KR100596331B1 - Window of vacuum processing apparatus - Google Patents

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KR100596331B1 KR1020040000334A KR20040000334A KR100596331B1 KR 100596331 B1 KR100596331 B1 KR 100596331B1 KR 1020040000334 A KR1020040000334 A KR 1020040000334A KR 20040000334 A KR20040000334 A KR 20040000334A KR 100596331 B1 KR100596331 B1 KR 100596331B1
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정준호
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주식회사 에이디피엔지니어링
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Abstract

본 발명은 진공챔버의 창문 구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버에 구비되어 진공챔버 내에서 수행되는 공정의 진행상황 등을 관찰가능한 창문 구조로서, 창문의 개폐과정에서 파티클 등의 불순물이 발생하지 않는 진공챔버의 창문 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a window structure of a vacuum chamber, and more particularly, to a window structure provided in a vacuum chamber and observing progress of a process performed in a vacuum chamber, and impurities such as particles are generated during opening and closing of a window. The window structure of the vacuum chamber does not.

본 발명에 따른 진공챔버의 창문은, 외주부는 금속으로 이루어지고, 중앙부는 투명한 부재로 이루어지며, 상기 외주부와 중앙부는 공기가 통과할 수 없도록 밀착하여 결합되는 문틀부; 상기 외주부의 안쪽면 소정 부분에 형성된 밀봉부재 취부경로에 취부되는 탄성소재로 이루어진 밀봉부; 상기 문틀부의 일 측면 소정 부분에 돌출 형성되고, 제1 링크 결합홈이 형성되어 있는 복수개의 링크지지대; 진공챔버 본체의 소정 부분에 결합되고 제2 링크 결합홈이 형성되어 있는 챔버 결합부; 상기 제1 링크 결합홈과 제1 링크핀으로 이루어지는 제1 링크부; 상기 제2 링크 결합홈과 제2 링크핀으로 이루어지는 제2 링크부; 상기 제1 링크핀 및 제1 링크 결합홈과 연결되는 제3 링크결합홈, 상기 제2 링크핀 및 제2 링크 결합홈과 연결되는 제4 링크 결합홈 및 연결구로 이루어지는 링크 연결부; 및 상기 문틀부를 상기 진공챔버에 체결하기 위하여 상기 외주부의 소정 부분에 형성되어 있는 복수개의 체결홈에 관통하여 상기 진공챔버에 체결되는 복수개의 체결볼트로 이루어지는 체결부; 를 포함하여 이루어진다.The window of the vacuum chamber according to the present invention, the outer peripheral portion is made of a metal, the central portion is made of a transparent member, the outer peripheral portion and the central portion is a door frame portion which is closely coupled so that air can not pass through; A sealing part made of an elastic material mounted on a sealing member mounting path formed on a predetermined portion of an inner surface of the outer circumference; A plurality of link supports protruding from a predetermined portion of one side of the door frame and having first link coupling grooves formed therein; A chamber coupling part coupled to a predetermined portion of the vacuum chamber body and having a second link coupling groove formed therein; A first link unit comprising the first link coupling groove and the first link pin; A second link unit including the second link coupling groove and a second link pin; A link connecting portion including a third link coupling groove connected to the first link pin and the first link coupling groove, a fourth link coupling groove and a connector connected to the second link pin and the second link coupling groove; And a fastening part including a plurality of fastening bolts penetrating the plurality of fastening grooves formed in a predetermined portion of the outer circumferential part and fastened to the vacuum chamber to fasten the door frame part to the vacuum chamber. It is made, including.

진공처리장치, 뷰포트, 링크Vacuum Unit, Viewport, Link

Description

진공챔버의 창문{Window of vacuum processing apparatus}Window of vacuum processing apparatus

도 1은 종래의 진공챔버의 창문이 진공챔버의 몸체에 설치된 모습을 보여주는 정면도이다. 1 is a front view showing a window of a conventional vacuum chamber is installed on the body of the vacuum chamber.

도 2a는 종래의 진공챔버의 창문이 닫힌 상태를 보여주는 단면도이다.Figure 2a is a cross-sectional view showing a window of the conventional vacuum chamber is closed.

도 2b는 종래의 진공챔버 내부에 진공이 형성된 경우의 창문의 위치를 나타내는 단면도이다. Figure 2b is a cross-sectional view showing the position of the window when a vacuum is formed inside a conventional vacuum chamber.

도 2c는 종래의 진공챔버의 창문이 열린 상태를 보여주는 단면도이다. Figure 2c is a cross-sectional view showing an open state of the window of the conventional vacuum chamber.

도 3은 본 발명의 진공챔버의 창문이 진공챔버의 몸체에 설치된 모습을 보여주는 정면도이다. 3 is a front view showing a window of the vacuum chamber of the present invention installed on the body of the vacuum chamber.

도 4a는 본 발명의 진공챔버의 창문이 닫힌 상태를 보여주는 단면도이다.Figure 4a is a cross-sectional view showing a closed state of the window of the vacuum chamber of the present invention.

도 4b는 본 발명의 진공챔버 내부에 진공이 형성된 경우의 창문의 위치를 나타내는 단면도이다. Figure 4b is a cross-sectional view showing the position of the window when the vacuum is formed inside the vacuum chamber of the present invention.

도 4c는 본 발명의 진공챔버의 창문이 열린 상태를 보여주는 단면도이다.Figure 4c is a cross-sectional view showing an open state of the window of the vacuum chamber of the present invention.

도 5는 본 발명의 링크부의 구조를 도시하는 부분 사시도이다. 5 is a partial perspective view showing the structure of the link unit of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>

10 : 진공챔버 몸체 12 : 창문 형성구10: vacuum chamber body 12: window forming port

110 : 종래의 외주부 120 : 종래의 중앙부110: conventional outer portion 120: conventional center portion

130 : 체결볼트 210 : 연결부130: fastening bolt 210: connection

220 : 지지핀 230 : 지지핀 이동홈220: support pin 230: support pin moving groove

310 : 본 발명의 외주부 320 : 본 발명의 중앙부310: outer peripheral part of the present invention 320: central part of the present invention

330 : 체결부 410 : 링크 지지대330: fastening portion 410: link support

420 : 챔버 결합부 430 : 제1 링크부420: chamber coupling portion 430: first link portion

440 : 제2 링크부 450 : 링크 연결구440: second link unit 450: link connector

본 발명은 진공챔버의 창문 구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버에 구비되어 진공챔버 내에서 수행되는 공정의 진행상황 등을 관찰가능한 창문 구조로서, 창문의 개폐과정에서 파티클 등의 불순물이 발생하지 않는 진공챔버의 창문 구조에 관한 것이다. The present invention relates to a window structure of a vacuum chamber, and more particularly, to a window structure provided in a vacuum chamber and observing progress of a process performed in a vacuum chamber, and impurities such as particles are generated during opening and closing of a window. The window structure of the vacuum chamber does not.

일반적으로 특수한 코팅 작업이나 에칭 작업 등 작업환경이 진공을 요하는 경우에는 내부를 진공분위기로 유지할 수 있는 진공챔버를 구비하고 그 내부에서 요청되는 공정을 수행하게 된다. 특히, 화상 표시용 액정 표시장치의 제조나 도금, 유기 EL 디스플레이 등의 제조 공정에서 진공챔버가 많이 요구되고 있다. In general, when the working environment requires a vacuum, such as a special coating or etching work, it is provided with a vacuum chamber that can maintain the inside of the vacuum atmosphere and performs the process required therein. In particular, many vacuum chambers are demanded in the manufacturing process of a liquid crystal display device for image display, plating, and an organic EL display.

이러한 진공챔버에는 진공챔버내에서 공정이 진행되는 과정중에 챔버내를 투시하여 관찰할 수 있고, 공정중 이상 발생시 응급조치를 하기 위한 창문(Viewport)이 구비된다. The vacuum chamber may be viewed through the chamber during the process of the process in the vacuum chamber, provided with a window (Viewport) for emergency measures in the event of an abnormality during the process.

