KR100649970B1 - Redundancy circuit - Google Patents

Redundancy circuit Download PDF

Info

Publication number
KR100649970B1
KR100649970B1 KR1020000086595A KR20000086595A KR100649970B1 KR 100649970 B1 KR100649970 B1 KR 100649970B1 KR 1020000086595 A KR1020000086595 A KR 1020000086595A KR 20000086595 A KR20000086595 A KR 20000086595A KR 100649970 B1 KR100649970 B1 KR 100649970B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fuse
address
precharge
redundancy circuit
potential
Prior art date
Application number
KR1020000086595A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20020058488A (en
Inventor
김영희
박종태
Original Assignee
주식회사 하이닉스반도체
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 하이닉스반도체 filed Critical 주식회사 하이닉스반도체
Priority to KR1020000086595A priority Critical patent/KR100649970B1/en
Publication of KR20020058488A publication Critical patent/KR20020058488A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100649970B1 publication Critical patent/KR100649970B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/70Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
    • G11C29/78Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
    • G11C29/785Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with redundancy programming schemes
    • G11C29/787Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with redundancy programming schemes using a fuse hierarchy
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C8/00Arrangements for selecting an address in a digital store
    • G11C8/06Address interface arrangements, e.g. address buffers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 메모리 장치에서 사용되는 대표적인 결함 구제 회로의 하나인 리던던시 회로에 관한 것으로, 특히 다수의 어드레스 입력수단과 외부로부터 인가되는 소정의 네거티브 전위 입력단 사이에 각각 연결된 다수의 안티 퓨즈로 구성된 퓨즈 박스를 구비하므로써, 고가의 레이저 장비 없이도 퓨즈 양단에 유기되는 전압차만으로 퓨즈 블로윙 여부를 제어할 수 있게 되어 리페어 동작시의 비용절감을 실현한 리던던시 회로에 관한 것이다.
The present invention relates to a redundancy circuit, which is one of the representative defect repair circuits used in a semiconductor memory device. In particular, a fuse box comprising a plurality of anti-fuses connected respectively between a plurality of address input means and a predetermined negative potential input terminal applied from the outside. The present invention relates to a redundancy circuit capable of controlling fuse blowout by only a voltage difference induced at both ends of a fuse without expensive laser equipment, thereby realizing cost reduction in a repair operation.

리던던시, 리페어, 안티 퓨즈. Redundancy, repair, antifuse.

Description

리던던시 회로{Redundancy circuit} Redundancy Circuit             

도 1은 기존에 사용된 레이저 퓨즈 커팅 방식의 리던던시 회로의 구성도,1 is a configuration diagram of a redundancy circuit of a conventional laser fuse cutting method;

도 2는 기존에 사용된 1비트 리페어용 안티 퓨즈 프로그래밍 방식의 리던던시 회로의 구성도,2 is a configuration diagram of a conventional anti-fuse programmable redundancy circuit for 1-bit repair,

도 3은 본 발명에 따른 안티 퓨즈 프로그래밍 방식의 리던던시 회로의 구성도,3 is a configuration diagram of an anti-fuse programming redundancy circuit according to the present invention;

도 4는 본 발명에서 사용되는 어드레스 신호의 극성 제어를 위한 로직 회로도.4 is a logic circuit diagram for polarity control of an address signal used in the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 레이저 퓨즈 20 : 커팅 선택부10: laser fuse 20: cutting selection

22 : 버퍼링부 24 : 딜레이22: buffering unit 24: delay

30 : 프리차지 수단 32 : 어드레스 입력수단30: precharge means 32: address input means

34 : 퓨즈박스 36 : 래치수단
34: fuse box 36: latch means

본 발명은 반도체 메모리 장치에서 사용되는 결함 구제 회로에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부 전압 인가로 인한 양단의 전압차에 의해 블로윙 여부를 제어하는 안티 퓨즈 프로그래밍 방식의 리던던시 회로에 관한 것이다.The present invention relates to a defect relief circuit used in a semiconductor memory device, and more particularly, to a redundancy circuit of an anti-fuse programming method for controlling whether or not to blow due to a voltage difference between both ends due to an external voltage application.

