KR100618977B1 - Optical head for near field recording/reproducing by using vertical cavity surface emitting laser - Google Patents

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KR100618977B1 KR1019990041494A KR19990041494A KR100618977B1 KR 100618977 B1 KR100618977 B1 KR 100618977B1 KR 1019990041494 A KR1019990041494 A KR 1019990041494A KR 19990041494 A KR19990041494 A KR 19990041494A KR 100618977 B1 KR100618977 B1 KR 100618977B1
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Abstract

레이저광이 출사되는 윈도우 측에 프레넬 패턴 형태로 된 렌즈부를 구비하여, 출사되는 레이저광이 상기 렌즈부를 통과하면서 회절되어 근접된 위치에 포커싱 되도록 된 것을 특징으로 하는 표면광 레이저 및 이를 채용한 근접장 기록재생용 광헤드가 개시되어 있다.A surface light laser and a near field employing the same are provided with a lens portion in the form of a Fresnel pattern on the side of the window from which the laser light is emitted, so that the emitted laser light is diffracted while passing through the lens portion and focused at an adjacent position. Disclosed is an optical head for recording and reproducing.

이와 같이 렌즈부를 구비하는 표면광 레이저는 그로부터 출사되는 광이 그 윈도우로부터 근접된 위치에 초점을 갖는 수렴광이므로, 이러한 표면광 레이저를 광원으로 채용한 근접장 기록재생용 광헤드는 별도의 렌즈부재 등의 광학소자 없이 슬라이더에 직접적으로 표면광 레이저를 탑재시켜 근접장 기록재생을 수행할 수 있어서, 구조가 간단하고 별도의 광학적 정렬이 불필요하며 초소형화된 근접장 기록재생용 광헤드를 구현할 수 있다.In this way, the surface light laser having the lens portion is a converging light having a focus at a position where light emitted therefrom is proximate from the window. Therefore, an optical head for near field recording and reproduction employing such a surface light laser as a light source is provided with a separate lens member or the like. Since the near field recording and reproducing can be performed by mounting a surface light laser directly on the slider without the optical element of the optical element, a simple structure, no separate optical alignment is required, and a miniaturized near field recording and reproducing optical head can be realized.

Description

표면광 레이저를 채용한 근접장 기록재생용 광헤드{Optical head for near field recording/reproducing by using vertical cavity surface emitting laser} Optical head for near field recording / reproducing by using vertical cavity surface emitting laser

도 1은 일반적인 근접장 기록재생장치의 구성을 개략적으로 보인 도면,1 is a view schematically showing the configuration of a general near field recording and reproducing apparatus;

도 2는 도 1에서의 광헤드의 구성을 개략적으로 보인 도면,2 is a view schematically showing the configuration of an optical head in FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면광 레이저의 적층구조를 개략적으로 보인 단면도,3 is a cross-sectional view schematically showing a laminated structure of a surface light laser according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면광 레이저의 적층구조를 개략적으로 보인 단면도,4 is a cross-sectional view schematically showing a laminated structure of a surface light laser according to another embodiment of the present invention;

도 5는 도 3 및 도 4의 평면도,5 is a plan view of FIGS. 3 and 4;

도 6은 일반적인 표면광 레이저의 적층구조를 개략적으로 보인 단면도,6 is a cross-sectional view schematically showing a laminated structure of a general surface light laser,

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드를 개략적으로 보인 도면,7 is a schematic view of an optical head for near field recording and reproducing according to an embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드를 개략적으로 보인 도면,8 is a schematic view showing an optical head for near field recording and reproducing according to another embodiment of the present invention;

도 9 및 도 10은 각각 도 8의 광모듈의 실시예를 보인 평면도,9 and 10 are a plan view showing an embodiment of the optical module of Figure 8, respectively;

도 11은 본 발명에 따른 광모듈의 일 실시예를 개략적으로 보인 단면도.Figure 11 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of an optical module according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

20...슬라이더 50,150...표면광 레이저20 ... slider 50,150 ... surface light laser

51,61...제1 및 제2전극 55,59...제1 및 제2반사기층51,61 ... first and second electrodes 55,59 ... first and second reflector layers

60,160...렌즈부 70,170...기록매체60,160 ... Lens section 70,170 ... Recording medium

71,171...기록층 73,173...기판71,171 ... Recording layer 73,173 ... Substrate

80,180...광검출기 155...트렌치80,180 ... Photodetector 155 ... Trench

185,187,189...제1 내지 제3반도체물질층 191,195...편광부재185,187,189 ... first to third semiconductor material layers 191,195

본 발명은 집속수단이 일체화된 표면광 레이저(Surface emitting laser) 및 이를 채용한 근접장(near field) 기록재생용 광헤드에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface emitting laser in which a focusing means is integrated and an optical head for near field recording and reproduction employing the same.

일반적으로, 근접장이란 광디스크와 같은 기록매체에 근접되게 배치된 광학 요소와 기록매체 사이의 간격이 예컨대, 20∼300nm 정도로 근접된 상태에서 데이터의 기록 재생을 수행하는 기술을 말한다.In general, the near field refers to a technique for performing recording and reproduction of data in a state where the distance between the optical element and the recording medium disposed in proximity to the recording medium such as an optical disc is close to, for example, about 20 to 300 nm.

도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적인 근접장 기록재생장치는 베이스에 대해 왕복 회전 가능하게 설치된 스윙암(21)과, 상기 스윙암(21)에 회전 구동력을 제공하는 액츄에이터(23)와, 공기동압에 의해 광디스크(10)에 대해 부상된 채로 광디스크(10)의 트랙을 스캔할 수 있도록 상기 스윙암(21)의 단부에 설치된 슬라이더(25) 및, 이 슬라이더(25)에 설치되어 광학식으로 정보를 재생할 수 있도록 상기 광디스 크(10)에 광스폿을 형성하는 광헤드(30)를 포함하여 구성된다. 여기서, 광디스크는 상변화형 광디스크와, 광자기디스크를 포함하는 것으로, 광디스크로 광자기디스크를 채용한 경우에는 상기 광헤드(30)는 자계변조를 위한 코일(35)을 더 구비한다.1 and 2, a general near field recording and reproducing apparatus includes a swing arm 21 reciprocally rotatable with respect to a base, an actuator 23 providing a rotation driving force to the swing arm 21, and pneumatic pressure. And a slider 25 provided at the end of the swing arm 21 and the slider 25 so as to scan the track of the optical disk 10 while being floated with respect to the optical disk 10 by means of an optical information. And an optical head 30 forming an optical spot on the optical disk 10 so that the optical disk 10 can reproduce. Here, the optical disk includes a phase change type optical disk and an optical magnetic disk. When the optical magnetic disk is employed as the optical disk, the optical head 30 further includes a coil 35 for magnetic field modulation.

광헤드(30)는 송수광부(40)와, 반사거울(32)과, 대물렌즈(33) 및, 고체함침렌즈(SIL:Solid Immersion Lens) 또는 고체함침미러(SIM:Solid Immersion Mirror)로 된 소형렌즈(34)를 포함하여 구성된다. The optical head 30 is composed of a light transmitting / receiving part 40, a reflecting mirror 32, an objective lens 33, and a solid immersion lens (SIL) or a solid immersion mirror (SIM). It comprises a small lens 34.

도 2는 소형렌즈(34)로 굴절형 고체함침렌즈를 채용한 장치를 예로 들어 보인 것으로, 소형렌즈(34)는 송수광부(40)에서 조사된 광이 큰 입사각으로 광디스크(10)에 집속되도록 한다. 이로써 광디스크(10)에 맺힌 광스폿 크기를 줄일 수 있다.2 illustrates an apparatus employing a refractive-type solid-impregnated lens as the small lens 34, and the small lens 34 is configured to focus light irradiated from the transmitting and receiving part 40 onto the optical disk 10 at a large incident angle. do. As a result, the size of the light spot formed on the optical disc 10 can be reduced.

상기 송수광부(40)는 반도레 레이저, 광검출기 및 광경로변환수단을 포함하여 구성된다. 이때, 상기 광경로변환수단은 반도체 레이저에서 출사된 광은 상기 반사거울(32)을 향하도록 하고, 광디스크(10)에서 반사되어 되돌아오는 광은 상기 광검출기를 향하도록 광의 진행 경로를 변환한다.The transmitter / receiver 40 includes a bandore laser, a photodetector, and an optical path converting means. In this case, the light path converting means converts the light emitted from the semiconductor laser toward the reflective mirror 32 and the light reflected from the optical disc 10 returns to the photodetector.

