KR100595013B1 - The Transferring Apparatus for Brittle Material especially FPD panel, Glass, etc. and Transferring Method using Same - Google Patents

The Transferring Apparatus for Brittle Material especially FPD panel, Glass, etc. and Transferring Method using Same Download PDF

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Abstract

본 발명은 단속적으로 진공이 인가되는 진공판과 상기 진공판을 이송할 수 있는 구동수단을 구비하여 상기 진공판을 소재의 하측에서 번갈아가며 이송시킴으로써 소재를 안전하고 신속하게 이송시킬 수 있도록 한 소재 이송장치 및 소재 이송방법에 관한 것이다. The present invention is provided with a vacuum plate that is applied to the vacuum intermittently and a driving means for transferring the vacuum plate to transfer the vacuum plate alternately from the lower side of the material to transport the material to safely and quickly transfer the material It relates to a device and a material conveying method.

본 발명의 구성은 소재(1)를 상면에 흡착하여 이송시킬 수 있도록 진공관(10)이 내설된 하나 이상의 진공판(12)과, 상기 진공판(12)의 하부에 구비되며 상기 진공관(10)과 연결된 진공펌프(20) 및 모터(22)가 함입된 흡착제어부(24)와, 상기 흡착제어부(24)의 하측에 설치되어 상기 진공판(12)을 일방향으로 이송시킬 수 있도록 구비된 구동수단(30)을 포함한 것으로 되어 있고, 이러한 소재 이송장치를 이용한 이송방법으로서 제 1진공판(12a)이 진공흡입되고 제 2진공판(12b)이 정압배기되는 단계와, 상기 제 1진공판(12a)이 소재(1)를 흡착한 상태에서 일방향으로 소정거리(L1) 이동하는 단계와, 상기 제 1진공판(12a)의 이동이 완료된 후 정압배기되고 상기 제 2진공판(12b)에 진공흡착되는 단계와, 상기 제 2진공판(12b)이 소재(1)를 흡착한 상태에서 일방향으로 소정거리(L2) 이동하는 단계로 이루어져 있다. The configuration of the present invention is provided with at least one vacuum plate 12 in which the vacuum tube 10 is embedded so as to absorb and transport the material (1) to the upper surface, the lower portion of the vacuum plate 12 and the vacuum tube 10 Adsorption control unit 24 in which the vacuum pump 20 and the motor 22 connected to each other and the suction unit 24 are installed, and the driving unit is installed under the suction control unit 24 to transfer the vacuum plate 12 in one direction. 30, wherein the first vacuum plate 12a is vacuum sucked and the second vacuum plate 12b is statically evacuated, and the first vacuum plate 12a is used as a conveying method using such a material conveying apparatus. ) Moves a predetermined distance (L1) in one direction in a state in which the material (1) is adsorbed, and after the movement of the first vacuum plate (12a) is completed, the positive pressure is exhausted and the vacuum suction to the second vacuum plate (12b) And a predetermined distance L2 in one direction in the state in which the second vacuum plate 12b has absorbed the material 1. It consists of a step of the same.

이러한 구성을 가지는 본 발명은 대형 소재도 표면 손상없이 안전하게 이송시킬 수 있으며, 이송시의 정전기 발생을 방지하고 이송위치까지 신속하게 소재를 이송시킬 수 있는 것이다.
The present invention having such a configuration is able to safely transport large materials without surface damage, to prevent the occurrence of static electricity during transport and to quickly transport the material to the transport position.

소재, 손상, 이송, 유리, 패널, 진공, 흡착, 정전기, 리니어모터, 수지Material, damage, transfer, glass, panel, vacuum, adsorption, static electricity, linear motor, resin

Description

소재 이송장치 및 소재 이송방법 {The Transferring Apparatus for Brittle Material especially FPD panel, Glass, etc. and Transferring Method using Same} Material Transfer Device and Material Transfer Method {The Transferring Apparatus for Brittle Material especially FPD panel, Glass, etc. and Transferring Method using Same}             

도 1은 종래의 소재 이송장치를 도시한 사시도1 is a perspective view showing a conventional material transfer device

도 2는 본 발명의 소재 이송장치를 도시한 사시도Figure 2 is a perspective view showing a material transport apparatus of the present invention

도 3은 도 2의 측면도3 is a side view of FIG. 2

도 4의 (a)(b)(c)(d)는 본 발명의 소재 이송과정을 순차적으로 도시한 측면도Figure 4 (a) (b) (c) (d) is a side view sequentially showing the material transfer process of the present invention

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 소재 12, 12a, 12b : 진공판1: Material 12, 12a, 12b: vacuum plate

24 : 흡착제어부 30 : 구동수단24: adsorption control unit 30: drive means

40 : 수지재
40: resin material

본 발명은 소재 이송장치 및 소재 이송방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 단속적으로 진공이 인가되는 진공판과 상기 진공판을 이송할 수 있는 구동수단을 구비하여 상기 진공판을 소재의 하측에서 번갈아가며 이송시킴으로써 소재를 안전하고 신속하게 이송시킬 수 있도록 한 소재 이송장치 및 소재 이송방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a material conveying apparatus and a material conveying method, and more particularly, having a vacuum plate to which a vacuum is intermittently applied, and a driving means for conveying the vacuum plate, alternating the vacuum plate from the lower side of the material. The present invention relates to a material conveying apparatus and a material conveying method for conveying a material safely and quickly.

주지하는 바와 같이, 에프피디(FPD)나 엘씨디(LCD), 형광표시관(VFD)과 같은 평판디스플레이에 사용되는 패널(panel)은 구동칩이나 회로기판을 소정의 글래스(glass) 등에 본딩하여 제작하는데, 상기 글래스를 비롯하여 합성수지와 같이 손상받기 쉬운 소재는 표면 스크래치(scratch)나 파손에 취약하므로 가공 및 취급에 있어 상당한 주의를 요한다. 특히, 이러한 손상받기 쉬운 소재는 이송시에 충격이나 마찰로 인한 파손 및 스크래치 발생이 빈번하였다. As is well known, a panel used for a flat panel display such as FPD, LCD, and fluorescent display tube is manufactured by bonding a driving chip or a circuit board to a predetermined glass or the like. However, the susceptible material such as synthetic resin, such as glass, is susceptible to surface scratches and breakage, and therefore requires considerable care in processing and handling. In particular, such a susceptible material was frequently damaged and scratched due to impact or friction during transportation.

종래에는 이러한 소재의 이송시 일반적으로 진공척(3)을 이용하였는데, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수개의 진공홀(2)이 형성된 진공척(3)을 이용하여 작업대(working plate)(6) 또는 진공판(vacuum plate) 상에 안치된 소재(1)를 흡착하여 들어 올린 후 소망하는 위치까지 이동하여 다시 내려놓는 방식으로 작동하였다.In the related art, a vacuum chuck 3 is generally used to transfer such a material. As illustrated in FIG. 1, a working plate 6 is used by using a vacuum chuck 3 having a plurality of vacuum holes 2 formed therein. ) Or by adsorbing and lifting the material (1) placed on the vacuum plate (vacuum plate) to move to the desired position and put down again.

상기 진공척(3)의 일측에는 진공홀(2)을 통해 공기를 흡입시키는 진공펌프(4)와 모터(5)가 구비된다. One side of the vacuum chuck (3) is provided with a vacuum pump (4) and a motor (5) for sucking air through the vacuum hole (2).

그런데, 이러한 종래의 이송장치는 상기 진공척(3)과 소재(1) 사이에서 정전 기가 발생하는 문제가 있었고, 더욱이 패널의 대형화 추세에 따라 소재(1)의 크기도 커져 표면적 증가에 따른 정전기 발생 증가는 소재(1)의 품질에 악영향을 미쳤다.By the way, the conventional transfer device has a problem that the electrostatic charge is generated between the vacuum chuck (3) and the material (1), the size of the material (1) is also increased in accordance with the trend of larger panel size, the static electricity generated by the increase in the surface area The increase adversely affected the quality of the material (1).

또한, 진공척(3)을 통한 흡착시 충격에 약한 소재(1)가 굽힘모멘트(bending moment)에 의해 파손되거나 표면 스크래치가 발생할 수 있었고, 이송 중량에 의한 추락의 위험도 상존하였다. In addition, the material 1 that is susceptible to impact during adsorption through the vacuum chuck 3 may be damaged or surface scratch may occur due to a bending moment, and the risk of falling due to the conveying weight also exists.

그리고, 상기 진공척(3) 또한 패널의 대형화에 맞춰 크기와 무게가 증가함에 따라 제작비의 증가 및 설비 공간의 확충에 따른 제반 비용의 증가를 초래하였다.
In addition, as the size and weight of the vacuum chuck 3 increases in accordance with the enlargement of the panel, an increase in manufacturing cost and an increase in overall cost due to expansion of facility space are caused.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 감안하여 개발된 것으로서, 소재의 이송시 표면 손상 및 정전기 발생을 방지하고 간소한 설비로 안전하게 이송할 수 있도록 한 소재 이송장치 및 소재 이송방법을 제공함에 발명의 목적이 있다.
Accordingly, the present invention was developed in view of the above-mentioned conventional problems, and provides a material conveying apparatus and a material conveying method which prevents surface damage and static electricity during the conveyance of materials and safely conveys them to simple facilities. There is an object of the invention.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 소재를 상면에 흡착하여 이송시킬 수 있도록 진공관이 내설된 하나 이상의 진공판과, 상기 진공판의 하부에 구비되며 상기 진공관과 연결된 진공펌프 및 모터가 함입된 흡착제어부와, 상기 흡착제어부의 하측에 설치되어 상기 진공판을 일방향으로 이송시킬 수 있도록 구비된 구동수단을 포함하여 된 것을 기술적 특징으로 한다. The present invention for achieving the above object is provided with at least one vacuum plate in which a vacuum tube is built so that the material is adsorbed on the upper surface, and provided with a lower portion of the vacuum plate and a vacuum pump and a motor connected to the vacuum tube is embedded. It is characterized in that it comprises a suction control unit, and a drive means provided on the lower side of the suction control unit provided to transfer the vacuum plate in one direction.

상기 구동수단은 이송방향을 따라 횡설된 고정봉과, 상기 고정봉을 슬라이딩하는 리니어모터로 이루어진 것을 특징으로 한다. The driving means is characterized by consisting of a fixed rod rolled along the conveying direction, and a linear motor for sliding the fixed rod.

상기 진공판의 상면에는 정전기 방지를 위한 수지재가 코팅된 것을 특징으로 한다.The upper surface of the vacuum plate is characterized in that the resin material is coated for antistatic.

또한, 본 발명은 소재를 흡착할 수 있도록 구비된 제 1, 2 진공판과, 상기 제 1, 2 진공판에 진공흡입 또는 정압배기를 제어하는 흡착제어부와, 상기 제 1, 2진공판을 각각 일방향으로 이송시킬 수 있도록 구비된 구동수단을 포함하여 된 소재 이송장치를 이용한 소재 이송방법으로서, 상기 제 1진공판이 진공흡입되고 제 2진공판이 정압배기되는 단계와, 상기 제 1진공판이 소재를 흡착한 상태에서 일방향으로 소정거리 이동하는 단계와, 상기 제 1진공판의 이동이 완료된 후 정압배기되고, 상기 제 2진공판이 진공흡입되는 단계와, 상기 제 2진공판이 소재를 흡착한 상태에서 일방향으로 소정거리 이동하는 단계로 이루어진 것을 기술적 특징으로 한다.
In addition, the present invention is the first and second vacuum plate provided so as to adsorb the material, the suction control unit for controlling the vacuum suction or constant pressure exhaust to the first and second vacuum plate, respectively, the first and second vacuum plate A material conveying method using a material conveying apparatus including a driving means provided to transfer in one direction, wherein the first vacuum plate is vacuum sucked and the second vacuum plate is positive pressure exhausted, and the first vacuum plate adsorbs the material. Moving a predetermined distance in one direction in one state, positive pressure exhausting after the movement of the first vacuum plate is completed, and vacuum suction of the second vacuum plate, and in a state in which the second vacuum plate adsorbs the material It is characterized in that the step consisting of moving a predetermined distance.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명은 소재(1)를 상면에 흡착하여 이송시킬 수 있도록 진공관(10)이 내설된 하나 이상의 진공판(12)과, 상기 진공판(12)의 하부에 구비되며 상기 진공관(10)과 연결된 진공펌프(20) 및 모터(22)가 함입된 흡착제어부(24)와, 상기 흡착제어부(24)의 하측에 설치되어 상기 진공판(12)을 일방향으로 이송시킬 수 있도록 구비된 구동수단(30)을 포함한 것으로 되어 있다.As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the present invention provides one or more vacuum plates 12 in which a vacuum tube 10 is embedded so that the material 1 can be absorbed and transferred to an upper surface thereof. Adsorption control unit 24 provided in the lower portion and the vacuum pump 20 and the motor 22 connected to the vacuum tube 10 and the suction control unit 24 is installed below the suction control unit 24 to the vacuum plate 12 in one direction It is to include a drive means 30 provided to be transferred to.

상기 진공판(12)은 내측의 진공관(10)과 연결된 진공홀(14)이 상면에 다수개 천공되어 있고, 상기 진공판(12)의 일측에는 외부로 돌출된 진공호스(16)가 구비된다.The vacuum plate 12 has a plurality of vacuum holes 14 connected to the inner vacuum tube 10 on the upper surface thereof, and a vacuum hose 16 protruding outward is provided at one side of the vacuum plate 12. .

상기 진공호스(16)는 상기 흡착제어부(24)에 내장된 진공펌프(20) 및 모터(22)와 연결되어 있으므로 상기 흡착제어부(24)는 진공판(12) 상에서 공기를 빨아들이는 "진공흡입" 작동 또는 공기를 내불어주는 "정압배기" 작동을 제어해준다. Since the vacuum hose 16 is connected to the vacuum pump 20 and the motor 22 built in the adsorption controller 24, the adsorption controller 24 sucks air on the vacuum plate 12. Control of "suction" operation or "static exhaust" operation with blowing air.

상기 구동수단(30)은 각각의 진공판(12)을 독립적으로 이동시킬 수 있으며, 본 발명에서는 리니어모터(34)를 이용한 실시예를 제시하고 있다.The drive means 30 can move each vacuum plate 12 independently, the present invention provides an embodiment using a linear motor (34).

즉, 상기 구동수단(30)은 작업대(6) 상면에 이송방향을 따라 횡설되며 양측이 브라켓(36)을 통해 고정된 고정봉(32)과, 상기 고정봉(32)을 슬라이딩하는 리니어모터(34)로 이루어져 상기 진공판(12)을 각각 일방향으로 이송시킬 수 있는 것이다. That is, the driving means 30 is rolled on the upper surface of the worktable 6 along the conveying direction and both sides of the fixed rod 32 is fixed through the bracket 36, and the linear motor sliding the fixed rod 32 ( It is made of 34) it is possible to transfer the vacuum plate 12 in one direction, respectively.

상기 리니어모터(34)는 주지하는 바와 같이, 정숙한 운전으로 고속동작이 가능하고 제어능력이 우수하여 손상받기 쉬운 소재(1)의 이송에 적합한 구동수단(30)이라 할 수 있다. As is well known, the linear motor 34 may be referred to as a driving means 30 suitable for the transfer of the material 1, which is capable of high speed operation in a quiet operation and has excellent control ability and is easily damaged.

그리고, 상기 구동수단(30)은 도면에는 미도시되었지만, 상술한 리니어모터(34) 외에 스크류와 너트 또는 체인 및 스프로켓, 랙과 피니언 등 통상의 다양한 구동수단을 사용할 수 있고, 이러한 구동수단(30)의 변형 또한 본 발명의 기술적 사상 내에 포함됨은 물론이다. Although the driving means 30 is not shown in the drawing, in addition to the linear motor 34 described above, various driving means such as screws and nuts or chains and sprockets, racks and pinions, and the like may be used. Is also included within the technical spirit of the present invention.

또한, 상기 진공판(12)의 상면에는 정전기 방지를 위한 수지재(40)가 코팅되어 있어 소재(1)와 진공판(12) 상면 사이의 접촉면에서 정전기 발생을 방지할 수 있다.
In addition, the upper surface of the vacuum plate 12 is coated with a resin material 40 for preventing static electricity to prevent the occurrence of static electricity in the contact surface between the material 1 and the upper surface of the vacuum plate 12.

이와 같이 구성된 본 발명의 소재 이송장치를 이용하여 소재의 이송과정을 도 4에 의거 순차적으로 살펴보면 다음과 같다.Looking at the transfer process of the material using the material transport apparatus of the present invention configured as described above in accordance with Figure 4 as follows.

우선, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 소정거리 상호 이격된 제 1, 2진공판(12a, 12b)의 상면에 이송할 소재(1)가 안치된 상태에서 상기 제 1진공판(12a)의 하부에 구비된 흡착제어부(24)는 제 1진공판(12a)에서 공기를 빨아들일 수 있도록 진공흡입 작동을 지시하고, 반면에 제 2진공판(12b)의 흡착제어부(24)는 제 2진공판(12b)에서 공기를 내불어줄 수 있도록 정압배기 작동을 지시한다. First, as shown in (a) of FIG. 4, the first vacuum plate (with the material 1 to be conveyed on the upper surface of the first and second vacuum plates 12a and 12b spaced apart from each other by a predetermined distance) is placed. Adsorption control unit 24 provided in the lower portion of 12a instructs the vacuum suction operation so as to suck air from the first vacuum plate 12a, while the adsorption control unit 24 of the second vacuum plate 12b The positive pressure exhaust operation is instructed to blow out the air from the second vacuum plate 12b.

이에 따라, 상기 제 1진공판(12a)에서는 진공관(10)을 통해 진공판(12) 상면의 공기를 흡입하여 소재(1)를 제 1진공판(12a) 상면에 흡착하고, 제 2진공판(12b)에서는 공기를 내불어주어 소재(1)와 소정의 유격을 유지한다.Accordingly, the first vacuum plate 12a sucks air from the upper surface of the vacuum plate 12 through the vacuum tube 10 to absorb the material 1 onto the upper surface of the first vacuum plate 12a, and the second vacuum plate. In 12b, air is blown out to maintain a predetermined clearance with the material 1.

따라서, 이송될 소재(1)는 제 1진공판(12a)과 접촉하고 있는 측으로 소정각도 기울게 되고, 이 상태에서 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 제 1진공판(12a)이 소재(1)를 흡착한 상태로 구동수단(30)을 통해 소정거리(L1) 이동하게 된다.Therefore, the material 1 to be conveyed is inclined at a predetermined angle toward the side in contact with the first vacuum plate 12a, and in this state, the first vacuum plate 12a is formed as shown in FIG. The predetermined distance L1 is moved through the driving means 30 in a state of adsorbing (1).

그런 후, 상기 제 1진공판(12a)과 소재(1)의 이동이 완료되면 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 제 1진공판(12a)은 정압배기 상태가 되고 제 2진공판(12b)은 진공흡입 상태로 변환된다. Then, when the movement of the first vacuum plate 12a and the material 1 is completed, as shown in FIG. 4C, the first vacuum plate 12a is in a positive pressure exhaust state and the second vacuum plate. 12b is converted to a vacuum suction state.

따라서, 상기 소재(1)는 제 2진공판(12b)에 흡착되어 제 2진공판(12b)과 접촉하고 있는 측으로 소정각도 기울게 되고, 이 상태에서 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이 상기 제 2진공판(12b)은 소재(1)를 흡착한 상태로 구동수단(30)을 통해 소정거리(L2) 이동하게 된다. Thus, the material 1 is adsorbed by the second vacuum plate 12b and inclined at a predetermined angle toward the side in contact with the second vacuum plate 12b. In this state, as shown in FIG. The second vacuum plate 12b is moved by a predetermined distance L2 through the driving means 30 in a state where the material 1 is absorbed.

상기 소재(1)의 이송이 완료된 후 제 1, 2 진공판(12a, 12b)은 다른 소재(1)를 이송하기 위해 최초 위치로 되돌아가게 된다. After the transfer of the raw material 1 is completed, the first and second vacuum plates 12a and 12b are returned to their initial positions in order to transfer the other raw materials 1.

결국, 상기 소재(1)는 제 1, 2진공판(12a, 12b)의 단속적인 이동을 통해 제 1, 2진공판(12a, 12b)이 각각 이동한 거리의 합(L1 + L2)에 해당하는 거리만큼 이송된 것이며, 여기에서 소재(1)의 이송 속도 및 거리 등은 구동수단(30)의 제어를 통해 사용자가 자유자재로 조절할 수 있다. As a result, the material 1 corresponds to the sum L1 + L2 of the distances of the first and second vacuum plates 12a and 12b moved through intermittent movement of the first and second vacuum plates 12a and 12b. In this case, the feed speed and distance of the material 1 can be freely adjusted by the user through the control of the driving means 30.

그리고, 본 발명에서는 편의상 2개의 진공판(12a, 12b)으로 소재(1)를 이송하는 실시예를 기술하였으나, 이송거리 또는 소재의 크기 등을 고려하여 복수개의 진공판(12)이 사용될 수도 있다. In the present invention, an embodiment of transferring the material 1 to the two vacuum plates 12a and 12b is described for convenience, but a plurality of vacuum plates 12 may be used in consideration of the transfer distance or the size of the material. .

이러한 본 발명의 이송장치는 소재(1)를 이송하기 위해 종래와 같이 별도의 진공척(3)이 필요하지 않으므로 부가적인 설비가 추가되지 않고, 구동수단(30)이 소재(1)의 하측에 구비되어 있으므로 이송시 소재(1)의 표면에 스크래치 등이 발생되지 않아 품질저하를 방지할 수 있다.
Since the conveying apparatus of the present invention does not need a separate vacuum chuck 3 to convey the raw material 1, no additional equipment is added, and the driving means 30 is located below the raw material 1. Since it is provided with a scratch or the like on the surface of the material (1) during the transfer can be prevented from deterioration.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 대형 소재도 표면 손상없이 안전하게 이송시킬 수 있으며, 이송시의 정전기 발생을 방지하고 이송위치까지 신속하게 소재를 이송시킬 수 있는 것이다.As described above, the present invention can safely transport large materials without surface damage, and prevent the occurrence of static electricity during the transfer, and can quickly transfer the materials to the transfer position.

또한, 설비가 간소하여 설치 공간을 효율적으로 활용할 수 있고 설치비용을 대폭 절감할 수 있다. In addition, the facility is simple, so that the installation space can be effectively used, and the installation cost can be greatly reduced.

아울러, 이송대상 또한 손상되기 쉬운 소재 외에도 여타의 평판형 재료도 본 발명의 이송장치를 이용하여 일방향 이송이 가능하므로 활용폭이 매우 크다 할 수 있다.
In addition, in addition to the material to be easily damaged, other flat materials may also be used in a one-way transfer using the transfer device of the present invention, so that the utilization range may be very large.

Claims (4)

삭제delete 소재(1)를 상면에 흡착하여 이송시킬 수 있도록 진공관(10)이 내설된 하나 이상의 진공판(12)과;At least one vacuum plate 12 having a vacuum tube 10 embedded therein so as to absorb and transport the raw material 1 to an upper surface thereof; 상기 진공판(12)의 하부에 구비되며 상기 진공관(10)과 연결된 진공펌프(20) 및 모터(22)가 함입된 흡착제어부(24)와;An adsorption control unit 24 provided below the vacuum plate 12 and having a vacuum pump 20 and a motor 22 connected to the vacuum tube 10 embedded therein; 상기 흡착제어부(24)의 하측에 설치되어 상기 진공판(12)을 일방향으로 이송시킬 수 있도록 구비된 구동수단(30);을 포함하여 이루어진 구조로서,And a driving means (30) installed below the adsorption control unit (24) to move the vacuum plate (12) in one direction. 상기 구동수단(30)은 이송방향을 따라 횡설된 고정봉(32)과, 상기 고정봉(32)을 슬라이딩하는 리니어모터(34)로 이루어진 것을 특징으로 하는 소재 이송장치.The driving means (30) is a material conveying apparatus, characterized in that consisting of a fixed rod (32) rolled along the conveying direction, and a linear motor (34) sliding the fixed rod (32). 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 진공판(12)의 상면에는 정전기 방지를 위한 수지재(40)가 코팅된 것을 특징으로 하는 소재 이송장치.The upper surface of the vacuum plate 12 is a material transfer device, characterized in that the resin material 40 is coated for preventing static electricity. 소재(1)를 흡착할 수 있도록 구비된 제 1, 2 진공판(12a, 12b)과, 상기 제 1, 2 진공판(12a, 12b)에 진공흡입 또는 정압배기를 제어하는 흡착제어부(24)와, 상기 제 1, 2진공판(12a, 12b)을 각각 일방향으로 이송시킬 수 있도록 구비된 구동수단(30)을 포함하여 된 소재 이송장치를 이용한 소재 이송방법으로서,First and second vacuum plates 12a and 12b provided to adsorb the material 1, and an adsorption control unit 24 for controlling vacuum suction or constant pressure exhaust to the first and second vacuum plates 12a and 12b. And, as a material conveying method using a material conveying device comprising a drive means 30 provided to convey the first, second vacuum plate (12a, 12b) in one direction, respectively, 상기 제 1진공판(12a)이 진공흡입되고 제 2진공판(12b)이 정압배기되는 단계와,The first vacuum plate (12a) is vacuum suction and the second vacuum plate (12b) is a positive pressure exhaust; 상기 제 1진공판(12a)이 소재(1)를 흡착한 상태에서 일방향으로 소정거리(L1) 이동하는 단계와,Moving the predetermined distance L1 in one direction in a state in which the first vacuum plate 12a has absorbed the material 1; 상기 제 1진공판(12a)의 이동이 완료된 후 정압배기되고, 상기 제 2진공판(12b)이 진공흡입되는 단계와,After the movement of the first vacuum plate 12a is completed, the positive pressure is exhausted, and the second vacuum plate 12b is vacuum sucked; 상기 제 2진공판(12b)이 소재(1)를 흡착한 상태에서 일방향으로 소정거리(L2) 이동하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 소재 이송방법. The second vacuum plate (12b) is a material transfer method, characterized in that consisting of the step of moving a predetermined distance (L2) in one direction in the state of the material (1) adsorbed.
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