KR100605496B1 - Apparatus and method for generating raw redundant enable signal in semiconductor memory apparatus - Google Patents

Apparatus and method for generating raw redundant enable signal in semiconductor memory apparatus Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로 및 방법에 관한 것으로서, 특히 본 발명의 장치는 정상 메모리 블록의 불량 로우 셀 어레이를 로우 리던던시 블록으로 대체한 경우에 리페어 신호를 발생하기 위한 리페어 신호 발생수단, 복수의 모드 레지스터 세트 어드레스와 모드 레지스터 세트 펄스신호에 응답하여 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 위한 테스트 인에이블 신호를 출력하는 테스트 인에이블신호 발생수단, 및 정상 동작모드에서 외부에서 인가되는 디코딩된 로우 어드레스 신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스 신호인 경우에 리페어 신호와 외부에서 인가되는 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여 활성화되고, 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작모드에서는 테스트 인에이블신호와 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여, 디코딩된 로우 어드레스 신호가 노말 블록의 어드레스 신호인 경우에는 비활성화되고, 디코딩된 로우 어드레스 신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스 신호인 경우에는 활성화되는 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 로우 리던던시 인에이블수단을 구비한 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에서는 리던던시의 방식 및 리페어 여부에 관계없이 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트가 가능하므로, 테스트 비용을 줄일 수 있다. The present invention relates to a low redundancy enable signal generation circuit and method of a semiconductor memory device, and more particularly, to an apparatus for generating a repair signal when a defective low cell array of a normal memory block is replaced with a low redundancy block. Signal generation means, a test enable signal generation means for outputting a test enable signal for a multi-row address disturb test operation in response to a plurality of mode register set addresses and a mode register set pulse signal, and externally applied in a normal operation mode When the decoded row address signal is an address signal of a low redundancy block, the decoded row address signal is activated in response to a repair signal and a low redundancy word line enable signal applied externally, and in a multi row address disturb test operation mode, a test enable signal is activated. In response to the call and low redundancy wordline enable signal, the low redundancy in is deactivated when the decoded row address signal is the address signal of the normal block and is activated when the decoded row address signal is the address signal of the low redundancy block. A low redundancy enable means for generating an enable signal is provided. Therefore, in the present invention, since the multi-row address disturb test can be performed regardless of the redundancy method and the repair, the test cost can be reduced.

Description

반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING RAW REDUNDANT ENABLE SIGNAL IN SEMICONDUCTOR MEMORY APPARATUS}Low redundancy enable signal generation circuit and method of semiconductor memory device {APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING RAW REDUNDANT ENABLE SIGNAL IN SEMICONDUCTOR MEMORY APPARATUS}

도 1은 종래의 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로를 나타낸 도면.1 is a diagram illustrating a low redundancy enable signal generation circuit of a conventional semiconductor memory device.

도 2는 종래의 반도체 메모리 장치의 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 설명하기 위한 타이밍도.2 is a timing diagram for explaining a multi-row address disturb test operation of a conventional semiconductor memory device.

도 3은 본 발명에 의한 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로의 구성을 나타낸 회로도.3 is a circuit diagram showing the configuration of a low redundancy enable signal generation circuit of a semiconductor memory device according to the present invention;

도 4는 본 발명에 의한 테스트 인에이블신호 발생수단의 레지스터의 회로구성을 나타낸 도면.4 is a diagram showing a circuit configuration of a register of a test enable signal generating means according to the present invention;

도 5는 본 발명에 의한 테스트 인에이블신호 발생수단의 출력제어수단의 회로구성을 나타낸 도면. 5 is a diagram showing a circuit configuration of an output control means of the test enable signal generating means according to the present invention;

도 6은 본 발명에 의한 반도체 메모리 장치의 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트동작을 설명하기 위한 타이밍도.6 is a timing diagram for explaining a multi-row address disturb test operation of a semiconductor memory device according to the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 리페어신호 발생수단 12 , 30 : 로우 리던던시 인에이블수 단10: repair signal generating means 12, 30: low redundancy enable stage

20 : 테스트 인에이블신호 발생수단 22 : 레지스터20: test enable signal generating means 22: register

22a : 입력래치 22b : 출력래치22a: input latch 22b: output latch

24 : 출력제어수단 24: output control means

본 발명은 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로 및 방법에 관한 것으로서, 특히 로우 리던던시의 방식 또는 리페어에 관계없이 멀티 로우 어드레스 디스터브(MRAD : Multi Row Address Disturb) 테스트 동작이 가능하도록 하는 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로 및 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a low redundancy enable signal generation circuit and a method of a semiconductor memory device. In particular, a low redundancy that enables a multi row address disturb (MRAD) test operation regardless of a method or repair of low redundancy is possible. An enable signal generation circuit and method are disclosed.

최근 반도체 메모리 장치는 대용량화가 급속도로 진행되고 있다. 반도체메모리 장치의 저장용량이 증가하면 할수록 이를 테스트하기 위한 테스트 소요시간 증가는 필연적이라 할 수 있다. 이에 따라 생산성 문제가 대두되고 있다. Recently, the capacity of semiconductor memory devices has been rapidly increasing. As the storage capacity of the semiconductor memory device increases, it is inevitable to increase the test time required to test it. As a result, productivity problems are on the rise.

그러므로, 반도체 메모리 장치의 고집적화에 따라 현재 양산중인 모든 제품에서는 테스트 항목을 줄이거나 또는 리플레시 사이클 축소와 같은 방식으로 테스트 타임 감소에 노력하고 있다. 그러나, 이와 같은 테스트 항목은 제품의 신뢰성과 직접적인 관련이 있으므로 삭제 및 테스트 타임 감소에는 한계가 있다. Therefore, with the high integration of semiconductor memory devices, all products currently in mass production are trying to reduce the test time by reducing test items or reducing refresh cycles. However, since such test items are directly related to the reliability of the product, there is a limit to elimination and reduction of test time.

디램 테스트 시간 대부분은 제품의 신뢰성을 확보하기 위하여 셀 내부의 불량을 테스트하는 항목이 대부분의 시간을 차지하게 된다. 즉 디스터브 테스트 항목 과 번인이 디램 테스트의 대부분을 차지한다. Most of the DRAM test time takes most of the time to test the defects inside the cell in order to ensure the reliability of the product. In other words, the disturb test items and burn-in account for most of the DRAM test.

디램의 생산성을 향상시키기 위하여 디스터브 테스트 항목과 번인 타임을 단축시키는 방안으로 에스디램의 기능을 이용하여 여러 개의 워드라인을 동시에 활성화시킨 상태에서 스트레스를 한꺼번에 가할 수 있는 멀티 로우 어드레스 디스터브(MRAD : Multi Row Address Disturb)가 개발되게 되었고 멀티 로우 어드레스 디스터브를 현재 적용하여 테스트 소요시간 감소 등 많은 생산성을 높이고 있다. Multi row address disturb (MRAD) that can apply stress while simultaneously activating multiple word lines by using the function of SDRAM in order to shorten the disturb test item and burn-in time to improve the productivity of DRAM. Address Disturb) has been developed, and multi-row address disturbances are now being applied to increase productivity, including reducing test lead times.

그러나, 대부분의 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트는 프리 레이저 테스트에서만 대부분 적용하고 있고 대부분의 디바이스에서 채용하고 있는 블록 리던던시 구조로 인하여 레이저 리페어 이후 패키지 단계에서는 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트가 불가능하여 백엔드에서 실질적인 패키지 테스트 시간 감소 및 번인에서의 효과를 실질적으로 보지 못하고 있다. However, most of the multi-row address disturbance tests are applied only to pre-laser tests, and the block redundancy structure used in most devices makes it impossible to test multi-row address disturbances in the package stage after laser repair, so the actual package test time at the back end is not possible. The effects on reduction and burn-in have not been substantially seen.

그러므로, 패키지 단계에서 멀티 로우 어드레스 디스터브를 구현하기 위해서는 각각의 블록이 개별적인 리던던시 셀을 가지고 있어야 한다. 그러나, 현재 대부분의 제품은 리던던시 효율을 증대시키기 위하여 블록 리던던시 구조를 가지고 있다. 이 경우에 불량에 의한 셀을 대체하기 위해서 다른 블록에 있는 리던던시를 사용할 경우 블록신호가 변경되어 기존에 멀티 로우 어드레스 디스터브에 의해 활성화된 다수의 워드선 모두가 디스에이블되어 버린다. Therefore, to implement multi-row address disturbances at the package level, each block must have a separate redundancy cell. However, most products at present have a block redundancy structure to increase redundancy efficiency. In this case, when redundancy in another block is used to replace a defective cell, the block signal is changed so that a plurality of word lines previously activated by multi-row address disturb are disabled.

도 1은 종래의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로를 나타낸다. 종래의 회로는 리페어신호 발생수단(10)과 로우 리던던시 인에이블수단(12)을 포함한다. 리페어신호 발생수단(10)은 정상 메모리 블록의 셀 어레이 불량시 로우 리던던시 블록의 셀 어레이로 대체하는 경우에 퓨즈(F)를 절단하게 되는 바, 이 퓨즈 절단에 따른 리페어 여부를 리페어신호로 발생한다. 로우 리던던시 인에이블수단(12)은 디코딩된 로우 어드레스신호(DRA234)와 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호(PRTR)와, 리페어신호를 조합하여 로우 리던던시 인에이블신호(PRENi)를 발생한다. 1 shows a conventional low redundancy enable signal generation circuit. The conventional circuit comprises a repair signal generating means 10 and a low redundancy enable means 12. The repair signal generating means 10 cuts the fuse F when the cell array of the normal memory block is replaced with the cell array of the low redundancy block. The repair signal generating means 10 generates a repair signal as a repair signal. . The low redundancy enable means 12 generates a low redundancy enable signal PRENi by combining the decoded row address signal DRA234, the low redundancy word line enable signal PRTR, and the repair signal.

그러므로, 이와 같이 로우 리던던시 인에이블신호를 발생하는 종래의 반도체 메모리 장치에서 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트를 수행하는 경우에는 도 2에 도시한 바와 같이, 순차적으로 활성화되던 워드라인이 리페어 셀 워드라인으로 바뀌는 순간 리던던시 셀이 억세스되고 기 활성화되어 있던 워드라인이 디스에이블된다. 그러므로, 패키지와 같이 모든 칩이 리페어되어 있는 경우에는 멀티 로우 어드레스 디스터브가 불가능하다.Therefore, in the case of performing the multi-row address disturb test in the conventional semiconductor memory device generating the low redundancy enable signal as described above, as shown in FIG. 2, the moment when the sequentially activated word line is replaced with the repair cell word line The redundancy cell is accessed and the previously active word line is disabled. Therefore, multi-row address disturbances are not possible when all chips are repaired, such as packages.

본 발명의 목적은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작시에는 로우 리던던시 인에이블신호를 비활성화시킴으로써 리던던시 방식 또는 리페어 여부에 관계없이 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트를 적용할 수 있어서 테스트 비용을 절감할 수 있는 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로 및 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to solve the problems of the prior art by deactivating the low redundancy enable signal during the multi-row address disturb test operation can be applied to the multi-row address disturb test regardless of redundancy or repair It is an object of the present invention to provide a low redundancy enable signal generation circuit and method for a semiconductor memory device that can reduce cost.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는 정상 메모리 블록의 불량 로우 셀 어레이를 로우 리던던시 블록으로 대체한 경우에 리페어 신호를 발생하기 위한 리페어 신호 발생수단, 복수의 모드 레지스터 세트 어드레스와 모드 레지스터 세트 펄스신호에 응답하여 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 위한 테스트 인에이블 신호를 출력하는 테스트 인에이블신호 발생수단, 및 정상 동작모드에서 외부에서 인가되는 디코딩된 로우 어드레스 신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스 신호인 경우에 리페어 신호와 외부에서 인가되는 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여 활성화되고, 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작모드에서는 테스트 인에이블신호와 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여, 디코딩된 로우 어드레스 신호가 노말 블록의 어드레스 신호인 경우에는 비활성화되고, 디코딩된 로우 어드레스 신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스 신호인 경우에는 활성화되는 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 로우 리던던시 인에이블수단을 구비한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object of the present invention, the apparatus of the present invention includes a repair signal generating means for generating a repair signal when a defective low cell array of a normal memory block is replaced with a low redundancy block, and a plurality of mode register set addresses; A test enable signal generating means for outputting a test enable signal for a multi-row address disturb test operation in response to a mode register set pulse signal, and a decoded row address signal applied externally in a normal operation mode to an address of a low redundancy block; The signal is activated in response to the repair signal and the low redundancy word line enable signal applied from the outside, and in the multi-row address disturb test operation mode, the signal is activated in response to the test enable signal and the low redundancy word line enable signal. And a low redundancy enable means for generating a low redundancy enable signal that is deactivated when the loaded row address signal is an address signal of a normal block and is activated when the decoded row address signal is an address signal of a low redundancy block. It features.

본 발명의 방법은 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 수행하는 반도체 메모리 장치에 있어서, 정상 메모리 블록의 불량 로우 셀 어레이를 로우 리던던시 블록으로 대체한 경우에 리페어 신호를 발생하는 단계, 정상 동작시에 외부에서 인가되는 디코딩된 로우 어드레스신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스신호인 경우에 외부에서 인가되는 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호와 리페어 신호에 응답하여 활성화된 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 단계, 복수의 모드 레지스터 세트 어드레스와 모드 레지스터 세트 펄스신호에 응답하여 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 위한 테스트 인에이블신호를 출력하는 단계, 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작모드에서 디코딩된 로우 어드레스신호가 노멀 블록의 어드레스신호인 경우에 테스트 인에이블신호와 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여 비활성화된 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 단계, 및 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작모드에서 상기 디코딩된 로우 어드레스신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스신호인 경우에 테스트 인에이블신호와 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여 활성화된 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다. The method of the present invention is a semiconductor memory device that performs a multi-row address disturb test operation, the method comprising: generating a repair signal when a defective low cell array of a normal memory block is replaced with a low redundancy block; Generating an activated low redundancy enable signal in response to an externally applied low redundancy word line enable signal and a repair signal when the applied decoded row address signal is an address signal of a low redundancy block, the plurality of mode registers Outputting a test enable signal for a multi-row address disturb test operation in response to a set address and a mode register set pulse signal, wherein the row address signal decoded in the multi-row address disturb test operation mode is an address of a normal block; Generating a deactivated low redundancy enable signal in response to a test enable signal and a low redundancy word line enable signal in the case of a signal; and in the multi-row address disturb test operation mode, the decoded low address signal is a low redundancy block. And generating an activated low redundancy enable signal in response to the test enable signal and the low redundancy word line enable signal in the case of an address signal.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 일 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the present invention through an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로의 구성을 나타낸다. 도 3에서 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로는 리페어신호 발생수단(10), 테스트 인에이블신호 발생수단(20), 로우 리던던시 인에이블수단(30)을 포함한다. 3 shows a configuration of a low redundancy enable signal generation circuit of a semiconductor memory device according to the present invention. In FIG. 3, the low redundancy enable signal generation circuit includes a repair signal generation means 10, a test enable signal generation means 20, and a low redundancy enable means 30.

리페어신호 발생수단(10)은 복수의 퓨즈들(F)과, 낸드 게이트(NAND1, NAND2), 노아 게이트(NOR1), 인버터(INV1)를 포함한다. 따라서, 정상 메모리 블록의 불량 셀과 리던던시 블록의 정상 셀을 교체하는 경우에는 퓨즈(F)가 절단되고, 이에 낸드게이트(NAND1, NAND2)의 입력에는 하이신호가 입력되게 된다. 그러므로, 모든 퓨즈(F)가 절단되었을 때, 리페어신호는 로우상태로 출력되고, 나머지 경우에는 모두 하이상태로 출력된다. The repair signal generating means 10 includes a plurality of fuses F, NAND gates NAND1 and NAND2, a NOR gate NOR1, and an inverter INV1. Therefore, when the defective cell of the normal memory block and the normal cell of the redundancy block are replaced, the fuse F is blown, and a high signal is input to the inputs of the NAND gates NAND1 and NAND2. Therefore, when all the fuses F are blown, the repair signal is output in the low state, and in all other cases, the repair signal is output in the high state.

테스트 인에이블신호 발생수단(20)은 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B, MRA7B, MRA8B)와, 로우 어드레스 스트로브(RAS : ROW ADDRESS STROBE)신호에 응답하여 모드 레지스터를 세팅하기 위하여 WCBR(WE, CAS Before RAS) 신호 인에이블시 발생하는 모드 레지스터 세트 펄스신호(PMRSP)에 응답하여 테스트 인에이블신호(PMRAD)를 발생한다. 따라서, 모드 레지스터 세팅 타이밍인 WCBR 세팅시 테스트 인에이블신호(PMRAD)를 인에이블하기 위한 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B)의 신호를 래치하게 된다. 그러므로, 이때 주어진 특정 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B, MRA7B, MRA8B)에 의해 테스트 인에이블신호(PMRAD)가 발생된다. 본 발명에서는 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA7B)는 로우상태, 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA8B)는 하이상태, 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B)는 로우상태를 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 모드라 가정한다. The test enable signal generating means 20 includes a mode register set address (MRA2B, MRA7B, MRA8B) and a row address strobe (RAS: ROW ADDRESS STROBE) signal to set the mode register in response to WCBR (WE, CAS Before RAS). The test enable signal PMRAD is generated in response to the mode register set pulse signal PMRSP generated when the signal is enabled. Therefore, when the WCBR is set, which is the mode register setting timing, the signal of the mode register set address MRA2B for enabling the test enable signal PMRAD is latched. Therefore, the test enable signal PMRAD is generated by the given specific mode register set addresses MRA2B, MRA7B, and MRA8B. In the present invention, it is assumed that the mode register set address MRA7B is in a low state, the mode register set address MRA8B is in a high state, and the mode register set address MRA2B is in a low state in a multi-row address disturb test mode.

로우 리던던시 인에이블수단(30)은 노아 게이트(NOR2), 낸드게이트(NAND3, NAND4), 인버터(INV2)를 포함한다. 따라서, 로우 리던던시 인에이블수단(30)은 리페어신호, 테스트 인에이블신호(PMRAD), 디코딩된 로우 어드레스신호(DRA234), 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호(PRTR)를 입력하여 로우 리던던시 인에이블신호(PRENi)를 발생한다. The low redundancy enable means 30 includes a NOR gate NOR2, NAND gates NAND3 and NAND4, and an inverter INV2. Accordingly, the low redundancy enable means 30 inputs a repair signal, a test enable signal PMRAD, a decoded row address signal DRA234, and a low redundancy word line enable signal PRTR to provide a low redundancy enable signal ( PRENi).

도 4는 본 발명에 의한 테스트 인에이블신호 발생수단의 레지스터의 회로구성을 나타낸다. 레지스터(22)는 입력래치(22a)와 출력래치(22b)를 포함한다. Fig. 4 shows a circuit configuration of a register of the test enable signal generating means according to the present invention. The register 22 includes an input latch 22a and an output latch 22b.

입력래치(22a)는 전송 게이트(TG1), 인버터(INV3~INV6), PMOS 트랜지스터(M1)를 포함한다. 전송 게이트(TG1)는 모드 레지스터 세트 펄스신호(PMRSP)에 응답하여 스위칭되어 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B)를 인버터(INV4, INV5)로 구성된 래치회로에 제공한다. PMOS 트랜지스터(M1)는 전원전압 하이상태(VCCH)에 응답하여 전원전압(VCC)으로 래치회로를 초기 리세트시킨다. The input latch 22a includes a transfer gate TG1, inverters INV3 to INV6, and a PMOS transistor M1. The transfer gate TG1 is switched in response to the mode register set pulse signal PMRSP to provide the mode register set address MRA2B to a latch circuit composed of inverters INV4 and INV5. The PMOS transistor M1 initially resets the latch circuit to the power supply voltage VCC in response to the power supply voltage high state VCCH.

출력래치(22b)는 전송 게이트(TG2), 인버터(INV7~INV9), PMOS 트랜지스터(M2)를 포함한다. 전송 게이트(TG2)는 제 1 테스트 모드신호(MRSTEST)에 응답하여스위칭되어 입력래치(22a)에 래치된 신호를 인버터(INV8, INV9)로 구성된 래치회로에 제공한다. PMOS 트랜지스터(M2)는 제 2 테스트 모드신호(MRSET)에 응답하여 전원전압(VCC)으로 리세트된 래치회로를 활성화시킨다. The output latch 22b includes a transfer gate TG2, inverters INV7 to INV9, and a PMOS transistor M2. The transfer gate TG2 is switched in response to the first test mode signal MRSTEST to provide a signal latched to the input latch 22a to a latch circuit composed of inverters INV8 and INV9. The PMOS transistor M2 activates the latch circuit reset to the power supply voltage VCC in response to the second test mode signal MRSET.

도 5는 본 발명에 의한 테스트 인에이블신호 발생수단의 출력제어수단의 회로구성을 나타낸다. 출력제어수단(24)은 낸드 게이트(NAND5, NAND6), 노아 게이트(NOR3), 인버터(INV10~INV12)를 포함한다. 5 shows a circuit configuration of the output control means of the test enable signal generating means according to the present invention. The output control means 24 includes NAND gates NAND5 and NAND6, NOR gate NOR3, and inverters INV10 to INV12.

출력제어수단(24)은 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA7B, MRA8B)를 입력하여 테스트 모드에 따른 제 1 및 제 2 테스트 모드신호(MRSTEST, MRSET)를 각각 발생한다. 따라서, 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 모드에서는 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA7B)는 로우상태, 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA8B)는 하이상태로 입력되므로 제 1 및 제 2 테스트 모드신호(MRSTEST, MRSET)는 모두 하이상태로 출력된다. The output control means 24 inputs the mode register set addresses MRA7B and MRA8B to generate first and second test mode signals MRSTEST and MRSET according to the test mode, respectively. Therefore, in the multi-row address disturb test mode, the mode register set address MRA7B is input in the low state and the mode register set address MRA8B is in the high state, so both the first and second test mode signals MRSTEST and MRSET are high. Is output.

따라서, 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 모드에서는 입력래치(22a)에 래치된 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B)가 반전되어 하이상태로 래치되어 있고, 제 1 테스트 모드신호(MRSTEST) 및 제 2 테스트 모드신호(MRSET)는 모두 하이상태로 출력되므로, 출력래치(22b)에는 입력래치(22a)로부터 제공되는 로우상태신호가 하이상태신호로 래치된다. 그러므로, 테스트 인에이블신호(PMRAD)는 하이상태로 로우 리던던시 인에이블수단(30)에 제공된다. Therefore, in the multi-row address disturb test mode, the mode register set address MRA2B latched in the input latch 22a is inverted and latched in the high state, and the first test mode signal MRSTEST and the second test mode signal MRSET are inverted. ) Are all output in a high state, so the low state signal provided from the input latch 22a is latched as a high state signal in the output latch 22b. Therefore, the test enable signal PMRAD is provided to the low redundancy enable means 30 in the high state.

도 6을 참조하여 본 발명에 의한 반도체 메모리 장치의 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트동작을 설명하기로 한다. A multi-row address disturb test operation of the semiconductor memory device according to the present invention will be described with reference to FIG. 6.

모드 레지스터 세트 펄스신호(PMRSP)는 로우 어드레스 스트로브 신호(RAS)의 액티브 선단에 동기하여 하이상태로 활성화된다. 모드 레지스터 세트 펄스신호(PMRSP)신호에 응답하여 레지스터(22)의 입력래치(22a)에 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B)의 신호가 래치된다. The mode register set pulse signal PMRSP is activated in a high state in synchronization with the active tip of the row address strobe signal RAS. The signal of the mode register set address MRA2B is latched in the input latch 22a of the register 22 in response to the mode register set pulse signal PMRSP signal.

그러므로, 이때 주어진 특정 모드 레지스터 세트 어드레스(MRS2B)에 의해 내부 멀티 워드라인 활성화 제어신호, 즉 테스트 인에이블신호(PMRAD)가 발생된다. Therefore, the internal multi-word line activation control signal, that is, the test enable signal PMRAD is generated by the given specific mode register set address MRS2B.

레지스터(22)의 출력래치(22b)에 있는 전송 게이트(TG2)의 제어신호인 제 1 테스트 모드신호(MRSTEST)와 래치회로를 활성화하는 신호인 제 2 테스트 모드신호(MRSET)는 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 모드에서만 모드 레지스터 세트 어드레스를 제어하기 위한 신호이다. 테스트 모드 어드레스인 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA7B, MRA8B) 상태와 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B)의 조합으로 테스트 모드가 결정되어 진다. The first test mode signal MRSTEST, which is a control signal of the transfer gate TG2 in the output latch 22b of the register 22, and the second test mode signal MRSET, which is a signal for activating the latch circuit, are multi-row address disturbed. This signal is for controlling the mode register set address only in the test mode. The test mode is determined by the combination of the mode register set address (MRA7B, MRA8B) states which are the test mode addresses and the mode register set address (MRA2B).

그러므로, 본 발명에서는 테스트 인에이블신호(PMRAD)를 모드 레지스터 세팅시 해당 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA2B)를 래치하고, 해당 모드 레지스터 세트 어드레스(MRA7B, MRA8B) 입력시에만 발생되도록 출력래치(22b)를 제어한다. Therefore, in the present invention, when the test enable signal PMRAD is set in the mode register, the corresponding mode register set address MRA2B is latched, and the output latch 22b is generated to be generated only when the corresponding mode register set addresses MRA7B and MRA8B are input. To control.

테스트 인에이블신호(PMRAD)가 하이상태로 인에이블된 경우에는 불량 발생한 워드라인의 로우 어드레스에 대해서 퓨즈를 절단하여 리페어를 한 경우에 상관없이 항상 로우 리던던시 인에이블신호(PRENi)를 로우상태로 만들어 버린다. 즉, 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작시에 로우 리던던시 워드라인이 활성화되는 것을 차단하여 정상 메모리 블록의 워드라인만이 활성화되도록 한다. When the test enable signal PMRAD is enabled in a high state, the low redundancy enable signal PRENi is always set low regardless of whether the fuse is cut and repaired for the low address of the bad word line. Throw it away. That is, the low redundancy word line is blocked from being activated during the multi-row address disturb test operation so that only the word line of the normal memory block is activated.

그러므로, 패키지와 같이 리던던시를 사용한 경우일지라도 리던던시 블록의 워드라인을 인에이블하지 않고 항상 노말 블록의 워드라인만 인에이블된다. Therefore, even when redundancy is used, such as a package, only the word line of the normal block is always enabled without enabling the word line of the redundancy block.

이와 같이 정상 블록에 대한 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작이 완료되면, 리던던시 블록에 대해 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트를 수행하기 위해서는 모드 레지스트 세트 동작을 통하여 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호(PRTR) 인에이블시키면 낸드 게이트(NAND3)의 입력이 하이상태로 되고, 이에 낸드 게이트(NAND3)의 출력이 로우상태로 되어 로우 리던던시 인에이블신호(PRENi)가 하이상태로 된다. 즉, 로우 리던던시 워드라인에 대해서 멀티 로우 어드레스 디스터브가 가능해진다. When the multi-row address disturb test operation on the normal block is completed as described above, in order to perform the multi-row address disturb test on the redundancy block, the low redundancy word line enable signal (PRTR) is enabled through the mode register set operation. The input of (NAND3) becomes high, which causes the output of NAND gate (NAND3) to low, resulting in a low redundancy enable signal PREN. That is, multi-row address disturb is possible for the low redundancy word line.

멀티 로우 어드레스 디스터브를 사용하지 않은 경우에는, 불량 어드레스들에 대해서 퓨즈가 절단되어 있는 경우 낸드 게이트(NAND1, NAND2) 입력이 모두 하이가 되고, 이에 노아 게이트(NOR1)의 출력이 하이상태로 된다. 그러므로, 노아게이트(NOR2)의 양 입력이 로우상태이므로, 낸드 게이트(NAND4)의 입력이 로우상태로 되어 로우 리던던시 인에이블신호(PRENi)는 하이상태로 된다. 그러므로, 정상 동작시에는 불량 셀과 교체된 로우 리던던시 셀의 워드라인의 구동이 가능하게 된다.When the multi-row address disturbance is not used, when the fuse is blown for the bad addresses, the NAND gates NAND1 and NAND2 inputs are both high, and the output of the NOR gate NOR1 becomes high. Therefore, since both inputs of the NOR gate NOR2 are in the low state, the input of the NAND gate NAND4 is in the low state, and the low redundancy enable signal PREN is in the high state. Therefore, in normal operation, the word line of the low redundancy cell replaced with the defective cell can be driven.

이상, 설명한 바와 같이 본 발명에서는 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작시 블록 리던던시 사용 제품인 경우에 불량 워드라인 리페어 후에는 블록 정보가 변경되어 디스터브되고 있던 워드라인이 모두 디스에이블되므로 리페어 후에는 디스터브가 불가능하였으나 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작에 연동하여 로우 리던던시 워드라인의 동작을 차단시킴으로써 리던던시 방식 또는 리페어 여부의 제약없이 멀티 워드라인 디스터브가 가능하다. 그러므로, 리페어되고 패키지된 제품에 대해서도 멀티 로우 어드레스 디스터브 적용시 리페어에 관게없이 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트의 사용이 가능하게되므로 테스트 시간 단축과 번인 테스트로 대체하여 디스터브가 가능하다. 그러므로, 테스트 비용을 절감할 수 있어서, 생산성을 향상시킬 수 있다. As described above, in the present invention, in the case of the product using block redundancy during the multi-row address disturb test operation, after the bad word line repair, since the block information is changed and all the word lines that are being disturbed are disabled, the disassembly is impossible after the repair. By interlocking the row redundancy word line in conjunction with the row address disturb test operation, multi-word line disturb can be performed without limitation of redundancy or repair. Therefore, even in the case of repaired and packaged products, multi-row address disturbance test can be used regardless of repairing when multi-row address disturb is applied, so that it can be replaced by shorter test time and burn-in test. Therefore, the test cost can be reduced, and the productivity can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.

Claims (3)

정상 메모리 블록의 불량 로우 셀 어레이를 로우 리던던시 블록으로 대체한 경우에 리페어 신호를 발생하기 위한 리페어 신호 발생수단;Repair signal generating means for generating a repair signal when the defective low cell array of the normal memory block is replaced with a low redundancy block; 복수의 모드 레지스터 세트 어드레스와 모드 레지스터 세트 펄스신호에 응답하여 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 위한 테스트 인에이블 신호를 출력하는 테스트 인에이블신호 발생수단; 및Test enable signal generating means for outputting a test enable signal for a multi-row address disturb test operation in response to a plurality of mode register set addresses and a mode register set pulse signal; And 정상 동작모드에서 외부에서 인가되는 디코딩된 로우 어드레스 신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스 신호인 경우에 상기 리페어 신호와 외부에서 인가되는 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여 활성화되고, 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작모드에서는 상기 테스트 인에이블신호와 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여, 상기 디코딩된 로우 어드레스 신호가 노말 블록의 어드레스 신호인 경우에는 비활성화되고, 상기 디코딩된 로우 어드레스 신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스 신호인 경우에는 활성화되는 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 로우 리던던시 인에이블수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로.In the normal operation mode, when the externally applied decoded row address signal is an address signal of a low redundancy block, it is activated in response to the repair signal and the low redundancy word line enable signal applied externally. In the mode, in response to the test enable signal and the low redundancy word line enable signal, the decoded row address signal is deactivated when the normal block is an address signal, and the decoded row address signal is the address signal of the low redundancy block. And a low redundancy enable means for generating a low redundancy enable signal that is activated when the low redundancy enable signal is generated. 제 1 항에 있어서, 상기 테스트 인에이신호 발생수단은 The method of claim 1, wherein the test enable signal generating means 상기 복수의 모드 레지스터 어드레스 중 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 모드를 지정하는 소정의 모드 레지스터 어드레스에 응답하여 출력 인에이블신호를 발생하는 출력제어수단; 및Output control means for generating an output enable signal in response to a predetermined mode register address specifying a multi-row address disturb test mode among the plurality of mode register addresses; And 모드 레지스터 세팅시 상기 복수의 모드 레지스터 세트 어드레스 중 특정 모드 레지스터 세트 어드레스를 래치하고, 상기 출력 인에이블신호에 응답하여 래치된 신호를 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 위한 테스트 인에이블 신호로 출력하는 레지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생회로.When a mode register is set, a register for latching a specific mode register set address among the plurality of mode register set addresses, and outputting the latched signal as a test enable signal for a multi-row address disturb test operation in response to the output enable signal. And a low redundancy enable signal generation circuit of the semiconductor memory device. 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 수행하는 반도체 메모리 장치에 있어서, A semiconductor memory device that performs a multi-row address disturb test operation, 정상 메모리 블록의 불량 로우 셀 어레이를 로우 리던던시 블록으로 대체한 경우에 리페어 신호를 발생하는 단계; Generating a repair signal when the defective low cell array of the normal memory block is replaced with a low redundancy block; 정상 동작시에 외부에서 인가되는 디코딩된 로우 어드레스신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스신호인 경우에 외부에서 인가되는 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호와 상기 리페어 신호에 응답하여 활성화된 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 단계;When the decoded row address signal applied externally in the normal operation is the address signal of the low redundancy block, an externally applied low redundancy word line enable signal and an activated low redundancy enable signal are generated in response to the repair signal. Doing; 복수의 모드 레지스터 세트 어드레스와 모드 레지스터 세트 펄스신호에 응답하여 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작을 위한 테스트 인에이블신호를 출력하는 단계;Outputting a test enable signal for a multi-row address disturb test operation in response to the plurality of mode register set addresses and the mode register set pulse signal; 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작모드에서 상기 디코딩된 로우 어드레스신호가 노멀 블록의 어드레스신호인 경우에 상기 테스트 인에이블신호와 상기 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여 비활성화된 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 단계; 및In the multi-row address disturb test operation mode, when the decoded row address signal is an address signal of a normal block, an inactive low redundancy enable signal is generated in response to the test enable signal and the low redundancy word line enable signal. step; And 멀티 로우 어드레스 디스터브 테스트 동작모드에서 상기 디코딩된 로우 어드레스신호가 로우 리던던시 블록의 어드레스신호인 경우에 상기 테스트 인에이블신호와 상기 로우 리던던시 워드라인 인에이블신호에 응답하여 활성화된 로우 리던던시 인에이블 신호를 발생하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 로우 리던던시 인에이블신호 발생방법.In the multi-row address disturb test operation mode, when the decoded row address signal is an address signal of a low redundancy block, an activated low redundancy enable signal is generated in response to the test enable signal and the low redundancy word line enable signal. And a low redundancy enable signal generation method of a semiconductor memory device.
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