KR100562839B1 - 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 기판(G)에 레지스트를 도포하기 위한 레지스트도포 유니트(22a)와, 레지스트가 도포된 기판을 비가열상태에서 건조하는 건조처리 유니트(22b)와, 도포유니트(2a)로 기판을 반입하기 위한 기판반입포트(81)와, 처리종료 후의 기판을 장치 밖으로 반출하기 위한 기판반출포트(82)와, 기판을 레지스트도포 유니에서 건조처리 유니트로 반송하고, 또한 기판반출포트에서 반출가능한 위치로 반송하는 유니트간 반송기구(41, 42)와 주반송장치(18)가 기판반출위치(85)에 오는 타이밍에 따라서 유니트간 반송기구에 의한 기판반송을 제어하는 콘트롤러(91, 93)를 가짐으로써, 2이상의 일련의 처리를 제어하여 이들 처리를 기판에 악영향을 미치지 않으면서 고 쓰루우풋으로 연속적으로 수행할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 기술이 제시된다.

Description

기판처리장치{Substrate Processing Apparatus}

도 1은 본 발명이 적용되는 LCD의 칼라필터의 도포·현상처리시스템을 나타내는 평면도이다.

도 2는 레지스트도포처리 유니트(CT), 건조처리 유니트(VD), 및 엣지리무버(ER)가 병설된 도포계 유니트부를 나타내는 개략 평면도이다.

도 3은 도 2의 도포계 유니트부를 나타내는 개략 측면도이다.

도 4는 본 실시예에 관한 도포·현상처리시스템의 블럭도이다.

도 5는 도포관계 유니트콘트롤러의 서브루틴을 나타내는 순서도이다.

도 6은 레지스트도포처리 유니트(CT), 건조처리 유니트(VD) 및 엣지리무버(ER)가 병설된 도포계 유니트부의 다른 예를 나타내는 개략 평면도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1 : 카세트스테이션 2 : 처리부

2a : 전단부 2b : 중단부

2c : 후단부 3 : 인터페이스부

10, 38 : 반송기구 10a, 12∼14, 38a : 반송로

15, 16 : 중계부

11, 17a, 18a, 19a, 39, 41, 42 : 반송아암

17, 18, 19 : 주반송장치 21a, 21b : 세정유니트(SCR)

22 : 도포계 처리유니트부 22a : 레지스트도포처리 유니트(CT)

22b : 건조처리 유니트(VD) 22c : 엣지리무버(ER)

24a∼24c : 현상처리 유니트 25, 27, 30 : 냉각유니트(COL)

26, 28, 31 : 가열처리 유니트(HP)

29, 32, 33 : 가열처리·냉각유니트(HP/COL)

34 : 약액공급 유니트 35 : 스페이스

36 : 익스텐션 37 : 버퍼스테이지

43 : 가이드레일 51 : 스핀척

52 : 회전컵 53 : 코터컵(coater cup)

54 : 아웃커버 55 : 레지스트토출 노즐아암

56a : 레드 색채 레지스트의 노즐 56b : 그린 색채 레지스트의 노즐

56c : 블루 색채 레지스트의 노즐 56d : 블랙 색채 레지스트의 노즐

56e : 시너노즐 61 : 로우 챔버

62 : 어퍼(upper) 챔버 63, 71 : 스테이지

64 : 배기구 65 : 배기관

72 : 얼라인먼트수단 73 : 리무버헤드

81 : 기판반입포트 82 : 기판반출포트

83 : 기판대기부 84 : 기판반입위치

85 : 기판반출위치 91 : 메인콘트롤러

92a∼92c : 블럭콘트롤러 93 : 도포계 유니트부 콘트롤러

94 : 가열처리유니트 콘트롤러 95 : 메인반송아암 콘트롤러

C : 카세트 G : 기판

본 발명은, 칼라 액정디스플레이(LCD)의 칼라필터 등의 기판처리장치에 관한 것이다.

칼라 액정디스플레이의 칼라필터의 제조에 있어서는, 글래스제인 직사각형의 기판에 4색(레드, 그린, 블루 및 블랙)의 색채 레지스트를 도포하여 이것을 노광하고, 이것을 형성처리하는, 이른바 포토리소그래피(photolithography) 기술에 의해 칼라필터를 형성하고 있다.

이와 같은 칼라필터의 포토리소그래피공정에 있어서는, 각 색마다 색채 레지스트의 도포처리 및 노광·현상처리를 실시하고 있다. 즉, 예를들어 레드의 색채 레지스트를 도포하고, 이 레드에 관하여 노광·현상처리하고, 이어서 그린의 색채 레지스트를 도포하여 그린에 관하여 노광·현상처리하고, 그 후, 블루, 블랙에 관해서도 마찬가지로 실시하고 있다.

따라서, 각 색채의 처리마다 세정, 도포, 노광 및 현상의 처리유니트가 필요하게 되며, 각 색채의 세정, 도포, 노광 및 현상의 처리유니트가 연속적으로 배치되어, 상류에서 하류를 향해 연속적으로 처리되고 있다.

그렇지만, 상술한 바와 같은 도포·현상처리시스템에 의해 하나의 칼라필터에 복수의 색채 레지스트를 도포할 때에는, 각 색채마다 세정, 도포, 노광 및 현상처리유니트를 설치하여, 색채의 수에 대응한 복수조의 세정, 도포, 노광 및 현상처리유니트를 설치할 필요가 있기 때문에, 설비구성이 거대화되고, 크린룸에서의 스페이스가 증대함과 동시에 제조비용도 크게 높아져 버린다.

또한, 색채 레지스트를 도포한 기판을 노광하는 노광장치에서는, 예를들어 LCD기판의 경우보다도 빈번하게 노광마스크를 교환하지 않으면 안되는 사정도 있으며, 이 교환 중에 반송아암은 소정장소에서 대기하고 있어야 하는 경우가 생긴다.

그 결과, 도포계 처리유니트부에서는, 레지스트를 도포한 후, 레지스트 제거처리한 기판이 기판반출포트에서 반송아암에 주고받아야 될 상태에 있음에도 불구하고, 이 반송아암이 기판반출위치로 오지 못하는 경우가 있다. 또한, 노광마스크의 교환 이외의 이유에 의해서도, 메인 반송아암이 기판반출위치로 소정 타이밍에 제대로 오지 못하는 경우가 있다.

이와 같은 경우에 있어서도, 도포처리유니트에 대한 기판반입, 레지스트 도포처리, 가장자리 레지스트 제거처리라는 일련의 처리는, 반송아암의 사정과는 관계없이, 상술한 바와 같이 소정의 시퀀스에 따라 이루어진다. 따라서, 도포계 처리유니트부 내에서는, 레지스트를 도포하여 가장자리 레지스트 제거처리를 한 기판을 반송아암으로 반출할 수 없는 상태가 되면, 그 후에 레지스트 도포된 기판을 다음공정의 가장자리 레지스트 제거처리 유니트로 보낼 수 없게 되고, 또한 후속 기판 을 처리하지 못하게 되어 쓰르우풋이 저하됨과 동시에 레지스트를 도포한 상태에서 기판을 방치할 수 밖에 없는 상황이 벌어진다.

