KR100595309B1 - Device for fixing mask and Ultraviolet curing device using the same - Google Patents

Device for fixing mask and Ultraviolet curing device using the same Download PDF

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Abstract

본 발명은 사각프레임, 및 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 플레이트 형상물로 구성된 하부 기구물; 및 상기 플레이트 형상물의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 마스크 고정장치 및 그를 이용한 UV조사장치에 관한 것이다.The present invention comprises a lower frame consisting of a rectangular frame, and a plate-like formed on the inner surface of the rectangular frame and having a first fastening portion; And an upper mechanism provided with a second fastening portion corresponding to the first fastening portion of the plate-shaped article, and a UV irradiating apparatus using the same.

본 발명은 또한, 사각프레임, 및 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 UV투과 물질의 평판으로 구성된 하부 기구물; 및 상기 평판의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 마스크 고정장치 및 그를 이용한 UV조사장치에 관한 것이다.The present invention also includes a rectangular frame, and a lower mechanism formed on the inner surface of the rectangular frame and composed of a flat plate of UV transmitting material provided with a first fastening portion; And an upper mechanism provided with a second fastening portion corresponding to the first fastening portion of the flat plate, and a UV irradiating apparatus using the same.

이와 같은 본 발명에 따르면 기판 상에 형성된 배향막 및 박막트랜지스터 등의 소자특성에 악영향을 미치지 않고 씨일재를 경화시킬 수 있다. According to the present invention, the seal material can be cured without adversely affecting device characteristics such as an alignment film and a thin film transistor formed on the substrate.

UV조사, 마스크, 마스크 고정 UV irradiation, mask, mask fixing

Description

마스크 고정장치 및 그를 이용한 ＵＶ조사장치{Device for fixing mask and Ultraviolet curing device using the same}Device for fixing mask and ultraviolet curing device using the same

도 1은 일반적인 액정표시소자의 개략적 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of a general liquid crystal display device.

도 2는 종래의 UV경화형 씨일재를 경화시키기 위한 UV조사장치의 개략적 사시도이다.2 is a schematic perspective view of a UV irradiation apparatus for curing a conventional UV curing seal material.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 UV조사장치의 개략적 사시도이다.3 is a schematic perspective view of a UV irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도이다.Figure 4a is a perspective view of a mask fixing device according to an embodiment of the present invention.

도 4b는 도 4a의 마스크 고정장치에 고정된 마스크를 위에서 본 평면도이다.4B is a plan view of the mask fixed to the mask holding device of FIG. 4A seen from above.

도 4c는 도 4b의 A-A라인을 자른 단면도이다.4C is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 4B.

도 5 내지 도 7은 각각 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 UV조사장치용 마스크 고정장치의 사시도이다.5 to 7 are perspective views of a mask fixing device for the UV irradiator according to another embodiment of the present invention, respectively.

도 8a는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도이다.8A is a perspective view of a mask fixing device according to another embodiment of the present invention.

도 8b는 도 8a의 마스크 고정장치에 고정된 마스크를 위에서 본 평면도이다.FIG. 8B is a plan view from above of a mask fixed to the mask holding device of FIG. 8A.

도 8c는 도 8b의 B-B라인을 자른 단면도이다.FIG. 8C is a cross-sectional view taken along the line B-B of FIG. 8B.

도 9는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 UV조사장치용 마스크 고정장치의 사시도이다.9 is a perspective view of a mask fixing device for UV irradiation apparatus according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

100 : 기판 스테이지 200 : UV광원부 100: substrate stage 200: UV light source

300 : 마스크 400 : 하부기구물300: mask 400: lower fixture

410 : 사각프레임 420 : 플레이트 형상물410: square frame 420: plate shape

430 : 평판 450 : 제1체결부 430: reputation 450: first connection

500, 510, 520 : 상부기구물 550 : 제2체결부 500, 510, 520: upper part 550: second fastening part

600 : 체결구 600: fastener

본 발명은 액정표시소자(Liquid Crystal Display : LCD)의 제조장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 UV(Ultraviolet)경화형 씨일재를 경화시키기 위한 UV조사장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a liquid crystal display (LCD), and more particularly, to a UV irradiation apparatus for curing a UV (ultraviolet) curing type sealing material.

표시화면의 두께가 수 센치미터(cm)에 불과한 초박형의 평판표시소자(Flat Panel Display), 그 중에서도 액정표시소자는 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다.Ultra-thin flat panel displays with a display screen thickness of only a few centimeters (cm). Among them, liquid crystal displays have low operating voltages, which consume less power and can be used as portable devices. Applications range from monitors to spacecraft to aircraft.

이와 같은 액정표시소자는 일반적으로 도 1과 같이, 박막트랜지스터 (미도시), 화소전극(3), 및 배향막(미도시)이 형성되어 있는 하부기판(1)과, 차광막(4), 칼라필터층(6), 공통전극(8), 및 배향막(미도시)이 차례로 형성되어 있는 상부기판(2)과, 그리고 상기 양 기판(1, 2) 사이에 형성되어 있는 액정층(5)으로 구성되어 있으며, 상기 화소전극(5)과 공통전극(8)에 의해 양 기판(1, 2) 사이에 전기장이 형성되어 액정층(5)이 구동되고, 그 구동되는 액정층(5)을 통해서 광투과도가 조절되어 화상이 디스플레이되게 된다.Such a liquid crystal display device generally includes a lower substrate 1 on which a thin film transistor (not shown), a pixel electrode 3, and an alignment layer (not shown) are formed, a light blocking film 4, and a color filter layer, as shown in FIG. 1. (6), the common electrode 8, and the upper substrate 2 in which the alignment film (not shown) are formed in turn, and the liquid crystal layer 5 formed between the substrates 1 and 2, respectively. An electric field is formed between the substrates 1 and 2 by the pixel electrode 5 and the common electrode 8 to drive the liquid crystal layer 5, and the light transmittance through the driven liquid crystal layer 5. Is adjusted so that the image is displayed.

또한, 상기 양 기판(1, 2) 사이에는 액정(5)이 바깥으로 새는 것을 방지하고 양 기판을 접착하기 위해서 씨일재(10)가 형성되어 있다. Moreover, the sealing material 10 is formed between the said board | substrates 1 and 2 in order to prevent the liquid crystal 5 from leaking out, and to adhere | attach both board | substrates.

상기 씨일재(10)는 상기 하부기판(1) 또는 상부기판(2) 위에 도포된 후 양 기판(1, 2)의 합착 공정을 거쳐 경화공정을 통해 경화되는데, 열에 의해 경화되는 열경화형 씨일재와 UV에 의해 경화되는 UV경화형 씨일재로 나뉜다.The seal material 10 is applied on the lower substrate 1 or the upper substrate 2, and then cured through a curing process through the bonding process of both substrates 1 and 2, which is cured by heat. It is divided into UV curing type sealing material which is cured by and UV.

한편, 이와 같은 열경화형 또는 UV경화형 씨일재는 액정표시소자의 제조방식에 따라 변경하여 선택될 수 있다.On the other hand, such a thermosetting or UV curing seal material may be selected by changing depending on the manufacturing method of the liquid crystal display device.

즉, 하부기판과 상부기판을 제조한 후 양 기판을 합착하고 그 후에 모세관현상과 압력차를 이용하여 합착기판에 액정을 주입시키는 소위 진공주입방식에 있어서는, 양 기판을 합착한 후 액정을 주입하기 전에 씨일재의 경화공정을 수행하므로 일반적으로 씨일재가 가열되는 동안 흘러나온다 하더라도 액정을 오염시킬 염려가 없으므로 열경화형 씨일재를 주로 사용한다. That is, in the so-called vacuum injection method in which the lower substrate and the upper substrate are manufactured and then the two substrates are bonded together, and then the liquid crystal is injected into the bonded substrate using capillary phenomenon and the pressure difference, the liquid crystal is injected after the two substrates are bonded together. Since the curing process of the seal material is performed before, there is no fear of contaminating the liquid crystal even if the seal material flows during heating. Therefore, a thermosetting seal material is mainly used.

그러나, 하부기판과 상부기판을 제조한 후 양 기판 중 어느 하나의 기판에 액정을 적하하고 양 기판을 합착하는 소위 액정적하방식에 있어서는, 액정층이 형성된 후에 씨일재의 경화공정을 수행하므로 열경화형 씨일재를 사용하면 씨일재가 가열되는 동안 흘러나와 액정을 오염시키게 된다. 따라서, 이와 같은 액정적하방식 에 의해 액정표시소자를 제조하는 경우에는 UV경화형 씨일재를 주로 사용하게 된다.However, in the so-called liquid crystal dropping method in which a liquid crystal is dropped on one of the two substrates and the two substrates are bonded after the lower substrate and the upper substrate are manufactured, the curing process of the sealing material is performed after the liquid crystal layer is formed. If the material is used, it flows out while the seal material is heated, contaminating the liquid crystal. Therefore, when the liquid crystal display device is manufactured by the liquid crystal dropping method, the UV-curable seal material is mainly used.

