KR100562979B1 - Method and appratus for programming a repair address - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 리페어 어드레스 프로그램 방법은 리페어할 어드레스를 지정하기 위해 리페어할 어드레스에 해당되는 데이터를 제 1 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하는 단계; 리페어할 어드레스에 해당되는 데이터가 정상적으로 프로그램되었는지를 확인하는 단계; 상기 단계의 확인 결과 정상적으로 프로그램된 경우 제 1 입력신호를 제 2 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하는 단계; 제 2 입력신호와 상기 제 2 안티퓨즈의 프로그램 상태에 따라 상기 제 1 안티퓨즈가 재 프로그램되는 것을 차단하는 단계를 포함하여 이루어 진다.The repair address program method according to the present invention includes: programming data corresponding to an address to be repaired using a first antifuse to designate an address to be repaired; Checking whether data corresponding to the address to be repaired is normally programmed; Programming the first input signal using the second antifuse if the program is normally programmed as a result of the checking of the step; And blocking the reprogramming of the first antifuse according to a program state of the second input signal and the second antifuse.

리페어, 안티퓨즈Repair, antifuse

Description

리페어 어드레스 프로그램 방법 및 장치{Method and appratus for programming a repair address}Repair address program method and apparatus {Method and appratus for programming a repair address}

도 1 은 종래의 리페어 어드레스 프로그램 회로도.1 is a conventional repair address program circuit diagram.

도 2 는 본 발명에 따른 리페어 어드레스 프로그램 장치.2 is a repair address program apparatus according to the present invention;

도 3은 도 2 에 도시된 리페어 확인 블록의 상세 회로도.3 is a detailed circuit diagram of the repair confirmation block shown in FIG. 2;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

A1, A2...AN : 제 1, 제 2...제 N 리페어 어드레스 프로그램 블록A1, A2 ... AN: 1st, 2nd ... Nth repair address program block

50: 리페어 확인 블록 60: 조합회로50: repair confirmation block 60: combination circuit

본 발명은 리페어 어드레스 프로그램 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 리페어 어드레스의 프로그램 결과에 따라 사용자에 의해 리페어 어드레스가 재 프로그램되는 것을 방지할 수 있도록 한 리페어 어드레스 프로그램 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a repair address program method and apparatus, and more particularly, to a repair address program method and apparatus for preventing a repair address from being reprogrammed by a user according to a program result of the repair address.

반도체 집적회로는 기술 발전에 따라 주어진 실리콘 영역에 더 많은 회로 소 자를 포함하게 되었다. 이러한 회로 소자의 결함을 감소 또는 제거하려면 더 많은 회로 소자를 필요로 한다. 다이 이용율을 최대화하여 더 높은 집적도를 달성하기 위해 회로 디자이너는 개별회로 소자의 사이즈를 줄이려 애쓰고 있다. 이러한 사이즈의 감소는 이러한 회로 소자가 제조 공정 동안 불순물에 기인한 결함에 점점 더 영향을 받게 한다. 이러한 결함은 집적회로 제조의 완료시 테스팅 절차에 의해 확인 가능하거나, 반도체 칩 레벨 또는 패키지 완료후 확인 가능해야 한다. 결함이 확인 되었을 때, 특히 회로 소자의 소수가 실제적으로 결함이 있을 때 결함이 있는 집적회로들을 버리는 것은 경제적으로 바람직하지 않다.As semiconductor integrated circuits develop, more circuit elements are included in a given silicon region. Reducing or eliminating defects in these circuit elements requires more circuit elements. To maximize die utilization and achieve higher densities, circuit designers are struggling to reduce the size of individual circuit elements. This reduction in size makes these circuit elements increasingly affected by defects due to impurities during the manufacturing process. Such defects should be identifiable by testing procedures upon completion of integrated circuit fabrication, or by semiconductor chip level or package completion. It is economically undesirable to discard defective integrated circuits when a defect is identified, especially when a small number of circuit elements are actually defective.