본 발명은, 처리시스템 전체에 걸쳐 기판의 반송을 실시하는 반송장치의 이동 타이밍에 따라, 2 이상의 일련의 처리를 제어하여 이들 처리를 기판에 악영향을 미치지 않으면서 고 쓰루우풋으로 연속적으로 수행할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제 1 국면에 의하면, 주반송장치에 의해 반송되는 기판에 복수의 처리를 실시하기 위한 처리시스템에 도입되는 처리장치로서, 기판에 서로 다른 소정의 처리를 실시하는 제 1 및 제 2의 처리유니트와, 상기 주반송장치에 의해 기판을 상기 제 1 처리유니트로 반입하기 위한 기판반입포트와, 처리가 종료된 후의 기판을 외부로 반출하기 위한 기판반출포트와, 반입된 기판을 상기 제 1 처리부에서 제 2 처리부로 반송하고, 또한 기판반출포트에서 반출할 수 있는 위치로 기판을 반송하는 반송기구와, 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서, 상기 반송기구에 의한 기판반송상태를 제어하는 제어수단을 구비하는 기판처리장치가 제공된다.

본 발명의 제 1 국면의 상기 기판처리장치에 의하면, 처리시스템의 주반송장치가 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서, 기판처리장치 내로 반입된 기판을 제 1 처리부에서 제 2 처리부로 반송하고, 동시에 기판반출포트에서 반출할 수 있는 위치로 기판을 반송하는 반송기구에 의한 기판반송상태를 제어한다. 따라서, 기판의 반출타이밍에 시스템의 주반송기구가 기판반출포트에 대응 하는 위치에 도달할 수 없는 경우, 예를들어 제 2 처리가 종료한 후의 기판을 소정의 위치에 대기하도록 반송이 제어되면, 그 대기하는 동안에 후속 기판이 제 1 처리부에서 처리된 후, 제 2 처리부에서 처리를 연속적으로 실시할 수 있다. 또한, 제 1 처리가 종료된 후의 기판을 소정의 위치에 대기하도록 반송이 제어되면, 선행기판이 제 2 처리부에 존재하는 경우에도 후속기판이 제 1 처리에 임할 수 있다. 또한, 기판이 제 2 처리부에 있어서 장시간 계속해서 제 2 처리되는 것을 막을 수도 있다. 즉, 처리시스템의 주반송장치가 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서 기판처리장치 내에서의 기판반송을 제어하기 때문에, 기판을 제 1 처리부 또는 제 2 처리부에 대기시킴에 따른 기판에 대한 악영향이 없으며, 제 1 처리 및 제 2 처리를 고 쓰르우풋으로 최대한 연속적으로 수행할 수 있다. 한편, 주반송기구가 소정의 타이밍에서 반출포트에 대응하는 위치로 올 수 있는 경우에는, 소정의 시퀀스에서 기판을 대기시키는 일 없이 처리를 수행하면 된다.

이 경우에, 구체적으로는 반송기구는, 제 1 처리부에서 제 2 처리부로 기판을 반송하는 제 1 반송아암과, 제 2 처리부에서 처리가 종료된 후의 기판을 반송하는 제 2 반송아암을 가지며, 주반송장치가 기판반출포트에 대응하는 위치에 소정시간 내에 도달하지 못하는 경우, 제어수단이 기판을 제 1 반송아암상 혹은 제 2 반송아암상에 대기시키도록 반송을 제어함으로써, 또는 기판을 일시적으로 대기시키는 기판대기부를 더 구비하고, 주반송장치가 소정시간 내에 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하지 못하는 경우에, 상기 제어수단이 기판을 기판대기부에 대기시키도록 제어함으로써, 제 1 처리부 및 제 2 처리부에서 기판을 대기시키는 불편함 을 현실적으로 제거할 수 있다.

또한, 본 발명의 제 2 국면에 의하면, 주반송장치에 의해 반송되는 기판에 레지스트를 도포하여 건조시키기 위한 기판처리장치에 있어서, 기판에 레지스트를 도포하기 위한 레지스트도포 유니트와, 상기 레지스트도포 유니트에서 레지스트가 도포된 기판을 실질적으로 비가열상태에서 건조시키기 위한 건조처리 유니트와, 상기 주반송장치에 의해 반송되는 기판을 상기 도포처리 유니트로 반입하기 위한 기판반입포트와, 처리가 종료된 후의 기판을 외부로 반출하기 위한 기판반출포트와, 반입된 기판을 상기 레지스트도포 유니트에서 상기 건조처리 유니트로 반송하고, 또한 상기 기판반출포트에서 반출할 수 있는 위치로 반송하는 유니트간 반송기구와, 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서, 상기 유니트간 반송기구에 의한 기판반송상태를 제어하는 제어수단을 구비하는 기판처리장치가 제공된다.

본 발명의 상기 제 2 국면의 기판처리장치에 의하면, 처리시스템의 주반송장치가, 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서, 기판처리장치 내로 반입된 기판을 레지스트도포 유니트에서 건조처리 유니트로 반송하고, 또한 기판반출포트에서 반출할 수 있는 위치로, 예를들어 가장자리 레지스트제거 유니트로 반송하는 유니트간 반송기구에 의한 기판반송을 제어한다. 이 때문에, 예를들어 기판의 반출타이밍에 시스템의 주반송기구가 기판반출포트에 대응하는 위치로 올 수 없는 경우에는, 건조처리 유니트에서의 건조처리가 종료된 후의 기판을 소정 위치에 대기하도록 반송을 제어하면, 그 대기하는 동안에 후속 기판에 대하여 레지스 트도포 유니트에서의 도포처리를 실시할 수 있다. 또한, 그 후의 건조처리 유니트에서의 건조처리를 연속해서 수행할 수 있다. 또한, 레지스트도포처리 후의 기판을 소정의 위치에 대기하도록 반송을 제어하면, 선행기판이 건조처리 유니트에 존재하는 경우에도 후속 기판에 대하여 도포처리를 수행할 수 있다. 또한, 기판이 건조처리 유니트에서 장시간 대기하는 것을 피할 수 있다. 이 때문에, 이들 처리가 고 쓰르우풋으로 최대한 연속적으로 수행될 수 있다. 따라서, 레지스트를 도포한 기판을 건조처리 유니트로 보내지 않아 그대로 방치되거나, 건조처리 유니트에서 방치되어 레지스트의 건조상태가 극단적으로 변화하는 것을 막을 수 있다. 한편, 이 경우에도, 주반송기구가 소정의 타이밍에서 반출포트에 대응하는 위치로 올 수 있는 경우에는 소정의 시퀀스로 기판을 대기시키는 일 없이 처리를 수행하면 된다.

종래, 예를들어 칼라필터기판에서는, 레지스트를 도포한 기판을 프리베이크(pre-bake)처리한 후에, 또는 기판을 노광하여 현상처리한 후에, 가열처리 유니트에 있어서 기판을 재치하기 위한 리프트핀이나 고정핀 등의 형상이 기판에 전사되거나, 막두께가 불균일하게 될 우려가 있다. 이와 같은 전사나 막두께의 불균일이 발생된 경우에는 기판을 폐기시켜야만 하는 사태가 생긴다.

그러나, 본 발명의 제 2 관점에 의하면, 레지스트액을 도포한 후에 신속하게 피처리기판을 실질적으로 비가열상태에서 원하는 시간만큼 건조시킬 수 있다. 이로써, 레지스트액 중의 용제를 적절하게 방출시켜 원하는 건조상태를 실현시킬 수 있기 때문에, 핀 등의 전사가 일어나거나 레지스트 막두께의 불균일이 일어나는 문제를 해소할 수 있다.

이 경우에, 건조처리 유니트에서의 건조처리를 한 후에 기판의 가장자리부에 부착된 레지스트를 제거하는 가장자리 레지스트제거 유니트를 설치함으로써, 기판을 비가열상태에서 건조시킨 후, 연속해서 기판의 가장자리 레지스트를 제거할 수 있다. 따라서, 가장자리 레지스트의 제거효율을 높일 수 있다.

