KR100571386B1 - Copper wiring of semiconductor device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자의 구리 배선은 하부 배선층을 가지는 반도체 기판, 반도체 기판 위에 형성되어 있으며 도전층의 일부분을 드러내는 접촉홀을 가지는 층간 절연막, 접촉홀의 측벽에 스페이서 형태로 형성되어 있는 제1 확산 방지막, 제1 확산 방지막을 포함하는 접촉홀 내면에 형성되어 있는 제2 확산 방지막, 제2 확산 방지막 위에 형성되어 있으며 접촉홀을 매립하는 상부 배선층을 포함한다.Copper wiring of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention is a semiconductor substrate having a lower wiring layer, an interlayer insulating film having a contact hole that exposes a portion of the conductive layer formed of a semiconductor substrate, formed in the form of a spacer on the sidewall of the contact hole And a second diffusion barrier layer formed on the inner surface of the contact hole including the first diffusion barrier layer, the first diffusion barrier layer, and an upper wiring layer formed on the second diffusion barrier layer and filling the contact hole.

확산 방지막, 스페이서, SiNDiffusion Barrier, Spacer, SiN

Description

반도체 소자의 구리 배선 및 그의 제조 방법{The copper metal layer in semiconductor device and manufacturing method thereof}Copper wiring of a semiconductor device and a manufacturing method thereof

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자의 구리 배선을 개략적으로 도시한 단면도이고,1 is a cross-sectional view schematically showing a copper wiring of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자의 구리 배선 제조 방법을 설명하기 위해 순차적으로 나타낸 공정 단면도이다.2A through 2D are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a copper wiring of a semiconductor device according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명은 반도체 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 구리의 확산을 방지할 수 있는 반도체 소자의 구리 배선 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a copper wiring of a semiconductor device capable of preventing the diffusion of copper and a method for manufacturing the same.

최근 반도체 소자가 집적화되고 공정 기술력이 향상되면서 소자의 동작 속도나 저항, 금속 간의 기생 용량 등의 특성을 개선시키기 위한 일환으로 기존의 알루미늄 배선 대신에 구리 배선 공정이 제안되었다. 또한, 층간 절연막으로 기존의 산화막 대신 저유전상수(Low-K) 물질이 차세대 소자의 배선 공정으로 각광을 받고 있다. Recently, as semiconductor devices have been integrated and process technology has been improved, a copper wiring process has been proposed in place of existing aluminum wiring as part of improving characteristics of device operation speed, resistance, and parasitic capacitance between metals. In addition, a low dielectric constant (Low-K) material is being spotlighted as a wiring process of next-generation devices as an interlayer insulating film instead of a conventional oxide film.

또한, 이러한 구리와 저유전상수 물질을 이용한 배선 공정의 경우 구리의 식각 특성이 매우 열악하므로 기존의 식각 공정 대신 다마신(damascene) 공정이 구리 배선에 적합한 공정으로 이용되고 있다. In addition, in the wiring process using the copper and the low dielectric constant material, since the etching property of copper is very poor, the damascene process is used as a process suitable for copper wiring instead of the conventional etching process.

종래 기술에 따른 반도체 소자의 구리 배선 제조 방법에 따르면, 층간 절연막 내에 비아홀과 배선 형성을 위한 트렌치를 포함하는 접촉홀을 형성한 다음 접촉홀이 충분히 매립되도록 구리막을 두껍게 증착한다. 그리고 구리막에 어닐링(annealing) 공정을 진행하여 구리막 증착 시 유입된 불순물을 제거한 다음 층간 절연막의 상부 표면이 드러나는 시점까지 화학 기계적 연마하여 접촉홀 내에 매립되는 구리 배선을 형성한다. According to the method of manufacturing a copper wiring of a semiconductor device according to the prior art, a contact hole including a via hole and a trench for forming a wiring is formed in an interlayer insulating film, and then a copper film is thickly deposited so that the contact hole is sufficiently filled. In addition, an annealing process is performed on the copper film to remove impurities introduced during the deposition of the copper film, followed by chemical mechanical polishing until the upper surface of the interlayer insulating film is exposed to form a copper wiring embedded in the contact hole.

한편, 비아홀과 트렌치를 포함하는 접촉홀에 구리막을 증착 시 구리 입자가 확산되는 것을 방지하기 위하여 탄탈륨(Ta)과 탄탈륨 나이트라이드(TaN)를 순차적으로 증착하여 확산 방지막을 형성하였다. Meanwhile, tantalum (Ta) and tantalum nitride (TaN) were sequentially deposited in order to prevent copper particles from being diffused when the copper film was deposited in the contact hole including the via hole and the trench, thereby forming a diffusion barrier.

그러나, 최근 반도체 소자의 집적도가 높아짐에 따라 접촉홀의 애스펙트 비(aspect ratio) 또한 커지게 되어 종래 기술에 의한 확산 방지막은 기존의 두께를 유지 할 수 없게 되어 확산 방지 역할을 하기 어렵다. 또한, 구리막의 어닐링 시 저유전 상수의 물질인 층간 절연막에서 발생되는 아웃 개싱(out gassing)에 대해 충분한 베리어의 역할을 하지 못하는 문제점이 있다.However, with the recent increase in the degree of integration of semiconductor devices, the aspect ratio of the contact holes also increases, so that the diffusion barrier layer according to the prior art cannot maintain the existing thickness, and thus it is difficult to play a role of diffusion prevention. In addition, there is a problem in that the annealing of the copper film does not play a role of sufficient barrier to out gassing (out gassing) generated in the interlayer insulating film which is a material of low dielectric constant.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 구리 배선의 확산 및 층간 절연막에서의 아웃 개싱에 대한 충분한 베리어 특성을 가지는 반도체 소자의 구리 배선 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide a copper wiring of a semiconductor device having a sufficient barrier property for diffusion of copper wiring and outgassing in an interlayer insulating film, and a method of manufacturing the same.

이러한 과제를 이루기 위하여 본 발명에서는 다음과 같은 반도체 소자의 구리 배선 및 그의 제조 방법을 마련한다.In order to achieve such a problem, the present invention provides the following copper wiring of the semiconductor device and its manufacturing method.

보다 상세하게는 하부 배선층을 가지는 반도체 기판, 반도체 기판 위에 형성되어 있으며 도전층의 일부분을 드러내는 접촉홀을 가지는 층간 절연막, 접촉홀의 측벽에 스페이서 형태로 형성되어 있는 제1 확산 방지막, 제1 확산 방지막을 포함하는 접촉홀 내면에 형성되어 있는 제2 확산 방지막, 제2 확산 방지막 위에 형성되어 있으며 접촉홀을 매립하는 상부 배선층을 포함하는 반도체 소자의 구리 배선을 마련한다.More specifically, a semiconductor substrate having a lower wiring layer, an interlayer insulating film formed on the semiconductor substrate and having a contact hole exposing a portion of the conductive layer, a first diffusion barrier film formed in a spacer form on the sidewalls of the contact hole, and a first diffusion barrier film. A copper wiring of a semiconductor device is formed on the second diffusion barrier film and the second diffusion barrier film formed on the inner surface of the contact hole, the upper wiring layer filling the contact hole.

또한 접촉홀은 상하부 배선층을 연결하는 비아홀과 상부 배선층이 형성되는 트렌치로 이루어진 다마신 패턴인 것이 바람직하다.In addition, the contact hole is preferably a damascene pattern consisting of a via hole connecting the upper and lower wiring layers and a trench in which the upper wiring layer is formed.

또한 제1 확산 방지막은 SiN으로 이루어지는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that a 1st diffusion prevention film consists of SiN.

또한 제2 확산 방지막은 Ta/TaN이 순차적으로 적층되어 이루어진 이중막 또는 TiSiN으로 이루어진 단일막으로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the second diffusion barrier layer is preferably made of a double layer formed by sequentially stacking Ta / TN or a single layer made of TiSiN.

다르게는 소정의 하부 구조를 가지는 반도체 기판 위에 층간 절연막을 형성하는 단계, 층간 절연막에 접촉홀을 형성하는 단계, 접촉홀의 양측벽에 스페이서 형태로 제1 확산 방지막을 형성하는 단계, 제1 확산 방지막을 포함하는 층간 절연막 위에 베리어막을 형성하는 단계, 베리어막 위에 도전막을 증착하여 접촉홀을 매립하는 단계, 도전막에 어닐링 공정을 진행하는 단계, 도전막 및 베리어막을 층간 절연막의 상부 표면이 드러나는 시점까지 화학 기계적 연마하는 단계를 포함하여 이루어지는 반도체 소자의 구리 배선 제조 방법을 마련한다.Alternatively, forming an interlayer insulating film on the semiconductor substrate having a predetermined substructure, forming a contact hole in the interlayer insulating film, forming a first diffusion barrier film in the form of a spacer on both side walls of the contact hole, the first diffusion barrier film Forming a barrier film on the interlayer insulating film, depositing a conductive film on the barrier film, filling a contact hole, performing an annealing process on the conductive film, and chemically forming the conductive film and the barrier film until the upper surface of the interlayer insulating film is exposed. A method for manufacturing a copper wiring of a semiconductor device comprising the step of mechanical polishing is provided.

또한 제1 확산 방지막은 접촉홀을 포함하는 층간 절연막 위에 베리어막을 형성하는 단계, 베리어막을 선택적으로 이방성 식각하는 단계를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.The first diffusion barrier layer may include forming a barrier layer on the interlayer insulating layer including the contact hole and selectively anisotropically etching the barrier layer.

또한 제1 확산 방지막은 SiN으로 형성하는 것이 바람직하다.In addition, the first diffusion barrier film is preferably formed of SiN.

또한 베리어막은 100Å~300Å 두께로 형성하는 것이 바람직하다.In addition, the barrier film is preferably formed to a thickness of 100 ~ 300 Å.

또한 베리어막은 500℃ 이하의 온도에서 형성하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable to form a barrier film at the temperature of 500 degrees C or less.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only the other part being "right over" but also another part in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.

먼저, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.First, a semiconductor device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 반도체 소자의 구리 배선을 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically illustrating a copper wiring of a semiconductor device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 하부 배선(110) 등의 하부 구조가 형성되어 있는 반도체 기판(100) 위에 층간 절연막(120)이 형성되어 있다. 층간 절연막(120)은 저유전상수 물질로 이루어지며, 도전층(110)의 일부분을 드러내는 접촉홀(130)을 가진다. 이때, 접촉홀(130)은 상하부 배선층을 연결하기 위한 비아홀과 상부 배선층이 형성되는 트렌치로 이루어진 다마신 패턴 또는 상부 배선층이 형성되는 트렌치만으로 이루어진 다마신 패턴으로 형성할 수 있다.As shown in FIG. 1, an interlayer insulating film 120 is formed on a semiconductor substrate 100 on which a lower structure such as a lower wiring 110 is formed. The interlayer insulating layer 120 is made of a low dielectric constant material and has a contact hole 130 exposing a portion of the conductive layer 110. In this case, the contact hole 130 may be formed as a damascene pattern consisting of a via hole for connecting the upper and lower wiring layers and a trench in which the upper wiring layer is formed, or a damascene pattern consisting of only a trench in which the upper wiring layer is formed.

층간 절연막(120)의 접촉홀(130)의 양측벽에는 스페이서 형태의 제1 확산 방지막(145)이 형성되어 있고, 제1 확산 방지막(145)을 포함하는 접촉홀(130)의 내면에는 제2 확산 방지막(155)이 형성되어 있다. 제1 확산 방지막(145)은 SiN으로 이루어며, 제2 확산 방지막(155)은 Ta/TaN이 순차적으로 적층되어 이루어진 이중막 또는 TiSiN으로 이루어진 단일막으로 이루어진다.The first diffusion barrier layer 145 in the form of a spacer is formed on both side walls of the contact hole 130 of the interlayer insulating layer 120, and the second surface is formed on the inner surface of the contact hole 130 including the first diffusion barrier layer 145. The diffusion barrier 155 is formed. The first diffusion barrier 145 is made of SiN, and the second diffusion barrier 155 is made of a single layer made of TiSiN or a double layer formed by sequentially stacking Ta / TaN.

그리고, 제2 확산 방지막(155) 위에는 구리(Cu)막이 형성되어 접촉홀(130)을 매립하는 구리 배선(165)이 형성되어 있다.In addition, a copper (Cu) film is formed on the second diffusion barrier 155 to form a copper wiring 165 to fill the contact hole 130.

이상 설명한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자의 구리 배선을 제조하는 방법에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.A method of manufacturing a copper wiring of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자의 구리 배선 제조 방법을 설명하기 위해 순차적으로 나타낸 공정 단면도이다.2A through 2D are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a copper wiring of a semiconductor device according to an exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 도 2a에 도시한 바와 같이, 하부 배선층(110)이 형성되어 있는 반도체 기판(100) 위에 저유전상수를 가지는 절연막을 이용하여 층간 절연막(120)을 형성한다. 그리고, 사진 및 식각 공정을 진행하여 하부 배선전층(110)의 일부분을 드러내는 접촉홀(130)을 형성한다. 이때, 접촉홀(130)은 상하부 배선층을 연결하기 위한 비아홀과 상부 배선층이 형성되는 트렌치로 이루어진 다마신 패턴 또는 상부 배선층이 형성되는 트렌치만으로 이루어진 다마신 패턴으로 형성할 수 있다.First, as shown in FIG. 2A, the interlayer insulating layer 120 is formed on the semiconductor substrate 100 on which the lower wiring layer 110 is formed using an insulating film having a low dielectric constant. In addition, a photo hole and an etching process may be performed to form a contact hole 130 exposing a portion of the lower interconnection layer 110. In this case, the contact hole 130 may be formed as a damascene pattern consisting of a via hole for connecting the upper and lower wiring layers and a trench in which the upper wiring layer is formed, or a damascene pattern consisting of only a trench in which the upper wiring layer is formed.

이어 도 2b에 도시한 바와 같이, 접촉홀(130) 내부를 포함하여 층간 절연막(120) 위에 제1 베리어막(140)을 형성한다. 제1 베리어막(140)은 SiN을 이용하여 형성한다. 이때, SiN은 하부 박막에 영향을 주지 않는 500℃ 이하의 온도에서 형성하며 100Å~300Å 두께로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 제1 베리어막(140)은 PVD, PECVD 및 ALD 방법 중 어느 하나의 방법을 사용하여 형성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 2B, the first barrier layer 140 is formed on the interlayer insulating layer 120 including the inside of the contact hole 130. The first barrier film 140 is formed using SiN. At this time, SiN is preferably formed at a temperature of 500 ° C. or less that does not affect the lower thin film and is formed to a thickness of 100 kPa to 300 kPa. In addition, the first barrier film 140 is formed using any one of PVD, PECVD, and ALD methods.

그리고 도 2c에 도시한 바와 같이, 제1 베리어막을 식각, 일 예로 이방성 식각하여 접촉홀(130)의 측벽에 스페이서(spacer) 형태의 제1 확산 방지막(145)을 형성한다.As shown in FIG. 2C, the first barrier layer is etched, for example, anisotropically, to form the first diffusion barrier layer 145 in the form of a spacer on the sidewall of the contact hole 130.

그 후 도 2d에 도시한 바와 같이, 제1 확산 방지막(145)을 포함하는 층간 절연막(120) 위에 제2 베리어막(150)을 형성한 다음 접촉홀(130)이 충분히 매립되도록 구리(Cu)막을 증착한다. 이때, 제2 베리어막(150)은 Ta/TaN이 순차적으로 적층되어 이루어진 이중막 또는 TiSiN으로 이루어진 단일막으로 형성하는 것이 바람직하며, 구리막은 전기 도금법 등의 통상적인 방법에 의해 형성한다.After that, as shown in FIG. 2D, the second barrier layer 150 is formed on the interlayer insulating layer 120 including the first diffusion barrier layer 145, and then copper (Cu) is formed to sufficiently fill the contact hole 130. The film is deposited. In this case, the second barrier film 150 is preferably formed of a double film formed by sequentially stacking Ta / TaN or a single film made of TiSiN, and the copper film is formed by a conventional method such as an electroplating method.

다음, 구리막(160)에 어닐링 공정을 진행하여 구리막(160) 증착 시, 유입된 불순물을 제거한다. 한편, 이때 구리막(160)에 어닐링 공정을 진행하게 되면 저유 전상수 물질인 층간 절연막(120)에서 접촉홀(130)로의 아웃 개싱이 발생하지만 종래와는 달리 본 발명에서는 SiN의 제1 확산 방지막(145)에 의해 아웃 개싱에 대해 충분한 베리어 역할을 수행함과 동시에 구리 확산을 방지할 수 있도록 한다.Next, an annealing process is performed on the copper film 160 to remove impurities introduced during the deposition of the copper film 160. On the other hand, when the annealing process is performed on the copper film 160, out-gassing from the interlayer insulating film 120, which is a low dielectric constant material, occurs to the contact hole 130, but unlike the prior art, in the present invention, the first diffusion barrier layer of SiN ( 145) to provide sufficient barrier to out-gassing and at the same time prevent copper diffusion.

이어 도 1에 도시한 바와 같이, 층간 절연막(120)의 상부 표면이 드러나는 시점까지 화학 기계적 연마하여 결과물의 표면을 평탄화함으로써, 상부 배선층(165)을 형성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 1, the upper wiring layer 165 is formed by chemical mechanical polishing until the upper surface of the interlayer insulating layer 120 is exposed to planarize the surface of the resultant.

앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자의 플러그는 확산 방지막으로 SiN으로 이루어진 스페이서 형태의 제1 확산 방지막과 그 위에 형성되어 있는 TaN/Ta 또는 TiSiN으로 이루어진 제2 확산 방지막이 형성되어 있다. 다시 말해, 접촉홀을 매립하는 도전막(160)의 어닐링 공정 시, 제1 확산 방지막 및 제2 확산 방지막에 의해 도전막의 도전 입자가 층간 절연막으로 확산하는 것을 이중으로 방지한다. 또한, 접촉홀 측벽에 형성된 제1 확산 방지막에 의해 층간 절연막에서 발생하는 아웃 개싱에 의해 접촉홀의 구리막이 손상 받는 것을 방지 할 수 있다. As described above, the plug of the semiconductor device according to the embodiment of the present invention is a diffusion barrier layer is formed of a first diffusion barrier layer in the form of a spacer made of SiN and a second diffusion barrier layer formed of TaN / Ta or TiSiN formed thereon have. In other words, during the annealing process of the conductive film 160 filling the contact hole, the diffusion of the conductive particles of the conductive film into the interlayer insulating film is prevented by the first diffusion prevention film and the second diffusion prevention film. In addition, it is possible to prevent the copper film of the contact hole from being damaged by the out-gassing generated in the interlayer insulating film by the first diffusion preventing film formed on the sidewall of the contact hole.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 확산 방지막을 스페이서 형태 의 제1 확산 방지막과 전면에 증착되어 있는 제2 확산 방지막으로 형성함으로써 도전막에 어닐링 공정을 진행할 때, 제1 확산 방지막에 의해 층간 절연막의 아웃 개싱에 의해 구리 배선이 손상받는 것을 방지 할 수 있으며, 구리 입자가 주변 영역으로 확산하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 누설 전류를 감소시킬 수 있게 되어 소자의 특성 및 동작을 안정화시킬 수 있다. As described above, according to the present invention, when the annealing process is performed on the conductive film by forming the diffusion barrier layer into the first diffusion barrier layer in the form of a spacer and the second diffusion barrier layer deposited on the entire surface, the first diffusion barrier layer is used to Outgassing can prevent the copper wiring from being damaged and prevent the copper particles from diffusing into the surrounding area. Therefore, it is possible to reduce the leakage current to stabilize the characteristics and operation of the device.

Claims (9)

하부 배선층을 가지는 반도체 기판,A semiconductor substrate having a lower wiring layer, 상기 반도체 기판 위에 형성되어 있으며 상기 하부 배선층의 일부분을 드러내는 접촉홀을 가지는 층간 절연막,An interlayer insulating layer formed on the semiconductor substrate and having a contact hole exposing a portion of the lower wiring layer; 상기 접촉홀의 측벽에 스페이서 형태로 형성되어 있으며 SiN으로 이루어진 제1 확산 방지막,A first diffusion barrier layer formed on a sidewall of the contact hole and formed of a spacer; 상기 제1 확산 방지막을 포함하는 상기 접촉홀 내면에 형성되어 있으며 Ta/TaN이 순차적으로 적층되어 이루어진 이중막 또는 TiSiN으로 이루어진 단일막으로 이루어진 제2 확산 방지막,A second diffusion barrier layer formed on an inner surface of the contact hole including the first diffusion barrier layer and formed of a single layer made of TiSiN or a double layer in which Ta / TaN is sequentially stacked; 상기 제2 확산 방지막 위에 형성되어 있으며 상기 접촉홀을 매립하는 상부 배선층An upper wiring layer formed on the second diffusion barrier layer and filling the contact hole; 을 포함하는 반도체 소자의 구리 배선.Copper wiring of the semiconductor device comprising a. 제1항에서,In claim 1, 상기 접촉홀은 상하부 배선층을 연결하는 비아홀과 상부 배선층이 형성되는 트렌치로 이루어진 다마신 패턴인 반도체 소자의 구리 배선.The contact hole is a copper wiring of a semiconductor device having a damascene pattern formed of a via hole connecting upper and lower wiring layers and a trench in which an upper wiring layer is formed. 삭제delete 삭제delete 소정의 하부 구조를 가지는 반도체 기판 위에 층간 절연막을 형성하는 단계,Forming an interlayer insulating film on the semiconductor substrate having a predetermined substructure, 상기 층간 절연막에 접촉홀을 형성하는 단계,Forming a contact hole in the interlayer insulating film, 상기 접촉홀을 포함하는 상기 층간 절연막 위에 제 1 베리어막을 형성하고, 상기 제 1 베리어막을 선택적으로 이방성 식각하여 상기 접촉홀의 양측벽에 스페이서 형태로 제1 확산 방지막을 형성하는 단계,Forming a first barrier layer on the interlayer insulating layer including the contact hole and selectively anisotropically etching the first barrier layer to form a first diffusion barrier layer on both sidewalls of the contact hole in a spacer form; 상기 제1 확산 방지막을 포함하는 상기 층간 절연막 위에 제 2 베리어막을 형성하는 단계,Forming a second barrier film on the interlayer insulating film including the first diffusion barrier film, 상기 제 2 베리어막 위에 도전막을 증착하여 상기 접촉홀을 매립하는 단계,Filling the contact hole by depositing a conductive film on the second barrier film; 상기 도전막에 어닐링 공정을 진행하는 단계,Performing an annealing process on the conductive film; 상기 도전막 및 상기 제 2 베리어막을 상기 층간 절연막의 상부 표면이 드러나는 시점까지 화학 기계적 연마하는 단계Chemical mechanical polishing the conductive layer and the second barrier layer until the upper surface of the interlayer insulating layer is exposed; 를 포함하여 이루어지는 반도체 소자의 구리 배선 제조 방법.Copper wiring manufacturing method of a semiconductor element comprising a. 삭제delete 제5항에서,In claim 5, 상기 제1 확산 방지막은 SiN으로 형성하는 반도체 소자의 구리 배선 제조 방법.The first diffusion barrier film is a copper wiring manufacturing method of a semiconductor device formed of SiN. 제5항에서,In claim 5, 상기 제 1 베리어막은 100Å~300Å 두께로 형성하는 반도체 소자의 구리 배선 제조 방법. The first barrier film is a copper wiring manufacturing method of a semiconductor device to form a thickness of 100 ~ 300Å. 제8항에서,In claim 8, 상기 제 1 베리어막은 500℃ 이하의 온도에서 형성하는 반도체 소자의 구리 배선 제조 방법.The first barrier film is a copper wiring manufacturing method of a semiconductor device formed at a temperature of 500 ℃ or less.
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