KR101741504B1 - Jig for fixing packing insertion tool for sealing chamber - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 고정지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버를 밀폐시키기 위해 패킹을 가압하여 챔버의 플레이트에 형성된 그루브에 삽입시키는 패킹 삽입툴을 고정하는 고정지그에 관한 것이다.The present invention relates to a fixing jig, and more particularly, to a fixing jig for fixing a packing insertion tool that presses a packing to close a chamber and inserts the packing into a groove formed in a plate of a chamber.
일반적으로, 반도체, 평판 디스플레이 등의 제품을 제조하기 위해서는 매우 정밀한 제어와 복잡한 공정을 수행하는 여러 제조 설비를 필요로 하는 바, 이를 위하여 다양한 형태와 목적을 갖는 챔버가 사용된다. 이러한 챔버는 내부에 수납되어 공정에 투입되는 웨이퍼나 유리기판 등을 외부 환경과 격리시키고, 공정 환경에만 노출시킨다.In general, in order to manufacture a product such as a semiconductor or a flat panel display, various manufacturing facilities for performing highly precise control and complicated processes are required, and chambers having various shapes and purposes are used for this purpose. These chambers are housed inside to isolate wafers, glass substrates, etc., which are put into the process, from the external environment and expose them only to the process environment.
예컨대, 반도체 제품의 제조 공정에 있어서 웨이퍼의 특정 부분 물질을 화학 반응을 통해 제거해 내는 식각(etching) 공정, 화학 반응을 이용하여 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 화학기상증착(CVD) 공정, 실리콘 단결정으로 된 웨이퍼의 특정한 영역에 전기전도특성을 부여하기 위하여 불순물을 첨가하는 이온주입공정 등이 모두 챔버 내부에서 진행된다.For example, in the manufacturing process of a semiconductor product, an etching process for removing a specific partial material of a wafer through a chemical reaction, a chemical vapor deposition (CVD) process for forming a thin film on the wafer using a chemical reaction, And an ion implantation process in which impurities are added to impart electrical conductivity to a specific region of the wafer.
그런데, 반도체, 평판 디스플레이 등의 제품은 매우 정밀한 제품이므로, 제조 공정 중에 부가될 수 있는 외부 공기나 이물질에 의해서 제품의 성능과 동작에 큰 영향을 미칠 수 있고, 공정이 진행되는 챔버는 외부 공기나 이물질이 유입되지 않도록 밀폐되어야 하며, 공정가스를 비롯한 챔버 내부에서 사용되는 물질은 인체에 유해하므로 외부로 유출되는 것을 차단해야 한다.However, since products such as semiconductor and flat panel displays are very precise products, the performance and operation of the product may be greatly affected by external air or foreign matter that may be added during the manufacturing process, It should be sealed to prevent foreign matter from entering, and the substances used inside the chamber including the process gas are harmful to the human body and should be prevented from being leaked to the outside.
이를 위하여, 챔버를 구성하는 여러 플레이트들의 접합면에 패킹이 삽입 설치되어 기밀성을 유지하도록 하고 있는 바, 종래기술에 관한 특허문헌 1은 그 일례를 보여주고 있다.To this end, the packing is inserted into the joint surfaces of the plates constituting the chamber so as to maintain airtightness, and
더불어, 챔버는 기판의 투입과 배출 과정을 다수 반복하기 때문에 기밀 부위의 마모, 손상, 이물질로 인하여 기밀성을 잃는 경우가 발생할 수 있어 필요시 새로운 패킹으로 교체 작업을 해야 한다.In addition, since the chamber repeats the input and discharge processes of the substrate many times, it may cause the airtightness to be lost due to the abrasion, damage or foreign matter in the airtight portion.
예컨대, 종래기술에 따른 패킹의 교체를 위한 삽입 과정이 도시된 도 1a 및 도 1b를 참고하면, 챔버를 구성하는 플레이트(T)에 형성된 그루브(G)와 패킹(P) 간의 과밀 설계로 인하여 패킹의 삽입시 전체 폭의 대략 30%가 축소되어야 그루브에 삽입이 가능한 구조이므로 패킹 삽입시 과도한 힘이 필요하여 작업이 어렵고, 여러 명이 함께 투입되어 작업이 이루어지며, 작업 시간도 많이 소요되며, 작업 숙련도에 따른 작업 재현성이 떨어지고, 삽입 과정에서 공구가 고정되지 않거나 공구의 과다 사용으로 패킹이 손상되거나 변형되어 기밀성이 저하될 수 있는 문제가 있다.For example, referring to FIGS. 1A and 1B showing the insertion process for replacement of a packing according to the prior art, due to the over-design between the groove G formed in the plate T constituting the chamber and the packing P, It is difficult to work because it requires excessive force when inserting the packing, the work is done by a plurality of people working together, the working time is also long, and the work proficiency There is a problem in that the reproducibility of the work according to the present invention is low and the tool is not fixed in the insertion process or the packing is damaged or deformed due to excessive use of the tool,
본 발명은 상술한 문제들을 모두 해결하기 위하여 안출된 것으로, 제1·2지그로 분리 구비되어 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브에 삽입 설치가 용이하고, 패킹 삽입툴을 고정한 상태에서 패킹을 강하게 가압함으로써 패킹을 그루브에 삽입할 수 있으며, 양쪽에 삽입홈이 길이 방향으로 형성되어 패킹 삽입툴의 고정 위치의 선택폭이 넓어서 코너부 등 협소한 작업공간에서도 간편하게 사용할 수 있고 오른손잡이와 왼손잡이 모두 사용 가능하며, 그루브를 따라 고정지그를 이동시켜가며 패킹의 연속 삽입이 가능하고 작업이 편리하며 작업 시간이 단축되는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그의 제공에 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve all of the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a method and a device for separating a chamber by a first and a second jig, This makes it possible to insert the packing into the groove, and the insertion groove on both sides is formed in the longitudinal direction, so that the selection range of the fixing position of the packing insertion tool is wide, so that it can be used conveniently in a narrow working space such as a corner portion. Both right handed and left handed can be used And to provide a packing jig for inserting a packing seal for a chamber, which is capable of continuously inserting the packing while moving the fixing jig along the groove, and is easy to operate and shortens the working time.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 상부에 패킹 삽입툴을 고정하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그에 있어서, 서로 대칭되게 구성된 제1·2지그 및 제1·2지그를 서로 연결하는 연결부재를 포함하되, 상기 제1·2지그는 각각, 몸체를 구성하고 내부에는 연결부재가 삽입 설치되는 연결공이 폭 방향으로 형성된 바디부; 상기 바디부의 일측에 형성되고, 패킹 삽입툴의 하부에 형성된 고정부재가 삽입 고정되는 삽입홈이 형성된 고정부; 및 상기 바디부의 하부에 하측으로 돌출 형성되고, 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브의 한쪽 절반의 공간과 대응되는 형상으로 이루어져 그루브에 삽입되는 삽입돌부를 포함하고, 상기 제1·2지그의 적어도 어느 하나는, 상기 고정부의 외면을 관통하여 상기 삽입홈과 연통되는 관통홀이 형성되어, 상기 관통홀에 공구를 삽입시켜 상기 연결공의 내부에 설치되는 연결부재를 회전시켜 제1·2지그를 연결하거나 분리시키는 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그를 제공한다.In order to solve the above-described problems, the present invention provides a chamber-sealing packing tool fixing jig for fixing a packing inserting tool on an upper portion, comprising: a first and a second jig configured to be symmetrical to each other and a connecting member connecting the first and second jigs to each other Wherein the first and second jigs comprise a body having a body and a connecting hole in which a connecting member is inserted; A fixing part formed at one side of the body part and having an insertion groove into which a fixing member formed at a lower part of the packing insertion tool is inserted and fixed; And an insertion protrusion protruded downward from a lower portion of the body and corresponding to a space of one half of a groove formed in a plate constituting the chamber and inserted into the groove, One of the first and second jigs is provided with a through hole communicating with the insertion groove through an outer surface of the fixing portion, and a tool is inserted into the through hole to rotate a connecting member provided inside the connection hole, And connecting or separating the chamber-sealing packing fixing jig.