이러한 송수광부(40)는 대물렌즈(33)에 적합한 직경을 갖는 레이저 광을 조사하며, 상기 반사거울(32)은 상기 송수광부(40)로부터 입사되는 광을 대물렌즈(33) 쪽으로 반사시킨다. 상기 대물렌즈(33)는 입사광을 상기 소형렌즈(34)에 집광시키며, 상기 소형렌즈(34)는 광디스크(10)에 근접장을 형성한다.The transmitter / receiver 40 irradiates laser light having a diameter suitable for the objective lens 33, and the reflection mirror 32 reflects the light incident from the transmitter / receiver 40 toward the objective lens 33. The objective lens 33 focuses incident light onto the small lens 34, and the small lens 34 forms a near field on the optical disk 10.

상기 슬라이더(25)는 서스펜션(26)에 의해 광디스크(10)에 접촉되는 방향으 로 바이어스되어 있다. 이 슬라이더(25)는 상기 광디스크(10)가 회전하기 시작하면 그 공기동압에 의해 광디스크(10)로부터 부상하게 되는데, 이때 형성되는 상기 광학요소(34)와 광디스크(10) 사이의 에어갭(G)은 상기 송수광부(40)에서 조사되는 광의 파장보다 작은 전술한 20∼300nm 정도의 근접간격이 되어야만 상기 광디스크(10)에 맺힌 광스폿 크기는 소망하는 광스폿 크기에 가깝게 된다.The slider 25 is biased in the direction in which the suspension 26 is in contact with the optical disc 10. The slider 25 is floated from the optical disk 10 by the pneumatic pressure when the optical disk 10 starts to rotate, and the air gap G between the optical element 34 and the optical disk 10 is formed. ) Should be a close distance of about 20 to 300 nm as described above, which is smaller than the wavelength of the light emitted from the light-receiving unit 40, so that the size of the light spot formed on the optical disc 10 is close to the desired light spot size.

하지만, 상기와 같은 기록재생장치는 상대적으로 원거리에 있는 송수광부(40)로부터의 광이 집속되어 광디스크(10)에 맺히도록 하기 위해 다수의 광학요소를 구비하므로, 그 구조가 복잡하여 송수광부(40)로부터 소형렌즈(34)까지의 광학적 정렬이 어려울 뿐만 아니라 그 크기를 소형화하기 어렵다. However, the recording and reproducing apparatus as described above includes a plurality of optical elements for concentrating light from the transmitting / receiving unit 40 at a relatively long distance and condensing on the optical disc 10. Therefore, the structure of the recording and reproducing apparatus is complicated. Not only is the optical alignment from 40 to the small lens 34 difficult, but also its size is difficult to miniaturize.

본 발명은 상기한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 집속수단이 일체화되어 그 출사 레이저광을 곧바로 근접장에 포커싱시킬 수 있는 표면광 레이저 및 이를 채용하여 구조가 단순화되어 광학적 정렬이 쉽고 소형화가 가능한 근접장 기록재생용 광헤드를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-mentioned point, and the surface light laser which can focus the output laser light directly to the near field by integrating the focusing means, and adopting the same, the structure is simplified and the optical alignment is easy and can be miniaturized. It is an object of the present invention to provide an optical head for near field recording and reproduction.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판; 이 기판 상에 형성된 제1반사기층; 이 제1반사기층 상에 형성되어 전자와 정공의 재결합으로 광을 생성하는 활성층; 이 활성층 상에 형성된 제2반사기층; 상기 기판 하면에 형성된 제1전극; 및 상기 제2반사기층 상에 형성된 제2전극;을 포함하여, 반도체 물질층의 적층방향으로 레이저광을 생성 출사하는 표면광 레이저에 있어서, 레이저광이 출사되는 윈도 우 측에 프레넬 패턴 형태로 된 렌즈부를 구비하여, 출사되는 레이저광이 상기 렌즈부를 통과하면서 회절되어 근접된 위치에 포커싱 되도록 된 것을 특징으로 한다.The present invention in order to achieve the above object; A first reflector layer formed on the substrate; An active layer formed on the first reflector layer to generate light by recombination of electrons and holes; A second reflector layer formed on the active layer; A first electrode formed on the bottom surface of the substrate; And a second electrode formed on the second reflector layer, wherein the surface light laser generates and emits laser light in a stacking direction of the semiconductor material layer, wherein the laser light is emitted in a Fresnel pattern form on a window side. It is characterized in that it is provided with a lens portion, so that the laser light emitted is diffracted while passing through the lens portion to be focused at a proximal position.

이때, 상기 렌즈부는 상기 제2반사기층의 일부층을 프레넬 패턴 형태로 식각하여 된 것이 바람직하다.In this case, the lens unit is preferably formed by etching a portion of the second reflector layer in the form of a Fresnel pattern.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기록매체의 회전에 의해 발생하는 공기동압에 의해 부상된 채로 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되어 광 및/또는 자계변조를 통해 정보를 기록재생할 수 있도록 된 근접장 기록재생용 광헤드에 있어서, 상기 기록매체는 기록층 및 이 기록층을 지지하며 입사광을 투과시키는 투명기판을 구비하고, 상기 슬라이더에 설치되며, 기판; 상기 기판의 저면에 형성된 제1전극; 상기 기판 상에 형성된 제1반사기층; 상기 제1반사기층 상에 형성된 활성층; 상기 활성층의 상에 형성된 제2반사기층; 상기 제2반사기층 상에 형성된 제2전극; 및 출사되는 레이저광이 회절 집속되어 근접된 위치에 포커싱되도록 윈도우측에 프레넬 패턴 형태로 마련된 렌즈부;을 포함하여, 반도체 물질층의 적층 방향으로 레이저광을 생성 출사하며 그 윈도우로부터 근접된 위치에 포커싱하는 표면광 레이저; 및 상기 표면광 레이저로부터 그 렌즈부를 경유하여 상기 기록층에 포커싱되고 투명기판을 투과하여 입사되는 광을 수광하도록 상기 표면광 레이저에 대향되게 설치된 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, the present invention is installed in a slider moving on the recording medium while being floated by the air dynamic pressure generated by the rotation of the recording medium, the near field which can record and reproduce information through optical and / or magnetic field modulation. An optical head for recording and reproducing, wherein the recording medium includes a recording layer and a transparent substrate supporting the recording layer and transmitting incident light, the substrate being provided on the slider; A first electrode formed on the bottom surface of the substrate; A first reflector layer formed on the substrate; An active layer formed on the first reflector layer; A second reflector layer formed on the active layer; A second electrode formed on the second reflector layer; And a lens unit provided in the form of a Fresnel pattern on the side of the window so that the emitted laser light is focused at a position proximate to the diffraction focus. A surface light laser focusing on; And a photodetector facing the surface light laser so as to receive light incident on the recording layer from the surface light laser via the lens portion and transmitted through the transparent substrate.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기록매체의 회전에 의해 발생하는 공기동압에 의해 부상된 채로 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되어 광 및/또는 자계변조를 통해 정보를 기록재생할 수 있도록 된 근접장 기록재생 용 광헤드에 있어서, 상기 기록매체는 기록층 및 이 기록층을 지지하며 입사광을 반사시키는 반사층을 가지는 기판을 구비하고, 상기 슬라이더에 설치되며, 기판; 상기 기판의 저면에 형성된 제1전극; 상기 기판 상에 형성된 제1반사기층; 상기 제1반사기층 상에 형성된 활성층; 상기 활성층의 상에 형성된 제2반사기층; 상기 제2반사기층 상에 형성된 제2전극; 및 출사되는 레이저광이 회절 집속되어 근접된 위치에 포커싱되도록 윈도우측에 프레넬 패턴 형태로 마련된 렌즈부;을 포함하여, 반도체 물질층의 적층 방향으로 레이저광을 생성 출사하며 그 윈도우로부터 근접된 위치에 포커싱하는 표면광 레이저; 및 상기 표면광 레이저로부터 그 렌즈부를 경유하여 상기 기록층에 포커싱되고 상기 반사층에서 반사되는 광을 수광하도록 상기 표면광 레이저 일측에 설치된 광검출기;를 포함하며, 상기 렌즈부의 프레넬 패턴은 그 패턴 중심이 상기 윈도우 중심에서 소정 거리 벗어나 위치되도록 마련되어, 적어도 일부 레이저광이 상기 기록층에 비스듬히 집속되면서 입사된 다음 상기 반사층에서 반사되어 상기 광검출기를 향하도록 된 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, the present invention is installed on the slider moving on the recording medium while being floated by the air dynamic pressure generated by the rotation of the recording medium to record and reproduce information through optical and / or magnetic field modulation. An optical head for near field recording and reproducing, the recording medium comprising: a substrate having a recording layer and a reflecting layer supporting the recording layer and reflecting incident light, the substrate being provided on the slider; A first electrode formed on the bottom surface of the substrate; A first reflector layer formed on the substrate; An active layer formed on the first reflector layer; A second reflector layer formed on the active layer; A second electrode formed on the second reflector layer; And a lens unit provided in the form of a Fresnel pattern on the side of the window so that the emitted laser light is focused at a position proximate to the diffraction focus. The laser unit generates and emits laser light in the stacking direction of the semiconductor material layer and is located close to the window. A surface light laser focusing on; And a photodetector provided at one side of the surface light laser to receive light focused from the surface light laser to the recording layer via the lens portion and reflected from the reflective layer, wherein the Fresnel pattern of the lens portion is the center of the pattern. It is provided so as to be positioned away from the center of the window, at least a portion of the laser light is incident to the recording layer at an oblique angle and then reflected from the reflective layer to be directed to the photodetector.

이때, 상기 렌즈부는 상기 제2반사기층의 일부층을 프레넬 패턴 형태로 식각하여 된 것이 바람직하다.In this case, the lens unit is preferably formed by etching a portion of the second reflector layer in the form of a Fresnel pattern.

본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 슬라이더와 기록매체 사이 및/또는 기록매체 하부에 코일부재를 더 구비하여, 광 및 자계변조에 의해 신호를 기록재생하도록 마련되고, 상기 광검출기의 수광면 상에는 입사되는 광스폿을 대략 2분할하여 서로 다른 편광성분을 투과시키는 한쌍의 편광부재;를 더 구비한다.According to an aspect of the present invention, a coil member is further provided between the slider and the recording medium and / or under the recording medium, and is provided to record and reproduce the signal by light and magnetic field modulation, and is incident on the light receiving surface of the photodetector. It further comprises a pair of polarizing members for dividing the light spot to be approximately two to transmit different polarization components.

이때, 상기 한쌍의 편광부재는, 패턴방향이 서로 직교하며 그 패턴간격이 상 기 표면광 레이저의 출사 파장보다 작게 형성된 홀로그램 그레이팅인 것이 바람직하다.In this case, the pair of polarizing members, the pattern direction is perpendicular to each other and the pattern interval is preferably holographic grating formed smaller than the emission wavelength of the surface light laser.

또한, 상기 광검출기는, 상기 표면광 레이저의 기판 및 이 기판의 저면에 형성된 제1전극을 공유하며, 상기 기판 상에 측방향으로 상기 표면광 레이저와 전기적으로 절연되게 형성되고, 그 수광면을 제외한 적어도 일부 영역에 소정 패턴의 검출전극을 구비하는 것이 바람직하며, 이러한 광검출기는, 상기 제1반사기층과 대략 동일한 물질 구성 및 적층수를 가지며, 그 적어도 일부가 상기 표면광 레이저와 소정 간격 이격되게 형성된 제1반도체물질층; 상기 제1반도체물질층 상에 형성되고 상기 활성층과 대략 같은 물질 및 두께로 이루어진 제2반도체물질층; 상기 제2반도체물질층 상에 형성되고 상기 제2반사기층과 대략 같은 물질 구성을 가지며, 상기 제2반사기층보다 상대적으로 작은 적층수를 가지도록 형성된 제3반도체물질층;을 포함하여, 표면광 레이저와 광검출기를 동일 반도체 제조 공정 상에서 일체로 형성될 수 있다. The photodetector may share a substrate of the surface light laser and a first electrode formed on the bottom surface of the substrate, and may be electrically insulated from the surface light laser laterally on the substrate. It is preferable to provide a detection pattern of a predetermined pattern in at least some regions except for the above, and the photodetector has substantially the same material composition and number of stacked layers as the first reflector layer, and at least a portion thereof is spaced apart from the surface light laser by a predetermined distance. A first semiconductor material layer formed to be; A second semiconductor material layer formed on the first semiconductor material layer and made of substantially the same material and thickness as the active layer; And a third semiconductor material layer formed on the second semiconductor material layer and having a material configuration substantially the same as that of the second reflector layer, and having a smaller number of stacks than the second reflector layer. The laser and photodetector may be integrally formed on the same semiconductor manufacturing process.

이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면광 레이저의 적층구조를 개략적으로 보인 단면도이다.3 is a cross-sectional view schematically showing a laminated structure of a surface light laser according to an embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 본 발명에 따른 표면광 레이저(50)는 기판(53)과, 상기 기판(53)상에 순차로 적층 형성된 제1반사기층(55), 활성층(57) 및 제2반사기층(59)과, 상기 기판(53)의 하면에 형성된 제1전극(51), 상기 제2반사기층(59) 상에 형성 된 제2전극(61), 및 레이저광이 출사되는 윈도우(63) 측에 구비된 렌즈부(60)를 포함하여 구성된다. Referring to the drawings, the surface light laser 50 according to the present invention includes a substrate 53 and a first reflector layer 55, an active layer 57, and a second reflector layer sequentially stacked on the substrate 53. 59, a first electrode 51 formed on the bottom surface of the substrate 53, a second electrode 61 formed on the second reflector layer 59, and a window 63 through which laser light is emitted. It is comprised including the lens part 60 provided in the side.

상기 기판(53)은 진성반도체 기판 또는 일형으로 도핑된 반도체 기판이다. 상기 제1 및 제2반사기층(55)(59)은 반도체 화합물을 교대로 적층하여 이루어지며, 서로 다른 형의 불순물로 도핑되어 있다. 이때, 반사율은 반도체 화합물의 적층수에 따라 달라지므로, 도 3에 도시된 바와 같이, 레이저광이 대부분 제2반사기층(59)을 통하여 출사되는 구조의 경우, 상기 제2반사기층(59)은 제1반사기층(55)보다 작은 적층수를 가진다. 여기서, 상기 기판(53)이 n형인 경우, 상기 제1반사기층(55)은 n형, 제2반사기층(59)은 p형 불순물로 각각 도핑된다.The substrate 53 is an intrinsic semiconductor substrate or a semiconductor substrate doped with one type. The first and second reflector layers 55 and 59 are formed by alternately stacking semiconductor compounds, and are doped with impurities of different types. In this case, since the reflectance depends on the number of stacked semiconductor compounds, as shown in FIG. 3, in the case of the structure in which the laser light is mostly emitted through the second reflector layer 59, the second reflector layer 59 is The stacking number is smaller than that of the first reflector layer 55. Here, when the substrate 53 is n-type, the first reflector layer 55 is n-type, the second reflector layer 59 is doped with p-type impurities, respectively.

상기 활성층(57)은 전자와 정공의 재결합에 의해 광이 발생되는 영역으로, 이 활성층(57) 및/또는 제2반사기층(59)의 일부에는 전류의 흐름을 가이드하여 그 전류가 활성층(57)의 중앙부로 흐르도록 고저항부(58)가 더 형성된 것이 바람직하다. 이 고저항부(58)는 이온 주입 또는 선택적 산화법 등에 의해 형성될 수 있으며, 이러한 고저항부(58)를 형성하는 기술은 잘 알려져 있으므로 그 자세한 설명을 생략한다.The active layer 57 is a region where light is generated by recombination of electrons and holes. A portion of the active layer 57 and / or the second reflector layer 59 guides the flow of current so that the current is active layer 57. It is preferable that the high resistance portion 58 is further formed so as to flow to the center portion. The high resistance portion 58 may be formed by ion implantation, selective oxidation, or the like. Since the technique for forming the high resistance portion 58 is well known, a detailed description thereof will be omitted.

상기 제1전극(51)은 기판(53)의 하면에 형성되고, 제2전극(61)은 상기 제2반사기층(59) 상의 광이 출사되는 윈도우(63)를 제외한 영역에 형성된다. The first electrode 51 is formed on the bottom surface of the substrate 53, and the second electrode 61 is formed in an area excluding the window 63 from which light is emitted on the second reflector layer 59.

