KR100596022B1 - Structure for sucking glass in stage of dispenser - Google Patents

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KR100596022B1
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glass
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suction holes
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박종현
김동영
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

본 발명은 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조에 관한 것으로, 글라스 등의 판이 놓여지는 스테이지의 면에 형성되며 흡입력이 작용하는 다수개의 흡착 구멍들과, 상기 흡착 구멍들의 열과 열사이에 경사면을 포함하여 형성되는 경사홈들을 구비하여 이루어진다. 이로 인하여, 스테이지의 청소 작업을 간단하게 할 뿐만 아니라 그 스테이지에서 적하 공정이 끝난 글라스를 들어올릴 때 스테이지와 글라스사이에서 발생되는 정전기를 최소화함으로써 글라스의 불량률을 줄일 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a glass adsorption structure of a dispenser stage and includes a plurality of suction holes formed on a surface of a stage on which a plate such as a glass is placed and to which a suction force acts and a slope Grooves. Thus, not only the cleaning operation of the stage is simplified, but also the static electricity generated between the stage and the glass is minimized when lifting the glass after the dropping process is performed on the stage, thereby reducing the defective glass ratio.

Description

디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조{STRUCTURE FOR SUCKING GLASS IN STAGE OF DISPENSER}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a glass adsorption structure of a dispenser stage,

도 1은 디스펜서의 일예를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing an example of a dispenser,

도 2,3은 종래 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 일예를 도시한 평면도 및 정면도,2 and 3 are a plan view and a front view showing an example of a glass adsorption structure of a conventional dispenser stage,

도 4는 종래 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 다른 일예를 도시한 정면도,4 is a front view showing another example of the glass adsorption structure of the conventional dispenser stage,

도 5,6은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 일실시예를 도시한 평면도 및 정면도,5 and 6 are a plan view and a front view showing an embodiment of the glass adsorption structure of the dispenser stage of the present invention,

도 7,8,9는 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조를 구성하는 경사홈의 변형예를 각각 도시한 정면도,Figs. 7, 8 and 9 are front views respectively showing modified examples of inclined grooves constituting the glass adsorption structure of the dispenser stage of the present invention,

도 10은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 일부분을 확대하여 도시한 평면도,10 is an enlarged plan view showing a part of the glass adsorption structure of the dispenser stage of the present invention,

도 11은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 다른 실시예를 도시한 평면도,11 is a plan view showing another embodiment of the glass adsorption structure of the dispenser stage of the present invention,

도 12,13은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 다른 실시예를 도시한 평면도 및 정면도.12 and 13 are a plan view and a front view showing another embodiment of the glass adsorption structure of the dispenser stage of the present invention.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

700; 스테이지 720; 흡착 구멍700; Stage 720; Suction hole

740; 경사홈 741; 경사면740; An inclined groove 741; incline

742; 곡면 743; 평면742; A curved surface 743; plane

750; 스테이지 베이스 760; 블럭750; Stage base 760; block

G; 글라스G; Glass

본 발명은 디스펜서에 관한 것으로, 특히, 스테이지의 청소 작업을 간단하게 할 뿐만 아니라 그 스테이지에서 글라스를 들어올릴 때 정전기의 발생을 최소화할 수 있도록 한 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조에 관한 것이다.The present invention relates to a dispenser, and more particularly, to a glass adsorption structure of a dispenser stage that not only simplifies a cleaning operation of a stage but also minimizes the generation of static electricity when lifting the glass from the stage.

일반적으로 엘시디는 판형 글라스에 트랜지스터와 같은 구동 소자들 등이 구비된 하부 기판과, 판형 글라스에 컬러 필터층 등이 구비된 상부 기판과, 그 하부 기판과 상부 기판을 접합시키는 실링재와, 그 하부 기판과 상부 기판사이에 충진된 액정층을 포함하여 구성된다.Generally, an LCD includes a lower substrate provided with a driving element or the like in a plate-shaped glass, an upper substrate provided with a color filter layer in a plate-shaped glass, a sealing member bonding the lower substrate and the upper substrate, And a liquid crystal layer filled between the upper substrates.

이와 같은 엘시디는 하부 기판에 형성된 구동 소자들에 의해 액정층의 액정 분자들을 구동하게 되며 그 액정 분자들의 구동에 의해 그 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다. Such LCD drives liquid crystal molecules of a liquid crystal layer by driving elements formed on a lower substrate, and controls the amount of light transmitted through the liquid crystal molecules by driving the liquid crystal molecules to display information.

상기 엘시디를 제작하는 방법 중의 하나는 다음과 같다.One of the methods for manufacturing the LCD is as follows.

먼저, 소정의 크기를 갖는 글라스에 구동 소자들 등을 형성하고, 다른 글라스에 컬러 필터층 등을 형성한다. 그리고 그 두 개의 글라스 중 하나의 글라스에 실링재를 소정 패턴으로 도포하고 그 실링재 패턴의 내측 영역에 액정을 적하한 다음 그 두 개의 글라스를 합착하게 된다. 그 두 개의 글라스를 합착한 것을 일명 마더 글라스라고 한다. 그리고 상기 마더 글라스를 절단하여 엘시디를 구성하는 단위 액정 패널들을 제작하게 된다.First, driving elements or the like are formed in a glass having a predetermined size, and a color filter layer or the like is formed in another glass. Then, a sealing material is applied to a glass of one of the two glasses in a predetermined pattern, liquid crystal is dripped into the inner region of the sealing material pattern, and the two glasses are adhered to each other. The combination of the two glasses is called mother glass. Then, the mother glass is cut to manufacture unit liquid crystal panels constituting the LCD.

이와 같은 엘시디 제작 방법은 각각의 기능을 갖는 제조 장비들이 배열된 제조 라인을 따라 진행되며, 특히 액정을 적하하는 공정과 실링재를 도포하는 공정 등은 디스펜서에 의해 진행된다.The LCD manufacturing method is performed along a manufacturing line in which manufacturing equipment having various functions is arranged. Particularly, a process of dropping liquid crystal and a process of applying a sealant are performed by a dispenser.

도 1은 디스펜서의 일예를 도시한 것으로, 이를 참조하여 디스펜서가 글라스에 액정을 적하하는 동작을 설명하면 다음과 같다.FIG. 1 shows an example of a dispenser. Referring to FIG. 1, an operation of dropping a liquid crystal on a glass by a dispenser will be described as follows.

먼저, 프레임(100)위에 직선 왕복 운동 가능하게 설치되는 스테이지(200)위에 글라스(G)가 놓여지게 된다. 그리고 미리 입력된 패턴에 따라 그 스테이지(200) 위쪽에 위치하는 헤드 유니트(300)의 노즐(310)에서 액정이 적하되며 그 노즐(310)에서 적하된 액정들은 스테이지(200) 위에 놓여진 글라스(G)에 설정된 패턴대로 패터닝된다.First, a glass G is placed on a stage 200 which is installed on a frame 100 so as to be linearly reciprocatable. The liquid crystal is dropped from the nozzle 310 of the head unit 300 located above the stage 200 according to a previously inputted pattern and the liquid crystals dropped from the nozzle 310 are transferred to the glass G As shown in FIG.

상기 헤드 유니트(300)에 구비된 노즐(310)은 상기 프레임(100)의 상부에 직선 왕복 움직임 가능하게 장착된 헤드 지지대(400)의 이동과 상기 헤드 지지대(400)에 직선 왕복 움직임 가능하게 장착되는 헤드 유니트(300)의 이동에 의해 미리 입력된 패턴으로 움직이게 되며, 그 헤드 지지대(400)의 이동 방향과 헤드 유니 트(300)의 이동 방향은 서로 직교한다. The nozzle 310 provided in the head unit 300 is mounted on the upper part of the frame 100 in such a manner that the head support 400 mounted in a linear reciprocating motion and the head support 400 can reciprocate linearly The movement direction of the head support table 400 and the movement direction of the head unit 300 are orthogonal to each other.

미설명 부호 500은 가이드 부재이고, 600은 고정 테이블이다.Reference numeral 500 denotes a guide member, and reference numeral 600 denotes a fixed table.

한편, 상기 디스펜서의 스테이지(200)에 놓여진 글라스(G)는 작업 중 움직임을 방지하기 위하여 공기의 흡입 압력에 의해 그 스테이지(200)에 흡착되며, 그 글라스(G)가 스테이지(200)에 흡착되는 종래 구조의 일예는 다음과 같다.The glass G placed on the stage 200 of the dispenser is adsorbed on the stage 200 by the suction pressure of air to prevent movement during operation and the glass G is adsorbed on the stage 200 An example of the conventional structure is as follows.

도 2, 3은 종래 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 일예가 구비된 스테이지를 도시한 평면도 및 정면도이다. 이를 참조하여 설명하면 다음과 같다.2 and 3 are a plan view and a front view showing a stage provided with an example of a glass adsorption structure of a conventional dispenser stage. The following will be described with reference to this.

먼저, 디스펜서의 스테이지(200)는 일정 두께와 면적을 갖도록 형성된다. 그 스테이지(200)의 상면은 평면이며 그 스테이지(200)의 상면에 글라스(G)가 놓여지게 된다. 그리고 상기 스테이지(200)의 측면에 일정 간격을 두고 다수개의 메인 관통구멍(210)이 형성되고, 그 스테이지(200)의 상면에 메인 관통구멍(210)을 따라 그 메인 관통구멍(210)과 연결되게 다수개의 미세한 흡착 구멍(220)들이 형성되며, 그 스테이지(200)의 하면에 상기 메인 관통구멍(210)들과 각각 연결되는 진공 유입구멍(230)들이 형성된다. First, the stage 200 of the dispenser is formed to have a certain thickness and area. The upper surface of the stage 200 is flat and the glass G is placed on the upper surface of the stage 200. A plurality of main through holes 210 are formed at regular intervals on the side surface of the stage 200 and connected to the main through hole 210 along the main through hole 210 on the upper surface of the stage 200 A plurality of fine suction holes 220 are formed in the stage 200 and vacuum inflow holes 230 connected to the main through holes 210 are formed on the bottom surface of the stage 200.

상기 메인 관통구멍(210)의 양끝은 밀폐되고, 상기 흡착 구멍(220)들은 각 메인 관통구멍(210)들을 따라 다수 개 형성된다. 상기 진공 유입구멍(230)은 별도로 설치된 진공 발생수단(미도시)과 연결된다.Both ends of the main through hole 210 are sealed and a plurality of the suction holes 220 are formed along each main through hole 210. The vacuum inflow hole 230 is connected to a separately provided vacuum generating means (not shown).

이와 같은 구조는 상기 스테이지(200) 위에 글라스(G)가 놓여지게 되면 상기 진공 발생수단이 작동하여 공기를 흡입하게 되며 그 진공 발생수단의 흡입력이 진공 유입구멍(230)과 메인 관통구멍(210) 그리고 흡착 구멍(220)들을 통해 글라스 (G)에 작용하게 된다. 그 흡입력이 글라스(G)에 작용함에 따라 그 글라스(G)가 스테이지(200)의 상면에 밀착 고정된다. In this structure, when the glass G is placed on the stage 200, the vacuum generating means operates to suck air, and the suction force of the vacuum generating means is applied to the vacuum inflow hole 230 and the main through hole 210, And acts on the glass (G) through the suction holes (220). As the suction force acts on the glass G, the glass G is tightly fixed to the upper surface of the stage 200.

그리고 상기 스테이지(200)위에 밀착 고정된 글라스(G)위에 액정을 적하시키는 공정이 끝나게 되면 상기 진공 발생수단의 작동이 정지되고, 그 진공 발생수단의 작동이 정지됨에 따라 글라스(G)에 작용하는 흡입력이 제거되어 그 글라스(G)가 스테이지(200)위에 움직임 가능하게 놓이게 된다. 그 스테이지(200)위에 놓여진 글라스(G)는 다음 공정을 위하여 별도의 이송 로봇(미도시)에 의해 이송된다.When the step of dropping the liquid crystal on the glass (G) closely fixed on the stage (200) is completed, the operation of the vacuum generating means is stopped and the operation of the vacuum generating means is stopped, The suction force is removed so that the glass G is placed movably on the stage 200. [ The glass G placed on the stage 200 is transported by a separate transport robot (not shown) for the next process.

상기한 바와 같은 구조는 글라스(G)가 놓여지는 스테이지(200)의 상면이 평면으로 이루어지게 되므로 그 스테이지(200)의 상면을 청소하기가 매우 쉬울 뿐만 아니라 청소 후 파티클(particle)이 잔류하는 양이 극히 미소하게 된다. 반면, 상기 스테이지(200)의 상면이 평면으로 이루어지게 되므로 그 스테이지(200)와 글라스(G)의 접촉 면적이 넓게 되어 스테이지(200)위에 놓여진 글라스(G)를 이송 로봇이 들어올릴 때 그 스테이지(200)와 글라스(G)사이에 정전기가 많이 발생되어 그 글라스(G)에 크랙이 발생되거나 그 글라스(G)위에 반도체 공정 등에 의해 형성된 회로 또는 컬러 필터 등이 파손되는 문제점이 있다. Since the upper surface of the stage 200 on which the glass G is placed is formed in a plane, it is very easy to clean the upper surface of the stage 200 as well as the amount of particles remaining after cleaning This becomes extremely minute. On the other hand, since the upper surface of the stage 200 is made flat, the contact area between the stage 200 and the glass G becomes wider, and when the transfer robot lifts the glass G placed on the stage 200, A large amount of static electricity is generated between the glass substrate 200 and the glass G so that cracks are generated in the glass G or a circuit or color filter formed by the semiconductor process or the like is damaged on the glass G.

이와 같은 문제점을 보완한 종래 구조의 다른 일예로, 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 글라스(G)가 놓여지는 스테이지(200)의 상면에 일정 깊이와 폭과 길이를 갖는 홈(240)들이 복수 개 형성된다. 그 홈(240)의 단면 형상이 사각 형태로 형성된다. 이와 같은 구조는 스테이지(200)와 글라스(G)의 접촉 면적이 줄어들어 그 스테이지(200)로부터 글라스(G)를 들어올릴 때 정전기의 발생을 다소 감소시키게 되나, 그 스테이지(200)의 상면에 단면이 사각 형태인 홈(240)들이 형성되므로 그 스테이지(200)의 청소시 청소 작업이 불편하게 될 뿐만 아니라 파티클이 많이 잔류하게 되는 단점이 있다.4, grooves 240 having a predetermined depth, width, and length are formed on the upper surface of the stage 200 on which the glass G is placed, Respectively. Sectional shape of the groove 240 is formed in a rectangular shape. Such a structure reduces the contact area between the stage 200 and the glass G so that the generation of static electricity is somewhat reduced when the glass G is lifted from the stage 200. However, Since the grooves 240 are formed in a rectangular shape, the cleaning operation is inconvenient when the stage 200 is cleaned, and a large amount of particles remain.

상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 고안한 본 발명의 목적은 스테이지의 청소 작업을 간단하게 할 뿐만 아니라 그 스테이지에서 글라스를 들어올릴 때 정전기의 발생을 최소화할 수 있도록 한 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a glass adsorption structure of a dispenser stage that not only simplifies the cleaning operation of the stage but also minimizes the generation of static electricity when lifting the glass from the stage .

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 글라스 등의 판이 놓여지며 내부에 유로가 형성된 스테이지와, 상기 스테이지의 유로에 연결되어 그 스테이지의 유로에 흡입압을 작용시키는 진공발생수단을 포함하여 구성되는 디스펜서에 있어서, 상기 글라스 등의 판이 놓여지는 스테이지의 면에 그 스테이지의 유로와 연통되게 형성되는 다수개의 흡착 구멍들과, 상기 흡착 구멍들의 열과 열사이에 경사면을 포함하도록 형성되어 글라스와의 접촉 면적을 감소시킴과 아울러 파티클의 유출을 원활하게 하는 경사홈들을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, there is a configuration including a stage in which a plate of glass or the like is placed and in which a flow path is formed, and a vacuum generating means connected to the flow path of the stage, A plurality of suction holes formed in the surface of the stage on which the plate such as the glass is placed to communicate with the flow path of the stage and a contact area between the heat transfer surface of the suction holes and the glass, And the inclined grooves that smooth the outflow of the particles. The glass adsorption structure of the dispenser stage is provided.

이하, 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the glass adsorption structure of the dispenser stage of the present invention will be described with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings.

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도 5, 6은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 일실시예가 구 비된 디스펜서 스테이지의 일예를 도시한 평면도 및 측면도이다.5 and 6 are a plan view and a side view showing an example of a dispenser stage having an embodiment of a glass adsorption structure of a dispenser stage of the present invention.

이에 도시한 바와 같이, 먼저, 상기 디스펜서 스테이지(700)는 일정 두께와 면적을 갖도록 형성된다.As shown in the drawing, the dispenser stage 700 is formed to have a predetermined thickness and area.

상기 스테이지(700)의 측면에 일정 간격을 두고 다수개의 메인 관통구멍(710)이 형성되고, 글라스(G)가 놓이는 스테이지(700)의 상면에 메인 관통구멍(710)을 따라 그 메인 관통구멍(710)과 연결되게 다수개의 미세한 흡착 구멍(720)들이 형성되며, 그 스테이지(700)의 하면에 상기 메인 관통구멍(710)들과 각각 연결되는 진공 유입구멍(730)들이 형성된다. A plurality of main through holes 710 are formed at regular intervals on the side surface of the stage 700 and the main through holes 710 are formed in the upper surface of the stage 700 on which the glass G is placed along the main through holes 710 A plurality of fine suction holes 720 are formed so as to be connected to the main through holes 710 and 710. Vacuum inlet holes 730 connected to the main through holes 710 are formed on the bottom surface of the stage 700.

그리고 상기 스테이지(700)의 상면에 상기 흡착 구멍(720)들의 열과 열사이에 두 개의 경사면(741)을 포함하는 경사홈(740)들이 형성된다. 상기 경사홈(740)은 스테이지(700)의 양측면을 연결하도록 형성되며, 그 경사홈(740)을 이루는 두 개의 경사면(741)은 평면이고 그 두 개의 경사 평면은 둔각을 이루는 것이 바람직하다. 상기 흡착 구멍(720)들의 열 양측에 위치하는 경사홈(740)과 경사홈(740)사이의 간격은 그 흡착 구멍(720) 내경의 2 ~ 4배인 것이 바람직하다. On the upper surface of the stage 700, inclined grooves 740 including two inclined surfaces 741 are formed between the heat and heat of the suction holes 720. The inclined grooves 740 are formed to connect both sides of the stage 700. It is preferable that the two inclined surfaces 741 constituting the inclined grooves 740 are planar and the two inclined planes form an obtuse angle. The distance between the inclined grooves 740 and the inclined grooves 740 located on both sides of the rows of the suction holes 720 is preferably 2 to 4 times the inner diameter of the suction holes 720.

상기 경사홈(740)의 다른 실시예로, 도 7에 도시한 바와 같이, 그 경사홈(740)은 두 개의 경사면(741)과 그 경사면(741)과 경사면(741)사이에 형성된 곡면(742)을 구비하여 이루어진다. 즉, 두 개의 경사면(741)이 형성되고 그 두 개의 경사면(741)이 만나는 부분에 곡면(742)이 형성된다.7, the inclined grooves 740 include two inclined surfaces 741 and curved surfaces 742 formed between the inclined surfaces 741 and the inclined surfaces 741. In this embodiment, . That is, two inclined surfaces 741 are formed, and a curved surface 742 is formed at a portion where the two inclined surfaces 741 meet.

상기 경사홈(740)의 또 다른 실시예로, 도 8에 도시한 바와 같이, 그 경사홈(740)은 두 개의 경사면(741)과 그 두 개의 경사면(741)사이에 일정 폭을 갖도록 형성된 평면(743)을 구비하여 이루어진다.8, the inclined groove 740 has two inclined surfaces 741 and a flat surface 741 formed to have a constant width between the two inclined surfaces 741. In this embodiment, (743).

상기 경사홈(740)의 또 다른 실시예로, 도 9에 도시한 바와 같이, 그 경사홈(740)은 두 개의 곡면(744)으로 이루어진다. 즉, 그 경사홈(740)의 단면 형상은 반구 형태로 형성된다.In another embodiment of the inclined groove 740, the inclined groove 740 is formed of two curved surfaces 744 as shown in FIG. That is, the cross-sectional shape of the inclined groove 740 is formed in a hemispherical shape.

상기 글라스(G)와 그 글라스(G)가 놓이는 상기 스테이지(700)의 상면사이에 접촉 면적을 최소화하기 위하여, 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 경사홈(740)을 구성하는 두 개의 경사면(741)들의 테두리선들이 상기 흡착 구멍(720)들의 테두리와 접선되도록 상기 경사홈(740)과 경사홈(740)사이의 간격(W)을 설정할 수 있다. 즉, 상기 경사홈(740)과 경사홈(740)사이의 간격(W)이 상기 흡착 구멍(720)의 내경(R)과 같게 형성될 수 있다.As shown in FIG. 10, in order to minimize the contact area between the glass G and the upper surface of the stage 700 on which the glass G is placed, two inclined surfaces (inclined surfaces) The interval W between the inclined grooves 740 and the inclined grooves 740 can be set so that the edge lines of the suction holes 720 are tangent to the edges of the suction holes 720. That is, the gap W between the inclined grooves 740 and the inclined grooves 740 may be equal to the inner radius R of the suction holes 720.

상기 메인 관통구멍(710)의 양끝은 밀폐되고, 상기 진공 유입구멍(730)은 별도로 설치된 진공 발생수단(미도시)과 연결된다.Both ends of the main through hole 710 are sealed, and the vacuum inlet hole 730 is connected to a separately provided vacuum generating means (not shown).

한편, 상기 스테이지(700)의 변형예로, 도 11에 도시한 바와 같이, 그 스테이지(700)는 일정 두께와 면적을 갖는 스테이지 베이스(750)와, 그 스테이지 베이스(750)의 일면에 결합되는 복수 개의 블럭(760)들을 포함하여 구성되며, 상기 복수 개의 블럭(760)들에 상기 흡착 구멍(720)들과 경사홈(740)들이 형성된다. 또한 상기 스테이지 베이스(750)의 측면에 다수 개의 메인 관통구멍(710)이 형성되고 그 스테이지 베이스(750)의 하면에 그 메인 관통구멍(710)과 연통되는 진공 유입구멍(730)이 형성된다. 상기 흡착 구멍(720)들은 상기 블럭(760)과 그 블럭(760)에 접면되는 스테이지 베이스(750)의 상면에 형성된다.11, the stage 700 includes a stage base 750 having a predetermined thickness and an area, and a stage base 700 coupled to one surface of the stage base 750 And includes a plurality of blocks 760, and the suction holes 720 and the inclined grooves 740 are formed in the plurality of blocks 760. A plurality of main through holes 710 are formed in the side surface of the stage base 750 and a vacuum inlet hole 730 is formed in the bottom surface of the stage base 750 to communicate with the main through hole 710. The suction holes 720 are formed on the upper surface of the stage base 750 which is in contact with the block 760 and the block 760.

한편, 본 발명의 다른 실시예로, 도 12, 13에 도시한 바와 같이, 본 발명은 글라스(G) 등의 판이 놓여지는 스테이지(700)의 면에 흡입력이 작용하는 다수개의 흡착 구멍(720)들이 형성되고, 그 흡착 구멍(720)들의 가로 열과 세로 열을 따라 그 흡착 구멍(720)들사이에 경사홈(740)들이 가로 방향과 세로 방향으로 형성된다. 그리고 그 흡착 구멍(720)의 가장자리에 그 흡착 구멍(720)과 동심원을 이루는 원형 접촉면(770)이 구비된다. 그 원형 접촉면(770)은 스테이지(700)의 상면 일부분이다.12 and 13, the present invention includes a plurality of suction holes 720 on the surface of a stage 700 on which a plate such as a glass (G) And inclined grooves 740 are formed between the suction holes 720 along the rows and columns of the suction holes 720 in the lateral direction and the longitudinal direction. A circular contact surface 770 concentric with the suction hole 720 is provided at the edge of the suction hole 720. The circular contact surface 770 is a portion of the upper surface of the stage 700.

이하, 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조의 작용을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the glass adsorption structure of the dispenser stage of the present invention will be described.

먼저, 스테이지(700) 위에 글라스(G)가 놓이게 되면 상기 진공 발생수단이 작동하여 공기를 흡입하게 되며 그 진공 발생수단의 흡입력이 진공 유입구멍(730)과 메인 관통구멍(710) 그리고 흡착 구멍(720)들을 통해 글라스(G)에 작용하게 된다. 그 흡입력이 글라스(G)에 작용함에 따라 그 글라스(G)가 스테이지(700)에 밀착 고정된다. 이때, 상기 글라스(G)는 스테이지(700)의 상면 중 경사홈(740)들사이에 위치하는 접촉면들과 접촉 지지된다. First, when the glass G is placed on the stage 700, the vacuum generating means operates to suck air, and the suction force of the vacuum generating means is transmitted to the vacuum inflow hole 730, the main through hole 710, 720 to act on the glass (G). As the suction force acts on the glass G, the glass G is tightly fixed to the stage 700. At this time, the glass G is held in contact with the contact surfaces located between the inclined grooves 740 in the upper surface of the stage 700.

그리고 상기 스테이지(700)위에 밀착 고정된 글라스(G)위에 액정을 적하시키는 공정이 끝나게 되면 상기 진공 발생수단의 작동이 정지되고, 그 진공 발생수단의 작동이 정지됨에 따라 글라스(G)에 작용하는 흡입력이 제거되어 그 글라스(G)가 스테이지(700)위에 움직임 가능하게 놓이게 된다. 그 스테이지(700)위에 놓여진 글라스(G)는 다음 공정을 위하여 별도의 이송 로봇(미도시)에 의해 이송된다.When the step of dropping the liquid crystal on the glass (G) closely fixed on the stage (700) is completed, the operation of the vacuum generating means is stopped and the operation of the vacuum generating means is stopped, The suction force is removed so that the glass G is placed on the stage 700 in a movable manner. The glass G placed on the stage 700 is transported by a separate transfer robot (not shown) for the next process.

한편, 본 발명의 다른 실시예의 경우 상기 스테이지(700)의 흡착 구멍(720)들의 가장자리에 그 흡착 구멍(720)과 동심원으로 형성된 원형 접촉면(770)들과 상기 글라스(G)가 접촉하게 된다.Meanwhile, according to another embodiment of the present invention, the glass G is brought into contact with the edge of the suction holes 720 of the stage 700 and the circular contact surfaces 770 formed concentrically with the suction holes 720.

본 발명은 스테이지(700)에 흡착 구멍(720)들을 형성하고 그 스테이지(700)의 상면에 경사면(741)들이 구비된 경사홈(740)들을 형성하게 됨으로써 상기 글라스(G)와 스테이지(700)의 접촉 면적을 최소화하게 되어 그 글라스(G)를 스테이지(700)에서 들어올릴 때 글라스(G)와 스테이지(700)사이에서 발생되는 정전기를 최소화시키게 된다. 뿐만 아니라, 스테이지(700)를 청소할 때 그 경사홈(740)이 두 개의 경사면(741)을 포함하도록 형성됨으로써 청소 작업이 수월하게 될 뿐만 아니라 그 경사홈(740)들에 파티클이 잔류하는 것을 방지하게 된다.The present invention forms suction holes 720 in the stage 700 and forms the inclined grooves 740 having the inclined surfaces 741 on the upper surface of the stage 700 so that the glass G and the stage 700, The static electricity generated between the glass G and the stage 700 when the glass G is lifted from the stage 700 is minimized. In addition, when the stage 700 is cleaned, the inclined grooves 740 are formed to include the two inclined surfaces 741, thereby facilitating the cleaning work and preventing the particles from remaining in the inclined grooves 740 .

또한, 본 발명의 다른 실시예의 경우 글라스(G)가 스테이지(700)의 흡착 구멍(720)과 동심원으로 형성된 원형 접촉면(770)들과 접촉하게 되므로 그 글라스(G)를 스테이지(700)에서 들어올릴 때 글라스(G)와 스테이지(700)사이에서 발생되는 정전기를 더욱 줄일 수 있게 된다.In another embodiment of the present invention, since the glass G is brought into contact with the circular contact surfaces 770 concentrically formed with the attraction holes 720 of the stage 700, the glass G is lifted from the stage 700 The static electricity generated between the glass G and the stage 700 can be further reduced.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조는 글라스와 스테이지사이의 정전기 발생을 최소화하게 되므로 정전기로 인하여 글라스에 크랙이 발생되는 것을 방지하게 될 뿐만 아니라 그 글라스에 형성된 회로의 파손을 방지하게 되어 글라스의 불량률을 줄이게 된다.As described above, the glass adsorption structure of the dispenser stage of the present invention minimizes the generation of static electricity between the glass and the stage, thereby preventing the generation of cracks in the glass due to the static electricity and also the breakage of the circuit formed in the glass So that the defective ratio of the glass can be reduced.

또한 스테이지에 파티클이 잔류하는 것을 최소화하게 되므로 그 스테이지에 놓이는 글라스에 파티클이 달라붙는 것을 방지하게 되어 글라스의 불량률을 더욱 줄이게 되는 효과가 있다.In addition, since particles remaining on the stage are minimized, it is possible to prevent the particles from sticking to the glass placed on the stage, thereby further reducing the defective ratio of the glass.

Claims (11)

글라스 등의 판이 놓여지며 내부에 유로가 형성된 스테이지와;A stage on which a plate of glass or the like is placed and in which a flow path is formed; 상기 스테이지의 유로에 연결되어 그 스테이지의 유로에 흡입압을 작용시키는 진공발생수단을 포함하여 구성된 디스펜서에 있어서;And a vacuum generating means connected to the flow path of the stage to apply a suction pressure to the flow path of the stage, the dispenser comprising: 글라스 등의 판이 놓여지는 스테이지의 면에 그 스테이지의 유로와 연통되게 형성되는 다수개의 흡착 구멍들과;A plurality of suction holes formed on a surface of a stage on which a plate of a glass or the like is placed to be communicated with a flow path of the stage; 상기 흡착 구멍들의 열과 열사이에 경사면을 포함하도록 형성되어 글라스와의 접촉 면적을 감소시킴과 아울러 파티클의 유출을 원활하게 하는 경사홈들을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.Wherein the inclined grooves are formed to include an inclined surface on the heat of the suction holes to reduce a contact area with the glass and to smooth the outflow of the particles. 제 1 항에 있어서, 상기 경사홈은 두 개의 경사면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The glass absorption structure of a dispenser stage according to claim 1, wherein the inclined grooves are formed of two inclined surfaces. 제 2 항에 있어서, 상기 두 개의 경사면은 각각 평평하게 형성된 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The glass adsorption structure of claim 2, wherein the two inclined surfaces are each flat. 제 2 항에 있어서, 상기 두 개의 경사면은 각각 라운딩지게 형성된 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The glass absorption structure of a dispenser stage according to claim 2, wherein the two inclined surfaces are rounded. 제 1 항에 있어서, 상기 경사홈과 경사홈사이의 간격은 그 경사홈과 경사홈사이에 위치하는 흡착 구멍 내경의 2 ~ 4배인 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The glass adsorption structure of a dispenser stage as claimed in claim 1, wherein a distance between the inclined grooves and the inclined grooves is 2 to 4 times the inner diameter of the suction holes located between the inclined grooves and the inclined grooves. 제 1 항에 있어서, 상기 경사홈의 양측 테두리선은 각각 상기 흡착 구멍과 접선되는 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The glass adsorption structure of a dispenser stage according to claim 1, wherein both side edge lines of the inclined grooves are tangent to the suction holes. 제 1 항에 있어서, 상기 경사홈은 두 개의 경사면들과 그 두 개의 경사면들사이에 형성되는 곡면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The glass absorption structure of a dispenser stage according to claim 1, wherein the inclined grooves are formed of two inclined surfaces and curved surfaces formed between the two inclined surfaces. 제 1 항에 있어서, 상기 경사홈은 두 개의 경사면들과 그 두 개의 경사면들사이에 일정 폭을 갖도록 형성된 평면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The glass absorption structure of a dispenser stage according to claim 1, wherein the inclined grooves are formed by two inclined planes and planes formed to have a constant width between the two inclined planes. 제 2 항에 있어서, 상기 두 개의 경사면은 둔각을 이루는 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조. The glass adsorption structure of claim 2, wherein the two inclined surfaces form an obtuse angle. 제 1 항에 있어서, 상기 경사홈들은 흡착 구멍들의 세로 열과 가로 열을 따라 가로 방향과 세로 방향으로 형성되며, 그 흡착 구멍의 가장자리에 그 흡착 구멍과 동심원을 이루는 접촉면이 구비된 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The dispenser according to claim 1, wherein the inclined grooves are formed in a transverse direction and a longitudinal direction along a longitudinal direction and a transverse direction of the suction holes, and a contact surface concentric with the suction hole is provided at an edge of the suction hole. Glass absorption structure of stage. 제 1 항에 있어서, 상기 스테이지는 일정 두께와 면적을 갖는 스테이지 베이스와 그 스테이지 베이스의 일면에 결합되는 복수 개의 블럭들을 포함하여 구성되며, 상기 복수 개의 블럭들에 상기 흡착 구멍들과 경사홈들이 형성된 것을 특징으 로 하는 디스펜서 스테이지의 글라스 흡착구조.The method according to claim 1, wherein the stage comprises a stage base having a predetermined thickness and an area, and a plurality of blocks coupled to one surface of the stage base, wherein the plurality of blocks are formed with the suction holes and the inclined grooves The glass adsorption structure of the dispenser stage.
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