를 개략적으로 보여주는 도면;1 is a schematic view of a conventional vertical CVD apparatus;

도 2는 본 발명에 따른 종형 CVD 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.2 is a schematic view of a vertical CVD apparatus according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110 : 고정 플레이트 112 : 핀홀110: fixing plate 112: pinhole

120 : 히터 챔버 130 : 플랜지120: heater chamber 130: flange

132 : 정렬핀 140 : 정렬 부재132: alignment pin 140: alignment member

142 : 고정링 144 : 라이너142: fixing ring 144: liner

146 : 휨방지 링146: bending ring

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 CVD장치에 관한 것이다.The present invention relates to a CVD apparatus used in a semiconductor manufacturing process.

수직형 퍼니스 장치에서 공정 튜브는 외부와 차단되어 진공상태를 유지하여야 하며, 진공 상태의 석영 튜브 내에 웨이퍼를 넣고 공정 가스를 석영 튜브의 하단부 플랜지를 통해 튜브 내로 유입시켜 공정을 진행 막질을 형성시킨다. 이때 막질은 웨이퍼 표면외에 튜브 및 플랜지 등의 구조물 내벽에도 생성되며, 구조물 내 벽에 쌓인 막질은 파티클 생성의 주 요인으로 작용하게 된다.In the vertical furnace apparatus, the process tube is to be isolated from the outside to maintain the vacuum state, the wafer is placed in the vacuum quartz tube and the process gas is introduced into the tube through the lower flange of the quartz tube to form a process film. In this case, the film quality is generated on the inner wall of the structure such as the tube and the flange in addition to the wafer surface, and the film quality accumulated on the wall of the structure acts as a major factor of particle generation.

도 1을 참조하면, 따라서, 플랜지(15) 및 튜브(14) 등의 구조물은 일정 주기 또는 일정 막질 이상이 되면 분해하여 크리닝을 실시한다. 분해는 세팅시와는 달리 이미 맞추어진 구조물의 분리라는 점에서 따로 주의할 사항은 없으나, 세팅시에는 플랜지(15)의 정렬핀(16)과 고정 플레이트(12)의 핀홀(13)이 일치되지 않을 경우, 석영 튜브(14)가 히터(17)내 삽입될 때 고정 플레이트(12)에 부딪쳐 파손되는 경우가 발생하며, 고정 볼트의 고정도 위치가 맞지 않아 불가능하게 된다.Referring to FIG. 1, therefore, structures such as the flange 15 and the tube 14 are decomposed and cleaned when a predetermined period or a predetermined film quality or more occurs. Disassembly does not take special care in that it is a separation of a structure that is already fitted unlike setting, but in setting, the alignment pin 16 of the flange 15 and the pinhole 13 of the fixing plate 12 do not coincide. Otherwise, the quartz tube 14 hits the fixing plate 12 when it is inserted into the heater 17 and breaks, and the high precision position of the fixing bolt does not match, making it impossible.

종래 세팅 과정은 플랜지의 정렬핀(16)과 고정 플레이트의 핀홀(13)간의 정렬이 정확히 맞았을 경우 가능하며, 안 맞을 경우 석영 튜브 및 고정 실링 부품들의 하중에 의해 조정이 불가능하기 때문에 다시 해체해야 하는 번거로움이 있다.The conventional setting procedure is possible when the alignment between the alignment pin 16 of the flange and the pinhole 13 of the fixing plate is correct, and if it is not correct, it must be dismantled because it cannot be adjusted by the load of the quartz tube and the fixing sealing parts. There is a hassle to do.

따라서, 기존에는 세팅시 플랜지만을 엘리베이터에 장착하여 고정 플레이트까지 상승시켜 정렬핀과 고정 플레이트의 핀홀을 정렬하여 맞춘 후 하강시켜 석영 튜브를 장착 다시 상승시키는 과정으로 이루어진다.Therefore, conventionally, only the flange is mounted on the elevator during setting to raise the fixed plate to align the pinholes of the alignment pin and the fixing plate, and then lower the mounting to raise the quartz tube.

마찬가지로 이경우도 정렬핀과 고정 플레이트의 핀홀간의 정렬을 맞추기 위해 불필요한 작업이 행하여지게 되어 작업상 많은 시간적 손실이 발생되고 있다.Likewise, in this case, unnecessary work is performed to match the alignment between the alignment pins and the pinholes of the fixing plate, and a lot of time is lost in operation.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 정확한 세팅이 가능하며, 작업시간 단축 및 정렬 불량으로 인한 로스를 감소시킬 수 있는 새로운 형태의 종형 CVD 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object thereof is to provide a new type of vertical CVD apparatus capable of accurate setting and reducing loss due to short working time and misalignment.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 종형 CVD 장치는 핀홀을 갖는 고정 플레이트; 정렬핀을 갖는 플랜지와; 상기 플랜지를 상기 고정 플레이트로/로부터 로딩/언로딩시키기 위한 장치와; 상기 플랜지상에 착탈 가능하게 설치되고, 일부가 상기 고정 플레이트의 핀홀까지 연장되어 플랜지가 로딩되지 않은 상태에서 상기 고정 플레이트의 핀홀과 상기 정렬핀간의 정렬 여부를 확인하기 위한 정렬 부재를 구비한다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, a vertical CVD apparatus comprises a fixed plate having a pinhole; A flange having an alignment pin; An apparatus for loading / unloading the flange to / from the fixing plate; Removably installed on the flange, a portion extends to the pinhole of the fixing plate and has an alignment member for checking whether the pinhole of the fixing plate and the alignment pin in the state that the flange is not loaded.