일반적으로, 디램 등의 메모리 소자에는 수많은 미세 셀들이 존재하는데, 이러한 셀들 중 1개라도 결함이 발생되면 해당 메모리 소자는 제 구실을 하지 못하게 되면서 불량품으로 처리된다. 하지만, 디램의 집적도가 점차 증가함에 따라 확률적으로 소량의 셀에만 결함이 발생할 확률이 높은데도 이를 포함한 전체 소자를 불량품으로 처리하여 폐기 처분하는 것은 제품의 수율(yield)을 낮추는 비효율적인 처리 방식이라고 할 수 있겠다. 따라서, 미리 디램 셀 내에 별도로 구비해 둔 여분의 셀을 이용하여 불량 셀을 대체시키므로써 양산률을 높이는 방법을 통상적으로 사용하고 있는데, 이때 사용되는 회로가 '리던던시 회로' 이다.In general, a large number of fine cells exist in a memory device such as a DRAM, and if any one of these cells is defective, the memory device becomes a defective product while failing to serve as a defect. However, as the integration of DRAMs increases, there is a high probability that defects will occur in only a small number of cells. However, disposing and disposing of the entire device as defective products is an inefficient treatment method that lowers the yield of products. I can do it. Therefore, a method of increasing the mass production rate by replacing a defective cell by using an extra cell provided in the DRAM cell in advance is commonly used, and the circuit used here is a redundancy circuit.

도 1은 기존에 사용된 레이저 퓨즈 커팅 방식의 리던던시 회로의 구성도를 도시한 것으로, 전원전압 인가단과 프리차지 노드(N1)의 사이에 연결되며 게이트단으로 프리차지 제어신호(pcg)가 인가되는 피모스 트랜지스터(MP0)와, 상기 프리차지 노드(N1)와 접지단 사이에 각각의 레이저 퓨즈(f0∼fn)를 매개로 상호 병렬 접속되며 각각의 게이트단으로 해당 어드레스 신호(A0∼An)가 입력되는 다수의 엔모스 트랜지스터(MN0∼MNn)와, 상기 프리차지 노드(N1)의 최후단부에 접속된 인버터(IV1)와, 상기 인버터(IV1)의 출력신호가 게이트단으로 피드백되며 전원전압 인가단과 상기 프리차지 노드(N1) 사이에 접속된 피모스 트랜지스터(MP1)를 구비하 여 구성한다.1 is a block diagram of a conventional redundancy circuit of a laser fuse cutting method, which is connected between a power supply voltage applying stage and a precharge node N1 and to which a precharge control signal pcg is applied to a gate terminal. The PMOS transistor MP0 and the precharge node N1 and the ground terminal are connected in parallel with each other via the respective laser fuses f0 to fn, and the corresponding address signals A0 to An are connected to the respective gate terminals. A plurality of input NMOS transistors MN0 to MNn, an inverter IV1 connected to the rearmost end of the precharge node N1, and an output signal of the inverter IV1 are fed back to a gate terminal to supply a power supply voltage. A PMOS transistor MP1 connected between the stage and the precharge node N1 is provided.

상기 구성을 갖는 리던던시 회로는 입력되는 어드레스 중 페일이 발생된 어드레스가 입력되는 해당 엔모스 트랜지스터에 연결된 레이저 퓨즈를 커팅시키므로써, 리페어 동작을 위한 프로그래밍을 하게 된다. 프로그래밍된 퓨즈박스는 프리차지 제어신호(pcg)에 의해 프리차지되어 지는데, 상기 프리차지 제어신호(pcg)는 액티브 동작모드시 '로직하이'로, 프리차지 동작모드시에는 '로직로우'로 인가되어, 액티브 어드레스가 입력되기 전 프리차지 노드(N1)의 전위를 항상 '로직하이'로 유지시켜 결과적으로 최종 출력신호(fuse_out)를 '로직로우'로 유지하게 된다.The redundancy circuit having the above configuration cuts the laser fuse connected to the corresponding NMOS transistor to which the failed address is input among the input addresses, thereby programming for the repair operation. The programmed fuse box is precharged by a precharge control signal (pcg). The precharge control signal (pcg) is applied as 'logic high' in an active operation mode and 'logic low' in a precharge operation mode. Therefore, the potential of the precharge node N1 is always maintained at 'logic high' before the active address is input, and as a result, the final output signal fuse_out is kept at 'logic low'.

이때, 액티브 노멀 어드레스가 입력되면, 접지로의 전류 경로가 형성되면서 상기 프리차지 노드(N1)의 전위를 '로직로우'로 전이시켜 상기한 최종 퓨즈박스 출력신호(fuse_out)는 '로직하이'로 바뀌지만, 액티브 페일 어드레스가 입력되는 경우에는 퓨즈 커팅에 의해 접지로의 전류 경로가 끊어지게 되면서, 상기한 프리차지 노드(N1) 및 출력 신호(fuse_out)의 전위는 프리차지 동작 모드에서의 전위를 그대로 유지시키게 된다. 이와 같은, 출력신호의 전위차에 의해 페일이 발생된 어드레스를 검출할 수 있게 되어, 이를 노멀 워드라인이 아닌 리던던시 워드라인을 인에이블시켜 대체하게 된다.At this time, when the active normal address is input, a current path to ground is formed, and the potential of the precharge node N1 is shifted to 'logic low' so that the final fuse box output signal fuse_out becomes 'logic high'. However, when the active fail address is input, the current path to the ground is cut off by fuse cutting, and the potentials of the precharge node N1 and the output signal fuse_out change the potential in the precharge operation mode. Will remain the same. As such, it is possible to detect an address in which a fail occurs due to the potential difference of the output signal, thereby enabling the redundant word line instead of the normal word line.

그런데, 상기 구성을 갖고 리페어 동작을 수행하는 리던던시 회로의 경우, 항상 페일이 발생된 어드레스를 검출할 수 있는 장비를 거쳐 테스트를 수행한 다음 레이져 장비로 칩의 옮겨 해당 어드레스의 퓨즈를 커팅해야 하는 사용상의 번거로움이 뒤따르는 문제점이 있다. However, in the case of a redundancy circuit having the above configuration and performing a repair operation, a test must be performed through a device capable of detecting an address where a fail has occurred and then moved to a laser device to cut a fuse at the corresponding address. There is a problem that comes with the hassle.                         

이러한 문제점을 보완하기 위해, 상기 레이저 퓨즈를 안티 퓨즈로 대체하는 방법이 사용중이며, 도 2에 기존에 사용된 1비트 리페어용 안티 퓨즈 프로그래밍 방식의 리던던시 회로의 구성도를 도시하였다.In order to compensate for this problem, a method of replacing the laser fuse with an anti-fuse is in use, and FIG. 2 illustrates a configuration diagram of an anti-fuse programmable redundancy circuit for 1-bit repair.

도면을 참조하면, 어드레스 신호와 안티 퓨즈 커팅 제어신호를 조합하여 퓨즈 커팅 여부를 선택하는 커팅 선택부(20)와, 상기 커팅 선택부(20)의 출력신호를 각각의 게이트단으로 인가받으며 전원전압 인가단과 접지단 사이에 프라차지 노드(N1)에 의해 상호 직렬 연결된 피모스 트랜지스터(MP0)와 엔모스 트랜지스터(MN0) 및, 전원전압 인가단과 상기 프리차지 노드(N1) 사이에 연결되어 파워-업 제어신호(pwr_up)가 게이트단으로 인가되는 피모스 트랜지스터(MP1)와, 상기 프리차지 노드(N1)에 항상 턴-온 상태의 피모스 트랜지스터(MP2)를 매개로 일측단이 접속되며 타측단으로는 내부 전압 발생기를 거쳐 발생된 소정의 네거티브(-) 전위를 갖는 전압(Vbb)이 인가되는 안티 퓨즈(anti-fuse: af1)와, 상기 프리차지 노드(N1)의 전위를 버퍼링하는 버퍼링부(22)와, 상기 버퍼링부(22)를 거쳐 발생된 신호를 일정시간 딜레이 시키는 딜레이부(24) 및, 상기 딜레이부(24)를 거쳐 발생된 신호를 게이트단으로 인가받으며 전워전압 인가단과 상기 피모스 트랜지스터(MP0)의 사이에 접속된 별도의 피모스 트랜지스(MP3)를 구비하여 구성한다.Referring to the drawing, a cutting selector 20 for selecting whether to cut a fuse by combining an address signal and an anti-fuse cutting control signal, and an output signal of the cutting selector 20 are applied to the respective gate terminals. PMOS transistor MP0 and NMOS transistor MN0 connected in series by a precharge node N1 between an applied terminal and a ground terminal, and a power-up connected between a power supply voltage applying terminal and the precharge node N1. One end is connected to the other end through the PMOS transistor MP1 to which the control signal pwr_up is applied to the gate terminal and the PMOS transistor MP2 which is always turned on to the precharge node N1. An anti-fuse af1 to which a voltage Vbb having a predetermined negative (-) potential generated through an internal voltage generator is applied, and a buffering unit for buffering the potential of the precharge node N1 ( 22) and the buffer A delay unit 24 for delaying a signal generated through the unit 22 for a predetermined time, and a signal generated through the delay unit 24 is applied to a gate terminal, and a voltage of the voltage applying stage and the PMOS transistor MP0 is applied. The other PMOS transistor MP3 connected between is comprised.

상기 구성을 갖는 리던던시 회로의 경우, 안티 퓨즈 하나당 퓨즈 블로윙 제어를 위한 별도의 로직 구성을 추가로 구비하고 있기 때문에, 안티 퓨즈 사용시 면적 부담으로 작용하게 되는 문제점이 있다. 또한, 상기한 구성은 패키지 후의 리 페어 동작을 전제로 하고 있기 때문에, 상기한 안티 퓨즈(af1) 블로윙을 위한 일측 전압이 되는 네거티브 전압(Vbb)을 외부에서 인가해 주지 못하고 내부의 전압 발생기를 통해 공급해 주게 되면서, 일단 파괴된 안티 퓨즈에 의해 전류경로가 형성되어 지면서 퓨즈 반대측의 포지티브(+) 전위가 네거티브 전압(Vbb) 인가노드로 우입되면서 전위를 끌어 올리게 된다. 이로 인해, 파괴로 인해 연결되어야 하는 다른 안티 퓨즈에 동작 초기와 같이 강한 네거티브 전압(Vbb)을 공급해 줄 수 없게 된다.In the case of the redundancy circuit having the above-described configuration, since a separate logic configuration for fuse blowing control is provided per anti-fuse, there is a problem in that it acts as an area burden when using the anti-fuse. In addition, since the above configuration is based on the pre-repair operation after the package, a negative voltage Vbb, which is one side voltage for the anti-fuse af1 blowing, cannot be applied from the outside, but the internal voltage generator is used. As it is supplied, the current path is formed by the anti-fuse that is broken once, and the positive (+) potential on the opposite side of the fuse enters the negative voltage (Vbb) applying node to raise the potential. As a result, it is impossible to supply a strong negative voltage Vbb to the other anti-fuse to be connected due to the breakdown as in the initial operation.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 퓨즈 파괴 이후, 각각의 안티 퓨즈에 대해 피드백 경로를 형성해 포지티브 전위 공급단과 네거티브 전위 공급단을 쇼트시키도록 제어하게 되는데, 이로 인해 설계상의 면적 부담이 더욱 증가되는 문제점이 있다.In order to solve this problem, after the fuse is broken, a feedback path is formed for each anti-fuse to control the short circuit between the positive potential supply terminal and the negative potential supply terminal, which increases the design area burden. .

따라서, 종래 기술에 따른 안티 퓨즈를 사용하는 리던던시 회로는 1비트 리페어를 위한 데이터 출력부쪽에 안티 퓨즈를 위치시키는 경우에는 별 문제가 발생하지 않지만, 로오(row) 또는 컬럼(column) 리던던시 회로에서 사용되는 퓨즈로는 적합하지 않은 등 사용상의 제한이 따르는 문제점이 있다.
Therefore, the redundancy circuit using the anti-fuse according to the prior art does not cause any problem when the anti-fuse is placed on the data output side for 1-bit repair, but it is used in the row or column redundancy circuit. There is a problem that there are restrictions on use, such as not suitable as a fuse.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 입력되는 어드레스 수에 해당하는 다수의 안티퓨즈를 퓨즈박스 형태로 구성하여 외부입력 전압에 의해 그 블로윙 여부를 제어하여 리페어동작을 수행하는 리던던시 회로를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to configure a plurality of anti-fuse corresponding to the number of input addresses in the form of a fuse box to perform a repair operation by controlling the blowing or not by an external input voltage. It is to provide a redundancy circuit.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 리던던시 회로는 프리차지 제어신호와 퓨즈 커팅 제어신호의 상태에 의해 프리차지 동작을 수행하는 프리차지 수단과,In order to achieve the above object, the redundancy circuit according to the present invention comprises a precharge means for performing a precharge operation by the state of the precharge control signal and the fuse cutting control signal;

프리차지 노드에 상호 병렬로 접속되어 각각의 해당 어드레스 신호를 입력받아 스위칭 제어되는 다수의 어드레스 입력수단과,A plurality of address input means connected in parallel to the precharge node and switched to receive the respective address signals;

상기 다수의 어드레스 입력수단과 외부로부터 인가되는 소정의 네거티브 전위 입력단 사이에 각각 연결된 다수의 안티 퓨즈로 구성된 퓨즈 박스와,A fuse box comprising a plurality of anti-fuses respectively connected between the plurality of address input means and a predetermined negative potential input terminal applied from the outside;

상기 프리차지 노드의 전위를 일정하게 래치시켜 전달하는 래치수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
And a latch means for constantly latching and transferring the potential of the precharge node.

상술한 목적 및 기타의 목적과 본 발명의 특징 및 이점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.The above and other objects and features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 본 발명에 따른 안티 퓨즈 프로그래밍 방식의 리던던시 회로의 구성도를 도시한 것으로, 프리차지 제어신호(pcg)와 퓨즈 커팅 제어신호(anti_cut)의 상태에 의해 프리차지 동작을 수행하는 프리차지 수단(30)과, 프리차지 노드(N1)에 상호 병렬로 접속되어 각각의 해당 어드레스 신호(A0∼An)를 입력받아 스위칭 제어되는 다수의 어드레스 입력수단(32)과, 상기 다수의 어드레스 입력수단(32)과 외부로부터 인가되는 소정의 네거티브 전위(Vbb) 입력단 사이에 각각 연결된 다수의 안티 퓨즈(af0∼afn)로 구성된 퓨즈 박스(34)와, 상기 프리차지 노드(N1)의 전위를 일정하게 래치시켜 전달하는 래치수단(36)을 구비하여 구성한다.3 is a block diagram of an anti-fuse programming redundancy circuit according to the present invention, and performs a precharge operation by the state of the precharge control signal pcg and the fuse cutting control signal anti_cut. A plurality of address input means 32 connected to the precharge means 30 and a precharge node N1 in parallel with each other, and receiving and controlling the respective address signals A0 to An, and the plurality of address input means 32. A fuse box 34 composed of a plurality of anti-fuses af0 to afn respectively connected between the address input means 32 and a predetermined negative potential Vbb input terminal applied from the outside, and the potential of the precharge node N1; It comprises a latch means 36 for latching and delivering constantly.

상기 프리차지 수단은 상기 두 제어신호(pcg, anti_cut)가 각각의 게이트단으로 인가된 채 전원전압 인가단과 상기 프라차지 노드(N1)의 사이에 상호 병렬 접속된 각각의 피모스 트랜지스터(MP0, MP1)로 구성한다. 또한, 상기 다수의 어드레스 입력단(32)은 각각의 게이트단으로 해당 어드레스 신호(A0∼An)가 인가되는 다수의 피모스 트랜지스터(MP2∼MPn+2)로 구현하게 되는데, 기존의 레이저 퓨즈 방식을 사용하는 리던던시 회로에서의 엔모스 트랜지스터를 대체한다. 이는 안티 퓨즈의 블로윙 방식이 기존의 레이저 퓨즈와는 반대 즉, 페일 발생된 어드레스 입력시 안티 퓨즈가 파괴되지 않고 그대로 유지되면서 양측의 전류 경로 형성을 방지하게 되는 방식이기 때문에, 턴-온 턴-오프 방식이 상반된 피모스 트랜지스터를 사용하여 구현하게 되는 것이다.The precharge means includes the PMOS transistors MP0 and MP1 connected in parallel between a power supply voltage applying stage and the precharge node N1 while the two control signals pcg and anti_cut are applied to the respective gate stages. ). In addition, the plurality of address input terminals 32 may be implemented with a plurality of PMOS transistors MP2 to MPn + 2 to which corresponding address signals A0 to An are applied to each gate terminal. Replaces the NMOS transistor in the redundancy circuit used. This is because the anti-fuse blowing method is opposite to the conventional laser fuse, i.e., the anti-fuse is not destroyed while inputting a failing address, thereby preventing the formation of current paths at both sides. Implemented using the opposite PMOS transistor.

한편, 상기 구성을 갖는 리던던시 회로에 의한 로오 및 컬럼 리페어 동작은 웨이퍼 레벨 상에서 수행되기 때문에, 상기 안티 퓨즈(af0∼afn)의 일측단으로 통해 인가되는 네거티브 전위(Vbb)는 외부에서 일정한 전위를 유지시키며 인가할 수 있게 된다.On the other hand, since the row and column repair operation by the redundancy circuit having the above configuration is performed at the wafer level, the negative potential Vbb applied through one end of the anti-fuses af0 to afn maintains a constant potential externally. Can be applied.

이하, 상기 구성을 갖는 본 발명에 따른 리던던시 회로의 리페어 동작을 도면을 참조하며 자세히 살펴보기로 한다. Hereinafter, a repair operation of a redundancy circuit according to the present invention having the above configuration will be described in detail with reference to the accompanying drawings.                     

우선, 상기한 퓨즈 커팅 제어신호(anti_cut)가 '로직로우'로 활성화되어 인가되면, 피모스 트랜지스터(MP1)가 턴-온되면서 프리차지 노드(N1)에 포지티브 전압이 인가된다. 이때, 페일이 발생된 셀의 액티브되지 않는 어드레스들이 '로직로우' 레벨을 유지하며 다수의 어드레스 입력수단(32)으로 입력되면, 해당 어드레스가 게이트단으로 인가되는 해당 피모스 트랜지스터가 턴-온되면서 연결된 안티 퓨즈의 일측단으로 포지티브 전압을 전달하게 된다. 이와 동시에, 외부의 전압 발생기를 거쳐 인가된 네거티브 전압(Vbb)이 상기 안티 퓨즈의 타측단으로 전달되어지면서, 양단에 강한 전류 경로가 형성된 안티 퓨즈는 파괴되어 양측단을 연결시키게 된다. 이때, 순간적으로 퓨즈들 간 파괴 타이밍이 조금씩 차이가 발생하게 되더라도, 퓨즈 양단에 걸리는 전압이 모두 외부로부터 인가되는 일정한 전압이기 때문에, 양단에 걸리는 전압차만 충분히 크다면 별 문제없이 모든 안티 퓨즈들을 동일하게 파괴시킬 수 있게 된다.First, when the fuse cutting control signal anti_cut is activated and applied as 'logic low', a positive voltage is applied to the precharge node N1 while the PMOS transistor MP1 is turned on. At this time, when the inactive addresses of the failing cell maintain the 'logic low' level and are input to the plurality of address input means 32, the corresponding PMOS transistor to which the address is applied to the gate terminal is turned on. The positive voltage is transmitted to one end of the connected anti-fuse. At the same time, the negative voltage Vbb applied through the external voltage generator is transferred to the other end of the antifuse, and the antifuse having a strong current path at both ends is destroyed to connect both ends. At this time, even if the breakdown timing between fuses is slightly different, the voltage across both fuses is a constant voltage applied from the outside. Therefore, if the voltage difference across both ends is large enough, all anti-fuses are the same without any problem. Can be destroyed.

이와 같이, 페일이 발생된 셀내 액티브되지 않는 어드레스들의 퓨즈 프로그래밍이 끝나게 되면서, 노멀 엑세스 동작을 수행하게 되면, 프리차지 제어신호(pcg)에 의해 상기 프리차지 노드(N1)의 전위는 '로직하이'를 유지하다가 노멀 셀의 어드레스가 입력되면 액티브 된 어드레스만이 '로직로우' 레벨로 인에이블되어 인가되면서 해당 피모스 트랜지스터를 턴-온시키게 된다. 이때, 턴-온된 피모스 트랜지스터에 연결된 안티 퓨즈는 이미 파괴되어 있는 상태이기 때문에, 상기 프리차지 노드(N1)의 전위를 '로직로우'로 전이시켜 결과적으로, 최종 출력신호(fuse_out)의 전위를 '로직하이'로 유지하게 된다. As such, when the fuse programming of the inactive addresses in the failed cell is completed and the normal access operation is performed, the potential of the precharge node N1 is 'logic high' by the precharge control signal pcg. If the address of the normal cell is input, only the active address is enabled and applied to the 'logic low' level, thereby turning on the corresponding PMOS transistor. At this time, since the anti-fuse connected to the turned-on PMOS transistor is already in a broken state, the potential of the precharge node N1 is transferred to 'logic low', and as a result, the potential of the final output signal fuse_out is changed. It will remain 'logic high'.                     

반면, 페일이 발생된 셀의 어드레스가 입력되면 '로직로우' 레벨로 액티브된 어드레스가 해당 피모스 트랜지스터를 턴-온시키게는 되지만, 이에 연결된 안티 퓨즈가 파괴되지 않아 연결이 끊어져 있는 상태이기 때문에, 상기 프리차지 노드(N1)의 전위는 그대로 '로직하이'를 유지하여 결과적으로 최종 출력 신호(fuse_out)의 전위 또한 그대로 '로직로우'를 유지하게 된다. On the other hand, when the address of the cell in which the fail occurred is input, the address activated at the logic low level turns on the PMOS transistor, but since the anti-fuse connected thereto is not broken, the connection is disconnected. The potential of the precharge node N1 remains 'logic high' as it is, and as a result, the potential of the final output signal fuse_out also remains 'logic low'.

이러한, 퓨즈박스 출력신호(fuse_out)의 전위차로 페일 발생 유무를 판단해, 페일 발생이 없는 정상 셀의 경우에는 노멀 워드라인 또는 컬럼라인을 인에이블시키게 되는 한편, 페일이 발생된 셀의 경우에는 리던던시 워드라인 또는 컬럼라인을 인에이블시켜 리페어 동작을 수행하도록 제어하게 되는 것이다.The failure of the fuse box output signal (fuse_out) is judged as to whether or not a fail is generated. In the case of a normal cell without fail, the normal word line or the column line is enabled, and in the case of a failed cell, redundancy is performed. The repair operation is performed by enabling the word line or the column line.

도 4는 본 발명에서 사용되는 어드레스 신호의 극성 제어를 위한 로직 회로도의 일 예를 도시한 것으로, 안티 퓨즈의 반대되는 동작 특성(페일 발생된 셀내 액티브 되지 않은 어드레스 입력단에 연결된 안티 퓨즈가 파괴되어 연결되는 동작 특성)으로 인해 어드레스 버퍼 및 디코더와의 극성 매치를 위해 요구된다. 따라서, 디코더나 어드레스 버퍼를 통한 어드레스 출력이 '로직하이'라는 가정할 경우, 퓨즈 파괴가 요구되는 동작모드에서는 액티브되지 않는 어드레스의 해당 트랜지스터를 턴-온시켜 이에 연결된 안티 퓨즈를 파괴하는 한편, 일반 엑세스 동작모드에서는 인버팅을 거쳐 액티브된 어드레스만이 해당 트랜지스터를 턴-온시키도록 제어할 수 있게 된다.4 is an example of a logic circuit diagram for controlling the polarity of an address signal used in the present invention, in which the anti-fuse opposing operation characteristic (anti-fuse connected to an inactive address input terminal in a failed cell is broken and connected Operating characteristics) are required for polarity matching with the address buffer and decoder. Therefore, assuming that the address output through the decoder or address buffer is 'logic high', in the operating mode where fuse destruction is required, the corresponding transistor of the address that is not active is turned on to destroy the anti-fuse connected thereto, In the access operation mode, only the address activated through inverting can be controlled to turn on the transistor.

그런데, 동 도면에 도시된 별도의 로직 구성없이도, 상기한 버퍼나 디코더의 출력을 '로직로우' 레벨로 만들고, 안티 퓨즈의 파괴동작을 로우 액티브된 어드레 스에 해당하는 트랜지스터에 연결된 것들만 수행되도록 제어할 수도 있겠다. 이 경우는, 안티 퓨즈 박스의 최종 출력신호(anti_out)가 초기에 노멀 상태에서 세팅된 후, 페일 발생된 셀의 어드레스 입력시에만 그 출력신호가 리페어 즉, 리던던시 워드라인 및 컬럼 라인을 인에이블시키도록 제어하게 된다.
However, without a separate logic configuration shown in the figure, the output of the buffer or decoder to the 'logic low' level, the anti-fuse breakdown control to perform only those connected to the transistor corresponding to the low active address is performed. You can do it. In this case, after the final output signal anti_out of the anti-fuse box is initially set in the normal state, only when the address of the failed cell is input, the output signal enables repair, that is, redundancy word lines and column lines. Will be controlled.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 리던던시 회로에 의하면, 기존의 레이저 퓨즈를 안티 퓨즈 박스로 대체하여 사용하므로써, 고가의 레이저 장비가 필요치 않게 되어 리페어 동작시의 비용절감을 실현할 수 있는 매우 뛰어난 효과가 있다.As described above, according to the redundancy circuit according to the present invention, by replacing an existing laser fuse with an anti-fuse box, no expensive laser equipment is required, and thus, an excellent effect of realizing cost reduction in repair operation can be realized. have.

아울러, 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 등은 이하의 특허청구의 범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.In addition, the preferred embodiments of the present invention are disclosed for the purpose of illustration, and those skilled in the art will be able to make various modifications, changes, additions, etc. within the spirit and scope of the present invention, such modifications, changes, etc. are within the scope of the claims It should be seen as belonging.

Claims (1)

프리차지 제어신호와 퓨즈 커팅 제어신호의 상태에 의해 프리차지 동작을 수행하는 프리차지 수단과,Precharge means for performing a precharge operation according to states of the precharge control signal and the fuse cutting control signal; 프리차지 노드에 상호 병렬로 접속되어 각각의 해당 어드레스 신호를 입력받아 스위칭 제어되는 다수의 어드레스 입력수단과,A plurality of address input means connected in parallel to the precharge node and switched to receive the respective address signals; 상기 다수의 어드레스 입력수단과 외부로부터 인가되는 소정의 네거티브 전위 입력단 사이에 각각 연결된 다수의 안티 퓨즈로 구성된 퓨즈 박스와,A fuse box comprising a plurality of anti-fuses respectively connected between the plurality of address input means and a predetermined negative potential input terminal applied from the outside; 상기 프리차지 노드의 전위를 일정하게 래치시켜 전달하는 래치수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 리던던시 회로.And a latch unit for latching and transferring the potential of the precharge node in a constant manner.
KR1020000086595A 2000-12-30 2000-12-30 Redundancy circuit KR100649970B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000086595A KR100649970B1 (en) 2000-12-30 2000-12-30 Redundancy circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000086595A KR100649970B1 (en) 2000-12-30 2000-12-30 Redundancy circuit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020058488A KR20020058488A (en) 2002-07-12
KR100649970B1 true KR100649970B1 (en) 2006-11-27

Family

ID=27689584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000086595A KR100649970B1 (en) 2000-12-30 2000-12-30 Redundancy circuit

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100649970B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100555574B1 (en) 2004-09-20 2006-03-03 삼성전자주식회사 Semiconductor memory device having fail address programming circuit and fail address programming circuit thereof
KR101041862B1 (en) * 2009-08-10 2011-06-15 주식회사 케이씨텍 Sealing device for rotating shaft with vertical displacement

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000050453A (en) * 1999-01-09 2000-08-05 김영환 Repair circuit of memory device used anti-fuse
JP2000268596A (en) * 1999-03-12 2000-09-29 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor memory
US6128240A (en) * 1997-08-22 2000-10-03 Micron Technology, Inc. Cancellation of redundant elements with a cancel bank
KR20000061896A (en) * 1999-03-31 2000-10-25 김영환 Repair circuit of memory device
KR20000062452A (en) * 1999-01-11 2000-10-25 김영환 Antifuse circuitry for post-package dram repair

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6128240A (en) * 1997-08-22 2000-10-03 Micron Technology, Inc. Cancellation of redundant elements with a cancel bank
KR20000050453A (en) * 1999-01-09 2000-08-05 김영환 Repair circuit of memory device used anti-fuse
KR20000062452A (en) * 1999-01-11 2000-10-25 김영환 Antifuse circuitry for post-package dram repair
JP2000268596A (en) * 1999-03-12 2000-09-29 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor memory
KR20000061896A (en) * 1999-03-31 2000-10-25 김영환 Repair circuit of memory device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20020058488A (en) 2002-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5387823A (en) Fuse-programmable redundancy control circuit
KR100504433B1 (en) Repair circuit of memory device used anti-fuse
US6108261A (en) Repair circuit for redundancy circuit with anti-fuse
US6741117B2 (en) Antifuse circuit
US7924646B2 (en) Fuse monitoring circuit for semiconductor memory device
GB2302748A (en) Semiconductor memory cell repair
US6711074B2 (en) Circuit and method for repairing column in semiconductor memory device
US6178125B1 (en) Semiconductor memory device preventing repeated use of spare memory cell and repairable by cell substitution up to two times
JP3673637B2 (en) Semiconductor memory device with redundant circuit
JP2004335070A (en) Semiconductor memory device superior in repair efficiency
KR20010008827A (en) Semiconductor memory device including redundancy circuit employing latch cell
KR100649970B1 (en) Redundancy circuit
KR100535021B1 (en) Repair device
US6400620B1 (en) Semiconductor memory device with burn-in test function
KR100761399B1 (en) Redundancy circuit
US6236241B1 (en) Redundant decoder having fuse-controlled transistor
US20060133169A1 (en) Address comparator of semiconductor memory device
KR100388462B1 (en) Redundancy circuits
KR20020062438A (en) Semiconductor memory device with a master fuse circuit
US20040119523A1 (en) Repair circuit
KR20040092738A (en) Semiconductor memory device
US6166974A (en) Dynamic precharge redundant circuit for semiconductor memory device
KR20020002913A (en) Redundancy circuit of memory device
KR100311216B1 (en) Repair circuit of memory device for preventing stand-by current flow
KR20030038832A (en) Redundancy decoder circuit for use in semiconductor memory devices

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20101025

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee