KR100571514B1 - Chip picker of sawing sorter system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 소잉소터시스템(Sawing Sortor System)의 칩피커에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 솔더볼검사 및 마킹검사를 수행한 반도체 패키지를 진공흡착하여 트레이에 적재하는 소잉소터시스템의 칩피커(chip picker)에 있어서, 다수개의 모터; 상기 모터의 회전축과 연결되어 양방향으로 회동하는 원동풀리; 상기 원동풀리의 하측에 위치하면서 벨트로 연결되는 종동풀리; 상기 풀리들을 기준으로 좌측면 및 우측면에 각각 결합되어 상기 모터의 회전에 의해 서로 반대방향으로 상하운동하는 제 1 및 제 2 클램프; 상기 각 클램프에 연동되어 상하운동하고, 진공라인이 개설된 패드 홀더; 및 상기 패드 홀더에 결합된 진공패드를 포함하여 이루어지는 소잉소터시스템의 칩피커를 제공한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip picker of a sawing sorter system, and more particularly, to a chip picker of a sawing sorter system in which a semiconductor package subjected to solder ball inspection and marking inspection is vacuum-adsorbed and placed on a tray. A plurality of motors; A driving pulley connected to the rotation shaft of the motor to rotate in both directions; A driven pulley positioned below the prime pulley and connected to the belt; First and second clamps coupled to left and right sides of the pulleys, respectively, to move up and down in opposite directions by rotation of the motor; A pad holder interlocked with each of the clamps to move up and down and open a vacuum line; And it provides a chip picker of the sawing sorter system comprising a vacuum pad coupled to the pad holder.

본 발명에 의하면 구동력을 모터에 의해 얻기 때문에 진공패드의 정확한 위치제어가 가능하다. According to the present invention, since the driving force is obtained by the motor, accurate position control of the vacuum pad is possible.

소잉 소터 시스템. 칩피커. 모터. 타이밍 벨트.Sawing Sorter System. Chip picker. motor. Timing belt.

Description

소잉소터시스템의 칩피커{Chip picker of sawing sorter system}Chip picker of sawing sorter system

도 1은 본 발명에 의한 칩피커의 후방사시도이다.1 is a rear perspective view of a chip picker according to the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 칩피커의 측면도이다.2 is a side view of the chip picker according to the present invention.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※※ Explanation of code about main part of drawing ※

10: 모터 20: 원동풀리10: motor 20: prime pulley

30: 종동풀리 40: 타이밍벨트 30: driven pulley 40: timing belt

41: 좌측면 42: 우측면41: Left side 42: Right side

51: 제 1 클램프 52: 제 2 클램프51: first clamp 52: second clamp

61, 62: 연결바 71, 72: 승강블럭61, 62: connecting bar 71, 72: lifting block

81, 82: 패드 홀더 81a, 82a: 스프링81, 82: pad holder 81a, 82a: spring

91, 92: 진공패드 110: 진공라인91, 92: vacuum pad 110: vacuum line

120: 가이드블럭 130: 센서120: guide block 130: sensor

131: 지지체 132: 센서바131: support 132: sensor bar

본 발명은 소잉소터시스템(Sawing Sortor System)의 칩피커에 관한 것으로 서, 보다 상세하게는 그룹성형된 반도체 패키지가 단위별로 절단된 후, 이송 및 검사가 완료된 반도체 패키지를 양품 및 불량품으로 분류하여 트레이에 적재하는 칩피커에 관한 것이다.The present invention relates to a chip picker of a sawing sorter system. More specifically, after a group-shaped semiconductor package is cut in units, a semiconductor package in which transfer and inspection are completed is classified into good and defective parts, and a tray is provided. It relates to a chip picker to be loaded in.

반도체 패키지의 제조공정을 테이프 배선기판을 사용하는 비지에이 패키지(BGA, Ball Grid Array Package)를 예로 설명한다. 폴리이미드(polyimide) 필름에 기판 회로배선이 형성된 스트립(strip) 상태의 테이프 배선기판의 상부에 비전도성 에폭시 수지 재질의 접착제로 반도체 칩들이 각 패키지 영역에 부착되어 복수의 패키지 영역 단위로 그룹화되어 그룹성형물을 형성한다. 이와 같은 테이프 배선 기판은 공정 진행과정에서 취급의 용이를 위해 일정길이 단위로 커팅되어 캐리어 프레임에 고정한 반제품 반도체 칩 패키지로 제조된다. 이어서, 테이프 배선기판의 배면에 형성된 구멍으로 노출된 본딩 볼 랜드 부분에 솔더 볼이 가부착되고 고온에서 리플로우(reflow) 공정을 거쳐 부착이 완료되면, 소잉소터시스템에 의해 반제품 반도체 패키지를 절삭, 검사, 이송 및 적재하는작업이 연속적으로 수행되어 반도체 패키지를 제조한다. A manufacturing process of a semiconductor package will be described as a ball grid array package (BGA) using a tape wiring board as an example. Non-conductive epoxy resin adhesive is applied on top of the stripped tape wiring board in which a polyimide film has circuit circuit wiring, and semiconductor chips are attached to each package area and grouped into a plurality of package areas. Form a molding. Such a tape wiring board is manufactured as a semi-finished semiconductor chip package which is cut in a predetermined length unit and fixed to a carrier frame in order to facilitate handling. Subsequently, when the solder ball is attached to the bonding ball land portion exposed by the hole formed on the back surface of the tape wiring board and the adhesion is completed by the reflow process at high temperature, the semi-finished semiconductor package is cut by the sawing sorter system. Inspection, transfer and stacking operations are carried out continuously to manufacture the semiconductor package.

상기 소잉소터시스템의 구성 및 작용을 구체적으로 살펴보면, 반제품 반도체 패키지를 절삭기의 척에 공급하여 절삭날로 절삭하고, 절단된 반도체 패키지를 흡착하여 리버스테이블에 이송하고 볼 업상태에서 볼 다운상태로 전환한 후, 볼 비젼인스펙션에서 볼 검사가 이루어져 버퍼테이블에 놓여지며, 비전피커에 의해 턴테이블로 이송되어 마킹비젼에 의해 반도체패키지의 마킹면이 검사되며, 이와 같이 솔더볼 검사 및 마킹검사가 완료된 반도체 패키지는 칩피커에 진공흡착되어 양, 불량 트레이에 분류하여 적재된다.Looking at the configuration and operation of the sawing sorter system in detail, the semi-finished semiconductor package is supplied to the chuck of the cutting machine and cut with a cutting edge, the cut semiconductor package is absorbed and transferred to the reverse table and switched from the ball up state to the ball down state. After that, the ball inspection is performed on the ball vision inspection and placed on the buffer table, transferred to the turntable by the vision picker, and the marking surface of the semiconductor package is inspected by the marking vision. It is vacuum-adsorbed to the picker and sorted into good or bad trays.

상기 칩피커는 종래에는 다수개(예를 들어 7개)의 에어실린더 및 실린더 로드를 포함하여 구성되고, 상기 실린더 로드의 단부에는 진공라인이 개설된 패드 홀더 및 진공패드가 결합되어 있었다. The chip picker conventionally includes a plurality of air cylinders (for example, seven) and a cylinder rod, and an end of the cylinder rod has a pad holder and a vacuum pad opened with a vacuum line.