도 2는 이와 같이 종래의 액정적하방식에 의한 액정표시소자에서 UV경화형 씨일재를 경화시키기 위한 UV조사장치의 개략도로서, 종래의 UV조사장치는 도 2와 같이 기판 스테이지(20)와 상기 기판 스테이지(20) 상측에 위치되며 UV램프(32)가 구비된 UV광원부(30)로 이루어져 있다.FIG. 2 is a schematic view of a UV irradiation apparatus for curing a UV-curable seal material in a liquid crystal display device according to the conventional liquid crystal dropping method. The conventional UV irradiation apparatus includes a substrate stage 20 and the substrate stage as shown in FIG. 20 is located on the upper side and consists of a UV light source unit 30 is provided with a UV lamp (32).

이와 같은 종래의 UV조사장치를 이용한 씨일재의 경화공정은 상기 UV조사장치의 기판 스테이지(20)에 UV경화형 씨일재(10)가 형성되어 있는 합착기판을 안착한 후 상기 UV광원부(30)에서 UV를 조사하여 수행하게 된다. In the curing process of the seal material using the conventional UV irradiation device as described above, after mounting the bonded substrate on which the UV curing type seal material 10 is formed on the substrate stage 20 of the UV irradiation device, UV is emitted from the UV light source unit 30. Investigate and perform.

한편, 종래의 UV조사장치는 UV광원부(30)에서 조사되는 UV가 합착기판이 안착되는 기판 스테이지(20)의 전면에 조사되도록 되어 있어, 결과적으로 합착기판의 전면에 UV가 조사되게 된다. On the other hand, the conventional UV irradiation apparatus is such that the UV irradiated from the UV light source unit 30 is irradiated to the front surface of the substrate stage 20 on which the bonded substrate is seated, and as a result UV is irradiated onto the entire surface of the bonded substrate.

그러나, 이와 같이 합착기판의 전면에 UV가 조사되게 되면, 기판 상에 형성된 박막트랜지스터 등의 소자 특성에 악영향이 미치게 되고, 액정의 초기배향을 위해 형성된 배향막의 프리틸트각(pretilt angle)이 변하게 되는 문제점이 발생된다. However, when UV is irradiated on the entire surface of the bonded substrate as described above, the characteristics of devices such as thin film transistors formed on the substrate are adversely affected, and the pretilt angle of the alignment layer formed for the initial alignment of the liquid crystal is changed. Problems arise.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 배향막 및 박막트랜지스터 등의 특성에 악영향을 미치지 않고 UV경화형 씨일재를 경화시킬 수 있도록, 씨일재 형성영역 이외의 영역으로의 UV조사를 차단하는 마스크를 구비한 UV조사장치를 제공하는 것이다. The present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to cure the UV-curable seal material without adversely affecting the characteristics of the alignment film, thin film transistor, etc., UV to the region other than the seal material forming region It is to provide a UV irradiation apparatus having a mask that blocks the irradiation.                         

본 발명의 다른 목적은 상기 마스크를 효과적으로 고정시키기 위한 마스크 고정장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a mask fixing device for effectively fixing the mask.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 기판 스테이지; UV광원부; 상기 기판 스테이지 및 UV광원부 사이에 형성된 마스크; 및 상기 마스크를 고정하는 마스크 고정장치로 이루어진 UV조사장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a substrate stage; UV light source; A mask formed between the substrate stage and the UV light source portion; And it provides a UV irradiation device consisting of a mask fixing device for fixing the mask.

또한, 본 발명은 사각프레임, 및 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 플레이트 형상물로 구성된 하부 기구물; 및 상기 플레이트 형상물의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 UV조사장치용 마스크 고정장치를 제공한다.In addition, the present invention comprises a lower frame consisting of a rectangular frame, and a plate-like formed on the inner surface of the rectangular frame and having a first fastening portion; And an upper mechanism provided with a second fastening part corresponding to the first fastening part of the plate-shaped part.

또한, 본 발명은 사각프레임, 및 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 UV투과 물질의 평판으로 구성된 하부 기구물; 및 상기 평판의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 UV조사장치용 마스크 고정장치를 제공한다.In addition, the present invention is a rectangular frame, and formed on the inner surface of the rectangular frame, the lower mechanism consisting of a flat plate of UV transmission material provided with a first fastening portion; And an upper mechanism provided with a second fastening part corresponding to the first fastening part of the flat plate.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 UV조사장치의 개략도로서, 도 3과 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 UV조사장치는 기판 스테이지(100); UV광원부(200); 상기 기판 스테이지(100) 및 UV광원부(200) 사이에 형성된 마스크(300); 및 상기 마스크(300)를 고정하는 하부기구물(400) 및 상부기구물(500)로 구성된 마스크 고정장치로 이루어져 있다.3 is a schematic view of a UV irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention, the UV irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention as shown in Figure 3 includes a substrate stage (100); UV light source unit 200; A mask 300 formed between the substrate stage 100 and the UV light source unit 200; And it consists of a mask fixing device consisting of a lower mechanism 400 and the upper mechanism 500 for fixing the mask 300.

상기 기판 스테이지(100)는 씨일재(750)가 형성된 합착기판(700)이 안착되는 곳으로서, 대량 생산을 위해서 컨베이어 벨트 등을 이용하여 이동가능 하도록 형성될 수 있다.The substrate stage 100 is a place where the bonded substrate 700 on which the seal member 750 is formed is seated, and may be formed to be movable using a conveyor belt for mass production.

상기 UV광원부(200)에는 UV램프(210)가 형성되어 있는데, 도면에는 하나의 UV램프만이 도시되어 있으나, 기판이 대면적화 됨에 따라 복수개의 UV램프가 형성될 수 있다.The UV light source unit 200 is formed with a UV lamp 210. Although only one UV lamp is shown in the drawing, a plurality of UV lamps may be formed as the substrate becomes larger.

상기 마스크(300)는 합착기판(700)의 씨일재(750) 형성 영역으로만 UV가 조사되도록 상기 씨일재(750) 패턴과 동일한 패턴(310)이 형성되어 있다. 따라서, 액정표시소자의 모델이 변경되어 씨일재(750) 패턴이 변경되면 상기 마스크 패턴(310)도 변경하여 형성된다. The mask 300 is formed with the same pattern 310 as the seal material 750 pattern so that UV is irradiated only to the seal material 750 forming region of the bonded substrate 700. Therefore, when the model of the liquid crystal display is changed and the seal material 750 pattern is changed, the mask pattern 310 is also changed.

이와 같은 마스크(300)는 상기 하부기구물(400)과 상부기구물(500) 사이에 위치되어 고정되는데, 상기 하부기구물(400)과 상부기구물(500)의 구조, 및 상기 마스크(300)가 마스크 고정장치에 고정되는 모습을 이하에 설명한다.Such a mask 300 is positioned and fixed between the lower mechanism 400 and the upper mechanism 500, the structure of the lower mechanism 400 and the upper mechanism 500, and the mask 300 is fixed to the mask The fixing to the apparatus is described below.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도이고, 도 4b는 도 4a의 마스크 고정장치에 고정된 마스크를 위에서 본 평면도이고, 도 4c는 도 4b의 A-A라인을 자른 단면도이다.Figure 4a is a perspective view of a mask holding device according to an embodiment of the present invention, Figure 4b is a plan view from above of the mask fixed to the mask holding device of Figure 4a, Figure 4c is a cross-sectional view taken along the line A-A of Figure 4b.

도 4a와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 고정장치는 하부기구물(400), 상부기구물(510), 그리고 상기 하부기구물(400)에 상부기구물(510)을 체결하기 위한 체결구(600)로 이루어져 있다.As shown in Figure 4a, the mask fixing device according to an embodiment of the present invention is a fastener 600 for fastening the upper mechanism 510, the lower mechanism 400, the upper mechanism 510, and the lower mechanism 400. )

이때, 상기 하부기구물(400)은 사각프레임(410), 및 상기 사각프레임(410)의 안쪽 면에 형성된 플레이트 형상물(420)로 이루어져 있고, 상기 플레이트 형상물(420)에는 제1체결부(450)가 형성되어 있다. At this time, the lower mechanism 400 is composed of a rectangular frame 410, and a plate-like article 420 formed on the inner surface of the rectangular frame 410, the first fastening portion 450 to the plate-shaped article 420 Is formed.

상기 플레이트 형상물(420)은 마스크를 지지하는 지지부로서 작용하는 것으로서, 도면에는 상기 사각프레임(410)의 좌우면에 형성되어 있으나, 사각프레임(410)의 상하면에 형성될 수도 있다. The plate shape 420 acts as a support for supporting a mask, but is formed on the left and right sides of the square frame 410 in the drawing, but may be formed on the upper and lower surfaces of the square frame 410.

상기 상부기구물(510)은 한 쌍의 일자형 기구물의 형상으로, 상기 상부기구물(510)에는 상기 플레이트 형상물(420)의 제1체결부(450)에 대응하도록 제2체결부(550)가 형성되어 있다. The upper mechanism 510 is in the shape of a pair of straight appliances, the upper mechanism 510 is formed with a second fastening portion 550 to correspond to the first fastening portion 450 of the plate-like article 420 have.

이와 같은 상부기구물(510)은 하부기구물(400)의 사각프레임(410) 안쪽에 형성된 플레이트 형상물(420)에 체결되는 것으로 그에 대응하는 크기로 형성된다. The upper mechanism 510 is fastened to the plate-shaped article 420 formed inside the square frame 410 of the lower mechanism 400 and is formed in a size corresponding thereto.

상기 구성의 마스크 고정장치에 마스크를 고정하는 방법은 도 4b 및 도 4c에서 알 수 있듯이, 상기 하부기구물(400)의 플레이트 형상물(420)에 마스크(300)를 위치시키고, 그 위에 상기 상부기구물(510)을 위치시킨 후, 상기 플레이트 형상물(420)의 제1체결부(450)와 상기 상부기구물(510)의 제2체결부(550)에 체결구(600)를 형성함으로써, 결국 마스크(300)를 고정시키게 된다. The method of fixing the mask to the mask fixing device of the above configuration, as can be seen in Figures 4b and 4c, the mask 300 is placed on the plate-like 420 of the lower mechanism 400, and the upper mechanism ( After positioning the 510, the fastener 600 is formed on the first fastening portion 450 of the plate-like article 420 and the second fastening portion 550 of the upper mechanism 510, thereby eventually forming a mask 300. ) Is fixed.

한편, 전술한 바와 같이 마스크(300)는 제품 모델에 따라 그 패턴이 변경되어 교체되어야 한다. 따라서, 상기 체결구(600)는 상기 하부기구물(400)에 상부기구물(510)을 영구적으로 체결하는 것이 아니라, 볼트 등과 같이 탈착이 가능한 것이 바람직하다.On the other hand, as described above, the mask 300 must be replaced by changing its pattern according to the product model. Accordingly, the fastener 600 is not capable of permanently fastening the upper mechanism 510 to the lower mechanism 400, but may be detachable such as a bolt.

또한, 상기 마스크(300)의 패턴(310)은 UV가 통과되어 합착기판의 씨일재에 UV가 조사되는 영역이므로, 상기 마스크(300)의 패턴(310)이 상기 마스크 고정장치 내부까지 침입한 경우는 결과적으로 합착기판의 씨일재에 UV가 조사되지 않게 된다. 따라서, 상기 마스크(300)를 고정하고 있는 하부기구물의 플레이트 형상물(420)과 상부기구물(510)은 아크릴, 석영 등과 같은 UV가 투과가 가능한 물질로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, since the pattern 310 of the mask 300 is a region through which UV is transmitted and UV is irradiated onto the sealing material of the bonded substrate, the pattern 310 of the mask 300 invades the inside of the mask fixing device. As a result, UV is not irradiated on the sealing material of the bonded substrate. Therefore, the plate-like article 420 and the upper fixture 510 of the lower fixture fixing the mask 300 are preferably formed of a material that can transmit UV such as acrylic and quartz.

도 5 내지 도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 UV조사장치용 마스크 고정장치의 사시도로서, 하부기구물과 상부기구물 사이에 마스크를 위치시켜 고정시키는 것은 전술한 실시예와 동일하다.5 to 7 is a perspective view of a mask fixing device for a UV irradiation apparatus according to another embodiment of the present invention, the fixing and positioning of the mask between the lower mechanism and the upper mechanism is the same as the above-described embodiment.

