KR100606576B1 - Transfer robot - Google Patents

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KR100606576B1
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Abstract

본 발명은, 평판표시소자 제조장치에 마련되는 반송로봇에 있어서, 로봇암부에 연결되어 회동하는 연결부; 상기 연결부의 일측에 다수개 고정되어 마련되며, 단면 형상이 다각형으로 내부가 중공 형성되는 엔드 이펙터; 상기 엔드 이펙터의 내부에 일단이 연결부에 고정된 상태로 구비되며, 길이 방향으로 연장되게 마련되는 보강부재; 상기 보강부재의 양단이 각각 삽입되어 그 보강부재의 위치를 고정하는 판상의 위치고정부재;로 이루어진 것을 특징으로 하는 반송로봇를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a transport robot provided in a flat panel display device manufacturing apparatus, comprising: a connecting portion connected to a robot arm and rotated; A plurality of end effectors provided fixed to one side of the connection part and having a polygonal cross section in a hollow shape; A reinforcing member having one end fixed to the connection part in the end effector and extending in a longitudinal direction; Both ends of the reinforcing member is inserted into the plate-like position fixing member for fixing the position of the reinforcing member; provides a transport robot, characterized in that consisting of.

평판표시소자 제조장치, 반송로봇, 로봇암, 엔드 이펙터, 보강부재, 위치고정부재, 처짐Flat panel display device manufacturing device, robot, arm, end effector, reinforcing member, position fixing member, deflection

Description

반송로봇{Transfer robot}Transfer robot}

도 1은 종래의 반송로봇을 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional transport robot.

도 2는 도 1의 평면도이다.2 is a plan view of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇의 엔드 이펙터를 도시한 측면도이다.3 is a side view showing the end effector of the transport robot according to an embodiment of the present invention.

도 4는 상기 반송로봇의 엔드 이펙터를 도시한 분해사시도이다.4 is an exploded perspective view showing the end effector of the transport robot.

도 5는 상기 엔드 이펙터를 수직방향으로 절개한 단면도이다.5 is a cross-sectional view of the end effector cut in a vertical direction.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반송로봇의 엔드 이펙터를 도시한 측면도이다.Figure 6 is a side view showing the end effector of the transport robot according to another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

140 : 연결부 150 : 엔드 이펙터(End Effector)140: connection portion 150: End Effector

152, 160 : 보강부재 154 : 돌기부152, 160: reinforcing member 154: protrusion

156 : 위치고정부재 158 : 장착홈부156: position fixing member 158: mounting groove

본 발명은 반송로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시소자 제조장치 에 마련되는 반송로봇의 엔드 이펙터 상부에 위치된 이동 대상물의 자중에 의해 엔드 이펙터가 처지는 것을 방지할 수 있게 한 반송로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a transport robot, and more particularly, to a transport robot that can prevent the end effector from sagging due to the weight of the moving object located above the end effector of the transport robot provided in the flat panel display device manufacturing apparatus. will be.

일반적으로, 반송로봇은 특정 대상이 되는 대상물의 위치를 이동시키는 장치로써, 평판표시소자 제조장치에서는 특정 챔버에 기판을 반입 또는 반출시키는 기능을 갖는다. 여기서, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상술한 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Laodlock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 진공 챔버로 구성된다.In general, the transfer robot is a device for moving a position of an object to be a specific object, and the flat panel display device manufacturing apparatus has a function of bringing in or carrying out a substrate into a specific chamber. Here, the flat panel display device manufacturing apparatus is carried into a flat panel display device substrate such as LCD, PDP, OLED, etc. to perform an etching process using plasma gas, etc. The flat panel display device manufacturing apparatus described above is generally a load lock (Laodlock) ) Chamber, conveying chamber and one or more vacuum chambers.

여기서, 상술한 로드락 챔버는 외부에 구비되며 다수개의 처리전 기판을 적재한 카세트에서 운송수단에 의해 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상술한 반송 챔버는 기판을 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 반송하기 위한 반송로봇이 구비되어 있어서 처리할 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 상태에서 플라즈마 등을 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 각각 한다.Here, the above-described load lock chamber is provided on the outside and serves to accept the substrate by a transport means or to carry out the processed substrate to the outside in a cassette in which a plurality of pre-processed substrates are loaded. A transfer robot for transporting between the load lock chambers or the process chambers is provided to transfer the substrate to be processed from the load lock chamber to the process chamber or to transfer the processed substrate from the process chamber to the load lock chamber. The process chambers serve to form a film or perform etching on a substrate using a plasma or the like in a vacuum.

한편, 상술한 로드락 챔버의 외부에 구비된 종래의 반송로봇 구조는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 인가 전원에 의해 그 반송로봇(10)의 각각의 구성요소에 구동력을 전달하는 로봇 구동부(20)와, 상술한 로봇 구동부(20)의 회전축에 마련되어 프로그램 상에서 설정된 궤적을 따라 동작하며, 접혔다 폈다하는 절첩과정에서 위치 변경이 용이한 로봇암부(30)와, 상술한 로봇암부(30)의 회전축에 마련되어 설 정된 각도만큼 회동하는 연결부(40)와, 상술한 연결부(40)이 일측에 다수개를 고정하여 마련되며, 그 상부에 이동 대상물이 적재되는 판상으로 고형인 엔드 이펙터(End Effector : 50)로 이루어진다.On the other hand, the conventional transport robot structure provided on the outside of the load lock chamber described above, the robot driving unit for transmitting a driving force to each component of the transport robot 10 by the applied power as shown in Figs. 20 and the robot arm unit 30 provided on the rotary shaft of the robot drive unit 20 described above, operating along a trajectory set in the program, and easily changing its position in the folding and unfolding folding process, and the robot arm unit 30 described above. The connection part 40 and the above-mentioned connection part 40 which are rotated by the set angle provided on the rotating shaft of the) and are provided with a plurality of fixed on one side, the end effector (solid end) in the form of a plate on which the moving object is loaded on the upper end Effector: 50).

그러나, 종래의 엔드 이펙터(50)는 상술한 연결부(40)에 일측이 고정된 상태로 그 상면에 적재물이 적재되는 외팔보로써, 선단은 적재물의 자중에 의해 하방으로 처지는 현상이 발생되며, 적재물의 이동시 진동이 발생되어 그 진동이 엔드 이펙터(50)에 크랙(Crack)을 발생시키며, 그 엔드 이펙터(50)의 처짐을 줄이기 위해 엔드 이펙터(50)의 내부를 중공 상태로 마련하여도 처짐이 발생되는 문제점이 있었다.However, the conventional end effector 50 is a cantilever beam in which a load is loaded on its upper surface while one side is fixed to the connection portion 40 described above, and the tip is sag downward due to the weight of the load. Vibration occurs during movement, and the vibration generates cracks in the end effector 50, and sag occurs even when the inside of the end effector 50 is provided in a hollow state to reduce the sag of the end effector 50. There was a problem.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 엔드 이펙터의 구조를 변경하여 상부에 적재된 적재물에 의해 그 엔드 이펙터의 처짐을 최소화할 수 있게 한 반송로봇을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a transport robot that can change the structure of the end effector to minimize the deflection of the end effector by the load loaded thereon.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치에 마련되는 반송로봇에 있어서, 로봇암부에 연결되어 회동하는 연결부; 상기 연결부의 일측에 다수개 고정되어 마련되며, 단면 형상이 다각형으로 내부가 중공 형성되는 엔드 이펙터; 상기 엔드 이펙터의 내부에 일단이 연결부에 고정된 상태로 구비되며, 길이 방향으로 연장되게 마련되는 보강부재; 상기 보강부재의 양단이 각각 삽입되어 그 보강부재의 위치를 고정하는 판상의 위치고정부재;로 이루어짐으로써, 평판표시 소자 제조장치에 마련되되 반송로봇의 연결부에 일단이 고정된 상태로 엔드 이펙터를 마련하고, 기판이 안착되어 그 기판의 자중에 의해 처짐이 발생되는 엔드 이펙터의 내부에 양단이 위치고정부재에 삽입 고정된 보강부재에 의해 처짐이 최소화되므로 바람직하다.In order to achieve the above object, the present invention is a carrier robot provided in the flat panel display device manufacturing apparatus, the connecting portion connected to the robot arm to rotate; A plurality of end effectors provided fixed to one side of the connection part and having a polygonal cross section in a hollow shape; A reinforcing member having one end fixed to the connection part in the end effector and extending in a longitudinal direction; Both ends of the reinforcing member is inserted into each of the plate-like position fixing member for fixing the position of the reinforcing member; is provided in the flat panel display device manufacturing apparatus provided with an end effector with one end fixed to the connection portion of the transport robot In addition, it is preferable because the deflection is minimized by the reinforcing member inserted into the position fixing member at both ends in the end effector where the substrate is settled and the deflection is caused by the weight of the substrate.

또한, 본 발명에서의 보강부재는, 원통 형상인 그 외주면에 길이 방향으로 연장되게 돌출되는 방사형의 돌기부가 형성됨으로써, 그 돌기부에 의해 엔드 이펙터에 적재물을 적재하여 이동시키는 과정에서 발생되는 비틀림이나 진동을 흡수하여 내구성을 상승시키므로 바람직하다.In addition, the reinforcing member in the present invention is formed by a radial projection projecting in the longitudinal direction on the outer peripheral surface of the cylindrical shape, the torsion or vibration generated in the process of loading and moving the load to the end effector by the projection portion It is preferable because it absorbs the water and increases the durability.

또한, 본 발명에서의 보강부재는, 상기 연결부에 일단이 고정된 상태로 엔드 이펙터의 전 구간내에 마련되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the reinforcing member in the present invention is provided in the entire section of the end effector with one end fixed to the connecting portion.

또한, 본 발명에서의 보강부재는, 상기 연결부에 일단이 고정된 상태로 엔드 이펙터의 일부 구간내에 마련되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the reinforcing member in the present invention is provided in a portion of the end effector with one end fixed to the connecting portion.

또한, 본 발명에서의 위치고정부재에는, 상기 보강부재가 삽입될 수 있게 그와 상응하는 음각 형상의 장착홈부가 형성됨으로써, 고정부재의 상응한 형상의 장작홈부가 형성되어 엔드 이펙터에 발생되는 진동의 흡수율이 상승하므로 바람직하다.In addition, the position fixing member in the present invention, by the mounting groove portion of the corresponding intaglio shape is formed so that the reinforcing member can be inserted, the corresponding shape of the firewood groove of the fixing member is formed to generate the vibration generated in the end effector It is preferable because the water absorption rate increases.

또한, 본 발명에서의 평판표시소자 제조장치에 마련되는 반송로봇에 있어서, 로봇암부에 연결되어 회동하는 연결부; 상기 연결부의 일측에 다수개 고정되어 마련되는 엔드 이펙터; 상기 엔드 이펙터가 고정되는 연결부의 고정면과 그 고정면과 만나는 엔드 이펙터의 하면에 고정되되 소정 길이로 형성되는 보강부재;로 이루어짐으로써, 상술한 보강부재를 연결부의 일측에 일단이 고정된 엔드 이펙터는 그 엔드 이펙터의 하면과, 그 엔드 이펙터와 만나는 연결부의 일측하단 부위에 각목 형상의 보강부재를 결합시켜 상술한 엔드 이펙터의 처짐을 최소화함으로 바람직하다.In addition, the transport robot provided in the flat panel display device manufacturing apparatus of the present invention, the connecting portion connected to the robot arm to rotate; An end effector fixed and provided at one side of the connection part; The end effector having one end fixed to one side of the connection part by being made of a reinforcing member fixed to a lower surface of the end effector that meets the fixing surface and a fixed surface of the connection part to which the end effector is fixed, and having a predetermined length; The bottom effect of the end effector, it is preferable to combine the reinforcing member of the wooden shape on the lower side portion of the connection portion that meets the end effector to minimize the deflection of the above-described end effector.

이하, 본 발명의 반송로봇의 엔드 이펙터를 첨부도면을 참조하여 일실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the end effector of the carrier robot of the present invention will be described with reference to the embodiment as follows.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반송로봇은 도면에는 도시하지 않았지만 평판표시소자 제조장치에 기판의 반입 또는 반출시 사용되며, 외부의 인가되는 전원에 의해 구동력을 제공하는 로봇 구동부와, 상술한 로봇 구동부의 회동축에 마련되어 미리 설정된 궤적에 따라 이동되며 복수개로 이루어진 절첩식 로봇암부와, 상술한 로봇암부의 상단에 구비되어 설정된 각도만큼 회동되는 연결부(140)과, 상술한 연결부(140)의 일측에 고정된 상태로 마련되어 상부에 기판 등의 적재물이 적재되는 엔드 이펙터(150)로 구성되며, 종래의 로봇 구동부와 로봇암부와 연결부와 본 발명에서의 그것도 동일한 구조로 마련되고, 동일한 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.Although not shown in the drawings, the transport robot according to an exemplary embodiment of the present invention may be used when the substrate is loaded or unloaded into a flat panel display device manufacturing apparatus and provides a driving force by an externally applied power source, and the robot described above. The folding robot arm part which is provided on the rotational axis of the drive part and moved according to a predetermined trajectory, the connection part 140 provided on the upper end of the robot arm part and rotated by a set angle, and one side of the connection part 140 described above. It is fixed to the end effector 150 is configured to be loaded with a load, such as a substrate on the top, and the conventional robot drive unit and the robot arm unit and the connecting portion and the same in the present invention is provided in the same structure, and the same function is detailed Description is omitted.

상술한 엔드 이펙터를 연결부에 고정할 때는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 연결부(140)의 일측면에 그 일측면이 고정되는 엔드 이펙터(150)와, 상술한 엔드 이펙터(150)의 내부에 일측이 연결부(140)에 고정된 상태로 마련되는 보강부재(152)와, 상술한 보강부재(152)의 양단이 각각 삽입되어 고정되는 위치고정부재(156)로 구비된다. 그리고, 상술한 엔드 이펙터(150)가 연결부(140)에 다수개 고정된 형상이 포크 형상이다.When fixing the above-described end effector to the connection portion, as shown in FIGS. 3 and 4, the end effector 150 having one side fixed to one side of the connection portion 140, and the inside of the end effector 150 described above. On one side is provided with a reinforcing member 152 is provided in a fixed state to the connecting portion 140, and both ends of the reinforcing member 152 described above are inserted into and fixed to the position fixing member 156. In addition, a plurality of end effectors 150 described above are fixed to the connection part 140 to have a fork shape.

상술한 엔드 이펙터(150)는 단면 형상이 내부가 중공인 사각 파이프이며, 길이 방향으로 연장되도록 구비된다. 여기서, 상술한 엔드 이펙터(152)는 사각 형상에 한정하지 않고 6각, 8각 등 다각형 형상에도 적용될 수 있다.The end effector 150 described above is a rectangular pipe having a hollow cross section, and extending in the longitudinal direction. Here, the end effector 152 described above may be applied to polygonal shapes such as hexagonal and octagonal shapes, without being limited to quadrangular shapes.

상술한 보강부재(152)는 도 4에 도시된 바와 같이 길이 방향으로 연장된 내부가 중공인 파이프 형상에서 그 외주면에는 전장과 동일한 길이를 갖는 방사형의 돌기부(154)가 일체로 형성된다.In the reinforcing member 152 described above, a radial protrusion 154 having the same length as the entire length is integrally formed on the outer circumferential surface of the pipe shape having a hollow inside extending in the longitudinal direction.

여기서, 상술한 보강부재(152)는 상술한 엔드 이펙터(150)의 내부에 위치될 때, 연결부(140)에 일측이 고정된 상태로 그 엔드 이펙터(150)의 전 구간내에 마련되거나, 상술한 연결부(140)에 일측이 고정된 상태로 그 엔드 이펙터(150)의 부분적인 구간내에 마련되어 상술한 엔드 이펙터(150)의 처짐량에 따라 다른 길이를 갖도록 구비하며, 그 길이에 따라 위치고정부재(156)의 위치도 변경된다. 즉, 상술한 위치고정부재(156)는 상술한 보강부재(152)가 엔드 이펙터(150)의 전 구간내에 마련될 경우 상술한 엔드 이펙터(150)의 양측에 고정되며, 상술한 보강부재(152)가 엔드 이펙터(150)의 부분적 구간내에 마련될 경우 상술한 엔드 이펙터(150)의 일측 과 도중에 마련되는 것이다.Here, when the reinforcing member 152 described above is positioned inside the end effector 150 described above, the reinforcing member 152 is provided in the entire section of the end effector 150 with one side fixed to the connecting portion 140, or It is provided in a partial section of the end effector 150 while one side is fixed to the connecting portion 140 to have a different length according to the deflection amount of the end effector 150 described above, and the position fixing member 156 according to the length thereof. ) Position is also changed. That is, the position fixing member 156 is fixed to both sides of the end effector 150 described above when the reinforcing member 152 is provided in the entire section of the end effector 150, and the reinforcing member 152 described above. ) Is provided in the partial section of the end effector 150 is provided on one side and the middle of the above-described end effector 150.

상술한 위치고정부재(156)는 도 4에 도시된 바와 같이 상술한 보강부재(154)의 양측이 각각 삽입되어 그 보강부재(154)의 양단을 지지하며, 판상으로 중앙부에 장착홈부(160)가 형성되되 그 장착홈부(160)의 형상은 상술한 보강부재(154)와 상응한 음각으로 관통 형성되어 상술한 보강부재(154)의 삽입이 용이하다. As shown in FIG. 4, the position fixing member 156 is inserted at both sides of the reinforcing member 154 to support both ends of the reinforcing member 154, and the mounting groove 160 is formed in the center at the plate shape. Is formed, but the shape of the mounting groove 160 is formed through the intaglio corresponding to the reinforcing member 154 described above to facilitate the insertion of the reinforcing member 154 described above.

즉, 상술한 보강부재(152)에는 방사형의 돌기부(154)가 길이 방향으로 형성되어 그 돌기부(154)가 형성된 보강부재(152)의 양단이 위치고정부재(156)에 결합하면, 상술한 돌기부(154)가 보강부재(152)에 발생되는 비틀림을 방지하며, 진동을 흡수하게 된다.That is, when the above-described reinforcing member 152 has a radial protrusion 154 formed in the longitudinal direction and both ends of the reinforcing member 152 having the protrusion 154 are coupled to the position fixing member 156, the above-described protrusion 154 prevents the torsion generated in the reinforcing member 152, and absorbs the vibration.

또한, 상술한 위치고정부재(156)에는 장착홈부(158)가 폭방향으로 관통 형성되거나 관통되지 않고 부분적으로 형성된다. 그리고, 상술한 위치고정부재(156)는 아크릴 수지(acrylic)로 형성되어 마련됨으로써, 가격이 저렴하면서도 중량이 적으며, 가공이 용이한 효과가 있다.In addition, the mounting groove 158 is formed in the above-described position fixing member 156 or partially formed without penetrating in the width direction. In addition, the position fixing member 156 is formed of an acrylic resin (acrylic) is provided, the price is low, but the weight is low, there is an effect that the processing is easy.

한편, 상술한 위치고정부재(156)의 위치는 상술한 보강부재(152)의 양단에 마련됨으로써, 어느 하나는 연결부(140)와 엔드 이펙터(150)에 개재되어 상술한 연결부(140)의 일측벽에 고정되고, 다른 하나는 상술한 보강부재(152)의 길이에 따라 엔드 이펙터(150)의 끝단에 고정되거나, 상술한 보강부재(152)의 길이가 엔드 이펙터(150)내에 부분적으로 위치될 경우 그 엔드 이펙터(150)의 도중에 고정된다.On the other hand, the position of the position fixing member 156 is provided at both ends of the reinforcing member 152 described above, one of which is interposed between the connecting portion 140 and the end effector 150, one of the connecting portion 140 described above. It is fixed to the side wall, the other is fixed to the end of the end effector 150 according to the length of the reinforcing member 152 described above, or the length of the above-mentioned reinforcing member 152 is partially located in the end effector 150 If it is fixed in the middle of the end effector 150.

그러므로, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치에서 기판의 특정 챔버에 기판을 반입 또는 반출시키는 반송로봇에 있어, 상면에 기판이 안착되는 엔드 이펙 터는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상술한 연결부(140)의 일측에 다수개가 고정되어 마련되며, 그 엔드 이펙터(150)의 상면에 기판 등의 적재시 그 기판의 자중으로 그 엔드 이펙터(150)가 처지는 것을 최소화하기 위해 엔드 이펙터(150)의 전 구간 또는 일부 구간의 내부에 연결부(140)의 일측면에 일측이 고정된 상태로 구비되는 보강부재(152)를 마련하고, 그 보강부재(152)의 양단이 상술한 보강부재(152)의 형상과 상응한 음각 형상인 위치고정부재(156)에 각각 삽입되어 일측에 위치된 위치고정부재(156)는 연결부(140)와 마주보는 일측면에 고정하고 타측에 위치된 위치고정부재(156)는 엔드 이펙터(150)의 타측벽에 고정함으로써, 상술한 엔드 이펙터(150)를 그 내부에 마련된 보강부재(152)로 보강하여 외팔보인 엔드 이펙터(150)의 처짐을 최소화시킨다.Therefore, in the transport robot for loading or unloading a substrate into a specific chamber of the substrate in the apparatus for manufacturing a flat panel display device according to the present invention, the end effector on which the substrate is seated on the upper surface is connected to the above-described connection part as shown in FIGS. 3 and 4. A plurality of fixed ends are provided on one side of the 140, and in order to minimize the sag of the end effector 150 due to the weight of the substrate when the substrate or the like is loaded on the upper surface of the end effector 150, The reinforcing member 152 is provided on one side of the connecting portion 140 in a fixed state in all sections or some sections, and both ends of the reinforcing member 152 of the reinforcing member 152 described above. The position fixing members 156 respectively inserted into the position fixing members 156 having an intaglio shape corresponding to the shape and positioned at one side thereof are fixed to one side facing the connecting portion 140 and positioned at the other side. End effector 150 By fixing the other side wall, to reinforce the above-described end effector 150 to the reinforcement member 152 disposed therein to minimize the deflection of the cantilever of the end effector (150).

그리고, 상술한 보강부재(152)의 외주면에 방사상으로 형성된 돌기부(154)는 그 돌기부(154)가 형성된 보강부재(152)가 엔드 이펙터(150)내에 구비되어 적재물인 기판을 엔드 이펙터(150)에 적재한 상태로 특정 챔버로 이동시키는 과정에서 그 엔드 이펙터(150)에 발생되는 비틀림이나 진동을 상술한 돌기부(154)가 차단 및 흡수하여 비틀림이나 진동에 의한 크랙(Crack) 발생 등으로 인한 내구성이 저하되는 것을 방지한다.The protrusion 154 radially formed on the outer circumferential surface of the reinforcement member 152 includes a reinforcement member 152 having the protrusion 154 provided in the end effector 150 to end the substrate which is a load. Durability due to crack generation due to torsion or vibration as the above-described protrusion 154 blocks and absorbs the torsion or vibration generated in the end effector 150 in the process of moving to a specific chamber in the state of loading to the specific chamber. This prevents it from falling.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 반송로봇에 마련된 엔드 이펙터의 보강부재는 도 6에 도시된 바와 같이 길이 방향으로 연장되는 고형의 보강부재(160)를 연결부(140)의 일측벽과, 그 연결부(140)에 일단이 고정되는 엔드 이펙터(150)의 하면에 서로 접한 상태로 상술한 엔드 이펙터(150)를 고정하여 상술한 엔드 이펙터 (150)의 처짐량을 감소시킬 수 있다. 여기서, 상술한 보강부재(160)는 고형인 각목 형상으로 형성된다.On the other hand, the reinforcing member of the end effector provided in the transport robot according to another embodiment of the present invention is a solid side reinforcing member 160 extending in the longitudinal direction as shown in Figure 6 and one side wall of the connecting portion 140, The above-described end effector 150 may be fixed in contact with each other on the bottom surface of the end effector 150 having one end fixed to the connecting portion 140, thereby reducing the amount of deflection of the above-described end effector 150. Here, the reinforcing member 160 is formed in a solid wooden shape.

또한, 상술한 엔드 이펙터(150)의 중공 내부에 보강부재(152)가 마련된 상태에서 그 엔드 이펙터(150)의 하면과 연결부(140)의 일측면에도 보강부재(160)로 보강하여 처짐을 더 최소화시킬 수 있다.In addition, in the state where the reinforcing member 152 is provided in the hollow inside of the end effector 150 described above, the bottom surface of the end effector 150 and one side of the connecting portion 140 are reinforced with the reinforcing member 160 to further sag. It can be minimized.

이와 같은 본 발명의 반송로봇은 그 반송로봇의 반송암부 선단에 마련된 연결부 일측에 고정되는 중공인 엔드 이펙터의 내부에 방사상의 돌기부가 형성된 보강부재를 마련하고, 이 보강부재와 상응한 형상을 갖되 상술한 보강부재의 양단이 삽입되어 그 보강부재의 위치를 엔드 이펙터 내부에 고정시키는 위치고정부재가 마련된 구조를 갖음으로써, 상술한 보강부재에 의해 엔드 이펙터의 처짐을 최소화시키는 효과가 있다.Such a transport robot of the present invention provides a reinforcing member having a radial protrusion formed inside a hollow end effector fixed to one side of a connection part provided at the tip of the transport arm of the transport robot, and having a shape corresponding to the reinforcing member, Both ends of the reinforcing member are inserted to have a structure in which a position fixing member is provided to fix the position of the reinforcing member inside the end effector, thereby minimizing the deflection of the end effector by the aforementioned reinforcing member.

또한, 상술한 보강부재에 길이 방향의 돌출된 상태로 연장되는 방사상의 돌기부를 형성하여 그 돌기부가 엔드 이펙터에 발생되는 비틀림이나 진동을 흡수하여 내구성 향상의 효과가 있다.In addition, the above-mentioned reinforcing member is provided with a radial protrusion extending in the protruding state in the longitudinal direction, and the protrusion has an effect of improving durability by absorbing the torsion or vibration generated in the end effector.

Claims (7)

평판표시소자 제조장치에 마련되는 반송로봇에 있어서,In the transport robot provided in the flat panel display device manufacturing apparatus, 로봇암부에 연결되어 회동하는 연결부(140);A connecting part 140 connected to the robot arm to rotate; 상기 연결부의 일측에 다수개 고정되어 마련되며, 단면 형상이 다각형으로 내부가 중공 형성되는 엔드 이펙터(150);A plurality of end effectors 150 provided fixed to one side of the connection part and having a polygonal cross section in a hollow shape; 상기 엔드 이펙터의 내부에 일단이 연결부에 고정된 상태로 구비되며, 길이 방향으로 연장되게 마련되는 보강부재(152);A reinforcing member 152 having one end fixed to the connection part in the end effector and extending in a longitudinal direction; 상기 보강부재의 양단이 각각 삽입되어 그 보강부재의 위치를 고정하는 판상의 위치고정부재(156);로 이루어진 것을 특징으로 하는 반송로봇.Both ends of the reinforcing member is inserted into the plate-like position fixing member for fixing the position of the reinforcing member (156); carrying robot, characterized in that consisting of. 제 1항에 있어서, 상기 보강부재(152)는,The method of claim 1, wherein the reinforcing member 152, 원통 형상인 그 외주면에 길이 방향으로 연장되게 돌출되는 방사형의 돌기부(154)가 형성되는 것을 특징으로 하는 반송로봇.A carrier robot, characterized in that the radial projection 154 is formed to protrude in the longitudinal direction on the outer peripheral surface of the cylindrical shape. 제 2항에 있어서, 상기 보강부재(152)는,The method of claim 2, wherein the reinforcing member 152, 상기 연결부(140)에 일단이 고정된 상태로 엔드 이펙터의 전 구간내에 마련되는 것을 특징으로 하는 반송로봇.Carrying robot, characterized in that provided in the entire section of the end effector in a state fixed to the connecting portion 140. 제 2항에 있어서, 상기 보강부재(152)는,The method of claim 2, wherein the reinforcing member 152, 상기 연결부(140)에 일단이 고정된 상태로 엔드 이펙터의 일부 구간내에 마련되는 것을 특징으로 하는 반송로봇.Carrying robot, characterized in that provided in a portion of the end effector end is fixed to the connecting portion 140. 제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 위치고정부재(156)에는,The method of claim 3 or 4, wherein the position fixing member 156, 상기 보강부재가 삽입될 수 있게 그와 상응하는 음각 형상의 장착홈부(158)가 형성되는 것을 특징으로 하는 반송로봇. Carriage robot, characterized in that the mounting groove portion 158 of the corresponding intaglio shape is formed so that the reinforcing member can be inserted. 제 5항에 있어서, 상기 위치고정부재(156)는,The method of claim 5, wherein the position fixing member 156, 아크릴 수지(acrylic)로 형성되는 것을 특징으로 하는 반송로봇.Carrying robot, characterized in that formed of acrylic resin (acrylic). 삭제delete
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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