집적회로의 제조에 있어 제로 디펙트(Zero defects)를 기대하는 것은 비현실적이다. 따라서, 버려지는 집적회로의 수를 감소시키기 위해 집적회로에 리던던트 회로가 제공된다. 제 1 의 소자가 결함으로 결정되면, 리던던트 회로 소자가 결함 이 있는 회로소자를 대신하게 된다. 버려지는 소자의 실제 감소는 집적회로 소자 가격의 실제적 증가없이 리던던트 회로소자를 사용하여 달성된다. Expecting zero defects in the fabrication of integrated circuits is impractical. Thus, redundant circuits are provided in the integrated circuit to reduce the number of integrated circuits discarded. If the first device is determined to be defective, then the redundant circuitry replaces the defective circuitry. The actual reduction in discarded devices is achieved using redundant circuitry without a substantial increase in the cost of integrated circuit devices.

리던던트 회로소자를 사용하는 집적회로 중의 하나는 가령 DRAM, SRAM, VRAM 및 EPROM과 같은 집적 메모리 회로이다. 전형적인 집적 메모리 회로는 어드레스 가능한 행 및 열의 어레이에 배열된 다수의 메모리를 포함한다. 행 및 열상의 메모리는 집적 메모리 회로의 제 1 회로 소자이다. 리던던트 회로 소자를 제공하므로써 결함이 있는 제 1 의 열 , 행 또는 개별적 비트가 대체될 수 있다.One integrated circuit that uses redundant circuitry is, for example, integrated memory circuits such as DRAM, SRAM, VRAM, and EPROM. Typical integrated memory circuits include a plurality of memories arranged in an array of addressable rows and columns. The memory in rows and columns is the first circuit element of the integrated memory circuit. By providing redundant circuitry, the defective first column, row, or individual bit can be replaced.

개별적 집적 메모리 회로의 제 1의 회로 소자는 별도로 어드레스 할 수 있으므로, 결함 소자를 대체하려면 퓨즈 브로잉(Blowing) 또는 결함있는 제 1 회로 소 자의 어드레스에 따라 리던던트 회로를 프로그램하기 위한 퓨즈제어 프로그램 가능회로의 안티퓨즈를 필요로 한다. 이러한 과정은 결함 소자를 영구히 대체하는데 매우 효과적이다. Since the first circuit elements of the individual integrated memory circuits can be addressed separately, the fuse control programmable circuit for programming the redundant circuits according to the fuse blowing or the address of the defective first circuit element to replace the defective elements. Requires antifuse. This process is very effective for permanently replacing defective devices.

예를들어 DRAM의 경우 특별한 메모리 셀이 위치된 행 및 열 어드레스를 제공하므로써 특별한 메모리 셀이 선택된다. 리던던시 회로는 유효한 제 1의 메모리 회로 소자를 인식하여야 하며 결함있는 제 1의 회로소자에 대한 어드레스가 사용자에 의해 제공되었을 때 모든 신호가 리던던트 회로소자로 변경되도록 하여야 한다. 따라서, 다수의 퓨즈 또는 안티퓨즈는 각 리던던트 회로 소자와 연관된다. 각 리던던트 회로소자에 대응하는 단선(Blown) 또는 단락(Unblown) 퓨즈의 가능한 조합(Combination)은 대응 리던던트 소자가 대신 할 모든 제 1의 소자의 단일 어드레스를 나타낸다. For example, in the case of DRAM, a particular memory cell is selected by providing the row and column address where the particular memory cell is located. The redundancy circuit must recognize a valid first memory circuit element and cause all signals to be changed to the redundant circuit element when an address for the defective first circuit element is provided by the user. Thus, multiple fuses or antifuses are associated with each redundant circuit element. A possible combination of blown or unblown fuses corresponding to each redundant circuit element represents a single address of all the first devices that the corresponding redundant element will replace.

상기 안티퓨즈는 전극/절연물/전극의 구조에서 절연파괴를 이용하여 두 전극을 연결시키는 스위치 역할을 하는 소자이다. 이러한 절연물의 절연파괴 전압을 안티퓨즈의 프로그램 전압(PGM)이라 하는데 프로그램을 통해서 두 전극이 단락상태가 된다. The anti-fuse is a device that serves as a switch that connects two electrodes by using breakdown in the structure of the electrode / insulator / electrode. The dielectric breakdown voltage of this insulator is called the anti-fuse program voltage (PGM), and the two electrodes are short-circuited through the program.

이러한 안티퓨즈 소자를 이용하여 리페어 어드레스를 프로그램하는 회로가 도 1에 도시되었다. 도 1은 웨이퍼 상태에서는 폴리나 메탈로 이루어진 퓨즈를 레이저 커팅하여 리페어가 가능하지만 패키지 상태에서 발생되는 결함을 리페어할 수 없는 단점을 보완코자 개발된 종래의 회로이다. 도 1은 패키지 상태에서도 재 테스트를 실시하여 불량인 메모리 셀이 발생하였을 경우 불량 셀의 어드레스를 파악하 고 차후 결함 어드레스에 관련된 입력이 들어올 경우 항상 리던던시 셀로 대처하도록 프로그램 어드레스를 지정해 주는 방식이다. 리페어 하고자 하는 어드레스(address)가 하이 상태이고, 입력(anti_repair)이 하이 상태이면 제 1 노드(N1)의 로우 전위에 의해 PMOS 트랜지스터(S1)가 턴온되어 PMOS트랜지스터로부터 Vss_anti 단자로 전류패스가 생기게 된다. 이 전류 패스에 의해 안티퓨즈(10)에 스트레스가 가해져 안티퓨즈(10)가 절연파괴된다. 그러므로 제 2 노드(N2)는 로우 레벨이 되어 출력(anti_address)은 하이 레벨로 된다. 이와는 반대로 리페어 하고자 하는 어드레스(address)가 로우 레벨일 때는 입력(anti_repair)에 관계없이 낸드 게이트(1)의 출력인 제 1 노드(N1)가 하이 전위를 갖게되므로 PMOS트랜지스터(s1)는 턴오프 된다. 따라서 출력(anti_address)은 로우 상태가 된다. 이러한 출력의 조합으로 결함있는 어드레스를 알수 있도록 프로그램하므로써 결함 있는 어드레스가 다른 어떤 요인에 의해 사용 될 경우 리던던시 셀이 선택된다.A circuit for programming a repair address using such an antifuse device is shown in FIG. Figure 1 is a conventional circuit developed to compensate for the disadvantage that can be repaired by laser cutting a fuse made of poly or metal in the wafer state, but can not repair defects generated in the package state. 1 is a method of re-testing even in a packaged state to identify a bad cell address when a bad memory cell is generated, and to designate a program address to always deal with a redundancy cell when an input related to a defective address comes in later. If the address to be repaired is high and the input anti_repair is high, the PMOS transistor S1 is turned on by the low potential of the first node N1 to generate a current path from the PMOS transistor to the Vss_anti terminal. . The stress is applied to the antifuse 10 by this current path, and the antifuse 10 is destroyed. Therefore, the second node N2 becomes low level and the output anti_address becomes high level. On the contrary, when the address to be repaired is at the low level, the PMOS transistor s1 is turned off because the first node N1, which is the output of the NAND gate 1, has a high potential regardless of the input (anti_repair). . Therefore, the output (anti_address) goes low. The combination of these outputs allows you to program faulty addresses so that redundancy cells are selected if the faulty address is used by some other factor.

이러한 기존의 안티퓨즈 방식은 일단 리페어된 어드레스의 경우는 문제가 발생되지 않지만 생산자 이외의 사용자에 의해 정상적인 어드레스를 결함 있는 어드레스로 오인하여 리페어 프로그램을 할 수 있는 단점이 있다. 또한 일단 리페어 하도록 프로그램이 끝난 안티퓨즈가 정상적으로 프로그램되었는지를 확인할 수 없는 단점이 있다.Such a conventional antifuse method does not cause a problem in the case of a repaired address, but has a disadvantage in that a repair program can be performed by mistaken by a normal address as a defective address by a user other than the producer. In addition, there is a drawback that you cannot check whether the anti-fuse program has been programmed normally to repair.

따라서 본 발명은 안티퓨즈를 프로그램 한 후 이 안티퓨즈 소자가 정상적으로 프로그램되었는지를 확인할 수 있는 리페어 어드레스 프로그램 방법 및 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a repair address program method and apparatus for checking whether the antifuse device is normally programmed after programming the antifuse.

본 발명의 다른 목적은 생산자에 의해 완벽하게 리페어가 완료된 후 사용자에 의해 리페어가 완료된 어드레스를 재 프로그램할 수 없게 하는 리페어 어드레스 프로그램 방법 및 장치를 제공하는데 있다.It is another object of the present invention to provide a repair address program method and apparatus that prevents a user from reprogramming a repair completed address after the repair is completed by the producer.

상술한 목적을 달성하기 위한 리페어 어드레스 프로그램 방법은 리페어할 어드레스를 지정하기 위해 리페어할 어드레스에 해당되는 데이터를 제 1 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하는 단계;In order to achieve the above object, a repair address program method includes: programming data corresponding to an address to be repaired using a first antifuse to designate an address to be repaired;

리페어할 어드레스에 해당되는 데이터가 정상적으로 프로그램되었는 지를 확인하는 단계;Checking whether data corresponding to the address to be repaired is normally programmed;

상기 단계의 확인 결과 정상적으로 프로그램된 경우 제 1 입력신호를 제 2 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하는 단계;Programming the first input signal using the second antifuse if the program is normally programmed as a result of the checking of the step;

제 2 입력신호와 상기 제 2 안티퓨즈의 프로그램 상태에 따라 상기 제 1 안티퓨즈가 재프로그램되는 것을 차단하는 단계를 포함하여 이루어 지는 것을 특징으로 한다.And blocking the reprogramming of the first antifuse according to a program state of the second input signal and the second antifuse.

상술한 목적을 달성하기 위한 리페어 어드레스 프로그램 리페어할 어드레스를 지정하기 위해 리페어할 어드레스에 해당되는 데이터를 제 1 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하기 위한 수단;A repair address program for achieving the above object means for programming data corresponding to an address to be repaired using a first antifuse to specify an address to be repaired;

상기 리페어할 어드레스가 정상적으로 프로그램된 경우 제 1 입력신호를 제 2 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하기 위한 리페어 확인 블록;A repair confirmation block for programming a first input signal using a second antifuse when the address to be repaired is normally programmed;

상기 리페어 확인 블록의 출력 신호와 제 2 입력신호에 따라 상기 제 1 안티 퓨즈의 재 프로그램을 차단하기 위한 신호를 생성하기 위한 조합회로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.And a combination circuit for generating a signal for interrupting reprogramming of the first antifuse according to the output signal and the second input signal of the repair confirmation block.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 리페어 확인 및 차단 기능을 갖는 리페어 어드레스 프로그램 장치의 블록도이다.2 is a block diagram of a repair address program device having a repair confirmation and blocking function according to the present invention.

제 1 내지 제 N 리페어 어드레스 프로그램 블록(A1 내지 AN)이 제공된다. 제 1 내지 제 N 리페어 어드레스 블록(A1 내지 AN)각각은 도 1의 구성을 갖는다. 또한 본 발명에 따른 리페어 확인 및 차단 기능을 갖는 리페어 어드레스 프로그램 장치는 리페어 확인 블록(50) 및 조합회로(60)를 포함하는데, 조합회로(60)는 직렬 연결된 노아 게이트와 인버터로 구성되며, 리페어 확인 블록(50)의 상세 구성은 도 3과 같다. 또한 리페어 확인 블록(50)의 출력(anti_program)은 조합회로(60)의 입력단자(anti_program)에 연결되며, 조합회로의 출력(anti_repair)은 각각의 리페어 어드레스 프로그램 블록(A1 내지 AN)에 연결된다.First to Nth repair address program blocks A1 to AN are provided. Each of the first to Nth repair address blocks A1 to AN has the configuration of FIG. 1. In addition, the repair address program apparatus having a repair confirmation and blocking function according to the present invention includes a repair confirmation block 50 and a combination circuit 60. The combination circuit 60 includes a Noah gate and an inverter connected in series, and repair. The detailed configuration of the confirmation block 50 is as shown in FIG. In addition, the output (anti_program) of the repair confirmation block 50 is connected to the input terminal (anti_program) of the combination circuit 60, the output (anti_repair) of the combination circuit is connected to each repair address program block (A1 to AN). .

도 2 의 동작을 도 1 및 도 3을 통해 상세히 설명하기로 한다.The operation of FIG. 2 will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 3.

초기 상태의 경우 각각의 리페어 어드레스 블록(A1 내지 AN)에 인가되는 어드레스(address)는 로우 상태이며, 조합회로(60)의 어드레스 입력 단자(address B)에는 어드레스가 입력되지 않으므로 조합회로(60)의 출력(anti_repair)은 로우 신호를 출력한다. 메모리 장치를 테스트 한 결과에 따라 결함있는 어드레스에 대한 프로그램을 실시하고자할 때 리페어 될 어드레스용 이외의 별개의 어드레스(address B)가 하이가 되어 조합회로(60)의 출력(anti_repair)이 하이 상태로 된다. 이 하이 신호가 각각의 리페어 어드레스 프로그램 블록(A1 내지 AN)에 입력된다. 각 리페어 어드레스 프로그램 블록(A1 내지 AN)의 어드레스 단자(address)에는 리페어 할 어드레스를 알리기 위해 이진수 체계(예를 들어 000...1)의 어드레스가 입력된다. 따라서 리페어 어드레스 프로그램 블록(1 내지 N)의 어드레스 입력 단자중 하이 신호가 입력되는 어드레스 프로그램 블록만 프로그램되는데 도 1에서 설명한 바와 같이 어드레스가 하이이면 낸드 게이트(1)의 출력인 제 1 노드(N1)는 로우 상태가 되며 그에 따라 PMOS트랜지스터(s1)가 턴온되어 안티퓨즈((10)가 절연 파괴되므로 제 2 노드(N2)와 Vss_anti단자 간에 전류패스가 생긴다. 이 전류 패스에 의해 제 2 노드(N2)는 로우 상태가 되므로 인버터의 출력(anti_address)은 하이 상태가 된다. In the initial state, an address applied to each of the repair address blocks A1 to AN is in a low state, and an address is not input to the address input terminal address B of the combination circuit 60. An output of anti_repair outputs a low signal. As a result of testing the memory device, when an attempt is made to program a defective address, a separate address (address B) other than the address to be repaired becomes high and the output (anti_repair) of the combination circuit 60 becomes high. do. This high signal is input to each repair address program block A1 to AN. In the address terminals of each repair address program block A1 to AN, an address of a binary system (for example, 000 ... 1) is input to indicate an address to be repaired. Therefore, only the address program block to which the high signal is input among the address input terminals of the repair address program blocks 1 to N is programmed. If the address is high as described in FIG. 1, the first node N1, which is the output of the NAND gate 1. Becomes low and accordingly, the PMOS transistor s1 is turned on and the anti-fuse 10 is insulated and destroyed, thereby creating a current path between the second node N2 and the Vss_anti terminal. ) Goes low, so the inverter's output (anti_address) goes high.

이와 달리 리페어 어드레스 프로그램 블록의 어드레스 입력단자(address)에 로우 신호가 입력되면 도 1에서 설명한 바와 같이 낸드 게이트(1)의 출력인 제 1 노드(N1)가 하이 상태가 되어 PMOS트랜지스터(s1)는 턴오프된다. 그러므로 제 2 노드(N2)가 턴온되어 인버터의 출력(anti_address)은 로우 상태가 된다. 이런 방식으로 리페어 어드레스를 프로그램한 후 리페어 하고자 하는 어드레스를 알리는 프로그램 모드를 빠져나와 재 테스트를 함으로써 리페어 어드레스가 정상적으로 프로그램되었는 지를 확인할 수 있다. On the contrary, when the low signal is input to the address input terminal of the repair address program block, the first node N1, which is the output of the NAND gate 1, becomes high as described with reference to FIG. 1, and the PMOS transistor s1 Is turned off. Therefore, the second node N2 is turned on so that the output of the inverter anti_address becomes low. After programming the repair address in this way, you can check whether the repair address has been correctly programmed by exiting the program mode informing the address to be repaired and retesting.

리페어 어드레스가 정상적으로 프로그램 되었다는 테스트 결과가 나오면 리페어 확인 블록(50)의 어드레스 입력단자(address A)에 하이 신호를 입력한다. 그 러면 도 2 를 통해 알 수 있는 바와 같이 제 10 노드(N10)가 로우 상태가 되므로 PMOS트랜지스터(s2)가 턴온된다. 그러므로 안티퓨즈(20)가 절연 파괴되어 제 20 노드(N20)와 Vss-anti단자 간에 전류 패스가 형성된다. 그 출력단자(anti_program)는 로우 상태를 유지한다. When a test result indicating that the repair address is normally programmed, a high signal is input to the address input terminal (address A) of the repair confirmation block 50. As shown in FIG. 2, the PMOS transistor s2 is turned on because the tenth node N10 is turned low. Therefore, the anti-fuse 20 is broken down to form a current path between the twentieth node N20 and the Vss-anti terminal. The output terminal anti_program remains low.

조합회로(60)의 어드레스 입력단자(address B)가 로우 상태이고 리페어 확인 블록(50)의 출력(anti_program)이 로우 상태이므로 조합회로(60)의 출력은 로우 상태가 된다. 그러므로 리페어 하고자 하는 어드레스를 다시 프로그램하려고 해도 도 1의 PMOS트랜지스터(s1)를 턴온시키지 못하므로 안티퓨즈(10)를 프로그램할 수 없게 된다. 따라서 사용자 등에 의해 리페어할 어드레스가 재 프로그램되는 것을 방지할 수 있다.Since the address input terminal address B of the combination circuit 60 is low and the output anti_program of the repair confirmation block 50 is low, the output of the combination circuit 60 is low. Therefore, even if an attempt to reprogram the address to be repaired does not turn on the PMOS transistor s1 of FIG. 1, the antifuse 10 cannot be programmed. Therefore, the address to be repaired by the user or the like can be prevented from being reprogrammed.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 기존 웨이퍼 상태에서만 레이저 커팅을 이용한 한정된 리페어 방식을 패키지 상태에서도 가능하게 할뿐 아니라 리페어시 확실하게 결함있는 어드레스를 지정하여 매치(Match)할 경우 결함있는 어드레스에 맞게 프로그램되었는지 재 확인할 수 있으므로 수율향상을 도모할 수 있고 또한 사용자에 의해 발생될 수 있는 재프로그램 진입시 리페어가 되지 않도록 패스(Path)를 차단하므로써 메모리 소자의 신뢰성을 더 높일 수 있다..
As described above, according to the present invention, not only the limited repair method using laser cutting in the existing wafer state is possible in the package state, but also when the match is made by specifying a defective address reliably at the time of repair, Since the program can be re-checked, the yield can be improved, and the reliability of the memory device can be further improved by blocking a path so that a repair is not performed when entering a reprogram that may be generated by a user.

Claims (6)

리페어할 어드레스를 지정하기 위해 리페어할 어드레스에 해당되는 데이터를 제 1 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하는 단계;Programming data corresponding to the address to be repaired using the first antifuse to specify an address to be repaired; 리페어할 어드레스에 해당되는 데이터가 정상적으로 프로그램되었는지를 확인하는 단계;Checking whether data corresponding to the address to be repaired is normally programmed; 상기 단계의 확인 결과 정상적으로 프로그램된 경우 제 1 입력신호를 제 2 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하는 단계;Programming the first input signal using the second antifuse if the program is normally programmed as a result of the checking of the step; 제 2 입력신호와 상기 제 2 안티퓨즈의 프로그램 상태에 따라 상기 제 1 안티퓨즈가 재프로그램되는 것을 차단하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 리페어 어드레스 프로그램 방법.And blocking the reprogramming of the first antifuse according to the second input signal and the program state of the second antifuse. 리페어할 어드레스를 지정하기 위해 리페어할 어드레스에 해당되는 데이터를 제 1 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하기 위한 수단;Means for programming data corresponding to the address to be repaired using the first antifuse to specify an address to repair; 상기 리페어할 어드레스가 정상적으로 프로그램된 경우 제 1 입력신호를 제 2 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하기 위한 리페어 확인 블록;A repair confirmation block for programming a first input signal using a second antifuse when the address to be repaired is normally programmed; 상기 리페어 확인 블록의 출력 신호와 제 2 입력신호에 따라 상기 제 1 안티퓨즈의 재프로그램을 차단하기 위한 신호를 생성하기 위한 조합회로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리페어 어드레스 프로그램 장치.And a combination circuit for generating a signal for blocking the reprogramming of the first antifuse according to the output signal and the second input signal of the repair confirmation block. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 조합회로는 상기 제 2 입력신호와 상기 리페어 확인 블록의 출력신호를 조합하기 위한 NOR 게이트와,The combination circuit includes a NOR gate for combining the second input signal and an output signal of the repair confirmation block; 상기 NOR게이트의 출력을 반전하기 위한 반전소자를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리페어 어드레스 프로그램 장치.And an inverting element for inverting the output of the NOR gate. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 리페어 확인 블록은 상기 제 1 입력 신호에 따라 전원 전압을 스위칭하기 위한 스위칭 소자와,The repair confirmation block may include a switching element for switching a power supply voltage according to the first input signal; 상기 스위칭 소자의 동작에 따라 공급되는 전원 전압에 의해 프로그램되는 안티퓨즈와,An antifuse programmed by a power supply voltage supplied according to an operation of the switching element; 상기 안티퓨즈의 프로그램 상태에 따라 논리 신호를 출력하는 출력 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리페어 어드레스 프로그램 장치.And an output means for outputting a logic signal according to the program state of the antifuse. 리페어할 어드레스를 지정하기 위해 리페어할 어드레스에 해당되는 데이터를 제 1 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하기 위한 수단;Means for programming data corresponding to the address to be repaired using the first antifuse to specify an address to repair; 상기 리페어할 어드레스가 정상적으로 프로그램된 경우 제 1 입력신호를 제 2 안티퓨즈를 이용하여 프로그램하며, 제 1 입력 신호에 따라 전원 전압을 스위칭하기 위한 스위칭 소자와, 상기 스위칭 소자의 동작에 따라 공급되는 전원 전압에 의해 프로그램되는 안티퓨즈와,상기 안티퓨즈의 프로그램 상태에 따라 논리 신호를 출력하는 출력 수단으로 구성되는 리페어 확인 블록;A switching element for programming a first input signal by using a second antifuse when the address to be repaired is normally programmed and switching a power supply voltage according to the first input signal, and a power supply supplied according to an operation of the switching element A repair confirmation block comprising an antifuse programmed by a voltage and an output means for outputting a logic signal according to a program state of the antifuse; 상기 리페어 확인 블록의 출력 신호와 제 2 입력신호에 따라 상기 제 1 안티퓨즈의 재프로그램을 차단하기 위한 신호를 생성하기 위한 조합회로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리페어 어드레스 프로그램 장치.And a combination circuit for generating a signal for blocking the reprogramming of the first antifuse according to the output signal and the second input signal of the repair confirmation block. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 조합회로는 상기 제 2 입력신호와 상기 리페어 확인 블록의 출력신호를 조합하기 위한 NOR 게이트와,The combination circuit includes a NOR gate for combining the second input signal and an output signal of the repair confirmation block; 상기 NOR게이트의 출력을 반전하기 위한 반전소자를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리페어 어드레스 프로그램 장치.And an inverting element for inverting the output of the NOR gate.
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