KR100608356B1 - 반도체 칩 패키지 몰딩 방법 - Google Patents

반도체 칩 패키지 몰딩 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100608356B1
KR100608356B1 KR1020040021554A KR20040021554A KR100608356B1 KR 100608356 B1 KR100608356 B1 KR 100608356B1 KR 1020040021554 A KR1020040021554 A KR 1020040021554A KR 20040021554 A KR20040021554 A KR 20040021554A KR 100608356 B1 KR100608356 B1 KR 100608356B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
semiconductor chip
molding
encapsulant
right sides
chip package
Prior art date
Application number
KR1020040021554A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050096373A (ko
Inventor
유현진
Original Assignee
주식회사 하이닉스반도체
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 하이닉스반도체 filed Critical 주식회사 하이닉스반도체
Priority to KR1020040021554A priority Critical patent/KR100608356B1/ko
Publication of KR20050096373A publication Critical patent/KR20050096373A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100608356B1 publication Critical patent/KR100608356B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H13/00Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch
    • H01H13/02Details
    • H01H13/26Snap-action arrangements depending upon deformation of elastic members
    • H01H13/36Snap-action arrangements depending upon deformation of elastic members using flexing of blade springs
    • H01H13/44Snap-action arrangements depending upon deformation of elastic members using flexing of blade springs having two or more snap-action motions in succession
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H13/00Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch
    • H01H13/02Details
    • H01H13/04Cases; Covers

Landscapes

  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

반도체 칩 패키지 몰딩 방법이 개시된다. 반도체 칩의 상부에서 봉지제를 주입시킴으로써 상기 봉지제가 상기 반도체 칩의 상부 중심으로부터 상기 상부 좌,우측으로 흐르면서 제1 몰딩이 이루어지고, 상기 반도체 칩의 하부에서 봉지제를 주입시킴으로써 상기 반도체 칩의 하부 중심으로부터 상기 하부 좌,우측으로 흐르면서 제2몰딩이 이루어진다. 아울러, 상기 제1 몰딩과 제2몰딩에 의해 발생되는 공기를 상기 반도체 칩 좌측부와 우측부를 통하여 외부로 배출시킨다. 따라서, 상기 봉지제를 균일하게 흐르게 할 수 있다.

Description

반도체 칩 패키지 몰딩 방법{method for molding a semiconductor chip package}
도 1은 종래의 반도체 칩 패키지 몰딩 방법을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 몰딩 방법을 설명하기 위한 구성도들이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20 : 상부 금형 22 : 하부 금형
23 : 공동 24 : 반도체 칩
200 : 봉지제 주입구 210 : 런너
220 : 공기 배출구 230 : 게이트
본 발명은 반도체 칩 패키지 몰딩 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에폭시 몰딩 수지(epoxy molding compound : EMC)와 같은 봉지제를 사용하여 반도체 칩 패키지를 몰딩하기 위한 방법에 관한 것이다.
최근 전가 기기의 고기능화, 다기능화 및 소형화 추세에 따라 반도체 소자의 실장 밀도를 높이면서도 전체 소자의 크기가 감소된 반도체 칩 패키지의 개발이 요구되고 있다. 따라서, 상기 반도체 소자를 외부 환경으로부터 보호하기 위한 몰딩 공정의 중요성을 더욱 증대되고 있다. 즉, 반도체 소자의 고집적화에 따라 입출력 단자의 수가 증가되어 리드의 구조가 복잡해지고, 패키지 몸체를 얇게 형성하여야 하기 때문에 몰딩 기술의 향상이 요구되고 있는 것이다.
상기 몰딩 공정은 반도체 칩과 리드 프레임 스트립의 전기적 연결이 완료된 반제품을 에폭시 몰딩 수지와 같은 봉지제로 패키징하는 공정이다. 현재, 몰딩 공정으로 가장 많이 적용하고 있는 기술로서는 트렌스퍼 몰딩 기술을 들 수 있다. 상기 트렌스퍼 몰딩 기술은 일정한 점도 상태의 봉지제를 반도체 칩이 위치하는 금형의 공간으로 주입하여 반도체 칩을 리드 프레임의 소정 부분과 함께 봉지하는 방법이다.
도 1은 종래의 반도체 칩 패키지 몰딩 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 반도체 칩 패키지를 몰딩하기 위한 금형(10, 12)을 나타낸다. 상기 금형(10, 12)은 상부 금형(10)과 하부 금형(12)을 포함한다. 이에 따라, 상기 상부 금형(10)과 하부 금형(12)에 의해 형성되는 공동(空洞)(13) 내에 반도체 칩(14)을 위치시킨 후, 봉지제를 주입함으로써 몰딩이 이루어진다.
그리고, 상기 봉지제는 상기 반도체 칩(14)의 측면으로 주입되는 구조를 갖는다. 때문에, 상기 봉지제의 주입시 공동(13) 내에서 이루어지는 봉지제의 흐름이 한 방향으로 편중된다. 즉, 상기 봉지제가 흐르는 양과 속도가 일정하지 않은 것이다.
따라서, 종래의 방법을 통하여 반도체 칩 패키지를 몰딩할 경우, 봉지제의 편중된 흐름으로 인하여 미충전, 보이드, 와이어 스위핑 등과 같은 불량이 빈번하게 발생한다.
본 발명의 목적은 반도체 칩 패키지를 몰딩할 때 봉지제를 균일하게 흐르게 하기 위한 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 칩 패키지 몰딩 방법은,
반도체 칩의 상부에서 봉지제를 주입하는 단계;
상기 반도체 칩의 상부에서 주입된 봉지제가 상기 반도체 칩의 상부 중심으로부터 상기 상부 좌,우측으로 흐르면서 제1 몰딩이 이루어지는 단계;
상기 반도체 칩의 하부에서 봉지제를 주입하는 단계;
상기 반도체 칩의 하부에서 주입된 봉지제가 상기 반도체 칩의 하부 중심으로부터 상기 하부 좌,우측으로 흐르면서 제2몰딩이 이루어지는 단계; 및
상기 제1 몰딩과 제2몰딩에 의해 발생되는 공기를 상기 반도체 칩 좌측부와 우측부를 통하여 외부로 배출시키는 단계를 포함한다.
상기 제1 몰딩과 제2몰딩은 동시에 이루어지는 것이 바람직하다. 이는, 상기 반도체 칩의 상부 및 하부로 균일하게 봉지제를 흐르게 하기 위함이다.
그리고, 상기 봉지제는 에폭시 몰딩 수지(EMC)인 것이 바람직하다. 이는, 상기 에폭시 몰딩 수지가 경제성과 양산성이 우수하고, 내흡수성이 우수하기 때문이다.
이와 같이, 본 발명에 의하면 몰딩을 위한 반도체 칩의 상부와 하부에서 봉지제를 주입시킨다. 따라서, 상기 봉지제를 균일하게 흐르게 할 수 있다. 즉, 흐르는 봉지제의 양과 속도를 반도체 칩의 모든 영역에서 균일하게 유지시킬 수 있다. 때문에, 몰딩을 실시함으로써 빈번하게 발생하는 미충전, 보이드, 와이어 스위핑 등과 같은 불량을 줄일 수 있다.
(실시예)
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라서 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 몰딩 방법을 설명하기 위한 구성도들이다.
도 2를 참조하면, 반도체 칩 패키지 몰딩을 위한 금형(20, 22)으로서 상부 금형(20)과 하부 금형(22)을 나타낸다. 이와 같이, 상기 상부 금형(20)과 하부 금형(22)을 몰딩을 위한 형태로 위치시킴으로써 공동(23)를 얻는다. 따라서, 상기 반도체 칩 패키지를 몰딩할 때 상기 공동(23) 내에 반도체 칩(24)을 위치시킨다.
여기서, 상기 반도체 칩(24)의 몰딩에서는 반도체 칩(24)이 놓여지는 상부와 하부에서 봉지제인 에폭시 몰딩 수지를 주입시키는 구성을 갖는다. 아울러, 상기 반도체 칩(24)을 몰딩함에 따라 발생하는 공기는 반도체 칩(24)이 위치한 좌측부와 우측부로 배출되는 구성을 갖는다.
상기 반도체 칩(24)의 상부와 하부 각각에서 봉지제인 에폭시 몰딩 수지를 주입하기 위하여, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상부 금형(24)의 상측과 하부 금형(24)의 하측 각각에는 봉지제 주입구(200)가 형성된다. 그리고, 상기 봉지제 주입구(200)를 통하여 주입된 봉지제가 보다 균일하게 흐르도록 상기 봉지제 주입구(200)와 연결되는 좌우측에 런너(210)와 게이트(230)가 형성된다. 또한, 상기 몰딩을 실시할 때 발생되는 공기를 외부로 배출하기 위하여 상기 상부 금형(20)과 하부 금형(22)의 좌측부와 우측부에는 공기 배출구(220)가 마련된다. 상기 공기 배출부(220)의 경우에는 상기 상부 금형(20)과 하부 금형(22)을 몰딩을 위한 형태로 마련함으로써 구현할 수 있다.
상기 구조를 갖는 상부 금형(20)과 하부 금형(22)을 이용한 반도체 칩 패키지의 몰딩 방법을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 상기 상부 금형(20)의 봉지제 주입구(200)를 통하여 반도체 칩(24)의 상부로 봉지제를 주입시킨다. 즉, 상기 상부 금형(20)의 봉지제 주입구(200)로 봉지제를 주입함으로써 상기 상부 금형(20)의 봉지제 주입구(200)와 연결된 런너(210)와 게이트(230)를 통하여 상기 공동(23) 내에 마련된 반도체 칩(24)의 상부로 봉지제가 주입되는 것이다. 이에 따라, 상기 반도체 칩(24)의 상부에서 주입된 봉지제가 상기 반도체 칩(24)의 상부 중심으로부터 상부 좌,우측으로 흐르면서 제1 몰딩이 이루어진다.
그리고, 상기 하부 금형(22)의 봉지제 주입구(200)를 통하여 상기 반도체 칩(24)의 하부로 봉지제를 주입시킨다. 즉, 상기 하부 금형(22)의 봉지제 주입구(200)로 봉지제를 주입함으로써 상기 하부 금형(22)의 봉지제 주입구(200)와 연결된 런너(210)와 게이트(230)를 통하여 상기 공동(23) 내에 마련된 상기 반도체 칩(24)의 하부로 봉지제가 주입되는 것이다. 이에 따라, 상기 반도체 칩(24)의 하부에서 주입된 봉지제가 상기 반도체 칩(24)의 하부 중심으로부터 하부 좌,우측으로 흐르면서 제2몰딩이 이루어진다.
이때, 상기 제1 몰딩과 제2몰딩은 동시에 이루어진다. 즉, 상기 상부 금형(20)의 봉지제 주입구(200)를 통한 봉지제의 주입과, 상기 하부 금형(22)의 봉지제 주입구(200)를 통하여 봉지제의 주입이 동시에 이루어지는 것이다.
그리고, 상기 제1 몰딩과 제2몰딩에 의해 발생되는 공기는 상기 반도체 칩(24) 좌측부와 우측부를 통하여 외부로 배출된다. 즉, 상기 공기 배출구(220)를 통하여 배출되는 것이다.
이와 같이, 상기 상부 금형(20)과 하부 금형(22) 각각을 통하여 봉지제를 주입함으로써 상기 공동(23) 내에서는 보다 균일한 봉지제의 흐름이 일어난다. 즉, 상기 반도체 칩(24)의 상부 중심 부위로부터 좌측과 우측으로 균일하게 봉지제가 흐르고, 상기 반도체 칩(24)의 하부 중심 부위로부터 좌측과 우측으로 균일하게 봉지제가 흐르게 된다.
따라서, 본 발명에 의하면 반도체 칩을 몰딩할 때 봉지제를 균일하게 흐르게 함으로써, 미충전, 보이드, 와이어 스위핑 등과 같은 불량을 줄일 수 있다. 때문에, 반도체 칩 패키지의 몰딩에 따른 신뢰도가 향상되는 효과를 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (3)

  1. 반도체 칩의 상부에서 봉지제를 주입하는 단계;
    상기 반도체 칩의 상부에서 주입된 봉지제가 상기 반도체 칩의 상부 중심으로부터 상기 상부 좌,우측으로 흐르면서 제1 몰딩이 이루어지는 단계;
    상기 반도체 칩의 하부에서 봉지제를 주입하는 단계;
    상기 반도체 칩의 하부에서 주입된 봉지제가 상기 반도체 칩의 하부 중심으로부터 상기 하부 좌,우측으로 흐르면서 제2몰딩이 이루어지는 단계; 및
    상기 제1 몰딩과 제2몰딩에 의해 발생되는 공기를 상기 반도체 칩 좌측부와 우측부를 통하여 외부로 배출시키는 단계
    를 포함하는 반도체 칩 패키지 몰딩 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 몰딩과 제2몰딩은 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 몰딩 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 봉지제는 에폭시 몰딩 수지(EMC)인 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 몰딩 방법.
KR1020040021554A 2004-03-30 2004-03-30 반도체 칩 패키지 몰딩 방법 KR100608356B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040021554A KR100608356B1 (ko) 2004-03-30 2004-03-30 반도체 칩 패키지 몰딩 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040021554A KR100608356B1 (ko) 2004-03-30 2004-03-30 반도체 칩 패키지 몰딩 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050096373A KR20050096373A (ko) 2005-10-06
KR100608356B1 true KR100608356B1 (ko) 2006-08-08

Family

ID=37276458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040021554A KR100608356B1 (ko) 2004-03-30 2004-03-30 반도체 칩 패키지 몰딩 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100608356B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101035175B1 (ko) 2009-03-24 2011-05-17 주식회사 영일프레시젼 피비쥐에이용 센터게이트 방열판

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000012769U (ko) * 1998-12-21 2000-07-15 김영환 반도체 패키지 몰딩용 금형

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000012769U (ko) * 1998-12-21 2000-07-15 김영환 반도체 패키지 몰딩용 금형

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101035175B1 (ko) 2009-03-24 2011-05-17 주식회사 영일프레시젼 피비쥐에이용 센터게이트 방열판

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050096373A (ko) 2005-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8587098B2 (en) Integrated circuit protruding pad package system and method for manufacturing thereof
US8652384B2 (en) Method for molding semiconductor device
JP2008004570A (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法、樹脂封止型半導体装置の製造装置、および樹脂封止型半導体装置
KR200309906Y1 (ko) 반도체 패키지 제조용 리드프레임
US4894704A (en) Lead frame having projections for resin molding
TWI256117B (en) Resin-sealed semiconductor device and method of manufacturing the same
KR100608356B1 (ko) 반도체 칩 패키지 몰딩 방법
KR100963151B1 (ko) 반도체 패키지 몰딩용 금형 및 이를 이용한 몰딩 방법
KR102407742B1 (ko) 수지 성형된 리드 프레임의 제조 방법, 수지 성형품의 제조 방법 및 리드 프레임
JP5148445B2 (ja) 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置
US5811132A (en) Mold for semiconductor packages
JPH04132234A (ja) 樹脂封止型半導体集積回路の樹脂封止装置
JP5758823B2 (ja) 電子部品の樹脂封止成形品の製造方法、圧縮成形用下金型及び樹脂封止装置
JPS60182142A (ja) 半導体装置の樹脂封止用金型
KR100653607B1 (ko) 복수의 보조-런너를 갖는 반도체 칩 패키지용 수지 성형장치
JPH11274191A (ja) 半導体素子の樹脂封止装置
TW201518059A (zh) 具有改良的環氧數脂封膠材料的模具
KR100983304B1 (ko) 리이드 프레임 및, 그것을 적용하여 제조된 반도체 팩키지및, 반도체 팩키지의 제조 방법
KR20070078587A (ko) Bga 패키지용 성형 금형
KR19980034352A (ko) 반도체 칩 패키지용 리드 프레임
KR20000006438U (ko) 반도체 볼 그리드 어레이 패키지의 몰딩장치
KR100658894B1 (ko) 리드프레임의 몰딩 방법
JPH0639870A (ja) 樹脂封止方法及びそれに用いる金型
KR19990043140A (ko) 매트릭스 타입의 인쇄회로기판 및 이를 이용한 몰딩방법
KR19990002590U (ko) 패키지용 금형

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100624

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee