KR100601628B1 - Magneto-optical head for near field recording and/or reading and method for manufacturing thereof - Google Patents

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KR100601628B1 KR1020000001335A KR20000001335A KR100601628B1 KR 100601628 B1 KR100601628 B1 KR 100601628B1 KR 1020000001335 A KR1020000001335 A KR 1020000001335A KR 20000001335 A KR20000001335 A KR 20000001335A KR 100601628 B1 KR100601628 B1 KR 100601628B1
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Abstract

공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더를 구비하며 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하기 위한 근접장 기록재생용 광자기헤드가 개시되어 있다.Disclosed is a magneto-optical head for near field recording and reproducing, which includes a slider moving on a magneto-optical recording medium while being floated by pneumatic pressure, for recording information through magnetic field modulation and optically reproducing the information.

이 개시된 광자기헤드는 슬라이더가 광이 투과되는 투명재질로 이루어지고, 광자기 기록매체에 대면되는 슬라이더의 일면에 나선형 구조로 적층 형성된 적어도 하나의 코일층과 코일층을 덮어서 보호하며 그 코일층의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층과 코일층 및 절연층 중심부에 입사광이 투과할 수 있도록 투명물질로 이루어진 투명영역을 구비한 코일부재와, 광자기 기록매체에 대면되는 슬라이더 일면의 소정 위치에 도금에 의해 형성된 에어베어링과, 슬라이더에 마련되어 입사광을 집속시켜 광자기 기록매체에 광스폿을 형성시키는 집속수단을 포함한다.The disclosed magneto-optical head is made of a transparent material through which the slider transmits light, and covers and protects at least one coil layer and the coil layer formed in a spiral structure on one surface of the slider facing the magneto-optical recording medium. A coil member having an insulating layer electrically insulated between adjacent portions, a coil layer and a transparent region made of a transparent material so that incident light can pass through the center of the insulating layer, and a predetermined position on one surface of the slider facing the magneto-optical recording medium. And an air bearing formed by plating, and focusing means provided on the slider to focus incident light to form an optical spot on the magneto-optical recording medium.

이러한 광자기헤드는 슬라이더가 되는 투명 기판 상에 그 중심부에 광이 투과할 수 있는 투명영역을 갖는 코일부재와 에어베어링 부분이 반도체 제조 공정과 같은 미세 선폭 가공 공정을 통해 일괄적으로 제작 가능한 구조를 가지므로, 종래와는 달리 코일을 메사에 끼운 다음 슬라이더에 접착시키는 공정이 불필요하여 제작이 쉽고 소형화가 가능하다.The magneto-optical head has a structure in which a coil member having a transparent area through which a light can pass through the center of a transparent substrate serving as a slider and an air bearing portion can be manufactured collectively through a fine line width processing process such as a semiconductor manufacturing process. Therefore, unlike the conventional method, the coil is inserted into the mesa, and then the step of adhering to the slider is unnecessary, so that the production is easy and miniaturization is possible.

Description

근접장 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법{Magneto-optical head for near field recording and/or reading and method for manufacturing thereof}Magneto-optical head for near field recording and / or reading and method for manufacturing technique

도 1은 종래의 광자기헤드의 일예를 개략적으로 보인 도면,1 is a view schematically showing an example of a conventional magneto-optical head,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광자기헤드를 개략적으로 보인 도면,2 is a view schematically showing a magneto-optical head for near field recording and reproducing according to an embodiment of the present invention;

도 3a 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광자기헤드를 제조하는 과정의 일 실시예를 보인 도면,3A to 9 are views showing one embodiment of a process of manufacturing a magneto-optical head for near field recording and reproducing according to an embodiment of the present invention;

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광자기헤드를 개략적으로 보인 도면.10 is a schematic view showing a magneto-optical head for near field recording and reproducing according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

40...광자기 기록매체 50...슬라이더40. Magneto-optical recording medium 50 ... Slider

50a...홈부 53...전기 접점50a ... groove 53 ... electrical contacts

57...회로 패턴 60...코일부재57 ... circuit pattern 60 ... coil member

61a,61b...코일층 63...절연층61a, 61b coil layer 63 insulation layer

65...투명층 70...에어베어링65 ... Transparent 70 ... Air Bearing

80...렌즈몸체부 81...투과부80 Lens Body 81

83...반사면 85...반사막83 ... reflection 85 ... reflective

91,93...제1 및 제2보호막 100...고체함침렌즈91,93 ... 1st and 2nd protective film 100 ... Solid-impregnated lens

본 발명은 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공기 동압에 의해 부상되는 슬라이더의 광자기 기록매체에 마주하는 면에 코일부재를 구비한 근접장 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a magneto-optical head for recording and reproducing, and to a method of manufacturing the same. And to a method for producing the same.

광의 회절 한계를 극복하여 고밀도로 정보를 기록재생하도록 근접장(near field) 기술을 채용한 광자기 기록재생장치가 개발되고 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION Magneto-optical recording and reproducing apparatus employing near field technology has been developed to overcome the diffraction limit of light and record and reproduce information at high density.

근접장 기록재생은 광자기 디스크와 같은 기록매체에 근접되게 배치된 광학요소와 기록매체 사이의 간격이 사용되는 광 파장보다 작게 근접된 상태에서 정보의 기록재생을 수행하는 것이다.Near-field recording and reproducing is to perform recording and reproducing of information in a state in which the distance between the optical element and the recording medium disposed in proximity to the recording medium such as a magneto-optical disk is smaller than the optical wavelength used.

이러한 근접장 기록재생을 위한 광자기 기록재생장치는 광자기 기록매체의 회전에 의해 발생하는 공기 동압에 의해 부상하는 공기 베어링 방식의 광자기헤드를 채용한다. The magneto-optical recording and reproducing apparatus for near-field recording and reproducing employs an air bearing type magneto-optical head which floats due to air dynamic pressure generated by the rotation of the magneto-optical recording medium.

광자기헤드에는 자계 인가를 위한 코일이 탑재되는데, 이 코일은 필요한 자계를 발생시키는 동시에 신속한 자계 변조가 가능하도록 작은 인덕턴스를 가질 필요가 있다. 따라서, 광자기헤드는 미세 가공기술을 이용하여 제조된 소형 코일을 채용한다.The magneto-optic head is equipped with a coil for applying a magnetic field, which needs to have a small inductance to generate a required magnetic field and to enable rapid magnetic field modulation. Therefore, the magneto-optical head employs a small coil manufactured by using a microfabrication technique.

도 1을 참조하면, 종래의 광자기헤드는, 공기동압에 의해 광자기 기록매체(1)에 대해 에어베어링면(11)이 소정 에어갭(G)만큼 부상된 채로 광자기 기록매체(1)의 트랙을 스캔할 수 있도록 된 슬라이더(10)와, 이 슬라이더(10)에 설치되어 광자기 기록매체(1)에 광스폿을 형성하는 대물렌즈(21) 및 고체함침렌즈(Solid Immersion lens:SIL)(25)와, 자계변조를 위한 코일(30)로 이루어진다.Referring to FIG. 1, a conventional magneto-optical head includes a magneto-optical recording medium 1 with an air bearing surface 11 floating by a predetermined air gap G with respect to the magneto-optical recording medium 1 by air dynamic pressure. A slider 10 capable of scanning a track of the object, and an objective lens 21 and a solid immersion lens (SIL) mounted on the slider 10 to form an optical spot on the magneto-optical recording medium 1. ) And a coil 30 for magnetic field modulation.

상기 슬라이더(10)의 상면에는 광학계(미도시)쪽에서 입사된 광을 반사시켜 광자기 기록매체(1)를 향하도록 하고 광자기 기록매체(1)에서 반사된 광을 반사시켜 광학계로 향하도록 하는 반사 거울(23)과 상기 대물렌즈(21)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 고체함침렌즈(25)는 슬라이더(10)내에 탑재되어 있다. The upper surface of the slider 10 reflects the light incident from the optical system (not shown) to the magneto-optical recording medium 1 and reflects the light reflected from the magneto-optical recording medium 1 to the optical system. The reflecting mirror 23 and the objective lens 21 are provided. The solid-impregnated lens 25 is mounted in the slider 10.

따라서, 광학계로부터 입사된 광은 대물렌즈(21)를 통해 일차적으로 집속된 다음 고체함침렌즈(25)에 의해 재차 집속되어 광자기 기록매체(1)에 광스폿으로 맺혀진다.Therefore, the light incident from the optical system is first focused through the objective lens 21 and then focused again by the solid-impregnated lens 25 to form light spots on the magneto-optical recording medium 1.

상기 코일(30)은 슬라이더(10)의 광자기 기록매체(1)에 대향하는 면에 부착된 것으로, 상기 대물렌즈(21) 및 고체함침렌즈(25)에 의해 집속된 광이 통과할 수 있도록 중공을 가진다. The coil 30 is attached to a surface of the slider 10 opposite to the magneto-optical recording medium 1 so that the light focused by the objective lens 21 and the solid-impregnated lens 25 can pass therethrough. Have a hollow;

한편, 코일의 중공이 비어있는 경우에는 광이 통과되는 부분의 실질적인 에어갭이 상기한 에어갭(G)와 코일의 높이를 더한 갭이 되므로, 근접장 기록재생이 불가능하여 소망하는 크기의 광스폿을 얻을 수 없다.On the other hand, if the hollow of the coil is empty, since the substantial air gap of the light passing portion becomes the gap obtained by adding the air gap G and the height of the coil, the near-field recording and reproduction is impossible, so that an optical spot having a desired size can be obtained. Can not get

따라서, 슬라이더(10) 하부의 상기 중공이 위치되는 부분에는 코일(30)의 높이에 대응하는 높이로 돌출 형성된 메사(27)가 마련되어 있다. 이 메사(27)는 상기 고체함침렌즈(25) 하면을 그 메사 부분 주변을 상기 코일(30) 높이에 해당하는 깊이로 식각하여 형성된다. Therefore, the mesa 27 which protrudes at the height corresponding to the height of the coil 30 is provided in the part where the said hollow of the lower part of the slider 10 is located. The mesa 27 is formed by etching the lower surface of the solid impregnation lens 25 to a depth corresponding to the height of the coil 30 around the mesa portion.

상기와 같은 종래의 광자기헤드는, 코일(30)을 슬라이더(10)에 접착시키는 공정을 필요로 하는데, 상기 코일(30)이 20㎛ 이하의 두께를 가지는 초소형이므로, 코일(30)을 메사(27)에 끼우는 과정에서 코일(30)이 파손될 수 있어 생산성이 낮은 문제점이 있다.The conventional magneto-optic head as described above requires a process of adhering the coil 30 to the slider 10. Since the coil 30 is a microminiature having a thickness of 20 µm or less, the coil 30 Since the coil 30 may be damaged in the process of fitting to the 27, there is a problem of low productivity.

또한, 상기 메사(27)는 직경 60㎛, 높이 20㎛정도인 초소형이므로, 이 메사(27)를 가지는 고체함침렌즈(25)의 제작이 어려울 뿐만 아니라, 식각 공정을 통한 메사(27) 형성시, 언터컷(undercut)으로 인해 메사(27)의 중간 높이 부분에서의 직경이 작아지기 때문에 정확한 메사(27) 형태를 만들기 어렵고, 이로 인해 입사광 중 일부가 메사(27)를 통과하지 못하여 광손실이 초래되는 문제점이 있다.In addition, since the mesa 27 is a microminiature having a diameter of about 60 μm and a height of about 20 μm, it is difficult to manufacture the solid-impregnated lens 25 having the mesa 27, and at the time of forming the mesa 27 through an etching process. Because of the undercut, the diameter at the mid-height portion of the mesa 27 decreases, making it difficult to form an accurate mesa 27, which causes some of the incident light not to pass through the mesa 27, resulting in light loss. There is a problem that results.

따라서, 종래의 광자기헤드와 같이 코일(30)을 메사(27)에 끼운 다음 슬라이더(10)에 접착시키는 구조는 제작의 어려움으로 인해 소형화하는데 한계가 있다.Therefore, the structure in which the coil 30 is inserted into the mesa 27 and then adhered to the slider 10 like the conventional magneto-optical head has a limitation in miniaturization due to difficulty in manufacturing.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점들을 감안하여 안출된 것으로, 기판 상에 그 중심부에 광이 투과할 수 있는 투명영역을 갖는 코일부재와 에어베어링 부분을 반도체 제조 공정과 같은 미세 선폭 가공 공정을 통해 일괄적으로 제작할 수 있도록 된 근접장 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and a coil member and an air bearing portion having a transparent region through which light can be transmitted at a central portion thereof on a substrate are collectively processed through a fine line width processing process such as a semiconductor manufacturing process. It is an object of the present invention to provide a magneto-optical head for near field recording and reproduction, and a method of manufacturing the same.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더를 구비하며, 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하기 위한 근접장 기록재생용 광자기헤드에 있어서, 상기 슬라이더는 광이 투과되는 투명재질로 이루어지고, 상기 광자기 기록매체에 대면되는 슬라이더의 일면에 나선형 구조로 적층 형성된 적어도 하나의 코일층과, 상기 코일층을 덮어서 보호하며 그 코일층의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층과, 상기 코일층 및 절연층 중심부에 입사광이 투과할 수 있도록 투명물질로 이루어진 투명영역을 구비한 코일부재와; 상기 광자기 기록매체에 대면되는 슬라이더 일면의 소정 위치에 도금에 의해 형성된 에어베어링과; 상기 슬라이더에 마련되어 입사광을 집속시켜 상기 광자기 기록매체에 광스폿을 형성시키는 집속수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a slider moving on a magneto-optical recording medium while floating by air pressure, and a magneto-optical head for near field recording and reproducing for recording information and optically reproducing the information through magnetic field modulation. The at least one coil layer is made of a transparent material through which light is transmitted, and at least one coil layer formed in a spiral structure on one surface of the slider facing the magneto-optical recording medium, and the coil layer covering and protecting the coil layer. A coil member having an insulating layer electrically insulating between adjacent portions of the transparent layer, and a transparent region made of a transparent material so that incident light can pass through the coil layer and the center of the insulating layer; An air bearing formed by plating at a predetermined position on one surface of the slider facing the magneto-optical recording medium; And focusing means provided on the slider to focus incident light to form an optical spot on the magneto-optical recording medium.

여기서, 상기 집속수단은, 입사광을 발산 투과시키는 투과부와, 상기 투과부 주변에 형성되어 입사광을 집속 반사시키는 반사면을 구비하는 렌즈 몸체부와; 상기 투과부에 대향되게 상기 슬라이더의 일면과 코일부재 사이의 상기 투명영역 외측에 형성되어 입사광을 반사시키는 반사막;을 포함하여 된 것이 바람직하다.Here, the focusing means may include a lens body part having a transmission part for diverging and transmitting incident light, and a reflection surface formed around the transmission part to focus and reflect incident light; And a reflective film formed outside the transparent area between the one surface of the slider and the coil member so as to face the transmission part to reflect incident light.

또한, 상기 절연층 및 투명영역은 광이 투과할 수 있는 동일한 투명물질로 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the insulating layer and the transparent region are preferably made of the same transparent material that can transmit light.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 투명영역에는 그 일부영역을 상대적으로 고굴절율을 갖는 물질로 형성하여 이루어진 고굴절렌즈;가 더 구비된 것이 바람직하다.According to another feature of the invention, it is preferable that the transparent region further comprises a high refractive lens formed by forming a portion of the material having a relatively high refractive index.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이면서 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하는 근접장 기록재생용 광자기헤드의 제조방법에 있어서, 투명재질로 된 기판을 준비하는 단계와; 상기 기판 일면에 나선형 구조로 적층 형성된 적어도 하나의 코일층과, 상기 코일층을 덮어서 보호하며 그 코일층의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층과, 상기 코일층 및 절연층 중심부에 입사광이 투과할 수 있도록 투명물질로 형성된 투명영역을 구비한 코일부재를 형성하는 단계와; 상기 기판의 일면의 소정 위치에 도금에 의해 에어베어링을 형성하는 단계와; 상기 기판의 상기 투명영역에 대응되는 위치에 집속수단을 마련하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing a magneto-optical head for near field recording and reproduction, which records information through magnetic field modulation and optically reproduces information while moving on a magneto-optical recording medium while being floated by air dynamic pressure. Preparing a substrate made of a transparent material; At least one coil layer formed on one surface of the substrate in a spiral structure, an insulating layer covering and protecting the coil layer and electrically insulating adjacent portions of the coil layer, and incident light at a center of the coil layer and the insulating layer Forming a coil member having a transparent area formed of a transparent material so as to transmit therethrough; Forming an air bearing at a predetermined position on one surface of the substrate by plating; And providing a focusing means at a position corresponding to the transparent region of the substrate.

여기서, 상기 에어베어링 형성 단계는, 상기 기판 일면의 소정 위치를 식각하여 홈부를 형성하는 단계와; 상기 식각된 홈부에 금속 물질을 도금하여 에어베어링을 형성하는 단계;를 포함하는 것이 바람직하다.The air bearing forming step may include forming a groove by etching a predetermined position of one surface of the substrate; It is preferable to include; forming an air bearing by plating a metal material on the etched groove.

한편, 상기 절연층은 투명물질로 이루어지고, 상기 투명영역은 상기 코일층을 절연층으로 둘러싸는 공정에서 상기 절연층물질로 형성되는 것이 바람직하다.On the other hand, the insulating layer is made of a transparent material, the transparent region is preferably formed of the insulating layer material in the process of surrounding the coil layer with an insulating layer.

상기 집속수단을 마련하는 단계는, 상기 기판 일면과 코일부재 사이의 상기 투명영역 외측부분에 반사막을 형성하는 단계와; 입사광을 발산 투과시켜 상기 반사막을 향하도록 하는 투과부와, 상기 투과부 주변에 형성되어 상기 반사막에서 반사되어 입사된 광을 집속 반사시키는 반사면을 가지는 렌즈 몸체부를 상기 기판의 다른면에 상기 투명영역에 대응되는 위치에 탑재시키는 단계;를 포함한다.The providing of the focusing means may include forming a reflective film on an outer portion of the transparent region between the substrate surface and the coil member; The lens body portion having a transmission portion for diverging and transmitting incident light toward the reflective film and a reflection surface formed around the transmission portion and focusing and reflecting the light reflected from the reflection film corresponds to the transparent area on the other side of the substrate. Mounting at a position to be included.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 투명영역의 광자기 기록매체에 마주하는 면을 식각하여 곡면을 형성하는 단계와; 식각된 곡면상에 상기 투명영역보다 상대적으로 굴절율이 높은 투명물질을 적층하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.According to another aspect of the invention, the step of forming a curved surface by etching the surface facing the magneto-optical recording medium of the transparent region; Laminating a transparent material having a relatively higher refractive index than the transparent region on the etched curved surface.

이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광자기헤드를 개략적으로 보인 도면이다.2 is a view schematically showing a magneto-optical head for near field recording and reproducing according to an embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광자기헤드는, 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체(40) 상에서 움직이는 슬라이더(50)와, 광자기 기록매체(40)에 대면되는 상기 슬라이더(50) 일면의 소정 위치에 형성된 에어베어링(70)과, 자계 변조를 위하여 광자기 기록매체(40)에 대면되는 슬라이더(50) 일면의 상기 에어베어링(70) 일측에 형성된 코일부재(60)와, 슬라이더(50)에 마련되어 입사광을 집속시켜 광자기 기록매체(40)에 광스폿을 형성하는 집속수단을 포함하여 구성된다. Referring to the drawings, the magneto-optical head according to an embodiment of the present invention faces the slider 50 and the magneto-optical recording medium 40 which move on the magneto-optical recording medium 40 while being floated by the pneumatic pressure. An air bearing 70 formed at a predetermined position on one surface of the slider 50 and a coil member formed at one side of the air bearing 70 on one surface of the slider 50 facing the magneto-optical recording medium 40 for magnetic field modulation. 60) and focusing means provided on the slider 50 to focus incident light to form a light spot on the magneto-optical recording medium 40.

상기 슬라이더(50)는 예를 들어, 스윙암 방식의 광자기기록재생장치의 스윙암(미도시)에 탄력적으로 연결된 서스펜션(미도시)에 설치되어, 광자기 기록매체(40)의 회전시 발생하는 공기 동압에 의해 광자기 기록매체(40)에 대해 상기 에어베어링(70)부분이 소정 에어갭(G)만큼 부상된 채로 광자기 기록매체(40)의 트랙을 스캔할 수 있도록 된 것으로, 입사광이 투과할 수 있도록 유리기판과 같은 투명재질로 이루어진다. 이 슬라이더(50)에는 관통공(51)에 도전성 접착제를 채워 만든 한쌍의 전기 접점(53)이 형성되어 있으며, 집속수단의 렌즈몸체부(80)가 설치되는 슬라이더(50)의 다른면에 솔더링을 위한 제1회로 패턴(55)이 상기 전기 접점(53)에 연결되도록 형성되어 있다. The slider 50 is installed on a suspension (not shown) that is elastically connected to, for example, a swing arm (not shown) of the swing arm type magneto-optical recording and reproducing apparatus, and is generated when the magneto-optical recording medium 40 is rotated. The air bearing 70 can scan the track of the magneto-optical recording medium 40 while the air bearing 70 is floated by a predetermined air gap G with respect to the magneto-optical recording medium 40. It is made of a transparent material such as a glass substrate so that it can penetrate. The slider 50 has a pair of electrical contacts 53 formed by filling a through hole 51 with a conductive adhesive, and is soldered to the other surface of the slider 50 where the lens body portion 80 of the focusing means is installed. A first circuit pattern 55 is formed to be connected to the electrical contact 53.

상기 에어베어링(70)은 광자기 기록매체(40)에 대면되는 슬라이더(50) 일면의 소정 위치에 니켈과 같은 금속을 도금하여 형성되는데, 도금의 부착성이 양호하도록 슬라이더(50)의 일부분을 수 ㎛ 깊이로 식각하여 홈부(50a)를 형성한 다음, 그 홈부(50a)에 금속을 도금하여 형성된 것이 바람직하다. The air bearing 70 is formed by plating a metal such as nickel at a predetermined position on one surface of the slider 50 facing the magneto-optical recording medium 40. It is preferable that the groove portion 50a is formed by etching to a depth of several μm, and then the metal is plated on the groove portion 50a.

상기 코일부재(60)는, 나선형 구조로 적층 형성된 코일층(61a)(61b)과, 상기 코일층(61a)(61b)을 덮어서 보호하며 그 코일층(61a)(61b)의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층(63)과, 상기 코일층(61a)(61b) 및 절연층(63) 중심부에 입사광이 투과할 수 있도록 투명물질로 이루어진 투명영역(65)을 구비한다.The coil member 60 covers the coil layers 61a and 61b stacked in a spiral structure, and covers and protects the coil layers 61a and 61b, and adjacent portions of the coil layers 61a and 61b. And an insulating layer 63 for electrically insulating the insulating layer 63 and a transparent region 65 made of a transparent material so that incident light can pass through the centers of the coil layers 61a and 61b and the insulating layer 63.

상기 코일층(61a)(61b)은 적어도 하나 이상, 보다 바람직하게는 복수층 구비된다. 그리고 이 복수의 코일층(61a)(61b)은 서로 전기적으로 직렬 연결되어 있다. The coil layers 61a and 61b are provided with at least one, more preferably multiple layers. The plurality of coil layers 61a and 61b are electrically connected in series with each other.

상기 절연층(63)은 각 코일층(61a)(61b) 자체의 인접한 부위들 사이의 전기적 절연과 코일층(61a)(61b) 사이의 전기적 절연을 위하여 마련된다. The insulating layer 63 is provided for electrical insulation between adjacent portions of the respective coil layers 61a and 61b and electrical insulation between the coil layers 61a and 61b.

상기 투명영역(65)은 집속수단에 의해 집속되고 슬라이더(50)를 투과하여 입사되는 광을 투과시킬 수 있도록, 광흡수율이 상대적으로 작아 투명하고 굴절율이 상대적으로 높아 광학적 성질이 우수한 물질, 예를 들어, 폴리이미드, PMMA, SiO2, SiN 중에서 선택된 어느 하나의 물질로 이루어진다. 여기서, 상기 절연층(63)은 상기 투명영역(65)과 동일한 투명물질로 제조될 수도 있는데, 이 경우 절연층(63)을 형성할 때 동시에 투명영역(65)을 형성할 수 있으므로, 투명영역(65) 제조를 위한 별도의 공정이 불필요하여 제조 공정이 단순화되는 이점이 있다.The transparent region 65 is focused by the focusing means and transmits the light incident through the slider 50 so that the light absorption is relatively small and the refractive index is relatively high and the optical property is excellent, for example For example, it is made of any one material selected from polyimide, PMMA, SiO 2 , SiN. Here, the insulating layer 63 may be made of the same transparent material as the transparent region 65. In this case, the transparent region 65 may be simultaneously formed when the insulating layer 63 is formed. (65) There is an advantage that the manufacturing process is simplified because no separate process for manufacturing is required.

상기와 같은 코일부재(60)는 광자기 기록매체(40)에 마주하는 슬라이더(50)의 일면에 반도체 제조 공정과 같은 미세 선폭 가공 공정에 의해 형성된다.The coil member 60 is formed on one surface of the slider 50 facing the magneto-optical recording medium 40 by a fine line width processing process such as a semiconductor manufacturing process.

한편, 상기 슬라이더(50)와 코일부재(60) 사이에는 상기 코일층(61a)(61b)과 전기 접점(53)을 전기적으로 연결하도록 한쌍의 제2회로 패턴(57)이 형성되어 있다. 이 제2회로 패턴(57)은 집속수단에 의해 집속된 광을 통과시킬 수 있도록 후술하는 도 5b에 보여진 바와 같이, 상기 투명영역(65) 외측 부분에 형성된 것이 바람직하다.Meanwhile, a pair of second circuit patterns 57 are formed between the slider 50 and the coil member 60 to electrically connect the coil layers 61a and 61b and the electrical contact 53. The second circuit pattern 57 is preferably formed outside the transparent region 65 as shown in FIG. 5B to pass light focused by the focusing means.

상기 집속수단은 입사광을 발산 투과시키는 투과부(81)와 이 투과부 주변에 형성되어 입사광을 집속 반사시키는 집속 반사면(83)을 구비하며 슬라이더(50)의 광자기 기록매체(40) 반대면에 탑재되는 렌즈몸체부(80)와, 상기 투과부(81)에 대향되게 상기 슬라이더(50) 일면과 코일부재(60) 사이의 투명영역(65) 외측에 형성되어 입사광을 발산 반사시키는 반사막(85)을 포함한다.The focusing means includes a transmissive portion 81 that diverges and transmits incident light, and a converging reflective surface 83 formed around the transmissive portion and focuses and reflects incident light, and is mounted on a surface opposite to the magneto-optical recording medium 40 of the slider 50. A reflective film 85 formed outside the transparent region 65 between one side of the slider 50 and the coil member 60 so as to face the lens body portion 80 and the transmissive portion 81. Include.

따라서, 상기 투과부(81)로 입사된 광은 렌즈 몸체부(80) 및 슬라이더(50)를 투과하여 반사막(85)에 입사되고, 이 반사막(85)에서 발산 반사된다. 이 반사된 광은 다시 슬라이더(50) 및 렌즈몸체부(80)를 투과하여 집속 반사면(83)으로 입사되고, 이 집속 반사면(83)에서 집속 반사된 광은 렌즈몸체부(80), 슬라이더(50) 및 투명영역(65)을 순차로 투과하여 광자기 기록매체(40)상에 집속된다.Therefore, the light incident on the transmission part 81 passes through the lens body part 80 and the slider 50 to be incident on the reflection film 85, and is divergently reflected on the reflection film 85. The reflected light is again transmitted through the slider 50 and the lens body portion 80 to be incident on the focusing reflection surface 83, and the light reflected by the focusing reflection surface 83 on the lens body portion 80, The slider 50 and the transparent area 65 are sequentially transmitted and focused on the magneto-optical recording medium 40.

상기와 같은 집속수단은 고체함침미러(Solid Immersion Mirror) 구조로, 렌즈몸체부(80)와 반사막(85) 사이에 슬라이더(50)를 위치시켜 요구되는 광경로 길이를 확보하므로, 렌즈몸체부(80)의 크기를 상대적으로 작게 할 수 있어, 광자기헤드의 전체적인 부피 및 무게를 크게 줄일 수 있는 이점이 있다.The focusing means as described above has a solid-immersion mirror structure, and the slider 50 is positioned between the lens body 80 and the reflective film 85 to secure the required optical path length. The size of 80) can be made relatively small, which greatly reduces the overall volume and weight of the magneto-optical head.

한편, 상기 코일부재(60)의 광자기 기록매체(40)에 마주하는 면 및 에어베어링(70)면에는 코팅에 의해 형성된 예컨대, 투명재질의 제1 및 제2보호막(91)(93)이 더 구비된 것이 바람직하다. 이때, 상기 제1보호막(91)은 제2보호막(93)과 동일 평면상에 위치되거나, 광자기 기록매체(40)에서 먼쪽으로 제2보호막(93)보다 수십 nm 이내로 후퇴되어 위치된 것이 바람직하다. On the other hand, the surface of the coil member 60 facing the magneto-optical recording medium 40 and the surface of the air bearing 70 have, for example, first and second protective films 91 and 93 made of a transparent material. It is preferable that it is further provided. In this case, the first passivation layer 91 may be positioned on the same plane as the second passivation layer 93, or may be retracted within several tens of nm from the second passivation layer 93 away from the magneto-optical recording medium 40. Do.

상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 광자기헤드는, 광자기 기록매체(40) 회전시 발생된 공기 동압에 의해 에어베어링(70)면이 광자기 기록매체(40)에 대해 부상된다. In the magneto-optical head according to the embodiment of the present invention as described above, the surface of the air bearing 70 is lifted against the magneto-optical recording medium 40 by the air dynamic pressure generated when the magneto-optical recording medium 40 is rotated. .

이와 같이 공기 동압에 부상된 슬라이더(50)에 의해 코일부재(60)의 투명영역(65)과 광자기 기록매체(40)는 사용되는 광파장보다 작은 에어갭을 이루고, 입사된 광은 집속수단 및 슬라이더(50)를 경유하면서 집속되어 투명영역(65)을 투과하여 광자기 기록매체(40) 상에 집속되므로, 근접장 기록재생이 가능하게 된다.As such, the transparent region 65 and the magneto-optical recording medium 40 of the coil member 60 form an air gap smaller than the wavelength of light used by the slider 50 floating in the air pressure, and the incident light is focused and By focusing via the slider 50 and passing through the transparent region 65 and focusing on the magneto-optical recording medium 40, near field recording and reproduction are possible.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 광자기헤드가 광자기 기록매체(40)와 근접 간격을 이루는 상태에서 코일층(61a)(61b)에 전류를 인가하여 자계 필드를 형성하고, 광자기 기록매체(40)에 광을 조사하면, 그 조사된 부분이 일정 온도 이상 으로 가열되어 기록매체(40)는 자화되어 정보를 기록할 수 있다. 물론, 재생시에는 상기 코일층(61a)(61b)에 전류를 인가하지 않고 광만을 광자기 기록매체(40)에 조사한다.Therefore, the magnetic field is formed by applying a current to the coil layers 61a and 61b in a state where the magneto-optical head is in close proximity to the magneto-optical recording medium 40 according to an embodiment of the present invention, and the magneto-optical recording is performed. When the medium 40 is irradiated with light, the irradiated portion is heated above a predetermined temperature so that the recording medium 40 can be magnetized to record information. Of course, during reproduction, only light is irradiated to the magneto-optical recording medium 40 without applying a current to the coil layers 61a and 61b.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 광자기헤드의 제조방법의 일예를 설명한다.Hereinafter, an example of a method of manufacturing a magneto-optical head according to an embodiment of the present invention will be described.

먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이, 유리 기판과 같이 투명재질로 된 기판(50')을 준비하고, 이 기판(50') 상에 쌍으로 된 관통공(51)을 형성한다. 그리고 이 관통공(51)에 전도성 접착제를 채워 도 3b에 도시된 바와 같이 전기 접점(53)을 형성하고, 후속공정에 의해 형성된 코일부재(60)에 전류를 인가할 수 있도록 솔더링을 위한 제1회로 패턴(55)을 상기 전기 접점(53)에 연결되도록 형성한다. 이때, 상기 제1회로 패턴(55)은 렌즈몸체부(80)가 탑재되는 면에 형성된 것이다. 도 3a은 단일 기판 상에 점선으로 표시된 슬라이더(50) 단위 크기를 갖는 복수의 광자기헤드를 제작하는 예를 보여주는 것으로, 후술하는 바와 같이 코일부재(60) 및 에어베어링(70) 등을 형성하는 미세 가공 공정이 끝난 후에 상기 기판(50')은 슬라이더(50) 단위로 절단된다.First, as shown in FIG. 3A, a substrate 50 'made of a transparent material such as a glass substrate is prepared, and a pair of through holes 51 are formed on the substrate 50'. Then, the conductive hole is filled in the through hole 51 to form the electrical contact 53 as shown in FIG. 3B, and the first soldering process is performed to apply a current to the coil member 60 formed by a subsequent process. The circuit pattern 55 is formed to be connected to the electrical contact 53. At this time, the first circuit pattern 55 is formed on the surface on which the lens body 80 is mounted. FIG. 3A illustrates an example of manufacturing a plurality of magneto-optical heads having a unit size of a slider 50 indicated by a dotted line on a single substrate. The coil member 60 and the air bearing 70 may be formed as described below. After the micromachining process is finished, the substrate 50 'is cut in units of sliders 50.

다음으로, 상기와 같이 코일부재(60)에 전류를 인가할 수 있도록 기본 리드 구조가 형성된 투명기판(50')을 뒤집어 도 4에 도시된 바와 같이 위치시킨 다음, 소정 위치를 식각하여 에어베어링(70) 형성을 위한 홈부(50a)를 형성한다.Next, as shown in FIG. 4, the transparent substrate 50 'having the basic lead structure is inverted and positioned as shown in FIG. 4 so as to apply current to the coil member 60 as described above. 70) to form the groove 50a for forming.

다음으로, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 기판(50') 일면의 코일부재(60) 형성위치에 집속수단의 구성요소인 반사막(85)을 형성한 다음, 그 위 에 상기 전기 접점에 전기적으로 연결된 제2회로 패턴(57)을 형성한다. 이때, 상기 반사막(85) 및 제2회로 패턴(57)은 코일부재(60)의 투명영역 형성부분(65')을 제외한 영역에 형성된다. 여기서, 상기 반사막(85) 및 제2회로 패턴(57)은 광반사율이 우수한 금속 물질로 단일 공정에 의해 일체로 제조할 수 있음은 물론이다.Next, as shown in FIGS. 5A and 5B, the reflective film 85, which is a component of the focusing means, is formed at a position where the coil member 60 is formed on one surface of the substrate 50 ′, and then the electrical contact thereon. A second circuit pattern 57 is electrically connected to the second circuit pattern 57. In this case, the reflective film 85 and the second circuit pattern 57 are formed in a region other than the transparent region forming portion 65 ′ of the coil member 60. Here, the reflective film 85 and the second circuit pattern 57 may be integrally manufactured by a single process with a metal material having excellent light reflectance.

이후, 도 6에 도시된 바와 같이 반사막(85) 및/또는 제2회로 패턴(57)이 형성된 상기 기판(50') 일면의 코일부재 형성 위치에 코일부재(60)를 적층 형성한다. 이 코일부재(60)는 나선형 구조로 적층 형성된 복수의 코일층(61a)(61b)을 형성하는 단계와, 상기 코일층(61a)(61b)을 감싸도록 형성되어 각 코일층(61a)(61b) 사이 및 그 코일층(61a)(61b)의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층(63)을 형성하는 단계와, 코일층(61a)(61b)의 중심부에 입사광이 투과할 수 있도록 된 투명영역(65)을 형성하는 단계를 거쳐 제조된다.Subsequently, as illustrated in FIG. 6, the coil member 60 is stacked on the coil member formation position on one surface of the substrate 50 ′ on which the reflective film 85 and / or the second circuit pattern 57 are formed. The coil member 60 is formed to form a plurality of coil layers 61a and 61b stacked in a helical structure, and is formed to surround the coil layers 61a and 61b to form respective coil layers 61a and 61b. Forming an insulating layer 63 which electrically insulates the gap between the coil layers 61a and 61b and between the adjacent portions of the coil layers 61a and 61b, and allows incident light to pass through the center of the coil layers 61a and 61b. It is manufactured through the step of forming the transparent region 65.

상기 코일층(61a)(61b)들은 패터닝에 의해 나선형 구조로 되어 있으며, 그 양끝이 제2회로 패턴(57)에 전기적으로 연결되고 코일층(61a)(61b) 사이는 전기 접점에 의해 서로 전기적으로 연결되어 있다.The coil layers 61a and 61b are helically formed by patterning, and both ends thereof are electrically connected to the second circuit pattern 57, and the coil layers 61a and 61b are electrically connected to each other by electrical contacts. Is connected.

보다 구체적으로, 코일부재(60) 제조 과정을 절연층(63)이 투명영역(65)과 동일한 투명물질로 이루어져 절연층(63) 형성시 투명영역(65)을 동시에 형성하여 공정을 단순화할 수 있도록 된 경우를 예를 들어 설명하면 다음과 같다. More specifically, in the process of manufacturing the coil member 60, the insulating layer 63 may be made of the same transparent material as the transparent region 65 to simplify the process by simultaneously forming the transparent region 65 when forming the insulating layer 63. For example, the following description will be given.

먼저, 기판(50') 일면의 코일부재(60) 형성 위치에 제1 및 제2코일층(61a)(61b)의 일단이 각각 상기 제2회로 패턴(57)에 전기적으로 연결되도록 하기 위한 한쌍의 전기 접점 패턴을 제외한 영역에 절연성의 보호층 즉, 절연층(63)을 형성한다. First, a pair for allowing one end of the first and second coil layers 61a and 61b to be electrically connected to the second circuit pattern 57 at the position where the coil member 60 is formed on one surface of the substrate 50 '. An insulating protective layer, that is, an insulating layer 63, is formed in a region except for the electrical contact pattern of.

그런 다음, 전기 접점 패턴 영역에 금속으로 한쌍의 제1 및 제2전기 접점(67a)(67b)을 형성하는 동시에 보호층 상에 패터닝에 의해 나선형 구조로 되고 제1전기 접점(67a)에 그 외측단이 전기적으로 연결된 제1코일층(61a) 및 상기 제2전기 접점(67b)에 연결된 제3전기 접점(67c)을 형성한다. 이어서, 상기 제1코일층(61a)의 내측단과 제2코일층(61b)의 내측단이 서로 전기적으로 연결되고, 제2코일층(61b)의 외측단이 제3전기 접점(63c)에 전기적으로 연결되도록 하기 위한 전기 접점 패턴 영역을 제외한 영역에 절연층(63)을 형성하여 상기 제1코일층(61a)의 인접한 부위들 사이 및 제1코일층(61a)과 다음 제2코일층(61b)과의 사이를 전기적으로 절연시킨다. Then, a pair of first and second electrical contacts 67a and 67b are formed of metal in the electrical contact pattern region, and at the same time, a spiral structure is formed by patterning on the protective layer and the outside thereof to the first electrical contact 67a. A first coil layer 61a and a third electrical contact 67c connected to the second electrical contact 67b are connected to each other. Subsequently, an inner end of the first coil layer 61a and an inner end of the second coil layer 61b are electrically connected to each other, and an outer end of the second coil layer 61b is electrically connected to the third electrical contact 63c. The insulating layer 63 is formed in a region except for the electrical contact pattern region to be connected to each other, and thus, between adjacent portions of the first coil layer 61a and between the first coil layer 61a and the next second coil layer 61b. Is electrically insulated from

그런 다음, 상기 전기 접점 패턴 영역에 제4 및 제5전기 접점(67d)(67e)을 형성하는 동시에 절연층(63) 상에 패터닝에 의해 나선형 구조로 되고 그 내측단이 제4전기 접점(67d)에 의해 제1코일층(61a)의 내측단에 전기적으로 연결되고, 그 외측단이 제5 및 제2전기 접점(67e)(67b)에 의해 제2회로 패턴(57)에 전기적으로 연결된 제2코일층(61b)을 형성한다. 이후, 상기 제2코일층(61b)의 인접한 부위들 사이 및 그 상방을 덮도록 절연물질을 도포하여 절연층(63)을 형성한다. Then, the fourth and fifth electrical contacts 67d and 67e are formed in the electrical contact pattern region, and at the same time, a spiral structure is formed by patterning on the insulating layer 63, and the inner end thereof is the fourth electrical contact 67d. Is electrically connected to the inner end of the first coil layer 61a, and the outer end thereof is electrically connected to the second circuit pattern 57 by the fifth and second electrical contacts 67e and 67b. The two coil layer 61b is formed. Subsequently, an insulating material is coated to cover between and adjacent portions of the second coil layer 61b to form an insulating layer 63.

한편, 절연층(63)과 투명영역(65)을 서로 다른 물질로 제조하는 경우에는, 상기 절연층(63)을 코일층(61a)(61b)의 중심부 영역을 제외한 영역에 형성하고, 코일층(61a)(61b) 중심부 영역에 투명물질을 도포하여 투명영역(65)을 형성하면 된다.On the other hand, when the insulating layer 63 and the transparent region 65 are made of different materials, the insulating layer 63 is formed in a region other than the central region of the coil layers 61a and 61b, and the coil layer is formed. The transparent region 65 may be formed by applying a transparent material to the central regions 61a and 61b.

상기와 같이 코일부재(60)를 제조한 다음 이 코일부재(60)의 광자기 기록매체(40)를 마주하는 면을 평탄화하면 코일부재(60)의 제조공정이 완료된다.After the coil member 60 is manufactured as described above, the surface of the coil member 60 facing the magneto-optical recording medium 40 is planarized to complete the manufacturing process of the coil member 60.

여기서, 코일부재(60)의 코일층(61a)(61b) 및 전기 접점들(67a)(67b)(67c) (67d)(67e)은 도금에 의해 형성될 수 있다.Here, the coil layers 61a and 61b of the coil member 60 and the electrical contacts 67a, 67b, 67c and 67d and 67e may be formed by plating.

이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 홈부(50a)에 금속 물질을 도금하여 상기 코일부재(60)와 대략 같은 높이를 갖는 수 ㎛ 두께의 에어베어링(70)을 형성하고, 도 8에 도시된 바와 같이, 코일부재(60)의 광자 기록매체(40)에 마주하는 면 및 에어베어링(70)면에 보호막(91)(93)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 7, the groove 50a is plated with a metal material to form an air bearing 70 having a thickness of several μm having a height substantially equal to that of the coil member 60. As described above, the protective films 91 and 93 are formed on the surface of the coil member 60 facing the photon recording medium 40 and the surface of the air bearing 70.

마지막으로, 기판(50')을 적정 크기로 절단하여 도 2에 도시된 바와 같은 슬라이더(50) 구조를 형성하고, 도 9에 도시된 바와 같이, 투과부(81) 및 집속 반사면(83)을 같은 렌즈 몸체부(80)를 슬라이더(50)에 탑재시키면 본 발명의 일 실시예에 따른 광자기헤드의 제조가 완료된다.Finally, the substrate 50 'is cut to an appropriate size to form a slider 50 structure as shown in FIG. 2, and as shown in FIG. 9, the transmissive portion 81 and the focusing reflecting surface 83 are When the same lens body portion 80 is mounted on the slider 50, the manufacture of the magneto-optical head according to the embodiment of the present invention is completed.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광자기헤드를 개략적으로 보인 것으로, 도 2와 동일 참조부호는 실질적으로 동일 기능을 하는 부재를 나타낸다.FIG. 10 schematically shows a magneto-optical head according to another embodiment of the present invention, wherein the same reference numerals as those of FIG. 2 denote members having substantially the same function.

본 실시예는, 코일부재(60)의 투명영역(65)에 이 투명영역(65)보다 상대적으로 고굴절율을 갖는 고체함침렌즈(Solid Immersion Lens:SIL)(100)를 더 구비한 점에 그 특징이 있다.In this embodiment, the transparent region 65 of the coil member 60 is further provided with a solid immersion lens (SIL) 100 having a relatively higher refractive index than the transparent region 65. There is a characteristic.

이 고체함침렌즈는 도 6에 도시된 바와 같이 코일부재(60)를 제조한 다음 그 코일부재(60)의 투명영역(65)의 광자기 기록매체(40)에 마주하는 면의 일부분을 식각하여 반구형 곡면을 형성하고, 이 식각된 부분에 상기 투명영역(65) 물질보다 상 대적으로 굴절율이 큰 물질을 적층하여 형성하면 된다. 그외의 본 실시예에 따른 광자기헤드 제조 과정은 실질적으로 앞서 설명한 바와 같으므로 그 자세한 설명은 생략한다.This solid impregnated lens manufactures a coil member 60 as shown in FIG. 6 and then etches a portion of the surface facing the magneto-optical recording medium 40 of the transparent region 65 of the coil member 60. A hemispherical curved surface may be formed, and a material having a larger refractive index than that of the transparent region 65 may be laminated on the etched portion. Since the manufacturing process of the other magneto-optical head according to the present embodiment is substantially the same as described above, a detailed description thereof will be omitted.

여기서, 상기 투명영역(65)은 종래 기술 부분에서 설명한 메사(도 1의 27)에 해당하는 것으로, 그 직경 크기가 예컨대, 60㎛로 작다. 그러므로, 이 투명영역(65)의 일부 영역을 식각하는 경우 그 작은 크기로 인하여 등방성 식각이 일어나게 되어 대략 반구형으로 식각된다. 따라서, 이 식각된 부분에 고굴절 물질을 적층하면 고굴절율을 갖는 반구형의 고체함침렌즈(100)가 형성된다.Here, the transparent region 65 corresponds to the mesa (27 in Fig. 1) described in the prior art portion, the diameter of which is small, for example, 60㎛. Therefore, when etching a portion of the transparent region 65, isotropic etching occurs due to its small size and is etched in a roughly hemispherical shape. Therefore, when a high refractive material is laminated on the etched portion, a hemispherical solid impregnated lens 100 having a high refractive index is formed.

상기와 같은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광자기헤드는 고체함침렌즈(100)가 코일부재(60) 제조 공정하에서 코일부재(60)에 형성되므로, 고체함침렌즈(100)의 제조가 쉬우며, 이러한 고체함침렌즈(100)에 의해 광이 보다 고도로 집속되므로 광자기기록재생밀도가 향상되는 이점이 있다.In the magneto-optical head according to another embodiment of the present invention as described above, since the solid-impregnated lens 100 is formed on the coil member 60 under the coil member 60 manufacturing process, the manufacturing of the solid-impregnated lens 100 is easy. In addition, since the light is more highly focused by the solid impregnation lens 100, there is an advantage in that the magneto-optical recording and reproducing density is improved.

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 근접장 기록재생용 광자기헤드는, 슬라이더가 되는 투명 기판 상에 그 중심부에 광이 투과할 수 있는 투명영역을 갖는 코일부재와 에어베어링 부분이 반도체 제조 공정과 같은 미세 선폭 가공 공정을 통해 일괄적으로 제작 가능한 구조를 가지므로, 종래와는 달리 코일을 메사에 끼운 다음 슬라이더에 접착시키는 공정이 불필요하여 제작이 쉽고 소형화가 가능하다.The magneto-optical head for near field recording and reproducing according to the present invention as described above is characterized in that the coil member and the air bearing portion having a transparent region through which light is transmitted at the center thereof on a transparent substrate serving as a slider are fine as in a semiconductor manufacturing process. Since it has a structure that can be produced collectively through the line width processing process, unlike the conventional method, it is not necessary to attach the coil to the mesa and then adhere it to the slider, which makes production easy and miniaturization possible.

또한, 입사광을 집속시키기 위해 투명 슬라이더와 코일부재 사이에 반사막을 위치시켜, 렌즈몸체부와 반사막 사이에 슬라이더를 위치시켜 요구되는 광경로 길이 를 확보하므로, 고체함침미러 구조로 된 집속수단의 렌즈몸체부의 크기를 상대적으로 작게 할 수 있어, 광자기헤드의 전체적인 부피 및 무게를 크게 줄일 수 있는 이점이 있다.In addition, since the reflective film is positioned between the transparent slider and the coil member to focus the incident light, and the slider is positioned between the lens body portion and the reflective film to secure the required optical path length, the lens body of the focusing means having a solid impregnation mirror structure. Since the size of the portion can be made relatively small, there is an advantage that can greatly reduce the overall volume and weight of the magneto-optical head.

그리고, 고체함침렌즈를 코일부재 제조 과정에서 코일부재의 투명영역에 일괄적으로 제조하므로, 고체함침렌즈를 채용한 광자기헤드의 제조가 간단하다.In addition, since the solid impregnation lens is collectively manufactured in the transparent region of the coil member during the coil member manufacturing process, the manufacture of the magneto-optical head employing the solid impregnation lens is simple.

Claims (17)

공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더를 구비하며, 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하기 위한 근접장 기록재생용 광자기헤드에 있어서, A magneto-optical head for near field recording and reproducing having a slider moving on a magneto-optical recording medium while being floated by air dynamic pressure, for recording information through magnetic field modulation and optically reproducing the information. 상기 슬라이더는 광이 투과되는 투명재질로 이루어지고,The slider is made of a transparent material through which light is transmitted, 상기 광자기 기록매체에 대면되는 슬라이더의 일면에 나선형 구조로 적층 형성된 적어도 하나의 코일층과, 상기 코일층을 덮어서 보호하며 그 코일층의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층과, 상기 코일층 및 절연층 중심부에 입사광이 투과할 수 있도록 투명물질로 이루어진 투명영역을 구비한 코일부재와;At least one coil layer formed spirally stacked on one surface of a slider facing the magneto-optical recording medium, an insulating layer covering and protecting the coil layer and electrically insulating adjacent portions of the coil layer; A coil member having a transparent area made of a transparent material to transmit incident light to the center of the layer and the insulating layer; 상기 광자기 기록매체에 대면되는 슬라이더 일면의 소정 위치에 도금에 의해 형성된 에어베어링과;An air bearing formed by plating at a predetermined position on one surface of the slider facing the magneto-optical recording medium; 상기 슬라이더에 마련되어 입사광을 집속시켜 상기 광자기 기록매체에 광스폿을 형성시키는 집속수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드.And a focusing means provided on the slider to focus incident light to form an optical spot on the magneto-optical recording medium. 제1항에 있어서, 상기 에어베어링은 상기 슬라이더 일면의 소정 위치에 마련된 홈부에 형성된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드.The magneto-optical head for near field recording and reproduction according to claim 1, wherein the air bearing is formed in a groove provided at a predetermined position on one surface of the slider. 제1항에 있어서, 상기 집속수단은,The method of claim 1, wherein the focusing means, 입사광을 발산 투과시키는 투과부와, 상기 투과부 주변에 형성되어 입사광을 집속 반사시키는 반사면을 구비하는 렌즈 몸체부와;A lens body portion having a transmission portion for diverging and transmitting incident light, and a reflection surface formed around the transmission portion to focus and reflect incident light; 상기 투과부에 대향되게 상기 슬라이더의 일면과 코일부재 사이의 상기 투명영역 외측에 형성되어 입사광을 반사시키는 반사막;을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드.And a reflection film formed outside the transparent area between the one surface of the slider and the coil member so as to face the transmission part to reflect incident light. 제1항에 있어서, 상기 절연층 및 투명영역은 광이 투과할 수 있는 동일한 투명물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드.The magneto-optical head for near field recording and reproduction according to claim 1, wherein the insulating layer and the transparent area are made of the same transparent material through which light can pass. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절연층 및/또는 투명영역은, 광흡수율이 상대적으로 작아 투명하고 굴절율이 상대적으로 높아 광학적 성질이 우수한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.The near field recording according to any one of claims 1 to 4, wherein the insulating layer and / or the transparent region are made of a material having a relatively low light absorption rate, a transparent material, a relatively high refractive index, and excellent optical properties. Optical head for reproduction. 제5항에 있어서, 상기 절연층 및/또는 투명영역은, 폴리이미드, PMMA, SiO2, SiN 중에서 선택된 어느 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드.6. The magneto-optical head for near field recording and reproduction according to claim 5, wherein the insulating layer and / or the transparent region is made of any one selected from polyimide, PMMA, SiO 2 and SiN. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 슬라이더에는 관통공에 전도성 접착제를 채워 형성된 한쌍의 전기 접점이 마련되고,According to any one of claims 1 to 4, The slider is provided with a pair of electrical contacts formed by filling the through-hole conductive adhesive, 상기 접점과 코일부재의 코일층을 전기적으로 연결하도록 상기 슬라이더와 코일부재 사이에 회로 패턴;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드.And a circuit pattern between the slider and the coil member so as to electrically connect the contact and the coil layer of the coil member. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코일부재의 광자기 기록매체에 마주하는 면 및 에어베어링면에 각각 제1 및 제2보호막;을 더 구비하며,5. The apparatus of any one of claims 1 to 4, further comprising first and second protective films, respectively, on the surface facing the magneto-optical recording medium of the coil member and the air bearing surface. 상기 제1보호막은 제2보호막과 동일 평면 상에 위치되거나, 광자기 기록매체에서 먼쪽으로 상기 제2보호막보다 후퇴되어 위치된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드.And the first passivation layer is located on the same plane as the second passivation layer, or retracted from the second passivation layer away from the magneto-optical recording medium. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 투명영역에는 그 일부영역을 상대적으로 고굴절율을 갖는 물질로 형성하여 이루어진 고굴절렌즈;가 더 구비된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드.5. The magneto-optical magnetic field of claim 1, further comprising a high refractive lens formed by forming a portion of the transparent region with a material having a relatively high refractive index. 6. head. 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이면서 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하는 근접장 기록재생용 광자기헤 드의 제조방법에 있어서,In the method of manufacturing a magneto-optical head for near field recording and reproducing, which records information through magnetic field modulation and optically reproduces information while moving on a magneto-optical recording medium while being floated by air pressure, 투명재질로 된 기판을 준비하는 단계와;Preparing a substrate made of a transparent material; 상기 기판 일면에 나선형 구조로 적층 형성된 적어도 하나의 코일층과, 상기 코일층을 덮어서 보호하며 그 코일층의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층과, 상기 코일층 및 절연층 중심부에 입사광이 투과할 수 있도록 투명물질로 형성된 투명영역을 구비한 코일부재를 형성하는 단계와;At least one coil layer formed on one surface of the substrate in a spiral structure, an insulating layer covering and protecting the coil layer and electrically insulating adjacent portions of the coil layer, and incident light at a center of the coil layer and the insulating layer Forming a coil member having a transparent area formed of a transparent material so as to transmit therethrough; 상기 기판의 일면의 소정 위치에 도금에 의해 에어베어링을 형성하는 단계와;Forming an air bearing at a predetermined position on one surface of the substrate by plating; 상기 기판의 상기 투명영역에 대응되는 위치에 집속수단을 마련하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드 제조방법.And providing a focusing means at a position corresponding to the transparent region of the substrate. 제10항에 있어서, 상기 에어베어링 형성 단계는, The method of claim 10, wherein the air bearing forming step, 상기 기판 일면의 소정 위치를 식각하여 홈부를 형성하는 단계와;Etching a predetermined position of one surface of the substrate to form a groove part; 상기 식각된 홈부에 금속 물질을 도금하여 에어베어링을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드 제조방법. And forming an air bearing by plating a metal material on the etched groove part. 제10항에 있어서, 상기 코일부재 형성 단계는,The method of claim 10, wherein the coil member forming step, 패터닝에 의해 나선형 구조로 되고 그 양끝이 상기 회로 패턴에 전기적으로 연결되고 각 층 사이는 전기 접점에 의해 서로 전기적으로 연결된 복수의 코일층을 형성하는 단계와;Forming a plurality of coil layers helically formed by patterning, both ends of which are electrically connected to the circuit pattern, and wherein each layer is electrically connected to each other by electrical contacts; 각 코일층 사이 및 그 코일층의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층을 형성하는 단계와;Forming an insulating layer that electrically insulates between each coil layer and between adjacent portions of the coil layer; 상기 코일층의 중심부에 입사광이 투과할 수 있도록 된 투명영역을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드 제조방법.And forming a transparent area in the center of the coil layer to allow incident light to pass therethrough. 제12항에 있어서, 상기 기판에는 관통공에 전도성 접착제를 채워 형성된 복수의 전기 접점이 마련되어 있으며, The method of claim 12, wherein the substrate is provided with a plurality of electrical contacts formed by filling a conductive adhesive in the through hole, 상기 기판 일면과 코일부재 사이의 상기 투명영역을 제외한 영역에 상기 전기 접점과 코일층 사이를 전기적으로 연결하기 위한 회로 패턴을 형성하는 단계;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드 제조방법.And forming a circuit pattern for electrically connecting between the electrical contact and the coil layer in a region other than the transparent region between one surface of the substrate and the coil member. Manufacturing method. 제12항에 있어서, 상기 절연층은 투명물질로 이루어지고,The method of claim 12, wherein the insulating layer is made of a transparent material, 상기 투명영역은 상기 코일층을 절연층으로 둘러싸는 공정에서 상기 절연층물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드 제조방법.And said transparent region is formed of said insulating layer material in a step of surrounding said coil layer with an insulating layer. 제10항에 있어서, 상기 집속수단을 마련하는 단계는,The method of claim 10, wherein the step of providing the focusing means, 상기 기판 일면과 코일부재 사이의 상기 투명영역 외측부분에 반사막을 형성하는 단계와; Forming a reflective film on an outer portion of the transparent region between the substrate surface and the coil member; 입사광을 발산 투과시켜 상기 반사막을 향하도록 하는 투과부와, 상기 투과부 주변에 형성되어 상기 반사막에서 반사되어 입사된 광을 집속 반사시키는 반사 면을 가지는 렌즈 몸체부를 상기 기판의 다른면에 상기 투명영역에 대응되는 위치에 탑재시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드 제조방법.A lens body portion having a transmissive portion that diverges and transmits incident light toward the reflective film and a reflective surface that is formed around the transmissive portion and focuses and reflects incident light reflected from the reflective film, corresponds to the transparent region on the other side of the substrate. Mounting at a position to be; magneto-optical head manufacturing method for the near field recording and reproducing, characterized in that it comprises. 제10항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 투명영역의 광자기 기록매체에 마주하는 면을 식각하여 곡면을 형성하는 단계와;16. The method of any one of claims 10 to 15, further comprising: forming a curved surface by etching a surface facing the magneto-optical recording medium of the transparent region; 식각된 곡면상에 상기 투명영역보다 상대적으로 굴절율이 높은 투명물질을 적층하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드 제조방법.Stacking a transparent material having a refractive index relatively higher than that of the transparent area on the etched curved surface. 제10항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 10 to 15, 상기 코일부재의 광자기기록매체에 마주하는 면 및 에어베어링면에 보호막을 형성하는 단계;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광자기헤드 제조방법.And forming a protective film on a surface facing the magneto-optical recording medium of the coil member and an air bearing surface.
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