KR100609385B1

KR100609385B1 - Method of detecting glass substrate for glass substrate transferring robot with dual arm

Info

Publication number: KR100609385B1
Application number: KR1020040073475A
Authority: KR
Inventors: 길영남; 강재호
Original assignee: 브룩스오토메이션아시아(주)
Priority date: 2004-09-14
Filing date: 2004-09-14
Publication date: 2006-08-09
Also published as: KR20060024654A

Abstract

본 발명에 의하면, 몸체와, 상기 몸체에 연결되며 상기 몸체에 대해 각각 이동하여 제1, 제2 판부재를 각각 이송하도록 상기 판부재가 얹어지는 영역을 구비하는 제1, 제2 아암과, 상기 몸체에 고정되며 서로 거리를 두고 위치하는 제1, 제2 검출센서를 구비하는 이송로봇을 제공하는 단계와, 상기 몸체로부터 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역 또는 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역이 정렬되도록 상기 제1, 제2 아암을 이동하고 정지시키는 단계와, 상기 제1, 제2 검출센서로부터 물리적 파동신호를 방사하되 상기 제1 검출센서로부터 방사된 물리적 파동신호는 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역과 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역 중 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역에 도달하도록 방사되고, 상기 제2 검출센서로부터 방사된 물리적 파동신호는 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역과 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역 중 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역에 도달하도록 방사되는 단계를 포함하는 판부재의 검출방법이 제공된다.According to the present invention, the first and second arms are connected to the body and have an area on which the plate member is mounted so as to move with respect to the body and to transfer the first and second plate members, respectively. Providing a transfer robot having first and second detection sensors fixed to the body and positioned at a distance from each other; and an area on which the first plate member is mounted or an area on which the second plate member is mounted from the body; Moving and stopping the first and second arms so that the first and second arms are aligned, and radiating a physical wave signal from the first and second detection sensors, wherein the physical wave signal emitted from the first detection sensor is the first plate member. Is radiated so as to reach a region where the first plate member is mounted, and a physical wave signal radiated from the second detection sensor is the first plate and the region where the second plate member is mounted. The detection method of the board member including a step in which the radiation to reach the area where the second plate member is provided of being topped topped material region and the second region which is topped with two plate members.

이송로봇, 기판검출, 센서, 듀얼 아암, 몸체Transport Robot, Board Detection, Sensor, Dual Arm, Body

Description

METHOD OF DETECTING GLASS SUBSTRATE FOR GLASS SUBSTRATE TRANSFERRING ROBOT WITH DUAL ARM}

도1은 본 발명에 따라 유리기판을 검출하는 기판이송로봇을 구비하는 기판처리장치의 개략적인 구성을 도시한 평면도1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus having a substrate transfer robot for detecting a glass substrate according to the present invention;

도2는 도1에 도시한 기판이송로봇의 사시도2 is a perspective view of the substrate transfer robot shown in FIG.

도3의 (a), (b), (c)는 각각 도2에 도시한 기판이송로봇에서 본 발명의 일실시예에 따른 유리기판의 검출방법을 도시한 측면도3A, 3B, and 3C are side views illustrating a method of detecting a glass substrate according to an embodiment of the present invention, respectively, in the substrate transfer robot shown in FIG.

도4는 도2에 도시한 기판이송로봇에서 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리기판의 검출방법을 도시한 측면도4 is a side view illustrating a method of detecting a glass substrate according to another embodiment of the present invention in the substrate transfer robot shown in FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

20 : 이송로봇 40 : 몸체20: transfer robot 40: body

50 : 제1 아암 60 : 제2 아암50: first arm 60: second arm

70 : 제1 검출센서 80 : 제2 검출센서70: first detection sensor 80: second detection sensor

90 : 제1 유리기판 100 : 제2 유리기판90: first glass substrate 100: second glass substrate

본 발명은 유리기판을 검출하는 방법에 관한 것으로서, 특히 기판처리장치의 전달챔버 내에 설치되어 유리기판을 이송하는 듀얼 아암 로봇에서 유리기판을 검출하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for detecting a glass substrate, and more particularly, to a method for detecting a glass substrate in a dual arm robot installed in a delivery chamber of a substrate processing apparatus and transferring a glass substrate.

일반적으로 액정표시장치를 제조하기 위해 유리기판에 세정공정, 막의 도포공정, 현상공정 등의 처리를 반복하여 실시한다. 기판에 이러한 공정을 자동으로 수행하는 것이 기판처리장치이다. 이러한 기판처리장치에는 다수의 처리챔버와 연결된 전달챔버가 마련되고, 전달챔버 내에는 유리기판을 이송하는 이송로봇이 설치된다. 이 이송로봇에는 유리기판의 위치여부를 검출하는 검출장치가 구비된다.In general, in order to manufacture a liquid crystal display device, a glass substrate is repeatedly treated with a cleaning process, a film coating process, and a developing process. It is a substrate processing apparatus that automatically performs such a process on a substrate. The substrate processing apparatus is provided with a transfer chamber connected to a plurality of processing chambers, and a transfer robot for transferring a glass substrate is installed in the transfer chamber. The transfer robot is provided with a detection device for detecting the position of the glass substrate.

한편 이송로봇이 위아래로 위치하는 두 개의 유리기판을 동시에 처리할 수 있는 듀얼 아암 로봇을 사용하는 경우 유리기판의 검출이 까다롭다. 유리기판이 투명체이기 때문에 위아래 두 개의 유리기판 중 어느 기판이 존재하지 구분하기 어렵기 때문이다. 유리기판이 전공흡착에 의해 고정되는 진공로봇인 경우에는 아암에 직접 검출센서를 부착하지 못하는 경우가 있어 유리기판의 검출이 더욱 힘들다.On the other hand, the detection of glass substrates is difficult when using a dual arm robot capable of simultaneously processing two glass substrates in which the transfer robot is positioned up and down. This is because it is difficult to distinguish which one of the two glass substrates is present because the glass substrate is a transparent body. In the case where the glass substrate is a vacuum robot fixed by electro-adsorption, the detection sensor may not be directly attached to the arm, which makes it more difficult to detect the glass substrate.

본 발명의 목적은 듀얼 아암 로봇에서 위아래로 위치하는 두 개의 유리기판을 검출하는 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 단순한 구조로서 듀얼암 로봇에서 두 개의 유리기판을 검출하는 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 유리기판 검출기가 구비된 듀얼 아암 이송장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 유리기판 검출기가 아암이 설치된 고정부에 구비되는 듀 얼 아암 이송장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a method for detecting two glass substrates positioned up and down in a dual arm robot. Another object of the present invention is to provide a method of detecting two glass substrates in a dual arm robot with a simple structure. Still another object of the present invention is to provide a dual arm transfer device equipped with a glass substrate detector. Still another object of the present invention is to provide a dual arm transfer apparatus in which a glass substrate detector is provided at a fixed portion in which an arm is installed.

본 발명의 또 다른 목적은 상하로 위치하는 두 유리기판이 검출되는 위치에 있을 때 두 유리기판 또는 그 위치할 영역이 어긋나게 배치되고 그에 맞게 검출기가 위치하는 듀얼 아암 이송장치 및 검출방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a dual arm transfer device and a detection method in which two glass substrates or an area to be positioned thereof are displaced when the two glass substrates positioned up and down are detected and a detector is positioned accordingly. .

본 발명의 일측면에 따르면,According to one aspect of the invention,

몸체와, 상기 몸체에 연결되며 상기 몸체에 대해 각각 이동하여 제1, 제2 판부재를 각각 이송하도록 상기 판부재가 얹어지는 영역을 구비하는 제1, 제2 아암과, 상기 몸체에 고정되며 서로 거리를 두고 위치하는 제1, 제2 검출센서를 구비하는 이송로봇을 제공하는 단계와,A first arm and a second arm connected to the body and having an area on which the plate member is mounted so as to move with respect to the body and to transfer the first and second plate members, respectively; Providing a transport robot having first and second detection sensors positioned at a distance;

상기 몸체로부터 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역 또는 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역이 정렬되도록 상기 제1, 제2 아암을 이동하고 정지시키는 단계와,Moving and stopping the first and second arms so that the area on which the first plate member is placed or the area on which the second plate member is mounted are aligned from the body;

상기 제1, 제2 검출센서로부터 물리적 파동신호를 방사하되 상기 제1 검출센서로부터 방사된 물리적 파동신호는 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역과 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역 중 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역에 도달하도록 방사되고, 상기 제2 검출센서로부터 방사된 물리적 파동신호는 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역과 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역 중 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역에 도달하도록 방사되는 단계를 포함하는 판부재의 검출방법이 제공된다.Radiating a physical wave signal from the first and second detection sensors, wherein the physical wave signal emitted from the first detection sensor is the first of the region on which the first plate member is mounted and the region on which the second plate member is mounted The physical wave signal emitted from the second detection sensor is radiated so as to reach an area on which the plate member is placed, and the second plate member is disposed between the area on which the first plate member is placed and the area where the second plate member is placed. Provided is a method of detecting a plate member, comprising the step of radiating to reach a mounted area.

상기 검출방법에 있어서, 상기 제1, 제2 아암이 정렬된 상태에서 상기 제1 검출센서는 제1 검출센서로부터 방사되는 물리적 파동신호가 상기 제2 판부재가 얹 어지는 영역 바깥으로 지나가도록 물리적 파동신호를 방사할 수 있다.In the detection method, in the state in which the first and second arms are aligned, the first detection sensor has a physical wave so that the physical wave signal emitted from the first detection sensor passes outside the region on which the second plate member is placed. It can emit a signal.

상기 검출방법에 있어서, 상기 제1 검출센서는 제1 검출센서로부터 방사된 물리적 파동신호가 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역과 제2 판부재가 얹어지는 영역 중 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역에만 도달하도록 감도가 조절될 수 있다.In the detection method, the first detection sensor is mounted on the first plate member of the physical wave signal radiated from the first detection sensor, the area on which the first plate member and the second plate member is mounted. The sensitivity can be adjusted to reach only the area.

상기 판부재 검출방법에 있어서, 상기 제1 검출센서와 제2 검출센서로부터 각각 방사되는 물리적 파동신호의 방향은 실질적으로 평행하며,In the plate member detection method, the directions of the physical wave signals radiated from the first and second detection sensors are substantially parallel,

상기 정렬단계에서 상기 제1 판부재와 제2 판부재는 상기 제1 검출센서와 제2 검출센서로부터 방사되는 물리적 파동신호에 대하여 수직을 이루고, 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역과 제2 판부재가 얹어지는 영역이 상대적으로 치우쳐 위치하도록 상기 제1 아암과 제2 아암을 정렬할 수 있다.In the alignment step, the first plate member and the second plate member are perpendicular to the physical wave signal emitted from the first and second detection sensors, and the region and the second plate on which the first plate member is mounted. The first arm and the second arm may be aligned such that the region on which the member is placed is relatively offset.

본 발명의 다른 측면에 따르면,According to another aspect of the invention,

몸체와,Body,

상기 몸체에 연결되며 상기 몸체에 대해 각각 이동하여 제1, 제2 판부재를 각각 이송하도록 상기 판부재가 얹어지는 영역을 구비하는 제1, 제2 아암과,First and second arms connected to the body and having regions where the plate members are mounted to move with respect to the body and to transfer the first and second plate members, respectively;

상기 몸체에 고정되며 서로 거리를 두고 위치하여 상기 제1, 제2 판부재를 각각 검출하는 물리적 파동신호를 방사하는 제1, 제2 검출센서를 포함하며,It is fixed to the body and positioned at a distance from each other including first and second detection sensors for emitting a physical wave signal for detecting the first and second plate member, respectively,

상기 제1 검출센서는 상기 제1 검출센서로부터 방사된 물리적 파동신호가 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역과 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역 중 상기 제1 판부재가 얹어지는 영역에 도달하도록 물리적 파동신호를 방사하고,The first detection sensor may be configured so that the physical wave signal emitted from the first detection sensor reaches an area on which the first plate member is mounted, an area where the first plate member is mounted and an area where the second plate member is mounted. Radiate physical wave signals,

상기 제2 검출센서는 상기 제2 검출센서로부터 방사된 물리적 파동신호가 상 기 제1 판부재가 얹어지는 영역과 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역 중 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역에 도달하도록 물리적 파동신호를 방사하는 이송장치가 제공된다.The second detection sensor reaches a region on which the second plate member is mounted among the area where the first plate member is mounted and the area where the second plate member is mounted, from the physical wave signal emitted from the second detection sensor. A conveying device is provided which radiates a physical wave signal so that it can

상기 이송장치에 있어서, 상기 제1 검출센서는 제1 검출센서로부터 방사되는 물리적 파동신호가 상기 제2 판부재가 얹어지는 영역 바깥으로 지나가도록 물리적 파동신호를 방사할 수 있다.In the transfer apparatus, the first detection sensor may radiate a physical wave signal so that the physical wave signal emitted from the first detection sensor passes outside the region where the second plate member is placed.

상기 이송장치에 있어서, 상기 제1 검출센서와 제2 검출센서는 감도조절이 가능할 수 있다.In the transfer apparatus, the first detection sensor and the second detection sensor may be sensitivity adjustable.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도1을 참조하면, 기판처리장치(12)는 적재 스테이션(14)과, 로드락 장치(10)와, 전달챔버(16)와, 다수의 처리챔버(18)를 구비한다. 도시되지는 않았으나, 적재 스테이션(14)의 내부에는 전달로봇과, 다수의 기판 카세트가 구비된다. 기판 카세트에는 직사각형의 유리기판이 처리되지 않은 것과 처리된 것이 분리되어 수용된다. 전달로봇은 처리되지 않은 유리기판을 로드락 장치(10)로 이송하거나, 처리된 기판을 로드락 장치(10)로부터 기판 카세트로 전달한다.Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 12 includes a loading station 14, a load lock apparatus 10, a transfer chamber 16, and a plurality of processing chambers 18. Although not shown, a delivery robot and a plurality of substrate cassettes are provided inside the loading station 14. The substrate cassette is accommodated separately from the untreated and untreated rectangular glass substrate. The transfer robot transfers the unprocessed glass substrate to the load lock device 10 or transfers the processed substrate from the load lock device 10 to the substrate cassette.

로드락 장치(10)는 적재 스테이션(14)으로부터 이송된 유리기판이 전달챔버(16)로 들어가기 전에 정확하게 위치하도록 정렬시킨다. 이를 위해 도시되지는 않았으나, 로드락 장치(10)는 유리기판을 정렬시키기 위한 얼라이너(aligner)를 구비한다.The load lock device 10 is aligned so that the glass substrates transferred from the loading station 14 are correctly positioned before entering the delivery chamber 16. Although not shown, the load lock device 10 includes an aligner for aligning the glass substrate.