이와 같은 본 발명에서 상기 정렬 부재는 상기 플랜지의 상단에 결합되는 고정링과; 상기 정렬핀들과 일직선을 이루도록 상기 고정링에 설치되고, 상기 정렬핀이 상기 고정 플레이트의 핀홀과 일직선상에 위치하는지를 확인하기 위한 가변형으로 이루어진 라이너들과; 상기 라이너들이 휘어지는 것을 방지하기 위하여 상기 라이너들을 지지하기 위한 휨방지 링을 구비한다. 상기 라이너는 보관 및 관리가 용이하도록 길이 조절이 용이한 안테나 형식으로 이루어진다.The alignment member in the present invention as described above is fixed ring coupled to the top of the flange; Liners formed on the fixing ring so as to be in alignment with the alignment pins and configured to check whether the alignment pins are in line with the pinholes of the fixing plate; And an anti-bending ring for supporting the liners to prevent the liners from flexing. The liner is of an antenna type that can be easily adjusted in length to facilitate storage and management.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.

도 2는 정렬 부재가 설치된 종형 CVD장치를 개략적으로 보여주는 도면이다. 2 is a view schematically showing a vertical CVD apparatus provided with an alignment member.

도 2에 도시된 바와 같이, 종형 CVD장치는 고정 플레이트(110), 히팅 챔버(120), 석영 튜브, 플랜지(130), 로딩 장치로 이루어진 통상의 구성과 플랜지와 상기 고정 플레이트의 정렬을 위한 정렬 부재(140)를 갖는다. As shown in FIG. 2, the vertical CVD apparatus has a conventional configuration consisting of a fixed plate 110, a heating chamber 120, a quartz tube, a flange 130, and a loading device and an alignment for alignment of the flange and the fixed plate. It has a member 140.

상기 고정 플레이트(110)에는 상기 히팅 챔버(120)가 위치되어 있다. 상기 고정 플레이트(110)에는 핀홀(112)들이 형성되어 있다. 상기 플랜지(130)는 상기 핀홀(112)들과 대응되는 정렬 핀(132)들을 갖는다. 그리고 상기 플랜지(130)에는 상기 석영 튜브(미도시됨)가 놓여지며, 상기 석영 튜브내에는 보우트가 위치되게 된다. 상기 로딩 장치(도 1에 도시되어 있음)는 상기 플랜지(130)를 상기 고정 플레이트(110)로/로부터 로딩/언로딩시키기 위한 것이다. The heating chamber 120 is positioned in the fixing plate 110. Pin holes 112 are formed in the fixing plate 110. The flange 130 has alignment pins 132 corresponding to the pinholes 112. And the quartz tube (not shown) is placed on the flange 130, the boat is located in the quartz tube. The loading device (shown in FIG. 1) is for loading / unloading the flange 130 to / from the securing plate 110.

상기 정렬 부재(140)는 상기 플랜지(130)를 상기 고정 플레이트(110)에 세팅하기 전에 상기 플랜지(130)상에 설치되어 상기 플랜지(130)와 상기 고정 플레이트(110)의 정렬 상태를 점검하게 된다. The alignment member 140 is installed on the flange 130 before setting the flange 130 to the fixing plate 110 to check the alignment of the flange 130 and the fixing plate 110. do.

상기 정렬 부재(140)는 고정 링(142)과, 라이너(144)들 그리고 휨 방지 링(146)을 구비하고 있다.The alignment member 140 includes a fixing ring 142, liners 144, and an anti-bending ring 146.

상기 고정 링(142)은 상기 플랜지(130)의 상단에 착탈 가능하게 설치된다. 상기 라이너(144)들은 상기 정렬핀(132)들과 일직선을 이루도록 상기 고정링(142)에 설치된다. 상기 라이너(144)들은 상기 정렬핀(132)이 상기 고정 플레이트(110)의 핀홀(112)들과 일직선상에 위치되어 있는가를 확인하기 위하여 가변형으로 이루어진다. 도 2에서 보여주는 바와 같이, 상기 라이너(144)들은 보관 및 관리가 용이하도록 길이 조절이 용이한 안테나 형식으로 이루어진다. 상기 휨 방지 링(146)은 상기 라이너(144)들이 휘어지는 것을 방지하기 위하여 라이너(144)들의 가장 하단부분에 형성되어 있다. The fixing ring 142 is detachably installed at the upper end of the flange 130. The liners 144 are installed on the fixing ring 142 to be in line with the alignment pins 132. The liners 144 are variable in order to check whether the alignment pins 132 are located in line with the pinholes 112 of the fixing plate 110. As shown in Figure 2, the liners 144 are made of an antenna type that can be easily adjusted in length to facilitate storage and management. The anti-bending ring 146 is formed at the bottom of the liners 144 to prevent the liners 144 from bending.

본 발명에 따른 CVD 장치에서 통상적인 구성에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. Detailed description of the conventional configuration in the CVD apparatus according to the present invention will be omitted.                     

이와 같은 구성을 갖는 종형 CVD 장치에서의 세팅은 다음과 같은 수순으로 이루어진다.The setting in the vertical CVD apparatus having such a configuration is performed in the following procedure.

상기 정렬 부재(140)를 상기 플랜지(130)상에 장착한다. 이때, 정렬 부재(140)는 라이너(144)들이 상기 정렬핀(132)과 일직선을 이루도록 상기 플랜지(130)상에 장착된다. 상기 라이너(144)들의 길이를 연장시켜 라이너(144)의 말단이 상기 핀홀(112)에 삽입되는지 확인하고, 라이너(112)의 말단이 상기 핀홀(112)과 일치하지 않은 경우에는 플랜지(130)를 이동시키면서 이를 조정한다. 이러한 정렬 과정을 거친 후에는 상기 정렬 부재(140)를 상기 플랜지(130)로부터 분리하고, 상기 플랜지(130)에 석영 튜브와 실링 부재들을 장착한다. 그리고 로딩장치로 상기 플랜지(130)를 로딩하고, 상기 고정 플레이트(110)에 상기 플랜지(130)를 고정시킨다. The alignment member 140 is mounted on the flange 130. At this time, the alignment member 140 is mounted on the flange 130 so that the liners 144 are aligned with the alignment pin 132. The length of the liner 144 is extended to confirm that the end of the liner 144 is inserted into the pinhole 112, and if the end of the liner 112 does not coincide with the pinhole 112, the flange 130 is formed. Adjust this by moving. After the alignment process, the alignment member 140 is separated from the flange 130, and the quartz tube and the sealing members are mounted on the flange 130. The flange 130 is loaded by a loading device, and the flange 130 is fixed to the fixing plate 110.

상술한 바와 같이 본 발명은 플랜지의 정렬핀과 고정 플레이트의 핀홀을 일치시키기 위해 플랜지를 로딩/언로딩 하는 불필요한 작업이 없기 때문에 정비 시간을 단축시킬 수 있다.As described above, the present invention can shorten maintenance time because there is no unnecessary work of loading / unloading the flange to match the pinhole of the fixing plate with the alignment pin of the flange.

이상에서, 본 발명에 따른 종형 CVD 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the vertical CVD apparatus according to the present invention is shown in accordance with the above description and drawings, but this is just described, for example, and various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Of course.

이와 같은 본 발명의 종형 CVD장치에 의하면, 플랜지와 고정 플레이트의 정확한 세팅을 위한 정렬이 가능하며, 작업시간 단축 및 정렬 불량으로 인한 로스를 감소시킬 수 있는 효과가 있다.According to the vertical CVD apparatus of the present invention, it is possible to align for the correct setting of the flange and the fixed plate, it is possible to reduce the loss due to shortened working time and misalignment.

Claims (3)

핀홀을 갖는 고정 플레이트;A fixed plate having a pinhole; 정렬핀을 갖는 플랜지와;A flange having an alignment pin; 상기 플랜지를 상기 고정 플레이트로/로부터 로딩/언로딩시키기 위한 장치와;An apparatus for loading / unloading the flange to / from the fixing plate; 상기 플랜지상에 착탈 가능하게 설치되고, 일부가 상기 고정 플레이트의 핀홀까지 연장되어 플랜지가 로딩되지 않은 상태에서 상기 고정 플레이트의 핀홀과 상기 정렬핀간의 정렬 여부를 확인하기 위한 정렬 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 종형 CVD 장치.Removably installed on the flange, a portion extends to the pin hole of the fixing plate, characterized in that it comprises an alignment member for confirming the alignment between the pin hole of the fixing plate and the alignment pin in the state that the flange is not loaded Vertical CVD apparatus made into. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정렬 부재는 The alignment member 상기 플랜지의 상단에 결합되는 고정링과;A fixing ring coupled to an upper end of the flange; 상기 정렬핀들과 일직선을 이루도록 상기 고정링에 설치되고, 상기 정렬핀이 상기 고정 플레이트의 핀홀과 일직선상에 위치하는지를 확인하기 위한 가변형으로 이루어진 라이너들과;Liners formed on the fixing ring so as to be in alignment with the alignment pins and configured to check whether the alignment pins are in line with the pinholes of the fixing plate; 상기 라이너들이 휘어지는 것을 방지하기 위하여 상기 라이너들을 지지하기 위한 휨방지 링을 포함하는 것을 특징으로 하는 종형 CVD 장치.And an anti-bending ring for supporting the liners to prevent the liners from flexing. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 라이너는 보관 및 관리가 용이하도록 길이 조절이 용이한 안테나 형식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 CVD 장치.The liner is a vertical CVD apparatus, characterized in that the length is made of an antenna type for easy storage and management.
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