게다가, 상기 바디부는 상부에 패킹이 거치될 수 있는 거치홈이 형성되고, 상기 거치홈은 상측을 향해 경사지도록 형성될 수 있다.In addition, the body portion may have a mounting groove on the upper portion thereof for mounting the packing thereon, and the mounting groove may be formed to be inclined toward the upper side.
이때, 상기 바디부는 상기 거치홈 일측의 표면에 거치면이 상측을 향해 경사지도록 형성될 수 있다.At this time, the body part may be formed so as to be inclined toward the upper side when the surface of one side of the mounting groove is placed.
또한, 상기 고정부는, 길이 방향으로 길게 형성된 고정대가 구비되어, 상기 바디부로부터 전방 또는 후방으로 일부가 돌출되게 형성될 수 있다.In addition, the fixing portion may include a fixing base formed to be elongated in the longitudinal direction, and may protrude forward or backward from the body portion.
여기서, 상기 제1·2지그는 각각 평단면이 "┏"와 "┓" 형상으로 이루어질 수 있다.Here, the first and second jigs may have a flat cross section in the form of "┏" and "┓", respectively.
아울러, 상기 삽입홈은, 상기 고정대를 따라 상부가 개방된 장홈으로 형성되고, 일단부의 입구는 개방 형성되고, 타단부는 폐쇄 형성되며, 단면이 "⊥" 형상으로 이루어질 수 있다.In addition, the insertion groove may be formed as an elongated groove having an open top along the fixing table, the opening of the one end may be formed to be open, the other end may be formed to be closed, and the cross section may be formed in the shape of?
본 발명에 의하면, 제1·2지그로 분리 구비되어 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브에 삽입 설치가 용이하고, 패킹 삽입툴을 고정한 상태에서 패킹을 강하게 가압함으로써 패킹을 그루브에 삽입할 수 있으며, 양쪽에 삽입홈이 길이 방향으로 형성되어 패킹 삽입툴의 고정 위치의 선택폭이 넓어서 코너부 등 협소한 작업공간에서도 간편하게 사용할 수 있고 오른손잡이와 왼손잡이 모두 사용 가능하며, 그루브를 따라 고정지그를 이동시켜가며 패킹의 연속 삽입이 가능하고 작업이 편리하며 작업 시간이 단축되는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to insert the packing into the groove by being strongly separated from the first and second jigs so that the groove can be easily inserted into the groove formed in the plate constituting the chamber, Since the insertion grooves are formed on both sides in the longitudinal direction, the selection width of the fixing position of the packing insertion tool is wide, so that it is easy to use even in a narrow working space such as a corner portion. Both the right and left hands can be used. It is possible to insert the packing continuously, and the operation is convenient and the working time is shortened.
도 1a는 챔버를 구성하는 플레이트와 그루브를 도시한 도면이고, 도 1b는 종래기술에 따른 패킹의 교체를 위한 삽입 과정을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 결합 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 분리 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 배면도이다.
도 6a는 본 발명의 실시예에 따른 고정지그에 고정되는 패킹 삽입툴을 도시한 것이고, 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 고정지그에 패킹 삽입툴을 고정한 사용 상태도이다.FIG. 1A is a view showing a plate and a groove constituting a chamber, and FIG. 1B is a view showing a process of inserting a packing according to the related art.
2 is an assembled perspective view of a fixing jig according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view of the fixing jig according to the embodiment of the present invention.
4 is a front view of the fixing jig according to the embodiment of the present invention.
5 is a rear view of the fixing jig according to the embodiment of the present invention.
FIG. 6A is a view showing a packing insertion tool fixed to a fixing jig according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6B is a state of use in which a packing insertion tool is fixed to a fixing jig according to an embodiment of the present invention.
이하에서, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그를 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 실시예를 중심으로 상세하게 설명하도록 하겠다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에서 고정대가 돌출된 방향을 "전방", 그 반대 방향 즉, 삽입홈의 일단부에 입구가 형성된 방향을 "후방"으로 정의한다.In the present invention, the direction in which the fixing base protrudes is defined as "forward ", and the direction opposite to the direction in which the entrance is formed at one end of the insertion groove is defined as" rear ".
도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그는 챔버를 밀폐시키기 위해 패킹을 가압하여 챔버의 플레이트에 형성된 그루브에 삽입시키는 패킹 삽입툴을 고정하는 고정지그에 관한 것으로, 제1지그(1)와 제2지그(2) 및 이들을 서로 연결하는 연결부재(3)를 포함하여 이루어진다.2 to 5, the chamber sealing packing tool insertion tool fixing jig according to the present invention includes a fixing jig for fixing a packing insertion tool that presses a packing to close a chamber and inserts the packing into a groove formed in a plate of a chamber And includes a
상기 제1지그(1)와 제2지그(2)는 몸체를 구성하는 바디부(110,210)의 일면끼리 접촉되어 서로 대칭되는 형상을 갖도록 연결되어 배치되고, 연결부재(3)가 이들 제1지그(1)와 제2지그(1)를 서로 연결하며, 공구(F)를 이용하여 상기 연결부재(3)를 회전시켜 느슨하게 하여 제1지그(1)와 제2지그(2)가 분리되도록 할 수 있다.The
이를 위하여, 상기 제1지그(1)는 바디부(110), 고정부(120), 및 삽입돌부(130)을 포함하여 이루어진다.For this, the
상기 제1지그(1)는 몸체를 구성하는 바디부(110)의 내부에 상기 연결부재(3)가 삽입 설치될 수 있도록 연결공(111)이 폭 방향으로 천공 형성된다. 상기 제2지그(2)에도 폭 방향으로 연결공(211)이 천공 형성되고, 이때, 연결공(111, 211) 중 어느 하나는 구멍이 관통되게 형성되고, 나머지 하나는 구멍이 관통되지 않게 형성되며, 이로써 볼트 등과 같은 연결부재(3)가 관통된 연결공을 통해 삽입되어 체결될 수 있다.The
또한, 상기 바디부(110)는 상부에 패킹이 거치될 수 있는 거치홈(112)이 형성되고, 상기 거치홈(112)은 후방 상측을 향해 오르막 경사지도록 형성되며, 상기 거치홈(112) 일측의 표면에는 거치면(113)이 후방 상측을 향해 오르막 경사지도록 형성된다. 이는 수 미터의 길이에 달하는 패킹(P)을 가압하여 챔버를 구성하는 플레이트(T)에 형성된 그루브(G)에 패킹(P)을 삽입시킬 때에 삽입되지 않은 나머지 패킹(P)의 부분을 거치시키기 위함이고, 그루브(G)를 따라 고정지그를 이동시켜가며 패킹(P)의 연속 삽입이 용이하고 작업이 편리하며 작업 시간이 단축될 수 있다.The
상기 고정부(120)는 상기 바디부(110)의 일측에 고정대(121)가 연결 형성되고, 패킹 삽입툴(K)의 하부에 형성된 고정부재(K-1)가 삽입 고정되는 삽입홈(122)이 형성된다.The
상기 고정대(121)는 길이 방향으로 길게 연장 형성되고, 상기 바디부(110)로부터 전방 또는 후방으로 일부가 돌출되게 형성되어, 상기 제1지그(1)는 각각 평단면이 "┏" 형상으로 이루어지므로, 제1지그(1)를 잡고 그루브(G)에 삽입시키는 작업이 용이하다.The fixing table 121 is elongated in the longitudinal direction and partly protrudes forward or rearward from the
또한, 상기 삽입홈(122)은, 상기 고정대(121)를 따라 상부가 개방된 장홈으로 형성되고, 후단부의 입구는 개방 형성되고, 전단부는 폐쇄 형성되며, 단면이 "⊥" 형상으로 이루어져 패킹 삽입툴(K)의 하부에 볼트가 뒤집어진 형상으로 배치된 고정부재(K-1)가 삽입 고정된다. 이와 같이, 상기 삽입홈(122)이 제1지그(1)에 길이 방향으로 형성되므로 패킹 삽입툴(K)을 고정할 위치의 선택폭이 넓어서 코너부 등 협소한 작업공간에서도 간편하게 사용할 수 있고, 제2지그(2)에도 삽입홈(222)이 형성되므로 오른손잡이와 왼손잡이 모두 사용 가능하다.In addition, the
상기 삽입돌부(130)는 상기 바디부(110)의 하부에 하측으로 돌출 형성되고, 그루브(G)의 한쪽 절반의 공간과 대응되는 형상으로 이루어져 그루브(G)에 삽입된다.The
