KR100595170B1 - full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same - Google Patents

full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same Download PDF

Info

Publication number
KR100595170B1
KR100595170B1 KR1019990009013A KR19990009013A KR100595170B1 KR 100595170 B1 KR100595170 B1 KR 100595170B1 KR 1019990009013 A KR1019990009013 A KR 1019990009013A KR 19990009013 A KR19990009013 A KR 19990009013A KR 100595170 B1 KR100595170 B1 KR 100595170B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
display panel
full
light emitting
auxiliary
Prior art date
Application number
KR1019990009013A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20000060589A (en
Inventor
김창남
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1019990009013A priority Critical patent/KR100595170B1/en
Publication of KR20000060589A publication Critical patent/KR20000060589A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100595170B1 publication Critical patent/KR100595170B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/22Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/16Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Abstract

풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로, 각 제 2 전극 띠들 사이에 제 2 전극 띠들을 전기적으로 절연시켜주는 전기 절연 격벽들을 형성하고, 각 전기 절연 격벽 사이에 있는 발광영역 이외의 영역에 형성되어 전기 절연 격벽 보다 더 두껍게 보조 격벽들을 형성함으로써, 새도우 마스크의 진동으로 전기 절연 격벽이 손상을 방지하여 픽셀간의 전기 절연 효과를 향상시킬 수 있다.The present invention relates to a full-color organic EL display panel and a method of manufacturing the same. An electrically insulating partition wall is formed between the second electrode bands to electrically insulate the second electrode bands. By forming the auxiliary barrier ribs thicker than the electrically insulating barrier ribs in the region, the electrically insulating barrier ribs may be prevented from being damaged by vibration of the shadow mask, thereby improving the electrical insulation effect between pixels.

보조 격벽Secondary bulkhead

Description

풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법{full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same}Full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same

도 1a 및 1b는 일반적인 스트립 타입 및 델타 타입의 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 및 그들의 제작시 사용되는 새도우 마스크를 보여주는 도면1A and 1B show a general strip type and delta type full-color organic EL display panel and shadow masks used in their fabrication;

도 2a 내지 2m은 본 발명에 따른 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널의 제조공정을 보여주는 공정단면도2A to 2M are process cross-sectional views showing a manufacturing process of a full-color organic EL display panel according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 스트립 타입의 보조 격벽을 보여주는 도면3 shows a strip-type auxiliary bulkhead according to the present invention.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 사용되는 전기 절연 격벽의 모양을 보여주는 도면4A and 4B show the shape of an electrically insulating bulkhead used in the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 투명기판 2-1,2-2 : 제 1 전극1: transparent substrate 2-1,2-2: first electrode

3-1,3-2 : 패드 4-1,4-2 : 보조 전극3-1,3-2: Pad 4-1,4-2: Auxiliary electrode

5 : 보조 격벽 6 : 버퍼층5: auxiliary bulkhead 6: buffer layer

7 ; 전기 절연 격벽 8 : 유기 EL층7; Electrically insulating bulkhead 8: organic EL layer

9 : 제 2 전극9: second electrode

본 발명은 디스플레이 패널에 관한 것으로, 특히 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display panel, and more particularly, to a full-color organic EL display panel and a manufacturing method thereof.

최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평판 디스플레이 패널의 요구가 증대되고 있는데, 이러한 평판 디스플레이 패널 중 하나로서 유기 EL 디스플레이 패널이 주목되고 있다.Recently, as the size of the display device increases, the demand for a flat panel display panel with less space is increasing, and as one of such flat panel display panels, an organic EL display panel is attracting attention.

유기 EL 디스플레이 패널은 매우 얇고, 매트릭스 형태로 어드레스 할 수 있으며, 15V 이하의 낮은 전압으로도 구동이 가능한 장점이 있다.The organic EL display panel is very thin, can be addressed in a matrix form, and can be driven at a low voltage of 15V or less.

이와 같은 유기 EL 디스플레이 패널을 만드는데 있어서 풀-컬러(full-color)를 구현하는 방법으로는 여러 가지 방법들이 있는데, 그 중에서 가장 발광 효율이 좋은 것은 새도우 마스크(shadow mask)를 이용하는 방법이다.There are various methods for realizing full-color in making such an organic EL display panel. Among them, the most efficient luminous efficiency is a method using a shadow mask.

새도우 마스크를 이용하는 방법에는 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이 스트립(strip) 방법과 델타(delta) 방법이 있다.As a method of using a shadow mask, as illustrated in FIGS. 1A and 1B, there are a strip method and a delta method.

새도우 마스크를 이용하는 방법은 R, G, B의 빛을 발하는 물질을 각각 따로따로 증착시키는 방법이다.The shadow mask is a method of depositing R, G and B light emitting materials separately.

