KR100565549B1

KR100565549B1 - 연마유체분사시스템

Info

Publication number: KR100565549B1
Application number: KR1020037013766A
Authority: KR
Inventors: 가드마이클윌리엄
Original assignee: 제트시스 인터내셔널 피티이 리미티드
Priority date: 2001-04-21
Filing date: 2002-04-22
Publication date: 2006-03-30
Also published as: MY129877A; EP1389153B1; JP2004524178A; CA2444951C; CN1525901A; CA2444951A1; US20040198179A1; TW515740B; CN1305642C; EP1389153A1; ATE306363T1; SG101445A1; JP4047175B2; WO2002085573A1; DE60212119D1; DE60212119T2; KR20030090773A

Abstract

이 발명은, 유체를 용기(11)에 공급하는 고압유체공급수단(10)을 가지며 용기(11)는 연마슬러리의 층과 실질적으로 연마슬러리의 층 위의 유체를 담고있는 상층을 구비한 연마재분사시스템을 제공한다. 이 시스템은 또한, 유체공급수단으로부터 용기 내의 상층으로 이끌며 고압유체가 용기 속으로 공급되면 방출도관(16)으로부터의 연마슬러리의 변위를 유발하는 제1도관(14)을 구비한다. 이 시스템은 다른 위치들에서 제1도관과 방출도관에 연결된 제2도관(21)을 더 구비하며, 제1도관에 대한 작동연결부와 방출도관 사이에는 제2도관 내의 유체흐름을 제어하는 유체밸브(13)를 구비한다. 유체밸브는, 일단 시스템이 가압되어 연마슬러리를 방출도관(16)을 통해 변위된다면 폐쇄되고, 시스템의 감압 시에는 개방되어 제1도관(14)으로부터 제2도관으로의 유체흐름을 허용하고 연마슬러리의 방출을 중단시킨다.

연마슬러리, 유체, 가압, 감압, 유체밸브, 유체흐름제어

Description

연마유체분사시스템{Abrasive fluid jet system}

본 발명은 연마유체분사절단시스템에 관한 것으로, 특히 압축된 연마슬러리를 담고있는 용기로부터 연마분사노즐(들)로 압축된 슬러리를 공급하여 절단이나 다른 연마유체기계가공작업들을 수행할 수 있게 하는 시스템에만 한정되지 않는다.

이 기술분야의 연마유체분사시스템은 정밀절단이 요구되는 많은 응용들에 사용된다. 이러한 응용의 일 예는 기판들의 싱규레이션(singulation)이다. 한 유형의 연마재분사시스템은 압력용기에 저장되고 압력용기로부터 압력 하에서 방출되는 연마재를 이용하여 노즐 바로 앞에서 구동유체와 혼합하여 연마슬러리를 형성한다. 이러한 혼합은 벤투리효과에 의해 달성된다. 슬러리는 규정액으로(normally) 기판들을 절단하기 위한 연마유체분사도구를 형성하는 노즐을 통해 가속된다.

이러한 현존하는 시스템들은 다중노즐절단헤드가 제공되어야 하는 노즐들의 각각에 대해 별도의 독립적인 연마재 송출(delivery)을 필요로 한다. 이러한 독립적인 송출은 독립적인 제어를 요구하고 다중노즐절단헤드의 하나 이상의 노즐들이 이상적인 상태에서보다는 적게 동작할 가능성이 늘어나게 한다.

연마재를 유체와 혼합하는 다른 대안이 되는 구성은 예를 들면 WO 95/29792에 보여진다. WO 95/29792의 시스템에서는, 압력용기가 제공되고, 이 압력용기 내에서는 연마재와 압력하의 유체가 도관을 통해 노즐로 송출되기 전에 혼합될 수 있다.
WO 00/52679는 압력 하의 유체를 입구(6)를 통해 분출용기(1)에 공급하고 분출용기에서 유체는 연마재와 같은 다른 성분을 녹일 수 있는 고압유체공급기(31, 32)를 갖는 유체공급시스템을 개시한다. 용기로부터의 출구(51)는 노즐(54)로 안내한다. 분사범프(61)는 밸브(65)를 통해 용기방출관(51)과 시스템의 출구(54) 사이의 접속점(junction)에 연결되는 출구(64)를 가진다. 밸브(65)가 폐쇄되는 경우, 분사펌프(61)의 고압입구(62)에 공급되는 압축된 유체는 분사펌프의 저압입구(63)을 통과하여 용기(1)의 입구(6)로 간 다음, 연마재를 분출하는 용기를 통과한 후, 용기방출관(51)을 통해 노즐(54)로 흘러간다. 밸브(65)는 개방되어 분리밸브(52)가 내뿜는 작동을 행할 수 있게 하고 폐쇄되어 노즐로의 흐름을 중단시킨다. 이 구성은 방출관의 하부 끝단 근처에 희석용 흐름을 도입함으로써 연마방출물을 희석하지 않을 뿐 아니라, 이 희석용 흐름이 연마방출물이 중단될 때 용기방출관(51)에 쏟아지지 않게 한다.

점점 더 높은 액체압력들이 절단파워의 증가를 이용하는데 사용된다면, 액체의 압축성은 중요한 요소가 된다. 작업공정을 중단하거나 또는 연마재 재충전을 용이하게 하기 위해 연마슬러리의 방출을 중지하고 연마슬러리 압력용기를 감압하는 것이 요구되는 때에는, 높은 압력이 발생된 결과로, 압력용기 내에는 많은 양의 압축된 유체가 남아있다. 이 기술분야의 기존의 상태의 시스템들에서는, 압축된 부피가 감압되면 그것의 유일한 탈출경로는 슬러리를 가두는 범위 내에 그 입구가 위치되는 방출도관을 통하는 것이다. 그래서 많은 양의 슬러리는 계속 방출되어 노즐이 막히는 문제가 일어난다. 이러한 노즐 막힘은, 방출되는 슬러리가 정상적인 작동압력보다 낮은 압력에 놓여 송출파이프나 노즐에 막힘을 피할 수 있는 식으로 놓여지는 충분한 운동량을 가지지 못하기 때문이다.

이러한 바람직하지 못한 방출은 예들 들어 슬러리감금용의 압력용기에 압력을 가하는 펌프가 고장인 경우에 발생된다. 압력용기 내의 슬러리가 높은 압력 하에 놓이고 펌프에 의해 압축되므로, 펌프가 고장이면, 압축된 슬러리는 팽창하여 송출파이프를 통한 슬러리의 배달을 적어도 단기간 동안 계속하여 노즐로부터 연마슬러리가 계속 방출되게 한다.

해결책을 입안할 때에는, 높은 압력과 연마재를 담고있는 가공매체 자체에 의해 유발되는 높은 마모속도와 신뢰성에 관한 염려를 포함한 문제를 피하는 것이 중요하다.

본 발명의 목적은 전술한 문제들을 완화시키고 노즐 막힘을 피하거나 대중에게 유용한 선택을 제공하는 것이다.

제1양태로서의 본 발명은 넓게는 연마슬러리의 송출을 위한 유체공급시스템이라 말할 수 있고, 이 유체공급시스템은,

연마슬러리를 하층에 그리고 실질적으로 연마재가 없는 유체를 상층에 담고 있는 용기;
용기에 연결된 제1끝부분과 고압유체원에의 연결을 위한 제2끝부분을 가지며 고압유체를 용기에 송출하기 위한 가압공급도관;
용기의 하층에 위치된 슬러리흡입단 및 연마재배출구에 연결된 송출단을 가지며 용기로 송출되는 고압유체에 의한 변위 하에 슬러리의 배출구로의 송출을 위한 슬러리흡입송출도관;
용기의 상층에 연결된 제1끝부분 및 압력완화출구에 연결된 제2끝부분을 가지며, 압력완화도관을 통한 유체흐름을 제어하기 위한 밸브도 가지는 압력완화도관; 및
압축공급도관에 연결된 제1끝부분 및 슬러리흡입송출도관에 연결된 제2끝부분을 가지는 제2의 공급도관을 포함하며,
제2의 공급도관의 제2끝부분은 슬러리흡입단 근처에서 슬러리흡입송출도관에 연결된다.
바람직하게는 압력완화도관의 제2끝부분은 슬러리흡입송출도관에 연결되고, 압력완화출구는 연마재배출구에 의해 제공된다.
바람직하게는 가압공급도관의 제1끝부분은 용기의 상층에 위치된다. 압력완화도관의 제1끝부분은 가압공급도관에 연결되어, 가압공급도관의 제1끝부분을 통해 용기의 상층에 연결되어도 좋다.
다르게는, 가압공급도관의 제1끝부분은 용기의 하층에 위치된다.
압력완화도관의 제1끝부분은 용기의 상층에 집적 연결되어도 좋다. 가압공급도관은 흐름제어밸브를 구비해도 좋다.

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발명의 제2양태의 연마슬러리압축시스템은 넓게는 연마슬러리를 송출하기 위한 방법이라 말할 수 있고, 이 방법은,
고압유체를, 연마슬러리를 하층에 그리고 실질적으로 연마재 없는 유체를 상층에 담고 있는 용기에 공급하는 단계;
용기 하층에 위치된 슬러리흡입단 근처에서 슬러리흡입송출도관에 연결된 고압유체를 슬러리흡입송출도관에 송출하는 단계;
공급되는 고압유체에 의해, 슬러리흡입송출도관을 통해 슬러리를 변위시키는 단계;
슬러리흡입송출도관을 통해 변위된 슬러리를 슬러리흡입단 근처에서 연결된 슬러리흡입송출도관으로 송출되는 유체로써 희석시키는 단계;
변위되고 희석된 슬러리를 연마재배출구로 배출하는 단계; 및
용기에 연결된 도관의 밸브를 개폐하여 용기 내의 압력을 각각 완화 및 복원하여 슬러리의 변위 및 배출을 중단 및 개시하는 단계를 포함한다.
바람직하게는 용기 내의 압력은 슬러리흡입송출도관 및 배출구를 통해 완화된다.
바람직하게는 용기에 공급되는 고압유체는 용기의 상층에 도입된다.
다르게는 용기에 공급되는 고압유체는 용기의 하층에 도입된다.
압력완화는 고압유체를 용기에 공급하는 도관을 통하여 할 수도 있다.
압력완화는 용기의 상층에 직접 연결되는 도관을 통하여 할 수도 있다.
바람직하게는, 고압유체를 용기에 초기 공급하고 고압유체를 슬러리흡입송출도관에 송출하여, 밸브는 개방되어 압력완화도관을 통해 흐르는 유체가 시스템을 압축할 수 있게 하고 그 후 밸브는 폐쇄되어 연마재배출구로 슬러리를 변위 및 배출할 수 있게 한다.

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도 1은 본 발명의 제1실시예를 도시하는 시스템도이다.

도 2는 본 발명의 제2실시예를 도시하는 시스템도이다.

도 3은 본 발명의 제3실시예를 도시하는 시스템도이다.

도 4는 본 발명의 제4실시예를 도시하는 시스템도이다.

본 발명은 최저저항의 경로를 취하는 자연적인 성향에 의지하여 방출물에 연마재가 없도록 한 설계로 압축유체부피를 방출도관 속으로 배출되게 할 수 있다.

본 발명의 제1실시예를 도시하는 도면인 도 1을 참조하면, 연마슬러리를 보유하기 위한 격실(compartment)을 제공하는 압력용기(11)가 제공된다. 연마슬러리는 예를 들면 물 또는 물을 함유한 액체조성물과 같은 유체 내에 연마재료가 혼입된 혼합물이다. 압력용기(11)는 연마슬러리(2)를 담고있고 연마슬러리 위에 액체(4)의 층이 제공된다. 이 액체(4)는 슬러리를 제공하기 위해 연마입자들을 혼합하는데 사용된 것과 동일한 액체이지만 용기 내에서 특정 레벨 "L" 위에서는 연마재와 혼합되지 않는다.

압축펌프를 포함하고 있는 압축유체원(10)은 유체를 압력용기(11)에 공급한다. 압축유체원(10)으로부터의 유체의 공급은 송출도관들(14 및 15)을 통해 이루어진다. 송출도관(15)은 유체를 흡입(uptake)송출도관(16)에 제공하여 적절한 희석을 개구(30)를 통해 변위된 슬러리에 제공한다. 이 희석은 흡입송출도관의 막힘을 피하는데 필요할 것이다.

송출도관(14)은 주된 송출 및 용기가압용의 도관이다. 도 1에 보인 본 발명의 구성에서, 송출도관(14)은 압력용기의 유체만 있는 영역(즉 L 위쪽)내에 압력용기(11)의 제1개구를 규정하는 출구개구(24)를 가진다.

호퍼(hopper; 17)는 연마슬러리(2)를 도관(19)을 통해 압력용기(11)에 공급한다.

압력완화도관(21)은 용기 내의 부피와 유체적으로 통하게 그리고 연마재가 없는 유체와 흐름접촉하게 제공된다. 도 1의 구성에서, 흐름접촉은 상기 송출도관(14)의 부분을 통해 제공된다. 유체밸브(13)는 압력제어도관(21)을 가로지르는 유체의 흐름을 제어한다.

시스템의 정상작동 시 펌프시스템은 압축유체를 용기로 송출하고 이는 연마슬러리(2)가 슬러리흡입송출도관(16)의 입구개구(30)를 통해 노즐(12)로 이동되게 한다. 입구개구는 L 아래쪽에 바람직하게는 용기(11)의 바닥 근처에 위치된다.

압력완화도관(21)은 연마재를 함유한 용기의 부피의 흐름을 그대로 통과시키는 바이패스도관이라 할 수 있다. 바이패스의 제어는 도관(21)을 닫을 수 있는 유체흐름제어밸브에 의해 달성되었다.

도 1의 구성에서, 도관(14)은 연마재(2)가 존재하지 않는 용기(11) 상단에 연결된다. 감압 하에서(예컨대 유체원(10)이 고장일 때 또는 그것이 꺼져 있을 때) 도관(21)을 용기 외부의 송출도관에 연결하는 유체밸브(13)는 개방된다. 용기(11) 내의 내용물의 부피는 압축된 채 남아있으나 팽창하려고 할 것이다. 2개의 개구들 이 이용될 수 있으나 이러한 팽창은 송출도관(16)의 개구(30)를 통하는 것보다 도관(21)을 통해 방출되기 쉬울 것이다. 이것은 도관(16)의 개구(30)를 통해 흐르는 슬러리의 변위에 의한 부피의 팽창, 개구(30)의 내부직경, 길이 때문이고 주로 슬러리베드(2)의 밀도 및 점도가 높은 흐름저항을 이끌기 때문이다.

시스템의 시동 및 가압 하에, 유체밸브(13)는 초기에 개방될 것이다. 유체는 유체원(10)으로부터 도관(14)을 통해 용기(11)로 흐를 것이다. 유체밸브(13)의 개방으로, 흐르는 유체의 일부는 도관(21)에 들어갈 것이다. 용기의 가압도 일어날 것이지만 이는 부분적인 역류(flow diversion) 때문에 감소된다. 압력완화도관이 제2개구(30)의 슬러리흡입송출도관(16)의 상류(와 바람직하게는 상기 용기의 외부)에 연결된 바람직한 형태에서, 개구(30)를 통해 위로 흐르는 슬러리의 저항과 유체의 도관(21)을 통한 슬러리흡입송출도관(16) 속으로의 흐름은 슬러리흡입송출도관의 그 부분에 개구(30) 쪽으로의 역압(back pressure)을 생성하여, 노즐로 이동하는 슬러리가 없게 된다. 밸브(13)를 닫으면, 슬러리압력용기(11) 속으로의 충분한 질량유량이 존재하여 연마재가 도관(16)의 입구개구(30) 속으로 변위되게 한다.

밸브(13)가 닫히면, 유체원(10)으로부터 흐르는 유체는 도관(14)을 통해 용기(11)에 들어가고 따라서 연마슬러리가 흡입송출도관(16)의 입구개구(30) 속으로 변위되게 하고 흡입송출도관(16) 내에서 유체는 도관(15)으로부터의 주된 흐름과 혼합되어 흡입송출도관(16)을 통해 노즐(12)로 운반된다.

연마재흐름은 밸브(13)를 개방함으로써 언제라도 중단될 수 있다. 감압 시에, 유체밸브(13)는 개방되어 압축유체에 대해 도관(21)을 통해 바람직한 대체경로를 제공한다. 용기 내의 내용물의 팽창으로 이러한 팽창은 완화도관(21)을 경유한다. 도관(14)이 용기 내에서 레벨 L 위쪽에 자신의 개구를 가지고, 이는 연마슬러리가 유체밸브(13)에 도달할 수 있게 하고 그래서 깨끗한 물에 대해 최소의 압력차이로 정상적으로 작동하게 하여 서비스수명이 그렇지 않은 경우보다 더 길게 된다. 더구나 도관(21)의 내부직경은 탈출하는 유체의 속도가 사용된 연마슬러리(2)의 침전속도 미만이 되게 하는 것을 보장하도록 충분히 크게되어야 한다. 이런 식으로 용기 내의 레벨 "L" 위쪽의 임의의 연마입자들은 도관(14)을 따라 들어가거나 이동하지 않게 되고 유체밸브(13)를 통해 도관(21)에 들어간다.

도 2는 별도의 완화도관(21)이 제공된 발명의 제2실시예를 도시한다. 도 1에 보인 제1실시예와는 달리, 도관(21)은 도관(15)에 연결되지 않고, 순전히 용기(11) 내의 압축부피를 위한 탈출경로로서만 소용된다. 제2유체밸브(23)는 항상 깨끗한 유체에 대해 작동하고 유체밸브(13)는 덜 빈번하게, 즉 가압단계 및 감압단계에서만 작동한다. 그 결과, 밸브(13)의 마모는 감소된다. 제2유체밸브(23)를 마련하는 것은 바람직하나 필수적인 것은 아니다.

유체원(10)에 압력을 가하는 펌프가 고장날 때에 역류가 요구되는 상황에서 도관(14) 내 또는 펌프 내에서의 압력의 손실은 압력감지기에 의해 감지되어 도관(21)을 통해 용기 내에 압력완화를 제공하기 위해 밸브(13)가 자동적으로 개방된다. 연마슬러리의 흐름은 중단되는 것이 요망되고 유체원(10)에 압력을 가하는 펌프는 계속 작동하는 상황에서, 밸브(13)는 개방되기만 것이고 유체는 도관(14와 15, 이것이 개별적으로 닫히지 않는다면)을 통해 용기(11) 속으로 계속 흐르게 될 것이나, 용기 내의 가압된 재료의 최소저항의 경로가 도관(21)을 통과하기 때문에, 물은 들어가고 L 위만 나가게 되어, 물만이 도관(21)을 통해 노즐(12) 쪽으로 배출될 것이다. 이 흐름은 유체원(10)에서 가압하는 펌프가 계속 작동하는 한 계속될 것이고, 압축유체의 압력평형에는 도달되지 않고 밸브(13)는 개방된 채로 유지된다.

다이어프램펌프(18)가 도관(20)으로부터 유체(4)를 끌어내는데 사용되어, 용기(11) 내에 압력이 내려가고 이는 호퍼(17)로부터 용기(11)로 연마슬러리(2)가 도입되게 한다. 도 2의 바람직한 실시예에서, 유체밸브(13)와 제2유체밸브(23)가 닫히면, 다이어프램펌프(18)는 용기로부터 도관(20)을 통해 유체를 빼는데 사용되어 진공을 만들어 호퍼(17)로부터 도관(19)을 통해 연마슬러리(2)가 도입되게 한다.

이 시스템이 시스템의 가압상태 및 감압상태에서 연마재들의 노즐로의 원치 않는 방출을 이끄는 유체의 압축성 문제들을 피하게 한다는 것이 이해될 것이다. 용기 내로부터 압축유체부피의 팽창에 대해 적은 저항의 대체 경로를 제공함으로써 노즐로 운반되는 연마재가 없고 그래서 본 발명은 노즐막힘을 방지하게 된다.

도 3을 참조하면, 송출도관이 슬러리 내에 잠긴 제1개구를 가지도록 위치된 대체 구성이 보여진다. 이 구성에서는 압력완화도관에 의해 제공된 별개의 개구가 L 위쪽에 위치되는 것이 요구된다. 제2개구(30) 근처에 제1개구(24)를 마련함으로써 슬러리를 형성하는 연마재와 물과의 혼합이 제2개구 근처에서 더 잘 달성된다.

다른 대체 실시예는 도 4에서 보여지고 이 도면에서 압력완화도관은 흡입송 출도관 쪽이 아니라 다른 위치로 배출한다. 이것은 도관(21) 내의 유체로부터의 압력이 흡입송출도관(16) 내의 유체에 역압을 제공하는데 사용될 수 없고 그래서 얼마간의 슬러리가 (용기의 내용물의 부피 팽창 중에) 개구를 통해 흡입송출도관 속으로 이동할 것이다.

여기서 설명된 본 발명은 명기적으로 설명된 것들 이외의 것들로 개조, 변형 및/또는 부가되게 쉬울 것이고, 본 발명이 위의 설명의 정신 및 범위 내에 드는 모든 이러한 개조, 변형 및/또는 부가를 포함할 것임이 이해될 것이다.

Claims

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연마슬러리의 송출을 위한 유체공급시스템에 있어서,

연마슬러리(2)를 하층에 그리고 실질적으로 연마재가 없는 유체(4)를 상층에 담고 있는 용기(11);

용기에 연결된 제1끝부분과 고압유체원에의 연결을 위한 제2끝부분을 가지며 고압유체를 용기에 송출하기 위한 가압공급도관(14);

용기의 하층에 위치된 슬러리흡입단(30) 및 연마재배출구(12)에 연결된 송출단을 가지며 용기로 송출되는 고압유체에 의한 변위 하에 슬러리의 배출구로의 송출을 위한 슬러리흡입송출도관(16);

용기의 상층에 연결된 제1끝부분 및 압력완화출구에 연결된 제2끝부분을 가지며, 압력완화도관을 통한 유체흐름을 제어하기 위한 밸브(13)도 가지는 압력완화도관(21); 및

가압공급도관(14)에 연결된 제1끝부분 및 슬러리흡입송출도관에 연결된 제2끝부분을 가지는 제2의 공급도관(15)을 포함하며,

제2의 공급도관(15)의 제2끝부분은 슬러리흡입단(30) 근처에서 슬러리흡입송출도관에 연결된 유체공급시스템.
제19항에 있어서, 압력완화도관의 제2끝부분은 슬러리흡입송출도관(16)에 연결되고, 압력완화출구는 연마재배출구(12)에 의해 제공되는 유체공급시스템.
제19항 또는 제20항에 있어서, 가압공급도관(14)의 제1끝부분은 용기의 상층에 위치된 유체공급시스템.
제20항에 있어서, 가압공급도관(14)의 제1끝부분은 용기의 하층에 연결되는 유체공급시스템.
제21항에 있어서, 압력완화도관(21)의 제1끝부분은 가압공급도관(14)에 연결되어, 가압공급도관의 제1끝부분을 통해 용기의 상층에 연결되는 유체공급시스템.
제21항에 있어서, 압력완화도관(21)의 제1끝부분은 용기의 상층에 집적 연결되는 유체공급시스템.
제24항에 있어서, 가압공급도관(14)은 흐름제어밸브(23)를 구비한 유체공급시스템.
연마슬러리를 송출하는 방법에 있어서,

고압유체를, 연마슬러리(2)를 하층에 그리고 실질적으로 연마재 없는 유체(4)를 상층에 담고 있는 용기(11)에 공급하는 단계;

용기(11)의 하층에 위치된 슬러리흡입단(30) 근처에서 슬러리흡입송출도관(16)에 연결된 고압유체를 슬러리흡입송출도관(16)에 송출하는 단계;

공급되는 고압유체에 의해, 슬러리흡입송출도관(16)을 통해 슬러리(2)를 변위시키는 단계;

슬러리흡입송출도관(16)을 통해 변위된 슬러리를 슬러리흡입단(30) 근처에서 연결된 슬러리흡입송출도관(16)으로 송출되는 유체로써 희석시키는 단계;

변위되고 희석된 슬러리를 연마재배출구(12)로 배출하는 단계; 및

용기(11)에 연결된 압력완화도관(21)의 밸브(13)를 개방 및 폐쇄하여 용기 내의 압력을 각각 완화 및 복원함으로써 슬러리(2)의 변위 및 배출을 중단 및 개시하는 단계를 포함하는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제26항에 있어서, 용기(11) 내의 압력은 슬러리흡입송출도관(16) 및 배출구(12)를 통해 완화되는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제26항에 있어서, 용기(11)에 공급되는 고압유체는 용기의 상층에 도입되는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제27항에 있어서, 용기(11)에 공급되는 고압유체는 용기의 하층에 도입되는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제28항에 있어서, 압력완화는 고압유체를 용기(11)에 공급하는 도관(14)을 통해 행해지는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제28항에 있어서, 압력완화는 용기(11)의 상층에 직접 연결되는 도관(21)을 통해 행해지는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제28항 내지 제31항 중 어느 한 항에 있어서, 고압유체를 용기에 초기 공급하고 고압유체를 슬러리흡입송출도관(16)에 송출함으로써, 밸브(13)는 개방되어 압력완화도관(21)을 통해 흐르는 유체가 시스템을 압축할 수 있게 하고 그 후 밸브(13)는 폐쇄되어 연마재배출구(12)로 슬러리를 변위 및 배출하는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제22항에 있어서, 압력완화도관(21)의 제1끝부분은 용기의 상층에 집적 연결되는 유체공급시스템.
제27항에 있어서, 용기(11)에 공급되는 고압유체는 용기의 상층에 도입되는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제29항에 있어서, 압력완화는 용기(11)의 상층에 직접 연결되는 도관(21)을 통해 행해지는 연마슬러리를 송출하는 방법.
제34항 또는 제35항에 있어서, 고압유체를 용기에 초기 공급하고 고압유체를 슬러리흡입송출도관(16)에 송출함으로써, 밸브(13)는 개방되어 압력완화도관(21)을 통해 흐르는 유체가 시스템을 압축할 수 있게 하고 그 후 밸브(13)는 폐쇄되어 연마재배출구(12)로 슬러리를 변위 및 배출하는 연마슬러리를 송출하는 방법.