이와 같이, 본 발명에 따른 고정지그는 제1·2지그(1,2)로 분리 구비되고, 이러한 제1·2지그(1,2)를 그루브(G)의 다른 위치에 각각 삽입한 후 동일한 위치로 슬라이딩 이동시켜서 서로 대칭되게 배치되도록 한 후 연결부재(3)로 연결하면 되므로, 고정지그를 그루브(G)에 삽입 설치가 용이하고, 패킹 삽입툴(K)을 고정한 상태에서 패킹(P)을 강하게 가압함으로써 패킹(P)을 그루브(G)에 삽입할 수 있다.As described above, the fixing jig according to the present invention is separately provided by the first and
또한, 상기 제1·2지그의 적어도 어느 하나는, 고정부의 외면을 관통하여 삽입홈과 연통되는 관통홀이 형성될 수 있는 바, 예컨대, 상기 고정부(120)는 일측에서 외부면을 관통하여 형성된 관통홀(123)이 삽입홈(122)과 연통되도록 이루어지고, 상기 관통홀(123)과 폭 방향으로 연결공(111, 211)이 일직선 상에 형성되어, 상기 관통홀(123)에 공구(F)를 삽입시켜 상기 연결공(111, 211)의 내부에 설치되는 연결부재(3)를 회전시켜 제1·2지그(1,2)를 서로 연결하거나 연결된 상태를 쉽게 분리시킬 수 있다.At least one of the first and second jigs may be formed with a through hole communicating with the insertion groove through the outer surface of the fixing portion. For example, the
상기 제2지그(2)는 바디부(210), 고정부(220), 및 삽입돌부(230)을 포함하여 이루어진다.The
상기 제2지그(2)는 몸체를 구성하는 바디부(210)의 내부에 상기 연결부재(3)가 삽입 설치될 수 있도록 연결공(211)이 폭 방향으로 천공 형성된다.The
또한, 상기 바디부(210)는 상부에 패킹이 거치될 수 있는 거치홈(212)이 형성되고, 상기 거치홈(212)은 후방 상측을 향해 오르막 경사지도록 형성되며, 상기 거치홈(212) 일측의 표면에는 거치면(213)이 후방 상측을 향해 오르막 경사지도록 형성된다. 이는 수 미터의 길이에 달하는 패킹(P)을 가압하여 챔버를 구성하는 플레이트(T)에 형성된 그루브(G)에 패킹(P)을 삽입시킬 때에 삽입되지 않은 나머지 패킹(P)의 부분을 거치시키기 위함이고, 그루브(G)를 따라 고정지그를 이동시켜가며 패킹(P)의 연속 삽입이 용이하고 작업이 편리하며 작업 시간이 단축될 수 있다.The
상기 고정부(220)는 상기 바디부(210)의 일측에 고정대(221)가 연결 형성되고, 패킹 삽입툴(K)의 하부에 형성된 고정부재(K-1)가 삽입 고정되는 삽입홈(222)이 형성된다.The
상기 고정대(221)는 길이 방향으로 길게 연장 형성되고, 상기 바디부(210)로부터 전방 또는 후방으로 일부가 돌출되게 형성되어, 상기 제2지그(2)는 각각 평단면이 "┓" 형상으로 이루어지므로, 제2지그(2)를 잡고 그루브(G)에 삽입시키는 작업이 용이하다.The fixing table 221 is formed to be elongated in the longitudinal direction and partly protruded forward or rearward from the
또한, 상기 삽입홈(222)은, 상기 고정대(221)를 따라 상부가 개방된 장홈으로 형성되고, 후단부의 입구는 개방 형성되고, 전단부는 폐쇄 형성되며, 단면이 "⊥" 형상으로 이루어져 패킹 삽입툴(K)의 하부에 볼트가 뒤집어진 형상으로 배치된 고정부재(K-1)가 삽입 고정된다. 이와 같이, 상기 삽입홈(222)이 제2지그(2)에 길이 방향으로 형성되므로 패킹 삽입툴(K)을 고정할 위치의 선택폭이 넓어서 코너부 등 협소한 작업공간에서도 간편하게 사용할 수 있고, 제1지그(1)에도 삽입홈(122)이 형성되므로 오른손잡이와 왼손잡이 모두 사용 가능하다.In addition, the
상기 삽입돌부(230)는 상기 바디부(210)의 하부에 하측으로 돌출 형성되고, 그루브(G)의 한쪽 절반의 공간과 대응되는 형상으로 이루어져 그루브(G)에 삽입된다.The
이와 같이, 본 발명에 따른 고정지그는 제1·2지그(1,2)로 분리 구비되고, 이러한 제1·2지그(1,2)를 그루브(G)의 다른 위치에 각각 삽입한 후 동일한 위치로 슬라이딩 이동시켜서 서로 대칭되게 배치되도록 한 후 연결부재(3)로 연결하면 되므로, 고정지그를 그루브(G)에 삽입 설치가 용이하고, 도 6a 및 도 6b와 같이 패킹 삽입툴(K)을 고정한 상태에서 패킹(P)을 강하게 가압함으로써 패킹(P)을 그루브(G)에 삽입할 수 있다.As described above, the fixing jig according to the present invention is separately provided by the first and
결국, 본 발명에 따른 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그는 제1·2지그로 분리 구비되어 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브에 삽입 설치가 용이하고, 패킹 삽입툴을 고정한 상태에서 패킹을 강하게 가압함으로써 패킹을 그루브에 삽입할 수 있으며, 양쪽에 삽입홈이 길이 방향으로 형성되어 패킹 삽입툴의 고정 위치의 선택폭이 넓어서 코너부 등 협소한 작업공간에서도 간편하게 사용할 수 있고 오른손잡이와 왼손잡이 모두 사용 가능하며, 그루브를 따라 고정지그를 이동시켜가며 패킹의 연속 삽입이 가능하고 작업이 편리하며 작업 시간이 단축되는 것이다.As a result, the chamber sealing packing tool inserting jig according to the present invention is separated into the first and second jigs to be easily inserted into the groove formed in the plate constituting the chamber, and the packing is firmly pressed This makes it possible to insert the packing into the groove, and the insertion groove on both sides is formed in the longitudinal direction, so that the selection range of the fixing position of the packing insertion tool is wide, so that it can be used conveniently in a narrow working space such as a corner portion. Both right handed and left handed can be used And it is possible to continuously insert the packing while moving the fixing jig along the groove, and the operation is easy and the working time is shortened.
본 발명에서 상기 실시 형태는 하나의 예시로서 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고 동일한 작용효과를 이루는 것은 어떠한 것이라도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.The present invention is not limited to the above-described embodiments. Anything having substantially the same constitution as the technical idea described in the claims of the present invention and achieving the same operational effect is included in the technical scope of the present invention.
1. 제1지그 110. 바디부
111. 연결공 112. 거치홈
113. 거치면 120. 고정부
121. 고정대 122. 삽입홈
123. 관통홀 130. 삽입돌부
2. 제2지그 210. 바디부
211. 연결공 212. 거치홈
213. 거치면 220. 고정부
221. 고정대 222. 삽입홈
230. 삽입돌부 3. 연결부재
F. 공구 G. 그루브
K. 패킹 삽입툴 K-1. 고정부재
P. 패킹 T. 플레이트1.
111. Connecting
113. If you go 120. Go government
121.
123. Through
2.
211. Connecting
213. Go through 220. Go government
221.
230.
F. Tool G. Groove
K. Packing insertion tool K-1. Fixed member
P. Packing T. Plate
Claims (6)
서로 대칭되게 구성된 제1·2지그 및 제1·2지그를 서로 연결하는 연결부재를 포함하되,
상기 제1·2지그는 각각, 몸체를 구성하고 내부에는 연결부재가 삽입 설치되는 연결공이 폭 방향으로 형성된 바디부; 상기 바디부의 일측에 형성되고, 패킹 삽입툴의 하부에 형성된 고정부재가 삽입 고정되는 삽입홈이 형성된 고정부; 및 상기 바디부의 하부에 하측으로 돌출 형성되고, 챔버를 구성하는 플레이트에 형성된 그루브의 한쪽 절반의 공간과 대응되는 형상으로 이루어져 그루브에 삽입되는 삽입돌부를 포함하고,
상기 제1·2지그의 적어도 어느 하나는, 상기 고정부의 외면을 관통하여 상기 삽입홈과 연통되는 관통홀이 형성되어, 상기 관통홀에 공구를 삽입시켜 상기 연결공의 내부에 설치되는 연결부재를 회전시켜 제1·2지그를 연결하거나 분리시키는 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그.
A packing sealing tool fixing jig for sealing a chamber,
And a connecting member for connecting the first and second jigs and the first and second jigs configured to be symmetrical to each other,
The first and second jigs each include a body having a body and a connecting hole into which a connecting member is inserted, the body having a width direction; A fixing part formed at one side of the body part and having an insertion groove into which a fixing member formed at a lower part of the packing insertion tool is inserted and fixed; And an insertion protrusion protruding downward from a lower portion of the body and having a shape corresponding to a space of one half of a groove formed in a plate constituting the chamber,
Wherein at least one of the first and second jigs has a through hole communicating with the insertion groove through an outer surface of the fixing portion, and a tool is inserted into the through hole, And the first and second jigs are connected or separated by rotating the first and second jigs.
상기 바디부는 상부에 패킹이 거치될 수 있는 거치홈이 형성되고,
상기 거치홈은 상측을 향해 경사지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그.
The method according to claim 1,
The body part is formed with a mounting groove on which an upper packing is mounted,
And the mounting groove is inclined toward the upper side.
상기 바디부는 상기 거치홈 일측의 표면에 거치면이 상측을 향해 경사지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그.
3. The method of claim 2,
Wherein the body portion is formed so as to be inclined toward the upper side on a surface of one side of the mounting groove.
상기 고정부는, 길이 방향으로 길게 형성된 고정대가 구비되어, 상기 바디부로부터 전방 또는 후방으로 일부가 돌출되게 형성된 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그.
The method according to claim 1,
Wherein the fixing part includes a fixing block formed to be elongated in the longitudinal direction and is formed to protrude forward or rearward from the body part.
상기 제1·2지그는 각각 평단면이 "┏"와 "┓" 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그.
5. The method of claim 4,
Wherein the first and second jigs have a flat cross-sectional shape of "┏" and "┓", respectively.
상기 삽입홈은, 상기 고정대를 따라 상부가 개방된 장홈으로 형성되고, 일단부의 입구는 개방 형성되고, 타단부는 폐쇄 형성되며, 단면이 "⊥" 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 챔버 밀폐용 패킹 삽입툴 고정지그.
5. The method of claim 4,
Characterized in that the insertion groove is formed with an elongated groove having an upper portion opened along the fixing table, the inlet of the one end is opened and the other end is closed, Tool fixing jig.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160059912A KR101741504B1 (en) | 2016-05-17 | 2016-05-17 | Jig for fixing packing insertion tool for sealing chamber |
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KR1020160059912A KR101741504B1 (en) | 2016-05-17 | 2016-05-17 | Jig for fixing packing insertion tool for sealing chamber |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR101741504B1 true KR101741504B1 (en) | 2017-05-31 |
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ID=59052298
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KR (1) | KR101741504B1 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010098841A (en) | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | Packing mounting tool |
JP2012200034A (en) | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Yazaki Corp | Electric wire lead-in jig |
-
2016
- 2016-05-17 KR KR1020160059912A patent/KR101741504B1/en active IP Right Grant
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