KR100599095B1 - 이동장치를 갖는 집진기 - Google Patents

이동장치를 갖는 집진기 Download PDF

Info

Publication number
KR100599095B1
KR100599095B1 KR1019990057724A KR19990057724A KR100599095B1 KR 100599095 B1 KR100599095 B1 KR 100599095B1 KR 1019990057724 A KR1019990057724 A KR 1019990057724A KR 19990057724 A KR19990057724 A KR 19990057724A KR 100599095 B1 KR100599095 B1 KR 100599095B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
housing
dust collector
power supply
moving
supply cable
Prior art date
Application number
KR1019990057724A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20010056311A (ko
Inventor
최상환
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1019990057724A priority Critical patent/KR100599095B1/ko
Publication of KR20010056311A publication Critical patent/KR20010056311A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100599095B1 publication Critical patent/KR100599095B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • B01D46/4227—Manipulating filters or filter elements, e.g. handles or extracting tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
    • B01D46/0005—Mounting of filtering elements within casings, housings or frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • B01D46/4245—Means for power supply or devices using electrical power in filters or filter elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/45—Gas separation or purification devices adapted for specific applications
    • B01D2259/455—Gas separation or purification devices adapted for specific applications for transportable use

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrostatic Separation (AREA)

Abstract

반도체 장치의 제조 라인의 레이아웃 변경 등에 의해 집진기를 이동시킬 때에 기기의 손상을 방지하면서 용이하게 이동시킬 수 있는 이동장치를 갖는 집진기가 개시된다. 전원공급 케이블을 통해 공급되는 전원에 의해 동작되어서 내부의 먼지를 집진하여 제거하기 위한 하우징의 외부 바닥면에는 사용자에 의해 상기 하우징에 지면과 수평 방향으로 압력이 가해질 때에 회전동작을 수행하여 상기 하우징을 이동시키기 위한 이동부재가 복수개 설치되고, 상기 전원공급 케이블은 플러그와 콘센트에 의해서 상기 하우징과 외부전원 공급장치를 전기적으로 연결한다. 따라서, 사용자가 상기 하우징을 이동하고자 하는 위치를 향하여 밀거나 당기면, 상기 이동바퀴의 회전에 의해서 상기 집진기를 용이하게 이동시킬 수 있기 때문에 반도체 장치의 제조 라인의 바닥면이 손상 및 상기 하우징의 비틀림 현상을 방지할 수 고, 또한, 상기 전원공급 케이블은 플러그와 콘센트의 접속을 해제하여 상기 집진기를 이동시킨 후, 다시 상기 플러그와 콘센트를 접속시키므로서 간단히 해체/조립할 수 있기 때문에 상기 집진기의 이동에 따른 배선작업의 번거로움을 해소할 수 있다.