또한, 상기 유니트간 반송기구는, 레지스트도포 유니트에서 건조처리 유니트로 반송하는 제 1 반송아암과, 건조처리유니트에서 건조처리가 종료된 후의 기판을 반송하는 제 2 반송아암을 가지며, 주반송장치가 기판반출포트에 대응하는 위치로 소정시간 내에 올 수 없는 경우에, 상기 제어수단이 기판을 제 1 반송아암상 혹은 제 2 반송아암상에 대기시키도록 반송을 제어한다. 또한, 건조처리 유니트에서 건조처리된 기판을 일시적으로 대기시키는 기판대기부가 더 설치되어, 주반송장치가 기판반출포트에 대응하는 위치로 소정시간 내에 오지 못하는 경우에, 상기 제어수단이 건조처리 유니트에 있어서 건조된 기판을 기판대기부에 대기시키도록 반송을 제어한다. 이로 인해, 기판이 레지스트도포 유니트 또는 건조처리 유니트에 방치되어 원하는 건조처리가 이루어지지 않는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

또한, 비가열상태에서 건조하는 건조처리 유니트를, 레지스트가 도포된 기판을 감압상태에서 건조하는 감압건조기구를 가지는 것으로 함으로써, 비가열상태에서의 건조를 용이하게 수행할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은, 본 발명이 적용되는 LCD의 칼라필터의 도포·현상처리시스템을 나타 내는 평면도이다.

이 도포·현상처리시스템은, 복수의 기판(G)을 수용하는 카세트(C)를 재치하는 카세트스테이션(1)과, 기판(G)에 레지스트도포 및 현상을 포함하는 일련의 처리를 실시하기 위한 복수의 처리유니트를 구비한 처리부(2)와, 노광장치(도시생략)와의 사이에서 기판(G)의 주고받기를 수행하기 위한 인터페이스부(3)를 구비하고 있으며, 처리부(2)의 양단에 각각 카세트스테이션(1) 및 인터페이스부(3)가 배치되어 있다.

카세트스테이션(1)은, 카세트(C)와 처리부(2) 사이에서 기판(G)의 반송을 수행하기 위한 반송기구(10)를 구비하고 있다. 그리고, 카세트스테이션(1)에 있어서 카세트(C)의 반입반출이 이루어진다. 또한, 반송기구(10)는 카세트의 배열방향을 따라 설치된 반송로(10a) 상을 이동할 수 있는 반송아암(11)을 구비하고, 이 반송아암(11)에 의해 카세트(C)와 처리부(2) 사이에서 기판(G)의 반송이 이루어진다.

처리부(2)는, 전단부(2a)와 중단부(2b)와 후단부(2c)로 나뉘어져 있으며, 각각 중앙에 반송로(12, 13, 14)를 가지고, 이들 반송로의 양측에 각 처리유니트가 배치되어 있다. 그리고, 이들 간에는 중계부(15, 16)가 설치되어 있다.

전단부(2a)는, 반송로(12)를 따라 이동할 수 있는 주반송장치(17)를 갖추고 있으며, 반송로(12)의 한측에는 2개의 세정유니트(SCR)(21a, 21b)가 배치되어 있고, 반송로(12)의 다른측에는 냉각유니트(COL)(25), 상하 2단으로 적층되어 이루어지는 가열처리유니트(HP)(26) 및 냉각유니트(COL)(27)가 배치되어 있다.

또한, 중단부(2b)는, 반송로(13)를 따라 이동할 수 있는 주반송장치(18)를 구비하고 있으며, 반송로(13)의 한측에는 색채 레지스트를 도포하기 위한 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a), 레지스트도포 후의 기판(G)을 비가열상태에서 감압건조하는 건조처리 유니트(VD)(22b), 및 기판(G)의 가장자리부의 색채 레지스트를 제거하는 엣지리무버(ER)(22c)가 그 순서대로 일체적으로 배치되어 도포계 처리유니트부(22)를 구성하고 있다. 한편, 반송로(13)의 다른측에는 2단으로 적층되어 이루어지는 가열처리 유니트(HP)(28), 가열처리 유니트와 냉각처리 유니트가 상하로 적층되어 이루어지는 가열처리·냉각유니트(HP/COL)(29), 및 냉각유니트(COL)(30)가 배치되어 있다. 또한, 건조처리 유니트(VD)(22b)에 대해서는 후술하기로 한다.

또한, 후단부(2c)는, 반송로(14)를 따라 이동할 수 있는 주반송장치(19)를 갖추고 있으며, 반송로(14)의 한측에는 3개의 현상처리 유니트(24a, 24b, 24c)가 배치되어 있다. 반송로(14)의 다른측에는 상하 2단으로 적층되어 이루어지는 가열처리 유니트(31) 및 가열처리 유니트와 냉각처리 유니트가 상하로 적층되어 이루어지는 2개의 가열처리·냉각유니트(HP/COL)(32, 33)가 배치되어 있다.

또한, 처리부(2)는 반송로를 사이에 끼로 한쪽 측에 세정처리 유니트(21a), 레지스트처리 유니트(22a), 현상처리 유니트(24a)와 같은 스피너(spinner)계 유니트만을 배치하고 있으며, 다른쪽 측에는 가열처리 유니트와 냉각처리 유니트 등의 열계처리 유니트만을 배치하는 구조로 되어 있다.

또한, 중계부(15, 16)의 스피너계 유니트 배치측 부분에는, 약액공급 유니트(34)가 배치되어 있으며, 또한 보수를 위한 스페이스(35)가 설치되어 있다.

주반송장치(17)는, 반송아암(17a)을 가지며, 이 반송아암(17a)과 반송기구(10)의 아암(11) 사이에서 기판(G)의 주고받기를 수행함과 동시에, 전단부(2a)의 각 처리유니트에 대한 기판(G)의 반입·반출, 나아가 중계부(15)와의 사이에서 기판(G)의 주고받기를 실시하는 기능을 가지고 있다. 또한, 주반송장치(18)는, 반송아암(18a)을 가지며, 중계부(15)와의 사이에서 기판(G)의 주고받기를 실시함과 동시에, 중단부(2b)의 각 처리유니트에 대한 기판(G)의 반입·반출, 나아가 반송아암(18a)과 중계부(16)간에서의 기판(G)의 주고받기를 수행하는 기능을 가지고 있다. 또한, 주반송장치(19)는, 반송아암(19a)을 가지며, 이 반송아암(19a)과 중계부(16) 사이에서 기판(G)의 주고받기를 수행함과 동시에, 후단부(2c)의 각 처리유니트에 대한 기판(G)의 반입·반출, 나아가 인터페이스부(3)와의 사이에서의 기판(G)의 주고받기를 수행하는 기능을 가지고 있다. 또한, 중계부(15, 16)는 냉각플레이트로서도 기능한다.

인터페이스부(3)는, 처리부(2)와의 사이에서 기판을 주고받을 때에 일시적으로 기판을 보지하는 익스텐션(36)과, 나아가 그 양측에 설치된 버퍼카세트를 배치하는 2개의 버퍼스테이지(37)와, 이것과 노광장치(도시생략)와의 사이에서 기판(G)의 반입반출을 수행하는 반송기구(38)를 구비하고 있다. 반송기구(38)는 익스텐션(36) 및 버퍼스테이지(37)의 배열방향을 따라 설치된 반송로(38a)상을 이동할 수 있는 반송아암(39)을 구비하고, 이 반송아암(39)에 의해 처리부(2)와 노광장치 사이에서 기판(G)의 반송이 이루어진다.

이와 같이 각 처리유니트를 집약시켜 일체화함으로써, 스페이스절약 및 처리의 효율화를 도모할 수 있다.

이와 같이 구성되는 도포·현상처리시스템에 있어서는, 카세트(C)내의 기판(G)이 처리부(2)로 반송되고, 처리부(2)에서는 우선 전단부(2a)의 세정유니트(SCR)(21a, 21b)에서 스크러버세정이 실시되며, 가열처리 유니트(HP) (26)의 하나에서 가열건조된 후, 냉각유니트(COL)(27)의 하나에서 냉각된다.

그 후, 기판(G)은 중단부(2b)로 반송되어 레지스트도포 유니트(CT)(22a)에서 소정의 색채 레지스트가 도포되고, 건조처리 유니트(VD)(22b)에 의해 건조처리되어, 엣지리무버(ER)(22c)에서 기판(G)의 가장자리에 있는 여분의 색채 레지스트가 제거된다. 그 후, 기판(G)은 중단부(2b) 중의 가열처리 유니트(HP)의 하나에서 프리베이크처리되며, 유니트(29) 또는 유니트(30)의 하단의 냉각유니트(COL)에서 냉각된다.

그 후, 기판(G)은 중계부(16)로부터 주반송장치(19)에서 인터페이스부(3)를 매개로 노광장치에 반송되어 그것에서 소정의 패턴이 노광된다. 기판(G)은 다시 인터페이스부(3)를 매개로 기판처리장치로 반입되고, 현상처리 유니트(DEV)(24a, 24b, 24c)의 어느 한곳에서 현상처리된다. 현상처리된 기판(G)은 후단부(2c)의 어느 한곳의 가열처리 유니트(HP)에서 포스트베이크(post-bake)처리가 실시된 후, 냉각유니트(COL)에서 냉각된다.

이와 같은 각 색채마다의 일련의 처리가 미리 설정된 레시피에 따라서 실행된다. 예를들어, 레드의 도포·노광·현상처리가 종료된 기판(G)은, 순서대로 그린, 블루, 블랙의 도포·노광·현상처리가 실시되는데, 후술하는 바와 같이, 도포유니트(CT)(22a)에 있어서 서로 다른 색채의 노즐을 이용하는 것 외에는, 각 색채 모두 거의 동일하게 처리된다. 완성된 칼라필터의 기판은, 주반송장치(19, 18, 17) 및 반송기구(10)에 의해서 카세트스테이션(1) 상의 소정의 카세트에 수용된다.

다음으로, 본 실시예에 관한 칼라필터의 도포·현상처리시스템에 장착되는 레지스트도포처리 유니트(CT), 감압건조처리 유니트(VD), 및 엣지리무버(ER)로 이루어지는 도포계 유니트부(22)(기판처리장치)에 대하여 설명하기로 한다. 도 2 및 도 3은 레지스트도포처리 유니트(CT), 감압건조처리 유니트(VD), 및 엣지리무버(ER)로 이루어지는 도포계 유니트부를 나타내는 개략 평면도 및 개략 측면도이다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 도포계 처리유니트부(22)에 있어서, 이들 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a), 감압건조처리 유니트(VD)(22b), 및 엣지리무버(ER)(22c)는, 동일한 챔버내에 병설되어 있으며, 레지스트도포처리, 감압건조처리, 및 가장자리 레지스트 제거처리를 연속해서 실시할 수 있도록 되어 있다. 즉, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)에서 소정의 색채 레지스트가 도포된 기판(G)은, 한쌍의 유니트간 반송아암(41)에 의해 가이드레일(43)을 따라 감압건조처리 유니트(VD)(22b)로 반송되며, 이 감압건조처리 유니트(VD)(22b)에서 건조처리된 기판(G)은 한쌍의 유니트간 반송아암(42)에 의해 가이드레일(43)을 따라 엣지리무버(ER)(22c)로 반송된다.

이와 같이, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a) 후에 감압건조처리 유니트(VD)(22b)를 설치하는 것은, 칼라필터기판의 리소그래피공정에 있어서는, 레지스트를 도포한 기판을 프리베이크처리한 후나 현상처리한 후에 가열처리 유니트 에서 기판을 재치하기 위한 리프트핀, 고정핀 등의 형상이 기판(G)에 전사되는 경우가 있는데, 바로 이와 같은 전사를 방지하기 위함이다. 즉, 레지스트도포 후에 가열을 수반하지 않는 감압건조를 수행함으로써, 레지스트 중의 용제가 서서히 방출되어, 가열하여 건조하는 경우와 같은 급격한 건조가 발생되지 않아 레지스트에 악영향을 주는 일 없이 레지스트의 건조를 촉진시킬 수 있다. 따라서, 기판상에 전사가 일어나는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

이와 같은 도포계 처리유니트부에 있어서, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)는, 기판(G)을 흡착보지하는 수평회전이 가능한 스핀척(spin chuck)(51), 이 스핀척(51)의 상단부를 둘러싸면서 동시에 이 스핀척(51)에 흡착보지된 기판(G)을 포위하고 상단부가 개구하는 유저(有底)개구 원통형상의 회전컵(52), 회전컵(52)의 상단개구에 덮혀지는 뚜껑체(도시생략), 회전컵(52)의 외주를 둘러싸는 듯이 고정배치되는 코터컵(coater cup)(53)을 가지고 있다. 후술하는 색채 레지스트를 떨어뜨릴 때에는 뚜껑체가 열린 상태에서 기판(G)이 스핀척(51)에 의해 회전되고, 색채 레지스트의 확산시에는 기판(G)이 스핀척(51)에 의해 회전됨과 동시에, 뚜껑체(도시생략)가 닫혀진 상태의 회전컵(52)이 회전되도록 되어 있다. 또한, 코터컵(53)의 외주에는 아웃커버(54)가 설치되어 있다.

또한, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)는, 유리제의 직사각형 기판(G)에 4색(레드, 그린, 블루, 및 블랙)의 색채 레지스트를 토출하기 위한 레지스트토출 노즐아암(55)을 가지고 있다. 색채 레지스트를 떨어뜨릴 때에는 이 레지스트토출 노즐아암(55)이 기판(G)의 중심까지 회동된다. 레지스트토출 노즐아암(55)의 선단에 는, 레드의 색채 레지스트의 노즐(56a), 그린의 색채 레지스트의 노즐(56b), 블루의 색채 레지스트의 노즐(56c), 블랙의 색채 레지스트의 노즐(56d), 및 시너(thinner)노즐(56e)을 갖추고 있다. 각 노즐(56a∼56e)은 레지스트 공급관(도시생략)을 매개로 레지스트공급부(도시생략)에 접속되어 있다.

이와 같이 구성되어 있기 때문에, 색채노즐(56a∼56d)의 하나에 의해, 하나의 색채 레지스트를 기판(G)에 도포한 후, 다른 색채노즐에 의해 도포처리를 실시하는 것이 용이하다. 예를들어, 다음 기판에 도포하는 레지스트의 색채가 서로 달라도, 노즐을 바꾸는 것만으로 용이하게 대응할 수 있다.

건조처리 유니트(VD)(22b)에는, 로우 챔버(61)와, 이것을 피복하여 내부의 처리실을 기밀하게 유지하는 어퍼(upper) 챔버(62)가 설치되어 있다. 이 로우 챔버(61)에는 기판(G)을 재치하기 위한 스테이지(63)가 설치되고, 로우 챔버(61)의 각 코너부에는 4개의 배기구(64)가 설치되어, 이 배기구(64)에 연결된 배기관(65)(도 3)이 터보분자 배기펌프 등의 배기펌프(도시생략)에 접속되며, 이로 인해 로우 챔버(61)와 어퍼 챔버(62) 사이의 처리실 내의 가스가 배기되어 소정의 진공도로 감압되도록 구성되어 있다.

기판 가장자리에 부착된 레지스트를 제거하는 엣지리무버(ER)(22c)에는, 기판(G)을 재치하기 위한 스테이지(71)가 설치되고, 이 스테이지(71) 상의 2개의 코너부에는 기판(G)을 위치결정하기 위한 2개의 얼라이먼트수단(72)이 설치되어 있다.

이 기판(G)의 4변에는 각각 기판(G)의 4변의 엣지로부터 여분의 색채 레지스 트를 제거하기 위한 4개의 리무버헤드(73)가 설치되어 있다. 각 리무버헤드(73)는 내부로부터 시너를 토출하도록 거의 U자형인 단면을 가지며, 기판(G)의 4변을 따라 이동기구(도시생략)에 의해 이동되도록 되어 있다. 이로 인해, 각 리무버해드(73)는, 기판(G)의 각 변을 따라 이동되어 시너를 토출하면서 기판(G)의 4변의 엣지에 부착된 여분의 색채 레지스트를 제거할 수 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a), 건조처리 유니트(VD)(22b), 및 엣지리무버(ER)(22c)로 이루어지는 도포계 유니트부(22)에 인접하여, 중단부(2b)의 반송로(13)를 따라 주반송장치(18)가 이동할 수 있게 설치되어 있으며, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)에 대응하는 위치에 기판반입포트(81)가 설치되어 있고, 엣지리무버(ER)(22c)에 대응하는 위치에 기판반출포트(82)가 설치되어 있다.

반송로(13)에 있어서의 기판반입포트(81)를 매개로 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)에 대향하는 위치는, 기판(G)을 메인반송아암(18)에 의해 반입하는 기판반입위치(84)로 되어 있으며, 또한 기판반출포트(82)를 매개로 엣지리무버(ER)(22c)에 대향하는 부분은, 기판(G)을 메인반송아암(18)에 의해 반출하는 기판반출위치(85)로 되어 있다. 또한, 도 2, 도 3에 2점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 건조처리한 기판(G)을 1∼3장 정도 대기시키기 위한 기판대기부(83)를 건조처리 유니트(VD)(22b)와 엣지리무버(ER)(22c) 사이에 설치할 수도 있다.

다음으로, 도 4를 참조하면서 본 실시예에 관한 도포·현상처리시스템의 제어계를 설명하기로 한다. 도 4는, 본 실시예에 관한 도포·현상처리시스템의 블럭 도이다.

우선, 도시하지 않은 호스트컴퓨터가 칼라필터 기판의 제조공정 전반을 통괄제어하도록 구성되어 있으며, 이 호스트컴퓨터에 의해 제어되는 메인콘트롤러(91)는, 도 1에 나타낸 도포·현상처리시스템 전체를 제어하도록 구성되어 있다.

이 메인콘트롤러(91)의 하위제어로서, 도 1에 나타낸 처리부(2)의 전단부(2a)와, 중단부(2b)와, 후단부(2c)의 블럭에 대응하도록 나뉘어진 3개의 블럭 콘트롤러(92a, 92b, 92c)가 설치되어 있다.

이들 중, 처리부(2)의 중단부(2b)에 대응하는 블럭콘트롤러(92a) 내에는 이 중단부(2b)의 각 처리유니트에 제어신호를 송수신하여 각 처리유니트를 제어하기 위한 복수의 유니트 콘트롤러가 수납되어 있다. 즉, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a), 처리유니트간 반송아암(41), 건조처리 유니트(VD)(22b), 처리유니트간 반송아암(42), 및 엣지리무버(ER)(22c)를 제어하기 위한 도포계 유니트부 콘트롤러(93), 가열처리 유니트(HP)(28)를 제어하기 위한 가열처리 유니트 콘트롤러(94), 및 메인반송아암(18)을 제어하기 위한 메인반송아암 콘트롤러(95) 등이 중단부(2b)의 블럭콘트롤러(92b) 내에 수납되어 있다. 이들 유니트 콘트롤러(93, 94, ……)는 각각 메인콘트롤러(91)로부터 제어신호가 송수신되어 제어되도록 구성되어 있다.

또한, 처리부(2)의 전단부(2a), 후단부(2c)의 각 유니트 콘트롤러도 마찬가지로 구성되어 있다.

다음으로, 이와 같이 구성된 레지스트도포처리 유니트(CT), 건조처리 유니트(VD), 및 엣지리무버(ER)로 이루어지는 도포계 유니트부(22)에 있어서, 기판(G)에 대하여 정상적인 처리를 수행하는 경우에 대하여 설명하기로 한다.

개략적으로는, 이들 도포처리 유니트(CT)(22a), 건조처리 유니트(VD)(22b), 및 엣지리무버(ER)(22c)는, 상기와 같이 도포계 유니트부 콘트롤러(93)에 의해 제어되고, 다른 유니트나 주반송장치도 각 유니트 콘트롤러로 제어되는데, 이들 처리는 소정의 시퀀스에 기초하여 이루어진다. 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)에서는 소정의 시퀀스 처리시간을 바탕으로 색채 레지스트가 기판(G)에 도포되고, 이것이 종료되면 기판(G)은 자동적으로 건조처리 유니트(VD)(22b)로 반입되어 소정의 시퀀스 처리시간에 기초하여 기판(G)이 비가열상태에서 건조되고, 그 후 엣지리무버(ER)(22c)에 자동적으로 반입되어 여분의 색채 레지스트가 제거된다.

보다 상세하게는, 우선, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주반송장치(18)는 그 반송아암(18a)에 기판(G)을 재치한 상태에서 기판반입위치(84)까지 이동한다. 기판(G)을 재치한 반송아암(18a)이 기판반입포트(81)로부터 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a) 내로 삽입되어 기판(G)이 스핀척(51) 상에 재치된다.

레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)에 있어서, 스핀척(51)에 의해 기판(G)이 회전되고, 레지스트토출 노즐아암(55)이 기판(G)의 중심까지 회동되어 시너노즐(56e)이 기판(G)의 중심에 도달되면, 회전하는 기판(G)의 표면에 시너가 공급되어, 원심력에 의해 기판(G)의 중심에서부터 그 주위전역으로 골고루 퍼져나간다.

계속해서, 소정의 색채 레지스트, 예를들어 레드의 색채 레지스트의 노즐(56a)이 스핀척(51)의 중심(기판(G)의 중심)에 도달되고, 회전하는 기판(G)의 중심에 레드의 색채 레지스트가 떨어져 기판(G)에 도포되고, 원심력에 의해 기판(G)의 중심에서부터 그 주위전역으로 골고루 퍼져나간다.

이 레드의 색채 레지스트가 도포된 기판(G)은, 유니트간 반송아암(41)에 의해 건조처리 유니트(VD)(22b)에 반입되고, 로우 챔버(61)와 어퍼 챔버(62) 사이의 처리실 내의 가스가 배기되어 소정의 진공도로 감압됨으로써, 색채 레지스트 중의 시너 등의 용제가 어느 정도 증발되어 레지스트 중의 용제가 서서히 방출되어, 레지스트에 약영향을 미치는 일 없이 레지스트의 건조를 촉진시킬 수 있으며, 기판(G)상에 전사가 생기는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

이 건조된 기판(G)은, 유니트간 반송아암(42)에 의해 엣지리무버(ER)로 반송되고, 4개의 리무버헤드(73)가 기판(G)의 각 변을 따라 이동되어, 토출된 시너에 의해 기판(G) 4변의 엣지에 부착된 여분의 색채 레지스트가 제거된다. 그 후, 레드의 색채 레지스트가 도포된 기판(G)은, 기판반출위치(85)로 이동되어 온 주반송장치(18)의 반송아암(18a)에 주고받아져, 기판반출포트(82)를 통하여 반출된다. 그 후, 반출된 기판(G)은 가열처리 유니트(HP)(28)로 반입되어 프리베이크처리되며, 기판(G)은 노광·현상처리되어 다시 세정처리된다.

한편, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)에는, 시퀀스하게 다른 기판(G)이 반입되어, 동일한 레드, 또는 다른 색채의 레지스트가 도포된다. 동일한 색채일 경우에는 동일한 동작을 반복하여 수행하면 되고, 다른 색채일 경우에도 다른 색채 노즐에서 다른 색채의 레지스트를 떨어뜨릴 뿐, 그 밖의 처리는 동일하기 때문에 매우 용이하게 대응할 수 있다.

상술한 레드의 레지스트가 도포되어 노광·현상처리되고, 다시 세정처리된 기판(G)은, 다시 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)로 반입되어, 2번째 색채 레지스트, 예를들어 그린의 색채 레지스트의 노즐(56)로부터 그린의 색채 레지스트가 기판에 도포되고, 상술한 처리공정이 동일하게 반복된다. 마찬가지로 하여, 3번째 색채 레지스트, 예를들어 블루가 도포되고, 4번째 색채 레지스트, 예를들어 블랙이 도포된다.

다음으로, 도 5를 참조하여 도포계 처리유니트부(22)에 있어서, 기판(G) 처리의 비정상시, 즉, 주반송장치(18)가 도 2에 나타낸 기판반출위치(85)로 소정의 타이밍에서 도달할 수 없는 경우의 동작에 대하여 설명하기로 한다. 도 5는 도포관계 유니트 콘트롤러의 서브루틴의 순서도이다.

기판(G) 처리의 정상시에는, 상술한 바와 같이 소정의 시퀀스를 바탕으로 기판(G)에 레지스트가 도포되어, 감압상태에서 건조되어 단면처리되고, 기판반출위치(82)에서 메인반송아암(18)에 의해 반출된다.그러나, 이하와 같은 이유로 주반송장치(18)가 소정의 타이밍에서 기판반출위치(82)에 도달할 수 없는 비정상시가 발생하는 경우가 있다.

즉, 색채 레지스트를 도포한 기판(G)을 노광하는 노광장치에서는, 예를들어 LCD기판의 경우부다도 빈번하게 노광마스크를 교환하지 않으면 안되며, 이러한 교환을 하는 동안에 메인 반송아암(18)은 소정장소에서 대기할 필요가 있으며, 그 결과, 도포계 처리유니트부(22)에서는 처리후의 기판(G)이 주반송장치(18)에 주고받 을 상태가 되어 있음에도 불구하고, 이 메인반송아암(18)이 기판반출장치(85)로 올 수 없는 경우가 있다. 또한, 노광마스크의 교환 이외에도, 예를들어 주반송기구(18)가 가열처리 유니트(HP)(29) 등의 다른 처리유니트에 대해서 기판(G)을 주고받을 경우에도, 주반송장치(18)가 소정의 타이밍에서 기판반출위치(85)에 도달할 수 없다.

이와 같은 상황에 있어서, 동일한 시퀀스에 따라 후속기판에 레지스트 제거처리를 속행하면, 도포계 유니트부(22) 내에서는 레지스트를 도포한 기판(G)을 다음공정의 건조처리 유니트로 보낼 수 없게 되어, 기판(G)을 레지스트를 도포한 상태에서 그대로 방치할 수 밖에 없게 된다. 상술한 전사를 방지하는 관점에서 보면, 레지스트 도포 후의 건조처리는, 소정시간 내에 연속해서 수행할 필요가 있으며, 또한, 건조처리 유니트(VD)(22b)에서는 소정시간 이상의 과잉 건조처리는 바람직하지 않다. 따라서, 주반송장치(18)의 타이밍에 관계없이 이들 2개의 처리가 소정시간 내에 이루어지도록, 또한 건조처리가 필요 이상 길게 되지 않도록 이들 처리를 제어할 필요가 있다.

그 때문에, 본 실시예에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이 하여 제어를 수행한다. 즉, 우선, 레지스트가 도포되어 연속해서 건조처리된 기판(G)이 처리유니트간 반송아암(42)으로 주고받아진 시점에서, 메인반송아암(18)이 기판반출위치(85)에 도달할 수 있는 상태에 있는지의 여부를 판단한다(단계 101). 구체적으로는, 도포계 유니트부 콘트롤러(93)에서 메인콘트롤러(91)를 매개로 주반송장치 콘트롤러(95)로 신호가 보내지고, 이로써, 주반송장치(18)의 현재위치가 확인된다.

주반송장치(18)가 기판반출위치(85)에 도달할 수 있는 상태에 있는 경우에는, 주반송장치(18)가 소정시간내에 기판반출위치(85)로 올 수 있는지의 여부가 판단된다. 이 경우에 마찬가지로, 메인반송아암 콘트롤러(95)와의 신호의 주고받기에 의해 메인반송아암(18)의 현재위치가 확인되어 판단된다. 즉, 엣지리무버(ER)(22c)에서의 처리가 종료되어 스테이지(71)상에 대기하고 있는 기판이 있는 경우에, 후속기판이 엣지리무버(ER)(22c)의 스테이지(71)로 반송될 때 까지, 주반송기구(18)가 기판반출위치(45)에 도달하여 그 기판을 반송할 수 있는지의 여부를 판단한다.

메인반송아암(18)이 소정시간내에 기판반출위치(85)로 올 수 있는 경우에는, 상술한 정상시로서, 스테이지(71)상의 기판(G)은 기판반출위치(85)로 이동되어 온 주반송장치(18)의 반송아암(18a)에 의해 반출됨과 동시에, 후속기판(G)이 스테이지(71)상으로 반송된다(단계 103).

한편, 단계 101에 있어서, 주반송장치(18)가 기판반출위치(85)에 도달할 수 있는 상태가 아닌 경우, 또한 단계 102에 있어서, 주반송장치(18)가 소정시간 내에 기판반출위치(85)에 도달할 수 없는 경우에는, 후속 기판(G)은 유니트간 반송아암(42) 상에 대기되거나, 또는 기판대기부(83)가 설치되어 있는 경우에는 기판대기부(83)에서 대기된다(단계 104). 기판대기부(83)를 2∼3장의 기판(G)이 대기할 수 있는 상태로 해 두면, 대기시간이 긴 경우에도 대응할 수 있다.

그 후, 메인반송아암(18)이 소정시간 내에 기판반출위치(85)에 도달할 수 있도록 된 경우에는, 대기상태에 있던 기판(G)은 주반송장치(18)가 기판반출위치(85)까지 이동하는 시간에 따라서, 유니트간 반송아암(42) 또는 기판대기부(83)에서 엣 지리무버(ER)(22c)의 스테이지(71)로 반송된다. 대기상태에 있던 기판(G)이 스테이지(71)로 반송될 때까지, 먼저 스테이지(71) 상에 있던 기판(G)은 기판반출위치(85)로 이동되어 온 주반송장치(18)에 의해 반출된다. 스테이지(71)로 반송된 기판(G)은 단면처리(가장자리 레지스트제거처리)된 후, 마찬가지로 기판반출위치(85)로 이동되어 온 주반송장치(18)에 의해 반출된다.

이와 같이, 본 실시예에서는 주반송장치(18)의 이동 타이밍에 기초하여 유니트간 반송기구에 의한 반송을 제어하고, 주반송장치(18)가 기판반출위치(85)에 도달할 수 없는 경우에, 예를들어 레지스트를 도포하여 건조처리한 기판(G)을 대기시킬 수 있기 때문에, 계속해서 레지스트를 도포한 후속 기판(G)을 연속해서 건조처리 유니트(VD)(22b)로 보낼 수 있어, 레지스트의 도포와 건조처리를 연속해서 처리할 수 있다. 또한, 건조처리가 소정시간 종료된 기판을 대기시킬 수 있기 때문에, 과잉 건조처리를 방지할 수 있다. 따라서, 레지스트를 도포한 기판(G)을 그대로 방치하는 일 없이, 핀자국 등의 전사나 레지스트 막두께의 불균일 등과 같은 결함을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)나 건조처리 유니트(VD)(22b)의 스테이지상에 기판(G)을 대기시킬 필요가 없기 때문에, 후속 기판을 신속하게 처리할 수 있어 쓰르우풋을 높게 유지할 수 있다.

또한, 마스크교환의 시간이 길고 주반송장치(18)가 기판반출위치(85)로 장시간 올 수 없는 경우 등에는, 유니트간 반송아암(41)에도 기판(G)을 대기시킬 수 있도록 하거나, 또는 도 6에 나타낸 바와 같이, 레지스트도포 유니트(CT)(22a)와 건조처리 유니트(VD)(22b) 사이에도 기판대기부(100)를 설치하도록 하는 것이 바람직 하다. 이 경우에는, 유니트간 반송아암(41) 또는 대기부(100)에 기판(G)을 대기시켜 둠으로써, 주반송장치(18)가 올 때 까지의 대기시간이 길고, 선행기판이 건조처리 유니트(VD)(22b)에 존재하는 경우에도 후속 기판에 대하여 도포처리를 실시할 수 있다. 또한, 기판(G)을 레지스트도포처리 유니트(CT)(22a)로부터 직접 건조처리 유니트(VD)(22b)로 반송하였을 때에 건조시간이 너무 길어지는 경우에 기판을 이와 같이 대기시켜 두면, 건조처리유니트에서 장시간 건조처리를 수행하는 결함을 극복할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 다양하게 변형할 수 있다. 예를들어, 상기 실시예에서는 칼라필터의 도포·현상처리시스템에 대하여 설명하였지만, 본 발명은, LCD기판용 도포·현상처리시스템에 대해서도 적용할 수 있으며, 또한, 다른 피처리기판, 예를들어 반도체웨이퍼용 도포·현상처리시스템에도 적용할 수 있다. 또한, 이들에만 한정되는 것이 아니라, 2개의 연속적 처리를 실시하는 기판처리장치에 적용할 수도 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 기판을 건조시킬 때 기판을 감압상태에서 건조시키고 있는데, 이에 한정되지 않고 샤워헤드 등에 의해 기판에 기체(N₂)를 뿌려 레지스트를 건조시키도록 구성할 수도 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 처리시스템의 주반송장치가 기판반출포트에 대응하는 위치에 오는 타이밍에 따라서, 장치내에 반입된 기판을 제 1 처리부에서 제 2 처리부로 반송하고, 또한, 기판반출포트로부터 반출가능한 위치로 반송하는 반송기구에 의한 장치내에서의 기판반송을 제어하기 때문에, 기판의 반출 타이밍에 시스템의 주반송기구가 기판반출포트에 대응하는 위치에 올 수 없는 경우, 예를들어 제 2 처리가 종료된 후의 기판을 소정 위치에 대기하도록 제어하면, 그 대기하는 동안에 후속 기판에 대하여 제 1 처리부에서 처리한 후, 제 2 처리부에서 연속적으로 처리를 수행할 수 있다. 또한, 제 1 처리가 종료된 후의 기판을 소정 위치에 대기하도록 제어하면, 선행 기판이 제 2 처리부에 존재하는 경우에도 후속 기판에 대하여 제 1 처리를 실시할 수 있으며, 또한, 제 2 처리부에 있어서의 장시간에 걸친 제 2 처리를 계속해서 실시하는 것을 막을 수 있다. 즉, 처리시스템의 주반송장치가 기판반출포트에 대응하는 위치에 오는 타이밍에 따라서 장치내에서의 기판반송을 제어하기 때문에, 기판을 제 1 처리부 또는 제 2 처리부에 대기시킴으로 인한 기판에 대한 악영향이 없으며, 제 1 처리 및 제 2 처리를 고 쓰르우풋으로 최대한 연속적으로 수행할 수 있다.

또한, 처리시스템의 주반송장치가 기판반출포트에 대응하는 위치에 오는 타이밍에 따라서, 장치내로 반입된 기판을 레지스트도포 유니트에서 건조처리 유니트로 반송하고, 또한 기판반출포트에서 반출가능한 위치로, 예를들어 가장자리 레지스트제거 유니트로 반송하는 유니트간 반송기구에 의한 기판반송을 제어하기 때문에, 예를들어 기판의 반출 타이밍에 시스템의 주반송기구가 기판반출포트에 대응하는 위치에 올 수 없는 경우에는, 건조처리 유니트에서의 건조처리가 종료된 후의 기판을 소정 위치에서 대기하도록 제어하면, 그 대기하는 동안에 후속 기판에 대하여 시스템 도포유니트에서의 도포처리를 수행할 수 있으며, 또한 그 후의 건조처리 유니트에서의 건조처리를 연속해서 수행할 수 있다. 또한, 레지스트도포처리가 완료된 기판을 소정 위치에서 대기하도록 제어하면, 선행 기판이 건조처리 유니트에 존재하는 경우에도 후속 기판에 대하여 도포처리를 실시할 수 있으며, 또한, 기판이 건조처리 유니트에서 장시간 대기하는 것을 막을 수 있다. 그 때문에, 이들 처리를 고 쓰르우풋으로 최대한 연속적으로 실시할 수 있어, 레지스트를 도포한 기판을 건조처리로 보내지 않아 그대로 방치되거나, 건조처리 유니트에서 방치되어 레지스트의 건조상태가 극단적으로 변화하는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이, 레지스트액을 도포한 직후에, 원하는 타이밍에서 원하는 시간, 기판을 실질적으로 비가열상태에서 건조할 수 있기 때문에, 레지스트액 중의 용제를 적절하게 방출시켜 원하는 건조상태를 실현할 수 있으며, 핀 등의 전사가 일어나거나 레지스트 막두께의 불균일이 발생하는 문제를 해소할 수 있다.

Claims (13)

1. 기판에 복수의 처리를 수행하기 위한 처리시스템에 도입되고 적어도 2개의 처리를 행하는 기판처리장치로서,

   기판에 각각 다른 소정의 처리를 실시하는 적어도 제 1 및 제 2 처리유니트와,

   상기 처리시스템 전체에 걸쳐서 기판의 반송을 행하는 주반송장치에 의해 기판을 상기 제 1 처리유니트로 반입하기 위한 기판반입포트와,

   상기 처리후의 기판을 외부로 반출하기 위한 기판반출포트와,

   반입된 기판을 상기 제 1 처리유니트에서 제 2 처리유니트로 반송하고, 또한 기판반출포트에서 반출 가능한 위치로 기판을 반송하는 반송기구와,

   상기 주반송장치의 위치를 확인하고 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서 상기 반송기구에 의한 기판반송 상태를 제어하는 제어수단을 구비하고,

   상기 반송기구는 상기 제 1 처리유니트에서 상기 제 2 처리유니트로 기판을 반송하는 제 1 반송암과 상기 제 2 처리유니트에서 처리종료후의 기판을 반송하는 제 2 반송암을 가지며, 상기 제어수단은 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 소정시간 내에 도달하지 못할 경우 기판을 상기 제 2 반송암상 또는 상기 제 1 반송암상에 대기시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
2. 삭제
3. 기판에 복수의 처리를 수행하기 위한 처리시스템에 도입되고 적어도 2개의 처리를 행하는 기판처리장치로서,

   기판에 각각 다른 소정의 처리를 실시하는 적어도 제 1 및 제 2 처리유니트와,

   상기 처리시스템 전체에 걸쳐서 기판의 반송을 행하는 주반송장치에 의해 기판을 상기 제 1 처리유니트로 반입하기 위한 기판반입포트와,

   상기 처리후의 기판을 외부로 반출하기 위한 기판반출포트와,

   반입된 기판을 상기 제 1 처리유니트에서 제 2 처리유니트로 반송하고, 또한 기판반출포트에서 반출가능한 위치로 기판을 반송하는 반송기구와,

   상기 주반송장치의 위치를 확인하고 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서 상기 반송기구에 의한 기판반송상태를 제어하는 제어수단과,

   기판을 일시적으로 대기시키는 적어도 1개의 기판대기부를 구비하고,

   상기 제어수단은 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 소정시간 내에 도달하지 못하는 경우 기판을 상기 기판 대기부에 대기시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 기판대기부는 상기 제 2 처리유니트의 후방 및 상기 제 1 처리유니트와 상기 제 2 처리유니트 사이의 적어도 한쪽에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
5. 기판에 복수의 처리를 수행하기 위한 처리시스템에 도입되고 적어도 2개의 처리를 행하는 기판처리장치로서 기판에 각각 다른 소정의 처리를 실시하는 적어도 제 1 및 제 2 처리유니트와,

   상기 처리시스템 전체에 걸쳐서 기판의 반송을 행하는 주반송장치에 의해 기판을 상기 제 1 처리유니트로 반입하기 위한 기판반입포트와,

   상기 처리후의 기판을 외부로 반출하기 위한 기판반출포트와,

   반입된 기판을 상기 제 1 처리유니트에서 제 2 처리유니트로 반송하고 또한 기판반출포트에서 반출가능한 위치로 기판을 반송하는 반송기구와,

   상기 주반송장치의 위치를 확인하고 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서 상기 반송기구에 의한 기판반송상태를 제어하는 제어수단을 구비하고,

   상기 반송기구는 상기 제 1 처리유니트에서 상기 제 2 처리유니트로 기판을 반송하는 제 1 반송암과 상기 제 2 처리유니트에서 처리종료후의 기판을 반송하는 제 2 반송암을 가지며,

   상기 제어수단은 상기 주반송장치의 위치를 확인하고 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 소정시간 내에 도달하지 못할 때에 기판을 상기 제 2 반송암상에 대기시키고 상기 제 1 반송암상의 기판을 상기 제 2 처리유니트에 반입하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
6. 기판에 레지스트를 도포하고 또한 레지스트에 노광후의 현상을 행하는 일련의 처리를 행하기 위한 복수의 처리 유니트를 구비한 레지스트 도포ㆍ현상시스템에 있어서 기판에 레지스트를 도포하여 건조하기위한 기판처리장치로서,

   기판에 레지스트를 도포하기 위한 레지스트도포 유니트와,

   상기 레지스트도포 유니트에서 레지스트가 도포된 기판을 실질적으로 비가열상태에서 건조하기 위한 건조처리 유니트와,

   상기 처리시스템 전체에 걸쳐서 기판의 반송을 행하는 주반송장치에 의해 반송되는 기판을 상기 레지스트도포 유니트로 반입하기 위한 기판반입포트와,

   처리종료 후의 기판을 외부로 반출하기 위한 기판반출포트와,

   반입된 기판을 장치내를 통하여 상기 레지스트도포 유니트에서 상기 건조처리 유니트로 반송하고 또한 상기 기판반출포트에서 반출가능한 위치로 반송하는 유니트간 반송기구와,

   상기 주반송장치의 위치를 확인하고 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하는 타이밍에 따라서 상기 유니트간 반송기구에 의한 장치내에서의 기판반송을 제어하는 제어수단을 구비하고,

   상기 유니트간 반송기구는 상기 레지스트도포 유니트에서 상기 건조처리 유니트로 반송하는 제 1 반송암과 상기 건조처리 유니트에서 건조처리 종료 후의 기판을 반송하는 제 2 반송암을 가지며 상기 제어수단은 상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 소정시간 내에 도달하지 못하는 경우 기판을 상기 제 2 반송암상 또는 제 1 반송암상에 대기시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
7. 청구항 6에 있어서,

   상기 건조처리 유니트에서 건조처리를 한 후, 기판의 가장자리부에 부착된 레지스트를 제거하는 가장자리 레지스트제거 유니트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
8. 삭제
9. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,

   기판을 일시적으로 대기시키는 적어도 1개의 기판대기부를 더 구비하고,

   상기 제어수단은,

   상기 주반송장치가 소정시간 내에 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 도달하지 못하는 경우, 상기 건조처리 유니트에 있어서 건조된 기판을 상기 기판대기부에 대기시키는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
10. 청구항 9에 있어서,

    상기 기판대기부는 건조처리 유니트의 후방 및 상기 레지스트도포 유니트와 상기 건조처리 유니트의 사이에 적어도 한쪽에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
11. 청구항 6에 있어서,

    상기 건조처리 유니트는,

    레지스트가 도포된 기판을 감압상태에서 건조하는 감압건조기구를 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
12. 기판에 레지스트를 도포하고 또한 레지스트에 노광후의 현상을 행하는 일련의 처리를 행하기 위한 복수의 처리 유니트를 구비한 레지스트 도포ㆍ현상시스템에 있어서 기판에 레지스트를 도포하여 건조하기 위한 기판처리장치로서,

    기판에 레지스트를 도포하기 위한 레지스트도포 유니트와,

    상기 레지스트도포 유니트에서 레지스트가 도포된 기판을 실질적으로 비가열상태에서 건조하기 위한 건조처리 유니트와,

    상기 처리시스템 전체에 걸쳐서 기판의 반송을 행하는 주반송장치에 의해 반송되는 기판을 상기 레지스트도포 유니트로 반입하기 위한 기판반입포트와,

    처리종료 후의 기판을 외부로 반출하기 위한 기판반출포트와,

    상기 레지스트도포 유니트에서 상기 건조처리 유니트로 기판을 반송하는 제 1 반송암과,

    상기 건조처리 유니트에서의 처리후의 기판을 반송하는 제 2 반송암과,

    상기 주반송장치가 상기 기판반출포트에 대응하는 위치에 소정시간내에 도달하지 않는 경우에 기판을 상기 제 2 반송암상에 대기시키거나 또는 건조처리 유니트의 후방에 설치된 기판대기부에 대기시킴으로써 레지스트의 도포와 비가열상태에서의 건조처리를 연속하여 행하도록 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
13. 삭제

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