KR100615587B1 - 이온주입장치의 패러데이 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이온주입장치의 패러데이 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명에 다른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리는 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵과, 패러데이 컵의 일측에 결합되며 진공챔버 외부로 연장된 구동축과, 구동축을 진공챔버 내부로 진입시키거나 진공챔버 외부로 진출시키는 동력수단과, 구동축의 일측과 진공챔버의 사이에 설치되어 구동축의 진출 방향으로 동력을 제공하는 동력보조수단을 구비하여 패러데이 컵의 이동방향이 진공챔버 외부로의 진출방향인 경우 진공챔버 내부와 외부의 압력차에 의한 흡인력이 모터에 과다한 구동 부하로 작용하는 것을 방지하도록 한다.

Description

이온주입장치의 패러데이 어셈블리{Faraday assembly for ion implantation apparatus}
도 1은 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리의 측단면도로써 구동축이 진출한 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리의 측단면도로써 구동축이 진입한 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리의 지지플레이트를 확대 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리의 다른 실시예를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리의 또 다른 실시예를 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 실시예에서 스프링의 양단이 설치된 상태를 도시한 확대도이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
100...진공챔버
110...패러데이 컵
130...구동축
140...캐리어
220, 300, 400...스프링
본 발명은 이온주입장치의 패러데이 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 패러데이 어셈블리를 진공 챔버 내부로 전진시키거나 또는 진공 챔버 외부로 후진시키는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 이온주입장치는 반도체 제조공정에서 불순물 주입을 위하여 상당히 오래전부터 사용되어 온 것으로, 이 이온주입장치는 웨이퍼의 선택된 영역에 불순물인 이온을 강제적으로 주입하기 위한 장치이다.
이 이온주입장치의 동작 원리는 질량분석기를 거치면서 획득된 이온을 입자 가속기를 통하여 가속시킨 후 이를 웨이퍼 상에 충돌시킨다. 그러면 이 충돌한 이온은 웨이퍼의 실리콘 원자와 충돌하면서 점차로 에너지를 잃고 결국은 격자 내부의 어느 정도의 깊이에서 정지하게 되고, 이에 따라 웨이퍼에 불순물이 주입되도록 한다.
한편, 이온주입장치에는 감지기의 일종인 패러데이 컵이라는 것이 사용된다. 이 패러데이 컵은 빔 라인의 끝에서 이온빔 에너지의 흡수와 함께 빔 전류, 빔 에 너지 그리고 빔 형태의 측정을 위한 감지기로써의 기능을 수행한다.
그리고 통상적으로 패러데이는 컵은 진공챔버(또는 "타겟챔버"라고도 한다.) 내부의 타겟 전에 위치하여 이온 주입 위치에 따라 진공챔버 내부에서 위치 조절이 가능하게 되어 있다. 따라서 이러한 패러데이 컵의 위치 이동이 가능하게 하는 구성을 패러데이 컵을 포함하여 패러데이 어셈블리라고 한다.
이 패러데이 어셈블리는 진공 챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵과 이 패러데이 컵을 진공챔버 내부에서 이온빔의 방향을 따라 이동시키는 동력수단으로 구성되어 있다.
동력수단은 모터와 이 모터의 회전동력을 직선운동으로 전환하는 볼 스크류로 구성되어 있다. 따라서 모터의 회전방향에 따라 볼 스크류가 정역 회전하여 패러데이 컵의 직선 위치 이동이 이루어지게 된다.
그런데, 진공챔버 내부는 공정 수행시 오염도를 최소화하기 위하여 10-3torr 정도의 저압, 진공상태를 유지한다. 반면에 진공챔버 외부는 대기압 상태다. 즉 이것은 패러데이 컵이 진공챔버 내부로의 진입은 비교적 쉽게 이루어지지만, 그 반대 방향으로는 진공챔버 내부의 진공 흡인력에 의하여 상대적으로 큰 부하가 동력수단에 미친다는 것을 의미한다. 이러한 부하는 모터에 과부하, 과전류를 유발시키고, 결과적으로는 패러데이 컵의 위치 에러를 유발시키게 된다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 패러데 이 컵의 이동방향이 진공챔버 외부로의 진출방향인 경우 패러데이 컵의 이동을 원활히 보조하도록 하는 동력보조수단을 가진 이온주입장치의 패러데이 어셈블리를 제공하기 위한 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리는 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵, 패러데이 컵의 일측에 결합되며 진공챔버 외부로 연장된 구동축, 구동축을 진공챔버 내부로 진입시키거나 진공챔버 외부로 진출시키는 동력수단과 구동축의 일측과 진공챔버의 사이에 설치되어 구동축의 진출 방향으로 동력을 제공하는 동력보조수단을 구비하여 구동축의 진출시에 동력수단에 과부하가 미치는 것을 방지하여 정확한 패러데이 컵 위치 이동이 가능하도록 한다. 여기서 동력보조수단은 스프링을 사용할 수 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 다른 양태로 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리는 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵, 패러데이 컵의 일측에 결합되며 진공챔버 외부로 연장된 구동축, 구동축의 외측단에 결합된 캐리어, 캐리어를 스크류 결합으로 관통하여 결합된 볼 스크류, 볼 스크류를 회전시켜 구동축을 진공챔버 내부로 진입시키거나 진공챔버 외부로 진출시키는 모터, 진공챔버의 외면에 일단이 결합되어 캐리어를 관통하여 구동축의 동작 방향으로 연장된 지지축과, 지지축에 끼워지며 일단이 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 캐리어에 지지된 스프링을 구비하여 구동축의 진출시에 모터에 과부하가 미치는 것을 방지하여 정확한 패러데이 컵 위치 이동이 가능하도록 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 또 다른 양태로 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리는 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵, 패러데이 컵의 일측에 결합되며 진공챔버 외부로 연장된 구동축, 구동축의 외측단에 결합된 캐리어, 캐리어를 스크류 결합으로 관통하여 결합된 볼 스크류, 볼 스크류를 회전시켜 구동축을 진공챔버 내부로 진입시키거나 진공챔버 외부로 진출시키는 모터, 구동축에 끼워지며 일단이 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 캐리어에 지지된 스프링을 구비하여 구동축의 진출시에 모터에 과부하가 미치는 것을 방지하여 정확한 패러데이 컵 위치 이동이 가능하도록 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 또 다른 양태로 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리는 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵, 패러데이 컵의 일측에 결합되며 진공챔버 외부로 연장된 구동축, 구동축의 외측단에 결합된 캐리어, 캐리어를 스크류 결합으로 관통하여 결합된 볼 스크류, 볼 스크류를 회전시켜 구동축을 진공챔버 내부로 진입시키거나 진공챔버 외부로 진출시키는 동력수단, 볼 스크류에 끼워지며 일단이 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 캐리어에 지지된 스프링을 구비하여 구동축의 진출시에 모터에 과부하가 미치는 것을 방지하여 정확한 패러데이 컵 위치 이동이 가능하도록 한다.
이하에서는 본 발명에 따른 대한 이온주입장치의 패러데이 어셈블리에 대한 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리는 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 10-3torr 정도의 저압, 진공상태인 진공챔버(100) 내부에 위치한 패러데이 컵(110)을 구비하고, 이 패러데이 컵(110)에 일단이 결합되어 진공챔버(100)를 관통하여 진공챔버(100) 외측으로 연장된 구동축(130)을 구비한다.
그리고 이 구동축(130)이 관통하는 진공챔버(100)에는 진공챔버(100) 내부의 진공누설을 방지하고, 또한 외부의 공기가 진공챔버(100) 내부로 유입되는 것을 방지하기 위한 실링부재(120)가 설치된다. 이 실링부재(120)는 관체로 형성되어 진공챔버(100)의 벽면을 관통하여 설치되며, 그 중앙으로 구동축(130)이 관통하게 되어 있다. 이 실링부재(120)는 구동축(130)이 유압 실린더 형태로 내부에 결합되도록 한 것을 사용하거나, 또는 구동축의 외면과의 사이에 밀폐물질을 개재한 것을 채용할 수 있다.
그리고 진공챔버(100)의 외부 중 구동축(130)의 하부에는 구동축(130)과 평행하게 연장된 볼 스크류(150)가 설치된다. 이 볼 스크류(150)는 도 2에 도시된 바와 같이 일단이 진공챔버(100)의 외측면에 설치된 받침대(101)에 베어링(101a)에 의하여 회전 가능하게 결합되어 있다.
한편, 구동축(130)의 외측 끝단에는 캐리어(140)가 설치된다. 이 캐리어(140)는 이송블럭(141)과 이 이송블럭(141)의 상측에 연장 돌출 형성된 지지플레이트(142)로 구비된다. 이송블럭(141)은 볼 스크류(150)가 스크류 결합으로 관통하도록 너트 형태로 되어 있고, 지지플레이트(142)는 구동축(130)의 끝단이 고정 결합되어 있다. 이 구동축(130)의 결합은 구동축(130)의 끝단 일부를 삽입하여 견고하 게 고정하도록 하거나, 또는 지지플레이트(142)에 별도의 고정 브라켓을 형성하여 구동축의 끝단을 고정시킬 수 있다.
따라서 볼 스크류(150)가 회전하여 이송블럭(141)이 볼 스크류(150)를 따라 이동하면 구동축(130)은 이송블럭(141)의 이동방향으로 함께 이동하는 지지플레이트(142)에 의하여 직선 운동하게 된다.
그리고 볼 스크류(150)의 외측 끝단에는 동력전달풀리(160)가 설치되고, 이 동력전달풀리(160)의 하부에는 모터(180)가 설치된다. 이 모터는 정역회전모터 (Reverse rotatable motor)가 채용된다. 그리고 동력전달풀리(160)의 외주와 모터(180)의 회전축(미부호) 외주에는 이 동력전달풀리(160)와 회전축의 외주에 양단이 각각 권취되어 모터(180)의 동력을 볼 스크류(150)로 전달하는 동력전달벨트(170)가 설치된다. 한편, 모터와 풀리 그리고 벨트와 같은 동력수단 외에 피스톤 장치나 래크와 피니언과 같은 장치를 채용할 수 있을 것이다.
한편, 진공챔버(100)의 외부 중 구동축(130)의 상부에는 구동축(130)과 평행하게 연장된 지지축(200)이 설치된다. 이 지지축(200)은 일단이 진공챔버(100)의 외측면에 설치된 받침대(201)에 고정 설치되어 있으며, 지지플레이트(142)의 상단에 형성된 관통홀(142a)에 도 4에 도시된 바와 같이 슬라이딩 가능하게 관통하도록 되어 있다. 즉 관통홀(142a)의 내경(D1)은 지지축(200)의 외경(D2)보다 작으며, 더욱 바람직하게는 소정 크기의 간격이 유지되도록 되어 있다.
이와 같이 구성한 이유는 지지축(200)이 관통홀(142a)에 밀착하게 되면 지지 플레이트(142)의 이동시 마찰 소음을 유발시키고, 또한 모터(180)의 과부하를 유발시키게 된다. 반면 관통홀(142a) 내부에 지지축(200)을 밀착시키는 경우라도 이들 사이에 별도의 윤활부재(미도시)를 개재한 상태라면 채용이 가능할 것이다.
한편, 지지축(200)에는 스프링(220)이 끼워져 설치된다. 본 실시예에서는 코일 스프링을 채용한다. 이 스프링(00)은 일단이 받침대(201)에 지지되어 있고, 타단이 지지플레이트(142)에 지지되어 있다. 그리고 이 스프링(220)의 최대 수축시의 복원력은 진공챔버(100) 내부와 진공챔버(100) 외부의 압력차이보다 작은 것이 바람직하다.
이하에서는 이상과 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리의 작용상태에 대하여 설명한다.
패러데이 어셈블리의 패러데이 컵(110)은 진공챔버(100) 내부에서 이온빔의 수집과 감지를 위하여 진공챔버(100) 내부의 이온빔 주사방향으로 위치 이동이 이루어진다. 이를 위하여 구동축(130)이 동작하여 패러데이 컵(110)의 위치 조절을 수행된다.
구동축(130)의 진공챔버(100) 내부로의 진입은 모터(180)가 일방향으로 회전하면, 이 회전 동력이 동력전달벨트(170)와 동력전달풀리(160)를 거쳐 볼 스크류(150)로 전달된다. 그러면 볼 스크류(150)는 진입 방향으로 회전을 시작한다.
볼 스크류(150)가 진입방향으로 회전하면 이 볼 스크류(150)에 스크류 결합된 캐리어(140)의 이송블럭(141)이 볼 스크류(150)를 따라서 진공챔버(100) 측으로 진행한다. 그러면 구동축(130)은 캐리어(140)의 지지플레이트(142)에 의하여 진공 챔버(100) 내부로 진입한다. 이때 진공챔버(100) 내부는 고 진공상태고, 진공챔버(100) 외부는 대기압 상태이다. 따라서 진공챔버(100) 내부로의 구동축(130)의 진입은 진공챔버(100) 내부에서의 압력차에 의한 흡인력으로 비교적 적은 부하를 발생시킨다.
그리고 이때 캐리어(140)의 지지플레이트(142)는 구동축(130)과 함께 진공챔버(100) 측으로 진행하게 되고, 이에 따라 스프링(00)의 수축이 이루어진다.
한편 이때의 스프링(00)의 수축시 발생하는 복원력에 의하여 모터(180)에 어느 정도의 부하가 가해진다. 그러나 이때의 부하는 진공챔버(100) 내부와 외부 사이의 압력차에 의한 흡인력에 의하여 대부분 상쇄된다. 따라서 스프링(00)이 수축하더라도 모터(180)에는 과다한 부하가 전달되지는 않는다.
그리고 구동축(130)의 진출시에는 모터(180)가 진입시의 반대방향으로 회전한다. 그러면 동력전달벨트(170)와 동력전달풀리(160)를 거쳐 볼 스크류(150)에 동력이 전달되고, 볼 스크류(150)는 진입시의 반대방향으로 회전한다.
이에 따라 캐리어(140)는 볼 스크류(150)를 따라 구동축(130)의 진입시의 반대방향인 진출방향으로 진행하게 된다. 한편, 종래의 경우 구동축(130)의 진출 동작시 구동축(130)과 이 구동축(130)에 결합된 패러데이 컵(110)에는 진공챔버(100) 내부와 외부 사이의 압력차에 의하여 진공챔버(100) 내부로 흡인력이 가해지고, 이때의 흡인력은 모터(180)에 구동 부하로써 작용하게 된다.
그러나 본 발명에서는 이미 수축되어 상당한 복원력을 가진 스프링(220)에 의하여 이때 발생한 흡인력을 상쇄시킨다. 즉 스프링(220)은 동력보조수단으로서의 기능을 수행하게 된다. 따라서 모터(180)는 과다한 구동 부하 없이 동작이 이루어지게 되므로 장기간 사용하더라도 그 동작 안정성이 확보되어 안정적인 패러데이 컵(110) 이송이 가능하게 한다.
한편, 본 발명에 따른 다른 실시예로 스프링(300)은 도 5에 도시된 바와 같이 구동축(130)에 끼워져 설치될 수 있다. 이때의 스프링(300)은 일단이 진공챔버(100)에 관통 설치된 실링부재(120)에 지지되도록 하고, 타단은 캐리어(140)의 지지플레이트(142)에 지지되도록 하면 된다.
그리고 또 다른 실시예로는 도 6에 도시된 바와 같이 스프링(400)을 볼 스크류(150)에 끼워 설치할 수 있다. 이때의 스프링(400)은 일단이 진공챔버(100)에 설치된 받침대(101)에 지지되도록 하고, 타단은 캐리어(140)의 이송블럭(141)에 지지되도록 하면 된다.
그리고 이 실시예에서 볼 스크류(150)에 끼워진 스프링(400)은 볼 스크류(150) 마찰할 경우 볼 스크류(150)의 손상이나 회전에 방해가 될 수 있다. 따라서 이를 방지하기 위하여 도 7에 도시된 바와 같이 받침대(101)와 이송블럭(141)의 마주하는 단부에 각각 베어링(101a)(141a)을 돌출 설치하고, 스프링(400)의 끝단이 이 베어링(101a)(141a)의 외측에 지지되도록 하면 이러한 문제점은 해소된다.
전술한 바와 같은 본 발명의 실시예 외에 각각의 구성요소들을 일부 변형하여 다르게 실시할 수 있을 것이다. 즉 동력보조수단인 스프링을 코일 스프링 외에 다른 종류의 스프링이나 완충 피스톤 구조물 등을 채용하거나 또는 동력수단을 다양하게 변형 채용하거나 또는 동력보조수단의 설치위치를 변경하여 실시할 수 있을 것이다. 그러나 이들 변형된 실시예의 기본 구성요소가 본 발명의 필수구성요소들을 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.
이상과 같은 본 발명에 따른 이온주입장치의 패러데이 어셈블리는 패러데이 컵의 이동방향이 진공챔버 외부로의 진출방향인 경우 진공챔버 내부와 외부의 압력차에 의한 흡인력이 모터에 과다한 구동 부하로 작용하는 것을 방지하도록 흡인력을 상쇄시키는 스프링을 진공챔버 외측에 패러데이 컵의 구동방향으로 설치하여 패러데이 어셈블리의 동작 안정성과 효율을 향상시켜 결과적으로 이온주입공정 효율을 보다 향상시키도록 하는 효과가 있다.

Claims (21)

  1. 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵;
    상기 패러데이 컵의 일측에 결합되며 상기 진공챔버 외부로 연장된 구동축;
    상기 구동축을 상기 진공챔버 내부로 진입시키거나 상기 진공챔버 외부로 진출시키는 동력수단;
    상기 구동축의 일측과 상기 진공챔버의 사이에 설치되어 상기 구동축의 진출 방향으로 동력을 제공하는 동력보조수단을 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 동력수단은 상기 구동축의 외측단에 결합된 캐리어;
    상기 캐리어를 스크류 결합으로 관통하며 일단이 상기 진공챔버 측에 회전 가능하게 결합되고, 타단에 모터가 연결된 볼 스크류를 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 동력보조수단은 상기 볼 스크류에 끼워지며 일단이 상기 캐리어에 지지되고, 타단이 상기 진공챔버의 외면에 지지된 스프링으로 마련된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 볼 스크류의 타단에는 동력전달풀리가 설치되고, 상 기 동력전달풀리는 동력전달벨트로 상기 모터와 연결된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  5. 제 2항에 있어서, 상기 캐리어는 상기 볼 스크류가 관통하는 이송블럭과 상기 이송블럭에서 연장되며 상기 구동축의 끝단이 결합된 지지플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 동력보조수단은 상기 진공챔버의 외면에 일단이 결합되어 상기 구동축의 동작 방향으로 연장되며 상기 지지플레이트를 관통한 지지축;
    상기 지지축에 끼워지며 일단이 상기 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 상기 지지플레이트에 지지된 스프링을 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 지지축의 타단에는 정지 플레이트가 설치된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  8. 제 2항에 있어서, 상기 동력보조수단은 상기 구동축에 끼워지며 일단이 상기 캐리어에 지지되고, 타단이 상기 진공챔버의 외면에 지지된 스프링으로 마련된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  9. 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵;
    상기 패러데이 컵의 일측에 결합되며 상기 진공챔버 외부로 연장된 구동축;
    상기 구동축의 외측단에 결합된 캐리어;
    상기 캐리어를 스크류 결합으로 관통하여 결합된 볼 스크류;
    상기 구동축을 상기 진공챔버 내부로 진입시키거나 상기 진공챔버 외부로 진출시키도록 상기 볼 스크류 끝단에 결합된 모터;
    상기 진공챔버의 외면에 일단이 결합되어 상기 캐리어를 관통하여 상기 구동축의 동작 방향으로 연장된 지지축;
    상기 지지축에 끼워지며 일단이 상기 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 상기 캐리어에 지지된 스프링을 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 볼 스크류 타단에는 동력전달풀리가 설치되고, 상기 모터는 상기 동력전달풀리와 동력전달벨트로 연결된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  11. 제 9항에 있어서, 상기 캐리어는 상기 볼 스크류 관통하는 이송블럭과 상기 이송블럭에서 연장되며 상기 구동축의 끝단이 결합되고, 상기 지지축이 관통하는 지지플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 스프링은 일단이 상기 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 상기 지지플레이트에 지지된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  13. 제 9항에 있어서, 상기 지지축의 타단에는 정지 플레이트가 설치된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  14. 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵;
    상기 패러데이 컵의 일측에 결합되며 상기 진공챔버 외부로 연장된 구동축;
    상기 구동축의 외측단에 결합된 캐리어;
    상기 캐리어를 스크류 결합으로 관통하여 결합된 볼 스크류;
    상기 구동축을 상기 진공챔버 내부로 진입시키거나 상기 진공챔버 외부로 진출시키도록 상기 볼 스크류 끝단에 결합된 모터;
    상기 구동축에 끼워지며 일단이 상기 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 상기 캐리어에 지지된 스프링을 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 볼 스크류 타단에는 동력전달풀리가 설치되고, 상기 모터는 상기 동력전달풀리와 동력전달벨트로 연결된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  16. 제 14항에 있어서, 상기 캐리어는 상기 볼 스크류 관통하는 이송블럭과 상기 이송블럭에서 연장되며 상기 구동축의 끝단이 결합되는 지지플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 스프링은 일단이 상기 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 상기 지지플레이트에 지지된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  18. 진공챔버 내부에 위치하는 패러데이 컵;
    상기 패러데이 컵의 일측에 결합되며 상기 진공챔버 외부로 연장된 구동축;
    상기 구동축의 외측단에 결합된 캐리어;
    상기 캐리어를 스크류 결합으로 관통하여 결합된 볼 스크류;
    상기 구동축을 상기 진공챔버 내부로 진입시키거나 상기 진공챔버 외부로 진출시키도록 상기 볼 스크류 끝단에 결합된 모터;
    상기 볼 스크류에 끼워지며 일단이 상기 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 상기 캐리어에 지지된 스프링을 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  19. 제 18항에 있어서, 상기 볼 스크류 타단에는 동력전달풀리가 설치되고, 상기 모터는 상기 동력전달풀리와 동력전달벨트로 연결된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  20. 제 18항에 있어서, 상기 캐리어는 상기 볼 스크류 관통하는 이송블럭과 상기 이송블럭에서 연장되며 상기 구동축의 끝단이 결합되는 지지플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
  21. 제 18항에 있어서, 상기 스프링은 일단이 상기 진공챔버 측에 지지되고, 타단이 상기 이송블럭에 지지된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 패러데이 어셈블리.
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