KR100873618B1 - Word-Line Test Control Circuit - Google Patents
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Abstract
본 발명의 워드라인 테스트 제어 회로는 번인 테스트 신호를 입력받아 논리조합하여 테스트 인에이블 신호를 출력하는 번인 테스트 제어 유닛; 테스트 인에이블 신호와, 뱅크 액티브 신호 및 멀티 워드라인 테스트 신호를 입력받아 논리조합하여 로우 디코더 제어 신호를 출력하는 프리차징 제어 유닛; 및 로우 디코더 제어 신호에 따라 워드라인 오프 신호를 활성화 또는 비활성화시키는 로우 디코더 제어 유닛; 을 구비하는 것을 특징으로 한다.The word line test control circuit of the present invention includes: a burn-in test control unit which receives a burn-in test signal and logically combines it to output a test enable signal; A precharging control unit configured to receive a test enable signal, a bank active signal, and a multi-word line test signal and to logically combine the test enable signal to output a row decoder control signal; And a row decoder control unit for activating or deactivating the wordline off signal according to the row decoder control signal. It characterized by having a.
프로브 테스트, 워드라인 테스트, 프리차징 Probe Test, Wordline Test, Precharging
Description
도 1은 종래 기술에 따른 번인 및 워드라인 테스트 제어 회로의 블록도,1 is a block diagram of a burn-in and wordline test control circuit according to the prior art;
도 2는 종래 기술에 따른 번인 및 워드라인 테스트 제어 회로의 타이밍도,2 is a timing diagram of a burn-in and word line test control circuit according to the prior art;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 테스트 제어 회로의 블록도,3 is a block diagram of a wordline test control circuit according to an embodiment of the present invention;
도 4는 도 3에 도시한 번인 테스트 제어 유닛의 상세회로도,4 is a detailed circuit diagram of the burn-in test control unit shown in FIG.
도 5는 도 3에 도시한 프리차징 제어 유닛의 상세 회로도,5 is a detailed circuit diagram of the precharging control unit shown in FIG. 3;
도 6은 도 3에 도시한 로우 디코더 제어 유닛의 상세 회로도,6 is a detailed circuit diagram of the row decoder control unit shown in FIG. 3;
도 7은 본 발명에 따른 워드라인 테스트 제어 회로의 타이밍도,7 is a timing diagram of a wordline test control circuit in accordance with the present invention;
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 워드라인 테스트 제어 회로의 블록도,8 is a block diagram of a wordline test control circuit according to another embodiment of the present invention;
도 9는 도 8에 도시한 프리차징 제어 유닛의 상세 회로도,FIG. 9 is a detailed circuit diagram of the precharging control unit shown in FIG. 8;
도 10은 도 8에 도시한 번인 테스트 제어 유닛의 상세 회로도이다.FIG. 10 is a detailed circuit diagram of the burn-in test control unit shown in FIG. 8.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
100,110,120 : 번인 테스트 제어 유닛 200 : 로우 디코더 제어 유닛100, 110, 120: burn-in test control unit 200: row decoder control unit
300 : 메인 워드라인 제어 유닛 400,430 : 프리차징 제어 유닛300: main word
410 : 제1 로직 유닛 420 : 제2 로직 유닛410: first logic unit 420: second logic unit
본 발명은 반도체 집적 회로에 관한 것으로, 구체적으로는 워드 라인 테스트 제어 회로에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to semiconductor integrated circuits, and more particularly, to word line test control circuits.
번인 테스트는 반도체 메모리 회로의 특성을 안정화시키기 위해 고전압 또는 고온을 인가하여 셀 및 소자에 스트레스를 주는 방식이다. 번인 테스트 방법으로, 올(all) 워드라인 테스트, 이븐(even) 워드라인 테스트 및 오드(odd) 워드라인 테스트등이 있다. 각각의 테스트 방식은 해당 워드라인에 일정 시간동안 고전압의 스트레스를 인가하는 것으로, 올 워드라인 테스트는 뱅크 내의 모든 워드라인을 활성화시키는 것이고, 이븐 워드라인 테스트는 이븐 워드라인에 해당하는 워드라인을 모두 활성화시키고, 오드 워드라인 테스트는 오드 워드라인에 해당하는 워드라인을 모두 활성화시킨다.Burn-in test is a method of stressing cells and devices by applying a high voltage or high temperature to stabilize the characteristics of the semiconductor memory circuit. Burn-in test methods include an all wordline test, an even wordline test, and an odd wordline test. Each test method applies a high voltage stress to a corresponding word line for a predetermined time. An all-word line test activates all word lines in a bank, and an even word line test checks all word lines corresponding to an even word line. The active word line test activates all word lines corresponding to the odd word line.
4분의 1 워드 라인 테스트는 벌브 리세스 게이트(Bulb Recess Gate) 셀에서 인접 셀 게이트가 활성화시 전압 드랍(drop)에 의해 오프 리키지 페일(off leakage fail)이 발생할 확률이 높아 이를 감별할 방안으로 사용하는 테스트이다.Quarterly word line testing can differentiate between high and low leakage failures due to voltage drops when adjacent cell gates are activated in a bulb recess gate cell. This is a test to use.
그 방식은 뱅크 내의 모든 워드 라인을 4블록으로 나누어, 첫번째 블록의 워드라인 테스트를 수행하고, 상기 첫번째 블록의 워드라인 테스트를 종료하면 두번째 블록의 워드라인 테스트를 수행하고, 두번째 4분의 1 워드라인 테스트를 종료하면 세번째 4분의 1 워드라인 테스트를 수행하는 것으로 마지막 테스트가 종료될때까지 수행된다. 상기 워드라인을 나누는 방식은 뱅크내 배치 순서별로 1,2,3,4,1,2,3,4,…,1,2,3,4 블록에 해당한다. 즉, 하나의 워드라인이 첫번째 블록 에 해당한다면, 상기 워드라인에 인접하는 두개의 워드라인은 각각 두번째 블록과 네번째 블록에 해당한다.The method divides all word lines in the bank into four blocks, performs the word line test of the first block, and when the word line test of the first block ends, performs the word line test of the second block, and the second quarter word. When the line test ends, the third quarter wordline test is performed until the end of the last test. The word lines are divided into 1, 2, 3, 4, 1, 2, 3, 4,.. Corresponds to, 1,2,3,4 blocks. That is, if one word line corresponds to the first block, two word lines adjacent to the word line correspond to the second block and the fourth block, respectively.
도 1은 종래 기술에 따른 번인 및 워드라인 테스트 제어 회로의 블록도이다.1 is a block diagram of a burn-in and wordline test control circuit according to the prior art.
도 1에 도시한 번인 및 워드라인 테스트 제어 회로는 번인 테스트 제어 유닛(100), 로우 디코더 제어 유닛(200) 및 메인 워드라인 제어 유닛(300)으로 구성된다. The burn-in and word line test control circuit shown in FIG. 1 is composed of a burn-in
상기 번인 테스트 제어 유닛(100)은 올(all) 워드라인 테스트 신호(TAWL), 이븐(even) 워드라인 테스트 신호(TEWL), 오드(odd) 워드라인 테스트 신호(TOWL) 및 4분의 1 워드라인 테스트 신호(T14WL)를 입력받아 논리조합하여 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 출력한다.The burn-in
번인 테스트 외에 4분의 1 워드 라인 테스트를 위해 도 1에 도시한 것과 같이, 상기 번인 테스트 제어 유닛(100)은 상기 올/이븐/오드 워드라인 테스트 신호(TAWL,TEWL,TOWL)외에 상기 4분의 1 워드라인 테스트 신호(T14WL)를 입력받아 구성된다.In addition to the burn-in test, as illustrated in FIG. 1 for a quarter-word line test, the burn-in
따라서, 상기 번인 테스트 제어 유닛(100)은 상기 올 워드라인 테스트, 상기 이븐 워드라인 테스트, 상기 오드 워드라인 테스트 및 상기 4분의 1 워드라인 테스트 중 하나의 테스트 모드의 실행시, 활성화되는 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 출력한다. Accordingly, the burn-in
상기 4분의 1 워드라인 테스트 신호는 상기 4분의 1 워드라인 테스트시 활성화되는 신호이고, 상기 올 워드라인 테스트 신호(TAWL)는 올 워드라인 테스트시 활 성화되는 신호이다. 상기 이븐/오드 워드라인 테스트 신호(TEWL/TOWL)는 이븐/오드 워드라인 테스트시 활성화되는 신호이다.The quarter word line test signal is a signal that is activated during the quarter word line test, and the all word line test signal TAWL is a signal that is activated during the all word line test. The even / or word line test signal TEWL / TOWL is a signal that is activated during the even / or word line test.
상기 로우 디코더 제어 유닛(200)은 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)와 입력 신호(R1ACB,R2ACB,BSB,NXEN)를 입력받아 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 출력한다.상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)가 활성화시, 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)는 비활성화되고, 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)가 비활성화시, 상기 입력 신호에 따라 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 제어한다. The row
즉, 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)가 활성화되면, 테스트 모드에 진입하여 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)는 상기 입력 신호와 무관하게 비활성화되고, 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)가 비활성화되면, 정상 동작 모드에 진입하여, 상기 입력 신호에 의해 제어되는 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)가 출력된다. That is, when the test enable signal TALLWD is activated, the test mode is entered and the wordline off signal WLOFF is deactivated irrespective of the input signal, and when the test enable signal TALLWD is deactivated, the normal state is normal. The word line off signal WLOFF, which is controlled by the input signal, is outputted after entering the operation mode.