여기서, 참조부호 56은 윈도우(63) 및 그 주변의 상기 제2전극(61)과 제2반사기층(59)이 전기적으로 연결되는 부분을 제외한 영역에 형성된 절연층이다.Here, reference numeral 56 is an insulating layer formed in an area except for a portion where the window 63 and the second electrode 61 and the second reflector layer 59 are electrically connected to each other.

이러한 구조에서 상기 제2전극(61)을 통해 전류가 주입되면, 그 전류는 윈도 우(63) 주변을 통해 표면광 레이저(50) 내부로 주입되게 된다.In this structure, when a current is injected through the second electrode 61, the current is injected into the surface light laser 50 through the window 63.

대안으로, 상기 제2전극(61)은 도 4에 도시된 바와 같이, ITO와 같은 투명전극으로 윈도우(63) 및 그 주변을 포함한 제2반사기층(59) 상에 형성될 수도 있다. 이 경우, 전류가 활성층(57)의 중앙부(57a)로 보다 골고루 주입될 수 있으므로, 보다 양질의 레이저빔 프로파일을 얻을 수 있는 이점이 있다. Alternatively, as shown in FIG. 4, the second electrode 61 may be formed on the second reflector layer 59 including the window 63 and its periphery using a transparent electrode such as ITO. In this case, since the current can be more evenly injected into the center portion 57a of the active layer 57, there is an advantage that a better laser beam profile can be obtained.

본 실시예에 있어서, 상기 렌즈부(60)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제2반사기층(59)의 일부층을 프레넬 패턴 형태로 식각하여 형성된다. 상기 프레넬 패턴은 프레넬 렌즈 또는 프레넬 존 형태로 식각된 홀로그램 패턴을 말한다. In the present exemplary embodiment, the lens unit 60 is formed by etching a portion of the second reflector layer 59 in the form of a Fresnel pattern, as shown in FIG. 5. The Fresnel pattern refers to a hologram pattern etched in the form of Fresnel lens or Fresnel zone.

이와 같이 렌즈부(60)가 마련되면 제2반사기층(59)을 통해 출사되는 광은 이 렌즈부(60)를 경유하면서 회절 집속되어, 이 표면광 레이저(50)로부터 근접된 위치에 포커싱된다. 이때, 집속되는 레이저광의 초점위치는 상기 프레넬 패턴들의 간격을 달리함으로써 변경시킬 수 있다.When the lens unit 60 is provided in this way, the light emitted through the second reflector layer 59 is focused by diffraction while passing through the lens unit 60 and focused at a position proximate to the surface light laser 50. . In this case, the focus position of the focused laser light may be changed by changing the spacing of the Fresnel patterns.

여기서, 도 3 내지 도 5는 상기 렌즈부(60)의 프레넬 패턴을 경유한 회절집속광이 대략 윈도우(63) 중심축(c) 즉, 광축을 중심으로 대칭적인 구조를 가지도록 그 패턴 중심이 상기 윈도우(63) 중심축(c) 상에 위치하도록 형성된 예를 보여주고 있으나, 그 적용에 따라 달리 형성시킬 수 있다. 3 to 5 illustrate the center of the pattern such that the diffracted condensed light via the Fresnel pattern of the lens unit 60 has a symmetrical structure about the center axis c of the window 63, that is, the optical axis. Although the example is formed to be located on the window (63) central axis (c), it can be formed differently depending on the application.

예를 들면, 상기 표면광 레이저(50)로부터 출사되는 광을 윈도우(63) 중심축(c) 상이 아닌 다른 위치에 집속시키고자 하는 경우에는 후술하는 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 패턴 중심이 그 윈도우(63) 중심축(c)에서 벗어나도록 프레넬 패턴을 형성시키면 된다. For example, when the light emitted from the surface light laser 50 is to be focused at a position other than on the window 63 center axis c, as shown in FIGS. 9 and 10 to be described later, The Fresnel pattern may be formed so that the center of the pattern deviates from the center axis c of the window 63.

한편, 대안으로, 상기 렌즈부(60)로는 제2반사기층(59)의 일부층을 소정 패턴으로 식각하여 형성하는 대신에 윈도우(63)에 근접되게 프레넬 패턴이 형성된 별도의 부재를 구비할 수도 있다.Alternatively, the lens unit 60 may include a separate member having a Fresnel pattern formed close to the window 63 instead of forming a portion of the second reflector layer 59 by etching a predetermined pattern. It may be.

상기와 같은 본 발명에 따른 표면광 레이저(50)에서, 상기 제1 및 제2전극(61)에 순방향 바이어스를 걸어주면 전류는 상기 활성층(57)의 중앙부(57a)를 통하여 흐르고, 제1 및 제2반사기층(55)(59)에서 발생된 전자와 정공이 이 활성층(57)에서 재결합하여 광이 발생된다. 이 광 중 제1 및 제2반사기층(55)(59) 사이를 오가면서 그 공진조건에 맞는 특정 파장의 광(결과적으로 출사되는 레이저광)만이 살아남아 증폭되고 대부분 상기 윈도우(63)를 통해 출사되며, 프레넬 패턴 형태로 된 렌즈부(60)에서 회절 집속되어 근접한 초점(f)에 포커싱된다.In the surface light laser 50 according to the present invention as described above, when forward bias is applied to the first and second electrodes 61, current flows through the central portion 57a of the active layer 57, and Electrons and holes generated in the second reflector layers 55 and 59 are recombined in the active layer 57 to generate light. Of the light, between the first and second reflector layers 55 and 59, only light of a specific wavelength (resultingly emitted laser light) that survives and amplifies and amplifies, and mostly exits through the window 63. The lens unit 60 is diffracted at the lens unit 60 in the form of a Fresnel pattern, and is focused at an adjacent focal point f.

이때, 렌즈부(60)가 제2반사기층(59)의 일부층을 프레넬 패턴으로 식각하여 형성되는 경우, 활성층(57)에서 발생된 광 중 식각되지 않은 돌출 영역(60a)을 따르는 광은 제1 및 제2반사기층(55)(59) 사이에서 공진 및 증폭된다. 이에 반하여, 반사율 및 공진조건이 반사기층의 적층수에 민감하게 변화되기 때문에, 제2반사기층(59)의 일부층이 식각된 영역(빗금영역:60b)은 공진조건을 만족하지 못하여, 활성층(57)에서 발생된 광 중 식각된 영역(60b)을 따르는 광은 제2반사기층(59)을 대부분 그대로 투과해 버릴 수도 있다. 하지만, 이와 같이 공진이 일어나지 않는 경우 이 영역에서는 결과적으로 광이 증폭 즉, 레이징되지 않아, 전체적인 표면광 레이저(50) 효율에는 별로 영향이 없다.At this time, when the lens unit 60 is formed by etching a part of the second reflector layer 59 in a Fresnel pattern, the light along the unetched protruding region 60a among the light generated in the active layer 57 is It is resonated and amplified between the first and second reflector layers 55 and 59. On the contrary, since the reflectance and the resonance condition change sensitively to the number of stacked layers of the reflector layer, the region (hatched area 60b) where the partial layer of the second reflector layer 59 is etched does not satisfy the resonance condition, and thus the active layer ( The light along the etched region 60b among the light generated by 57 may pass through the second reflector layer 59 as it is. However, in the case where resonance does not occur in this manner, light is not amplified, ie, lasered in this region as a result, so that the overall surface light laser 50 efficiency is not significantly affected.

따라서, 상기와 같이 제2반사기층(59)의 일부층을 프레넬 패턴으로 식각하여 렌즈부(60)를 표면광 레이저(50)에 일체로 형성하는 경우, 광 출력 특성은 도 6에 도시된 바와 같은 일반적인 표면광 레이저(50)(윈도우에서 출사되는 광이 발산됨)와 동일 또는 유사하게 유지하면서도, 그 출사 레이저광을 근접된 초점 위치(f)에 집속시킬 수 있어서, 이를 채용하면 그 근접된 초점 위치에 기록매체를 위치시킴으로써 후술하는 바와 같이 별도의 렌즈부재 및 광경로변환수단 등의 광학부재를 배제한 구조로 근접장 기록재생을 실현할 수 있다. 여기서, 도 6에서 도 3 및 도 5와 동일 참조부호는 실질적으로 동일 또는 유사한 기능을 하는 부재를 나타낸다.Therefore, when the lens 60 is integrally formed on the surface light laser 50 by etching a part of the second reflector layer 59 in a Fresnel pattern, the light output characteristic is shown in FIG. 6. While maintaining the same or similar to a general surface light laser 50 (the light emitted from the window is emitted), it is possible to focus the emitted laser light at a near focal position f, which, if employed, By positioning the recording medium at the focused position, near-field recording and reproduction can be realized with a structure in which an optical member such as a separate lens member and an optical path converting means is eliminated as described below. Here, in FIG. 6, the same reference numerals as used in FIGS. 3 and 5 denote members having substantially the same or similar functions.

이상의 도면에서는 제2반사기층(59)이 돌출된 메사형 구조의 예를 도시하였으나, 표면광 레이저(50)의 기본적인 구조는 다양하게 변형될 수 있다.In the above drawings, an example of the mesa structure in which the second reflector layer 59 protrudes is illustrated, but the basic structure of the surface light laser 50 may be variously modified.

이하에서는 본 발명에 따른 표면광 레이저를 채용한 근접장 기록재생용 광헤드의 실시예들을 설명한다.Hereinafter, embodiments of the optical head for near field recording and reproducing employing the surface light laser according to the present invention will be described.

도 7은 본 발명에 따른 표면광 레이저를 채용한 근접장 기록재생용 광헤드의 일 실시예의 구성을 개략적으로 보인 도면이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드는 기록층(71) 및 이 기록층(71)을 지지하며 입사광을 투과시키는 투명기판(73)을 구비하는 기록매체(70)의 정보를 기록재생할 수 있도록 마련되어 있다. 7 is a view schematically showing the configuration of an embodiment of an optical head for near field recording and reproducing employing a surface light laser according to the present invention. An optical head for near field recording and reproducing according to an embodiment of the present invention includes information on a recording medium 70 including a recording layer 71 and a transparent substrate 73 supporting the recording layer 71 and transmitting incident light. It is provided to record and reproduce.

도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드는, 반도체 물질층의 적층 방향으로 레이저광을 생성 출사하며 그 윈도우측에 프레넬 패턴 형태로 마련된 렌즈부(60)가 일체로 구비된 표면광 레이저(50) 및 상기 표면광 레이저(50)로부터 그 렌즈부(60)를 경유하여 상기 기록층(71)에 포커싱된 다음 상기 투명기판(73)을 투과하여 입사되는 광을 수광하도록 상기 표면광 레이저(50)에 대향되게 설치된 광검출기(80)를 포함하여 구성된다. Referring to the drawings, the optical head for near field recording and reproducing according to an embodiment of the present invention generates and emits laser light in the stacking direction of the semiconductor material layer, and the lens unit 60 provided in the form of a Fresnel pattern on the window side thereof is Light incident from the surface light laser 50 and the surface light laser 50 integrally provided on the recording layer 71 via the lens portion 60 and then transmitted through the transparent substrate 73. And a photodetector 80 mounted opposite to the surface light laser 50 to receive the light.

여기서, 상기 렌즈부(60)의 프레넬 패턴은 그 패턴 중심이 상기 윈도우(63) 중심과 일치하도록 마련된 것이 바람직하며, 표면광 레이저(50)의 구성은 도 3 및/또는 도 4를 참조로 설명한 바와 실질적으로 동일하다.Here, the Fresnel pattern of the lens unit 60 is preferably provided so that the center of the pattern coincides with the center of the window 63, the configuration of the surface light laser 50 with reference to Figures 3 and / or 4 It is substantially the same as described.

본 발명에 따른 상기 표면광 레이저(50)는 도 1에 도시된 바와 같은 근접장 기록재생장치의 슬라이더(25)에 설치된다. 이 표면광 레이저(50)에서 출사되는 광은 그 렌즈부(60)에 의해 회절 집속되어 근접된 초점 위치(f)에 포커싱 된다. The surface light laser 50 according to the present invention is provided in the slider 25 of the near field recording and reproducing apparatus as shown in FIG. The light emitted from the surface light laser 50 is diffracted by the lens unit 60 and focused at an adjacent focal position f.

기록매체(70) 회전시에 상기 표면광 레이저(50)는 그 회전에 의해 발생하는 공기동압에 의해 부상된 채로 기록매체(70) 상에서 움직이는 슬라이더(25)와 함께 기록매체(70)에 대해 부상되는데, 상기 프레넬 패턴은 이러한 부상시 상기 렌즈부(60)의 초점 위치(f)가 대략적으로 상기 기록층(71)에 위치되도록 설계된다. When the recording medium 70 rotates, the surface light laser 50 floats against the recording medium 70 together with the slider 25 moving on the recording medium 70 while being floated by the pneumatic pressure generated by the rotation. The Fresnel pattern is designed such that the focal position f of the lens unit 60 is approximately positioned in the recording layer 71 upon such injury.

한편, 상기 표면광 레이저(50)와 기록매체(70) 사이의 광경로 상에는 상기 표면광 레이저(50)에서 출사된 광이 공기중에 거의 노출되지 않은 채로 기록매체(70)에 조사되어 광스폿의 크기를 최소화할 수 있도록 투명부재(90)를 더 구비하는 것이 바람직하며, 이 투명부재(90)는 상기 윈도우(63)에 근접되게 표면광 레이저(50)와 일체로 설치된다. 여기서, 상기 투명부재(90)는 입사광을 보다 집속시키도록 고굴절부재로 이루어진 것이 바람직하다.On the other hand, on the optical path between the surface light laser 50 and the recording medium 70, the light emitted from the surface light laser 50 is irradiated onto the recording medium 70 with little exposure to the air, It is preferable to further include a transparent member 90 to minimize the size, the transparent member 90 is installed integrally with the surface light laser 50 in close proximity to the window (63). Here, the transparent member 90 is preferably made of a high refractive member to focus more incident light.

본 실시예는 광을 이용하여 상변화형 광디스크와 같은 기록매체(70)의 정보를 기록재생하도록 마련된 경우를 예를 들어 도시하였으며, 광자기디스크와 같은 기록매체(70)의 정보를 기록재생하는 경우에는 상기 슬라이더(25)와 기록매체(70) 사이 또는 기록매체(70) 하부에 자계변조를 위한 코일부재(미도시)가 더 구비된다. This embodiment shows a case where the information is provided to record and reproduce the information of the recording medium 70 such as a phase change type optical disk by using light. In this case, a coil member (not shown) for magnetic field modulation is further provided between the slider 25 and the recording medium 70 or below the recording medium 70.

이와 같이 광헤드가 코일부재를 더 구비하여 광 및/또는 자계 변조로 기록매체(70)의 정보를 기록재생하도록 마련된 경우, 상기 기록매체(70)의 투명기판(73)과 광검출기(80) 수광면(80a) 사이에는 광스폿을 대략 2분할하여 서로 다른 편광성분을 투과시키는 한쌍의 편광부재(도 9의 191,195)가 구비되는데, 이러한 편광부재의 기능 및 구조는 후술하는 다른 실시예에서와 같다.When the optical head is further provided with a coil member to record and reproduce the information of the recording medium 70 by optical and / or magnetic field modulation, the transparent substrate 73 and the photodetector 80 of the recording medium 70 are provided. Between the light receiving surface 80a, a pair of polarizing members (191, 195 of FIG. 9) for dividing light spots by approximately 2 and transmitting different polarization components are provided, and the function and structure of such polarizing members are different from those of other embodiments described below. same.

상기와 같은 광헤드는 기록매체(70)의 회전에 따른 슬라이더(25)의 부상시 투명부재(90)의 기록매체(70)에 마주하는 면 특히, 광이 경유하는 부분과 기록매체(70) 사이의 에어갭(G)이 대략 20∼300nm 정도의 근접 간격이 되어 근접장 기록재생을 수행한다. Such an optical head is a surface facing the recording medium 70 of the transparent member 90 when the slider 25 floats due to the rotation of the recording medium 70, in particular, a portion through which light passes and the recording medium 70. The air gap G therebetween becomes a close interval of about 20 to 300 nm to perform near field recording and reproducing.

여기서, 표면광 레이저(50)의 윈도우(63)와 기록매체(70)가 직접적으로 마주하여서도 근접장 기록재생을 수행할 수 있도록 된 초점거리로 렌즈부(60)가 설계되는 경우에는 상기 투명부재(90)를 배제시킬 수도 있다.Here, when the lens unit 60 is designed with a focal length such that the window 63 and the recording medium 70 of the surface light laser 50 directly face and perform near-field recording and reproduction, the transparent member (90) may be excluded.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드의 구성을 개략적으로 보인 도면이다. 여기서, 도 7과 동일 참조부호는 실질적으로 동일 기능을 하는 부재를 나타낸다. 8 is a diagram schematically showing a configuration of an optical head for near field recording and reproducing according to another embodiment of the present invention. Here, the same reference numerals as those of FIG. 7 denote members having substantially the same functions.

본 발명의 다른 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드는 기록층(171) 및 이 기록층(171)을 지지하며 입사광을 반사시키는 반사층(173a)을 가지는 기판(173)을 구비하는 기록매체(170)의 정보를 기록재생할 수 있도록 마련되어 있다. An optical head for near field recording and reproducing according to another embodiment of the present invention includes a recording medium including a recording layer 171 and a substrate 173 having a recording layer 171 supporting the recording layer 171 and reflecting incident light. 170) information can be recorded and reproduced.

즉, 본 발명의 다른 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드는, 반도체 물질층의 적층 방향으로 레이저광을 생성 출사하며 그 윈도우(63)측에 프레넬 패턴 형태로 마련된 렌즈부(160)가 일체로 구비된 표면광 레이저(150) 및 상기 표면광 레이저(150)로부터 그 렌즈부(160)를 경유하여 상기 기록층(171)에 포커싱된 다음 상기 반사층(173a)에서 반사된 광을 수광하도록 상기 표면광 레이저(150)에 일측에 설치된 광검출기(180)를 포함하여 구성된다. That is, the optical head for near field recording and reproducing according to another embodiment of the present invention generates and emits laser light in the stacking direction of the semiconductor material layer, and the lens unit 160 provided in the form of a Fresnel pattern on the window 63 side is provided. In order to receive the light reflected from the reflective layer 173a which is integrally provided from the surface light laser 150 and the surface light laser 150 via the lens unit 160 and focused on the recording layer 171. It is configured to include a photodetector 180 installed on one side of the surface light laser 150.

도 8은 광헤드가 광 및 자계변조를 통해 광자기디스크 등과 같은 기록매체(170)의 정보를 기록 재생하도록 마련된 실시예를 도시한 것으로, 도 7에 도시된 실시예와 비교할 때 슬라이더(25)와 기록매체(170) 사이 또는 기록매체(170) 하부에 자계변조를 위한 코일부재(120)가 더 구비된다. 여기서, 도 8은 투명부재(90)의 기록매체(170)와 마주하는 면에 소정의 홈을 형성하고 그 홈에 코일부재(120)를 탑재한 예를 보여준다.FIG. 8 illustrates an embodiment in which the optical head is provided to record and reproduce information of a recording medium 170 such as a magneto-optical disc through optical and magnetic field modulation. The slider 25 is compared with the embodiment shown in FIG. And a coil member 120 for magnetic field modulation between the recording medium 170 or a lower portion of the recording medium 170. 8 shows an example in which a predetermined groove is formed on a surface of the transparent member 90 facing the recording medium 170 and the coil member 120 is mounted in the groove.

한편, 상기와 같이 광헤드가 광 및/또는 자계 변조로 기록매체(170)의 정보를 기록재생하도록 된 경우, 광헤드는 도 9에 도시된 바와 같이, 광검출기(180)의 수광면 앞에 광스폿을 대략 2분할하여 서로 다른 편광성분을 투과시키는 한쌍의 편광부재(191)(195)를 더 구비한다. 또한, 상기 광검출기(180)는 상기 편광부재(191)(195)에 대응되게 입사광을 수광하여 각각 독립적으로 광전변환하도록 적어도 2개의 분할판으로 구성된다.On the other hand, when the optical head is to record and reproduce the information of the recording medium 170 by light and / or magnetic field modulation as described above, the optical head is a light in front of the light receiving surface of the photodetector 180, as shown in FIG. It is further provided with a pair of polarizing members 191 and 195 for dividing the spot by approximately 2 and transmitting different polarization components. In addition, the photodetector 180 may include at least two split plates to receive incident light corresponding to the polarizing members 191 and 195 and to independently photoelectrically convert the light.

여기서, 상기 표면광 레이저(150)의 기본적인 구성은 도 3 및/또는 도 4를 참조로 설명한 바와 실질적으로 동일하며, 그 프레넬 패턴은 도 9에 도시된 바와 같이 그 패턴 중심이 상기 윈도우(63) 중심에서 소정 거리 벗어나 위치되도록 마련된다. Here, the basic configuration of the surface light laser 150 is substantially the same as described with reference to FIGS. 3 and / or 4, and the Fresnel pattern has the center of the pattern as shown in FIG. 9. ) Is provided to be located out of a predetermined distance from the center.

프레넬 패턴이 이와 같이 마련되면, 상기 표면광 레이저(150)에서 출사되는 회절집속광은 그 빔의 단면 형상 및 강도 분포가 비대칭이 되어, 적어도 일부 레이저광은 상기 기록층(171)에 비스듬히 입사되게 된다.When the Fresnel pattern is provided in this manner, the diffracted condensed light emitted from the surface light laser 150 is asymmetric in cross-sectional shape and intensity distribution of the beam, and at least some laser light is incident at an angle to the recording layer 171. Will be.

따라서, 별도의 광경로변환수단 없이도 표면광 레이저(150)에서 기록매체(170)에 조사된 다음 반사된 광 중 적어도 일부를 상기 광검출기(180)로 수광되도록 할 수 있다.Accordingly, at least a portion of the light that is irradiated to the recording medium 170 by the surface light laser 150 and then reflected by the surface light laser 150 may be received by the photodetector 180 without a separate optical path converting means.

한편, 상기 한쌍의 편광부재(191)(195)는 도 9에 도시된 바와 같이, 패턴 방향이 서로 직교하며 그 패턴간격이 상기 표면광 레이저(150)의 출사 파장보다 작게 형성된 홀로그램 그레이팅인 것이 바람직하다. 이 편광부재(191)(195)는 예컨대, 상기 광검출기(180)의 수광면 상에 투명 물질층을 적층한 다음 식각에 의해 패턴을 형성하여 광검출기(180)에 일체로 형성할 수도 있다. Meanwhile, as illustrated in FIG. 9, the pair of polarizing members 191 and 195 may be holographic gratings having a pattern direction perpendicular to each other and having a pattern interval smaller than an emission wavelength of the surface light laser 150. Do. The polarizing members 191 and 195 may be formed integrally with the photodetector 180 by forming a pattern by etching, for example, by laminating a transparent material layer on the light receiving surface of the photodetector 180.

상기와 같은 편광부재(191)(195)의 형성은, 패턴의 피치가 입사 광파장보다 작은 경우 홀로그램 그레이팅이 패턴의 길이방향과 나란하게 편광된 광만을 투과시켜 편광기로서 기능을 하는 원리를 이용한 것이다. 여기서, 상기 편광부재(191)(195)는 별도의 부재로 마련될 수도 있다. The formation of the polarizing members 191 and 195 as described above uses the principle that the hologram grating functions as a polarizer by transmitting only the polarized light parallel to the longitudinal direction of the pattern when the pattern pitch is smaller than the incident light wavelength. The polarizing members 191 and 195 may be provided as separate members.

이때, 상기 표면광 레이저(150), 광검출기(180) 및 편광부재(191)(195)는 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 표면광 레이저(150) 및 광검출기(180) 사이가 전기적으로 절연된 일체화 구조로 광모듈(100)화할 수 있다. In this case, as shown in FIG. 9, the surface light laser 150, the photodetector 180, and the polarizing members 191 and 195 are electrically connected between the surface light laser 150 and the photodetector 180. The optical module 100 may be integrated into an insulated integrated structure.

한편, 본발명의 다른 실시예에 따른 광헤드가 상변화형 광디스크와 같은 기록매체(170)의 정보를 기록재생하도록 마련되는 경우에는, 도 8에서 코일부재(120)를 배제시키고, 도 10에 도시된 바와 같이 표면광 레이저(150)와 광검출기(180)의 일체화 구조에서 한쌍의 편광부재(도 9의 191, 195)를 생략시키는 구성으로 충분하다.On the other hand, when the optical head according to another embodiment of the present invention is provided to record and reproduce the information of the recording medium 170, such as a phase change type optical disk, the coil member 120 in FIG. As shown in FIG. 9, a configuration in which the pair of polarizing members 191 and 195 of FIG. 9 are omitted in the integrated structure of the surface light laser 150 and the photodetector 180 is sufficient.

광 및/또는 자계 변조를 통해 광반사식으로 기록매체(170)의 정보를 기록재생하는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광헤드에 채용되는 도 9 및/또는 도10에 도시된 바와 같은 표면광 레이저(150) 및 광검출기(180)의 일체화 구조는 예를 들면, 도 11에 도시된 바와 같이 형성될 수도 있다. 여기서, 표면광 레이저(150)의 구조는 도 3 내지 도 4와 같으므로, 동일 참조부호로 대체하고 그 설명은 생략한다.Surface light as shown in FIGS. 9 and / or 10 employed in an optical head according to another embodiment of the present invention for recording and reproducing information of the recording medium 170 in a light reflection manner through light and / or magnetic field modulation. The integrated structure of the laser 150 and the photodetector 180 may be formed, for example, as shown in FIG. Here, since the structure of the surface light laser 150 is the same as in Figs. 3 to 4, the same reference numerals are used and the description thereof is omitted.

도 11을 참조하면, 광검출기(180)는 표면광 레이저(150)와 기판(53) 및 그 기판(53)의 저면에 형성된 제1전극(51)을 공유한다. 또한, 상기 광검출기(180)는 그 수광면(180a)을 제외한 적어도 일부 영역에 소정 패턴으로 형성된 검출전극(188)을 구비한다. 여기서, 상기 광검출기(180)와 표면광 레이저(150)는 상기 기판(53)상에서 그 사이에 트렌치(155)를 형성하거나, 이온 주입 등에 의해 그 측방향으로 서로 전기적으로 절연되게 형성된다. 여기서, 상기 트렌치(155)는 표면광 레이저(150)의 제1반사기층(55)의 일부층 깊이까지 형성된 것이 바람직하다.Referring to FIG. 11, the photodetector 180 shares a surface light laser 150 with a substrate 53 and a first electrode 51 formed on the bottom surface of the substrate 53. In addition, the photodetector 180 includes a detection electrode 188 formed in a predetermined pattern on at least a portion of the light receiving surface 180a except for the light receiving surface 180a. Here, the photodetector 180 and the surface light laser 150 are formed on the substrate 53 to form a trench 155 therebetween, or to be electrically insulated from each other in the lateral direction by ion implantation or the like. Herein, the trench 155 may be formed to a depth of a portion of the first reflector layer 55 of the surface light laser 150.

상기 광검출기(180)로는 내부 층구조가 예를 들어, 기판(53) 상에 순차로 제1 내지 제3반도체물질층(185)(187)(189)으로 이루어진 PIN 타입의 광검출기를 구 비할 수 있다. 이때, 상기 제1반도체물질층(185)은 표면광 레이저(150)의 제1반사기층(55)과 대략 동일한 물질 구성 및 적층수를 가지는 것이 바람직하다. 상기 제2반도체물질층(187)은 표면광 레이저(150)의 활성층(57)과 대략 같은 물질 및 두께로 이루어진 것이 바람직하다. 또한, 상기 제3반도체물질층(189)은 표면광 레이저(150)의 제2반사기층(59)과 대략 같은 물질 구성을 가지며, 상기 제2반사기층(59)보다 상대적으로 작은 적층수를 가져 그 수광면(180a)을 통해 입사되는 광이 이 제3반도체물질층(189)을 투과하여 제2반도체물질층(187)에서 흡수되도록 된 것이 바람직하다.As the photodetector 180, an internal layer structure may be provided, for example, a PIN type photodetector consisting of first to third semiconductor material layers 185, 187, and 189 on the substrate 53. Can be. In this case, the first semiconductor material layer 185 preferably has substantially the same material composition and number of stacked layers as the first reflector layer 55 of the surface light laser 150. The second semiconductor material layer 187 is preferably made of the same material and thickness as the active layer 57 of the surface light laser 150. In addition, the third semiconductor material layer 189 has a material composition substantially the same as that of the second reflector layer 59 of the surface light laser 150, and has a smaller number of stacks than the second reflector layer 59. Preferably, light incident through the light receiving surface 180a is transmitted through the third semiconductor material layer 189 and absorbed by the second semiconductor material layer 187.

이러한 구조를 가지는 광검출기(180)는 표면광 레이저(150)와 동일 반도체 공정 상에서 일체로 형성될 수 있다. 즉, 기판(53) 상에 순차로 제1반사기층(55), 활성층(57) 및 제2반사기층(59)을 적층한 다음 표면광 레이저(150)와 광검출기(180) 영역 사이에서 제1반사기층(55) 일부층까지 트렌치(155)를 형성하여 그 측방향으로의 전기적인 절연을 형성시키고 광검출기(180) 영역의 제2반사기층(59) 부분을 예컨대, 몇 개의 적층수만을 남기고 식각하면 된다. 후속 공정을 통하여 고저항부(58), 전극들(51)(61)(188), 렌즈부(160)를 형성하기 위한 프레넬 패턴 및/또는 광검출기(180)의 수광면(180a) 상에 투명물질층(미도시)을 적층하고 이를 그 패턴방향이 서로 직교하도록 소정 패턴으로 식각하여 한쌍의 편광부재(도 9의 191,195)를 형성한다.The photodetector 180 having such a structure may be integrally formed with the surface light laser 150 on the same semiconductor process. That is, the first reflector layer 55, the active layer 57, and the second reflector layer 59 are sequentially stacked on the substrate 53, and then the first reflector layer 55 is stacked between the surface light laser 150 and the photodetector 180. The trench 155 is formed to a part of the first reflector layer 55 to form electrical insulation in the lateral direction thereof, and only the number of stacked layers of the second reflector layer 59 in the region of the photodetector 180 is limited. You can leave it and etch it. On the light receiving surface 180a of the Fresnel pattern and / or photodetector 180 for forming the high resistance portion 58, the electrodes 51, 61, 188, the lens portion 160 through a subsequent process. A transparent material layer (not shown) is stacked on the substrate, and a pair of polarizing members 191 and 195 of FIG. 9 are formed by etching a predetermined pattern so that the pattern directions thereof are perpendicular to each other.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 프레넬 패턴으로 된 렌즈부(160)를 가지는 표면광 레이저(150) 및/또는 이에 광검출기(180)가 일체로 된 광모듈(100)을 구비 하는 광헤드는 표면광 레이저(150)로부터 근접된 초점에 집속되는 수렴광이 출사되므로, 렌즈부재 및 광경로변환수단과 같은 별도의 광학소자를 배제한 구조로 근접장 기록재생을 수행할 수 있다.As described above, the optical head including the surface light laser 150 having the lens unit 160 in the Fresnel pattern according to the present invention and / or the optical module 100 in which the photodetector 180 is integrated therein Since converging light focused at a focal point proximate from the surface light laser 150 is emitted, the near field recording and reproducing can be performed in a structure that excludes separate optical elements such as the lens member and the optical path changing means.

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 표면광 레이저는 그로부터 출사되는 광이 그 윈도우로부터 근접된 위치에 초점을 갖는 수렴광이다.The surface light laser according to the present invention as described above is a converged light in which the light emitted therefrom is focused at a position proximate from its window.

따라서, 이를 광원으로 채용한 근접장 기록재생용 광헤드는 별도의 렌즈부재 등의 광학소자 없이 슬라이더에 직접적으로 표면광 레이저를 탑재시켜 근접장 기록재생을 수행하므로, 구조가 간단하고 별도의 광학적 정렬이 불필요하며 초소형화된 근접장 기록재생용 광헤드를 구현할 수 있다.Therefore, the near-field recording and reproducing optical head employing this as a light source performs near-field recording and reproducing by mounting a surface light laser directly on the slider without an optical element such as a separate lens member, so the structure is simple and no separate optical alignment is necessary. In addition, it is possible to implement an ultra-miniature optical head for near field recording and reproduction.

