KR100626231B1 - 위치조정수단을 구비한 압전세라믹 액츄에이터 - Google Patents

Abstract

자동 편직기 등에 사용되는 압전세라믹 액츄에이터가 개시된다.

개시된 압전세라믹 액츄에이터는, 금속기판과 세라믹의 적층체로서 통전에 의해 가역적으로 변형되는 플랫과, 플랫 다수개가 내장되는 하우징과, 플랫의 일단부에 결합되어 그 플랫의 변형에 따라 하우징 외부의 조작 매체에 대한 제어 동작을 수행하는 핑거와, 플랫의 타단부에 결합되는 조정부재와, 하우징의 덮개에 형성된 장공을 통해 조정부재의 체결홈에 결합되는 체결부재와, 조정부재에 결합되어 원형 궤적으로 회전하는 편심캠을 구비한다.

이와 같은 구성의 액츄에이터는 각 플랫들 간의 간격을 편심캠으로 편리하게 조정할 수 있으므로, 조립 중에 위치가 조금 틀어지더라도 쉽게 제 위치로 조정할 수 있다.

편직기, 압전, 액츄에이터, 세라믹, 플랫, 편심캠

Description

위치조정수단을 구비한 압전세라믹 액츄에이터{Piezoelectric ceramics actuator with a positioner}

도 1은 일반적인 압전세라믹 액츄에이터의 압전원리를 설명하는 도면,

도 2는 종래의 압전세라믹 액츄에이터의 구조를 도시한 도면,

도 3은 도 2에 도시된 압전세라믹 액츄에이터 중 플랫의 중심부 지지구조를 발췌하여 도시한 도면,

도 4는 본 발명에 따른 압전세라믹 액츄에이터의 구조를 도시한 도면,

도 5는 도 4에 도시된 액츄에이터 중 플랫의 중심부를 지지하는 구조의 변형가능한 예를 보인 도면,

도 6은 도 4에 도시된 액츄에이터 중 플랫의 단부 위치를 조정하고 고정시키는 구조를 도시한 도면,

도 7 및 도 8은 도 6에 도시된 플랫의 단부위치 조정수단의 변형예를 보인 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100...플랫 110...압전세라믹

120...금속기판 200...환봉

300...핑거 400...조정부재

500...하우징 600...스크류

610...편심캠 700...압전세라믹 액츄에이터

1. 한국 공개특허공보 제10-1993-0010270호(1993.06.22. 공개): 제어봉의 종단부를 선택적으로 걸어 맞추어 유지시킬 수 있는 후크부 또는 구멍을 갖춘 걸쇠와, 플레이트에 압전 소지자를 접착하여 이루어진 압전체를 구비하여 이루어지고, 상기 압전체는 그 일단부가 상기 제어봉 유지장치에 가동될 수 있도록 지지됨과 더불어 그 타단부가 상기 걸쇠에 가동될 수 있도록 연결되면서 상기 압전체의 일단부와 타단부의 중간위치가 상기 제어봉 유지장치에 회전될 수 있도록 설치된 회전체에 고정되어 이루어짐으로써, 왕복운동을 하는 제어봉의 종단부를 선택적으로 걸어 맞추어 유지시키는 제어봉 유지장치를 갖춘 직기경사 제어장치가 개시되어 있다.

2. 한국 공개특허공보 제10-1997-0060544호(1997.08.12. 공개) : 코어재의 한 표면상에 적층된 복수의 압전세라믹층과; 그 다른 표면상에 적층된 복수의 압전세라믹층을 구비하고, 각 표면상에 적층된 상기 압전 세라믹층은 상기 코어재로부터 밖으로 향하여 두께가 점차로 감소되거나, 내층에서 외층으로 압전상수(d31)가 증가하거나, 내층에서 외층으로 공급전위가 연속적으로 증가하도록 구성된, 밴딩에 의해 변위가능한 적층형 압전액츄에이터가 개시되어 있다.

본 발명은 통전에 따라 가역적으로 변위가 생기는 특성을 구비하여 미소제어에 많이 이용되는 압전세라믹 액츄에이터에 관한 것으로서, 특히 편직물을 직조하는 자동 편직기 등에 유용하게 채용될 수 있는 압전세라믹 액츄에이터에 관한 것이다.

일반적으로 압전세라믹은 압력이 가해졌을 때 전압을 발생하고, 전계가 가해졌을 때 기계적인 변형이 일어나는 소자로서, 기계적인 진동에너지를 전기에너지로, 전기에너지를 기계적인 진동에너지로 상호 변환이 가능하며 변환효율이 매우 높은 재료이다.

그리고, 압전세라믹 액츄에이터는, 이러한 압전세라믹의 가역적인 변위 특성을 이용하여 전자기기나 정밀기계의 미소제어에 이용할 수 있게 만들어진 구동기를 말하는 것으로, 압전세라믹의 적층 형태에 따라 유니몰프(unimorph), 바이몰프(bimorph) 등 다양한 형태로 분류되며, 통상적으로는 압전세라믹을 금속기판 양면에 적층한 바이몰프 형태가 많이 사용된다.

도 1은 바이몰프 형태의 압전세라믹 액츄에이터의 기본 원리를 보인 것으로, 압전세라믹(11)의 분극과 통전 형식에 따라 다시 (a)와 같은 직렬형과 (b)와 같은 병렬형으로 세분화된다. 분극(polarization)은 소재를 퀴리점(curie point) 이상으로 가열한 후 전계를 인가한 채 서서히 냉각시키는 등의 방법을 통해 소재 내부 의 음전하와 양전하를 서로 분리시키는 것으로, 대개 분극된 상태에서 소재는 양전계에 대해 신장되고, 음전계에 대해 수축된다.

상기 도 1의 (a)와 (b) 두 경우 모두, 금속기판(12)의 양면에 적층된 2매의 압전세라믹(11)이 서로 반대방향으로 변위됨으로써 전체적인 굴곡변형을 일으키는 원리로 작동된다. 즉, 가해지는 전계의 방향(Y)과 분극의 방향(X)은 직렬형인지 병렬형인지에 따라 차이가 있지만, 결과적으로 2매의 압전세라믹(11)이 신장과 수축을 상호 반대로 일으킴으로써 전체적인 변위를 얻는 원리는 동일한 구조이다. 물론, 인가되는 전계가 중단되거나 반대방향으로 바뀌면 변형 전의 상태로 되돌아가게 된다.

이와 같은 원리의 압전세라믹 액츄에이터는 부피가 작고 가벼우며, 응답성도 빠르고 노이즈가 적어서, VTR 헤드, 카메라 셔터, 프린터, 릴레이, 서보밸브용 액츄에이터 등 다양한 분야에 채용되고 있는데, 특히 최근에는 이것을 자동 편직기의 선침 제어에 많이 채용하고 있다.

도 2는 이러한 자동 편직기에 채용된 압전세라믹 액츄에이터(70)를 도시한 것이다. 자동 편직기는 예컨대 무늬가 있는 양말 등을 직조할 때 여러 종류의 편사를 걸어놓고 순서에 따라 선택적으로 취하여 직조를 할 수 있도록 해당 편사에 대응되는 바늘을 작동시키는 선침 시스템을 갖추고 있다. 이 선침 시스템에 압전세라믹 액츄에이터가 채용된다. 즉, 도면을 참조하면, 하우징(50) 내에 다수개의 압전세라믹 액츄에이터(10)가 장착되어 있어서, 전체적으로 여러 종류의 편사를 취하는 바늘을 개별 구동시킬 수 있는 구동부를 형성하고 있다. 여기서, 한 장씩의 액츄에이터 요소(10)도 압전세라믹 액츄에이터로 볼 수 있고, 하우징(50)을 포함한 전체의 장치도 액츄에이터로 볼 수 있으므로, 이하에는 용어의 혼선을 막기 위해 개별적인 낱장씩의 단위 요소는 압전세라믹 플랫(10)이라고 칭하고, 이것이 다수개 장착된 전체 장치를 압전세라믹 액츄에이터(70)로 칭하기로 한다.

상기 압전세라믹 액츄에이터(70)에 장착된 개별 플랫(10)들의 구조를 보면, 기본적으로는 금속기판(12) 양면에 압전세라믹(11)이 적층된 바이몰프 소자의 형태로서, 몸체 중앙부가 하우징(50) 내벽에 결합되는 지지봉(20)에 끼워져 있어서 변형 시 그 지지봉(20)을 중심으로 회전하는 식으로 변형하게 된다. 그리고, 일단측에는 선침 시 플랫(10)의 변위에 따라 바늘을 움직이기 위한 핑거(30)가 결합되어 있고, 타단측에는 하우징(50)에 (60)로 체결되어서 유동을 방지해주고 인접 플랫과의 간격을 맞추는데 사용되는 조정부재(40)가 결합되어 있다.

즉, 플랫(10) 몸체 중앙에 지지봉(20)을 설치하고, 일단부와 타단부에는 핑거(30)와 조정부재(40)를 각각 암수결합식으로 끼움으로써 플랫(10)을 만든 후, 이것을 하우징(50) 안에 장착해서 액츄에이터(70)를 구성하게 된다. 이때, 조정부재(40)는 하우징(50)의 덮개(51)에 형성된 장공(51a)을 통해 스크류(60)로 체결함으로써 하우징(50)에 고정되는데, 장공(51a)의 범위 내에서 약간 움직일 수가 있기 때문에, 스크류(60)로 꽉 조이기 전에 위치를 조정하여 인접 플랫과의 간격을 맞춘 후 스크류(60)를 조여서 완전히 고정시킬 수 있도록 되어 있다. 참조부호 12a는 플랫(10)이 지지봉(20)에 대해 움직이지 않도록 금속기판(12)에 형성된 돌기를 나타낸다. 이 돌기(12a)가 지지봉(20) 내벽의 홈에 탄력적으로 끼워짐으로써 플랫 (10)이 지지봉(20)과의 결합방향으로 빠지거나 유동되지 않게 된다.

이와 같은 플랫(10)을 다수개 하우징(50)에 장착하여 액츄에이터(70)를 구성한 다음, 컨트롤러(미도시)를 이용하여 선택적으로 전류를 보내게 되면, 통전된 플랫(10)들이 변위를 일으키게 되고, 그 플랫(10)의 핑거(30)에 연결된 바늘이 움직이면서 해당 편사를 취하는 선침 작업을 수행하게 되는 것이다.

상기와 같이 압전세라믹 액츄에이터를 이용하여 자동 편직기의 선침 시스템을 구성한 예는 대한민국 등록특허공보 제0335561호에도 개시된 바 있다.

그런데, 이와 같은 압전세라믹 액츄에이터(70)에서 플랫(10)들의 위치를 조정할 때에는, 장공(51a)의 범위 내에서 플랫(10)을 손으로 움직이며 자리를 잡고나서 스크류(60)로 조여 위치를 고정시키게 되는데, 문제는 아무리 처음에 자리를 정확히 잡는다 해도 스크류(60)를 조이는 과정에서 위치가 다시 흔들리게 된다는 점이다. 즉, 아무리 손으로 위치를 잘 잡아도 장공(51a) 안에서 유동이 가능한 상태이기 때문에, 스크류(60)를 조이다가 위치가 다시 틀어지기 쉽다. 이렇게 되면 다시 위치를 잡고 스크류(60)를 조이는 작업을 반복해야 하므로, 작업이 매우 번거롭고 까다로워진다.

따라서, 이러한 문제점을 해소할 수 있는 새로운 구조의 압전 액츄에이터가 요구되고 있다.

본 발명은 상기의 필요성을 감안하여 창출된 것으로서, 하우징 내에서 각 압 전 세라믹 플랫의 위치를 쉽게 잡고 조정할 수 있도록 개선된 압전 세라믹 액츄에이터를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 청구 범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 금속기판과 세라믹의 적층체로서 통전에 의해 가역적으로 변형되는 플랫과, 상기 플랫 다수개가 내장되는 하우징과, 상기 플랫의 일단부에 결합되어 그 플랫의 변형에 따라 하우징 외부의 조작 매체에 대한 제어 동작을 수행하는 핑거와, 상기 플랫의 타단부에 결합되는 조정부재와, 상기 조정부재를 상기 하우징의 덮개에 형성된 장공의 소정 위치에 고정시킴으로써 각 플랫들 간의 간격을 맞춰주는 위치조정수단을 포함하는 압전세라믹 액츄에이터에 있어서, 상기 위치조정수단은, 상기 장공을 통해 상기 조정부재의 체결홈에 결합되는 체결부재와, 상기 덮개를 통해 상기 조정부재에 결합되어 중심축을 기준으로 일정한 원형궤적으로 회전하는 편심캠을 구비하여서, 상기 편심캠을 회전시키면 상기 조정부재가 원형 궤적에 의해 상기 장공의 길이방향으로 움직이고, 상기 체결부재를 조이면 그 위치가 고정되도록 된 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 체결홈과 캠홀은 상기 조정부재의 일면 및 그와 직각을 이루는 인접면에 각각 형성될 수 있다.

그리고, 상기 편심캠의 몸체는 상기 덮개에 형성된 체결공에 체결되고 그 몸체와 회전축이 편심된 단부가 상기 조정부재에 마련된 캠홀에 끼워질 수 있으며, 반대로 상기 편심캠의 몸체가 상기 조정부재에 형성된 체결공에 체결되고 단부가 상기 덮개에 마련된 캠홀에 끼워지도록 구성될 수도 있다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 4는 본 발명에 따른 압전 세라믹 액츄에이터(700)를 도시한 것이다.

도시된 바와 같이 본 발명의 압전 세라믹 액츄에이터(700)는, 통전에 따라 가역적으로 변형되는 압전 세라믹 플랫(100) 다수개가 하우징(500) 안에 일정한 간격으로 장착된 구조를 갖고 있다.

각 플랫(100)은 금속기판(120)의 양면에 압전 세라믹(110)이 적층된 적층체 로서, 일단에는 핑거(300)가 결합되어 있어서 플랫(100)의 변형에 따라 핑거(300)가 하우징(500) 외부의 선침용 바늘(미도시)과 같은 조작 매체에 대한 제어 동작을 수행하게 된다. 핑거(300)와 플랫(100) 몸체는 상보적인 암수결합구조로 결합되는데, 핑거(300)에 수결합부가, 플랫(100) 몸체에 암결합부가 각각 마련되어서 결합된다.

그리고, 각 플랫(100)의 몸체 중앙부는 이하에 설명될 지지수단에 의해 하우징(500) 안에 고정되고, 타단은 조정부재(400)를 매개로 하는 위치조정수단을 통해 각각 하우징(500)에 고정된다.

먼저, 본 발명의 주 특징부인 상기 위치조정수단은 플랫(100)의 단부에 결합된 조정부재(400)를 매개로 하여 각 플랫(100)들 간의 간격을 조정하면서 하우징(500)에 고정시켜 주는 수단으로서, 체결부재인 스크류(600)와 원형 궤적으로 회전하는 편심캠(610)을 구비한다.

상기 스크류(600)는 하우징(500)의 덮개(510)에 형성된 장공(511)을 통해 조정부재(400)의 체결홈(401)에 체결됨으로써 플랫(100)의 단부를 하우징(500)에 고정시키는 부재이며, 편심캠(610)은 스크류(600)에 의해 완전히 고정되기 전에 장공(511)의 길이방향으로 약간 움직이게 함으로써 미소 간격을 조정할 수 있게 해주는 부재이다. 이 부분을 도 2의 기존 구성과 비교해보면 본 발명에서는 편심캠(610)이 더 부가된 것을 알 수 있다. 즉, 기존에는 장공(511) 내에서 플랫(100)을 손으로 움직이며 자리를 잡고 스크류(600)로 조여서 위치를 고정시키는 방식이었는데, 아무리 처음에 자리를 정확히 잡는다 해도 스크류(600)를 조이는 과정에서 위치가 다시 흔들리기 때문에, 편심캠(610)으로 다시 미세 조정을 할 수 있게 만든 것이다. 따라서, 조립을 할 때에는 도 6과 같이 어느 정도 플랫(100)이 움직일 수 있을 정도로 스크류(600)를 먼저 약하게 조여둔다. 그리고는, 상기 편심캠(610)을 돌려서 조정부재(400)의 캠홀(402)에 끼워진 단부가 원형 궤적으로 회전하게 만든다. 그러면, 장공(511)의 길이방향으로 플랫(100)의 단부가 원형 궤적에 대응하여 왕복이동하게 되며, 적절한 위치가 잡히면 편심캠(610)을 멈추고 스크류(600)를 완전히 조여서 고정시키면 된다. 따라서, 편심캠(610)으로 위치를 조정한 후 스크류(600)를 조이면, 편심캠(610)의 단부가 조정부재(400)를 계속 잡고 있기 때문에 종래처럼 애써 잡아놓은 조정위치가 조이는 과정에서 다시 흐트러지는 일은 발생하지 않게 된다.

여기서는 하우징(500)의 뒷면이 되는 덮개(510)의 바닥면에 스크류(600)가 체결되고, 측면에 편심캠(610)이 체결되는 구조를 예시하고 있지만, 도 7과 같이 반대로 바닥면에 편심캠(610)을 설치하고 측면에 스크류(600)를 설치해도 동일한 작용효과를 얻을 수 있다. 그리고, 도 6처럼 편심캠(610)의 몸체가 덮개(510)의 체결공(611)에 끼워지고, 그와 회전축이 편심된 단부가 조정부재(400)의 캠홀(402)에 끼워지도록 구성할 수도 있고, 반대로 도 8과 같이 편심캠(610) 몸체가 조정부재(400)의 체결공(402')에 체결되고 단부가 덮개(510)의 캠홀(611')에 끼워지도록 구성할 수도 있다. 어느 경우이든, 편심캠(610)을 회전시키면 플랫(100) 들의 간격이 조정된다.

다음으로, 상기 지지수단은 플랫(100)의 몸체 중앙부를 지지하여 하우징 (500) 안에 고정시키는 수단으로서, 각 플랫(100)의 가장자리에 선접촉 형태로 밀착되어 하우징(500) 내벽에 설치되는 두 쌍의 환봉(200)을 포함한다. 즉, 기존과 같이 긴 막대에 결합슬롯을 뚫어서 몸체를 그 안에 삽입시키는 것이 아니라, 복수개의 환봉(200)이 플랫(100)의 양면에 선접촉 형태로 밀착되어서 지지하도록 한 것이다. 이것은 통전 시 플랫(100)에서 발생되는 열을 방열하는데 매우 효과적인 구조가 된다. 왜냐하면, 기존의 경우는 플랫이 결합슬롯(21;도 2 참조) 안에서 면접촉되어 있고 밀폐된 상태이기 때문에 방열이 일어나기 매우 힘든 조건이었지만, 여기서는 복수개의 환봉(200)들에 의해 개방된 선접촉 상태로 지지되어 있기 때문에 방열이 원활하게 진행될 수 있다. 여기서는 두 쌍의 짧은 단봉형 환봉(200)들이 플랫(100)의 가장자리만 지지하고 있는 형태를 예시하고 있는데, 긴 장봉형 환봉 한 쌍을 가지고 플랫(100) 몸체를 길게 가로지르며 선접촉하도록 지지수단을 만들 수도 있다. 이 경우는 환봉의 수가 반으로 줄기 때문에 부품관리는 단봉에 비해 쉬워진다. 그러나, 방열이라는 측면에서는 몸체 가운데 부분을 완전히 개방할 수 있도록 가장자리만 지지하는 단봉형 환봉(200)이 더 바람직할 수 있다.

그리고, 각 환봉(200)에는 플랫(100)의 금속기판(120)에 형성된 노치홈(121)에 걸리는 걸림돌기(201)와, 인접한 환봉(200)의 걸림돌기(201)가 끼워질 수 있는 걸림홈(202)이 마련되어 있다. 이것은 플랫(100)이 길이방향으로 유동되지 않게 잡아주는 구조로, 각 환봉(200)의 걸림돌기(201)가 노치홈(121)을 통해 인접한 환봉(200)의 걸림홈(202)에 연속적으로 끼워짐으로써, 일종의 빗장을 건 것과 같이 플랫(100)을 로킹시키는 것이다.

따라서, 이와 같이 개방된 선접촉 형태의 지지수단인 환봉(200)을 가지고 플랫(100)을 지지하게 되면, 통전 시에도 방열이 원활하게 진행되므로, 국부적으로 열변형이 생기는 문제를 해소할 수 있게 된다.

이러한 환봉(200)은 강성이 우수한 금속재를 모재로 하여 표면에 PVC와 같은 비전도성 소재를 코팅하여 만들 수 있다.

또는, 도 5에 도시된 바와 같이 금속재 코어(210)의 양측에 홈을 만들고, 그 안에 걸림돌기(221)와 걸림홈(222)이 형성된 고무부재(220)를 끼워서 지지용 환봉(200')을 만들 수도 있는데, 이렇게 되면, 부드럽고 절연재질인 고무부재(220)가 플랫(100)을 지지하고, 강성은 금속 코어(210)가 유지하게 된다. 어느 경우이든, 플랫(100)의 중앙부를 밀폐되지 않은 선접촉 형태로 지지하기 때문에, 방열을 원활히 진행시킬 수 있다.

이와 같은 구성의 압전 세라믹 액츄에이터(100)를 사용할 때에는, 위와 같이 편심캠(610)과 스크류(600)에 의해 단부가 정렬되고, 환봉(200)에 의해 변형의 기준이 되는 중심부가 지지된 플랫(100)들을 통전 가능한 상태로 준비한다. 물론, 플랫(100)에는 선침과 같은 선택적 제어동작을 위한 핑거(300)가 달려 있어야 한다.

이와 같이 액츄에이터(100)가 준비되면, 컨트롤러(미도시)에 의해 각 플랫(100)에 선택적으로 전류가 통전되면서 제어 동작이 개시된다. 즉, 통전된 플랫(100)은 바이몰프 원리에 의해 변형되고, 그렇지 않은 플랫(100)은 복원되면서 선침과 같은 제어 동작을 수행하게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 압전 세라믹 액츄에이터는, 각 플랫들 간의 간격을 편심캠으로 편리하게 조정할 수 있으므로, 조립 중에 위치가 조금 틀어지더라도 쉽게 제 위치로 조정할 수 있게 해준다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

Claims (4)

1. 금속기판과 세라믹의 적층체로서 통전에 의해 가역적으로 변형되는 플랫과, 상기 플랫 다수개가 내장되는 하우징과, 상기 플랫의 일단부에 결합되어 그 플랫의 변형에 따라 하우징 외부의 조작 매체에 대한 제어 동작을 수행하는 핑거와, 상기 플랫의 타단부에 결합되는 조정부재와, 상기 조정부재를 상기 하우징의 덮개에 형성된 장공의 소정 위치에 고정시킴으로써 각 플랫들 간의 간격을 맞춰주는 위치조정수단을 포함하는 압전세라믹 액츄에이터에 있어서,

   상기 위치조정수단은,

   상기 장공을 통해 상기 조정부재의 체결홈에 결합되는 체결부재와,

   상기 덮개를 통해 상기 조정부재에 결합되어 원형궤적으로 회전하는 편심캠을 구비하여,

   상기 편심캠을 회전시키면 상기 조정부재가 원형 궤적을 따라 상기 장공의 길이방향으로 움직이고, 상기 체결부재를 조이면 그 위치가 고정되도록 된 것을 특징으로 하는 압전세라믹 액츄에이터.
2. 제1항에 있어서,

   상기 체결홈과 캠홀은 상기 조정부재의 일면 및 그와 직각을 이루는 인접면에 각각 형성된 것을 특징으로 하는 압전세라믹 액츄에이터.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 편심캠의 몸체는 상기 덮개에 형성된 체결공에 체결되고, 그 몸체와 회전축이 편심된 단부는 상기 조정부재에 마련된 캠홀에 끼워진 것을 특징으로 하는 압전세라믹 액츄에이터.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 편심캠의 몸체는 상기 조정부재에 형성된 체결공에 체결되고, 그 몸체와 회전축이 편심된 단부는 상기 덮개에 마련된 캠홀에 끼워진 것을 특징으로 하는 압전세라믹 액츄에이터.

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