즉, 투명 기판 위에 투명한 제 1 전극 띠들을 형성하고, 그 위에 제 2 전극 띠를 형성하기 위해 미리 격벽을 형성한 다음, 도 1a 및 도 1b와 같은 새도우 마스크를 이용하여 레드 발광 물질(red emitting material)층을 형성한다.That is, the transparent first electrode strips are formed on the transparent substrate, and the barrier ribs are formed in advance to form the second electrode strips thereon, and then a red emitting material is formed using a shadow mask as shown in FIGS. 1A and 1B. Form a layer.

이어, 레드 발광 물질층 형성 방법과 마찬가지로 다른 새도우 마스크 이용하여 옆으로 한칸씩 이동하면서 그린(green) 발광 물질층 및 블루(blue) 발광 물질층 을 형성한 후, 전면에 제 2 전극 물질을 증착하여 발광영역에 제 2 전극 띠를 형성함으로써 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널을 제작한다.Next, as in the red light emitting material layer forming method, the green light emitting material layer and the blue light emitting material layer are formed while moving side by side by using another shadow mask, and then the second electrode material is deposited on the front surface. A full-color organic EL display panel is fabricated by forming the second electrode strip in the light emitting region.

그러나, 새도우 마스크를 이용하는 방법에 있어서, 도 1a와 같은 스트립 타입의 새도우 마스크와 도 1b와 같은 델타 타입의 새도우 마스크는 마스크에 형성된 패턴들로 인하여 밑으로 쳐지기 쉽다.However, in the method using the shadow mask, the strip type shadow mask as shown in FIG. 1A and the delta type shadow mask as shown in FIG. 1B are likely to be drawn down due to the patterns formed in the mask.

특히, 도 1a와 같은 스트립 타입의 새도우 마스크 경우는 직사각형 형태의 긴 패턴들이 형성되므로 더욱 더 쳐지기 쉽다.In particular, in the case of a strip type shadow mask as shown in FIG. 1A, since long patterns having a rectangular shape are formed, they are more likely to be struck.

그러므로, 새도우 마스크의 쳐짐을 막기 위해서는 마스크에 인장력을 주어야 하는 불편함이 있다.Therefore, in order to prevent sagging of the shadow mask, it is inconvenient to give the mask a tensile force.

또한, 쳐짐이 없는 새도우 마스크를 사용한다 하더라도 약간의 충격에도 마스크의 금속 스트립들이 진동하게 되어 패널의 격벽에 손상을 주게 된다.In addition, even if a sagging shadow mask is used, the metal strips of the mask may vibrate even under a slight impact, damaging the partition walls of the panel.

격벽을 손상시키는 이유는 새도우 마스크와 패널과의 간격이 매우 좁기 때문에 패널에 형성된 층들 중 가장 높은 위치에 있는 격벽들이 마스크의 진동으로 손상을 입게 된다.The reason for damaging the bulkhead is that the gap between the shadow mask and the panel is very narrow, and the bulkheads at the highest position among the layers formed in the panel are damaged by the vibration of the mask.

이러한 격벽의 손상은 제 2 전극 형성시 픽셀간에 쇼트가 일어나는 원인이 된다.Such damage to the partition causes a short to occur between pixels in forming the second electrode.

만일 격벽의 손상을 막기 위해 새도우 마스크와 패널간의 간격을 넓히면 증착되는 물질의 그림자(shadow) 효과가 심각해진다.If the distance between the shadow mask and the panel is increased to prevent damage to the partition, the shadow effect of the deposited material is serious.

그러므로 증착하고자 하는 RGB 물질은 그림자 효과로 인하여 원하는 위치에 정확히 형성되지 못하여 색이 혼합되므로 색감이 좋지 않다.Therefore, the RGB material to be deposited is not formed correctly at the desired position due to the shadow effect, and colors are not good because the colors are mixed.

본 발명은 이와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 새도우 마스크의 진동에도 불구하고 격벽의 손상을 막아 줄 수 있는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide a full-color organic EL display panel and a method of manufacturing the same, which can prevent damage to a partition wall despite the vibration of a shadow mask.

본 발명의 다른 목적은 제 1 전극 띠의 저항을 줄이는데 있다.Another object of the present invention is to reduce the resistance of the first electrode strip.

본 발명에 따른 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널의 특징은 제 1 전극 띠들과 제 2 전극 띠들이 서로 수직으로 교차되는 위치에 각각 발광영역을 갖는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널에 있어서, 각 제 2 전극 띠들 사이에 형성되어 제 2 전극 띠들을 전기적으로 절연시켜주는 전기 절연 격벽들과, 각 전기 절연 격벽 사이에 있는 발광영역 이외의 영역에 형성되어 전기 절연 격벽 보다 더 두껍게 형성되는 보조 격벽들을 포함하여 구성되는데 있다.A feature of the full-color organic EL display panel according to the present invention is that in the full-color organic EL display panel each having a light emitting area at a position where the first electrode bands and the second electrode bands cross each other perpendicularly, each second electrode Electrical insulating partitions formed between the bands to electrically insulate the second electrode strips, and auxiliary partitions formed in a region other than the light emitting region between each electrical insulating partition and formed thicker than the electrical insulating partitions. It is.

본 발명에 따른 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법의 특징은 제 1 전극 띠들과 제 2 전극 띠들이 서로 수직으로 교차되는 위치에 발광영역을 갖는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 투명기판 위에 소정간격을 갖는 다수개의 제 1 전극 띠들을 형성하는 제 1 스텝과, 발광영역 이외의 영역에 소정 간격을 갖는 보조 격벽들을 형성하는 제 2 스텝과, 보조 격벽을 포함한 전면에 버퍼층을 형성하는 제 3 스텝과, 보조 격벽들 사이의 발광영역 이외의 영역에 제 1 전극 띠들에 대해 수직한 방향으로 보조 격벽의 두께 보다 얇게 전기 절연 격벽들을 형성하는 제 4 스텝과, 새도우 마스크를 이용하여 각 발광영역에 해당하는 빛을 내는 유기발광층을 형성하는 제 5 스텝과, 유기발광층을 포함한 전면에 전극 물질을 증착하여 발광영역에 다수개의 제 2 전극 띠들을 형성하는 제 6 스텝과, 제 2 전극 띠들을 포함한 전면에 보호막을 형성하는 제 7 스텝으로 이루어지는데 있다.A feature of the full-color organic EL display panel manufacturing method according to the present invention is a transparent full-color organic EL display panel manufacturing method having a light emitting region at a position where the first electrode bands and the second electrode bands cross each other perpendicularly. A first step of forming a plurality of first electrode strips having a predetermined distance on the substrate, a second step of forming auxiliary partitions having a predetermined distance in a region other than the light emitting region, and a buffer layer formed on a front surface of the auxiliary partition A third step, a fourth step of forming electrically insulating partitions thinner than the thickness of the auxiliary partition wall in a direction perpendicular to the first electrode bands in a region other than the light emitting region between the auxiliary partition walls, and each light emission using a shadow mask A fifth step of forming an organic light emitting layer that emits light corresponding to the region; and depositing an electrode material on the entire surface including the organic light emitting layer to form a light emitting region. Of the can makin made of a sixth step, the seventh step of forming a protective film on the front, including the second electrode strip to form the second electrode strip.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The full-color organic EL display panel and its manufacturing method according to the present invention having the above characteristics will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명의 개념은 전기 절연 격벽 보다 더 두껍게 보조 격벽들을 형성하여 새도우 마스크의 진동으로 인한 전기 절연 격벽의 손상을 막아주는데 있으며, 또한 제 1 전극 가장자리에 일부 중첩되도록 보조 전극을 형성하여 저항을 줄이는데 있다.First, the concept of the present invention is to prevent the damage of the electrical insulating partition due to the vibration of the shadow mask by forming the auxiliary partitions thicker than the electrically insulating partition wall, and also to form a secondary electrode to overlap the first electrode edge to reduce the resistance To reduce.

도 2a 내지 2m은 본 발명에 따른 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널의 제조공정을 보여주는 공정단면도로서, 도 2a에 도시된 바와 같이, 먼저, 투명기판(1) 위에 투명 물질로 이루어진 제 1 전극(2-1,2-1) 띠들 및 제 1 전극의 패드(3-1)와 제 2 전극의 패드(3-2)를 형성한다.2A to 2M are cross-sectional views showing a manufacturing process of a full-color organic EL display panel according to the present invention. As shown in FIG. 2A, first, a first electrode 2 made of a transparent material on a transparent substrate 1 is shown. -1,2-1) strips, the pad 3-1 of the first electrode and the pad 3-2 of the second electrode are formed.

이때, 델타(delta) 타입의 경우에는 도 2a와 같이 제 1 전극 중에서 발광영역에 형성되는 부분은 3개 이상의 각을 갖는 다각형 모양으로 형성시키고(2-1), 발광하지 않는 영역에 형성되는 부분은 발광영역에 형성되는 부분보다 폭이 좁은 라인 형태로 형성하여(2-2) 다각형 모양의 제 1 전극(2-1)들을 이어준다.In this case, in the case of the delta type, as shown in FIG. 2A, a portion formed in the light emitting region of the first electrode is formed in a polygonal shape having three or more angles (2-1), and a portion formed in the region not emitting light. Is formed in a line shape narrower than a portion formed in the light emitting area (2-2) to connect the first electrodes 2-1 having a polygonal shape.

발광영역에 형성되는 제 1 전극(2-1)은 a, b, c와 같이 델타 또는 삼각형 구조로 형성해야 한다.The first electrode 2-1 formed in the light emitting region should be formed in a delta or triangle structure such as a, b, and c.

즉, 첫 번째와 세 번째의 제 1 전극 띠들은 동일 선상에 위치하고, 두 번째의 제 1 전극 띠는 약간 어긋나도록 형성한다.That is, the first and third first electrode strips are positioned on the same line, and the second first electrode strips are formed to be slightly displaced.

스트립 타입(strip type)의 경우에는 도 2b와 같이 띠 형태로 형성하면 된다.In the case of a strip type, a strip may be formed as shown in FIG. 2B.

이어, 도 2c에 도시된 바와 같이 제 1 전극의 저항을 줄이기 위하여 제 1 전극 가장자리에 일부 중첩되도록 보조 전극(4-1,4-2)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 2C, auxiliary electrodes 4-1 and 4-2 are formed to partially overlap the edges of the first electrodes in order to reduce resistance of the first electrodes.

도 2d는 도 2c의 A영역을 확대한 도면으로서, 비발광 영역의 제 1 전극(2-2) 뿐만 아니라 발광 영역의 제 1 전극(2-1)의 주변에도 보조 전극(4-1,4-2)을 형성하면 저항을 줄이는데 매우 효과적이다.FIG. 2D is an enlarged view of region A of FIG. 2C, and not only the first electrode 2-2 of the non-light emitting region but also the auxiliary electrodes 4-1 and 4 around the first electrode 2-1 of the light emitting region. -2) is very effective in reducing the resistance.

여기서, 보조 전극(4-1,4-2)으로 사용되는 물질은 제 1 전극의 물질인 ITO 보다 상대적으로 저항이 작은 금속을 사용하면 된다.Here, the material used for the auxiliary electrodes 4-1 and 4-2 may be made of a metal having a relatively lower resistance than ITO, which is a material of the first electrode.

예를 들면, Cr, Al, Cu, W, Au, Ni, Ag 등이다.For example, Cr, Al, Cu, W, Au, Ni, Ag and the like.

보조 전극이 제 1 전극에 접촉되는 면은 도 2d와 같이 a로 표시될 수 있는데, a > 0 이어야 한다.The surface where the auxiliary electrode contacts the first electrode may be represented by a as shown in FIG. 2D, where a> 0.

그리고, 도 2e에 도시된 바와 같이 발광 영역 사이에 제 1 전극들에 대해 수직한 방향으로 보조 격벽(5)을 형성한 다음, 도 2f에 도시된 바와 같이 전면에 버퍼층(6)을 형성하고, 도 2g에 도시된 바와 같이 보조 격벽(5) 사이의 발광 영역 이외의 영역에 전기 절연 격벽(7)들을 형성한다.Then, as shown in FIG. 2E, the auxiliary barrier rib 5 is formed between the emission regions in a direction perpendicular to the first electrodes, and then the buffer layer 6 is formed on the front surface as shown in FIG. 2F. As shown in FIG. 2G, the electrically insulating partitions 7 are formed in a region other than the light emitting region between the auxiliary partitions 5.

이 격벽 형성 공정은 본 발명에서 가장 중요한 공정으로서, 도 2i 및 도 2j를 참조하여 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.This partition wall forming process is the most important process in the present invention, which will be described in more detail with reference to FIGS. 2I and 2J.

이 보조 격벽(5)은 전기 절연 격벽(7)과 마찬가지로 픽셀간의 전기적 절연을 위한 역할을 수행하는데, 주 역할은 후 공정에서 새도우 마스크를 사용한 RGB 형성시, 새도우 마스크의 진동으로 인한 전기 절연 격벽(7)의 손상을 막아주는 역할이다.Like the electrical insulating partition 7, the auxiliary partition 5 plays a role for electrical insulation between pixels. The main role is to form an electrical insulating partition due to vibration of the shadow mask when forming RGB using the shadow mask in a post-process. 7) prevents damage.

그러므로, 전기 절연 격벽(7)의 손상을 막아주기 위하여 이 보조 격벽(5)의 두께는 전기 절연 격벽(7) 보다 더 두껍게 형성되어야 하며, 전기 절연 격벽(7)이 형성될 위치를 제외한 어느 위치에 형성하여도 상관없다.Therefore, in order to prevent the damage of the electrically insulating partition 7, the thickness of the auxiliary partition 5 must be thicker than that of the electrically insulating partition 7, and any position except the position at which the electrically insulating partition 7 is to be formed. It may be formed on.

예를 들면, 델타 타입의 경우는 도 2e, 도 2f, 도 2g에서와 같이 전기 절연 격벽(7)과 전기 절연 격벽 사이에 그 들과 동일한 방향으로 형성하면 되고, 스트립 타입의 경우에는 도 3과 같이 전기 절연 격벽(7) 사이의 제 1 전극 사이가 적합하다.For example, the delta type may be formed in the same direction between the electrically insulating partition 7 and the electrically insulating partition as in FIGS. 2E, 2F, and 2G. Likewise, the first electrode between the electrically insulating partitions 7 is suitable.

여기서, 스트립 타입의 경우에는 그 구조상 도 3과 같이 보조 격벽(5)이 전기 절연 격벽(7)에 대해 수직한 방향으로 형성된다.Here, in the case of a strip type, the auxiliary partition 5 is formed in a direction perpendicular to the electrically insulating partition 7 as shown in FIG. 3.

또한, 보조 격벽(5)은 버퍼층(6)을 형성하기 전에 형성하여도 되지만, 버퍼층(6)을 먼저 형성한 후에 보조 격벽(5)을 형성하여도 상관 없다.In addition, although the auxiliary partition 5 may be formed before forming the buffer layer 6, you may form the auxiliary partition 5 after forming the buffer layer 6 first.

도 2j와 같이 버퍼층(6)이 제 1 전극(2-1)을 덮는 면적은 b로 표시될 수 있는데, 이때 b > 0 이어야 한다.As shown in FIG. 2J, the area in which the buffer layer 6 covers the first electrode 2-1 may be represented by b, where b> 0.

그리고, 보조 격벽(5)과 버퍼층(6)에 사용되는 물질은 무기물, 유기물이든 상관 없이 절연체이면 된다.The material used for the auxiliary partition 5 and the buffer layer 6 may be an insulator, regardless of whether it is an inorganic material or an organic material.

특히 무기물의 경우에는 옥사이드(oxide), 나이트라이드(nitride)류를 사용 하면 되고, 스핀(spin) 가능하게 솔벤트(solvent)에 녹인 무기물도 가능하다.In particular, in the case of inorganic materials, oxides and nitrides may be used, and inorganic materials dissolved in solvents in a spinable manner may be used.

유기물의 경우에는 단분자 보다는 폴리머(polymer)가 더 유리하며, 흔히 포토(photo) 공정에서 사용되는 포토레지스트(photoresist), 폴리이미드(polyimide), 폴리올레핀(polyolefin)류가 적당하다.In the case of organic materials, a polymer is more advantageous than a single molecule, and photoresist, polyimide, and polyolefin, which are often used in a photo process, are suitable.

또한, 전기 절연 격벽(7)은 도 4a와 같이 네거티브(negative) 포토레지스트를 사용하여 형성하거나, 또는 도 4b와 같이 오버행(over-hang)을 갖는 포지티브(positive) 포토레지스트로 형성한다.In addition, the electrically insulating partition wall 7 is formed using a negative photoresist as shown in FIG. 4A, or is formed of a positive photoresist having an over-hang as shown in FIG. 4B.

그리고, 도 2k에 도시된 바와 같이, 도 1a 및 도 1b에 도시된 것과 같은 새도우 마스크(shadow mask)를 이용하여 적색 빛을 내는 유기발광층(8-1)(발광층, 전자수송층, 정공수송층 등으로 이루어짐)을 증착시키고, 도 2l에 도시된 바와 같이, 다른 새도우 마스크를 이용하여 녹색 빛을 내는 유기발광층(8-2)을, 또 다른 새도우 마스크를 이용하여 청색 빛을 내는 유기발광층(8-3)을 증착시킨다.As shown in FIG. 2K, an organic light emitting layer 8-1 (light emitting layer, electron transport layer, hole transport layer, etc.) emitting red light using a shadow mask as shown in FIGS. 1A and 1B is used. 2), an organic light emitting layer 8-2 emitting green light using another shadow mask, and an organic light emitting layer 8-3 emitting blue light using another shadow mask. ) Is deposited.

이때, 적색, 녹색, 청색 빛을 내는 각각의 유기발광층 중 공통으로 들어가는 물질들(8)은 새도우 마스크를 사용하지 않고 전체 발광 영역을 다 증착시킬 수 있는 블랭크 마스크(blank mask)를 이용하여 한 번에 증착시키는 것이 좋다.At this time, among the organic light emitting layers emitting red, green, and blue light, the materials 8 which are commonly inputted are used once by using a blank mask that can deposit the entire light emitting area without using a shadow mask. It is good to deposit on.

또한, 델타 타입의 경우에는 적색, 녹색, 청색 빛을 내는 유기발광층은 삼각형 구조이고, 그 옆에 다시 반복되는 적색, 녹색, 청색 빛을 내는 유기발광층은 역삼각형 구조이다.In addition, in the case of the delta type, the organic light emitting layer emitting red, green, and blue light has a triangular structure, and the organic light emitting layer emitting red, green, blue light, which is repeated next to it, has an inverted triangle structure.

이어, 도 2m에 도시된 바와 같이, Mg-Ag 합금, Al, 기타 도전성 물질들 중 어느 하나로 이루어진 제 2 전극(9) 물질을 전체 발광 영역보다 넓게, 그리고 미리 형성시킨 제 2 전극의 패드(3-2)에 겹치도록 증착하여 전기 절연 격벽(7) 사이에 제 2 전극(9) 띠들을 형성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 2M, the pad 3 of the second electrode 9 formed of a material of the second electrode 9 made of any one of Mg-Ag alloy, Al, and other conductive materials is wider than the entire light emitting region, and formed in advance. The second electrode 9 bands are formed between the electrically insulating partitions 7 by overlapping with -2).

그리고, 그 위에 보호막층(산소흡착층, 수분흡착층 등)을 형성시키고, 인캡슐레이션(encapsulation)을 실시하여 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널을 완성한다.Then, a protective film layer (oxygen adsorption layer, moisture adsorption layer, etc.) is formed thereon, and encapsulation is performed to complete the full-color organic EL display panel.

이와 같이 본 발명에서는 새도우 마스크의 진동으로 전기 절연 격벽이 손상되어 픽셀간에 나타나는 전기 단락을 막기 위해 이 전기 절연 격벽 보다도 더 두껍게(더 높게) 보조 격벽을 형성하여 전기 절연 격벽의 손상을 방지할 수 있고 픽셀간의 전기 절연 효과를 향상시킬 수 있다.As described above, in the present invention, the secondary insulating wall is formed thicker (higher) than the electrical insulating partition to prevent the electrical insulating partition from being damaged due to the vibration of the shadow mask and to prevent electrical short circuit between pixels. The electrical insulation effect between pixels can be improved.

본 발명에 따른 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.The full-color organic EL display panel and the manufacturing method thereof according to the present invention have the following effects.

본 발명은 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널을 만드는데 있어서, 새도우 마스크 사용시 나타나는 문제점인 격벽 손상을 전기 절연 격벽 보다 더 두꺼운 보조 격벽을 형성함으로써, 보다 효율적으로 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널을 제작할 수 있다.The present invention makes it possible to manufacture a full-color organic EL display panel more efficiently by forming an auxiliary partition thicker than an electrically insulating partition wall, which is a problem in using a shadow mask in making a full-color organic EL display panel.

Claims (14)

제 1 전극 띠들과 제 2 전극 띠들이 서로 수직으로 교차되는 위치에 각각 발광영역을 갖는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널에 있어서,A full-color organic EL display panel having a light emitting area at a position where the first electrode bands and the second electrode bands cross each other perpendicularly, respectively. 상기 각 제 2 전극 띠들 사이에 형성되어 상기 제 2 전극 띠들을 전기적으로 절연시켜주는 전기 절연 격벽들;Electrically insulating barrier ribs formed between the second electrode strips to electrically insulate the second electrode strips; 상기 각 전기 절연 격벽 사이에 있는 발광영역 이외의 영역에 형성되어 상기 전기 절연 격벽 보다 더 두껍게 형성되는 보조 격벽들을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널.And an auxiliary barrier rib formed in a region other than the light emitting region between each of the electrically insulating barrier ribs, the auxiliary barrier ribs being formed thicker than the electrically insulating barrier rib. 제 1 항에 있어서, 상기 전기 절연 격벽들은 상기 제 1 전극 띠들에 대해 수직한 방향으로 형성되고, 상기 보조 격벽들은 상기 제 1 전극 띠들에 대해 수직한 방향으로 형성되거나 또는 동일한 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널.The method of claim 1, wherein the electrically insulating partitions are formed in a direction perpendicular to the first electrode strips, the auxiliary partitions are formed in a direction perpendicular to the first electrode strips or formed in the same direction. Full-color organic EL display panel. 제 1 항에 있어서, 상기 전기 절연 격벽 하부에는 버퍼층이 형성되고, 상기 보조 격벽 상부, 하부 중 적어도 어느 한 곳에 버퍼층이 형성되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널.The full-color organic EL display panel according to claim 1, wherein a buffer layer is formed below the electrically insulating partition wall, and a buffer layer is formed on at least one of the upper and lower portions of the auxiliary partition wall. 제 1 항에 있어서, 상기 각 제 1 전극 띠의 가장자리에는 보조 전극이 일부 중첩되어 형성되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널.The full-color organic EL display panel according to claim 1, wherein an auxiliary electrode is partially overlapped at an edge of each of the first electrode strips. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 발광영역에서는 폭이 넓게 형성되고, 비발광영역에서는 폭이 좁게 형성되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널.2. The full-color organic EL display panel according to claim 1, wherein the first electrode is formed wide in the light emitting region and narrow in the non-light emitting region. 제 1 항에 있어서, 상기 각 발광영역의 제 1 전극은 3개 이상의 각을 갖는 다각형 또는 원 모양인 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널.The full-color organic EL display panel according to claim 1, wherein the first electrode of each light emitting area is a polygon or circle shape having three or more angles. 제 1 항에 있어서, 상기 발광영역의 배열구조는 델타(delta), 스트립(strip) 중 어느 한 구조인 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널.2. The full-color organic EL display panel according to claim 1, wherein the light emitting region arrangement structure is any one of a delta and a strip. 제 1 전극 띠들과 제 2 전극 띠들이 서로 수직으로 교차되는 위치에 발광영역을 갖는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법에 있어서,In the method for manufacturing a full-color organic EL display panel having a light emitting region at a position where the first electrode bands and the second electrode bands cross each other perpendicularly, 투명기판 위에 다수개의 제 1 전극 띠들을 형성하는 제 1 스텝;A first step of forming a plurality of first electrode bands on the transparent substrate; 상기 발광영역 이외의 영역에 보조 격벽들을 형성하는 제 2 스텝;A second step of forming auxiliary barrier ribs in a region other than the light emitting region; 상기 보조 격벽을 포함한 전면에 버퍼층을 형성하는 제 3 스텝;A third step of forming a buffer layer on the entire surface including the auxiliary partition wall; 상기 보조 격벽들 사이의 발광영역 이외의 영역에 상기 제 1 전극 띠들에 대해 수직한 방향으로 상기 보조 격벽의 두께 보다 얇게 전기 절연 격벽들을 형성하는 제 4 스텝;A fourth step of forming electrically insulating partitions thinner than a thickness of the auxiliary partition in a direction perpendicular to the first electrode bands in a region other than the light emitting region between the auxiliary partitions; 새도우 마스크를 이용하여 상기 각 발광영역에 해당하는 빛을 내는 유기발광층을 형성하는 제 5 스텝;A fifth step of forming an organic light emitting layer that emits light corresponding to each light emitting area by using a shadow mask; 상기 유기발광층을 포함한 전면에 전극 물질을 증착하여 상기 발광영역에 다수개의 제 2 전극 띠들을 형성하는 제 6 스텝;A sixth step of forming a plurality of second electrode bands in the emission region by depositing an electrode material on the entire surface including the organic light emitting layer; 상기 제 2 전극 띠들을 포함한 전면에 보호막을 형성하는 제 7 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법.And a seventh step of forming a protective film on the entire surface including the second electrode strips. 제 8 항에 있어서, 상기 제 3 스텝의 버퍼층은 상기 제 2 스텝 이전에 형성되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법.9. The method of manufacturing a full-color organic EL display panel according to claim 8, wherein the buffer layer of the third step is formed before the second step. 제 8 항에 있어서, 상기 보조 격벽은 무기물, 유기물로부터 선택된 절연체인 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법.The method of manufacturing a full-color organic EL display panel according to claim 8, wherein the auxiliary partition wall is an insulator selected from inorganic and organic materials. 제 10 항에 있어서, 상기 절연체는 옥사이드, 나이트라이드, 솔벤트에 녹인 무기물, 포토레지스트, 폴리이미드, 폴리올레핀 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법.The method of manufacturing a full-color organic EL display panel according to claim 10, wherein the insulator is any one of an oxide, a nitride, an inorganic substance dissolved in a solvent, a photoresist, a polyimide, and a polyolefin. 제 8 항에 있어서, 상기 보조 격벽은 상기 전기 절연 격벽과 동일한 방향으 로 형성되거나 또는 전기 절연 격벽에 대해 수직한 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법.The method of manufacturing a full-color organic EL display panel according to claim 8, wherein the auxiliary partition wall is formed in the same direction as the electrically insulating partition wall or in a direction perpendicular to the electrically insulating partition wall. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 스텝 후, 상기 제 1 전극 띠의 가장자리에 일부분이 중첩되도록 보조 전극을 형성하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법.The method of manufacturing a full-color organic EL display panel according to claim 8, further comprising: after the first step, forming an auxiliary electrode such that a part of the second electrode strip overlaps with an edge of the first electrode strip. 제 13 항에 있어서, 상기 보조 전극은 Cr, Al, Cu, W, Au, Ni, Ag 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법.The method of claim 13, wherein the auxiliary electrode is formed of any one of Cr, Al, Cu, W, Au, Ni, and Ag.
KR1019990009013A 1999-03-17 1999-03-17 full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same KR100595170B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990009013A KR100595170B1 (en) 1999-03-17 1999-03-17 full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990009013A KR100595170B1 (en) 1999-03-17 1999-03-17 full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000060589A KR20000060589A (en) 2000-10-16
KR100595170B1 true KR100595170B1 (en) 2006-07-03

Family

ID=19576831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990009013A KR100595170B1 (en) 1999-03-17 1999-03-17 full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100595170B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100975295B1 (en) 2002-09-20 2010-08-12 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. Electrical device and method for manufacturing an electrical device

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100382491B1 (en) * 2000-11-28 2003-05-09 엘지전자 주식회사 shadow mask in organic electroluminescence
JP2002208484A (en) * 2001-01-12 2002-07-26 Tohoku Pioneer Corp Organic el display, and manufacturing method of the same
KR100490534B1 (en) * 2001-12-05 2005-05-17 삼성에스디아이 주식회사 Mask frame assembly for thin layer vacuum evaporation of Organic electro luminescence device
CN100464440C (en) 2002-06-03 2009-02-25 三星移动显示器株式会社 Mask frame assembly of thin layer vacuum evaporation for organic electroluminescent device
KR100908232B1 (en) * 2002-06-03 2009-07-20 삼성모바일디스플레이주식회사 Mask frame assembly for thin film deposition of organic electroluminescent device
KR100659057B1 (en) 2004-07-15 2006-12-21 삼성에스디아이 주식회사 Mask frame assembly for thin layer vacuum evaporation and organic electro-luminescence display device
KR100682835B1 (en) * 2004-12-03 2007-02-15 엘지전자 주식회사 Organic electroluminescent device and method for manufacturing the same
KR100696523B1 (en) * 2005-05-30 2007-03-19 삼성에스디아이 주식회사 Mask frame assembly for thin layer deposition and manufacturing method of organic light emitting display device thereused
KR100746986B1 (en) * 2005-12-06 2007-08-07 엘지전자 주식회사 Display device
KR100784545B1 (en) * 2006-05-25 2007-12-11 엘지전자 주식회사 Light Emitting Device
KR100822204B1 (en) 2006-06-07 2008-04-17 삼성에스디아이 주식회사 Organic light emitting display apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100975295B1 (en) 2002-09-20 2010-08-12 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. Electrical device and method for manufacturing an electrical device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20000060589A (en) 2000-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6811808B2 (en) Organic electroluminescent display panel and method of manufacturing the same
KR100267964B1 (en) Organic electroluminescent display panel and method for fabricating the same
JP3543170B2 (en) Electroluminescent device and method of manufacturing the same
US8439718B2 (en) Organic el display panel for reducing resistance of electrode lines
JP2004200167A (en) Organic electroluminescent element and its manufacturing method
KR100595170B1 (en) full-color organic electroluminescence display panel and method for fabricating the same
KR20030002947A (en) Full color organic electroluminescence display device and fabricating mehtod for the same
US7221094B2 (en) Electroluminescent device and method of manufacturing the same
KR100421720B1 (en) Electro luminescence device and method of manufacturing the same
US6717357B2 (en) Organic electroluminescent display panel
KR100370030B1 (en) flat display device and method for the same
KR100269390B1 (en) Electroluminescence display panel and method for producing thereof
KR100360328B1 (en) Organic Electroluminescence Display Panel
KR100282392B1 (en) full-colcor Organic Electroluminescent Device and method for fabricating the same
KR100390409B1 (en) Full color organic electroluminescence display panel and fabricating mehtod for the same
JP3870591B2 (en) SUBSTRATE FOR ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY ELEMENT AND METHOD FOR PRODUCING ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY ELEMENT
KR100351822B1 (en) fabrication method of organic electroluminescence device
KR100770580B1 (en) Manufacturing process for organic electro luminescence device
KR20030021580A (en) Organic EL Device and Method of Making the Same
KR20020022281A (en) Full color organic electroluminescence display panel and fabricating mehtod for the same
KR100682836B1 (en) Organic electroluminescent device
KR20030037667A (en) Polymer Organic Electroluminescence Device and Fabrication Method for the same
KR20060062170A (en) Organic electroluminescent device and method for manufacturing the same
KR20050102988A (en) Mask employed in manufacture of a full color organic electroluminesent apparatus
JP2000306679A (en) Organic el element and its manufacture

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee