KR100581569B1 - 밀착 만곡형 디지탈 광학 스위치 - Google Patents

밀착 만곡형 디지탈 광학 스위치 Download PDF

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Abstract

만곡형 리지(ridge) 도파관(600)을 포함하는 광학 굴절률 스위치가 개시되어 있다. 그러한 도파관 주위의 클래딩은 밀착 만곡형 광학 스위치를 만들어 내도록 선택적으로 에칭된다.

Description

밀착 만곡형 디지탈 광학 스위치{TIGHTLY CURVED DIGITAL OPTICAL SWITCHES}
본 발명은 디지탈 광학 스위치에 관한 것이다. 구체적으로 기술하면, 본 발명은 밀착 만곡형 디지탈 광학 스위치에 관한 것이다.
원거리 통신에 있어서 바람직한 전송 매체로서 광 섬유로의 이행은 광학 네트워크의 경로 선택 및 분배 기능 모두를 수행할 실용적인 광학 스위치의 필요성을 창출시켜 왔다. 한 형태의 광학 스위치는 복수 개의 출력 도파관 중 특정한 하나의 출력 도파관에 착신 광학 신호를 선택적으로 전송하는 도파관 공간 스위치이다. 그러한 공간 스위치는 착신 광학 신호의 특정 스펙트럼 또는 정보의 내용과 무관하게 외부적으로 인가된 전기 제어 신호에 의해 제어된다. 이러한 형태의 광학 스위치는 일반적으로 3 가지 모드 중 하나의 모드, 즉 (1) 직접 결합기 스위치로서의 모드, (2) 이득 스위치로서의 모드, 또는 (3) 굴절률 스위치로서의 모드로 기능을 한다. 직접 결합기 스위치는 단일의 편광된 단색광을 분할시킨 후에, 소망하는 채널에서는 강해지도록, 소망하지 않는 채널에서는 약해지도록 이를 재결합킨다. 이득 스위치는 단일의 평광된 단색광을 분할시킨 후에, 이러한 광을 소망하는 채널에서는 증폭시키고(그러한 증폭은 단일의 편광된 단색광을 분할하는 것으로부터의 손실을 보상함) 소망하지 않는 채널에서는 이를 흡수시킨다. 광학 굴절률 스위치는 광학 에너지를 소망하는 출력 채널내로 초점 정합시키거나 반사시킨다.
그러나, 다수의 인자들은 이와 같은 상이한 스위치들의 성능을 제한한다. 예를 들면, 직접 결합기 스위치는 완전한 스위칭을 위해 활성 간섭 영역의 길이에 결정적으로 의존한다. 그러한 직접 결합기 스위치는 다중 파장 네트워크 또는 편광이 변화하는 네트워크에서의 사용을 배제하는, 특정 파장 및 편광에서의 작동용으로 제조되어야 한다. 이득 스위치는 고 전력 요구에 대한 문제점에 직면한다. 그 이외에도, 이득 스위치는 출력 채널에, 증폭을 위해서는 턴온되어야 하거나 또는 흡수를 위해서는 턴오프되어야 하는 신속한 광학 증폭기를 필요로 한다. 마지막으로, 스위칭을 위한 기계적 또는 열적 메카니즘에 의존하는 광학 스위치는 원거리 통신 네트워크에서 일반적으로 사용하는 데에는 극히 느리다.
이는 대부분의 원거리 통신 네트워크용으로 선택되는 스위치로서 광학 굴절률 스위치를 선호하게 한다. 광학 스위치는 굴절률의 변화로 광을 반사시키거나 또는 초점 정합시키도록 제조될 수 있는 데, 이 경우 굴절률 변화는 스위칭 영역에서 전기 캐리어를 주입 또는 공핍시킴으로써 달성된다. 그러한 공핍 작동 모드는 편광 감도에 대한 문제점에 직면하는 데, 그 이유는 공핍 영역의 큰 전계가 재료의 전기 광학 계수와 결합하기 때문이다ㅏ. 하지만, 편광에 영향을 받지 않는 작동에 대하여는, 광학 굴절률 스위치가 전기 캐리어를 주입함으로써 작동될 수 있다.
종래의 광학 굴절률 스위치는 보다 높은 굴절률 브랜치에서의 전파 성향이 비대칭 단열(斷熱; adiabatic) 형식의 전개에 기인하게 하기 위하여 굴절률 변화를 달성하는 데 각각의 출력 브랜치 마다 전극을 필요로 한다. 그러나, 이러한 굴절률 스위치는 전극 사이, 특히 도파관 접합부의 상호 작용 영역에서의 임의의 결합을 최소화시키는 데 엄격한 제조 공정 및 공차를 필요로 한다. 더욱이, 굴절률 스위치는 특정한 스위칭 상태에 있게 하는 데 연속적인 전기 전력을 필요로 한다.
