KR100567762B1 - 3 자유도 미소변위 구동장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 3 자유도 미소변위 구동장치에 관한 것으로서, 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 다수의 미소이동부를 직선구동과 틸팅구동 그리고 팬구동의 3자유도 구동원으로 각기 사용하고 더불어 소정의 회전수단을 포함한 일련의 구동장치들을 상호간에 연동되게 연결/설치함으로써 나노미터(nm) 정도로 정밀하게 초소형 그리퍼 등의 위치를 제어하도록 한다.

3자유도, 미소, 변위, 직선, 팬, 틸트

Description

3 자유도 미소변위 구동장치{precision actuating device of 3 degree of freedom}

도 1은 본 발명에 따른 3자유도 미소변위 구동장치의 사시도,

도 2a와 도 2b는 도 1의 부분 분해 사시도,

도 3은 본 발명에 따른 직선구동을 설명하기 위한 도면,

도 4는 본 발명에 따른 틸팅구동을 설명하기 위한 도면,

도 5는 본 발명에 따른 팬구동을 설명하기 위한 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100-1 : 제1미소이동부 100-2 : 제2미소이동부

100-3 : 제3미소이동부 200 : 틸트구동부

300 : 팬구동부

본 발명은, 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 다수의 미소이동부를 직선구동과 틸팅구동 그리고 팬구동의 3자유도 구동원으로 각기 사용하고 더불어 소정의 회전수단을 포함한 일련의 구동장치들을 상호간에 연동되게 연결/설치 함으로써 나노미터(nm) 정도로 정밀하게 초소형 그리퍼 등의 위치를 제어할 수 있도록 하는, 3자유도 미소변위 구동장치에 관한 것이다.

최근 정보기술(IT)나 생명공학기술(BT)또는 나노기술(NT) 등의 신산업은 미세화, 초정밀화하는 경향으로 흘러가고 있으며, 신산업 시장이 형성됨에 따라 이들 제품을 생산, 가공할 수 있는 초정밀 생산 시스템 사용 여부가 경쟁력 확보의 핵심요소가 되어 가고 있으며, 특히, 게놈 프로젝트와 더불어 관심을 모으고 있는 BT분야에서도 DNA의 크기가 3nm ~ 4nm, 리보솜 100nm 이하, 가장 큰 일반세포도 10㎛ 정도로 미세하여 이들을 다루고 조작하려면 초정밀 기기가 필요하며, NT산업에서도 나노 크기의 구조물을 다루고 측정하기 위한 초정밀 기구의 필요성이 증대되고 있다.

따라서, NT, BT, IT 등과 관련된 초정밀 기기에 필요한 마이크로 부품의 조립을 위해서는 초소형 로봇이 필요하며, 이의 핵심부품으로 머니퓰레이터와 같은 3자유도 미소변위 구동장치가 있다.

전술한 머니퓰레이터와 같은 3자유도 미소변위 구동장치는, 마이크로미터 단위 크기로 아주 미세한 물체를 집는 초소형 그리퍼 등의 위치를 정밀하게 제어할 수 있는 장치로서, 마이크로 부품을 핸들링 하기 위한 핵심부품으로 사용된다.

특히, 나노 스케일 정도로 미세하게 제어가 요구되는 3 자유도 미소변위 구동장치는 광 스위치(Optical switch), 평판소자(planar device)뿐만 아니라, 최근에 관심이 고조되어 가고 있는 바이오 물질 및 나노 스케일의 물질을 핸들링 하기 위해서 필수적인 장치로 부각되고 있다.

하지만, 최근까지 개발된 머니퓰레이터와 같은 3자유도 미소변위 구동장치는 정밀도가 수 마이크로미터(㎛)에 그치고 있어 전술한 바이오 분야 등에 효율적으로 이용하기 위해서는 나노미터 정도로 좀 더 정밀하게 개량된 소정의 구동장치가 필요한 실정이다.

이에 본 발명은 상기한 필요성을 만족시키기 위하여 개발된 것으로, 나노미터 정도로 정밀하게 그리퍼 등의 위치를 제어할 수 있는, 3자유도 미소변위 구동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

이러한 목적에 따라 본 발명은, 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 다수의 미소이동부를 직선구동과 틸팅구동 그리고 팬구동의 3자유도 구동원으로 각기 사용하고 더불어 소정의 회전수단을 포함한 일련의 구동장치들을 상호간에 연동되게 연결/설치함으로써 백래시를 감소시키며 아울러 나노미터 정도로 정밀하게 3자유도 구동을 수행할 수 있게 하고자 한다.

이를 위해 본 발명은, 소정의 밀대를 외부로부터 인가되는 전압에 따라 팽창 또는 수축되는 신축부와 연결하여 상기 신축부의 팽창 또는 수축에 따라 전/후 방향으로 이동되도록 형성된 제1, 제2, 제3 미소이동부;

일단부가 절단된 소정 제1회전수단의 일면에 상기 제1미소이동부를 결착시키고, 더불어 상기 제1회전수단의 절단된 일단부가 제2미소이동부의 밀대와 소정거리만큼 이격되도록 상기 제2미소이동부와 제1회전수단을 연결시켜, 상기 제2미소이동부의 밀대 이동에 따라 제1회전수단이 위/아래로 회전하여 상기 제1회전수단의 일 면에 결착된 제1미소이동부를 틸팅시키는, 틸트구동부;

일단이 절단된 소정 제2회전수단을 상기 제3미소이동부의 밀대와 소정거리만큼 이격되게 제3미소이동부에 연결시키고, 제2회전수단의 일면을 상기 틸트구동부와 결합하여, 상기 제3미소이동부의 밀대 이동에 따라 제2회전수단과 연동적으로 틸트구동부를 회전축을 중심으로 회전시켜, 상기 틸트구동부의 제1회전수단에 연결된 제1미소이동부를 팬운동시키는, 팬구동부로 이루어지도록 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 1을 참조하여 본 발명에 따른 3자유도 미소변위 구동장치에 대해 설명한다.

상기 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 구동장치는 외부로부터 인가된 전압을 통한 신축부의 팽창 또는 수축에 따라 상기 신축부와 연결된 밀대를 전/후 방향으로 이동시키는 제1, 제2, 제3 미소이동부(100-1, 100-2, 100-3)와, 구비된 소정 제1회전수단의 일면에 제1미소이동부(100-1)를 연결시키고, 더불어 상기 제1회전수단을 제2미소이동부(100-2)의 밀대와 이격되도록 소정의 결합부재를 통해 결합시켜, 상기 제2미소이동부(100-2)의 밀대 이동에 따라 제1회전수단이 회전축을 중심으로 회전 및 복귀되도록 하여 제1회전수단의 일면에 연결된 제1미소이동부(100-1)를 연동적으로 틸팅시키는 틸트구동부(200)와, 상기 제3미소이동부(100-3)의 밀대와 이격되게 소정의 제2회전수단과 결합시켜 제3미소이동부(100-3)의 밀대 이동에 따라 상기 제2회전수단을 회전축을 중심으로 회전 및 복귀시킴으로, 제2회전수단의 상부와 상기 소정의 결합부재를 통해 연결된 틸트구동부(200)를 회전시켜, 그와 연동하도록 틸트구동부(200)의 제1회전수단 일면에 연결된, 제1미소이동부(100-1)를 실제적으로는 제1미소이동부(100-1)의 밀대와 연결된 소정의 그리퍼 등을 팬운동시키는 팬구동부(300)로 이루어진다.

이렇게 이루어진 본 발명의 구동장치는, 3개의 미소이동부, 즉 제1, 제2, 제3 미소이동부(100-1, 100-2, 100-3) 각각은, 소정의 내장형 케이스에 압전세라믹과 같이 외부로부터 인가되는 전압에 따라 팽창 또는 수축되는 신축부가 설치되고, 신축부와 연동되도록 푸쉬부재로서 그 끝단에 소정의 밀대가 연결되어, 외부전압인가시 그 신축부의 팽창 또는 수축에 따라 연결된 밀대를 전/후 방향으로 이동시킨다.

본 발명은 이러한 3개의 미소이동부(100-1, 100-2, 100-3)를 사용해 직선구동, 틸팅구동, 팬구동의 3자유도 구동을 수행하며, 각각의 구동을 위한 양태는 하기와 같다.

우선, 틸팅(tilting)구동을 위해, 전술한 제1미소이동부(100-1)의 측단부를, 별도로 구비된 소정의 제1회전수단 중심에 결착 또는 결합시켜 제1회전수단이 이동됨에 따라 제1미소이동부(100-1)가 그와 더불어 틸팅될 수 있도록 하고, 아울러, 상기 제1미소이동부(100-1)가 결착 또는 결합된 제1회전수단을 제2미소이동부(100-2)의 밀대와 소정거리만큼 이격되도록 결합부재를 통해 제2미소이동부(100-2)와 연결시켜, 제2미소이동부(100-2)의 밀대가 이동함에 따라 제1회전수단을 밀어 회전될 수 있도록 한다.

그 결과, 본 발명은, 외부로부터 인가되는 전압에 따라 제2미소이동부(100-2)내의 신축부가 팽창하여 그와 연결된 밀대를 앞쪽으로 이동시키게 되면, 제1회전수단이 회전축을 중심으로 회전하여 상기 제1회전수단의 중심부에 연결된 제1미소이동부(100-1)를 연동적으로 틸팅시키게 된다.

다음, 팬(pan)구동을 위해, 전술한 제3미소이동부(100-3)의 밀대와 이격되게 본 발명을 위해 별도로 마련한 소정의 제2회전수단과 결합시켜 제3미소이동부(100-3)의 밀대 이동에 따라 상기 제2회전수단을 회전축을 중심으로 회전 및 복귀시키도록 하고, 더불어 제2회전수단의 상부에 틸트구동부(200)를 연결시켜, 제2회전수단이 회전축을 중심으로 회전 및 복귀됨에 따라 그와 연동적으로 틸트구동부(200)를 회전시켜 틸트구동부(200)의 제1회전수단 측단부에 연결된 제1미소이동부(100-1)를 팬운동시키도록 한다.

이와 같이, 본 발명에서는 실제적으로 그리퍼 등과 연결되어 그들을 설정미소변위만큼 움직이도록 하는 제1미소이동부가, 외부로부터 인가되는 전압에 따라 해당 밀대를 전/후방향으로 이동시켜 자체적으로 직선구동이 수행되며, 전술한 바에 따라 제2미소이동부와 틸트구동부 양자간의 연동에 따라 틸팅구동이 그리고, 제3미소이동부와 틸트구동부 그리고 팬구동부 3자간의 연동에 따라 팬구동이 수행되어, 결과적으로 제1미소이동부에 연결되는 소정의 그리퍼 등을 정밀하게 3자유도 구동을 수행시키게 된다.

다음, 도 2a와 도 2b를 참조하여 본 발명에 대해 좀 더 상세히 설명한다.

상기 도 2a는 틸팅구동을 위한 기술적 구성을 좀 더 상세히 나타낸 도면이 고, 도 2b는 팬구동을 위한 기술적 구성을 좀 더 상세히 나타낸 도면이다.

먼저, 상기 도 2a에 도시된 바와 같이, 본 발명에 사용되는 제1, 제2 미소이동부(100-1, 100-2) 각각은 외부로부터 인가되는 전압에 따라 길이방향으로 팽창 또는 수축하는 신축부(미도시)와, 상기 신축부의 팽창 또는 수축에 따라 전/후 방향으로 이동하는 밀대(101-1, 101-2)와, 상기 신축부와 밀대(101-1, 101-2)를 연결하여 고정시키는 소정의 고정부재(미도시)와, 상기 신축부와 고정부재를 수용한 원통형의 내장용 케이스(102-1, 102-2)를 포함하여 이루어지며, 신축부는 비교적 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 압전세라믹을 사용하는 것이 가장 바람직하다.

그리고, 틸트구동부(200)에 사용되는 소정의 제1회전수단은, 일면의 중심에 소정의 결합부재(400)를 통해 제1미소이동부(100-1)가 결착 또는 결합되며, 전술한 제2미소이동부(100-2)의 밀대가 소정의 이격거리만큼 이동함에 따라 일단에 성형된 절단부를 밀어 미소변위만큼 위로 회전하는 원환형의 제1회전체(210), 상기 제1회전체(210)에 베어링과 같은 소정의 회전부재로 연결되어 제1회전체(210)가 회전하도록 지지하는 틸트구동베이스(220), 상기 틸트구동베이스(220)의 절단부에 성형된 홈 또는 구멍에 압입되어, 상기 제2미소이동부(100-2)의 밀대가 이격거리만큼 원래의 위치로 복귀함에 따라 제1회전체(210)에 결착된 소정의 결착부재(미도시)를 밀어 상기 제1회전체(210)를 원래의 위치로 복귀시키는 탄성부재(230)로 이루어진다.

그리고, 본 발명은 효율적인 틸팅구동을 위해, 제2미소이동부(100-2)와 틸트구동베이스(220)를 연결하게 되는데, 바람직한 양태로, 일단은 상기 제2미소이동부(100-2)를 홀딩하며, 타단은 상기 틸트구동베이스(220)와 결합하는 결합부재(500)를 통해 연결하는 것이 가장 바람직하다.

전술한 제1회전체(210)는, 바람직하게, 일면과 타면의 중심에 고정홈과 회전축홈이 형성되도록 하며, 틸트구동베이스(220)는 중심에 수용홈 또는 수용공이 형성되도록 하여, 베어링과 같은 소정의 회전부재를 통해 상기 제1회전체(210)의 회전축홈과 틸트구동베이스(220)의 수용공 또는 수용홈을 연결해 제1회전체(210)와 틸트구동베이스(220)를 결합시키도록 한다.

다음, 도 2b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 사용되는 팬구동부의 제2회전수단은 제3미소이동부(100-3)의 밀대의 이동에 따라 틸트구동부를 회전시켜 틸트구동부와 연결된 제1미소이동부를 회전축을 중심으로 회전시키는 원환형의 제2회전체(310)와, 상기 제2회전체(310)가 회전되도록 지지하는 팬구동베이스(320)와, 상기 팬구동베이스(320)의 절단부에 성형된 홈에 압입되어 상기 제3미소이동부(100-3)의 밀대의 이동에 따라 제2회전체(310)에 결착된 소정의 결착부재(미도시)를 밀어 상기 제2회전체(310)와 그 상부에 결합된 틸트구동부를 복귀시키는 제2탄성부재(330)로 이루어진다.

덧붙여서, 본 발명은 원활한 팬구동을 위해, 일단은 상기 제3미소이동부(100-3)의 밀대가 돌출되게 제3미소이동부(100-3)를 홀딩하고, 타단은 상기 팬구동베이스(320)와 결합하는 소정의 결합부재(600)를 이용해 제3미소이동부(100-3)와 팬구동베이스(320)를 결합시키므로, 제3미소이동부(100-3)가 보다 안정적으로 팬구동베이스(320)에 연결된 제2회전체(310)를 회전시킬 수 있도록 하는데, 이하에서는 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 동작원리를 좀 더 상세히 설명하기로 한다.

먼저, 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 직선구동에 대해 설명한다.

상기 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 직선구동은, 실제적으로 그리퍼 등과 연결되어 그들을 설정미소변위만큼 움직이도록 하는 제1미소이동부(100-1)가, 외부로부터 인가되는 전압에 따라 끝단에 설치된 밀대(101-1)를 전/후방향으로 이동시켜 자체적으로 직선구동을 수행한다.

좀 더 상세하게는, 외부로부터 인가되는 양(+)의 전압에 따라 내장된 압전세라믹과 같은 소정의 신축부를 팽창시켜, 그 신축부와 소정의 고정부재를 통해 연결된 밀대(100-1)를 앞쪽으로 이동시키고, 반대로 외부로부터 인가되는 음(-)의 전압에 따라 상기 팽창된 신축부를 수축시켜, 그와 연결된 밀대(101-1)를 뒤쪽으로 이동시킴으로써 밀대(101-1)와 연결되는 소정의 그리퍼 등을 전/후방향으로 직선운동시킬 수 있게 된다.

계속해서, 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 틸팅구동에 대해 설명하는데, 상기 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 틸팅구동은, 먼저 제2미소이동부(100-2)의 밀대(101-2)가 소정의 이격거리만큼 이동함에 따라 제1회전체(210)의 일단에 절단성형되어 형성된 절단부를 밀어 미소변위만큼 위로 회전시키고, 베어링과 같은 소 정의 회전부재로 연결되어 제1회전체(210)와 연동적으로 회전하는 틸트구동베이스(220)는 그의 절단부에 형성된 소정의 수용홈에 압입되어 있는 탄성부재를 이용해 상기 제1회전체에 결착된 소정의 결착부재(미도시)를 밀어 제1회전체(210)를 원래의 위치로 복귀시켜 제1회전체(210)에 연결된 제1미소이동부(100-1)를 틸팅구동시키도록 한다.

좀 더 구체적으로는, 외부로부터 인가되는 양(+)의 전압에 따라 제2미소이동부(100-2)에 내장된 신축부가 끝단에 설치된 밀대(101-2)를 밀면, 밀대(101-2)는 앞쪽으로 이동되어 제1회전체(210)에 성형된 절단부를 밀어 제1회전체(210)를 위쪽으로 회전시키고, 더불어 제1회전체(210)와 연동적으로 회전되는 틸트구동베이스(220) 역시 동일한 방향으로 회전된다.

그리고 나서, 외부로부터 인가되는 음(-)의 전압에 따라 상기 팽창된 신축부가 수축되면 끝단에 설치된 밀대(101-2)가 원래의 위치로 이동되고, 이에 따라 틸트구동베이스(220)의 절단부위에 형성된 소정의 홈에 압입되어 있는 탄성부재가 밀대의 이동에 따라 접촉하게된 소정의 결착부재(미도시)를 밀어 제1회전체(210)를 원래의 위치로 복귀시켜, 이를 통해 결과적으로 제1회전체(210)와 연동하게 그 중심에 연결된 제1미소이동부(100-1)를 틸팅구동시키게 된다.

마지막으로, 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 팬구동에 대해 설명한다.

상기 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 팬구동은 제3미소이동부(100-3)의 밀대가 인가되는 양(+)의 전압에 따라 앞으로 이동하여 제2회전체(310)를 소정의 설정변위만큼 회전축을 중심으로 회전시키면, 그에 따라 그 상부에 결합된 틸트구동베이스(220)가 회전되고, 제1회전체(210)를 통해 상기 틸트구동베이스(220)와 연결된 제1미소이동부(100-1)가 회전축을 중심으로 설정변위만큼 회전된다.
그리고, 제3미소이동부(100-3)의 밀대가 인가되는 음(-)의 전압에 따라 뒤로 이동하여 원래의 위치로 복귀되면, 팬구동베이스(320)의 일단부에 설치된 탄성부재가 상기 제2회전체(310)에 결착된 소정의 결착부재(미도시)를 밀어 제2회전체(310)와 그 상부에 결합된 틸트구동베이스(220)를 복귀시킴으로써, 제1미소이동부(100-1)가 팬구동을 수행하게 되는 것이다.

좀 더 상세하게는, 외부로부터 인가되는 양(+)의 전압에 따라 제3미소이동부(100-3)에 내장된 신축부가 끝단에 설치된 밀대를 밀면, 앞쪽으로 이동되는 밀대에 의해 제2회전체(310)가 회전축을 중심으로 회전되고, 그에 따라 그 상부와 연결된 틸트구동베이스(220)와, 제1회전체(210)를 통해 그 틸트구동베이스(220)와 연결된 제1미소이동부(100-1)가 회전축을 중심으로 회전된다.

이러한 상태에서, 외부로부터 인가되는 음(-)의 전압에 따라 상기 팽창된 신축부가 수축되면 끝단에 설치된 밀대가 뒤로 이동하여 원래의 위치로 복귀되고, 이에 따라 팬구동베이스(320)의 절단부에 형성된 홈에 압입되어 있는 탄성부재가 제2회전체(310)의 결착부재(미도시)를 밀게 되면, 제2회전체(310), 틸트구동베이스(220), 제1미소이동부(100-1)가 원래의 위치로 복귀되므로, 제1미소이동부(100-1)가 팬구동을 수행하게 되는 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 3자유도 미소변위 구동장치는, 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 다수의 미소이동부를 직선구동과 틸팅구동 그리고 팬구동의 구동원으로 각기 사용하고 더불어 소정의 회전수단을 포함한 일련의 구동장치들을 상호간에 연동되게 연결/설치함으로써 백래시를 감소시키며 아울러 나노미터 정도로 정밀하게 3자유도 구동을 수행할 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 기재된 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (10)

1. 소정의 밀대를 외부로부터 인가되는 전압에 따라 팽창 또는 수축되는 신축부와 연결하여 상기 신축부의 팽창 또는 수축에 따라 전/후 방향으로 이동되도록 형성된 제1, 제2, 제3 미소이동부;

   일단부가 절단된 소정 제1회전수단의 일면에 상기 제1미소이동부를 결착시키고, 더불어 상기 제1회전수단의 절단된 일단부가 제2미소이동부의 밀대와 소정거리만큼 이격되도록 상기 제2미소이동부와 제1회전수단을 연결시켜, 상기 제2미소이동부의 밀대 이동에 따라 제1회전수단이 회전축을 중심으로 회전하여 상기 제1회전수단의 일면에 결착된 제1미소이동부를 틸팅시키는 틸트구동부;

   일단이 절단된 소정 제2회전수단을 상기 제3미소이동부의 밀대와 소정거리만큼 이격되게 제3미소이동부에 연결시키고, 제2회전수단의 일면을 상기 틸트구동부와 결합하여, 상기 제3미소이동부의 밀대 이동에 따라 제2회전수단과 틸트구동부를각각의 회전축을 중심으로 회전시켜 상기 틸트구동부의 제1회전수단에 연결된 제1미소이동부를 팬운동시키는 팬구동부로 이루어지는, 3자유도 미소변위 구동장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제1, 2, 3미소이동부 각각은;

   외부로부터 인가되는 전압에 따라 길이방향으로 팽창 또는 수축하는 신축부;

   상기 신축부의 팽창 또는 수축에 따라 전/후 방향으로 이동하는 밀대;

   상기 신축부와 밀대를 상호간에 연결하여 고정시키는 소정의 고정부재;

   상기 밀대의 일단부가 노출되도록 하여 밀대와 신축부 및 고정부재를 수용하는 원통형의 내장용 케이스를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 신축부는;

   압전세라믹인 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 틸트구동부의 제1회전수단은;

   일단에 소정의 결착홈이 형성되고, 일면의 중심이 제1미소이동부와 결착되며, 상기 제2미소이동부의 밀대가 이격거리만큼 이동함에 따라 소정의 절단부를 밀어 설정변위만큼 회전축을 중심으로 회전하게 일단부가 절단성형된 원환형의 제1회전체;

   상기 제1회전체에 형성된 결착홈에 결착되는 판형의 결착부재;

   소정의 절단부에 수용홈이 형성되고, 상기 제1회전체가 회전되도록 결합된 틸트구동베이스;

   상기 틸트구동베이스에 형성된 수용홈에 압입되어, 상기 제2미소이동부의 밀대 복귀에 따라 제1회전체에 결착된 상기 결착부재를 밀어 상기 제1회전체를 연동적으로 복귀시키는 탄성부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 탄성부재는;

   스프링인 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.
6. 제 4 항에 있어서,

   일단은 상기 제2미소이동부를 홀딩하며, 타단은 상기 틸트구동베이스와 결합하는 제1결합부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.
7. 제 4 항에 있어서, 제1회전체는;

   일면과 타면의 중심에 고정홈과 회전축홈이 각기 형성되고,

   상기 틸트구동베이스는;

   중심에 수용홈 또는 수용공이 형성되며,

   상기 제1회전체의 회전축홈과 틸트구동베이스의 수용공 또는 수용홈을 연결해 제1회전체와 틸트구동베이스를 결합시키는 소정의 회전부재를 추가로 포함한 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.
8. 제 7 항에 있어서, 회전부재는;

   베어링인 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 팬구동부의 제2회전수단은;

   일단에 결착홈이 형성되고, 일면의 중심이 틸트구동부의 제2회전수단과 결합되며, 상기 제3미소이동부의 밀대가 소정거리만큼 이동함에 따라 소정의 절단부를 밀어 설정변위만큼 회전축을 중심으로 회전되게 일단부가 절단성형된 원환형의 제2회전체;

   상기 제2회전체에 형성된 결착홈에 결착되는 판형의 결착부재;

   소정의 절단부에 수용홈이 형성되고, 상기 제2회전체가 회전되도록 결합된 팬구동베이스;

   상기 팬구동베이스에 형성된 수용홈에 압입되어, 상기 제3미소이동부의 밀대복귀에 따라 상기 결착부재를 밀어 제2회전체의 상부에 결합시킨 틸트구동부를 연동적으로 복귀시키는 제2탄성부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.
10. 제 9 항에 있어서,

    일단은 상기 제3미소이동부의 끝단부가 돌출되게 제3미소이동부를 홀딩하고, 타단은 상기 팬구동베이스와 결합하는 제2결합부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치.

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