KR100615094B1 - 베이크장치의 핀어셈블리 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼가 안착되는 핫플레이트를 상하로 관통하여 상기 핫플레이트에 안착되는 상기 웨이퍼를 승하강 시키는 베이크장치의 핀어셈블리에 있어서,

일측에 수나사를 구비하는 하나 이상의 베이크핀과 상기 베이크핀이 고정되며, 상기 베이크핀의 상기 수나사와 결합되도록 암나사를 구비하는 핀 고정 플레이트 및 상기 핀 고정 플레이트에 결합되어 상기 핀 고정 플레이트가 승하강 되도록 하는 역할을 하는 고정축이 구비되는 것을 특징으로 한다.

Description

베이크장치의 핀어셈블리{Pin Assembly of Bake Apparatus}

도 1은 종래 베이크장치의 핀어셈블리의 구성을 설명하기 위해 도시한 분해 사시도.

도 2는 본 발명에 따른 베이크장치의 구성을 도시한 단면도.

도 3은 본 발명에 따른 베이크장치의 핀어셈블리의 구성을 도시한 사시도.

<주요 부분에 대한 부호의 설명>

110 : 챔버

115 : 개구

130 : 핫플레이트

135 : 안내홀

140 : 갭스페이서

150 : 커버

170 : 베이크핀

175 : 나사산

180 : 핀 고정 플레이트

185 : 나사홀

190 : 고정축

200 : 핀어셈블리

W : 웨이퍼

본 발명은 반도체 제조용 베이크 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼를 핫플레이트에 로딩 및 언로딩을 하는 핀어셈블리의 교체 시 서로 다른 작업자가 교체를 하더라도 동일한 높이 및 수평으로 교체를 실시할 수 있는 베이크장치의 핀어셈블리에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조 공정 중 포토리소그라피(Photolithography) 공정은 웨이퍼 상에 보호막을 형성하는 공정으로서 보호막의 재질로 비감광성 포토레지스트를 사용하고 있다. 개략적으로 이 포토리소그라피 공정을 살펴보면, 웨이퍼 상에 스핀 코터(Spin coater)에서 포토레지스트를 도포한 후 베이크 장치 내에 웨이퍼를 넣고 설정된 온도로 가열하여 도포된 포토레지스트를 경화시킴으로써 보호막이 형성되도록 하는 것이다.

이러한 포토리소그라피 공정에서의 베이크 공정을 위하여 사용되는 베이크 장치는 웨이퍼가 진입하여 안착되는 챔버와 이 챔버의 내부 바닥에 위치한 핫플레이트와 핫플레이트에 설치되어 진입한 웨이퍼를 핫플레이트에 안착시키기 위하여 핀 고정 플레이트와 결합되는 복수의 베이크핀과 상기 베이크핀에 의해 안착된 웨이퍼를 정렬시키는 다수의 갭스페이서 및 핫플레이트에 매설되어 스페이서 위에 안 착된 웨이퍼의 상면을 가열하여 포토레지스트를 경화시키는 히터를 구비하고 있다.

여기에서 도 1을 참조하여 종래 베이크장치의 핀 고정 플레이트와 핀 고정 플레이트에 결합된 베이크핀에 대하여 살펴보면 다음과 같다.

웨이퍼가 핫플레이트(10)의 상부면에 안전하게 안착시키기 위해서 핀어셈블리가 구비되는데, 핫플레이트(10)에는 센터에서부터 일정한 반경에 등간격으로 현성된 안내홀(15)을 통해 복수의 리프베이크핀(20)이 수직으로 관통하면서 승강이 가능하게 구비된다.

상기 복수의 베이크핀(20)은 핫플레이트(10)의 저부에서 핀 고정 플레이트(30)에 의해 일체로 연결되고, 상기 핀 고정 플레이트(30)는 그 하부에 연결된 고정축과 상기 고정축을 구동시키는 구동 실린더(미도시)에 의해 승강이 가능하도록 한다.

한편, 핀 고정 플레이트(30)의 외주면에는 베이크핀(20)이 삽입될 수 있도록 베이크핀삽입부(33)가 형성되어 상기 베이크핀삽입부(33)의 삽입공(36)에 삽입된 베이크핀(20)을 볼트에 의해 체결하여 베이크핀(20)을 고정하게 된다. 이때, 베이크핀삽입부(33)에는 삽입공(36)의 수직방향으로 볼트체결공(39)이 형성되어 있다.

그러나, 베이크핀을 교체할 경우에는 베이크핀을 고정하는 볼트를 풀고 교체한 후 높이 및 수평을 조정해야 하는데, 베이크핀 교체 시 작업자의 기준 및 정확성이 개개인 마다 다르다. 이로 인해 일률적인 베이크핀의 높이 및 수평을 유지하기 위한 작업시간이 소요되며, 베이크핀의 높이 및 수평이 일률적으로 유지되지 않으면 웨이퍼가 제대로 핫플레이트에 안착되지 않으며 웨이퍼가 깨지는 문제점이 발 생된다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 베이크핀의 위치조정 및 베이크핀의 교체에 대한 기준을 통일화 할 수 있는 베이크 장치의 핀어셈블리를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본발명은 웨이퍼가 안착되는 핫플레이트를 상하로 관통하여 상기 핫플레이트에 안착되는 상기 웨이퍼를 승하강 시키는 베이크장치의 핀어셈블리에 있어서,

일측에 수나사를 구비하는 하나 이상의 베이크핀;

상기 베이크핀이 고정되며, 상기 베이크핀의 상기 수나사와 결합되도록 암나사를 구비하는 핀 고정 플레이트;

상기 핀 고정 플레이트에 결합되어 상기 핀 고정 플레이트가 승하강 되도록 하는 역할을 하는 고정축이 구비되는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 베이크핀의 상기 수나사의 형성길이와 상기 핀 고정 플레이트의 상기 암나사의 형성깊이는 동일하게 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 베이크장치를 도시한 단면도이다.

도 2를 참조하면, 베이크장치는 챔버(110)와, 그 내부에 설치되며 상기 웨이 퍼(W)를 균일한 온도로 베이크하기 위하여 내부에 발열체가 내설되어 있는 핫플레이트(130)와, 상기 챔버(110)의 상부에 마련되어 상기 웨이퍼(W)가 밀폐된 공간에 놓이도록 하는 커버(150)로 구성된다.

상기 핫플레이트(130)에는 웨이퍼(W)를 상기 핫플레이트(130)의 상면에 로딩·언로딩시키기 위하여 핀어셈블리(200)가 설치되며, 상기 핫플레이트(130)의 윗면에는 웨이퍼(W)가 수평방향으로 놓이도록 지지하여 웨이퍼(W)와의 접촉면적을 최대로 감소시킬 수 있는 갭스페이서(140)가 설치되어 그 갭스페이서(140)의 상면에 웨이퍼(W)를 얹어 놓아 핫플레이트(130)와 웨이퍼(W)가 직접 접촉되지 않도록 한다.

그리고, 상기 챔버(110)의 측면 일측에는 웨이퍼(W)를 로딩시키고 언로딩시키기 위한 개구(115)가 형성되어 이송암(미도시)에 의해 웨이퍼(W)가 인출·입되도록 구성된다.

한편, 상기 핀어셈블리(200)는 핫플레이트(130)에 형성된 안내홀(135)을 통과하여 웨이퍼(W)에 직접적으로 점접촉 하는 베이크핀(170)과 상기 베이크핀(170)이 고정 결합되는 핀 고정 플레이트(180)와 상기 핀 고정 플레이트(180)에 고정된 베이크핀(170)을 승강시키기 위하여 구동실린더(미도시)와 연결되는 고정축(190)이 핀 고정 플레이트(180)와 일체로 구성된다.

한편, 본 발명의 기술적 사상인 핀어셈블리 대해 도 3을 참조하여 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

또한, 이해의 편의를 위하여 비록 다른 도면에 속하더라도 동일한 구성요소 에는 동일한 부호를 부여하였음을 주의해야 한다.

핀 고정 플레이트(180)의 상부에는 소정의 간격을 두고 다수의 암나사 즉, 나사홀(185)을 이격형성하고, 이 나사홀(185)에 결합되는 베이크핀(170)에는 수나사 즉, 나사산(175)을 형성하여 각 베이크핀(170)을 핀 고정 플레이트(180)에 분리할 수 있도록 한 구성의 특징이 있다.

이때, 핀 고정 플레이트(180)상에 형성되는 다수의 나사홀(185)은 기존 핫플레이트(130)에 형성된 안내홀(135)에 동일한 위치에 형성하되, 각 나사홀(185)은 직경 및 형성깊이를 동일하게 구성한다.

또한, 상기 나사홀(185)을 통해 결합되는 베이크핀(170)은 나사홀(185)과의 결합부위인 나사산(175)의 형성길이는 동일하게 구성한다.

이와 같이 나사홀(185)의 직경 및 형성깊이와 베이크핀(170)의 수나사(175) 형성길이를 동일하게 구성함은 각 베이크핀(170)이 핫플레이트(130)의 관통홀(135)을 통해 고정 결합될 경우, 돌출되는 상부 끝단이 상호 수평상태를 유지하여 웨이퍼(W)의 하부면에 동시에 점접촉 하기 위함이다.

따라서, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명은 베이크핀의 결합 시 형성된 암, 수나사를 이용하여 결합 기준을 통일화함으로써, 베이크핀의 높이와 수평을 위치조정을 하는데 소요되는 시간을 절약하고 웨이퍼의 손상을 미리 방지할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 베이크장치의 핀어셈블리에 있어서, 베이크핀에 수나사와 핀 고정 플레이트의 베이크핀이 고정되는 부분에 암나사를 형성 하여 베이크핀 고정에 대한 일률적인 기준을 통일화하여 베이크핀 교체 시 소요되는 작업시간을 줄이고 핫플레이트에 안착되는 웨이퍼의 손상을 줄이는 효과가 있다.

본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (2)

1. 웨이퍼가 안착되는 핫플레이트를 상하로 관통하여 상기 핫플레이트에 안착되는 상기 웨이퍼를 승하강 시키는 베이크장치의 핀어셈블리에 있어서,

   일측에 수나사를 구비하는 하나 이상의 베이크핀;

   상기 베이크핀이 고정되며, 상기 베이크핀의 상기 수나사와 결합되도록 암나사를 구비하는 핀 고정 플레이트;

   상기 핀 고정 플레이트에 결합되어 상기 핀 고정 플레이트가 승하강 되도록 하는 역할을 하는 고정축이 구비되는 것을 특징으로 하는 베이크장치의 핀어셈블리.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 베이크핀의 상기 수나사의 형성길이와 상기 핀 고정 플레이트의 상기 암나사의 형성깊이는 동일하게 구성된 것을 특징으로 하는 베이크장치의 핀어셈블리.

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