상기 문제점에 대한 해결 방안은 발명의 명칭이 '제로 유지 전력 디지탈 광학 스위치(ZERO HOLDING POWER DIGITAL OPTICAL SWITCHES)' 인 미국 특허 제 5,490,226 호 및 발명의 명칭이 '디지탈 광학 스위치용의 최적화된 전극 구조( OPTIMIZED ELECTRODE GEOMETRIES FOR DIGITAL OPTICAL SWITCHES)' 인 미국 특허 제 5,537,497 호에 의해 제시되었는 데, 이들 특허 모두가 윌리암 에이치.넬슨( William H. Nelson) 명의로 특허 허여되었고, 그에 대한 관련 내용은 하기에 기술되어 있다. 그러나, 이들 스위치는 개별 섬유에 대한 결합을 허용하는 말단부들 사이의 필요한 분리를 달성하기 위하여 대형 칩을 필요로 하였다. 스위치의 길이를 감소시키기 위해서는, 현재 기술은 스위치내에 밀착 결합된 만곡형 도파관을 배치시키는 데 추가적인 마스킹 및 재성장, 또는 제조 공정을 필요로 한다. 그러한 추가적인 마스킹 및 재성장 공정은 비용을 증가시키며 광학 스위치의 수율(收率)을 상당히 감소시킨다. 그러므로, 추가적인 마스킹 및 재성장, 및 그에 해당하는 수율의 감소없이 소형 칩을 제공하는 것이 바람직스러울 것이다.
상기한 이점을 달성하고자 하려면 그리고 본 발명의 목적에 의하면, 본 명세서에서 구체화되고 명백하게 기재되어 있는 바와 같이, 본 발명과 일관성이 있는 광학 스위치는 광학 신호를 수신하기 위한 리지 도파관(ridge waveguide) 헤테로 구조체를 포함하는 입력 브랜치를 포함한다. 제 1 출력 브랜치는 한 접합부에서 상기 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있다. 상기 제 1 출력 브랜치는 제 1 굴절률의 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함한다. 제 2 출력 브랜치는 또한 상기 접합부에서 상기 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있다. 상기 제 2 출력 브랜치는 순방향 바이어스된 굴절률, 역방향 바이어스된 굴절률, 및 바이어스 않된 굴절률을 갖는 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함한다. 한 전극은 순방향 바이어스된 굴절률, 역방향 바이어스된 굴절률, 및 바이어스 않된 굴절률 사이로 상기 제 2 출력 브랜치의 굴절률을 변경시키도록 상기 제 2 출력 브랜치상에 배치되어 있다.
본 발명과 일관성이 있는 다른 한 광학 스위치는 제 1 순방향 바이어스된 굴절률, 제 1 역방향 바이어스된 굴절률, 및 제 1 바이어스 않된 굴절률을 갖는 광학 신호를 수신하기 위한 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 제 1 입력 브랜치를 포함한다. 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 제 2 입력 브랜치는 한 접합부에서 상기 제 1 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있다. 제 1 출력 브랜치는 상기 접합부에서 상기 제 1 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있고 제 2 바이어스 않된 굴절률의 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함한다. 제 2 출력 브랜치는 상기 접합부에서 상기 제 1 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있으며 제 2 순방향 바이어스된 굴절률, 제 2 역방향 바이어스된 굴절률, 및 제 3 바이어스 않된 굴절률을 갖는 만곡된 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함한다. 제 1 전극은 제 1 순방향 바이어스된 굴절률, 제 1 역방향 바이어스된 굴절률, 및 바이어스 않된 굴절률 사이로 상기 제 1 입력 브랜치의 굴절률을 변경시키도록 상기 제 1 입력 브랜치상에 배치되어 있다. 제 2 전극은 제 2 순방향 바이어스된 굴절률, 제 2 역방향 바이어스된 굴절률, 및 제 3 바이어스 않된 굴절률 사이로 상기 제 2 출력의 굴절률을 변경시키도록 상기 제 2 출력 브랜치상에 배치되어 있다.
도 1은 종래의 Y-접합 광학 스위치를 나타낸 도면이다.
도 2는 미국 특허 제 5,490,226 호에 따른 Y-접합 광학 스위치를 나타낸 도면이다.
도 3은 미국 특허 제 5,537,497 호에 따른 X-접합 광학 스위치를 나타낸 도면이다.
도 4는 미국 특허 제 5,537,497 호에 따른 다른 한 X-접합 광학 스위치를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 2, 도 3, 및 도 4와 일관성이 있는 광학 굴절률 스위치의 단면도이다.
도 6A는 만곡된 입력 및 출력 브랜치를 포함하는 도 3 또는 도 4의 X-접합 광학 굴절률 스위치를 나타낸 도면이다.
도 6B는 추가 에칭을 보여 주는 도 6A의 X-접합 광학 굴절률 스위치의 단면도이다.
지금부터 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 본 발명을 상세히 기술하고자 하는 데, 이러한 예들은 첨부 도면에 예시되어 있다. 이하의 설명 부분에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 사항은 제한하는 것이 아니라, 예시적인 것으로 해석되어야 할 것이다.
본 발명과 일관성이 있는 광학 스위치는 광학 신호를 수신하기 위한 만곡된 리지 도파관 헤테로 구조체를 제공한다. 이와 같은 만곡된 리지 도파관은 만곡부의 내측 원호상에 상기 헤테로 구조체의 갭을 만들어 내는 추가 에치 단계를 포함하는 공정을 사용하여 제조된다. 이러한 단계는, 수율을 감소시키고 신호 손실을 저지시키는 추가적인 마스킹 및 재성장 공정없이 도파관을 밀착 결합시킨다.
도 1은 종래의 Y-접합 광학 스위치(100)를 도시한 것이다. 스위치(100)는 하나의 입력 브랜치(102), 2 개의 출력 브랜치(104,106)를 포함한다. 출력 브랜치 (104,106)는 전극(108,110)을 각각 포함한다. 출력 브랜치(104,106)의 굴절률은 실질적으로 동일하다. 그러나, 전극 중 최소한 하나의 전극에 전류를 공급하면, 굴절률 면에서 비대칭이 만들어질 수 있다. 그러한 비대칭은 광학 스위치(100)가 단열 방식으로 작동하는 것을 가능하게 한다. 바꾸어 말하면, 기본 모드 및 보다 높은 우수 모드에서의 광 신호는 효율성이 보다 높은 굴절률로 스위치(100)의 출력 브랜치를 통해 전파된다. 마찬가지로, 기수 모드에서의 광 신호는 효율성이 보다 낮은 굴절률로 스위치(100)의 출력 브랜치를 통해 전파된다. 출력 브랜치 (104,106)의 굴절률의 차는, 캐리어를 주입함으로써 광학 굴절률을 낮추는 한 출력 브랜치를 순방향 바이어스시키거나, 또는 캐리어를 공핍시키거나, 캐리어를 주입하고 공핍시키는 것 모두를 행함으로써 광학 굴절률을 높이는 나머지 출력 브랜치를 역방향 바이어스시킴으로써 달성된다. 따라서, 광 신호가 단지 우수 또는 기수 모드만을 포함하는 경우, 광학 스위치는 본질적으로는 디지탈 방식이다. 예를 들면, 광 신호가 단지 우수 모드만을 포함하고 출력 브랜치(104)가 순방향 바이어스되는 경우, 출력 브랜치(104)의 실효 굴절률은 출력 브랜치(106)의 실효 굴절률보다 비교적 낮다. 이는 우수 모드 광 캐리어가 출력 브랜치(106)를 통해 전파되게 한다. 그러므로, 출력 브랜치(104)는 전파성이 없을 것이다( 스위치의 '오프 (OFF)' 측). 마찬가지로, 광 캐리어가 단지 우수 모드만을 포함하고 출력 브랜치(106)가 역방향 바이어스되는 경우, 출력 브랜치(106)의 실효 굴절률은 출력 브랜치(104)의 실효 굴절률보다 높다. 그러므로, 출력 브랜치(106)는 전파성이 있을 것이다(스위치의 '온(ON)' 측).
스위치(100)의 한가지 단점은 스위치가 작동하기 위하여는 전기 에너지가 전극 중 최소한 하나의 전극에 연속적으로 인가되어야 한다는 점이다. 스위치(100)에 대한 추가적인 단점은 역방향 바이어스 작동시, 공핍 모드가 편광 감도에 대한 문제점에 직면한다는 점이다. 더군다나, 그러한 디바이스는 또한 접합 영역에서의 전극의 교차 결합에 기인한 문제점들을 나타낼 수도 있다.
도 2는 종래의 스위치(100)에 대한 변형예인 Y-형 광학 스위치(200)를 도시한 것이다. 스위치(200)는 하나의 입력 브랜치(202) 및 2 개의 출력 브랜치( 204,206)를 포함한다. 출력 브랜치(204,206)는 이들 브랜치 중 한 브랜치가 보다 높은 실효 굴절률을 지니도록 설계되어 있다. 예를 들면, 출력 브랜치(206)는 출력 브랜치(204)보다 큰 실효 굴절률로 설계되어 있다.
에너지를 공급받지 않는 작동 동안에는, 광 신호가 입력 브랜치(202)로부터 출력 브랜치(206)로 전파된다. 그러나, 전극(208)이 출력 브랜치(204)를 역방향 바이어스시키도록 에너지를 공급받는 경우, 출력 브랜치(204)의 실효 굴절률은 증가된다. 증가된 실효 굴절률은 광 신호가 입력 브랜치(202)로부터 출력 브랜치(204)로 전파되게 한다. 현재 당업자라면 출력 브랜치에서의 굴절률을 변화시키고 단일의 전극의 위치를 재배열시켜 유사한 결과를 얻을 수 있는 능력을 알 수 있을 것이다. 또한, 스위치(200)는 발명의 명칭이 '제로 유지 전력 디지탈 광학 스위치(ZERO HOLDING POWER DIGITAL OPTICAL SWITCH)' 인 미국 특허 제 5,490, 226 호에 개시되어 있다.
도 3은 종래의 스위치(100)에 대한 변형예인 X-형 광학 스위치(300)를 도시한 것이다. 스위치(300)는 2 개의 입력 브랜치(302,304), 및 2 개의 출력 브랜치( 306,308)를 지닌다. 입력 브랜치 중 한 입력 브랜치, 즉 입력 브랜치(304), 및 출력 브랜치 중 한 출력 브랜치, 즉 출력 브랜치(306)는 전극(310 또는 312)을 각각 포함한다. 입력 브랜치(302,304), 및 출력 브랜치(306,308)는 바이어스 않된 경우, 다시 말하면, 대칭인 경우 실질적으로 동일한 실효 굴절률을 지니도록 설계된다.
전극(310,312)이 공통 바이어스로 에너지를 공급받는 경우, 예를 들면, 입력 브랜치(304)를 통해 전파되는 단일 모드 광은 출력 브랜치(306)를 통해 전파될 것이다. 변형적으로는, 전극(310,312)이 대향하는 바이어스로 에너지를 공급받는 경우, 예를 들면, 입력 브랜치(304)를 통해 전파되는 단일 모드 광은 출력 브랜치( 308)를 통해 외부로 전파될 것이다.
스위치(300)는 다음과 같은 특성, 즉 특정한 굴절률 입력 브랜치로부터의 광학 모드가 스위치(300)에 진입되는 경우 그러한 광학 모드가 가장 밀접한 실효 굴절률로 한 출력 브랜치내로의 접합부에서 배출되는 특성 때문에 이러한 방식으로 작동한다. 따라서, 비교적 높은 굴절률 입력 브랜치로부터 전파되는 광은 비교적 더 높은 실효 굴절률로 그러한 출력 브랜치를 통해 배출되려는 경향을 지닐 것이다. 마찬가지로, 비교적 낮은 굴절률 입력 브랜치로부터의 광학 모드는 비교적 낮은 굴절률로 상기 출력 브랜치를 통해 접합부에서 배출될 것이다. 따라서, 입력 브랜치(304) 및 출력 브랜치(306)가 모두 순방향 바이어스되는 경우, 이들 각각은 출력 브랜치(308)보다 비교적 낮은 굴절률를 지닌다. 마찬가지로, 입력 브랜치( 304) 및 출력 브랜치(306)가 모두 역방향 바이어스되는 경우, 이들 각각은 출력 브랜치(308)보다 비교적 높은 굴절률을 지닌다. 이들 모두의 경우에 있어서, 광 신호는 입력 브랜치(304)로부터 출력 브랜치(306)로 전파되는 데, 그 이유는 이들의 굴절률이 값에 있어서 비교적 보다 밀접하기 때문이다.
이와는 반대로, 입력 브랜치(304)가 순방향 바이어스되고 출력 브랜치(306)가 역방향 바이어스되는 경우, 입력 브랜치(304) 및 출력 브랜치(308)는 출력 브랜치(306)보다 비교적 낮은 굴절률을 지닌다. 따라서, 광 신호가 입력 브랜치(304)로부터 출력 브랜치(308)로 전파된다. 예를 들면, 입력 브랜치(304)가 순방향 바이어스되고 출력 브랜치(306)가 역방향 바이어스되는 경우, 입력 브랜치(304)의 굴절률은 낮아지고 출력 브랜치(306)의 굴절률은 상승된다. 이는 입력 브랜치(304)의 실효 굴절률이 출력 브랜치(308)에 비하여 낮아지게 하고 출력 브랜치(306)의 실효 굴절률이 출력 브랜치(308)에 비하여 상승되게 한다. 그러한 바이어싱 때문에, 입력 브랜치(304) 및 출력 브랜치(308)의 실효 굴절률은 입력 브랜치(304) 및 출력 브랜치(306)의 실효 굴절률보다 양호하게 정합된다. 마찬가지로, 입력 브랜치(304)가 역방향 바이어스되고 출력 브랜치(306)가 순방향 바이어스되는 경우, 입력 브랜치(304) 및 출력 브랜치(308)는 출력 브랜치(306)보다 비교적 높은 굴절률을 지닌다. 그러므로, 입력 브랜치(304)를 통해 전파되는 광 신호는 출력 브랜치 (308)를 통해 배출될 것이다.
도 4는 변형적인 X-형 광학 스위치(400)를 도시한 것이다. 스위치(400)는 2 개의 입력 브랜치(402,404), 및 2 개의 출력 브랜치(406,408)를 포함한다. 상기 입력 브랜치 중 한 입력 브랜치, 즉 입력 브랜치(404)는 하나의 전극(410)을 포함한다. 스위치(300)와는 달리, 스위치(400)는 제 1 굴절률을 지니는 출력 브랜치 (406) 및 상기 제 1 굴절률과는 다른 제 2 굴절률을 지니는 출력 브랜치(408)를 갖도록 설계되어 있다. 예를 들면, 출력 브랜치(406)는 바이어스 않된 입력 브랜치( 404)의 굴절률보다 큰 굴절률을 갖도록 설계될 수 있으며, 출력 브랜치(408)는 바이어스 않된 입력 브랜치(404)의 굴절률보다 낮은 굴절률을 갖도록 설계될 수 있다.
따라서, 전극(410)이 순방향 바이어스되는 경우, 이로 인해 입력 브랜치( 404)의 실효 굴절률이 낮아질 때, 광 신호는 입력 브랜치(404)로부터 출력 브랜치 (408)로 전파된다. 마찬가지로, 전극(410)이 역방향 바이어스되는 경우, 이로 인해 입력 ㎛브랜치(404)의 실효 굴절률이 상승될 때, 광 신호는 입력 브랜치(404)로부터 출력 브랜치(406)로 전파된다. 현재 당업자라면, 입력 및 출력 브랜치에서 굴절률을 변화시키고 전극의 위치 및 개수를 재배치시켜서 유사한 결과를 얻을 수 있는 능력을 이해할 것이다. 스위치(300,400)는 또한 발명의 명칭이 '디지탈 광학 스위치용의 최적화된 전극 구조(OPTIMIZED ELECTRODE GEOMETRIES FOR DIGITAL OPTICAL SWITCHES)' 인 미국 특허 제 5,537,497 호에도 개시되어 있다.
도 5는 본 발명과 일관성이 있는 리지 도파관의 에피택셜 계층화를 예시한 것이다. 그러한 도파관은 Y-접합 또는 X-접합 중 어느 하나를 형성하도록 배치되어 있는 2.5 ㎛ 내지 5.0 ㎛의 폭을 갖는 리지 도파관을 포함한다. 교차 부분에서의 개구 각도는 대략 1/2°내지 2°이다. 출력 도파관들이 분기되는 지점에서, 1 ㎛의 폭을 갖는 트렌치가 2 개의 개별 리지를 분리시키도록 에칭된다. p-n 접합의 깊이는 횡방향 전류(transverse current)의 한정을 위해 리지 높이 보다 작다. p-n 접합 및 단일 전극은 출력 브랜치의 전체 길이를 연장시킬 수 있다. 결과적으로, 전류는 활성 스위칭 영역 이상으로 양호하게 주입되고 최적화된 구조체에서 필요한 것 보다는 대량이다. 도파관들의 간격은 출력에서 150 ㎛ 이다.
비록 이하의 구조체가 재료를 특정하고는 있지만, 현재 당업자라면 어떠한 방식으로 균등 재료들이 사용될 수 있는 지를 이해할 것이다. 스위치의 에피택셜 층 구조체는 할로겐화물 VPE, MOCVD, 또는 균등한 방법 중 어느 한 방법으로 n+--InP 기판(502)상에 성장된다. InP 버퍼 층(504)은 우선 기판(502)상에 침착된(deposited) 다음에, InGaAsP 도파 층(506)이 침착된다. 바람직하기로는, 버퍼 층(504)은 대략 2.0 ㎛ 이고 도파 층(506)은 0.5 ㎛ 이다. 도파 층(506) 다음으로는 제 1 InP 클래딩(cladding) 층(508), InGaAsP 에치 정지 층(510), 및 제 2 InP 클래딩 층(512)이 침착된다. 바람직하기로는 상기 층들이 각각 0.5 ㎛, 0.02 ㎛, 및 2.5 ㎛ 이다. 상기 층들은 오옴 접촉을 용이하게 하도록 InGaAs 층(514)에 의해 바람직하기로는 0.1 ㎛ 정도 덮인다. 모든 InP 층은 대략 1 ×1017 cm-3 까지 유황으로 도핑되지만, 나머지 층들은 도핑되지 않는다.
광학 스위치의 출력 브랜칭 영역에서의 p-n 접합은 Si3N4 및 ZnP2+P(적색) 소오스를 사용한 밀폐된 진공 앰플내에서의 선택 영역의 Zn 확산에 의해 형성된다. 그러한 확산은 약 15 내지 30 분 동안 대략 500 ℃ 에서 행해지고, 실제 시간은 필요한 확산 깊이에 의존한다. 변형적으로는, p-형 도체가 종래의 방식으로 성장될 수 있다. 반응 이온 에칭(CH4/H2) 및 습식 화학 에칭(H3PO4:HCL=9:1)의 결합은 X 또는 Y 브랜칭 도파관 리지를 제조하는 데 사용된다. 열처리된 폴리미드 층은 표면을 평탄화시키도록 도포된 다음에 Ti/Au 금속 증착이 행해짐으로써 전극 및 접촉 패드가 형성되게 한다. 그후, 기판은 약 100 ㎛ 까지 박막화되며, Ti/Au 백 오옴 접점이 형성된다. 약 20 초 동안 약 400 ℃ 에서 상기 금속 접점들을 소결(sinter)시킨 후에, 웨이퍼는 상이한 브랜칭 각도를 갖는 Y-접합 또는 X-접합 스위치의 막대(bar)로 분리될 수 있다.
스위치(200, 300, 400)가 단열 작동을 나타내기 위하여, 입력 또는 출력 브랜치 사이의 개구 각도가 작은 데, 전형적으로는 약 1/2°내지 2°이다. 출력(또는 입력) 브랜치의 단부들 사이의 간격이 약 150 ㎛ 로 되기 위하여, 이들 광학 스위치는 길이가 비교적 길게 된다. 약 150 ㎛ 의 간격은 개별 섬유들에 대한 입력 또는 출력 브랜치의 결합을 허용하는 데 필요하다. 그러나, 스위치(200, 300, 400 )의 길이를 감소시키기 위하여는, 그들이 만곡형 입력 및 출력 브랜치로 설계될 수 있다. 상기 만곡형 광학 스위치용의 관련 전극은 전극(208, 310, 312, 410)의 배치와 일관성이 있게 배치된다.
만곡형 브랜치는 칩의 사이즈를 감소시킨다. 일반적으로는, 약하게 결합된 만곡형 도파관은 에칭 클래딩 층(512)을 통해 상기 브랜치를 만곡시킴으로써 제조된다. 그러나, 이와 같은 약하게 결합된 만곡형 도파관은 신호 손실에 직면하는 데, 그 이유는 직선 경로로 진행하려는 경향을 갖는 광이 만곡부의 외측 원호를 통해 만곡형 도파관에서 배출되기 때문이다. 만곡형 도파관에서의 신호 손실은, 광이 도파관을 따라 굴곡되게 하는 밀착 결합 만곡부를 사용함으로써 감소될 수 있다. 그러나, 밀착 결합 만곡형 도파관을 제조하는 종래의 방법은 만곡부의 외측 원호상에 클래딩 층(512)을 에워싸는 추가적인 마스킹 및 재 성장 단계들을 필요로 한다. 이와 같은 추가적인 단계들은 수율을 감소시키며 생산 및 제조 비용을 상당히 증가시킨다.
도 6A 및 도 6B는 본 발명과 일관성이 있는 X-접합 광학 스위치(600)를 예시한 것이다. 본 발명과 일관성이 있는 방식으로 밀착 결합 만곡형 도파관을 제조하기 위하여, 전체 칩이 종래의 방식으로 에칭된 후에 클래딩 층(508)을 선택적으로 에칭함으로써 클래딩 층(508)의 두께는 만곡형 리지 도파관의 내측 원호, 즉 영역(602)상에서 감소된다. 영역(602)를 에칭함으로써, 리지 도파관은 밀착 결합되는 데, 그 이유는 만곡부의 내측 원호의 실효 굴절률이 증가되기 때문이다. 만곡부의 내측상의 클래딩이 제거되기 때문에, 광은 영역(604)를 통해 리지 도파관에서 배출되는 대신에 굴곡되는 경향을 지닌다. 더욱이, 에칭 영역(602)는 종래 방법의 추가적인 마스킹 및 재 성장 단계들 없이 밀착 결합 만곡형 리지 도파관을 만들어 낸다. 또한, 여분의 에치는 에치 깊이가 단지 최소한 한계의 최소 깊이를 에칭하도록 제어될 필요성이 있는 이점을 지닌다. 어떠한 추가적인 에치라도 보다 밀착 결합된 만곡형 스위치를 제공한다.
비록 도 6A 및 도 6B가 X-접합 광학 스위치를 도시하고는 있지만, Y-접합 광학 스위치는 마찬가지로 밀착 결합된 만곡형 출력 브랜치를 지니도록 변형될 수 있다.
요약하면, 현재 입수가능한 광학 스위치는 대형 칩을 필요로 한다. 이와 같은 광학 스위치의 길이를 감소시키기 위하여, 만곡형 스위치는 광학 스위치의 출력 브랜치 및/또는 입력 브랜치내에 배치된다. 약하게 결합된 만곡형 도파관에 대한 해당하는 신호의 손실 및 밀착 결합 만곡형 도파관에 대한 수율의 감소는 만곡부의 내측 원호상에 헤테로 구조체내의 갭을 만들어 내는 에치 단계를 사용하여 칩을 제조함으로써 방지된다. 이러한 에치 단계는, 수율을 감소시키고 신호 손실을 저지하는 추가적인 마스킹 및 재 성장 없이 도파관을 결합시킨다.
당업자라면 본 발명의 범위 또는 사상에서 벗어나지 않고서도 본 발명과 일관성이 있는 방법 및 장치에서 여러 변형 및 수정이 이루어질 수 있다는 점을 명확하게 알 수 있을 것이다. 다른 변형예는 본 명세서에 개시된 본 발명의 명세서 및 실시예를 고려해 보면 당업자에게는 자명해질 것이다. 본 명세서 및 예들은 단지 예시적인 것으로서 고려되어야 하며, 본 발명의 진정한 범위 및 사상은 이하 청구의 범위에 제시되어 있다.

Claims (15)

  1. 광학 신호를 수신하기 위한 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 입력 브랜치;
    제 1 굴절률의 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 접합부에서 상기 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있는 제 1 출력 브랜치;
    각각이 상기 제 1 굴절률과는 상이한 순방향 바이어스된 굴절률, 역방향 바이어스된 굴절률, 및 바이어스 되지 않은 굴절률을 갖는 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 접합부에서 상기 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있는 제 2 출력 브랜치; 및
    상기 순방향 바이어스된 굴절률, 상기 역방향 바이어스된 굴절률, 및 바이어스 않된 굴절률 사이로 상기 제 2 출력 브랜치의 굴절률을 변경시키도록 상기 제 2 출력 브랜치상에 배치되어 있는 전극;을 포함하는 광학 스위치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 입력 브랜치, 제 1 출력 브랜치, 및 제 2 출력 브랜치는,
    InP 기판;
    상기 기판상에 배치되어 있는 InP 버퍼 층;
    상기 버퍼 층상에 배치되어 있는 InGaAsP 도파 층;
    상기 도파 층상에 배치되어 있으며 상기 만곡형 리지 도파관 주위에 선택적으로 에칭되어 있는 제 1 InP 클래딩 층;
    상기 클래딩 층상에 배치되어 있는 InGaAsP 에치 정지 층; 및
    상기 에치 정지 층상에 배치되어 있는 제 2 InP 클래딩 층;을 포함하는 광학 스위치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 클래딩 층은 Zn 확산 영역를 선택적으로 형성하는 광학 스위치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 클래딩 층은 성장된 p-형 반도체를 선택적으로 형성하는 광학 스위치.
  5. 제 1 순방향 바이어스된 굴절률, 제 1 역방향 바이어스된 굴절률, 및 제 1 바이어스 않된 굴절률을 갖는 광학 신호를 수신하기 위한 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 제 1 입력 브랜치;
    만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 접합부에서 상기 제 1 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있는 제 2 입력 브랜치;
    제 2 바이어스 않된 굴절률의 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 접합부에서 상기 제 1 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있는 제 1 출력 브랜치;
    제 2 순방향 바이어스된 굴절률, 제 2 역방향 바이어스된 굴절률, 및 제 3 바이어스 않된 굴절률을 갖는 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 접합부에서 상기 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있는 제 2 출력 브랜치;
    상기 제 1 순방향 바이어스된 굴절률, 상기 제 1 역방향 바이어스된 굴절률, 및 상기 제 1 바이어스 않된 굴절률 사이로 상기 제 1 입력 브랜치의 굴절률을 변경시키도록 상기 제 1 입력 브랜치상에 배치되어 있는 제 1 전극; 및
    상기 제 2 순방향 바이어스된 굴절률, 상기 제 2 역방향 바이어스된 굴절률, 및 상기 제 3 바이어스 않된 굴절률 사이로 상기 제 2 출력 브랜치의 굴절률을 변경시키도록 상기 제 2 출력 브랜치상에 배치되어 있는 제 2 전극;을 포함하는 광학 스위치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 바이어스 않된 굴절률, 상기 제 2 바이어스 않된 굴절률, 및 상기 제 3 바이어스 않된 굴절률은 실질적으로 동일한 광학 스위치.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 입력 브랜치, 상기 제 2 입력 브랜치, 상기 제 1 출력 브랜치, 및 상기 제 2 출력 브랜치는,
    InP 기판;
    상기 기판상에 배치되어 있는 InP 버퍼 층;
    상기 버퍼 층상에 배치되어 있는 InGaAsP 도파 층;
    상기 도파 층상에 배치되어 있으며 상기 만곡형 리지 도파관 주위에 선택적으로 에칭되어 있는 제 1 InP 클래딩 층;
    상기 클래딩 층상에 배치되어 있는 InGaAsP 에치 정지 층; 및
    상기 에치 정지 층상에 배치되어 있는 제 2 InP 클래딩 층;을 포함하는 광학 스위치.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 제 2 클래딩 층은 Zn 확산 영역를 선택적으로 형성하는 광학 스위치.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 제 2 클래딩 층은 성장된 p-형 반도체를 선택적으로 형성하는 광학 스위치.
  10. 제 1 순방향 바이어스된 굴절률, 제 1 역방향 바이어스된 굴절률, 및 제 1 바이어스 않된 굴절률을 갖는 광학 신호를 수신하기 위한 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 제 1 입력 브랜치;
    만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 접합부에서 상기 제 1 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있는 제 2 입력 브랜치;
    제 2 바이어스 않된 굴절률의 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 접합부에서 상기 제 1 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있는 제 1 출력 브랜치;
    상기 제 2 바이어스 않된 굴절률과는 상이한 제 3 바이어스 않된 굴절률을 갖는 만곡형 리지 도파관 헤테로 구조체를 포함하는 접합부에서 상기 입력 브랜치에 광학적으로 결합되어 있는 제 2 출력 브랜치;
    상기 제 1 순방향 바이어스된 굴절률, 상기 제 1 역방향 바이어스된 굴절률, 및 상기 제 1 바이어스 않된 굴절률 사이로 상기 제 1 입력 브랜치의 굴절률을 변경시키도록 상기 제 1 입력 브랜치상에 배치되어 있는 제 1 전극;을 포함하는 광학 스위치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 입력 브랜치, 상기 제 2 입력 브랜치, 상기 제 1 출력 브랜치, 및 상기 제 2 출력 브랜치는,
    InP 기판;
    상기 기판상에 배치되어 있는 InP 버퍼 층;
    상기 버퍼 층상에 배치되어 있는 InGaAsP 도파 층;
    상기 도파 층상에 배치되어 있으며 상기 만곡형 리지 도파관 주위에 선택적으로 에칭되어 있는 제 1 InP 클래딩 층;
    상기 클래딩 층상에 배치되어 있는 InGaAsP 에치 정지 층; 및
    상기 에치 정지 층상에 배치되어 있는 제 2 InP 클래딩 층;을 포함하는 광학 스위치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 클래딩 층은 Zn 확산 영역를 선택적으로 형성하는 광학 스위치.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 클래딩 층은 성장된 p-형 반도체를 선택적으 로 형성하는 광학 스위치.
  14. 반도체 기판을 사용하여 광학 스위치를 제조하는 방법에 있어서,
    리지 도파관 헤테로 구조체를 형성하도록 상기 기판상에 클래딩을 도포하는 단계;
    선택 영역 확산으로 p-n 접합을 형성하는 단계;
    복수 개의 만곡형 브랜치를 지니는 스위치 접합부를 형성하도록 상기 리지 도파관 헤테로 구조체를 에칭하는 단계로서, 상기 복수 개의 만곡형 브랜치 중 각각의 만곡형 브랜치의 내측 원호에서 클래딩을 제거하는 단계를 포함하는 에칭 단계;
    상기 스위치 접합부의 표면을 평탄화하는 단계; 및
    최소한 하나의 전극을 형성하도록 도전성 금속을 증착시키는 단계;를 포함하는 광학 스위치 제조 방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 재 에칭 단계는 상기 리지 도파관의 최소 한계 깊이를 에칭하도록 제어되는 방법.
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