Description

이동장치를 갖는 집진기{AN AIR SHOWER UNIT HAVING A MOVING APPARATUS}
도 1은 종래 반도체 장치의 제조 라인에서 사용되는 집진기의 구성을 개략적으로 보이는 도면; 및
도 2 및 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조 라인에서 사용되는 이동장치를 갖는 집진기의 구성을 보이는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 바닥면 110 : 하우징
130 : 내부 전원부 140a, 140b : 이동바퀴
150a, 150b : 레벨러 160 : 배전반
170 : 전원공급 케이블 180 : 콘센트
190 : 플러그 200 : 도어
본 발명은 반도체 장치의 제조 라인에서 사용되는 집진기에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는, 반도체 장치의 제조 라인의 레이아웃 변경 등에 의해 집진기를 이동시킬 때에 기기의 손상을 방지하면서 용이하게 이동시킬 수 있는 이동장치를 갖는 집진기에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치의 제조 공정이 진행되는 FAB(fabrication)공간은 작업 영역(working area)과 서비스 영역(service area)으로 구분되고, 각 영역간에는 파티클(particle)의 유입에 의한 작업 영역의 오염을 방지하기 위한 에어 샤워 유닛(air shower unit) 즉, 집진기가 설치되어 있다.
도 1은 종래 반도체 장치의 제조 라인에서 사용되는 집진기의 구성을 개략적으로 보이는 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래 집진기는 반도체 장치의 제조 라인(10)상에 설치되는 하우징(20), 하우징(20)내에 설치되어 배전반(50)으로부터 전원공급 케이블(40)을 통해 전원을 공급받는 내부 전원부(30) 및 하우징(20)에 설치되는 도어(60)를 갖는다.
그러나, 이와 같은 집진기는 하우징(20)의 외부 바닥면에 별도의 이동장치가 설치되어 있지 않고, 상기 내부 전원부(30)와 상기 배전반(50)과의 사이에 전원공급 케이블(40)이 일체로 형성되어 있다.
따라서, 반도체 장치의 제조 라인의 레이아웃 변경 또는 장비의 반입출 등에 의해 상기 집진기를 이동시킬 때 상기 하우징(20)의 조립 부위가 느슨해지고 전체 구조의 비틀림 현상이 발생되어 집진기의 내구수명이 단축된다.
또한, 상기 하우징(20)이 반도체 장치의 제조 라인의 바닥면과 심하게 마찰되면서 이동되기 때문에 바닥면이 크게 손상될 뿐만 아니라 이동작업이 용이하지 않다.
또한, 상기 전원공급 케이블(40)의 길이를 초과하는 위치로 상기 집진기가 이동될때에는 상기 배전반(50)에서 주전원을 오프시킨 후, 상기 내부 전원부(30)의 배선을 분해하지 않으면 안되는 작업의 번거로움이 상존한다.
상술한 문제점을 해결하기 위해 제안된 본 발명은, 반도체 장치의 제조 라인의 레이아웃 변경 또는 장치의 반출입 등에 의해 집진기를 이동시킬 때에 기기의 손상을 방지하면서 용이하게 이동시킬 수 있는 이동장치를 갖는 집진기를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 이동장치를 갖는 집진기는, 전원공급 케이블을 통해 공급되는 전원에 의해 동작되어서 내부의 먼지를 집진하여 제거하기 위한 하우징과, 상기 하우징의 외부 바닥면에 복수로 설치되고, 사용자에 의해 상기 하우징에 지면과 수평 방향으로 압력이 가해질 때에 회전동작을 수행하여 상기 하우징을 이동시키기 위한 이동부재 및 상기 하우징의 외부 바닥면에 복수로 설치되어서 상기 하우징의 이동후에 상기 하우징을 지면에 고정시키기 위한 고정부재를 포함한다.
이때, 상기 전원공급 케이블은 플러그와 콘센트에 의해서 상기 하우징과 외부전원 공급장치를 전기적으로 연결한다.
이와 같은 이동장치를 갖는 집진기에 따르면, 상기 집진기의 하우징의 외부 바닥면에는 다수의 이동바퀴가 설치된다. 또한, 상기 하우징과 외부전원 공급장치를 전기적으로 연결하는 상기 전원공급 케이블은 플러그와 콘센트에 의해서 연결된 다.
따라서, 사용자가 상기 하우징을 이동하고자 하는 위치를 향하여 밀거나 당기면, 상기 이동바퀴의 회전에 의해서 상기 집진기를 용이하게 이동시킬 수 있기 때문에 반도체 장치의 제조 라인의 바닥면이 손상 및 상기 하우징의 비틀림 현상을 방지할 수 있다.
또한, 상기 전원공급 케이블은 플러그와 콘센트의 접속을 해제하여 상기 집진기를 이동시킨 후, 다시 상기 플러그와 콘센트를 접속시키므로서 간단히 해체/조립할 수 있기 때문에 상기 집진기의 이동에 따른 배선작업의 번거로움을 해소할 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동장치를 갖는 집진기를 첨부도면 도 2 및 도 3에 의거하여 보다 상세하게 설명한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조 라인에서 사용되는 이동장치를 갖는 집진기의 구성을 보이는 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동장치를 갖는 집진기는, 반도체 장치의 제조 라인(100)상에 설치되는 하우징(110), 상기 하우징(110)의 내부에 설치되어 배전반(160)으로부터의 전원을 공급받기 위한 내부 전원부(130), 상기 하우징(110)의 외부 바닥면에 설치되는 복수개의 이동바퀴(140a, 140b), 상기 외부 바닥면에 상기 복수개의 이동바퀴(140a, 140b)와 소정 거리 이격되어 설치되는 레벨러(leveler)(150a, 150b), 상기 내부 전원부(130)와 전기적으로 연결되고 상기 하우징(110)의 외측벽에 설치되는 콘센트(180), 전원공급 케이블(170)을 통해 상기 배전반(160)과 전기적으로 연결되고, 상기 사용자에 의해 상기 콘센트(180)에 착탈되는 플러그(190)를 갖는다.
이때, 상기 레벨러(150a, 150b)는 상기 하우징(110)의 몸체내로 밀어넣거나 끌어낼 수 있도록 볼트형으로 형성되어 설치된다.
따라서, 상기 하우징(110)의 고정시에는 상기 레벨러(150a, 150b)를 상기 이동바퀴(140a, 140b) 보다 상대적으로 더 튀어나오도록 상기 하우징(110)으로부터 끌어내므로써 상기 바닥면(100)상에 상기 하우징(110)을 고정시킬 수 있다.
이제부터는 도 2 및 도 3을 참조하여서 상술한 이동장치를 갖는 집진기를 이동시키기 위한 작업을 보다 상세히 설명한다.
먼저, 반도체 장치의 제조 라인의 특정 위치에 설치되어 있는 집진기를 이동시키기 위해서는 상기 배전반(160)의 주전원을 오프시킨 후, 상기 플러그(190)를 상기 콘센트(180)로부터 분리하여 상기 전원공급 케이블(170)을 상기 하우징(110)에서 분리시킨다.
다음, 상기 사용자는 상기 이동바퀴(140a, 140b)가 상기 바닥면에 맞닿을때까지 상기 레벨러(150a, 150b)를 회전시켜서 상기 하우징(110)의 내부로 밀어 넣는다.
상기 이동바퀴(140a, 140b)가 상기 바닥면에 맞닿은 후, 상기 사용자가 상기 집진기가 새로이 설치될 위치로 상기 하우징(110)을 밀면, 상기 이동바퀴(140a, 140b)가 회전하면서 상기 하우징(110)이 상기 바닥면을 미끄러져 이동된다.
이때, 상기 하우징(110)과 상기 바닥면과의 마찰 면적은 상기 이동바퀴(140a, 140b)의 면적에 국한된다. 따라서, 상기 하우징(110)은 상기 사용자가 큰 힘을 들이지 않더라도 상기 이동바퀴(140a, 140b)의 회전에 의해 용이하게 이동된다.
다음, 상기 하우징(110)을 새로운 위치로 옮긴후에는 상기 레벨러(150a, 150b)를 상기 바닥면과 맞닿을 때까지 이전과는 반대 방향으로 회전시켜서 상기 하우징(110)을 상기 바닥면에 고정시킨다.
그리고, 상기 플러그(190)를 상기 콘센트(180)에 접속시키면 상기 집진기의 이동 및 설치가 완료된다.
상술한 바와 같은 이동장치를 갖는 집진기에 따르면, 상기 집진기의 하우징의 외부 바닥면에는 다수의 이동바퀴가 설치되고, 상기 하우징과 외부전원 공급장치를 전기적으로 연결하는 상기 전원공급 케이블은 플러그와 콘센트에 의해서 연결된다.
따라서, 사용자가 상기 하우징을 이동하고자 하는 위치를 향하여 밀거나 당기면, 상기 이동바퀴의 회전에 의해서 상기 집진기를 용이하게 이동시킬 수 있기 때문에 반도체 장치의 제조 라인의 바닥면이 손상 및 상기 하우징의 비틀림 현상을 방지할 수 있다.
또한, 상기 전원공급 케이블은 플러그와 콘센트의 접속을 해제하여 상기 집진기를 이동시킨 후, 다시 상기 플러그와 콘센트를 접속시키므로서 간단히 해체/조립할 수 있기 때문에 상기 집진기의 이동에 따른 배선작업의 번거로움을 해소할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (3)

  1. 전원공급 케이블을 통해 공급되는 전원에 의해 동작되어서 내부의 먼지를 집진하여 제거하기 위한 하우징;
    상기 하우징의 외부 바닥면에 복수로 설치되고, 사용자에 의해 상기 하우징에 지면과 수평 방향으로 압력이 가해질 때에 회전동작을 수행하여 상기 하우징을 이동시키기 위한 이동부재; 및
    상기 하우징의 외부 바닥면에 복수로 설치되어서 상기 하우징의 이동후에 상기 하우징을 지면에 고정시키기 위한 고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동장치를 갖는 집진기
  2. 삭제
  3. 삭제
KR1019990057724A 1999-12-15 1999-12-15 이동장치를 갖는 집진기 KR100599095B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990057724A KR100599095B1 (ko) 1999-12-15 1999-12-15 이동장치를 갖는 집진기

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990057724A KR100599095B1 (ko) 1999-12-15 1999-12-15 이동장치를 갖는 집진기

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010056311A KR20010056311A (ko) 2001-07-04
KR100599095B1 true KR100599095B1 (ko) 2006-07-12

Family

ID=19625885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990057724A KR100599095B1 (ko) 1999-12-15 1999-12-15 이동장치를 갖는 집진기

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100599095B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900014300U (ko) * 1989-01-24 1990-08-01 노홍우 분진제거 집진기
KR970061324A (ko) * 1997-06-16 1997-09-12 박지순 집진기
KR19990033335A (ko) * 1997-10-24 1999-05-15 양재신 집진기

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900014300U (ko) * 1989-01-24 1990-08-01 노홍우 분진제거 집진기
KR970061324A (ko) * 1997-06-16 1997-09-12 박지순 집진기
KR19990033335A (ko) * 1997-10-24 1999-05-15 양재신 집진기

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010056311A (ko) 2001-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6612847B2 (en) Slip plate assembly and method for conductively supplying electrical current under rotational and translational force applications
BR9806977A (pt) Conexão de terra para um cabo possuindo um elemento de aterramento
US5562341A (en) Modular electrical fixture
US10244649B2 (en) Enclosure for communications components
KR100599095B1 (ko) 이동장치를 갖는 집진기
CN101808559B (zh) 用于中央真空清洁系统的辅助真空单元
KR100787472B1 (ko) 지상변압기에서의 순간압력저감장치 설치방법
CN103875137A (zh) 旋转插座
GB2574735A (en) Cable retraction apparatus
CN213360737U (zh) 一种可快速拆装防尘盖板装置
CN114673353A (zh) 建筑工地用新能源施工装置
CN209692513U (zh) 一种便于拆装的电动推杆
CN210678776U (zh) 一种便于拆装的关节机器人
KR200192088Y1 (ko) 맨홀용 인너 커버의 록킹장치
EP1373781B1 (en) A swivel
CN217680638U (zh) 一种建筑工程用防水装置
CN205751967U (zh) 一种用于高压清洗机的微动开关装置
KR100858344B1 (ko) 공동주택의 지중전선 고정패널
KR20030088713A (ko) 고소 설치 간판의 세척장치
CN209533957U (zh) 清洁装置及具有该清洁装置的注塑冲压设备
CN215498063U (zh) 一种线槽结构
CN211829713U (zh) 一种智能变电站二次回路全景模型用开出控制装置
CN218860849U (zh) 一种电极装置及镀膜设备
CN210900057U (zh) 一种便于安装的光交箱控制器
CN217882120U (zh) 一种用于电气设备的接地装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090615

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee