KR100620128B1

KR100620128B1 - Clean room device

Info

Publication number: KR100620128B1
Application number: KR1020027001047A
Authority: KR
Inventors: 츠토무 사사키; 슈이치 카이조; 시게오 요코타; 마츠오 카미타니; 타케시 혼마
Original assignee: 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
Priority date: 1999-07-26
Filing date: 1999-07-26
Publication date: 2006-09-13
Also published as: WO2001007843A1; KR20020019571A

Abstract

크린 룸 장치(15)의 룸(10)의 천장(12)에 팬 필터 유닛(14)을 간격을 두고 배치하고, 팬 필터 유닛(14)이 설치되지 않은 빈 격자공간에는 통기체(40)를 설치한다. 팬 필터 유닛(14)에 의해 천장 상부 공간(16)으로부터 룸(10) 내로 청정공기를 송풍하면, 룸(10)의 기압이 천장 상부 공간(16)에 비하여 높아지고, 룸(10) 내의 일부 공기는 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐른다. 그에 따라 룸(10) 내의 빈 격자공간의 하부 영역에서의 소용돌이 기류의 발생을 방지할 수 있어 룸(10) 내의 청정도를 높일 수 있다.The fan filter units 14 are arranged at intervals on the ceiling 12 of the room 10 of the clean room device 15, and the vent 40 is provided in an empty grid space in which the fan filter units 14 are not installed. Install. When the clean air is blown from the ceiling upper space 16 into the room 10 by the fan filter unit 14, the air pressure of the room 10 becomes higher than that of the ceiling upper space 16, and some air in the room 10 is increased. Flows through the vent 40 to the ceiling overhead space 16. As a result, the generation of vortex airflow in the lower region of the empty lattice space in the room 10 can be prevented, thereby improving the cleanliness in the room 10.

Description

Clean room device {CLEAN ROOM DEVICE}

본 발명은 크린 룸 장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조공장 등과 같이 높은 청정도를 필요로 하는 크린 룸 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to clean room devices, and more particularly to clean room devices that require high cleanliness, such as semiconductor manufacturing plants.

반도체 제조공장 등의 크린 룸 장치의 실내 천장에는 천장 프레임이 격자 형상으로 배치되고, 이 천장 프레임에 의해서 형성되는 격자 공간의 각각에 팬 필터유닛이 설치된다. 팬 필터 유닛은 팬을 구동함으로써 실내 천장의 상부 공간(이하, 천장 상부 공간이라 한다)의 공기를 필터에 의해서 먼지를 제거하면서 실내로 송풍하게 된다. 송풍된 청정공기는 하부를 향해서 흘러서 실내의 먼지와 함께 실내 하부면의 그레이팅 바닥을 통해서 바닥의 하부공간(이하, 바닥 하부 공간이라 한다)으로 흐르고, 그 일부는 순환로를 통해서 천장 상부 공간으로 도입되고, 나머지 공기는 크린 룸 장치의 밖으로 배기 된다. 천장 상부 공간에 도입된 공기는 상기 팬 필터 유닛에 의해 다시 먼지가 제거되면서 실내로 송풍 된다. 그에 따라, 실내의 공기는 청정하게 유지된다.Ceiling frames are arranged in a grid shape on the indoor ceiling of a clean room device such as a semiconductor manufacturing plant, and a fan filter unit is provided in each of the grid spaces formed by the ceiling frame. The fan filter unit blows air in the upper space of the indoor ceiling (hereinafter referred to as the ceiling upper space) by removing the dust by the filter by driving the fan. The blown clean air flows downward and flows together with the dust in the room through the grating floor of the lower part of the room to the lower part of the floor (hereinafter referred to as the lower part of the floor), part of which is introduced into the upper part of the ceiling through the circulation passage. , The remaining air is exhausted out of the clean room unit. The air introduced into the upper ceiling space is blown into the room while the dust is removed again by the fan filter unit. Thus, the air in the room is kept clean.

팬 필터 유닛은 반드시 모든 격자 공간에 설치되는 것은 아니며, 설비 코스트나 가동 코스트의 저감을 위해 일정한 간격을 두고 배치되는 것이다. 그 경우, 팬 필터 유닛이 설치되지 않은 격자 공간(이하, 빈 격자 공간이라 한다)의 각각에는 천장 상부 공간의 청정화 전의 공기가 실내로 유입되는 것을 방지하기 위해 천장 상부 공간과 실내를 완전히 차단하는 폐색 판이 종래로부터 설치되어 있었다.The fan filter units are not necessarily installed in all grid spaces, but are arranged at regular intervals to reduce equipment costs and operating costs. In that case, each of the lattice spaces (hereinafter, referred to as empty lattice spaces) in which the fan filter unit is not installed has a blockage that completely blocks the upper ceiling space and the room to prevent air from entering the room before the upper ceiling space is cleaned. The plate was provided conventionally.

그러나 종래와 같이 팬 필터 유닛을 간격을 두고 배치하여 빈 격자 공간에 폐색 판을 설치하면, 모든 격자 공간에 팬 필터 유닛을 설치하였을 때에 비하여 실내의 청정도를 향상시킬 수 없다는 결점이 있었다.However, when the obstruction plate is installed in the empty grid space by arranging the fan filter units at intervals as in the related art, there is a drawback that the cleanliness of the room cannot be improved as compared with when the fan filter units are installed in all the grid spaces.

(발명의 개시)(Initiation of invention)

본 발명은 이와 같은 사정을 감안해서 이루어진 것으로서, 팬 필터 유닛의 배치간격을 크게 해도 실내의 청정도를 높게 할 수 있는 크린 룸 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, Comprising: It aims at providing the clean room apparatus which can make indoor cleanliness high even if the arrangement | positioning interval of a fan filter unit is enlarged.

종래는 일반적으로 크린 룸 장치의 실내 청정도는 실내로 송풍 되는 청정공기의 풍량에 의존하는, 즉 실내의 청정도를 향상시키려면, 청정 공기의 풍량을 증가시킬 필요가 있다고 생각되어 왔다. 따라서, 팬 필터 유닛의 배치간격을 크게 하면, 실내의 청정도를 향상시킬 수 없는 원인이 청정 공기의 풍량이 감소하기 때문이라고 생각되고 있었다.Conventionally, the indoor cleanliness of a clean room device has been considered to be dependent on the air volume of the clean air blown into the room, i.e., to improve the cleanliness of the room, it is necessary to increase the air volume of the clean air. Therefore, it is thought that when the arrangement | positioning interval of a fan filter unit is enlarged, the reason which cannot improve the cleanliness of a room is because the air volume of clean air decreases.

그러나 팬 필터 유닛을 간격을 두고 배치하였을 때에 실내의 청정도가 저하되는 원인을 추적하면 청정공기의 풍량이 감소하기 때문은 아니고, 팬 필터 유닛이 설치되어 있지 않은 빈 격자 공간에 설치된 폐색 판의 하부 영역에서 소용돌이 기류(와류)가 발생하고, 그 영역에서 먼지가 실내에 체류하기 때문인 것이 명백하게 밝혀졌다.However, tracking the cause of deterioration of the cleanliness of the room when the fan filter units are arranged at intervals does not mean that the air volume of the clean air is reduced, but is the lower area of the occlusion plate installed in the empty grid space where the fan filter unit is not installed. It is evident that a vortex air flow (vortex) occurs at and dust stays indoors in that region.

본 발명은 이 점에 착안한 것으로, 실내의 소용돌이 기류의 발생을 억제함으로써, 팬 필터 유닛을 간격을 두고 배치한 실내의 청정도 향상을 달성하는 것이다,The present invention focuses on this point and, by suppressing the generation of vortex airflow in the room, improving cleanliness of the room where the fan filter units are arranged at intervals,

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 크린 룸 장치는 천장을 가진 룸과, 상기 천장에 설치되고 천장 상부 공간으로부터 상기 룸 내로 청정공기를 송풍하는 팬 필터 유닛과, 상기 천장에 설치된 통기체를 가지고, 상기 룸 내의 일부 공기가 상기 룸 내의 기압과 상기 천장 상부 공간의 기압차에 의해 상기 통기체를 통해서 상기 천장 상부 공간으로 흐르는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the clean room device of the present invention has a room with a ceiling, a fan filter unit installed in the ceiling and blowing clean air from the upper space of the ceiling into the room, and a ventilation body installed in the ceiling, And some air in the room flows to the ceiling upper space through the vent by a pressure difference between the air pressure in the room and the pressure in the ceiling upper space.

본 발명에 의하면, 룸의 천장에서 팬 필터 유닛이 설치되어 있지 않은 빈 격자 공간에 통기체를 설치하여 실내의 기압과 천장 상부 공간의 기압차에 의해 실내 공기의 일부가 통기체를 통해서 천장 상부 공간으로 흐른다. 그에 따라 빈 격자공간의 하부 영역에서 소용돌이 기류의 발생을 방지하여 실내의 청정도를 높게 할 수 있다.According to the present invention, a vent is installed in an empty grid space in which the fan filter unit is not installed in the ceiling of the room, and a part of the indoor air is vented through the vent by a difference in the air pressure in the room and the air pressure in the upper ceiling space. Flows into. Accordingly, the cleanliness of the room can be increased by preventing the generation of swirl airflow in the lower region of the empty lattice space.

먼지 포집용 필터를 통기체로 사용해도 된다. 그에 따라, 통기체를 통과하는 공기 중의 먼지를 필터에 의해 포집하여 팬 필터 유닛 내 필터의 부하를 경감함과 동시에 천장 상부 공간의 먼지가 실내로 유입되는 것을 방지할 수 있다.A dust collecting filter may be used as the vent. Accordingly, the dust in the air passing through the ventilator is collected by the filter to reduce the load of the filter in the fan filter unit and to prevent the dust in the upper ceiling space from entering the room.

또한, 필터를 가진 통기체의 상부에 팬을 설치해도 된다. 팬을 작동시켜 공기를 천장 상부 공간으로부터 통기체의 필터를 통해서 룸 내로 송풍함으로써 통기체의 필터에 팬 필터 유닛의 필터 작동을 행하게 할 수 있기 때문에 빈 격자 공간의 아래 영역에 높은 청정도가 요구될 경우에 특히 유리하다. 또, 팬을 역 작동시켜 룸 내의 일부 공기를 통기체의 필터를 통해서 천장 상부 공간으로 흡입함으로써 실내로부터 천장 상부 공간으로 흐르는 공기의 풍량을 간단하게 조정할 수 있다. 또, 실내의 기압이 천장 상부 공간의 기압보다도 높은 경우에는 팬을 정지시켜도 실내의 일부 공기를 천장 상부 공간으로 흐르게 할 수 있다.Moreover, you may install a fan in the upper part of the ventilation body with a filter. The fan can be operated to blow air from the upper ceiling space into the room through the filter of the vent, allowing the filter of the vent to perform the filter operation of the fan filter unit. Is particularly advantageous. In addition, the amount of air flowing from the room to the upper ceiling space can be easily adjusted by inverting the fan and sucking some air in the room into the upper ceiling space through the filter of the ventilation body. When the air pressure in the room is higher than the air pressure in the ceiling upper space, some air in the room can flow into the ceiling upper space even if the fan is stopped.

다공판을 통기체로서 사용해도 된다. 개구율이 다른, 즉 통기성이 다른 복수의 다공판을 준비하여 그 중에서 적당한 것을 적절히 선택해서 설치하거나 혹은 개구율이 조정 가능한 다공판을 사용함으로써 실내로부터 통기체를 통해서 천장 상부 공간으로 흐르는 공기의 풍량을 간단하게 조정할 수 있다.You may use a porous plate as a ventilation body. By preparing a plurality of porous plates having different aperture ratios, that is, having different air permeability, appropriately selected and installed among them, or by using a porous plate having an adjustable aperture ratio, it is possible to simplify the amount of air flowing from the room to the upper ceiling space through the ventilating body. Can be adjusted.

또, 통기체를 필터 및 다공판으로 구성해도 된다. 그에 따라 통기체를 통과하는 공기 중의 먼지를 필터에 의해 포집하여 팬 필터 유닛 내 필터의 부하를 경감함과 동시에 천장 상부 공간의 먼지가 실내로 도입되는 것을 방지할 수 있다.Moreover, you may comprise a ventilation body with a filter and a porous plate. As a result, the dust in the air passing through the air vent can be collected by the filter to reduce the load on the filter in the fan filter unit and to prevent the dust in the upper ceiling space from being introduced into the room.

또한, 다공판에 의해서 통기체의 통기성을 조정함으로써 실내로부터 통기체를 통해서 천장 상부 공간으로 흐르는 공기의 풍량을 간단하게 조정할 수 있다.In addition, by adjusting the air permeability of the ventilation body by the porous plate, it is possible to easily adjust the amount of air flowing from the room to the upper ceiling space through the ventilation body.

바람직하게는 룸 내의 기압이 천장 상부 공간의 기압보다도 0.2㎜Aq~1.5㎜Aq 만큼 높을 때에, 통기체는 룸 내로부터 통기체를 통해서 천장 상부 공간으로 흐르는 공기의 전체 풍량이 팬 필터 유닛이 천장 상부 공간으로부터 룸 내로 송풍 되는 공기의 전체 풍량의 5%~15%가 되는 통기성을 가진다. 그에 따라 실내의 청정도를 유지하면서 실내에서 소용돌이 기류의 발생을 효과적으로 억제할 수 있다.Preferably, when the air pressure in the room is 0.2 mmAq to 1.5 mmAq higher than the air pressure in the upper ceiling space, the ventilator is configured such that the total amount of air flowing from the inside of the room to the upper ceiling space through the ventilator is increased by the fan filter unit. It has air permeability of 5% to 15% of the total amount of air blown from the space into the room. Accordingly, it is possible to effectively suppress the generation of vortex airflow in the room while maintaining the cleanliness of the room.

도 1은 본 발명의 크린 룸 장치를 사용한 크린 룸 시스템의 전체 구조도이고, 도 2는 도 1의 크린 룸 장치의 룸 천장의 사시도이며, 도 3은 도 1의 통기체의 사시도이고, 도 4는 제 3실시 형태의 크린 룸 장치의 단면도이며, 도 5는 제 3실시 형태의 크린 룸 장치에 있어서의 만곡부재의 분해도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 있어서의 크린 룸 장치의 실내 기압과 천장 상부 공간의 기압차와 통기체를 통해서 흐르는 공기의 풍량과의 관계도이며, 도 7은 본 발명 실시예에 따른 크린 룸 장치의 실내 기류의 모식도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 크린 룸 장치의 실내 먼지 농도를 나타낸 도면이다.1 is an overall structural diagram of a clean room system using the clean room device of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a room ceiling of the clean room device of FIG. 1, FIG. 3 is a perspective view of the ventilation body of FIG. 1, and FIG. 4 is It is sectional drawing of the clean room apparatus of 3rd Embodiment, FIG. 5 is an exploded view of the curved member in the clean room apparatus of 3rd Embodiment, FIG. 6 is the indoor air pressure of the clean room apparatus in Example of this invention, FIG. 7 is a schematic diagram of indoor airflow of a clean room device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a diagram illustrating a relationship between the air pressure difference in the upper ceiling space and the air volume flowing through the ventilating body. It is a figure which shows the indoor dust density of the clean room apparatus.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)(The best form to carry out invention)

이하, 첨부 도면에 따라서 본 발명에 관한 크린 룸 장치의 바람직한 실시형태에 대해서 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the clean room apparatus concerning this invention is described in detail according to an accompanying drawing.

도 1은 본 발명의 제 1실시 형태의 크린 룸 장치(15)를 사용한 크린 룸 시스템(11)의 전체 구성도이다. 동 도면에 나타낸 바와 같이 크린 룸 장치(15)의 룸(10)의 천장(12)에 복수의 팬 필터 유닛(14)이 배설된다. 크린 룸 장치(15)의 천장 상부 공간(16)의 공기는 팬 필터 유닛(14)에 의해 청정화되면서 룸(10) 내로 송풍 된다. 룸(10) 내로 송풍된 공기는 룸(10) 내의 먼지와 함께 그레이팅 바닥(18)을 통해서 바닥 하부 공간(20)으로 유입되고, 건조냉각코일(21)에 의해 냉각 건조된 후 리턴 공간(22)을 통해서 천장 상부 공간(16)으로 복귀된다. 크린 룸 장치(15)의 바닥 하부 공간(20)의 일부 공기는 환기 덕트(24)를 통해서 공조기(26)로 보내져 공조기(26)에 의해 외부 공기 도입 덕트(28)로부터의 신선한 공기와 혼합되어 소정의 온도, 습도로 조정된 후, 급기덕트(30)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 보내진다. 이와 같이 천장 상부 공간(16)으로 보내진 공기는 다시 팬 필터 유닛(14)에 의해 정화되면서 룸(10) 내로 송풍 된다. 바닥 하부 공간(20)의 다른 일부 공기는 배기 덕트(32)를 통해서 크린 룸 시스템(11) 밖으로 배기 된다.FIG. 1: is the whole block diagram of the clean room system 11 using the clean room apparatus 15 of 1st Embodiment of this invention. As shown in the figure, a plurality of fan filter units 14 are disposed on the ceiling 12 of the room 10 of the clean room device 15. Air in the ceiling upper space 16 of the clean room device 15 is blown into the room 10 while being cleaned by the fan filter unit 14. The air blown into the room 10 flows into the lower floor space 20 through the grating floor 18 together with the dust in the room 10, and is cooled and dried by the drying cooling coil 21 and then returned to the return space 22. Is returned to the ceiling upper space 16. Some air in the bottom floor space 20 of the clean room device 15 is sent to the air conditioner 26 through the ventilation duct 24 and mixed with fresh air from the external air introduction duct 28 by the air conditioner 26. After adjusting to a predetermined temperature and humidity, the air is sent to the upper ceiling space 16 through the air supply duct 30. The air sent to the ceiling upper space 16 is blown into the room 10 while being purified by the fan filter unit 14 again. Some other air in the bottom floor space 20 is exhausted out of the clean room system 11 through the exhaust duct 32.

도 2는 크린 룸 장치(15)의 룸(10) 천장(12)의 사시도이다. 룸(10)의 천장(12)에 천장 프레임(36)이 격자형상으로 설치된다. 천장 프레임(36)에 의해 형성된 격자공간에는 복수의 팬 필터 유닛(14)이 간격을 두고 배치된다. 팬 필터 유닛(14)은 케이싱, 팬 및 필터를 가지며, 팬을 구동함으로써 천장 상부 공간(16)으로부터 공기를 케이싱 내로 흡입하고, 그 공기를 케이싱 하부면에 부착된 먼지 포집용 필터로 먼지를 제거하면서 룸(10) 내로 송풍하도록 구성된다.2 is a perspective view of the ceiling 12 of the room 10 of the clean room device 15. The ceiling frame 36 is provided in a grid on the ceiling 12 of the room 10. In the lattice space formed by the ceiling frame 36, a plurality of fan filter units 14 are arranged at intervals. The fan filter unit 14 has a casing, a fan, and a filter. By driving the fan, air is sucked into the casing from the upper ceiling space 16, and the air is removed by a dust collecting filter attached to the lower surface of the casing. While blowing into the room 10.

천장 프레임(36)에 의해 형성된 격자 공간 중 팬 필터 유닛(14)이 설치되지 않은 빈 격자 공간에는 통기체(40)가 설치된다. 통기체(40)는 도 3에 나타낸 바와 같이 필터(42) 및 다공판(44)으로 구성된다. 필터(42)는 예를 들면 섬유형상의 재료(예를 들면 유리섬유)로 이루어진 부직포를 아코디온 형상으로 접은 것이다. 먼지를 함유한 공기를 필터(42)에 통과시키면, 먼지는 필터(42) 내부의 섬유에 포집되어 공기는 청정화된다.The ventilation body 40 is installed in the empty grid space in which the fan filter unit 14 is not installed among the grid spaces formed by the ceiling frame 36. The ventilation body 40 is comprised from the filter 42 and the porous plate 44 as shown in FIG. The filter 42 is, for example, a non-woven fabric made of a fibrous material (for example, glass fiber) is folded in an accordion shape. When air containing dust passes through the filter 42, the dust is collected by the fibers inside the filter 42 and the air is cleaned.

다공판(44)은 판 전체의 면에 구멍이 균등하게 형성된 것으로서 다공판(44)의 개구율은 통기체(40)의 통기성을 고려해서 결정된다. 예를 들면 통기체(40)는 룸(10) 내의 공기가 천장 상부 공간(16)의 기압 보다도 0.2㎜Aq~1.5㎜Aq만큼 높을 때에 룸(10) 내로부터 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 전체 풍량이 팬 필터 유닛(14)이 천장 상부 공간(16)으로부터 룸(10) 내로 송풍 되는 공기의 전체 풍량의 5%~15%가 되는 통기성을 가진 것이 이하의 이유에 의해 바람직하다. 즉, 통기체(40)의 통기성이 너무 작아서 룸(10) 내로부터 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 풍량이 너무 작을 경우에는 통기체(40)의 하부에서 서지 기류가 발생하므로, 먼지가 룸(10) 내에 체류한다. 반대로, 통기체(40)의 통기성이 너무 커서 룸(10) 내로부터 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 풍량이 너무 많을 경우에는 팬 필터 유닛(14)에 의해서 룸(10) 내로 송풍 되는 청정공기가 그대로 천장 상부 공간(16)으로 흘러가므로, 룸(10) 내의 청정화 효율이 나빠진다. 통기체(40)는 필요한 통기성을 갖는 것이면 무엇이든 좋다. 예를 들면, 종류나 두께를 선택함으로써 통기성을 조정한 필터만을 통기체(40)로서 설치해도 된다. 혹은 적절한 통기성을 얻도록 개구율을 조정한 다공판만을 통기체(40)로서 설치해도 된다.The perforated plate 44 is formed with evenly formed holes in the entire surface of the plate, and the aperture ratio of the perforated plate 44 is determined in consideration of the air permeability of the vent body 40. For example, the ventilation body 40 has an upper ceiling through the ventilation body 40 from the inside of the room 10 when the air in the room 10 is 0.2 mmAq to 1.5 mmAq higher than the air pressure of the ceiling upper space 16. It is the following that the total amount of air flowed into the space 16 has a ventilation of 5% to 15% of the total amount of air blown by the fan filter unit 14 from the ceiling upper space 16 into the room 10. It is preferable for a reason. That is, when the air flow rate of the air vent 40 is too small and the air volume of the air flowing from the inside of the room 10 through the air vent 40 to the ceiling upper space 16 is too small, the surge at the bottom of the air vent 40 Since airflow is generated, dust stays in the room 10. On the contrary, when the air permeability of the ventilation body 40 is too large and there is too much air flow from the inside of the room 10 through the ventilation body 40 to the ceiling upper space 16, the room is controlled by the fan filter unit 14. Since the clean air blown into (10) flows into the ceiling upper space 16 as it is, the purification efficiency in the room 10 worsens. The vent 40 may be anything as long as it has the necessary breathability. For example, only the filter which adjusted the air permeability by selecting a kind and thickness may be provided as the air vent body 40. Or you may install only the porous board which adjusted the aperture ratio as the ventilation body 40 so that appropriate air permeability may be obtained.

다공판(44)의 개구율의 조정은 예를 들면 다공판(44)을 한쪽이 슬라이드 가능한 2매의 다공판으로 구성하고, 양 다공판의 구멍끼리의 겹친 정도를 조정함으로써 행할 수 있다. 이에 따르면, 통기체(40)의 통기성이 크린 룸 장치(15)의 규모나 청정도에 맞추어서 적절해지도록 다공판(44)의 개구율을 간단하게 조정할 수 있다. 또한, 크린 룸 장치(15)의 준공 후에도 다공판(44)의 개구율을 간단하게 변경할 수 있다.The opening ratio of the porous plate 44 can be adjusted by, for example, constituting the porous plate 44 with two porous plates that can slide on one side, and adjusting the degree of overlap between the holes of both porous plates. According to this, the opening ratio of the porous plate 44 can be easily adjusted so that the air permeability of the air vent body 40 is appropriate to the size and cleanliness of the clean room apparatus 15. Moreover, even after completion of the clean room apparatus 15, the opening ratio of the porous plate 44 can be easily changed.

통기체(40)는 상기와 같은 다공판(44)이나 필터(42)만으로 한정되지 않는다. 적절한 통기성을 가진 것이라면, 예를 들면 슬릿판이나 운전을 정지한 팬 필터 유닛(14)을 통기체(40)로서 사용해도 된다.The vent 40 is not limited to only the porous plate 44 and the filter 42 as described above. As long as it has a suitable air permeability, you may use the slit board and the fan filter unit 14 which stopped operation | operation as the ventilation body 40, for example.

상기와 같이 구성된 본 발명의 제 1실시예 형태의 크린 룸 장치(15)의 작용 에 대해서 설명한다.The operation of the clean room device 15 of the first embodiment of the present invention configured as described above will be described.

팬 필터 유닛(14)의 팬을 구동하여 룸(10) 내에 청정공기를 송풍한다. 그에 따라 팬 필터 유닛(14)의 하부에서는 천장(12)으로부터 그레이팅 바닥(18)으로 향해서 하강기류가 발생하여 룸(10) 내의 대부분의 공기는 먼지와 함께 그레이팅 바닥(18)을 통해서 바닥 하부 공간(20)으로 유입된다. 바닥 하부 공간(20)으로 유입된 공기는 상술한 바와 같이 크린 룸 시스템(11) 밖으로 배기 되는 일부 공기를 제외하고, 천장 상부 공간(16)으로 복귀되어 다시 팬 필터 유닛(14)에 의해 정화되면서 룸(10) 내로 송풍 된다.The fan of the fan filter unit 14 is driven to blow clean air into the room 10. Accordingly, in the lower part of the fan filter unit 14, a downward air flow occurs from the ceiling 12 toward the grating floor 18 so that most of the air in the room 10 passes through the grating floor 18 together with the dust. Flows into (20). The air introduced into the bottom floor space 20 is returned to the ceiling top space 16 and purged by the fan filter unit 14 again, except for some air exhausted out of the clean room system 11 as described above. It is blown into the room 10.

천장 상부 공간(16)으로부터 룸(10) 내로 공기를 송풍함으로써 룸(10) 내의 공기압은 천장 상부 공간(16)의 기압에 비하여 높아진다. 그에 따라 룸(10) 내의 통기체(40) 바로 아래의 영역에서는 상승기류가 발생하여 룸(10) 내의 일부 공기는 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐른다. 따라서, 종래와 같이 빈 격자 공간의 하부 영역에서 소용돌이 기류가 발생하지 않아 먼지가 룸(10) 내에 체류하지 않는다.By blowing air from the ceiling upper space 16 into the room 10, the air pressure in the room 10 becomes higher than the air pressure in the ceiling upper space 16. As a result, an upward airflow occurs in an area immediately below the vent 40 in the room 10, and some air in the room 10 flows through the vent 40 to the ceiling upper space 16. Therefore, as in the prior art, no swirl airflow occurs in the lower region of the empty lattice space, and dust does not stay in the room 10.

이와 같이 제 1실시 형태의 크린 룸 장치(15)에서는 팬 필터 유닛(14)이 설치되지 않은 빈 격자공간에 필터(42)와 다공판(44)으로 이루어진 통기체(40)를 설치하였으므로 룸(10) 내의 기압과 천장 상부 공간(16)의 기압 차이에 의해 룸(10) 내의 일부 공기가 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐른다. 그에 따라 먼지는 룸(10) 내에 체류함이 없이 제거되므로 룸(10) 내를 높은 청정도로 할 수 있다.Thus, in the clean room apparatus 15 of 1st Embodiment, since the ventilation body 40 which consists of the filter 42 and the porous plate 44 was provided in the empty grid space in which the fan filter unit 14 was not installed, the room ( Due to the difference in air pressure in the air pressure in the ceiling and the ceiling upper space 16 in 10), some air in the room 10 flows through the vent 40 to the ceiling upper space 16. Accordingly, the dust is removed without staying in the room 10, so that the inside of the room 10 can be made with high cleanliness.

룸(10) 내의 일부 공기가 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐를 때, 그 공기 중의 먼지는 통기체(40)의 필터(42)에 의해 포집된다. 그에 따라 팬 필터 유닛(14) 내의 필터에 포집되는 먼지의 양이 감소하므로 팬 필터 유닛(14) 내의 필터의 수명을 연장할 수 있다.When some air in the room 10 flows through the vent 40 to the ceiling upper space 16, the dust in the air is collected by the filter 42 of the vent 40. Accordingly, the amount of dust collected by the filter in the fan filter unit 14 is reduced, so that the life of the filter in the fan filter unit 14 can be extended.

통기체(40)의 상부에 팬을 설치하고, 그 팬을 구동하여 천장 상부 공간(16)의 공기를 룸(10) 내로 송풍해도 된다. 그에 따라 필터(42)에 팬 필터 유닛(14)의 필터와 같은 작용을 하게 할 수 있어 통기체(40)의 하부 영역에 높은 청정도가 요구되는 경우에 대응할 수 있다.A fan may be provided in the upper part of the ventilation body 40, and the fan may be driven to blow air into the room 10 in the ceiling upper space 16. As a result, the filter 42 may act as a filter of the fan filter unit 14, and thus may correspond to a case where high cleanliness is required in the lower region of the vent 40.

상술한 제 1실시 형태에서는 천장 프레임(12)의 격자 공간 중 팬 필터 유닛(14)이 설치되어 있지 않은 빈 격자공간에 통기체(40)를 설치하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면 천장(12)에서 측벽이나 기둥을 향한 공간에도 통기체(40)를 설치해도 된다.In the first embodiment described above, the ventilation body 40 is provided in an empty grid space in which the fan filter unit 14 is not provided among the grid spaces of the ceiling frame 12, but the present invention is not limited thereto. For example, the ventilation body 40 may be provided in the space from the ceiling 12 toward the side wall or the pillar.

상술한 제 1실시 형태에서는 팬 필터 유닛(14)에 의해서 룸(10) 내와 천장 상부 공간(16) 사이에 발생하는 기압차에 의해 룸(10) 내의 공기가 천장 상부 공간(16)으로 흘렀으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 통기체(40) 상부에 팬을 설치하고, 그 팬을 구동함으로써 룸(10) 내의 공기를 천장 상부 공간(16)으로 흡입하도록 해도 된다. 그에 따라 다공판(44)의 개구율을 조정하지 않아도 팬의 구동을 조정함으로써 룸(10) 내로부터 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 풍량을 간단하게 조정할 수 있다. 따라서, 천장(12)에 배치된 복수의 팬 필터 유닛(14) 중 일부의 팬 필터 유닛(14)의 팬을 역 작동시켜서 룸(10) 내의 공기를 천장 상부 공간(16)으로 흡입하는 것에 의해서도 상술한 실시 형태와 같은 효과가 얻어진다. 이하에 그 경우의 크린 룸 장치(15)를 제 2실시 형태로서 설명한다.In the first embodiment described above, the air in the room 10 flows into the ceiling upper space 16 due to the pressure difference generated between the room 10 and the ceiling upper space 16 by the fan filter unit 14. The present invention is not limited to this. For example, a fan may be provided above the ventilation body 40, and the fan may be driven to suck air in the room 10 into the ceiling upper space 16. Accordingly, by adjusting the drive of the fan without adjusting the opening ratio of the porous plate 44, the air volume of the air flowing from the inside of the room 10 to the ceiling upper space 16 can be easily adjusted. Therefore, by inverting the fan of the fan filter unit 14 of some of the plurality of fan filter units 14 arranged in the ceiling 12 to suck air in the room 10 into the ceiling upper space 16, too. The same effects as in the above-described embodiment are obtained. Below, the clean room apparatus 15 in that case is demonstrated as 2nd Embodiment.

본 발명의 제 2실시 형태의 크린 룸 장치(15)에서는 도 2에 도시한 천장(12)에 있어서, 천장 프레임(36)의 모든 격자 공간에 팬 필터 유닛(14)을 설치한다. 이 팬 필터 유닛(14)은 팬을 정회전 작동시킴으로써 천장 상부 공간(16)으로부터 룸(10) 내로 청정공기를 송풍하는 취출운전과, 팬을 역회전 작동시킴으로써 룸(10) 내의 공기를 천장 상부 공간(16)으로 흡입하는 흡입운전을 절환할 수 있다. 제 2실시 형태에 있어서의 다른 구성은 제 1실시 형태와 같으며 설명은 생략한다.In the clean room apparatus 15 of 2nd Embodiment of this invention, in the ceiling 12 shown in FIG. 2, the fan filter unit 14 is provided in all the grid spaces of the ceiling frame 36. As shown in FIG. The fan filter unit 14 performs a blow-out operation of blowing clean air from the ceiling upper space 16 into the room 10 by operating the fan in forward rotation, and air in the room 10 by operating the fan in reverse rotation. The suction operation to suck into the space 16 can be switched. The other structure in 2nd Embodiment is the same as that of 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.

상기와 같이 구성된 본 발명의 제 2실시 형태의 크린 룸 장치(15)의 작용에 대해서 설명한다.The function of the clean room apparatus 15 of 2nd Embodiment of this invention comprised as mentioned above is demonstrated.

특정 대수의 팬 필터 유닛(14)이 취출운전을 행하고, 나머지 팬 필터 유닛(14)이 흡입운전을 행한다. 취출운전 및 흡입운전을 하는 팬 필터 유닛(14) 각각의 대수는 룸(10) 내로 송풍 되는 공기의 풍량과 천장 상부 공간(16)으로 흡입되는 공기의 풍량 비율을 고려해서 결정한다. 예를 들면, 제 1실시 형태에서 설명한 바와 같이 룸(10) 내의 기압이 천장 상부 공간(16)의 기압보다 0.2㎜Aq~1.5㎜Aq 만큼 높을 때에 룸(10) 내로부터 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 전체 풍량이 천장 상부 공간(16)으로부터 룸(10) 내로 흐르는 공기의 전체 풍량의 5%~15%가 되는 것이 바람직하다.The specific number of fan filter units 14 perform the take-out operation, and the remaining fan filter units 14 perform the suction operation. The number of each of the fan filter units 14 performing the take-out operation and the suction operation is determined in consideration of the air flow rate of the air blown into the room 10 and the air flow rate of the air sucked into the ceiling upper space 16. For example, as described in the first embodiment, when the air pressure in the room 10 is 0.2 mmAq to 1.5 mmAq higher than the air pressure in the ceiling upper space 16, the ceiling upper space 16 from the inside of the room 10. It is preferable that the total amount of air flowing into the air flows from 5% to 15% of the total amount of air flowing from the ceiling upper space 16 into the room 10.

이와 같이 제 2실시 형태의 크린 룸 장치(15)에서는 특정 다수의 팬 필터 유닛(14)이 취출운전을 행하고, 나머지 팬 필터 유닛(14)이 흡입운전을 행하므로 룸(10) 내의 일부 공기는 천장 상부 공간(16)으로 흡입된다. 그에 따라 먼지는 룸(10) 내에 체류하지 않고, 팬 필터 유닛(14) 내의 필터에 의해서 포집되어 룸(10) 내 공기의 청정도를 높게 할 수 있다.As described above, in the clean room device 15 of the second embodiment, a plurality of specific fan filter units 14 perform a take-out operation, and the remaining fan filter units 14 perform a suction operation, so that some air in the room 10 It is sucked into the ceiling upper space 16. Accordingly, the dust does not stay in the room 10 but is collected by a filter in the fan filter unit 14, so that the cleanliness of the air in the room 10 can be increased.

팬 필터 유닛(14)의 필터에 포집된 먼지는 공기가 필터를 통과하는 방향이 변해도 다시 비산하지 않는다. 따라서, 팬 필터 유닛(14)의 취출운전과 흡입운전을 상황의 변화에 따라서 자유롭게 절환할 수 있다. 그에 따라 룸(10)의 모양변화에도 대응할 수 있다.The dust collected on the filter of the fan filter unit 14 does not scatter again even if the direction in which air passes through the filter changes. Therefore, the take-out operation and the suction operation of the fan filter unit 14 can be freely switched according to the change of the situation. Accordingly, it is possible to cope with a change in shape of the room 10.

상술한 제 2실시 형태에서는 천장(12)에서 천장 프레임(36)에 의해서 구성되는 모든 격자 공간에 팬 필터 유닛(14)을 설치하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 팬 필터 유닛(14)을 간격을 두고 배치한 경우에도 일부의 팬 필터 유닛(14)으로 흡입운전을 행하고, 그외 팬 필터 유닛(14)에 의해 취출운전을 행함으로써 룸(10) 내 공기의 청정도를 높게 할 수 있다.In the above-described second embodiment, the fan filter unit 14 is installed in all the grid spaces constituted by the ceiling frame 36 in the ceiling 12, but the present invention is not limited thereto. For example, even when the fan filter units 14 are arranged at intervals, the suction operation is performed by some fan filter units 14 and the take-out operation is performed by the other fan filter units 14. I can increase the cleanliness of my air.

본 발명의 제 3실시 형태의 크린 룸 장치(15)를 도 4 및 도 5에 따라서 설명한다. 도 1 및 도 2에 따라서 설명한 제 1실시 형태와 같은 부재에는 같은 부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.The clean room apparatus 15 of 3rd Embodiment of this invention is demonstrated according to FIG. 4 and FIG. The same members as in the first embodiment described with reference to Figs. 1 and 2 are given the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

도 4에 도시한 바와 같이 천장(12)의 주연부와 측벽 및 기둥으로 이루어진 룸(10) 측벽부(64)의 당접부분(64)에 만곡부재(68)가 배설되어 있다. 이 만곡부재(68)는 천장(12) 또는 측벽부(64)의 일부로서 형성해도 되며, 혹은 천장(12)과 측벽부(64)를 연결하는 독립된 부재로서 설치해도 된다. 천장 프레임(36)은 고정 볼트(13)에 의해 지지되어 있다.As shown in FIG. 4, the curved member 68 is arrange | positioned at the contact part 64 of the side wall part 64 of the room 10 which consists of the periphery part of the ceiling 12, a side wall, and a pillar. The curved member 68 may be formed as a part of the ceiling 12 or the side wall portion 64 or may be provided as an independent member connecting the ceiling 12 and the side wall portion 64. The ceiling frame 36 is supported by the fixing bolt 13.

만곡부재(68)는 도 5에 도시한 바와 같이 만곡 다공판(70)과, 만곡 슬라이드판(72)과 만곡 필터(74)로 형성된다. 만곡 다공판(70)은 룸(10)을 향하고, 만곡 필터(74)는 리턴공간(22)을 향하며, 만곡 슬라이드판(72)은 만곡 다공판(70)과 만곡 필터(74) 사이에 위치한다. 만곡 다공판(70)은 다수의 구멍(70A)이 균일하게 형성된 바닥판(70B)과 대향하는 한 쌍의 가장자리에 형성된 가이드판(76)과 대향하는 또 다른 한 쌍의 가장자리에 형성된 스토퍼 판(78)으로 형성된다. 만곡 슬라이드판(72)에도 다수의 구멍(72A)이 형성되어 있다. 만곡 슬라이드판(72)을 가이드판(76)으로 가이드 하면서 화살표(80) 방향으로 슬라이드 시킴으로써 구멍(70A)과 구멍(72A)의 중첩되는 쪽을 조정하여 상술한 통기체(40)와 마찬가지로 만곡부재(68)의 개구율을 조정할 수 있다.The curved member 68 is formed of the curved porous plate 70, the curved slide plate 72, and the curved filter 74 as shown in FIG. The curved porous plate 70 faces the room 10, the curved filter 74 faces the return space 22, and the curved slide plate 72 is located between the curved porous plate 70 and the curved filter 74. do. The curved porous plate 70 has a stopper plate formed at another pair of edges facing the guide plate 76 formed at the pair of edges facing the bottom plate 70B in which a plurality of holes 70A are uniformly formed. 78). A plurality of holes 72A are formed in the curved slide plate 72 as well. By guiding the curved slide plate 72 to the guide plate 76 and sliding in the direction of the arrow 80, the overlapping side of the hole 70A and the hole 72A is adjusted so that the curved member similar to the vent 40 described above. The aperture ratio of 68 can be adjusted.

만곡 필터(74)는 통기체(40)의 필터(42)와 동일한 구조를 가지고, 만곡부재(68)를 통과하는 공기 중의 먼지를 포집하여 먼지가 룸(10) 내와 리턴공간(22) 사이를 이동하는 것을 방지한다. 만곡 필터(74)는 복수의 만곡 지지판(81)에 의해 지지되고, 만곡 지지판(81)의 선단부가 만곡 다공판(70)에 형성된 구멍 (70C)에 나사 결합하는 고정나사(81A)에 의해 고정된다.The curved filter 74 has the same structure as the filter 42 of the vent 40, and collects the dust in the air passing through the curved member 68 so that the dust is between the room 10 and the return space 22. To prevent it from moving. The curved filter 74 is supported by a plurality of curved support plates 81, and is fixed by a fixing screw 81A in which the tip of the curved support plate 81 is screwed into a hole 70C formed in the curved porous plate 70. do.

상기와 같이 구성된 본 발명의 제 3실시 형태의 크린 룸 장치(15)의 작용에 대해서 설명한다.The function of the clean room apparatus 15 of 3rd Embodiment of this invention comprised as mentioned above is demonstrated.

팬 필터 유닛(14)의 팬을 구동하여 룸(10) 내로 청정공기를 송풍한다. 천장(12)의 주연부 근방의 팬 필터 유닛(14)으로부터 송풍된 공기는 측벽부(64)를 따라서 하부로 흐른다. 측벽부(64)와 천장(12)의 당접부분(66)에 만곡부재(68)를 배설하여 당접부분(66)을 둥글게 하였으므로 하강 기류는 만곡부재(68)의 만곡형상을 따라서 원활하게 흐른다. 그에 따라 당접부분(66)이 각이 진 구조와 비교해서 천장(12)의 주연영역에 소용돌이 기류가 발생하기 곤란하므로 천장(12)의 주연영역에 먼지가 체류하는 것을 방지할 수 있어 룸(10) 내의 청정도를 올릴 수 있다. 또한, 만곡부재(68)에 통기성을 유지시켰으므로 만곡부재(68)는 상술한 통기체(40)와 같은 작용을 가진다. 즉, 룸(10) 내의 천장(12) 주연영역의 일부 공기가 만곡부재(68)를 통해서 리턴공간(22)으로 흘러 천장 상부 공간(16)으로 복귀된다. 그에 따라 룸(10) 내 천장(12)의 주연영역에 있어서의 소용돌이 기류의 발생을 더욱 억제할 수 있어 통기체(40)의 작용과 함께 룸(10) 내의 청정도를 향상시킬 수 있다.The fan of the fan filter unit 14 is driven to blow clean air into the room 10. Air blown from the fan filter unit 14 near the periphery of the ceiling 12 flows downward along the side wall portion 64. Since the curved member 68 is disposed on the side wall portion 64 and the contact portion 66 of the ceiling 12 to round the contact portion 66, the downdraft flows smoothly along the curved shape of the curved member 68. As a result, the swirling airflow is less likely to occur in the peripheral area of the ceiling 12 than in the structure in which the contact portion 66 is angled, thereby preventing dust from remaining in the peripheral area of the ceiling 12. Can increase the degree of cleanliness. In addition, since the air permeability is maintained in the curved member 68, the curved member 68 has the same function as the above-mentioned vent 40. That is, some air in the peripheral area of the ceiling 12 in the room 10 flows to the return space 22 through the curved member 68 and returns to the ceiling upper space 16. As a result, the generation of the vortex airflow in the peripheral region of the ceiling 12 in the room 10 can be further suppressed, and the cleanliness in the room 10 can be improved together with the action of the vent 40.

(실시예)(Example)

본 발명의 크린 룸 장치의 실시예에 대해서 이하에 설명한다.An embodiment of the clean room device of the present invention will be described below.

도 2에 도시한 바와 같이 룸(10)의 천장(12)에 72개의 격자 공간을 가진 천장 프레임(36)을 배설하였다. 이들 격자 공간 중, 18개의 격자공간에는 팬 필터 유닛(14)을 설치하고, 그외 54개의 격자 공간, 즉 빈 격자 공간에는 필터(42)만으로 이루어진 통기체(40)를 설치하였다. 폭 0.6m, 길이 1.2m, 높이 0.3m이고, 960㎥/h의 공기를 송풍할 수 있는 팬 필터 유닛을 팬 필터 유닛(14)으로 사용하였다. ULPA(Ultra Low Penetration Air)필터를 팬 필터 유닛(14) 내의 필터 및 필터(42)로 사용하였다. 룸(10)의 높이는 3.5m, 바닥 하부 공간(20)의 높이는 4m, 천장 상부 공간(16)의 높이는 3.2m였다.As shown in FIG. 2, the ceiling frame 36 having 72 grid spaces was disposed on the ceiling 12 of the room 10. Of these lattice spaces, a fan filter unit 14 is provided in 18 lattice spaces, and a vent 40 made of only the filter 42 is provided in 54 lattice spaces, that is, an empty lattice space. A fan filter unit having a width of 0.6 m, a length of 1.2 m, and a height of 0.3 m and capable of blowing air of 960 m 3 / h was used as the fan filter unit 14. An Ultra Low Penetration Air (ULPA) filter was used as the filter and the filter 42 in the fan filter unit 14. The height of the room 10 was 3.5m, the height of the bottom floor space 20 was 4m, and the height of the ceiling upper space 16 was 3.2m.

다음에 상기한 바와 같이 구성된 실시예의 작용을 설명한다.Next, the operation of the embodiment configured as described above will be described.

도 6은 룸(10) 내의 기압과 천장 상부 공간(16)의 기압차와, 룸(10) 내로부터 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 풍량과의 관계도이다.FIG. 6 is a relationship diagram of the air pressure in the room 10 and the air pressure difference in the ceiling upper space 16, and the amount of air flowing from the inside of the room 10 to the ceiling upper space 16 through the vent 40. .

도면에서 실선은 상기한 바와 같이 ULPA필터를 사용하였을 경우의 결과를 나타내고, 점선은 PTFE필터(폴리테트라 플루오르 에틸렌 여과재를 사용한 초고성능 공기 필터)를 팬 필터 유닛(14) 내의 필터 및 필터(42)로서 사용한 비교예의 결과를 나타낸다. 여기에서는 한 개의 격자 공간을 통과해서 룸(10) 내로부터 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 풍량을 나타내고 있다.The solid line in the figure shows the result when the ULPA filter is used as described above, and the dotted line shows the PTFE filter (the ultra-high performance air filter using the polytetrafluoroethylene filter medium) and the filter 42 in the fan filter unit 14. The result of the comparative example used as is shown. Here, the air volume of the air flowing from the inside of the room 10 to the ceiling upper space 16 through one lattice space is shown.

도 6에 도시한 바와 같이 룸(10) 내와 천장 상부 공간(16)과의 기압차가 작을수록 룸(10) 내로부터 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 풍량은 적고, 기압차가 클수록 풍량은 많아졌다. 본 실시예에서는 룸(10) 내의 기압이 천장 상부 공간(16)의 기압보다도 0.2㎜Aq~1.5㎜Aq 만큼 높을 때에 룸(10) 내가 효과적으로 청정화되었다. 즉, 기압차가 너무 작을 때에는 룸(10) 내로부터 천장 상부 공간(16)으로 공기가 거의 흐르지 않고, 룸(10) 내에 소용돌이 기류가 발생하여 룸(10) 내에 먼지가 체류하였다. 반대로 기압차가 너무 클 때에는 팬 필터 유닛(14)이 룸(10) 내로 송풍 되는 대부분의 청정공기는 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흘러 룸(10) 내의 청정화가 효과적으로 행해지지 못했다.As shown in FIG. 6, the smaller the air pressure difference between the room 10 and the ceiling upper space 16, the air flow rate from the room 10 to the ceiling upper space 16 through the vent 40. The smaller the number and the larger the pressure difference, the larger the air volume. In the present embodiment, the inside of the room 10 is effectively cleaned when the air pressure in the room 10 is 0.2 mmAq to 1.5 mmAq higher than the air pressure in the ceiling upper space 16. That is, when the pressure difference was too small, little air flowed from the inside of the room 10 to the ceiling upper space 16, and vortex airflow occurred in the room 10, and dust remained in the room 10. On the contrary, when the air pressure difference is too large, most of the clean air blown by the fan filter unit 14 into the room 10 flows through the vent 40 to the upper ceiling space 16 so that the cleaning in the room 10 is effectively performed. I couldn't.

룸(10) 내의 기압이 천장 상부 공간(16)의 기압보다도 0.2㎜Aq~1.5㎜Aq 만큼 높을 때에 룸(10) 내부로부터 모든 필터(42)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 풍량합계는 모든 팬 필터 유닛(14)이 천장 상부 공간(16)으로부터 룸(10) 내로 송풍하는 공기의 풍량 합계의 5~15%였다. 또한, 도 6으로부터 알 수 있는 바와 같이 필터(42)의 종류를 바꿈으로써 룸(10) 내로부터 필터(42)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐르는 공기의 풍량을 간단하게 조정할 수 있었다.When the air pressure in the room 10 is 0.2 mmAq to 1.5 mmAq higher than the air pressure in the ceiling upper space 16, the amount of air flows from the inside of the room 10 to the ceiling upper space 16 through all the filters 42. The sum total was 5-15% of the sum of the air volume of the air which all the fan filter units 14 blow from the ceiling upper space 16 into the room 10. As can be seen from FIG. 6, by changing the type of the filter 42, the air volume of the air flowing from the inside of the room 10 to the upper ceiling space 16 through the filter 42 can be easily adjusted.

본 실시예의 룸(10) 내의 기압이 천장 상부 공간(16)의 기압보다도 0.25㎜Aq 만큼 높을 때의 작용을 이하에 설명한다.The operation when the air pressure in the room 10 of the present embodiment is 0.25 mmAq higher than that of the ceiling upper space 16 will be described below.

도 7은 크린 룸 장치(15)의 룸(10) 내 공기의 흐름을 측정한 결과를 나타낸 모식도이다. 동 도면에 있어서, 화살표의 방향은 공기의 흐르는 방향을 나타내고, 화살표의 크기는 공기의 유속을 나타내고 있다. 동 도면에 도시한 바와 같이 팬 필터 유닛(14)의 하부에서는 강한 하강 기류가 발생하고 있었다. 이 영역의 공기 중의 먼지는 그레이팅 바닥(18)을 통해서 룸(10) 밖으로 제거되었다. 한편, 통기체(40)의 바로 하부에서는 상승 기류가 발생하고 있었다. 팬 필터 유닛(14)에 의해 룸(10) 내로 송풍된 일부 공기는 통기체(40)를 통해서 천장 상부 공간(16)으로 흐르고, 그 공기 중의 먼지는 필터(42)에 포집되었다. 이와 같이 팬 필터 유닛(14)이 설치되지 않은 빈 격자 공간에 통기체(40)를 설치함으로써 룸(10) 내의 공기 중의 먼지는 룸(10) 내에 체류하지 않고 제거되었다.FIG. 7: is a schematic diagram which shows the result of having measured the flow of the air in the room 10 of the clean room apparatus 15. As shown in FIG. In the figure, the direction of the arrow indicates the direction of air flow, and the size of the arrow indicates the flow velocity of air. As shown in the figure, strong downward airflow was generated in the lower part of the fan filter unit 14. Dust in the air in this region was removed out of the room 10 through the grating floor 18. On the other hand, upward airflow was generated just below the vent body 40. Some air blown into the room 10 by the fan filter unit 14 flowed through the vent 40 to the ceiling upper space 16, and the dust in the air was collected in the filter 42. Thus, by installing the ventilation body 40 in the empty grid space in which the fan filter unit 14 was not provided, the dust in the air in the room 10 was removed without remaining in the room 10. As shown in FIG.

도 8은 도 7 중의 점 A에서 인공적으로 먼지를 발생시켜 룸(10) 내의 계측위치 B,C,D에서 먼지의 농도(1 입방 피이트 당 먼지의 개수)를 측정한 결과를 나타낸 도면이다. 계측위치 B,C,D의 점 A로부터 수평거리는 각각 0.6m, 1.2m, 1.8m이고, 계측위치 B,C,D의 각각에서 그레이팅 바닥(18)으로 부터의 높이가 2.7m, 2.4m, 2.1m, 1.8m, 1.5m의 각 점에서 측정하였다. 본 실시예에 의한 측정 결과를 작은 원으로 표시하고, 빈 격자공간에 필터(42) 대신에 폐색판을 설치한 비교예에 의한 측정 결과를 X로 표시하였다.FIG. 8 is a view showing the results of measuring dust concentration (number of dusts per cubic foot) at the measurement positions B, C, and D in the room 10 by artificially generating dust at point A in FIG. The horizontal distances from the points A of the measuring positions B, C and D are 0.6 m, 1.2 m and 1.8 m, respectively, and the heights from the grating bottom 18 at the measuring positions B, C and D are 2.7 m and 2.4 m, respectively. It measured at each point of 2.1m, 1.8m, 1.5m. The measurement result by this Example was shown by the small circle, and the measurement result by the comparative example which installed the blocking plate instead of the filter 42 in the empty grid space was shown by X.

동 도면에 나타낸 바와 같이 빈 격자공간에 필터(42)를 설치한 본 실시예에 있어서의 룸(10) 내의 공기 중의 먼지 농도는 대부분의 계측 위치에서 폐색판을 설치한 비교예에 비하여 반 이하였다. 이와 같이 팬 필터 유닛(14)이 설치되지 않은 빈 격자공간에 통기체(40)를 설치함으로써 룸(10) 내의 청정도를 올릴 수 있었다.As shown in the figure, the dust concentration in the air in the room 10 in the present embodiment in which the filter 42 was provided in the empty lattice space was less than that of the comparative example in which the obstruction plate was installed at most measurement positions. . Thus, the degree of cleanliness in the room 10 was improved by providing the ventilation body 40 in the empty grid space in which the fan filter unit 14 was not provided.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 관한 크린 룸 장치에 의하면, 룸의 천장에서 팬 필터 유닛을 간격을 두고 배치하고, 팬 필터 유닛이 설치되지 않은 빈 격자 공간에는 통기체를 설치하여 룸 내의 일부 공기가 통기체를 통해서 천장 상부 공간으로 흐르도록 한다. 그에 따라 팬 필터 유닛을 간격을 두고 배치하여 실내의 빈 격자 공간의 하부 영역에서의 소용돌이 기류의 발생을 방지할 수 있으므로 실내에 먼지가 체류하는 것을 방지할 수 있어 실내의 청정도를 높일 수 있다.As described above, according to the clean room device according to the present invention, the fan filter units are arranged at intervals from the ceiling of the room, and a ventilator is installed in an empty grid space where the fan filter unit is not installed to allow some air in the room to pass through. It flows through the gas into the upper ceiling space. Accordingly, since the fan filter units are arranged at intervals to prevent the generation of vortex air flow in the lower region of the empty grid space of the room, it is possible to prevent dust from remaining in the room, thereby improving the cleanliness of the room.

Claims

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A clean room device comprising a ceiling-mounted room, a fan filter unit mounted on the ceiling and blowing clean air from the upper ceiling space into the room, and a filter mounted on the ceiling.

And a curved member comprising a curved perforated plate and a curved filter at a periphery of the ceiling and a contact portion of the room side wall to prevent dust from remaining in the periphery of the ceiling.

The clean room apparatus according to claim 8, wherein a curved slide plate is disposed between the curved porous plate and the curved filter.

10. The curved slide plate according to claim 9, wherein the curved porous plate is formed of a bottom plate having a plurality of holes, a guide plate formed at a pair of opposite edges, and a stopper plate formed at another pair of edges facing each other, wherein the curved slide The plate is formed with a plurality of holes, the genital curving filter is supported by a plurality of curved support plate, the front end of the curved support plate is fixed by a fixing screw screwed into the hole formed in the curved perforated plate Device.