위와 같은 종래의 칩피커는 에어실린더에 의해 구동되기 때문에, 정확한 위치제어가 어려워 패키지가 손상되는 일이 자주 발생하였고, 작업성이 떨어졌다. 뿐만 아니라 주지하는 바와 같이, 에어실린더는 고장이 잦고, 수명이 짧으며, 그에 따른 교체 작업 또한 매우 복잡하여 생산성이 저하되는 원인이 되었다. Since the conventional chip picker as described above is driven by an air cylinder, it is difficult to accurately control the position, so that the package is often damaged, and workability is poor. In addition, as is well known, air cylinders are frequently broken and have a short lifespan, and the replacement work is also very complicated, which causes a decrease in productivity.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 모터에 의해 구동함으로써 정확한 위치 제어 및 수명이 긴 소잉소터시스템의 칩피커를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a chip picker of the sawing sorter system with a long position and accurate control by driving by a motor.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 솔더볼검사 및 마킹검사를 수행한 반도체 패키지를 진공흡착하여 트레이에 적재하는 소잉소터시스템의 칩피커(chip picker)에 있어서, 다수개의 모터; 상기 모터의 회전축과 연결되어 양방향으로 회동하는 원동풀리; 상기 원동풀리의 하측에 위치하면서 벨트로 연결되는 종동풀리; 상기 풀리들을 기준으로 상기 벨트의 좌측면 및 우측면에 각각 결합되어 상기 모터의 회전에 의해 서로 반대방향으로 상하운동하는 제 1 및 제 2 클램프; 상기 각 클램프에 연동되어 상하운동하고, 진공라인이 개설된 패드 홀더; 및 상기 패드 홀더에 결합된 진공패드를 포함하여 이루어지는 소잉소터시스템의 칩피커를 제공한다.In order to solve the above technical problem, the present invention is a chip picker (chip picker) of a sawing sorter system for vacuum-sucking a semiconductor package that has been subjected to solder ball inspection and marking inspection to load on a tray, a plurality of motors; A driving pulley connected to the rotation shaft of the motor to rotate in both directions; A driven pulley positioned below the prime pulley and connected to the belt; First and second clamps coupled to the left and right sides of the belt based on the pulleys and vertically moved in opposite directions by rotation of the motor; A pad holder interlocked with each of the clamps to move up and down and open a vacuum line; And it provides a chip picker of the sawing sorter system comprising a vacuum pad coupled to the pad holder.

특히, 본 발명의 소잉소터시스템의 칩피커에 있어서, 상기 벨트는 타이밍 벨트인 것이 바람직하다.In particular, in the chip picker of the sawing sorter system of the present invention, the belt is preferably a timing belt.

또한 상기 칩피커는 패드홀더 및 진공패드 사이에 스프링이 입설될 수 있고, 상기 패드홀더의 위치를 측정하여 제어할 수 있도록 센서가 더 부가될 수도 있다. In addition, the chip picker may have a spring inserted between the pad holder and the vacuum pad, and a sensor may be further added to measure and control the position of the pad holder.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 일 실시예의 구성 및 작용을 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the configuration and operation of an embodiment according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에서는 3개의 모터(10), 원동풀리(20), 타이밍 벨트(40) 및 종동풀리(30)가 구비되어 있고, 하나의 타이밍 벨트(40)에 각각 한쌍의 클램프(51, 52), 연결바(61, 62), 승강블럭(71, 72) 패드 홀더(81, 82) 및 진공패드(91, 92)가 결합되어 있음을 알 수 있다. Referring to FIG. 1, in this embodiment, three motors 10, a driven pulley 20, a timing belt 40, and a driven pulley 30 are provided, and one pair of timing belts 40 is provided. It can be seen that the clamps 51 and 52, the connection bars 61 and 62, the lifting blocks 71 and 72, the pad holders 81 and 82, and the vacuum pads 91 and 92 are coupled to each other.

상기 모터(10)는 구동력을 제공하는 공지의 수단으로서, 상기 모터(10)의 출력축인 회전축에 상기 원동풀리(20)가 결합되어 그에 따라 연동된다. The motor 10 is a known means for providing a driving force, the driving pulley 20 is coupled to the rotation shaft which is the output shaft of the motor 10 is interlocked accordingly.

상기 종동풀리(30)는 이면에 치형이 형성된 타이밍 벨트(40)에 의해 그 상방에 위치한 원동풀리(20)와 연결된다. The driven pulley 30 is connected to the driving pulley 20 located above by a timing belt 40 having teeth formed on the rear surface thereof.

상기 클램프(51, 52)는 상기 타이밍 벨트(40) 상에 고정되어 연동되는데, 상기 원동풀리(20) 및 종동풀리(30)를 기준으로 상기 타이밍 벨트의 좌측면(41) 및 우측면(42)에 각각 결합하도록 한쌍으로 구성된다. 상기 클램프(51, 52)는 착탈가능하게 고정됨으로써, 필요에 따라 고정위치를 변경할 수 있다.The clamps 51 and 52 are fixedly interlocked on the timing belt 40, and the left side 41 and the right side 42 of the timing belt based on the driven pulley 20 and the driven pulley 30. It is composed of a pair to couple to each. The clamps 51 and 52 are detachably fixed so that the fixing position can be changed as necessary.

상기 연결바(61, 62)는 상기 한쌍의 클램프(51, 52) 각각에 수직으로 연장형성된 것이다.The connecting bars 61 and 62 extend perpendicular to each of the pair of clamps 51 and 52.