종래의 진공챔버에 구비되는 창문은 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버 몸체(10)의 소정 부분에 창문이 형성될 수 있는 직사각형 형상의 구멍을 형성시키고, 상기 구멍을 막을 수 있는 크기의 창문이 구비된다. 상기 창문에는 진공챔버의 몸체와 창문을 연결시키는 연결부(210)가 구비되는데, 도 2a, 2c에 도시된 바와 같이 상기 연결부(210)에 구비되는 기준핀(220)을 중심으로 회전하여 상기 창문이 열리게 된다. 이때, 상기 창문의 안쪽면 소정 부위에는 진공챔버 내의 진공분위기를 유지하기 위하여 탄성부재로 형성된 밀봉부재(140)가 구비된다. 그런데 상기 밀봉부재(140)는 도 2b에 도시된 바와 같이 진공챔버(10) 내를 대기압보다 낮은 압력인 진공분위기로 형성시키면 대기압에 의하여 눌리면서 압축된다. 따라서 상기 창문 전체가 진공챔버 몸체 방향으로 수평 이동하게 되는데 상기 기준핀(220)이 고정되어 있으면 상기 연결부(210)에 무리가 가서 손상이 발생하고, 밀폐효과도 떨어지는 문제점이 있었다. 그러므로 종래에는 상기 기준핀(210)이 진공챔버 방향으로 움직일 수 있도록 기준핀 이동홈(230)을 확보하여 두는 구조로 상기 기준핀(210)을 구비하였다. As shown in FIG. 1, a window provided in a conventional vacuum chamber forms a rectangular hole in which a window may be formed in a predetermined portion of the vacuum chamber body 10, and a window sized to block the hole. Is provided. The window is provided with a connection portion 210 connecting the window and the body of the vacuum chamber, as shown in Figures 2a, 2c is rotated around the reference pin 220 provided in the connection portion 210 the window is Will be opened. At this time, a predetermined portion of the inner surface of the window is provided with a sealing member 140 formed of an elastic member to maintain the vacuum atmosphere in the vacuum chamber. However, when the sealing member 140 is formed in a vacuum atmosphere having a pressure lower than atmospheric pressure in the vacuum chamber 10 as shown in FIG. 2B, it is compressed while being pressed by atmospheric pressure. Therefore, the entire window is moved horizontally in the direction of the vacuum chamber body, but if the reference pin 220 is fixed, there is a problem in that the connection portion 210, the damage occurs, the sealing effect is also poor. Therefore, in the related art, the reference pin 210 has a structure in which the reference pin moving groove 230 is secured to move the reference pin 210 in the vacuum chamber direction.

그러나 상기 기준핀(210)이 이동가능한 구조로 창문을 구비시키는 경우에는 도 2a, 2b, 2c에 도시된 바와 같이 창문을 여닫는 과정에서 상기 기준핀(210)이 상기 기준핀 이동홈(230)에서 덜컹거리면서 마찰을 일으키며 이동하여 여러가지 파티클 등의 불순물을 발생시켜서 상기 진공챔버가 설치되어 있는 클린룸 내의 공기를 오염시키고 더불어 진공챔버 내에서 수행되는 공정에 악영향을 미치는 문제점이 있다. However, when the reference pin 210 is provided with a movable structure, as shown in FIGS. 2A, 2B, and 2C, the reference pin 210 is moved from the reference pin moving groove 230 in the process of opening and closing the window. There is a problem in that it causes a lot of impurities such as particles to move and cause friction and contaminate the air in the clean room in which the vacuum chamber is installed and adversely affect the process performed in the vacuum chamber.

본 발명의 목적은 밀폐효과가 탁월하면서도 창문의 개폐과정에서 마찰이 적어서 파티클 등의 불순물 발생이 없는 진공챔버의 창문을 제공함에 있다. An object of the present invention is to provide a window of a vacuum chamber which is excellent in sealing effect and less friction in the opening and closing process of the window and does not generate impurities such as particles.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공챔버의 창문은, 외주부는 금속으로 이루어지고, 중앙부는 투명한 부재로 이루어지며, 상기 외주부와 중앙부는 공기가 통과할 수 없도록 밀착하여 결합되는 문틀부; 상기 외주부의 안쪽면 소정 부분에 형성된 밀봉부재 취부경로에 취부되는 탄성소재로 이루어진 밀봉부; 상기 문틀부의 일 측면 소정 부분에 돌출 형성되고, 제1 링크 결합홈이 형성되어 있는 복수개의 링크지지대; 진공챔버 본체의 소정 부분에 결합되고 제2 링크 결합홈이 형성되어 있는 챔버 결합부; 상기 제1 링크 결합홈과 제1 링크핀으로 이루어지는 제1 링크부; 상기 제2 링크 결합홈과 제2 링크핀으로 이루어지는 제2 링크부; 상기 제1 링크핀 및 제1 링크 결합홈과 연결되는 제3 링크결합홈, 상기 제2 링크핀 및 제2 링크 결합홈과 연결되는 제4 링크 결합홈 및 연결구로 이루어지는 링크 연결부; 및 상기 문틀부를 상기 진공챔버에 체결하기 위하여 상기 외주부의 소정 부분에 형성되어 있는 복수개의 체결홈에 관통하여 상기 진공챔버에 체결되는 복수개의 체결볼트로 이루어지는 체결부; 를 포함하여 이루어진다. The window of the vacuum chamber according to the present invention for achieving the above object, the outer peripheral portion is made of a metal, the central portion is made of a transparent member, the outer peripheral portion and the central portion of the door frame portion is in close contact so as not to pass air; A sealing part made of an elastic material mounted on a sealing member mounting path formed on a predetermined portion of an inner surface of the outer circumference; A plurality of link supports protruding from a predetermined portion of one side of the door frame and having first link coupling grooves formed therein; A chamber coupling part coupled to a predetermined portion of the vacuum chamber body and having a second link coupling groove formed therein; A first link unit comprising the first link coupling groove and the first link pin; A second link unit including the second link coupling groove and a second link pin; A link connecting portion including a third link coupling groove connected to the first link pin and the first link coupling groove, a fourth link coupling groove and a connector connected to the second link pin and the second link coupling groove; And a fastening part including a plurality of fastening bolts penetrating the plurality of fastening grooves formed in a predetermined portion of the outer circumferential part and fastened to the vacuum chamber to fasten the door frame part to the vacuum chamber. It is made, including.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구조 및 작용을 보다 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the structure and operation of the present invention.

본 발명에 따른 진공챔버의 창문은 문틀부(310, 320), 밀봉부재(340), 링크지지대(410), 챔버 결합부(420), 제1 링크부(430), 제2 링크부(440), 링크 연결부(450) 및 체결부(330)를 포함하여 구성된다. The window of the vacuum chamber according to the present invention is the door frame portion 310, 320, the sealing member 340, the link support 410, the chamber coupling portion 420, the first link portion 430, the second link portion 440 ), The link connecting portion 450 and the fastening portion 330 is configured.

먼저 상기 문틀부는 금속으로 이루어진 외주부(310), 투시가 가능한 투명부재로 이루어진 중앙부(320)로 이루어지며, 상기 외주부(310)와 중앙부(320)는 공기가 통과할 수 없도록 밀착하여 결합되는 구조이다. 상기 문틀부는 상기 진공챔버의 소정부분에 형성된 소정 크기의 창문 형성구(12)를 막을 수 있는 크기로 형성되며, 상기 외주부(310)는 문틀부의 전체 형상을 유지하고, 상기 진공챔버 몸체(10)와 접촉하는 부분이고, 상기 중앙부(320)는 진공챔버 내부에서 진행되는 공정상황을 투시할 수 있도록 하는 부분이다. First, the door frame portion is made of a metal outer peripheral portion 310, a central portion 320 made of a transparent member capable of seeing, the outer peripheral portion 310 and the central portion 320 is a structure that is closely coupled so that air does not pass through. . The door frame portion is formed in a size that can block the window forming hole 12 of a predetermined size formed in a predetermined portion of the vacuum chamber, the outer peripheral portion 310 maintains the overall shape of the door frame portion, the vacuum chamber body 10 The central part 320 is a part which allows to see the process situation which progresses in the vacuum chamber.

그리고 상기 외주부(310) 중 상기 진공챔버와 접촉하는 면의 소정부분에는 밀봉부재 취부경로(342)가 형성된다. 상기 밀봉부재 취부경로(342)는 밀봉부재(340)를 취부할 때 상기 밀봉부재(340)가 움직이지 않고 고정되도록 소정 깊이 만큼의 홈이 형성된 구조이다. A sealing member mounting path 342 is formed at a predetermined portion of the outer circumferential portion 310 in contact with the vacuum chamber. The sealing member mounting path 342 has a structure in which grooves having a predetermined depth are formed to fix the sealing member 340 without moving when the sealing member 340 is mounted.

그리고 상기 밀봉부재 취부경로(342)에는 탄성소재로 형서된 밀봉부재(340)가 구비된다. 일반적으로 상기 밀봉부재로는 o-ring이 사용된다. The sealing member mounting path 342 is provided with a sealing member 340 formed of an elastic material. In general, o-ring is used as the sealing member.

또한 상기 문틀부의 한 측면에는 상기 문틀부를 상기 진공챔버에 결합하여 여닫을 수 있도록 하기 위한 링크지지대(410)가 구비된다. 이때 상기 링크지지대(410)는 상기 문틀부와 일체로 형성될 수도 있고, 상기 문틀부와 별도로 형성되어 결합되는 구조일 수도 있다. 상기 링크지지대(410)에는 제1 링크 결합홈(412)이 형성된다. 상기 제1 링크 결합홈(412)은 제1 링크핀(414)이 통과할 수 있도록 소정 크기의 구멍이 형성되는 구조이다. In addition, one side of the door frame portion is provided with a link support 410 for opening and closing the door frame portion to the vacuum chamber. In this case, the link support 410 may be formed integrally with the door frame portion, or may be a structure that is formed separately and coupled to the door frame portion. A first link coupling groove 412 is formed in the link support 410. The first link coupling groove 412 has a structure in which a hole having a predetermined size is formed to allow the first link pin 414 to pass therethrough.

다음으로 상기 진공챔버의 본체 중 상기 창문을 설치하기 위하여 형성된 창문 형성구(12) 주위 소정 부분에는 챔버 결합부(420)가 구비된다. 상기 챔버 결합부(420)는 별도로 형성되어 상기 진공챔버에 결합되어 구비되며, 그 소정 부분에는 제2 링크 결합홈(422)이 형성된다. 상기 제2 링크 결합홈(422)은 제2 링크핀(424)이 통과할 수 있도록 소정크기의 구멍이 형성되는 구조이다. Next, a chamber coupling part 420 is provided at a predetermined portion around the window forming tool 12 formed in the main body of the vacuum chamber to install the window. The chamber coupling part 420 is formed separately and coupled to the vacuum chamber, and a second link coupling groove 422 is formed in a predetermined portion thereof. The second link coupling groove 422 has a structure in which a hole having a predetermined size is formed to allow the second link pin 424 to pass therethrough.

그리고 상기 제1 링크부(430)는 상기 제1 링크 결합홈(412)과 상기 제1 링크 결합홈(412)에 삽입되는 제1 링크핀(414)으로 구성된다. 또한 제2 링크부(440)는 상기 제2 링크 결합홈(422)과 상기 제2 링크 결합홈(422)에 삽입되는 제2 링크핀(424)으로 구성된다. The first link portion 430 includes a first link coupling groove 412 and a first link pin 414 inserted into the first link coupling groove 412. In addition, the second link unit 440 includes a second link coupling groove 422 and a second link pin 424 inserted into the second link coupling groove 422.

다음으로 상기 제1 링크부(430) 및 제2 링크부(440)와 연결되는 링크연결부(450)가 구비된다. 상기 링크 연결부(450)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 링크부(430) 및 제2 링크부(440)와 연결됨으로써 상기 문틀부와 진공챔버를 연결시키고, 제1 링크부(430)와 제2 링크부(440)에 의하여 상기 문틀부가 개폐가능하도록 하는 기능을 한다. 이때 상기 링크 연결부(450)는 제3 링크 결합홈(도면에 미도시), 제4 링크 결합홈(도면에 미도시) 및 연결구(450)로 이루어진다. 상기 제3 링크 결합홈은 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1 링크 결합홈(412)과 겹쳐지도록 위치된 후 제1 링크핀(414)을 상기 제1 링크 결합홈 및 제3 링크 결합홈을 통과시켜서 상기 제1 링크 결합홈(412)과 연결된다. 또한 제4 링크 결합홈도 상기 제3 링크 결합홈과 마찬가지 방식으로 제2 링크 결합홈(422)과 연결된다. Next, a link connecting portion 450 connected to the first link portion 430 and the second link portion 440 is provided. As shown in FIG. 5, the link connection unit 450 is connected to the first link unit 430 and the second link unit 440 to connect the door frame unit and the vacuum chamber, and the first link unit 430. ) And the second link unit 440 to open and close the door frame. At this time, the link connecting portion 450 is composed of a third link coupling groove (not shown), the fourth link coupling groove (not shown) and the connector 450. As shown in FIG. 5, the third link coupling groove is positioned to overlap with the first link coupling groove 412, and then the first link pin 414 is connected to the first link coupling groove and the third link coupling groove. Passed through it is connected to the first link coupling groove 412. In addition, the fourth link coupling groove is connected to the second link coupling groove 422 in the same manner as the third link coupling groove.

그리고 상기 문틀부에는 창문을 닫기 위하여 상기 문틀부를 상기 진공챔버의 창문 형성구(12)를 막도록 접촉시키고 상기 문틀부를 상기 진공챔버에서 이격되지 않도록 체결하기 위하여 별도의 체결홈(도면에 미도시)이 형성되고 상기 체결홈을 관통하여 복수개의 체결볼트(130)가 체결되어 상기 문틀부를 상기 진공챔버에 결합시킨다. In addition, a separate fastening groove (not shown) to contact the door frame part so as to close the window forming hole 12 of the vacuum chamber to close the window and fasten the door frame part not to be spaced apart from the vacuum chamber. Is formed and a plurality of fastening bolts 130 are fastened through the fastening grooves to couple the door frame to the vacuum chamber.

이때 상기 체결부(330)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 외주부(310)를 고정할 수 있도록 상기 진공챔버의 소정부분에 고정된 고정부(332)와 상기 외주부(332)를 압착하는 압착부(334) 및 상기 고정부(332)와 압착부(334)를 힌지결합시키는 구조로 구성되는 것이 더욱 바람직하다.In this case, as shown in FIG. 3, the fastening part 330 compresses the fixing part 332 fixed to a predetermined portion of the vacuum chamber and the outer peripheral part 332 so as to fix the outer peripheral part 310. The portion 334 and the fixing portion 332 and the crimping portion 334 is more preferably configured to hinge.

이하에서는 본 발명에 따른 진공챔버의 창문을 작동시키는 방법을 설명한다. Hereinafter will be described a method of operating the window of the vacuum chamber according to the present invention.

우선 창문을 닫는 경우에는 상기 문틀부를 상기 진공챔버의 몸체에 형성되어 있는 챔버 형성구(12)를 막도록 위치시킨 후 상기 체결부(330)를 이용하여 상기 문틀부가 상기 진공챔버 몸체(10)로부터 분리되지 않도록 체결시킨다. 그리고 상기 진공챔버 내부를 진공펌프를 이용하여 배기하여 진공분위기를 형성시킨다. 그러면 상기 진공챔버 내부의 기압이 상기 문틀부 외부의 대기압보다 낮아져서 상기 창문의 외부에서 창문 내부 방향으로 힘이 가해져서 상기 밀봉부재(340)가 압축된다. 그러면 상기 문틀부가 상기 진공챔버 방향으로 이동하고 이때 상기 제1 링크부(430)와 제2 링크부(440)가 조금 씩 회전하여 상기 문틀부 전체가 각도의 변화가 생기지 않고 그대로 진공챔버 방향으로 이동하여 밀폐가 더 효율적으로 이루어진다.First, when the window is closed, the door frame portion is positioned to block the chamber forming hole 12 formed in the body of the vacuum chamber, and then the door frame portion is removed from the vacuum chamber body 10 using the fastening portion 330. Tighten so as not to separate. The vacuum chamber is then evacuated using a vacuum pump to form a vacuum atmosphere. Then, the air pressure inside the vacuum chamber is lower than the atmospheric pressure outside the door frame portion, and a force is applied from the outside of the window to the inside of the window to compress the sealing member 340. Then, the door frame portion moves in the direction of the vacuum chamber. At this time, the first link portion 430 and the second link portion 440 rotate little by little so that the entire door frame portion moves in the vacuum chamber direction without changing the angle. This makes the sealing more efficient.

그리고 창문을 여는 경우에는 상기 진공챔버 내부의 진공분위기를 해제하고, 상기 체결부(330)를 해제하여 상기 문틀부가 자유롭게 움직일 수 있도록 한다. 그리고 나서 상기 문틀부를 진공챔버 반대 방향으로 회전시키면 창문이 열린다. 이때 상기 제1 링크부와 제2 링크부가 동시에 회전할 수 있고, 어느 하나의 링크부 만이 회전할 수도 있다. 따라서 창문의 개폐시에 창문이 덜컹거리지 않아서 파티클이 거의 발생하지 않는다. When the window is opened, the vacuum atmosphere inside the vacuum chamber is released, and the fastening part 330 is released to allow the door frame part to move freely. Then, when the door frame portion is rotated in the direction opposite to the vacuum chamber, the window is opened. At this time, the first link portion and the second link portion may rotate at the same time, only one of the link portion may rotate. Therefore, when the window is opened or closed, the window is not rattled so that little particles are generated.

본 발명에 따른 진공챔버의 창문을 이용하면 그 창문의 개방 및 폐쇄 과정에서 창문이 덜컹거리지 않아서 파티클이 발생하지 않고, 클린룸 내의 환경을 오염시키지 않는 장점이 있다. Using the window of the vacuum chamber according to the present invention has the advantage that the particles do not occur in the opening and closing process of the window does not generate particles, and does not pollute the environment in the clean room.

또한 진공챔버의 진공분위기 형성시 문틀부가 전체적으로 이동하여 밀폐가 효율적으로 할 수 있어서, 진공챔버 내의 진공분위기를 용이하게 형성시킬 수 있는 장점이 있다. In addition, when the vacuum atmosphere of the vacuum chamber is formed, the door frame portion is moved as a whole, so that the sealing can be efficiently, and there is an advantage that the vacuum atmosphere in the vacuum chamber can be easily formed.

Claims (2)

외주부는 금속으로 이루어지고, 중앙부는 투명한 부재로 이루어지며, 상기 외주부와 중앙부는 공기가 통과할 수 없도록 밀착하여 결합되는 문틀부;An outer circumference portion made of metal, a central portion is made of a transparent member, and the outer circumference portion and the central portion are door frames that are closely coupled to each other so that air cannot pass therethrough; 상기 외주부의 안쪽면 소정 부분에 형성된 밀봉부재 취부경로에 취부되는 탄성소재로 이루어진 밀봉부;A sealing part made of an elastic material mounted on a sealing member mounting path formed on a predetermined portion of an inner surface of the outer circumference; 상기 문틀부의 일 측면 소정 부분에 돌출 형성되고, 제1 링크 결합홈이 형성되어 있는 복수개의 링크지지대;A plurality of link supports protruding from a predetermined portion of one side of the door frame and having first link coupling grooves formed therein; 진공챔버 본체의 소정 부분에 결합되고 제2 링크 결합홈이 형성되어 있는 챔버 결합부;A chamber coupling part coupled to a predetermined portion of the vacuum chamber body and having a second link coupling groove formed therein; 상기 제1 링크 결합홈과 제1 링크핀으로 이루어지는 제1 링크부;A first link unit comprising the first link coupling groove and the first link pin; 상기 제2 링크 결합홈과 제2 링크핀으로 이루어지는 제2 링크부;A second link unit including the second link coupling groove and a second link pin; 상기 제1 링크핀 및 제1 링크 결합홈과 연결되는 제3 링크결합홈, 상기 제2 링크핀 및 제2 링크 결합홈과 연결되는 제4 링크 결합홈 및 연결구로 이루어지는 링크 연결부; 및A link connecting portion including a third link coupling groove connected to the first link pin and the first link coupling groove, a fourth link coupling groove and a connector connected to the second link pin and the second link coupling groove; And 상기 진공챔버의 소정 부분에 상기 외주부를 고정할 수 있도록 상기 진공챔버의 소정부분에 고정된 고정부와, 상기 외주부를 압착하는 압착부 및 상기 고정부와 압착부를 힌지결합시키는 결합부로 구성되며, 상기 문틀부를 상기 진공챔버에 체결하기 위하여 상기 외주부의 소정 부분에 형성되어 있는 복수개의 체결홈에 관통하여 상기 진공챔버에 체결되는 복수개의 체결볼트로 이루어지는 체결부;And a fixing part fixed to a predetermined part of the vacuum chamber so as to fix the outer peripheral part to a predetermined part of the vacuum chamber, a crimping part for crimping the outer peripheral part, and a coupling part for hinge-bonding the fixing part and the crimping part. A fastening part comprising a plurality of fastening bolts penetrating the plurality of fastening grooves formed in a predetermined portion of the outer circumferential part to fasten the door frame part to the vacuum chamber and fastened to the vacuum chamber; 를 포함하여 이루어지는 진공챔버의 창문.Window of the vacuum chamber comprising a. 삭제delete
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