상기 R1ACB 신호는 액티브/프리차징 동작시 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)의 인에이블 여부에 관여하는 신호로서 뱅크 액티브 신호(BA<i>)가 소정 시간 지연된 신호이다. 상기 R2ACB 신호는 액티브/프리차징 동작시 로우 디코더 인에이블 신호(XDEC_EN)의 인에이블 여부에 관여하는 신호로서 상기 뱅크 액티브 신호(BA<i>)가 소정 시간 지연된 신호이다. 상기 BSB 신호는 뱅크내 셀 매트 선택 신호이며, 상기 NXEN 신호는 로우 어드레스 인에이블 신호이다.The R1ACB signal is a signal related to whether the word line off signal WLOFF is enabled during an active / precharging operation, and is a signal in which a bank active signal BA <i> is delayed for a predetermined time. The R2ACB signal is a signal related to whether or not the row decoder enable signal XDEC_EN is enabled during an active / precharging operation, and is a signal in which the bank active signal BA <i> is delayed for a predetermined time. The BSB signal is a cell mat select signal in a bank, and the NXEN signal is a row address enable signal.
상기 메인 워드라인 제어 유닛(300)은 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)에 의해 제어되는 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB)를 출력한다. 상기 메인 워드라인 제어 유닛(300)은 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF) 외 메인 워드라인 인에이블 신호 및 로우 디코더 인에이블 신호(XDEC_EN)에 의해 제어되어 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB)를 출력한다. The main word
상기 메인 워드라인 인에이블 신호(MWD_EN)는 메인 워드라인의 인에이블에 관여하는 신호이며, 상기 로우 디코더 인에이블 신호(XDEC_EN)는 로우 디코더의 인에이블에 관여하는 신호이다.The main word line enable signal MWD_EN is a signal related to the enable of the main word line, and the row decoder enable signal XDEC_EN is a signal related to the enable of the row decoder.
도 1에 도시한 번인 및 워드라인 테스트 제어 회로의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the burn-in and word line test control circuit shown in FIG. 1 will now be described.
올 워드라인 테스트시, 상기 올 워드라인 테스트 신호(TAWL)가 활성화되므로, 상기 번인 테스트 제어 유닛(100)은 활성화된 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 출력한다. 따라서, 상기 활성화된 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 입력받은 상기 로우 디코더 제어 유닛(200)은 상기 입력 신호(R1ACB,R2ACB,NXEN,BSB)의 레벨에 관계없이 비활성화된 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 출력한다. 따라서, 상기 메인 워드라인 제어 유닛(300)은, 상기 비활성화된 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 입력 받아 상기 메인 워드 라인 신호의 반전 신호(MWLB)를 비활성화시킨다. 따라서, 모든 메인 워드 라인이 고전압을 인가받아 활성화되는 올 워드라인 테스트가 수행된다.During the all wordline test, since the all wordline test signal TAWL is activated, the burn-in
이븐 워드라인 테스트 및 오드 워드라인 테스트의 경우에도, 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호가 비활성화되므로, 도시하지 않았으나 반도체 집적 회로 내의 내부 회로에 의해 이븐 워드라인에 해당하는 워드라인 및 오드 워드라인에 해당하는 워드라인을 활성화시킨다. 따라서, 이븐 워드라인 및 오드 워드라인이 각각 고전압을 일정시간 동안 인가받아 활성화되는 이븐 워드라인 테스트 및 오드 워드라인 테스트가 수행된다. In the case of the even word line test and the odd word line test, since the inverted signal of the main word line signal is inactivated, it corresponds to the word line and the odd word line corresponding to the even word line by an internal circuit in the semiconductor integrated circuit although not shown. Activates the word line. Accordingly, an even word line test and an odd word line test are performed, in which the even word line and the odd word line are respectively applied with a high voltage for a predetermined time.
종래 기술에 따른 번인 및 워드라인 테스트 제어 회로의 문제점은 4분의 1 워드라인 테스트시 발생한다. 종래의 4분의 1 워드라인 테스트 제어 회로와 같은 구조로는 상기 번인 테스트 제어 유닛(100)의 출력 신호는 액티브 명령에 무관하게 모든 뱅크의 메인 워드라인이 활성화되게 구성되어 있다.Problems of the burn-in and wordline test control circuits according to the prior art arise during quarter-wordline testing. In the same structure as the conventional quarter-word test control circuit, the output signal of the burn-in
상기 4분의 1 워드라인 테스트 모드시, 상기 4분의 1 워드라인 테스트 신호(T14WL)가 활성화되고, 상기 올 워드 라인 테스트의 경우와 같이 상기 메인 워드라인 신호(MWL)는 활성화된다. 도시되지 않았지만, 4분의 1 워드라인 테스트 모드에 진입하는 경우, 상기 메인 워드라인 신호(MWL)가 활성화되면, 뱅크 내의 4분의 1 워드 라인이 활성화되고, 그 이후 프리차징 동작이 수행되며, 그 다음의 4분의 1 워드라인이 활성화되고, 그 이후 프리차징 동작이 수행되는 일련의 과정이 진행된다. In the quarter word line test mode, the quarter word line test signal T14WL is activated, and as in the all-word line test, the main word line signal MWL is activated. Although not shown, when entering the quarter word line test mode, when the main word line signal MWL is activated, a quarter word line in the bank is activated, and then a precharging operation is performed. The next quarter word line is activated, and then a series of processes are performed in which the precharging operation is performed.
그런데, 프리차징 동작시에도, 여전히 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)는 무조건 비활성화되어 상기 메인 워드라인 신호(MWL)가 항상 활성화되므로 프리차징 동작을 수행하지 않아 문제가 발생한다. However, even during the precharging operation, the word line off signal WLOFF is still unconditionally deactivated so that the main word line signal MWL is always activated so that the precharging operation is not performed.
즉, 4분의 1 워드라인 테스트 모드시, 첫번째 블록의 워드라인은 여전히 턴온상태에 있고, 그 다음 액티브 동작에 의한 두번째 블록의 워드라인이 턴온되면 첫번째 블록과 두번째 블록의 워드라인이 모두 턴온상태가 되고, 이를 4회 수행하면, 모든 워드라인이 턴온상태가 되어 4분의 1 워드라인 테스트 상에 문제가 발생 한다. That is, in a quarter-word line test mode, the word line of the first block is still turned on, and if the word line of the second block is turned on by the next active operation, the word lines of the first block and the second block are both turned on. If this is done four times, all word lines are turned on, causing problems on a quarter word line test.
도 2는 종래 기술에 따른 번인 및 워드라인 테스트 제어 회로의 타이밍도이다.2 is a timing diagram of a burn-in and wordline test control circuit according to the prior art.
상기 4분의 1 테스트 모드에서, 상기 4분의 1 테스트 신호(T14WL)는 활성화된다. 따라서, 상기 번인 테스트 제어 유닛(100)의 출력인, 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)는 활성화된다. 뱅크 0번에서, 액티브 명령 신호가 활성화됨에 따라 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF0)는 비활성화되고, 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB0) 또한 비활성화되어 해당 워드 라인이 턴온된다. 그 후 프리차징시, 상기 뱅크 0번의 액티브 명령 신호가 비활성화되어도, 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF0) 및 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB0)는 비활성화 상태이므로, 해당하는 워드라인은 여전히 턴온상태를 유지하게 된다. 이로 인해 프리차징 동작이 수행되지 않게 되고, 이러한 동작이 계속되면, 상기 4분의 1 테스트시 모든 워드라인이 턴온되게 되는 문제점이 발생한다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이 뱅크 3번의 경우도 마찬가지이다.In the quarter test mode, the quarter test signal T14WL is activated. Thus, the test enable signal TALLWD, which is the output of the burn-in
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 멀티 워드라인 테스트 시 액티브 명령 이후 프리차징 명령을 수행하여, 리드, 라이트 동작 등의 펑션을 테스트할 수 있는 워드라인 테스트 제어 회로를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages and problems of the prior art, a word line that can test a function such as read, write operation by performing a precharge command after the active command in the multi-word line test It is an object to provide a test control circuit.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 워드라인 테스트 제어 회로는 번인 테스트 신호를 입력받아 논리조합하여 테스트 인에이블 신호를 출력하는 번인 테스트 제어 유닛;상기 테스트 인에이블 신호와, 뱅크 액티브 신호 및 멀티 워드라인 테스트 신호를 입력받아 논리조합하여 로우 디코더 제어 신호를 출력하는 프리차징 제어 유닛; 및 상기 로우 디코더 제어 신호에 따라 워드라인 오프 신호를 활성화 또는 비활성화시키는 로우 디코더 제어 유닛을 구비한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a word line test control circuit including a burn-in test control unit configured to receive a burn-in test signal and output a test enable signal by logically combining the test enable signal; A precharging control unit receiving a word line test signal and performing logical combination to output a row decoder control signal; And a row decoder control unit for activating or deactivating a wordline off signal according to the row decoder control signal.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 워드라인 테스트 제어 뱅크 액티브 신호 및 멀티 워드라인 테스트 신호를 입력받아 논리 조합하여 프리차징 제어 신호를 출력하는 프리차징 제어 유닛;상기 프리차징 제어 신호와 번인 테스트 신호를 입력받아 논리조합하여 로우 디코더 제어 신호를 출력하는 번인 테스트 제어 유닛; 및 상기 로우 디코더 제어 신호에 따라 워드라인 오프 신호를 활성화 또는 비활성화시키는 로우 디코더 제어 유닛을 구비한다.A precharging control unit may receive a word line test control bank active signal and a multi word line test signal and logically combine the output lines to output a precharging control signal according to another exemplary embodiment of the present invention; A burn-in test control unit configured to receive a logic combination and output a row decoder control signal; And a row decoder control unit for activating or deactivating a wordline off signal according to the row decoder control signal.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 명세서에 첨부된 도면에 의거한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.Details of the above object and technical configuration of the present invention and the resulting effects thereof will be more clearly understood from the following detailed description based on the accompanying drawings.
또한, 본 발명은 4분의 1 워드라인 테스트 뿐 아니라 기타 3분의 1, 5분의 1 워드라인 테스트 등의 멀티 워드라인 테스트 에 적용할 수 있다. 이하에서는, 본 발명은 4분의 1 워드라인 테스트 신호(T14WL)등을 포함하여 총칭한 총 워드라인을 N(N은 자연수)분의 1씩 나누어 테스트 하는 경우인 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)가 입력되는 경우로 설명하겠다.In addition, the present invention can be applied not only to a quarter word line test but also to other multi-word line tests such as one third and fifth word line tests. Hereinafter, the present invention is a multi-word line test signal (T1NWL), which is a case in which a test is performed by dividing a total word line including a quarter word line test signal (T14WL) and the like by N / N (N is a natural number). Will be described as is entered.
도 3은 본 발명에 따른 워드라인 테스트 제어 회로의 블록도이다.3 is a block diagram of a wordline test control circuit in accordance with the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명의 워드라인 테스트 제어 회로는 번인 테스트 제어 유닛(110), 프리차징 제어 유닛(400), 로우 디코더 제어 유닛(200) 및 메인 워드라인 제어 유닛(300)을 구비한다.As shown, the wordline test control circuit of the present invention includes a burn-in
싱기 번인 테스트 제어 유닛(110)은 번인 테스트 신호(TAWL,TEWL,TOWL)를 입력받아 논리조합하여 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 출력한다. 상기 번인 테스트 제어 유닛(110)은 상기 번인 테스트 신호(TAWL,TEWL,TOWL) 중 어느 하나라도 활성화되는 경우, 활성화되는 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 출력한다. 즉, 상기 번인 테스트 제어 유닛(110)은 번인 테스트 모드 중 하나의 테스트 모드에 진입하면, 테스트 동작을 수행하고, 노말 동작을 중지하도록 하기 위한 제어 신호인 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 출력한다.The singer burn-in
상기 번인 테스트 제어 유닛(110)이 도 1에 도시된 상기 번인 테스트 제어 유닛(100)과 다른 점은 도 1에 도시된 상기 4분의 1 워드라인 테스트 신호(T14WL)가 입력되지 않는 점이다. 이로 인해, 본 발명에 따른 워드라인 테스트 제어 회로는 액티브 동작 모드와 프리차징 동작 모드에 따라 활성화 또는 비활성화되는 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 출력하게 된다.The burn-in
상기 프리차징 제어 유닛(400)은 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)와, 뱅크 액티브 신호(BA<i>) 및 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)를 입력받아 논리조합하여 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다. 상기 프리차징 제어 유닛은(400)은 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)가 인에이블되면, 활성화된 로우 디 코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다. 또한, 상기 프리차징 제어 유닛(400)은 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)가 디스에이블되고, 상기 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)가 인에이블되면, 상기 뱅크 액티브 신호(BA<i>)에 따라 활성화 또는 비활성화된 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다. 또한, 상기 프리차징 제어 유닛(400)은 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)와 상기 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)가 모두 디스에이블되면, 비활성화된 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다.The
로우 디코더 제어 유닛(200)은 상기 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)에 따라 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 활성화 또는 비활성화시킨다. 로우 디코더 제어 유닛(200)은 로우 디코더를 제어하는 신호를 출력하는 것으로, 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)외에 입력 신호(R1ACB,R2ACB,NXEN,BSB)에 따라 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 생성한다. The row
상기 메인 워드라인 제어 유닛(300)은 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)에 따라 메인 워드 라인 신호를 제어한다. 상기 메인 워드라인 제어 유닛(300)은 일반적인 메인 워드 라인 콘트롤 회로로 구현한다.The main word
도 4는 도 3에 도시한 상기 번인 테스트 제어 유닛(110)의 일 실시예를 나타낸 상세 회로도이다.4 is a detailed circuit diagram illustrating an embodiment of the burn-in
도시한 것과 같이, 상기 번인 테스트 제어 유닛(110)은 상기 올 워드라인 테스트 신호(TAWL), 오드 워드라인 테스트 신호(TOWL) 및 이븐 워드라인 테스트 신호(TEWL)를 입력 받아 논리합 연산하여 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 출력한다.As illustrated, the burn-in
따라서, 상기 올 워드라인 테스트 신호(TAWL), 상기 오드 워드라인 테스트 신호(TOWL) 및 상기 이븐 워드라인 테스트 신호(TEWL) 중 어는 하나라도 하이 레벨이 되면, 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)는 하이 레벨이다.Therefore, when any one of the all word line test signal TAWL, the odd word line test signal TOWL, and the even word line test signal TEWL is at a high level, the test enable signal TALLWD is high. Level.
도 5는 도 3에 도시된 상기 프리차징 제어 유닛(400)의 상세 회로도이다.FIG. 5 is a detailed circuit diagram of the
도시한 바와 같이, 상기 프리차징 제어 유닛(400)은 제1 로직 유닛(410) 및 제2 로직 유닛(420)을 구비한다.As shown, the
상기 제1 로직 유닛(410)은 상기 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)와 상기 뱅크 액티브 신호(BA<i>)를 입력 받아 논리 곱 연산하여 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL)를 출력한다. 따라서, 상기 제1 로직 유닛(410)은 도 5에 도시한 것과 같이, 낸드 게이트(ND1) 및 인버터(IV2)에 의해 구현할 수 있다.The first logic unit 410 receives the multi-word line test signal T1NWL and the bank active signal BA <i> and performs a logical multiplication to output a precharging control signal PRCHA_CTRL. Accordingly, the first logic unit 410 may be implemented by the NAND gate ND1 and the inverter IV2 as shown in FIG. 5.
상기 제2 로직 유닛(420)은 상기 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL) 및 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)를 논리합 연산하여 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다. 따라서, 상기 제2 로직 유닛(420)은 도 5에 도시한 것과 같이 노아 게이트(NOR2) 및 인버터(IV3)에 의해 구현 할 수 있다.The
멀티 워드라인 테스트시, 상기 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)가 인에이블되고, 액티브 명령에 따라 상기 뱅크 액티브 신호(BA<i>)가 활성화되어 상기 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL)는 인에이블된다. 따라서, 상기 제2 로직 유닛(420)의 출력은 상기 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL)가 인에이블된 신호이므로, 인에이블된 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다.In the multi-word line test, the multi-word line test signal T1NWL is enabled, the bank active signal BA <i> is activated according to an active command, and the precharging control signal PRCHA_CTRL is enabled. Therefore, the output of the
또한, 상기 멀티 워드라인 테스트 모드에서, 프리차징 명령에 따라 상기 뱅 크 액티브 신호(BA<i>)가 비활성화되어, 결국 상기 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL)는 디스에이블된다. 따라서, 상기 제2 로직 유닛(420)의 출력은 상기 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL)가 디스에이블된 신호이고, 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD) 또한 디스에이블된 신호이므로, 디스에이블된 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다.In addition, in the multi-wordline test mode, the bank active signal BA <i> is inactivated according to a precharging command, and thus the precharging control signal PRCHA_CTRL is disabled. Accordingly, since the output of the
따라서, 상기 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)는 멀티 워드라인 테스트 시, 액티브 모드와 프리차징 모드에 따라 다른 레벨이 되므로, 상기 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 입력 받아 그 후 진행되는 상기 로우 디코더 제어 유닛(200)과 상기 메인 워드라인 제어 유닛(300)의 출력은 정상적인 동작이 가능하게 된다.Accordingly, since the row decoder control signal TALLWD_BAI is at a different level according to the active mode and the precharging mode during the multi-word line test, the row decoder control unit receiving the row decoder control signal TALLWD_BAI and proceeding thereafter is performed. The output of the 200 and the main word
도 6은 도 3에 도시한 상기 로우 디코더 제어 유닛(200)의 일실시예를 나타낸 상세 회로도이다.FIG. 6 is a detailed circuit diagram illustrating an embodiment of the row
도시한 바와 같이, 상기 로우 디코더 제어 유닛(200)은 상기 입력 신호(R1ACB,R2ACB,NXEN,BSB)와 상기 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 입력받아 논리 조합하는 복수의 인버터(IV5~IV15)와 복수의 낸드 게이트(ND3~ND9)로 구성된다. As illustrated, the row
상기 로우 디코더 제어 유닛(200)은 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)가 하이 레벨인 경우, 제1 노드(N1)의 전위는 로우 레벨이 되고, 제4 낸드 게이트(ND4)의 출력은 상기 R2ACB,BSB 신호에 관계없이 하이 레벨이다. 따라서, 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)는 로우 레벨로 고정된다. When the row decoder control signal TALLWD_BAI is at a high level, the row
또한, 상기 로우 디코더 제어 유닛(200)은 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)가 로우 레벨인 경우, 상기 제1 노드(N1)의 전위는 하이 레벨이 되고, 상기 제4 낸드 게이트(ND4)의 출력은 상기 BSB,R2ACB 신호의 논리합의 레벨을 갖는다. 따라서, 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)는 상기 제4 낸드 게이트(ND4)의 출력을 소정 시간 지연시킨 신호가 된다.In addition, when the row decoder control signal TALLWD_BAI is at a low level, the row
도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 워드라인 테스트 제어 회로의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to Figures 3 to 6 will be described the operation of the word line test control circuit according to the present invention.
멀티 워드라인 테스트 시, 상기 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)가 인에이블된다. 또한, 상기 올 워드라인 테스트 신호(TAWL), 이븐 워드라인 테스트 신호(TEWL) 및 상기 오드 워드라인 테스트 신호(TOWL)는 디스에이블되므로 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)는 비활성화된다. In the multi-wordline test, the multi-wordline test signal T1NWL is enabled. In addition, the all word line test signal TAWL, the even word line test signal TEWL, and the odd word line test signal TOWL are disabled, and thus the test enable signal TALLWD is inactivated.
그 후, 액티브 명령에 따라 상기 뱅크 액티브 신호(BA<i>)가 인에이블되므로, 상기 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)는 활성화되고, 이로 인해 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)는 비활성화되므로, 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB)는 비활성화된다. 따라서, 멀티 모드에서의 모든 워드라인 중 N분의 1(N은 자연수)의 워드라인이 턴온된다. Thereafter, since the bank active signal BA <i> is enabled according to an active command, the row decoder control signal TALLWD_BAI is activated, and thus the wordline off signal WLOFF is inactivated. The inversion signal MWLB of the word line signal is inactivated. Thus, one-N word lines (N is a natural number) of all word lines in the multi-mode are turned on.
그 후, 프리차징 명령에 따라 상기 뱅크 액티브 신호(BA<i>)가 디스에이블되므로, 상기 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)는 비활성화되고, 이로 인해 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)는 활성화되므로, 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB)는 활성화된다. Thereafter, since the bank active signal BA <i> is disabled according to a precharging command, the row decoder control signal TALLWD_BAI is inactivated, and thus the wordline off signal WLOFF is activated. The inversion signal MWLB of the main word line signal is activated.
따라서, 멀티 모드에서의 N분의 1의 워드라인이 턴오프된다. 따라서, 그 후에 그 다음의 N분의 1의 워드라인의 액티브 동작시, 먼저 액티브 동작을 수행한 워드라인은 턴오프인 상태가 되고, 해당 워드라인만이 턴온 상태가 되어 멀티 워드라인 테스트 가 정상적으로 진행된다.Thus, one-Nth word line in the multi mode is turned off. Therefore, in the subsequent active operation of the next Nth word line, the word line which first performed the active operation is turned off, and only the corresponding word line is turned on so that the multi-word line test is normally performed. Proceed.
또한, 올 워드라인 테스트, 이븐 워드라인 테스트 및 오드 워드라인 테스트시, 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)가 활성화되고, 그로 인해 상기 로우 디코더 유닛(200)은 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)가 활성화되므로, 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 비활성화시킨다. 따라서, 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB)는 비활성화되고, 워드 라인이 턴온된다. In addition, during the all wordline test, the even wordline test, and the odd wordline test, the test enable signal TALLWD is activated, so that the
그외, 정상 동작 모드에서, 상기 올 워드라인 테스트 신호(TAWL), 상기 이븐 워드라인 테스트 신호(TEWL), 상기 오드 워드라인 테스트 신호(TOWL) 및 상기 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)가 모두 디스에이블되므로, 상기 테스트 인에이블 신호(TALLWD)는 모두 비활성화된 상태이다. 그로 인해 상기 로우 디코더 제어 유닛(200)의 출력은 상기 입력 신호(R1ACB,R2ACB,NXEN,BSB)에 따라 노말 동작을 수행한다.In addition, in the normal operation mode, the all wordline test signal TAWL, the even wordline test signal TEWL, the odd wordline test signal TOWL, and the multi-wordline test signal T1NWL are all disabled. Therefore, all of the test enable signals TALLWD are inactive. Therefore, the output of the row
이로 인해, 노말 동작 모드, 번인 테스트 모드 및 멀티 테스트 모드에서 동작이 가능한 워드라인 테스트 제어 회로가 구현된다.This implements a wordline test control circuit capable of operating in the normal operating mode, the burn-in test mode, and the multi test mode.
도 7은 본 발명에 따른 워드라인 테스트 제어 회로의 타이밍도이다.7 is a timing diagram of a wordline test control circuit in accordance with the present invention.
뱅크 0번의 액티브 명령 신호(BA<0>)가 활성화되면, 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF0)가 비활성화된다. 따라서 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB0) 는 비활성화되고 그에 해당하는 워드라인이 턴온된다. When the active command signal BA <0> of the
그 후, 프리차징 명령에 따라 상기 뱅크 0번의 액티브 명령 신호가 비활성화되면 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF0)가 활성화되고, 상기 메인 워드라인 신호의 반전 신호(MWLB0) 또한 활성화된다. 따라서, 그에 해당하는 워드라인이 프라차징을 위한 동작으로 턴오프된다. 따라서, 프리차징 모드에서, 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF0)가 활성화된다. 이러한 방식으로, 액티브와 프리차징 명령에 따라, 상기 워드라인 오프 신호는 활성화 또는 비활성화됨으로써 그 이후 액티브 및 프리차징을 진행한다.Thereafter, when the active command signal of the
또한, 뱅크 3번의 액티브 명령 신호(BA<3>)가 활성화되면, 뱅크 1번의 경우와 같이, 뱅크 3번에 해당하는 워드라인 테스트를 수행한다. In addition, when the active command signal BA <3> of the
이와 같이, 멀티 워드라인 테스트 시, 각 뱅크별로 액티브와 프리차징을 수행하고 N분의 1씩의 워드라인이 턴온되고, 프리차징시 턴오프되어, 그 다음의 N분의 1개의 워드라인이 턴온되고, 프리차징시 턴오프되는 동작을 수행한다.As described above, in the multi-word line test, active and precharging is performed for each bank, and one-by-n word lines are turned on and turned off during precharging, and the next one-nth word lines are turned on. And turn off during precharging.
도 8은 본 발명의 워드라인 테스트 제어 회로의 다른 실시예를 나타낸 블록도이다.8 is a block diagram illustrating another embodiment of a wordline test control circuit of the invention.
도시한 것과 같이, 도 8에 도시한 워드라인 테스트 제어 회로는 프리차징 제어 유닛(430), 번인 테스트 제어 유닛(120), 로우 디코더 제어 유닛(200) 및 메인 워드라인 제어 유닛(300)으로 구성된다.As shown, the wordline test control circuit shown in FIG. 8 includes a
상기 프리차징 제어 유닛(430)은 뱅크 액티브 신호(BA<i>) 및 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)를 입력받아 논리조합하여 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL)를 출력한다.The
상기 번인 테스트 제어 유닛(120)은 상기 프리차징 제어 유닛(430)의 출력 신호와 번인 테스트 신호(TAWL,TEWL,TOWL)를 입력받아 논리조합하여 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다.The burn-in
상기 로우 디코더 제어 유닛(200)은 상기 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)에 따라 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 활성화 또는 비활성화시킨다.The row
상기 메인 워드라인 제어 유닛(300)은 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)를 입력받아 메인 워드 라인 신호를 제어한다.The main word
도 9는 도 8에 도시한 상기 프리차징 제어 유닛(430)의 상세 회로도이다.9 is a detailed circuit diagram of the
상기 프리차징 제어 유닛(430)은 상기 뱅크 액티브 신호(BA<i>)와 상기 멀티 워드라인 테스트 신호(T1NWL)를 입력받아 논리곱 연산하여 상기 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL)를 출력한다. 상기 프리차징 제어 유닛(430)은 도 9에 도시한 바와 같이, 낸드 게이트(ND2)와 인버터(IV4)에 의해 구현할 수 있다.The
도 10은 도 8에 도시한 상기 번인 테스트 제어 유닛(120)의 상세 회로도이다.FIG. 10 is a detailed circuit diagram of the burn-in
상기 번인 테스트 제어 유닛(120)은 상기 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL), 상기 올 워드라인 테스트 신호(TAWL), 상기 이븐 워드라인 테스트 신호(TEWL) 및 상기 오드 워드라인 테스트 신호(TOWL)를 입력받아 논리합 연산하여 상기 로우 디코더 제어 신호(TALLWD_BAI)를 출력한다. 상기 번인 테스트 제어 유닛(120)은 노아 게이트(NOR3) 및 인버터(IV16)로 구현할 수 있다.The burn-in
따라서, 상기 멀티모드워드 라인 테스트시, 상기 뱅크 액티브 신호(BA<i>)가 인에이블되는 경우에만, 상기 프리차징 제어 신호(PRCHA_CTRL)는 인에이블되므로, 상기 번인 테스트 제어 유닛(120), 상기 로우 디코더 제어 유닛(200)에 의한 상기 워드라인 오프 신호(WLOFF)는 프리차징 모드시 활성화되고, 액티브 모드시 비활성화되는 테스트 동작이 가능하다.Therefore, the precharge control signal PRCHA_CTRL is enabled only when the bank active signal BA <i> is enabled during the multi-mode word line test, so that the burn-in
따라서, 멀티 워드라인 테스트 시, 종래 기술에서 나타난 문제점인 프리차징시 워드라인이 턴오프되지 않은 점을 해결하여 다양한 펑션을 테스트할 수 있게 된다.Accordingly, in the multi-word line test, various functions can be tested by solving the problem that the word line is not turned off during precharging, which is a problem of the prior art.
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As such, those skilled in the art will appreciate that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, it is to be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.
따라서, 본 발명의 워드라인 테스트 제어 회로는 멀티 워드라인 테스트 시, 액티브 모드와 프리차징 모드를 정상적으로 수행할 수 있어 다양한 펑션을 테스트 할 수 있어 테스트 장비의 효율을 높인다.Therefore, the word line test control circuit of the present invention can perform the active mode and the precharging mode normally in the multi-word line test, and can test various functions, thereby increasing the efficiency of the test equipment.
본 발명의 워드라인 테스트 제어 회로는 멀티 워드라인 테스트 모드를 통한 각 펑션에 대한 페일을 감별하여 테스트 타임 단축 및 양산성 증대 효과가 있다.The word line test control circuit of the present invention has the effect of shortening test time and increasing productivity by discriminating a fail for each function through a multi-word line test mode.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |