KR100570109B1 - 자기 매체를 구역 윤활시키기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 자기 디스크와 같은 박막 자기 매체의 용매 비함유 윤활화는 랜딩 구역과 같은 자기 매체 표면의 선택된 구역에 대해 알려져 있으며 분자량 분포가 협소한 고분자 윤활제를 포함하는 윤활제 분자의 시준 및/또는 비시준 빔을 인가시켜 수행된다. 실시예에서는 고분자 윤활제를 동일 반응계 및 요구가 있는 즉시 분별화시키는 것을 포함한다.

Description

자기 매체를 구역 윤활시키기 위한 방법 및 장치 {METHOD AND APPARATUS FOR ZONE LUBRICATION OF MAGNETIC MEDIA}
본 발명은 읽기-쓰기 헤드용 랜딩(landing) 및 테이크-오프(take-off) 구역을 포함하는 자기 디스크의 방사형 밴드 일부와 같은 자기 매체 표면의 적어도 일부에 윤활제 막을 도포시키는 방법에 관한 것이다.
박막 자기 디스크 매체는 디스크의 수명 동안에 마모를 감소시키기 위해 퍼플루오로폴리에테르 피복으로 윤활되는 것이 일반적이다. 통상적으로, 윤활제 박막은 소량의 윤활제, 예를 들어, 일반적으로 용매중에 용해된 약 1중량% 보다 작은 퍼플루오로- 또는 탄화수소 화합물이 들어 있는 반응조에 디스크를 침지시킴으로써 디스크 표면에 도포된다. 그러나, 이러한 과정에서 나타나는 결점은 용매가 다량 소비되어, 이로 인해 작업장에서의 용매 증기의 존재와 관련한 환경적 위해와 비용 증가가 초래된다는 것이다.
침지 윤활화에서 수반되는 또 다른 결점은, 윤활제가 디스크 표면 전체에 도포된다는 점에서 방법이 비선택적이라는 것이다. 일부 경우에, 예를 들어 읽기-쓰기 헤드의 랜딩 및 테이크-오프 구역에 표시되는 특이적 방사형 밴드를 가지는 구역 텍스쳐링된(zone-textured) 매체의 경우에, 디스크 표면의 나머지 부분에 존재 하는 윤활제 막은 불필요하여 쓸모없으며, 일부 경우에는 헤드-디스크 경계면의 수행능에 악영향을 미친다.
종래의 침지 방법론과 관련된 또 다른 결점은 분자량의 분포가 광범위한 장쇄 중합체의 혼합물의 사용에 기인한다. 윤활제의 분자량은 헤드-디스크 경계면의 기계적 수행능에 영향을 미치는 것으로 공지되어 있다. 종래 실시에서, 고분자 윤활제 혼합물은 목적하는 분자량 분포의 분획을 얻기 위해 용매에 윤활제를 첨가하기 전에 분별화 처리되어야 했으며, 이에 따라 추가 단계를 부가하고, 공정의 비용을 증가시켰다.
따라서, 종래의 침지 과정에서의 상기 언급된 결점이 없는 윤활제 막을 도포할 수 있는 기술에 대한 요구가 있는 실정이다.
발명의 요약
본 발명의 목적은 선행 기술의 결점 및 결함을 극복하는, 자기 디스크와 같은 자기 기록 매체에 윤활제 박막을 도포시키는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 자기 디스크 표면의 사전 선택된 방사형 밴드 일부에 윤활제 박막을 도포시키는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 자기 디스크에 고분자 윤활제 박막을 도포시키는 방법으로서, 윤활제는 분자량 분포가 협소하고 평균 분자량이 작은 물질로 현장(in-situ)에서 분별화됨(fractionated)을 특징으로 하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 자기 디스크 표면의 사전 선택된 방사형 밴드 일부에 윤활제 박막을 도포하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 자기 디스크에 고분자 윤활제 박막을 도포하는 장치로서, 윤활제 막을 도포하기 전에 분자량의 분포가 협소하고 평균 분자량이 작은 물질로 고분자 윤활제를 증기화시키고 분별화시키는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 자기 디스크의 사전 선택된 방사형 밴드 일부에 윤활제 박막을 도포하는 장치로서, 윤활제 물질을 증기화시키고, 증기화된 윤활제를 사전 선택된 방사형 밴드 일부에 도포시키기 위한 분자 빔(molecular beam)으로 전환시키는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 추가의 목적, 이점 및 기타 특징은 일부는 하기의 설명에서 언급될 것이며, 일부는 하기 내용을 숙지한 후에 당해 통상의 지식을 가진 자에게 자명하거나, 본 발명의 실시로부터 인지될 수 있을 것이다. 이러한 목적 및 이점은 특히 첨부되는 청구의 범위에서 지적되는 바와 같이 구현되어 습득될 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 및 기타 목적은 부분적으로, 윤활제를 증기화시키는 단계, 증기화된 윤활제를 증기화된 윤활제 분자 빔으로 형성시키는 단계 및 자기 매체 표면으로 상기 분자 빔을 유도하는 단계를 포함하는, 자기 매체의 표면에 윤활제 막을 도포시키는 방법에 의해 달성된다.
바람직한 실시예에서, 증기화된 윤활제는 제 1 시준 오리피스를 통해 공급원 챔버 내에서 윤활제 증기를 팽창시킨 후, 제 1 시준 오리피스 다음에 위치한 하나 이상의 추가 챔버의 벽에 위치한 하나 이상의 추가 시준 오리피스를 통해 증기를 통과시킴으로써 시준된 분자 빔으로 형성된다.
또 다른 바람직한 실시예에서, 운반 기체에 증기화된 윤활제 분자를 동반시키고, 대기압하에서 윤활제를 도포함으로써 윤활제는 시준되지 않은 분자 빔으로 전환될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 윤활제의 시준된 분자 빔을 발생시켜 자기 기록 매체의 적어도 선택된 일부에 도포하는 장치는,
액체 윤활제가 들어 있으며 이를 증기화시키기 위한 가열가능한 공급원 챔버로서, 증기화된 윤활제 분자를 통과되게 하는 제 1 시준 오리피스를 가지는 벽부를 포함하는 챔버;
제 1 오리피스를 거쳐 공급원 챔버와 유체 연통하는 제 2 챔버로서, 제 1 시준 오리피스 다음에 위치하는 제 2 시준 오리피스를 가지는 벽부를 포함하는 챔버; 및
시준된 윤활제 빔을 입사시켜 적어도 선택된 부분에 윤활제 박막을 형성시키기 위해 제 2 시준 오리피스에 마주하여 배기 챔버에 자기 기록 매체 표면을 배치시키기 위한 홀더를 포함한다.
또 다른 실시예는 윤활제의 시준되지 않은 분자 빔을 발생시켜 자기 기록 매체 표면의 적어도 선택된 일부에 도포하는 장치를 포함하며, 이 장치는
액체 윤활제가 들어 있으며, 이를 증기화시키기 위한 가열가능한 공급원 챔버;
증기화된 윤활제 분자를 동반시키기 위해 공급원 챔버에 불활성 운반 기체의 흐름을 공급하기 위한 운반 기체 공급원;
공급원 챔버의 내부에서 종료되는 제 1 단부 및 노즐에서 종료되는 원거리의 제 2 단부를 가지는 가열된 전달 도관으로서, 불활성 기체에 동반된 증기화된 윤활제 분자를 노즐에 공급하는 도관; 및
시준되지 않은 윤활제 빔을 입사시켜 적어도 선택된 표면 일부에 윤활제 박막을 형성시키기 위한, 주위 대기하에서 노즐에 매우 인접하여 자기 매체의 표면을 배치시키기 위한 홀더를 포함한다.
본 발명의 추가의 목적 및 이점은 하기 상세한 설명으로부터 당해 통상의 기술자들에게 용이하게 인지될 것이며, 본 발명의 바람직한 실시예는 단순히 예시를 위한 것이지 제한하고자 하는 것은 아니다. 인지되는 바와 같이, 본 발명은 그 밖의 상이한 실시예가 가능하며, 이의 몇몇 세부사항은 본 발명에서 벗어나지 않고 여러 명백한 일면에서 변형가능하다. 따라서, 도면 및 명세서는 원래 예시적인 것으로 간주되어야 하며, 한정하는 것은 아니다.
도 1은 액체 및 증기상의 고분자 윤활제의 분자량 분포를 도시한 그래프이다.
도 2는 액체 및 증기상의 사전분별화된 고분자 윤활제의 분자량 분포를 도시한 그래프이다.
도 3은 자기 디스크의 표면에 도포하기 위해 증기화된 윤활제 분자의 시준된 빔을 발생시키기 위한 본 발명의 제 1 실시예의 개략적인 단면도이다.
도 4는 주위 대기하에서 자기 디스크의 표면에 도포하기 위해 증기화된 윤활제 분자의 시준되지 않은 빔을 발생시키기 위한 본 발명의 제 2 실시예의 개략적인 단면도이다.
통상적으로 자기 기록 매체를 제조하는 데 사용되는 윤활제는, 광범위한 분자량 분포를 특징으로 하는, 장쇄 중합체의 혼합물을 포함하며, 퍼플루오로폴리에테르, 작용화된 퍼플루오로폴리에테르, 퍼플루오로폴리알킬에테르 및 작용화된 퍼플루오로폴리알킬에테르를 포함한다. 윤활제의 분자량은 경계면의 기계적 성능에 영향을 미치며, 이 결과, 일반적으로 최적 범위의 분자량 분포가 특정 윤활제에 대해 결정된다. 이러한 특정의 최적 분자량 분포를 갖는 윤활제는 "사전 분별화"로 명명된 종래의 방법에서와 같이, 용매조에 윤활제를 첨가하기 전에 윤활제 혼합물을 분별화시킴으로써 제조된다. 본 발명은 이러한 종래의 "사전 분별화"로부터 출발하여, 사전 분별화 및 용매에 대한 요건을 단순화시키거나 생략한다. 또한, 본 발명의 실시예는 윤활제 피복의 무차별 도포가 아닌 특정 구역(즉, 국소화된 구역)을 선택적으로 피복할 수 있어, 윤활제 소비를 감소시키고, 생산 특성을 개선시킨다.
연구 및 실험 후에, 보통 증기상으로 사용되는 고분자 윤활제의 분자량 분포는 일반적으로 이와 연관된 평형 액체상보다 그 범위가 좁으며 평균 분자량도 경량이기 때문에, 유리하게 액체 윤활제보다는 증기화된 윤활제가 자기 디스크와 같은 자기 기록 매체의 제조에 사용될 수 있는 것으로 밝혀졌다. 예를 들어, 도 1 및 도 2에 도시된 고분자 윤활제(Zdol 2000, 뉴저지 토로페어에 소재하는 오시몬트(Ausimont)사로부터 입수할 수 있는 퍼플루오로폴리에테르 윤활제)를 살펴보면, 증기상에서의 분자량 분포는 액상에서의 분자량 분포보다 현저하게 좁으며, 실질적으로 작은 분자량에 상응하는 피이크 주변에 집중된다. 또한, 도 2로부터 명백하게 나타나는 바와 같이, 이러한 효과는 사전 분별화된 윤활제의 경우에도 얻을 수 있다. 윤활제 액체를 증기화시키므로써 윤활제 액체보다는 윤활제 증기를 사용하는 것이 윤활제 분별 방법을 현장 및 요구가 있는 즉시 사용가능하게 하며, 이로써 별도의 사전 분별화 공정에 대한 필요성을 피할 수 있다. 대안적으로, 사전 분별화된 윤활제는 증기상 분자량 분포가 다소 상이하게 사용될 수 있다(도 1 및 도 2 비교).
상기 기술된 바와 같이, 고분자 윤활제 재료를 사용하는 것이외에, 본 발명은 여러 다른 유형, 즉 단량체 오일 및 고증기압 고형물을 포함하나 이에 제한되지 않는, 윤활제 재료를 이용한다.
본 발명의 실시예가 도 3에 도시되어 있으며, 이는 윤활제를 증기화시키고, 자기 디스크와 같은 자기 기록 매체의 적어도 선택된 일부에 입사시키기 위해 증기화된 윤활제를 시준된 분자빔으로 형성시키기 위한 장치를 포함한다. 도시된 바와 같이, 장치(10)는 장치를 여러 챔버로 분할하는 수직으로 연장되는 벽에 형성된 오리피스를 통해 유체 연통식으로 일렬로 연속되는 배기(evacuable) 챔버를 포함한다. 공급원 챔버(1)는 윤활제 증기(3)와 평형을 이루도록 그 안에 소정량의 액체 윤활제(2)를 포함한다. 공급원 챔버(1)의 수직으로 연장되는 벽부(4)에는 증기화된 윤활제 분자를 통과시키기 위한 제 1 시준 오리피스가 형성되어 있다. 공급원 챔버(1)에는 액체 윤활제의 가열 및 증기화를 수행하기 위한 열원이 구비된다. 도시된 실시예에서, 공급원 챔버(1)는 저항 가열기(7)를 포함하는 오븐(6)에 의해 둘러싸인다. 예를 들어, 공급원 챔버(1)의 내부에 배치되는 가열기와 같이 윤활제를 가열하고 증기화시키기 위해 그 밖의 적합한 장치가 사용될 수 있다.
제 1 시준 오리피스(5)를 거쳐 공급원 챔버(1)에 유체 연통되는 하나 이상의 중간 챔버(8)가 제공되며, 이는 공급원 챔버(1)의 벽(4)과 공동으로 수직벽, 및 증기화된 윤활제 분자 빔을 통과시키기 위한 제 2 시준 오리피스(10')가 형성된 대향 벽(9)을 포함한다. 도시된 장치가 이러한 중간 챔버를 하나만 포함하고 있긴 하지만, 유사하게 구성되는 수개의 중간 챔버가 추가로 구비될 수 있다. 중간 챔버(8)는 중간 챔버(8)의 벽(9)과 공동으로 수직벽, 및 회전 디스크 홀더(16)에 배치된 자기 디스크(15) 표면의 적어도 선택된 일부에 분별화된 윤활제 박막을 입사시키고 증착시키기 위해 증기화된 윤활제 분자의 시준화된 빔(14)을 통과시키기 위한 최종 시준 오리피스(13)를 가지는 대향 벽(12)을 갖는 최종 챔버(11)와, 제 2 시준 오리피스(10')을 통해 유체 연통하여 최종 시준 오리피스(13)로부터 배출되는 윤활제 분자의 시준된 빔을 수용한다.
그 위에 자기 디스크(15)가 있는, 회전가능한 디스크 홀더(16)는 최종 시준 오리피스(13)으로부터 거리(19)를 두고 진공 챔버(17)에 배치된다. 도시된 실시예에서, 진공 챔버(17)는 도관(18)을 거쳐 중간 챔버(8) 및 최종 챔버(11)와 유체 연통되고, 이로써, 공통의 진공 펌프가 사용될 수 있다. 그러나, 도관(18)은 별도의 진공원에 연결될 수 있다. 시준 오리피스 사이에 있는 챔버내 압력은 윤활제 분자의 평균 자유 경로가 오리피스 사이 거리의 것보다 길게 되도록 충분히 낮게 유지되어야 한다. 또한, 오리피스 사이 공간내의 낮은 압력은 실온 이하에서 고분자 윤활제의 저증기압으로 인해 챔버 표면을 냉각시키는 것처럼 최소 펌핑으로 유지될 수 있다. 분자 빔과 회전 디스크의 조합은 함께 디스크 표면에 윤활제의 방사형 밴드를 형성한다. 밴드의 폭은 최종 오리피스의 직경 및 디스크의 목적하는 구역, 예를 들어, 랜딩 및 테이크-오프 구역과 일치하는 윤활제 빔과 관련된 디스크의 위치에 의해 결정될 수 있다.
본 발명의 장치에서 일련의 시준 오리피스는 증기화된 윤활제 분자의 미세하게 촛점이 맞춰진 빔으로의 연속적인 시준을 제공한다. 빔의 최종 직경은 최종 시준 오리피스(13)의 크기에 의해 결정되며, 일반적으로 원형 형태이며, 직경이 약 0.20 내지 약 0.60cm이고, 약 0.40cm가 바람직하다. 최종 오리피스(13)와 회전 디스크(15)의 거리(19)는 일반적으로 약 2 내지 30cm이며, 바람직하게는 약 10cm이다.
작동 동안에, 하나 이상의 중간 챔버와 최종 챔버내의 압력은 약 10-7 토르 내지 약 10-9 토르, 바람직하게는 약 10-8 토르로 유지된다. 이러한 압력에 대해 하나 이상의 중간 챔버의 적합한 길이(시준된 분자 빔의 방향으로)는 약 10cm 내지 약 40cm, 바람직하게는 약 20cm이고, 최종 챔버의 적합한 길이는 약 10cm 내지 약 40cm, 바람직하게는 약 20cm이다. 각각의 챔버의 길이는 장치내 챔버의 수에 의존할 것이다. 챔버 조립체의 전체 길이는 약 20cm 내지 약 80cm이며, 바람직하게는 약 40cm이다.
실시예
사실상 도 3에 도시된 바와 같이, 퍼플루오로폴리에테르를 포함하는 액체 고분자 윤활제(2)를 장치의 공급원 챔버(1)에 공급하였다. 윤활제 분자의 시준된 빔을 제 1 오리피스(5)를 통해 공급원 챔버(1)로부터 먼저 윤활제 증기(3)를 팽창시킴으로써 형성시켰다. 윤활제 공급원(1)의 증기압과 분자량 분포는 초기 액상 분포를 선택한 후 오븐 및 가열기(6,7)로 100 내지 약 290℃의 온도로 윤활제(2)를 가열함으로써 조절하였다. 이로써 윤활제 박막을 자기 디스크의 랜딩 및 테이크-오프 구역에 만족스럽게 선택적으로 도포하였다.
윤활제의 시준되지 않은 분자빔을 발생시키기 위한 본 발명의 또 다른 실시예가 도 4에 도시되어 있다. 유리하게 도 4의 실시예는 대기상태에서 작동한다. 도 4에 개략적으로 도시된 바와 같이, 장치(20)은 가열기(24)에 의해 가열 처리되어 액체 위의 공간에서 증기화된 윤활제(23)을 형성하는 액체 윤활제(22)를 함유에 적합한 용기(21)를 포함한다. 운반 기체, 일반적으로, 공기 또는 질소, 아르곤, 크립톤 또는 네온, 바람직하게는 질소와 같은 불활성 가스는 액체(22) 수준 위의 일정 높이의 증기 공간으로 용기(21)내에서 종료되는 공급 도관(26)을 거쳐 증기화된 윤활제(23)에 조절된 습도로 공급원(25)으로부터 제공된다. 사실상, 퍼플루오로폴리에테르와 같은 고분자 윤활제를 사용하는 경우, 일반적으로 액체 윤활제(22)는 약 100℃ 내지 약 250℃, 바람직하게는 약 200℃의 온도로 가열된다.
운반 기체 공급원(25)은, 증기화된 윤활제 분자를 동반하고 동반된 증기화된 윤활제 분자와 함께 운반 기체가, 액체(22) 수준 위의 일정 높이에 있는 증기 공간으로 용기(21)내에서 종료되는 한 단부를 가지는 운반 도관(27)을 거쳐 용기(21)로부터 유출되게 하기에 충분한 속도 및 압력으로 운반 기체를 공급하는 흐름 조절 및 압력 조절 수단(미도시됨)을 포함한다. 도관(27)의 원거리 단부는 노즐(28)에서 종료되며, 노즐(28)은 윤활제 막이 선택적으로 도포되는 매체의 선택된 구역의 내경과 동일하거나 약간 적은 내경의 튜브로 형성될 수 있으며, 예를 들면, 자기 기록 매체의 랜딩 구역의 내경은 약 0.20cm 내지 약 0.60cm, 바람직하게는 약 0.40cm이다.
도 4의 실시예에서, 자기 디스크(29)는 디스크 표면에서 응축되기 전에 증기화된 윤활제 스트림의 팽창을 방지하기 위해 노즐(28)에 매우 인접하여 배치된다. 또한, 디스크는 디스크 표면에 윤활제의 방사상으로 연장되는 밴드를 형성하기 위해 윤활제 도포 동안에 모터(30)에 의해 회전된다.
가열기(31)는 노즐부(28)를 포함하는 대부분을 약 10℃ 내지 약 50℃, 바람직하게는 액체 윤활제의 온도보다 높은 약 20℃로 가열하기 위해 도관(27)에 인접하여 제공되어 도관의 내면에 증기화된 윤활제가 응축되는 것을 방지한다. 도 3에 도시된 실시예에서와 같이, 공급원 용기(21)는 오븐안에 포함될 수 있으며, 이러한 경우에 가열기(24)는 오븐의 일부를 형성하거나 액체 윤활제(22)내에 배치될 수 있다. 장치(20)는 마개 및 보조관 밸브, 온도 센서 및 조절기와 같은 많은 그 밖의 구조물을 포함할 수 있으나, 도면의 단순화를 위해 도시하지 않았으며, 이들 종래 구성요소의 유용성은 자명하다.
본 명세서에서는 본 발명의 바람직한 실시예 및 이의 유용성에 대한 예만 기재되어 있다. 본 발명은 다른 환경에서 이용할 수 있으며, 제시된 발명 개념의 범주내에서 변경 또는 변형될 수 있다.

Claims (20)

  1. 용매를 함유하지 않는 윤활제를 증기화시키는 단계;
    상기 증기화된 윤활제를 증기화된 윤활제 분자 빔으로 형성시키는 단계; 및
    상기 분자 빔을 자기 매체의 표면으로 유도하여 그 위에 입사시킴으로써 상기 표면의 사전 선택된 적어도 일부에 윤활제 막을 증착시키는 단계;를 포함하는 자기 매체의 표면에 윤활제 막을 도포시키는 방법으로서,
    상기 자기 매체가 자기 디스크를 포함하며, 윤활제 막이 증착되는 동안 상기 디스크를 회전시키는 단계; 및,
    상기 윤활제를 상기 디스크의 방사형 밴드에 도포시키는 단계;를 더 포함하며,
    상기 방사형 밴드는 읽기-쓰기 헤드용 랜딩 및 테이크-오프 구역을 포함하는,
    자기 매체의 표면에 윤활제 막을 도포시키는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 윤활제가 분자량 분포를 가지는 고분자 물질을 포함하며, 상기 고분자 물질이 증기화 동안 분자량 분포의 범위가 협소하고 평균 분자량이 작은 물질로 분별화되고,
    상기 고분자 윤활제 물질이 퍼플루오로폴리에테르, 작용화된 퍼플루오로폴리에테르, 퍼플루오로폴리알킬에테르 및 작용화된 퍼플루오로폴리알킬에테르로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 성분을 포함하는,
    자기 매체의 표면에 윤활제 막을 도포시키는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 윤활제가 단량체 오일 또는 고증기압 고형물을 포함하는,
    자기 매체의 표면에 윤활제 막을 도포시키는 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 윤활제를 시준된 분자 빔으로 형성하는 단계;
    제 1 시준 오리피스를 통해 공급원 챔버 내에서 윤활제 증기를 팽창시킨 후, 상기 제 1 시준 오리피스 다음에 위치하는 하나 이상의 추가 챔버의 벽에 배치된 하나 이상의 추가 시준 오리피스를 통해 증기를 통과시키는 단계;
    상기 증기화된 윤활제 분자의 평균 자유 경로가 상기 하나 이상의 추가 챔버의 길이 치수보다 크도록, 상기 하나 이상의 추가 챔버에서의 압력을 충분히 낮게 유지시키는 단계;
    상기 충분히 낮은 압력을 유지시키는 데 최소의 진공 펌핑이 요구되도록 상기 하나 이상의 추가 챔버의 표면을 냉각시키는 단계;
    상기 표면의 사전 선택된 적어도 일부에 입사시키기 전에 최종 오리피스를 통해 상기 시준된 분자 빔을 통과시키는 단계; 및
    배기된 챔버내에 상기 자기 매체를 배치시키는 단계;를 포함하며,
    상기 입사 빔의 폭은 최종 오리피스의 크기에 의해 결정되는,
    자기 매체의 표면에 윤활제 막을 도포시키는 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    시준되지 않은 분자빔을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 윤활제가 들어 있는 가열된 공급원 챔버를 통해 운반 기체를 흐르게 함으로써, 공기 또는 불활성 기체를 포함하는 상기 운반 기체에 증기화된 윤활제 분자를 동반시키는 단계;
    상기 표면에 매우 근접하여 위치하는 사전 선택된 내경의 가열된 튜브를 포함하는 노즐에서 종료되는 도관을 통해 상기 표면의 사전 선택된 적어도 일부로 상기 윤활제 분자가 동반된 운반 기체를 유도하는 단계; 및
    주위 기압에서 상기 표면의 사전 선택된 적어도 일부에 상기 동반된 윤활제 분자를 증착시키는 단계;를 포함하는,
    자기 매체의 표면에 윤활제 막을 도포시키는 방법.
  6. 자기 기록 매체를 수용하기 위한 홀더 및 상기 자기 기록 매체에 윤활제를 도포하기 위한 수단을 포함하는 장치로서,
    상기 윤활제를 도포하기 위한 수단이 상기 자기 기록 매체 표면의 선택된 적어도 일부에 윤활제 분자의 시준되거나 시준되지 않은 빔을 도포하기 위한 수단을 포함하고,
    상기 자기 기록 매체 표면의 선택된 적어도 일부가 읽기-쓰기 헤드용 랜딩 및 테이크-오프 구역을 포함하는 자기 디스크의 방사형 밴드를 포함하며,
    상기 홀더가 상기 윤활제 빔을 입사시키는 동안에 상기 자기 기록 매체를 회전시키도록 구성된 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    윤활제의 시준된 분자 빔을 발생시키고 도포시키기 위해,
    상기 윤활제가 들어 있으며 이를 증기화시키기 위한 가열가능한 공급원 챔버로서, 증기화된 윤활제 분자가 통과되게 하는 제 1 시준 오리피스를 가지는 벽부를 포함하는 챔버;
    상기 제 1 시준 오리피스를 거쳐 공급원 챔버와 유체 연통하는 제 2 챔버로서, 상기 제 1 시준 오리피스 다음에 위치하는 제 2 시준 오리피스를 가지는 벽부를 포함하는 제 2 챔버; 및
    상기 홀더; 및
    상기 공급원 챔버와 상기 제 2 챔버 사이에 유체 연통되는 하나 이상의 추가 챔버로서, 상기 제 1 및 제 2 시준 오리피스 중간에 제 3 시준 오리피스를 가지는 벽부를 포함하는 하나 이상의 추가 챔버;를 포함하며,
    상기 홀더는 상기 시준된 윤활제 빔을 입사시켜 선택된 적어도 일부에 윤활제 박막을 형성시키기 위해 상기 제 2 시준 오리피스에 마주하여 배기 챔버에 상기 자기 기록 매체 표면을 배치시키는 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    증기화된 윤활제 분자의 평균 자유 경로가 상기 제 2 및 추가 챔버의 길이보다 크도록 충분히 낮은 압력에서 상기 제 2 및 추가 챔버(들)내의 압력을 유지시키기 위한 진공원; 및
    상기 제 2 및 추가 챔버(들)의 표면을 냉각시키기 위한 냉각기;를 더 포함하는 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    윤활제의 시준되지 않은 분자 빔을 발생시키고, 도포시키기 위해,
    윤활제가 들어 있으며, 이를 증기화시키기 위한 가열가능한 공급원 챔버;
    증기화된 윤활제 분자를 동반시키기 위해 상기 공급원 챔버에 불활성 운반 기체의 흐름을 공급하기 위한 운반 기체 공급원;
    상기 공급원 챔버의 내부에서 종료되는 제 1 단부, 및 노즐에서 종료되는 원거리의 제 2 단부를 갖는 전달 도관으로서, 불활성 기체에 동반된 증기화된 윤활제 분자를 상기 노즐에 공급하는 도관; 및
    상기 시준되지 않은 윤활제 빔을 입사시켜 상기 표면의 선택된 적어도 일부에 윤활제 박막을 형성시기 위해 주위 대기하에서 상기 노즐에 매우 인접하여 상기 자기 기록 매체의 표면을 배치시키기 위한 홀더;를 포함하고,
    상기 노즐의 직경이 상기 선택된 표면 구역 부분의 치수와 동일하거나 이보다 약간 작고,
    상기 홀더가 상기 시준되지 않은 윤활제 빔을 입사시키는 동안에 상기 자기 기록 매체를 회전시키도록 구성된 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 전달 도관을 가열하기 위한 가열기를 더 포함하는,
    장치.
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