Claims (14)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기록매체의 회전에 의해 발생하는 공기동압에 의해 부상된 채로 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되어 광 및/또는 자계변조를 통해 정보를 기록재생할 수 있도록 된 근접장 기록재생용 광헤드에 있어서, A near-field recording and reproducing optical head mounted on a slider moving on a recording medium while being floated by the air dynamic pressure generated by the rotation of the recording medium to record and reproduce information through optical and / or magnetic field modulation. 상기 기록매체는 기록층 및 이 기록층을 지지하며 입사광을 투과시키는 투명 기판을 구비하고,The recording medium includes a recording layer and a transparent substrate supporting the recording layer and transmitting incident light, 상기 슬라이더에 설치되며, 기판; 상기 기판의 저면에 형성된 제1전극; 상기 기판 상에 형성된 제1반사기층; 상기 제1반사기층 상에 형성된 활성층; 상기 활성층의 상에 형성된 제2반사기층; 상기 제2반사기층 상에 형성된 제2전극; 및 출사되는 레이저광이 회절 집속되어 근접된 위치에 포커싱되도록 윈도우측에 프레넬 패턴 형태로 마련된 렌즈부;을 포함하여, 반도체 물질층의 적층 방향으로 레이저광을 생성 출사하며 그 윈도우로부터 근접된 위치에 포커싱하는 표면광 레이저; 및 A substrate installed on the slider; A first electrode formed on the bottom surface of the substrate; A first reflector layer formed on the substrate; An active layer formed on the first reflector layer; A second reflector layer formed on the active layer; A second electrode formed on the second reflector layer; And a lens unit provided in the form of a Fresnel pattern on the side of the window so that the emitted laser light is focused at a position proximate to the diffraction focus. The laser unit generates and emits laser light in the stacking direction of the semiconductor material layer and is located close to the window. A surface light laser focusing on; And 상기 표면광 레이저로부터 그 렌즈부를 경유하여 상기 기록층에 포커싱되고 투명기판을 투과하여 입사되는 광을 수광하도록 상기 표면광 레이저에 대향되게 설치된 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.And a photodetector opposed to the surface light laser to receive light incident on the recording layer from the surface light laser via the lens portion and transmitted through the transparent substrate. head. 기록매체의 회전에 의해 발생하는 공기동압에 의해 부상된 채로 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되어 광 및/또는 자계변조를 통해 정보를 기록재생할 수 있도록 된 근접장 기록재생용 광헤드에 있어서, A near-field recording and reproducing optical head mounted on a slider moving on a recording medium while being floated by the air dynamic pressure generated by the rotation of the recording medium to record and reproduce information through optical and / or magnetic field modulation. 상기 기록매체는 기록층 및 이 기록층을 지지하며 입사광을 반사시키는 반사층을 가지는 기판을 구비하고,The recording medium comprises a substrate having a recording layer and a reflective layer supporting the recording layer and reflecting incident light, 상기 슬라이더에 설치되며, 기판; 상기 기판의 저면에 형성된 제1전극; 상기 기판 상에 형성된 제1반사기층; 상기 제1반사기층 상에 형성된 활성층; 상기 활성층의 상에 형성된 제2반사기층; 상기 제2반사기층 상에 형성된 제2전극; 및 출사되는 레이저광이 회절 집속되어 근접된 위치에 포커싱되도록 윈도우측에 프레넬 패턴 형태로 마련된 렌즈부;을 포함하여, 반도체 물질층의 적층 방향으로 레이저광을 생성 출사하며 그 윈도우로부터 근접된 위치에 포커싱하는 표면광 레이저; 및 A substrate installed on the slider; A first electrode formed on the bottom surface of the substrate; A first reflector layer formed on the substrate; An active layer formed on the first reflector layer; A second reflector layer formed on the active layer; A second electrode formed on the second reflector layer; And a lens unit provided in the form of a Fresnel pattern on the side of the window so that the emitted laser light is focused at a position proximate to the diffraction focus. The laser unit generates and emits laser light in the stacking direction of the semiconductor material layer and is located close to the window. A surface light laser focusing on; And 상기 표면광 레이저로부터 그 렌즈부를 경유하여 상기 기록층에 포커싱되고 상기 반사층에서 반사되는 광을 수광하도록 상기 표면광 레이저 일측에 설치된 광검출기;를 포함하며, And a photodetector disposed at one side of the surface light laser to receive light focused from the surface light laser on the recording layer via the lens portion and reflected from the reflection layer. 상기 렌즈부의 프레넬 패턴은 그 패턴 중심이 상기 윈도우 중심에서 소정 거리 벗어나 위치되도록 마련되어, 적어도 일부 레이저광이 상기 기록층에 비스듬히 집속되면서 입사된 다음 상기 반사층에서 반사되어 상기 광검출기를 향하도록 된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.The Fresnel pattern of the lens unit is provided such that the center of the pattern is located a predetermined distance away from the center of the window so that at least some laser light is incident on the recording layer at an oblique angle and then reflected from the reflective layer to face the photodetector. An optical head for near field recording and reproducing, characterized by the above-mentioned. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 렌즈부는 상기 제2반사기층의 일부층을 프레넬 패턴 형태로 식각하여 된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.The optical head of claim 6 or 7, wherein the lens unit is formed by etching a portion of the second reflector layer in the form of a Fresnel pattern. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 슬라이더와 기록매체 사이 및/또는 기록매체 하부에 코일부재를 더 구비하여, 광 및 자계변조에 의해 신호를 기록재생하도록 마련되고,8. A recording apparatus according to claim 6 or 7, further comprising a coil member between the slider and the recording medium and / or under the recording medium to record and reproduce signals by optical and magnetic field modulation. 상기 광검출기의 수광면 상에는 입사되는 광스폿을 대략 2분할하여 서로 다른 편광성분을 투과시키는 한쌍의 편광부재;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.And a pair of polarizing members for dividing the incident light spot by approximately two on the light receiving surface of the photodetector to transmit different polarization components. 제9항에 있어서, 상기 한쌍의 편광부재는,The method of claim 9, wherein the pair of polarizing members, 패턴방향이 서로 직교하며 그 패턴간격이 상기 표면광 레이저의 출사 파장보다 작게 형성된 홀로그램 그레이팅인 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.An optical head for near field recording and reproducing, characterized in that the pattern direction is a hologram grating formed at right angles to each other and whose pattern interval is smaller than the emission wavelength of the surface light laser. 제10항에 있어서, 상기 한쌍의 편광부재는, The method of claim 10, wherein the pair of polarizing members, 상기 광검출기의 수광면 상에 서로 직교하는 패턴이 형성된 투명 물질층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.And a transparent material layer having patterns orthogonal to each other on the light receiving surface of the photodetector. 제7항에 있어서, 상기 광검출기는, The method of claim 7, wherein the photodetector, 상기 표면광 레이저의 기판 및 이 기판의 저면에 형성된 제1전극을 공유하며,Sharing a substrate of the surface light laser and a first electrode formed on the bottom surface of the substrate, 상기 기판 상에 측방향으로 상기 표면광 레이저와 전기적으로 절연되게 형성되고, 그 수광면을 제외한 적어도 일부 영역에 소정 패턴의 검출전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.And a detection electrode having a predetermined pattern on at least a portion of the substrate except for the light receiving surface. 제12항에 있어서, 상기 광검출기는,The method of claim 12, wherein the photodetector, 상기 제1반사기층과 대략 동일한 물질 구성 및 적층수를 가지며, 그 적어도 일부가 상기 표면광 레이저와 소정 간격 이격되게 형성된 제1반도체물질층; A first semiconductor material layer having substantially the same material composition and number of stacked layers as the first reflector layer, the first semiconductor material layer being at least partially spaced apart from the surface light laser by a predetermined distance; 상기 제1반도체물질층 상에 형성되고 상기 활성층과 대략 같은 물질 및 두께 로 이루어진 제2반도체물질층; A second semiconductor material layer formed on the first semiconductor material layer and made of substantially the same material and thickness as the active layer; 상기 제2반도체물질층 상에 형성되고 상기 제2반사기층과 대략 같은 물질 구성을 가지며, 상기 제2반사기층보다 상대적으로 작은 적층수를 가지도록 형성된 제3반도체물질층;을 포함하여, And a third semiconductor material layer formed on the second semiconductor material layer and having a material configuration substantially the same as that of the second reflector layer, and having a smaller number of stacks than the second reflector layer. 표면광 레이저와 광검출기를 동일 반도체 제조 공정 상에서 일체로 형성할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.An optical head for near field recording and reproducing, wherein the surface light laser and the photodetector can be integrally formed in the same semiconductor manufacturing process. 제13항에 있어서, 상기 표면광 레이저와 광검출기 사이의 그 측방향으로의 전기적인 절연은, 그 사이에 트렌치를 형성하거나, 이온 주입에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.The optical head for near field recording and reproduction according to claim 13, wherein the electrical insulation in the lateral direction between the surface light laser and the photodetector is formed by forming a trench therebetween or by ion implantation.
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