상기 가이드블럭(120)은 가이드 홀 및 베어링(미도시)이 구비된 것으로서, 상기 가이드 홀을 따라 상기 연결바(61, 62)가 승강하게 된다. 또한 상기 연결바(61, 62) 및 가이드블럭(120)이 접하는 부분에 베어링이 입설되는 것이 바람직하다.The guide block 120 is provided with a guide hole and a bearing (not shown), and the connecting bars 61 and 62 are elevated along the guide hole. In addition, the bearing is preferably placed in the contact portion of the connecting bar (61, 62) and the guide block 120.

상기 승강블럭(71, 72)은 상기 연결바(61, 62)의 하단에 나사결합되어 연동되는 구성이다. 상기 승강블럭(71, 72)의 일측에는 패드 홀더(81, 82)가 부착되어 있다. 상기 패드 홀더(81, 82)는 진공라인(110)이 개설되어 있으며, 하단에는 진공패드(91, 92)가 결합되어 있다. 또한 상기 패드 홀더(81, 82) 및 진공패드(91, 92) 사이에는 스프링(81a, 82a)이 입설되어 있다. 상기 스프링(81a, 82a)에 의해 패키지를 흡착시 또는 이형시에, 상기 패키지에 가해지는 충격을 완화할 수 있다.The lifting blocks 71 and 72 are screwed to the lower ends of the connecting bars 61 and 62 to be interlocked. Pad holders 81 and 82 are attached to one side of the lifting blocks 71 and 72. The pad holders 81 and 82 are provided with a vacuum line 110, and the bottom of the pad holders 81 and 82 are coupled with the vacuum pads 91 and 92. In addition, springs 81a and 82a are installed between the pad holders 81 and 82 and the vacuum pads 91 and 92. When the package is sucked or released by the springs 81a and 82a, the impact applied to the package can be alleviated.

도 2를 참조하면, 상기 승강블럭(71, 72)의 후방에 수직으로 입설된 지지체(131) 및 상기 지지체(131)의 상부에 센서바(132)가 형성되어 있고, 하우징의 상부에는 단면이 ‘ㄷ’자 형상의 센서(130)가 결합되어 있다. 이것은 상기 승강블럭(71, 72)의 위치(높이)를 측정함으로써, 진공패드(91, 92)의 위치(높이)를 파악하고, 그에 따라 작업에 필요한 정확한 위치를 제어하기 위한 수단이다. 이와 같은 위치제어로 작업환경을 정확히 셋팅함으로써 패키지의 손상을 방지할 수 있는 것이다. Referring to FIG. 2, the support body 131 vertically placed at the rear of the lifting blocks 71 and 72 and the sensor bar 132 are formed on the support 131. The 'c' shaped sensor 130 is coupled. This is a means for grasping the position (height) of the vacuum pads 91 and 92 by measuring the position (height) of the lifting blocks 71 and 72, and controlling the exact position required for the work accordingly. By setting the working environment precisely with this position control, damage to the package can be prevented.

위와 같이 구성된 본 실시예의 작용을 다시 도 1을 참조하여 설명하면, 모터 (10)가 시계방향으로 회전하면, 그에 따라 원동풀리(20), 타이밍 벨트(40) 및 종동풀리(30)도 시계방향으로 회동하게 된다. 따라서 상기 벨트 좌측면(41)에 고정된 제 1 클램프(51)는 상승하게 되고, 반대로 벨트 우측면(42)에 고정된 제 2 클램프(52)는 하강하게 된다. 또한 상기 제 1 클램프(51)로부터 수직 하방으로 연장형성된 연결바(61)도 상기 가이드 홀을 따라 상승하며, 이와 연동되는 승강블럭(71), 패드 홀더(81) 및 진공패드(91)도 상승하게 된다. 반대로 상기 제 2 클램프(52)로부터 수직 하방으로 연장형성된 연결바는 상기 가이드 홀을 따라 하강하며, 이와 연동되는 승강블럭(72), 패드 홀더(82) 및 진공패드(93)도 하강하게 된다. Referring again to the operation of this embodiment configured as described above with reference to Figure 1, when the motor 10 is rotated clockwise, the driven pulley 20, the timing belt 40 and the driven pulley 30 also clockwise accordingly Will be rotated. Accordingly, the first clamp 51 fixed to the belt left surface 41 is raised, and the second clamp 52 fixed to the belt right surface 42 is lowered. In addition, the connecting bar 61 extending vertically downward from the first clamp 51 also rises along the guide hole, and the lifting block 71, the pad holder 81, and the vacuum pad 91 which are linked thereto also rise. Done. On the contrary, the connecting bar extending downward from the second clamp 52 vertically descends along the guide hole, and the lifting block 72, the pad holder 82, and the vacuum pad 93 interlocked therewith are lowered.

또한 위와 반대로 상기 모터(10)가 반시계방향으로 회전하면 제 1 클램프(51) 및 그에 연결된 진공패드(91)는 하강하고, 제 2 클램프(52) 및 그에 연결된 진공패드(92)는 상승하게 되는 것이다. In addition, when the motor 10 rotates counterclockwise, the first clamp 51 and the vacuum pad 91 connected thereto are lowered, and the second clamp 52 and the vacuum pad 92 connected thereto are raised. Will be.

이와 같이 작동하는 칩피커에 의해, 검사가 완료되어 턴테이블에 안착된 반도체 패키지를 진공흡착하여 이송한 후, 양품 및 불량품을 분류하여 트레이에 적재하는 것이다. By the chip picker operating as described above, the inspection is completed, the semiconductor package seated on the turntable is vacuum-sucked and transported, and then the good and bad parts are sorted and stacked on the tray.

본 발명에 의하면 구동력을 모터에 의해 얻기 때문에 진공패드의 정확한 위치제어가 가능하다. According to the present invention, since the driving force is obtained by the motor, accurate position control of the vacuum pad is possible.

뿐만 아니라 에어실린더에 비해 수명이 길고, 승강속도가 빠르기 때문에 작업 능률이 현저히 개선된다. In addition, the service life is significantly improved due to the longer lifespan and higher lifting speed than the air cylinders.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명 의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims.

Claims (4)

솔더볼검사 및 마킹검사를 수행한 반도체 패키지를 진공흡착하여 트레이에 적재하는 소잉소터시스템의 칩피커(chip picker)에 있어서,In the chip picker of the sawing sorter system which vacuum-adsorbs a semiconductor package which has undergone solder ball inspection and marking inspection and loads it on a tray, 다수개의 모터;A plurality of motors; 상기 모터의 회전축과 연결되어 양방향으로 회동하는 원동풀리; A driving pulley connected to the rotation shaft of the motor to rotate in both directions; 상기 원동풀리의 하측에 위치하면서 벨트로 연결되는 종동풀리; A driven pulley positioned below the prime pulley and connected to the belt; 상기 풀리들을 기준으로 상기 벨트의 좌측면 및 우측면에 각각 결합되어 상기 모터의 회전에 의해 서로 반대방향으로 상하운동하는 제 1 및 제 2 클램프; First and second clamps coupled to the left and right sides of the belt based on the pulleys and vertically moved in opposite directions by rotation of the motor; 상기 각 클램프에 연동되어 상하운동하고, 진공라인이 개설된 패드 홀더; 및 A pad holder interlocked with each of the clamps to move up and down and open a vacuum line; And 상기 패드 홀더에 결합된 진공패드를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 소잉소터시스템의 칩피커.Chip picker of the sawing sorter system comprising a vacuum pad coupled to the pad holder. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 벨트는 타이밍 벨트인 것을 특징으로 하는 상기 소잉소터시스템의 칩피커. The belt picker of the sawing sorter system, characterized in that the belt is a timing belt. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패드홀더 및 진공패드 사이에 스프링이 입설된 것을 특징으로 하는 상기 칩피커.The chip picker, characterized in that the spring is placed between the pad holder and the vacuum pad. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 칩피커는 상기 패드홀더의 위치를 측정하여 제어할 수 있도록 센서가 더 부가된 것을 특징으로 하는 상기 소잉소터시스템의 칩피커.The chip picker is a chip picker of the sawing sorter system, characterized in that the sensor is further added to measure and control the position of the pad holder.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100730594B1 (en) * 2006-06-08 2007-06-20 세크론 주식회사 Apparatus for chip picker of sawing sorter system
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