전달챔버(16)는 중심부에 위치한 이송로봇(20)을 구비한다. 전달챔버(16) 주 위에는 로드락 장치(10)와, 다수의 처리챔버(18)가 연결된다. 이송로봇(20)은 로드락 장치(10)에 정렬된 유리기판을 처리챔버(18)로 이송한다. 또한, 이송로봇(20)은 처리챔버(18)에서 가공처리된 유리기판을 다른 처리챔버(18)나 로드락 장치(10)로 이송한다. 모든 처리공정이 끝나고 로드락 장치(10)로 이송된 유리기판은 다시 적재 스테이션(14) 내에서 전달로봇에 의해 기판 카세트로 이송된다.The transfer chamber 16 has a transfer robot 20 located at the center. A load lock device 10 and a plurality of processing chambers 18 are connected around the transfer chamber 16. The transfer robot 20 transfers the glass substrates aligned with the load lock device 10 to the processing chamber 18. In addition, the transfer robot 20 transfers the glass substrate processed in the processing chamber 18 to another processing chamber 18 or the load lock device 10. After all the processing steps are finished, the glass substrate transferred to the load lock device 10 is again transferred to the substrate cassette by the transfer robot in the loading station 14.

도1, 도2 및 도3의 (a)를 참조하면, 이송로봇(20)은 바닥에 고정된 지지체(30)와, 지지체(30) 위에 회전가능하게 결합된 몸체(40)와, 몸체(40)에 직선이동이 가능하게 결합된 제1, 제2 아암(50, 60)을 구비한다. 지지체(30)는 대체로 기둥형상으로서 기판처리장치(12)의 전달챔버(16)의 중앙에 위치한다. 도시되지는 않았으나, 지지체(30)의 내부에는 회전모터가 구비되어 상단에 몸체(40)가 결합되며 수직으로 세워진 회전샤프트(32)를 회전시킨다.1, 2 and 3 (a), the transfer robot 20 is a support 30 fixed to the bottom, a body 40 rotatably coupled to the support 30, the body ( 40, the first and second arms 50, 60 are coupled to the linear movement. The support 30 is generally in the shape of a column and is located in the center of the transfer chamber 16 of the substrate processing apparatus 12. Although not shown, the inside of the support 30 is provided with a rotating motor to rotate the rotary shaft 32 is vertically coupled to the body 40 is coupled to the top.

몸체(40)는 지지체(30) 위에서 회전샤프트(32)의 상단에 결합되며, 회전샤프트(32)의 반경방향을 따라 길게 연장된다. 몸체(40)의 길이방향을 따라 제1 아암(50)과 제2 아암(60)이 각각 직선이동한다. 상세히 도시되지는 않았으나, 몸체(40)에는 제1 아암(50)과 제2 아암(60)을 각각 직선이동시키기 위한 직선구동장치가 구비된다. 본 실시예에서는 직선구동장치로서 리니어 모터를 사용할 수 있다. 리니어 모터는 제1 아암(50)과 제2 아암(60)을 각각 독립적으로 몸체(40)의 길이방향을 따라 이동시키도록 구성되는데, 이러한 구성은 당업자라면 이해할 수 있을 것이다. 본 실시예에서는 제1 아암(50)과 제2 아암(60)을 직선이동시키기 위한 직선구동장치로서 리니어 모터를 사용하는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것 은 아니다. 볼스크루장치, 래크피니언장치, 벨트장치 등 다른 종류의 직선구동장치가 사용될 수도 있음을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.Body 40 is coupled to the upper end of the rotary shaft 32 on the support 30, it extends long along the radial direction of the rotary shaft (32). The first arm 50 and the second arm 60 linearly move along the longitudinal direction of the body 40, respectively. Although not shown in detail, the body 40 is provided with a linear driving device for linearly moving the first arm 50 and the second arm 60, respectively. In this embodiment, a linear motor can be used as the linear drive device. The linear motor is configured to independently move the first arm 50 and the second arm 60 along the longitudinal direction of the body 40, which will be understood by those skilled in the art. In this embodiment, the linear motor is used as a linear driving device for linearly moving the first arm 50 and the second arm 60. However, the present invention is not limited thereto. It will be appreciated by those skilled in the art that other types of linear drive devices, such as ball screw devices, rack pinion devices, belt devices, etc., may be used.

도3의 (a)를 참조하면, 몸체(40)는 유리기판의 유무를 판단하기 위한 제1, 제2 검출센서(70, 80)를 구비한다. 제1 검출센서(70)와 제2 검출센서(80)는 광센서로서 각각 몸체(40)의 길이방향을 따라 거리를 두고 앞뒤로 배치된다. 본 명세서에서는 제1, 제2 아암(50, 60)의 후술하는 받침포크(54, 56)가 연장된 방향을 '앞' 또는 '앞쪽'으로 한다. 두 검출센서(70, 80)는 위로 대체로 평행하게 빔을 발사하여 상부에 놓여지는 유리기판(90, 100)을 검출하게 된다. 두 검출센서(70, 80) 사이의 거리(몸체(40)의 길이방향 거리)는 제1, 제2 아암(50, 60)에 의해 각각 이송되는 유리기판(90, 100)의 길이 정도인 것이 바람직하나 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 두 검출센서(70, 80) 사이의 몸체(40)의 길이방향 거리는 제1 아암(50) 위에 놓여진 제1 유리기판(90)과 제2 아암(60) 위에 놓여진 제2 유리기판(100)이 엇갈린 정도에 따라 적당히 달라질 수 있다. 더욱 상세하게 설명하면, 도3의 (a)에 도시된 바와 같이 제1 유리기판(90)과 제2 유리기판(100)이 위아래로 위치하며 제1 검출센서(70)와 제2 검출센서(80)로부터 조사되는 빔과 대체로 수직을 이루며 두 기판이 앞뒤로 약간 엇갈리도록 배치된다. 즉, 제1 유리기판(90)이 제2 유리기판(100) 보다 약간 앞으로 튀어나와 있다. 본 실시예에서는 두 유리기판(90, 100)이 20~50mm 정도의 편차를 가지고 엇갈리게 배치되는 것으로 하는데, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 이때, 제1 검출센서(70)는 제1 검출센서(70)로부터 조사되는 빔이 제1 유리기판(90)에는 닿되, 제2 유리기판(100)에는 닿지 않도록 위 치한다(도3의 (b)와 (c) 함께 참조). 또한, 제2 검출센서(80)는 제2 검출센서(80)로부터 조사되는 빔이 제2 유리기판(100)에는 닿되, 제1 유리기판(90)에는 닿지 않도록 위치한다(도3의 (b)와 (c) 함께 참조). 이러한 검출센서로는 예를 들면 일본의 타켁스(TAKEX)사(www.takex-elec.co.jp)의 광화이버 센서가 사용될 수 있다. 그러나 본 발명의 센서는 위와 같은 구체적인 센서로만 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 다른 종류의 광센서로 사용될 수도 있고 초음파를 이용한 센서를 이용한 센서도 사용할 수 있음을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다. 즉 조사되는 신호(빔)는 광선일 수도 있고 초음파일 수도 있으며 이동가능하고 전달가능하며 유리기판에서 반사하는 등의 작용을 하는 다른 물리적인 신호일 수 있음을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.Referring to FIG. 3A, the body 40 includes first and second detection sensors 70 and 80 for determining the presence or absence of a glass substrate. The first detection sensor 70 and the second detection sensor 80 are optical sensors, respectively, arranged back and forth at a distance along the longitudinal direction of the body 40. In the present specification, the direction in which the supporting forks 54 and 56 described later of the first and second arms 50 and 60 are extended is referred to as 'front' or 'front'. The two detection sensors 70 and 80 emit a beam substantially parallel upward to detect the glass substrates 90 and 100 placed on the upper side. The distance between the two detection sensors 70 and 80 (the longitudinal distance of the body 40) is about the length of the glass substrates 90 and 100 respectively transferred by the first and second arms 50 and 60. Preferred but the present invention is not limited thereto. The longitudinal distance of the body 40 between the two detection sensors 70 and 80 is such that the first glass substrate 90 placed on the first arm 50 and the second glass substrate 100 placed on the second arm 60 are separated. It can vary according to the degree of staggering. In more detail, as shown in FIG. 3A, the first glass substrate 90 and the second glass substrate 100 are positioned up and down, and the first detection sensor 70 and the second detection sensor ( It is generally perpendicular to the beam irradiated from 80 and the two substrates are arranged so as to slightly cross back and forth. That is, the first glass substrate 90 protrudes slightly forward than the second glass substrate 100. In the present embodiment, the two glass substrates 90 and 100 are alternately arranged with a deviation of about 20 to 50 mm, but the present invention is not limited thereto. At this time, the first detection sensor 70 is positioned so that the beam irradiated from the first detection sensor 70 touches the first glass substrate 90, but does not touch the second glass substrate 100 (FIG. b) and (c) together). In addition, the second detection sensor 80 is positioned so that the beam irradiated from the second detection sensor 80 touches the second glass substrate 100, but does not touch the first glass substrate 90 (FIG. 3B). ) And (c) together). As such a detection sensor, for example, an optical fiber sensor of TAKEX of Japan (www.takex-elec.co.jp) may be used. However, the sensor of the present invention is not limited to the above specific sensor. For example, those skilled in the art will understand that other types of optical sensors may be used and sensors using ultrasonic sensors may also be used. That is, those skilled in the art will appreciate that the signal (beam) to be irradiated may be light, ultrasonic, moveable, transmissive, or other physical signal that acts on a glass substrate.

도2와 도3의 (a)를 참조하면, 제1 아암(50)은 판상의 기초부(52)와, 기초부(50)로부터 몸체(40)의 길이방향을 따라 길게 연장된 받침포크(54)를 구비한다. 기초부(52)는 몸체(40)의 리니어 모터(도시되지 않음)에 연결되어 리니어 모션 가이드에 의해 안내되면서 몸체(40)의 길이방향을 따라 직선이동한다. 받침포크(54) 위에는 제1 유리기판(90)이 놓여진다. 받침포크(54)의 각 가지(540) 사이의 공간으로 제1, 제2 검출센서(70, 80)로부터 조사된 빔이 지나간다. 제2 아암(60)은 기초부(62)와, 기초부(62)로부터 몸체(40)의 길이방향을 따라 길게 연장된 받침포크(64)를 구비한다. 기초부(52)는 몸체(40)의 리니어 모터(도시되지 않음)에 연결되어 제1 아암(50)과는 독립적으로 몸체(40)의 길이방향을 따라 직선이동한다. 기초부(62)는 바닥(621)과, 바닥(621)의 양측으로부터 위로 연장된 두 측벽(622, 623)과, 두 측벽(622, 623)의 상단을 잇는 상부벽(624)을 구비한다. 바닥(621)은 가운데 부분이 갈라져 있어 제1 아암(50)과 리니어 모터가 연결된 부분이 지나갈 수 있다. 이러한 형상을 갖는 제2 아암(60)의 기초부(62)의 내부 공간에 제1 아암(50)의 기초부(52)가 수용될 수 있다. 제2 아암(60)의 받침포크(64)는 기초부(62)의 상부벽(624)으로부터 연장된다. 제2 받침포크(64)의 각 가지(640) 사이의 공간으로 제1, 제2 검출센서(70, 80)로부터 발사된 빔이 지나간다.2 and 3 (a), the first arm 50 has a plate-shaped base portion 52 and a support fork extending in the longitudinal direction of the body 40 from the base portion 50 ( 54). The base portion 52 is connected to a linear motor (not shown) of the body 40 and guided by a linear motion guide to linearly move along the longitudinal direction of the body 40. The first glass substrate 90 is placed on the support forks 54. The beam irradiated from the first and second detection sensors 70 and 80 passes through the space between the branches 540 of the support forks 54. The second arm 60 has a base portion 62 and a support fork 64 extending in the longitudinal direction of the body 40 from the base portion 62. The base portion 52 is connected to a linear motor (not shown) of the body 40 and moves linearly along the longitudinal direction of the body 40 independently of the first arm 50. Base 62 has a bottom 621, two side walls 622, 623 extending upwards from both sides of the bottom 621, and a top wall 624 joining the tops of the two side walls 622, 623. . The bottom portion 621 is divided in the center portion thereof so that the portion where the first arm 50 and the linear motor are connected may pass. The base portion 52 of the first arm 50 may be accommodated in the internal space of the base portion 62 of the second arm 60 having such a shape. A support fork 64 of the second arm 60 extends from the top wall 624 of the base 62. The beam emitted from the first and second detection sensors 70 and 80 passes through the space between the branches 640 of the second support fork 64.

이제, 도3의 (a), (b), (c)를 참조하여 상기 실시예에 따라 유리기판을 검출하는 방법을 상세히 설명한다. 먼저, 제1 아암(50)과 제2 아암(60)은 유리기판의 유무를 판단하기 위한 정해진 위치에 위치하도록 정렬된다. 이 정렬위치는 아래에 위치하는 제1 유리기판(90)은 제1 검출센서(70)에 의해서만 검출되고, 위에 위치하는 제2 유리기판(100)은 제2 검출센서(80)에 의해서만 검출되도록 제1 유리기판(90)과 제2 유리기판(100)이 서로에 대해서 치우치도록 앞뒤로 배치시키는 위치이다. 다음 제1 검출센서(70)와 제2 검출센서(80)에서 빔이 조사된다. 만일, 도3의 (a)에 도시한 바와 같이 제1 유리기판(90)과 제2 유리기판(100)이 위아래로 모두 존재하는 경우 제1 검출센서(70)로부터 조사된 빔은 제1 유리기판(90)의 선단부에 닿게 되고, 제2 검출센서(80)로부터 조사된 빔은 제2 유리기판(100)의 후단부에 닿게 되어 제1 유리기판(90)과 제2 유리기판(100)이 모두 존재함을 알 수 있게 된다. 이와는 다르게, 도3의 (b)에 도시한 바와 같이, 아래에 위치하는 제1 유리기판(90)만 존재하는 경우, 제1 검출센서(70)로부터 조사된 빔만이 제1 유리기판(90)의 선단부에 닿게 되어 제1 유리기판(90)만이 존재함을 알 수 있게 된다. 또한, 도3의 (c)에 도시한 바와 같이, 위에 위치하는 제2 유리기판(100)만 존재하는 경우, 제2 검출센서(80)로부터 조사된 빔만이 제2 유리기판(100)의 후단부에 닿게 되어 제2 유리기판(100)만이 존재함을 알 수 있게 된다. 도시되지는 않았으나, 두 검출센서(70, 80)로부터 각각 조사된 빔이 어떠한 유리기판에도 닿지 않은 경우에는 유리기판이 전혀 존재하지 않음을 알 수 있게 된다.Now, with reference to Figs. 3A, 3B and 3C, a method of detecting a glass substrate according to the above embodiment will be described in detail. First, the first arm 50 and the second arm 60 are aligned to be positioned at a predetermined position for determining the presence or absence of a glass substrate. The alignment position is such that the first glass substrate 90 positioned below is detected only by the first detection sensor 70, and the second glass substrate 100 positioned above is detected only by the second detection sensor 80. The first glass substrate 90 and the second glass substrate 100 are positioned to be oriented back and forth with respect to each other. Next, the beam is irradiated from the first detection sensor 70 and the second detection sensor 80. If the first glass substrate 90 and the second glass substrate 100 are both up and down, as shown in (a) of FIG. 3, the beam irradiated from the first detection sensor 70 is first glass. The front end of the substrate 90 and the beam irradiated from the second detection sensor 80 touches the rear end of the second glass substrate 100 so that the first glass substrate 90 and the second glass substrate 100 You can see that all of these exist. Alternatively, as shown in (b) of FIG. 3, when only the first glass substrate 90 positioned below exists, only the beam irradiated from the first detection sensor 70 has the first glass substrate 90. It comes in contact with the front end of the first glass substrate 90 can be seen that there exists. In addition, as shown in (c) of FIG. 3, when only the second glass substrate 100 positioned above is present, only the beam irradiated from the second detection sensor 80 is located after the second glass substrate 100. It comes in contact with the end so that only the second glass substrate 100 is present. Although not shown, it can be seen that the glass substrate does not exist at all when the beams irradiated from the two detection sensors 70 and 80 do not touch any glass substrate.

도4에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리기판 검출방법이 도시되어 있다. 도4를 참조하면, 제1 검출센서(70a)는 제1 검출센서(70a)로부터 조사된 빔이 아래에 위치하는 제1 유리기판(90a)의 후단부에 닿도록 몸체(40a)의 대체로 뒤쪽에 위치한다. 제2 검출센서(80a)의 위치는 도3의(a)에 도시한 실시예에서와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 제1 검출센서(70a)는 제1 검출센서(70a)로부터 조사된 빔이 도시한 바와 같이 아래에 위치하는 제1 유리기판(90a)이 위치하는 곳까지만 도달하고 위에 위치하는 제2 유리기판(100a)이 위치하는 곳까지는 도달하지 못하도록 감도가 조절된다. 따라서 제1 검출센서(70a)는 아래에 위치하는 제1 유리기판(90a)의 유무만을 판단할 수 있게 된다. 제2 검출센서(80a)는 제1 검출센서(80a)로부터 조사된 빔이 도시한 바와 같이 위에 위치하는 제2 유리기판(100a)이 위치하는 곳까지 도달할 수 있도록 감도가 조절된다. 제2 검출센서(80a)로부터 조사된 빔은 제1 유리기판(90a)에 닿지 않고 지나가서 제2 유리기판(100a)의 후단부에 닿게 된다. 따라서 제2 검출센서(80a)는 위에 위치하는 제2 유리기판(100a)의 유무만을 판단할 수 있게 된다. 이와 같은 방식으로 위아래로 위치하는 두 유리기판을 검출할 수 있게 된다. 그 외의 구성 및 작용은 도3에 도시한 실시예와 동일하 므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.4 shows a glass substrate detecting method according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, the first detection sensor 70a is generally rearward of the body 40a so that the beam irradiated from the first detection sensor 70a reaches the rear end of the first glass substrate 90a positioned below. Located in Since the position of the second detection sensor 80a is the same as in the embodiment shown in FIG. 3 (a), a detailed description thereof will be omitted. The first detection sensor 70a reaches only a place where the first glass substrate 90a positioned below the beam irradiated from the first detection sensor 70a is located, and the second glass substrate positioned above The sensitivity is adjusted so that it does not reach where 100a) is located. Therefore, the first detection sensor 70a can determine only the presence or absence of the first glass substrate 90a positioned below. The sensitivity of the second detection sensor 80a is adjusted so that the beam irradiated from the first detection sensor 80a can reach the position where the second glass substrate 100a positioned above is located, as shown. The beam irradiated from the second detection sensor 80a does not reach the first glass substrate 90a and passes through the second end of the second glass substrate 100a. Therefore, the second detection sensor 80a can determine only the presence or absence of the second glass substrate 100a positioned above. In this manner, two glass substrates positioned up and down can be detected. Other configurations and operations are the same as the embodiment shown in FIG. 3, so a detailed description thereof will be omitted.

상기 실시예에서 사용된 검출센서는 예를 들면 일본의 타켁스사에서 제조한 광화이버 센서일 수 있다.The detection sensor used in the above embodiment may be, for example, an optical fiber sensor manufactured by Tax Corporation of Japan.

상기 두 실시예에서 이송로봇은 두 아암이 직선구동장치에 의해 구동되는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 아암이 회전구동장치에 의해 구동되는 관절형 아암을 구비하는 이송로봇에 대해서도 적용될 수 있음을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.In the above two embodiments, the transfer robot has been described that the two arms are driven by the linear drive device, but the present invention is not limited thereto. It will be appreciated by those skilled in the art that the arm can be applied to a transfer robot having an articulated arm driven by a rotary drive.

상기 두 실시예에서는 이송로봇이 유리기판을 이송하고 유리기판을 검출하는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 다른 소재의 판상의 물체에 대해서도 적용이 가능함을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.In the above two embodiments, the transfer robot transfers the glass substrate and detects the glass substrate, but the present invention is not limited thereto. It will be understood by those skilled in the art that the present invention can also be applied to plate-shaped objects of different materials.

상기 두 실시예에서 이송로봇은 기판처리장치의 전달챔버 내에 설치되는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 위아래로 위치하는 한꺼번에 둘 이상의 물체를 다르며 이송하는 경우라면 다른 곳에 사용되는 이송장치에도 모두 적용될 수 있음을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.In the above two embodiments, the transfer robot has been described as being installed in the transfer chamber of the substrate processing apparatus, but the present invention is not limited thereto. Those skilled in the art will understand that the case of transferring two or more objects at the same time up and down may be applied to all the transfer devices used elsewhere.

본 발명의 구성을 따르면 앞서서 기재된 본 발명의 목적을 모두 달성할 수 있다. 구체적으로는 각 유리기판의 유무를 판단하는 검출센서가 구비되므로 두 유리기판 중 어느 기판이 존재하는지 검출하기 쉽다. 또한, 두 검출센서가 몸체에 구비되므로 센서의 설치가 용이하며, 진공로봇과 같이 아암에 직접 센서를 설치하지 못하는 경우에도 기판검출이 가능하다. 그리고 센서가 아암에 설치되지 않으므로 아암에 이를 위한 전기적 배선이 필요하지 않아 청정환경이 필요한 공정에서 사용하기 적합하다.According to the configuration of the present invention can achieve all the objects of the present invention described above. Specifically, since a detection sensor for determining the presence or absence of each glass substrate is provided, it is easy to detect which substrate exists between the two glass substrates. In addition, since the two detection sensors are provided in the body, it is easy to install the sensor, and even if the sensor cannot be directly installed on the arm such as a vacuum robot, the substrate can be detected. And since the sensor is not installed in the arm, it does not need electrical wiring for the arm, so it is suitable for use in processes requiring a clean environment.

이상 본 발명을 상기 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니다. 당업자라면, 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정, 변경을 할 수 있으며 이러한 수정과 변경 또한 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.Although the present invention has been described with reference to the above embodiments, the present invention is not limited thereto. Those skilled in the art will appreciate that modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention and that such modifications and variations also fall within the present invention.

Claims

A first arm and a second arm connected to the body and having an area on which the plate member is mounted so as to move with respect to the body and to transfer the first and second plate members, respectively; Providing a transport robot having first and second detection sensors positioned at a distance;

Moving and stopping the first and second arms so that the area on which the first plate member is placed or the area on which the second plate member is mounted are aligned from the body;

Radiating a physical wave signal from the first and second detection sensors, wherein the physical wave signal emitted from the first detection sensor is the first of the region on which the first plate member is mounted and the region on which the second plate member is mounted The physical wave signal emitted from the second detection sensor is radiated so as to reach an area on which the plate member is placed, and the second plate member is disposed between the area on which the first plate member is placed and the area where the second plate member is placed. And detecting the plate member to radiate to reach the mounted area.

The detection method of claim 1, wherein the first detection sensor is configured such that a physical wave signal radiated from the first detection sensor passes outside the region on which the second plate member is placed while the first and second arms are aligned. A method for detecting a plate member that emits a physical wave signal.

The detection method of claim 1, wherein the first detection member comprises a physical wave signal radiated from the first detection sensor, wherein the first plate member is disposed between an area where the first plate member is mounted and an area where the second plate member is mounted. A method for detecting a plate member whose sensitivity is adjusted to reach only the mounted area.

In the method of detecting a plate member according to any one of claims 1 to 3, the directions of the physical wave signals radiated from the first and second detection sensors are substantially parallel,

In the alignment step, the first plate member and the second plate member are perpendicular to the physical wave signal emitted from the first and second detection sensors, and the region and the second plate on which the first plate member is mounted. And a plate member for aligning the first arm and the second arm so that the region on which the member is placed is relatively offset.

Body,

First and second arms connected to the body and having regions where the plate members are mounted to move with respect to the body and to transfer the first and second plate members, respectively;

It is fixed to the body and positioned at a distance from each other including first and second detection sensors for emitting a physical wave signal for detecting the first and second plate member, respectively,

The first detection sensor may be configured so that the physical wave signal emitted from the first detection sensor reaches an area on which the first plate member is mounted, an area where the first plate member is mounted and an area where the second plate member is mounted. Radiate physical wave signals,

The second detection sensor is such that the physical wave signal radiated from the second detection sensor reaches a region on which the second plate member is mounted, an area where the first plate member is mounted and an area where the second plate member is mounted. Transfer device that emits a physical wave signal.

The transfer apparatus according to claim 5, wherein the first detection sensor radiates a physical wave signal such that a physical wave signal radiated from the first detection sensor passes outside the region where the second plate member is placed.

The transfer apparatus of claim 5, wherein the first detection sensor and the second detection sensor are sensitively adjustable.