도 5에 도시된 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치는 상부기구물의 형상을 제외하고 도 4a에 도시된 마스크 고정장치와 동일하다. 따라서, 동일한 도면부호를 부여하였고, 동일한 부분의 설명은 생략하기로 한다. The mask fixing device according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 5 is the same as the mask fixing device shown in FIG. 4A except for the shape of the upper mechanism. Therefore, the same reference numerals are given, and description of the same parts will be omitted.

도 5에 도시된 본 발명 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치는 상부기구물로서 한 쌍의 일자형 기구물을 사용한 것이 아니라, 사각형 기구물(520)을 사용한 것에 관한 것이다. 이와 같이, 사각형 기구물(520)을 상부기구물로서 사용함으로써 보다 안정적으로 마스크를 고정시킬 수 있다.Mask fixing device according to another embodiment of the present invention shown in Figure 5 relates to the use of a rectangular instrument 520, rather than using a pair of straight instruments as the upper mechanism. As such, by using the rectangular instrument 520 as the upper instrument, the mask can be more stably fixed.

도 6에 도시된 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치는 하부기구물(400)의 플레이트 형상물(420)을 상하 또는 좌우에 형성시킨 것이 아니라, 상하 및 좌우 모두에 형성시켜 보다 안정적으로 마스크를 지지할 수 있도록 한 것이다. 그 외는 도 4a에 도시된 마스크 고정장치와 동일하다.The mask fixing device according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 6 is not formed on the upper and lower sides or the left and right sides of the plate-shaped object 420 of the lower mechanism 400, so that it is more stably formed. This is to support the mask. The rest is the same as the mask holding device shown in Fig. 4A.

도 7에 도시된 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치는 하부 기구물(400)의 플레이트 형상물(420)을 상하 및 좌우 모두에 형성시키고, 상부기구물로서 사각형 기구물(520)을 사용한 것이다. Mask fixing device according to another embodiment of the present invention shown in Figure 7 is to form a plate-like 420 of the lower mechanism 400 in both up and down, left and right, using a rectangular instrument 520 as the upper mechanism .

이와 같이 마스크를 안정적으로 고정시키기 위해서는 마스크와 마스크를 지지하는 마스크 고정장치의 접촉면을 증가시키면 된다. As described above, in order to stably fix the mask, the contact surface between the mask and the mask fixing device supporting the mask may be increased.

도 8a는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도이고, 도 8b는 도 8a의 마스크 고정장치에 고정된 마스크를 위에서 본 평면도이고, 도 8c는 도 8b의 B-B라인을 자른 단면도이다.FIG. 8A is a perspective view of a mask fixing device according to another embodiment of the present invention. FIG. 8B is a plan view of a mask fixed to the mask fixing device of FIG. 8A, and FIG. 8C is a cross-sectional view of the mask line of FIG. 8B. to be.

도 8a, 도 8b 및 도 8c에서 알 수 있듯이, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치는 하부기구물(400)의 사각프레임(410) 안쪽 내면에 평판(430)이 형성되어 있어 마스크의 전면을 지지할 수 있도록 한 것이다. 따라서, 마스크와 마스크 고정장치의 접촉면이 최대화되어 마스크를 보다 더 안정적으로 고정시킬 수 있다. As can be seen in Figures 8a, 8b and 8c, the mask fixing device according to another embodiment of the present invention is a flat plate 430 is formed on the inner inner surface of the square frame 410 of the lower mechanism 400 mask It is to support the front of the. Therefore, the contact surface between the mask and the mask holding device can be maximized to more securely fix the mask.

이때, 마스크에 형성된 패턴에 UV가 조사되도록 하기 위해서 상기 평판(430)은 아크릴 또는 석영과 같이 UV투과물질로 구성된다. 그 외는 도 4a에 도시한 실시예에 동일하고, 따라서 동일한 도면부호를 부여하였다. In this case, in order to irradiate UV to the pattern formed on the mask, the flat plate 430 is made of a UV-transmitting material, such as acrylic or quartz. Others are the same as those in the embodiment shown in FIG. 4A, and therefore the same reference numerals are given.

도 9는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도로서, 상부기구물로서 사각형 기구물(520)을 사용한 것을 제외하고 도 8a에 도시한 실시예와 동일하다. 9 is a perspective view of a mask fixing apparatus according to another embodiment of the present invention, which is the same as the embodiment shown in FIG. 8A except that a rectangular instrument 520 is used as the upper instrument.

본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 범위내에서 변경 실시될 수 있을 것이다.The present invention is not limited to the above embodiments, but may be modified within the scope obvious to those skilled in the art.

본 발명에 따르면 UV경화형 씨일재 형성 영역 이외의 영역을 마스크로 가리고 UV조사를 수행할 수 있어 합착기판 상에 형성된 배향막 및 박막트랜지스터 등의 특성에 악영향을 미치지 않고 UV경화형 씨일재를 경화시킬 수 있다.According to the present invention, the UV curable seal material can be cured without adversely affecting the properties of the alignment film and the thin film transistor formed on the bonded substrate by covering the area other than the UV curable seal material forming area with a mask. .

또한, 본 발명에 따른 마스크 고정장치는 상기 마스크를 보다 효율적으로 고정시킬 수 있으며, 합착기판의 씨일재 패턴이 변경되어 마스크 패턴이 변경된다 하더라도 다양하게 적용 가능하다.

In addition, the mask fixing device according to the present invention can be fixed to the mask more efficiently, even if the mask pattern is changed by the seal material pattern of the bonded substrate is variously applicable.

Claims (12)

사각프레임, 및 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 플레이트 형상물로 구성된 하부 기구물; 및A lower mechanism including a rectangular frame and a plate shape formed on an inner surface of the rectangular frame and having a first fastening portion; And 상기 플레이트 형상물의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 UV조사장치용 마스크 고정장치.Mask fixing device for the UV irradiation apparatus including an upper mechanism having a second fastening portion corresponding to the first fastening portion of the plate-shaped. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 플레이트 형상물은 상기 사각프레임의 좌우 또는 상하의 마주보는 한 쌍의 면에 형성된 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. The plate-shaped article is a mask fixing device for UV irradiation apparatus, characterized in that formed on a pair of faces facing left and right or up and down of the square frame. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 플레이트 형상물은 상기 사각프레임의 좌우 및 상하의 네 면에 형성된 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치.The plate-shaped material is a mask fixing device for UV irradiation apparatus, characterized in that formed on four sides of the left and right and top and bottom of the square frame. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 플레이트 형상물은 UV투과물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. The plate-shaped mask fixing device for UV irradiation apparatus, characterized in that consisting of a UV transmission material. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 플레이트 형상물은 UV투과가 가능한 아크릴 또는 석영으로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치.The plate-shaped article is a UV fixing device mask fixing device, characterized in that made of acrylic or quartz capable of UV transmission. 사각프레임, 및 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 UV투과 물질의 평판으로 구성된 하부 기구물; 및A lower mechanism including a rectangular frame and a flat plate formed of an inner surface of the rectangular frame and having a first fastening portion; And 상기 평판의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 UV조사장치용 마스크 고정장치.Mask fixing device for the UV irradiation apparatus including an upper mechanism having a second fastening portion corresponding to the first fastening portion of the plate. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 평판은 UV투과가 가능한 아크릴 또는 석영으로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치.The flat plate is a UV fixing device mask fixing device, characterized in that made of UV or acrylic capable of transmitting. 제 1항 또는 제 6항에 있어서,The method according to claim 1 or 6, 상기 상부기구물은 한 쌍의 일자형 기구물로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치.The upper fixture is a mask fixing device for UV irradiation apparatus, characterized in that consisting of a pair of straight instruments. 제 1항 또는 제 6항에 있어서,The method according to claim 1 or 6, 상기 상부기구물은 사각형 기구물로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치.The upper fixture is a mask fixing device for UV irradiation apparatus, characterized in that consisting of a rectangular fixture. 제 1항 또는 제 6항에 있어서,The method according to claim 1 or 6, 상기 상부기구물은 UV투과물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. The upper fixture is a mask fixing device for UV irradiation apparatus, characterized in that made of a UV transmission material. 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 상부기구물은 UV투과가 가능한 아크릴 또는 석영으로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치.The upper fixture is a mask fixing device for UV irradiation apparatus, characterized in that made of acrylic or quartz capable of UV transmission. 기판 스테이지;A substrate stage; UV광원부;UV light source; 상기 기판 스테이지 및 UV광원부 사이에 형성된 마스크; 및A mask formed between the substrate stage and the UV light source portion; And 상기 제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항의 마스크 고정장치로 이루어진 UV조사장치.UV irradiation device consisting of the mask fixing device of any one of claims 1 to 11.
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