KR100549954B1 - 반도체 제조용 스피너 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조용 스피너 장치에 관한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서, 상기 배플 플레이트(10)의 내경부와 상기 내경부에 접하는 고정판(20) 및 상기 고정판(20)의 외주연 단부와 상기 외주연 단부에 접하는 배플 플레이트(10)에 각각 상호 결합에 의해 상하 이탈이 방지되게 하는 잠금 수단과 함께 측방 유동이 방지되도록 하는 가이드 수단이 형성되도록 하여 고정판(20)에서의 배플 플레이트(10)를 고정되는 조립 방식으로 이루어지게 함으로써 공정 수행 중 웨이퍼와의 충돌에 따른 웨이퍼 손상을 방지하여 공정 수율 및 제품 생산성이 극대화되도록 하는데 있다.
스피너, 스핀 코팅, 배플 플레이트, 고정판, 조립

Description

반도체 제조용 스피너 장치{Spinner apparatus for manufacturing semiconductor}
도 1은 일반적인 반도체 제조용 스피너 장치의 전단면도,
도 2는 본 발명에 따른 배플 플레이트와 고정판의 제1 실시예 구조를 도시한 분리 사시도,
도 3은 도 2의 결합 구조를 도시한 요부 확대 반단면도,
도 4는 본 발명에 따른 배플 플레이트와 고정판의 제2 실시예 구조를 도시한 분리 사시도,
도 5는 도 4의 결합 구조를 도시한 요부 확대 반단면도,
도 6은 본 발명에 따른 배플 플레이트와 고정판의 결합된 제3 실시예 구조를 도시한 요부 확대 반단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 배플 플레이트 11 : 관통공
12 : 돌기 13 : 제2 돌기
14 : 제3 걸림홈
20 : 고정판 21 : 걸림홈
22 : 제2 걸림홈 23 : 제3 돌기
본 발명은 반도체 제조용 스피너 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고정판의 상부에 안치되는 배플 플레이트와의 상호 접촉하는 양측으로 각각 잠금 수단과 가이드 수단이 형성되게 함으로써 고정판에 배플 플레이트가 견고하게 고정되는 방식으로 조립되도록 하여 웨이퍼 손상 방지와 제품 생산성이 향상되도록 하는 반도체 제조용 스피너 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 설비에서 웨이퍼에의 포토 레지스트(photoresist)는 스피너 장치에서 스핀 코팅(spin coating)에 의해 형성되도록 하고 있다.
즉 웨이퍼가 안치되는 스핀 척은 회전이 가능하게 형성되도록 하여 그 상부에서 포토 레지스트를 웨이퍼에 떨어트리게 되면 스핀 척의 회전에 의해 웨이퍼에서 포토 레지스트가 원심력에 의해 균일하게 도포되도록 하고 있다.
이때 사용되는 스피너 설비는 도 1에서와 같이 크게 스핀 척(1)과 배플 플레이트(2)와 어퍼 컵(3) 및 로워 컵(4)으로 이루어지는 구성이다.
상기의 구성에서 스핀 척(1)은 웨이퍼(W)가 안치되어 진공압에 의해서 견고하게 고정되면서 회전이 가능하게 구비되도록 한다.
배플 플레이트(2)와 어퍼 컵(3) 및 로워 컵(4)은 승강이 가능하게 구비된다.
즉 웨이퍼(W)가 안치되는 스핀 척(1)만이 중앙에서 회전하도록 구비되고, 스핀 척(11)을 감싸는 배플 플레이트(2)와 어퍼 컵(3) 및 로워 컵(4)은 스핀 척(1)으로부터 웨이퍼(W)를 로딩 또는 언로딩 시 상하로 승강 가능하도록 구비된다.
따라서 배플 플레이트(2)와 어퍼 컵(3)과 로워 컵(4)을 하강시키게 되면 상대적으로 스핀 척(1)이 어퍼 컵(3)의 상부에 위치되는 상태가 되므로 웨이퍼(W)를 로딩시켜 스핀 척(1)에 안착시킨 다음 다시 배플 플레이트(2)와 어퍼 컵(3)과 로워 컵(4)을 상승시킨 상태에서 스핀 척(1)에 안착된 웨이퍼(W)에 스핀 코팅을 수행하게 되는 것이다.
공정을 수행한 직후 웨이퍼(W) 언로딩은 웨이퍼(W) 로딩시와는 역순으로 배플 플레이트(2)와 어퍼 컵(3) 및 로워 컵(4)을 하강시킴에 의해서 이루어진다.
한편 배플 플레이트(2)는 그 상부에서 스핀 척(1)에 안착된 웨이퍼(W)를 스핀 코팅시키는 공정 수행 중에 외측으로 비산하게 되는 잔류물을 장치 저부로 안전하게 배출 안내하도록 구비되는 구성이다.
배플 플레이트(2)는 따라서 일정 주기마다 클리닝을 시켜 주어야만 하므로 그 저부에서 견고하게 고정되는 고정판(5)으로부터 분리가 용이하게 결합되도록 하고 있다.
배플 플레이트(2)와 고정판(5)의 결합 구조는 미국특허 6,179,915와 일본공개특허 제2002-164277호와 대한민국 공개특허 제2002-032058호를 통해 이미 제시된 바 있다.
공개된 기술들로부터 알 수 있는 바와 같이 스피너 설비에서 배플 플레이트(2)는 고정판(5)에 단순히 회전 방지되게 얹혀지는 구조로 결합되도록 하고 있다.
하지만 고정판(5)으로부터 배플 플레이트(2)는 미세하게 상하 진동을 하게 되므로 배플 플레이트(2)가 그 상측에서 스핀 코팅되는 공정 수행 중인 웨이퍼(W)의 저면과 자주 충돌하는 현상을 유발하면서 웨이퍼 브로큰을 발생시키는 주된 원인이 되고 있다.
따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 고정판에서 배플 플레이트를 상하 유동이 방지되게 결합되도록 하여 안전한 공정 수행과 제품 수율을 대폭적으로 향상시키도록 하는 반도체 제조용 스피너 장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서, 상기 배플 플레이트의 내경부와 상기 내경부에 접하는 고정판 및 상기 고정판의 외주연 단부와 상기 외주연 단부에 접하는 배플 플레이트에 각각 상호 결합에 의해 상하 이탈이 방지되게 하는 잠금 수단과 함께 측방 유동이 방지 되도록 하는 가이드 수단이 형성되도록 하는 것이다.
구체적인 실시예로서 본 발명은 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서, 상기 배플 플레이트의 관통공의 내경부 하단부에는 중앙을 향해 소정의 길이로 돌출되게 복수의 돌기를 형성하고, 상기 배플 플레이트가 안치되는 상기 돌기와 동일 수직선상의 고정판에는 상기 돌기가 삽입되어 일방향으로 회전하면서 슬라이딩 이동하도록 하는 걸림홈을 형성하여 잠금 수단을 구비하고, 상기 고정판의 외주연 단면과 그에 접하는 상기 배플 플레이트의 결합면간이 상기 배플 플레이트를 상부로부터 안착이 가능토록 하면서 면간 미세하게 접촉되도록 하여 가이드 수단을 형성한 구성으로 할 수가 있다.
또한 본 발명은 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서, 상기 배플 플레이트의 관통공의 내경부 하단부에는 중앙을 향해 소정의 길이로 돌출되게 복수의 제1 돌기를 형성하고, 상기 배플 플레이트가 안치되는 상기 제1 돌기와 동일 수직선상의 고정판에는 상기 제1 돌기가 삽입되어 일방향으로 회전하면서 슬라이딩 이동하도록 하는 제1 걸림홈을 형성하여 잠금 수단을 구비하고, 상기 고정판의 외주연 단부에는 상향 개방되면서 바닥면으로부터는 일측의 회전 방향으로 홈이 연장되도록 제2 걸림홈을 형성하며, 상기 배플 플레이트의 고정판의 외주연 단면에 근 접하게 면대향하는 단면으로부터는 소정의 두께로서 제2 걸림홈으로 수용 가능한 크기의 제2 돌기가 내측을 향해 복수개로서 형성하여 가이드 수단을 형성한 구성으로 할 수도 있다.
그리고 본 발명은 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서, 상기 배플 플레이트의 관통공의 내경부 하단부에는 중앙을 향해 소정의 길이로 돌출되게 복수의 제1 돌기를 형성하고, 상기 배플 플레이트가 안치되는 상기 제1 돌기와 동일 수직선상의 고정판에는 상기 제1 돌기가 삽입되어 일방향으로 회전하면서 슬라이딩 이동하도록 하는 제1 걸림홈을 형성하여 잠금 수단을 구비하고, 상기 고정판의 외주연 끝단면으로부터는 외측으로 복수개의 제3 돌기를 형성하면서 그에 면대향하는 상기 배플 플레이트에는 하향 개방되도록 하면서 소정의 높이에서 일측의 회전 방향으로 홈이 연장되도록 하여 제3 걸림홈을 형성하여 가이드 수단을 형성한 구성으로 할 수도 있다.
이하 본 발명을 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 반도체 제조용 스피너 장치는 종전과 마찬가지로 크게 스핀 척과 배플 플레이트와 어퍼 컵과 로워 컵 및 고정판으로 이루어지는 구성이다.
어퍼 컵과 로워 컵의 사이에 스핀 척이 구비되도록 하고, 스핀 척의 직하부에는 배플 플레이트가 구비되며, 배플 플레이트는 저부에서 고정판에 안치되도록 한다.
배플 플레이트는 중앙에 소정의 직경 즉 스핀 척의 직경보다는 큰 직경으로 수직 관통되도록 하여 관통홀을 형성하고, 중앙으로부터 소정의 반경 위치에서 판면이 외측으로 소정의 각도로 하향 경사지도록 형성한다.
고정판은 배플 플레이트를 안전하게 위치시키기 위한 구성으로서, 배플 플레이트보다는 작은 외경을 갖는다.
이상에서와 같은 구성은 종전의 스피너 장치와 대동소이하다.
다만 본 발명에서는 배플 플레이트와 고정판의 서로 접촉하는 면 즉 배플 플레이트의 내경면과 그에 접하는 고정판 및 고정판의 외주연 단부와 그에 접하는 배플 플레이트 간으로 각각 상하 이탈을 방지하는 잠금 수단과 측방 유동을 방지하는 가이드 수단이 구비되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.
이에 본 발명의 구체적인 실시예를 살펴보기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조용 스피너 장치의 배플 플레이트와 고정판간 결합 구조의 제1 실시예를 도시한 분리 사시도이고, 도 3은 도 2의 배플 플레이트와 고정판간 결합 구조를 도시한 것이다.
본 실시예에서는 배플 플레이트(10)의 중앙에 형성한 관통홀(11)의 내경부 하단부에 복수의 돌기(12)가 중앙을 향해 소정의 길이로 돌출되게 하고, 배플 플레이트(10)가 안치되면서 배플 플레이트(10)의 돌기(12)와 동일 수직선상에 위치하는 고정판(20)에는 돌기(12)가 삽입되면서 회전 방향으로 슬라이딩 이동하도록 하는 걸림홈(21)이 형성되도록 하여 잠금 수단이 구비된다.
이때 고정판(20)에 형성되는 걸림홈(21)은 일측의 깊이가 걸림홈(21)으로 삽 입되는 배플 플레이트(10)의 돌기(12)의 두께보다는 더 깊이 형성되도록 하고, 이 걸림홈(21)의 바닥면으로부터 돌기(12)의 두께보다는 미세하게 큰 두께로서 일측의 회전 방향으로 홈이 연장되게 하는 형상으로 이루어진다.
이와 같은 배플 플레이트(10)에의 돌기(12)와 고정판(20)의 걸림홈(21)은 동일한 갯수와 위치에 형성되도록 하여 배플 플레이트(10)를 고정판(20)에 안착시킬 때 돌기(12)들이 걸림홈(21)에 끼워지도록 한 뒤 배플 플레이트(10)를 일측의 회전 방향으로 회전시켜 돌기(12)의 상향 이탈이 방지되게 함으로써 배플 플레이트(10)의 수직 방향으로의 유동이 최대한 방지되도록 하는 것이다.
잠금 수단과 동시에 형성되는 가이드 수단은 고정판(20)의 외주연 단부과 이에 접하는 배플 플레이트(10)의 사이에 형성되는 구성으로서, 본 실시예에서는 고정판(20)의 외주연 단부가 수직 또는 수직에 가까운 경사면으로 이루어지도록 하고, 그와 접하는 배플 플레이트(10)의 결합면 또한 배플 플레이트(10)를 상부로부터 안착이 가능토록 수직 또는 수직에 가까운 경사면으로 형성되도록 하면서 면간 미세한 접촉이 이루어지도록 하는 구성이다.
배플 플레이트(10)와 고정판(20) 사이에 잠금 수단과 함께 가이드 수단을 상기에서와 같이 형성하게 되면 일단 고정판(20)에 배플 플레이트(10)를 안착시키게 되면 가이드 수단에 의해서 측방으로의 유동은 최대한 방지할 수가 있게 되며, 배플 플레이트(10)를 안착시킨 상태에서 일방향으로 회전시키게 되면 배플 플레이트(10)의 돌기(12)가 고정판(20)의 측방으로 연장된 걸림홈(21)으로 삽입되면서 수직 즉 상부로의 유동을 방지시키게 되므로 결국 고정판(20)에서 배플 플레 이트(10)는 견고한 고정 상태를 유지할 수가 있게 된다.
이와 같은 구성과는 달리 도 4는 본 발명의 제2 실시예를 도시한 분리 사시도이고, 도 5는 본 실시예의 전단면도이다.
본 실시예에서는 배플 플레이트(10)의 중앙에 형성한 관통홀(11)의 내경부 하단부에 복수의 돌기(12)가 중앙을 향해 소정의 길이로 돌출되게 하고, 배플 플레이트(10)가 안치되면서 배플 플레이트(10)의 돌기(12)와 동일 수직선상에 위치하는 고정판(20)에는 돌기(12)가 삽입되어 일방향으로 회전하면서 슬라이딩 이동하도록 하는 걸림홈(21)이 형성되도록 하여 잠금 수단을 구비한다.
이러한 잠금 수단은 전술한 제1 실시예에서와 동일한 구성으로 이루어지게 한다. 이때 배플 플레이트(10)를 고정판(20)에 안치시키면서 일측의 회전 방향으로 회전시키게 되면 돌기(12)의 상향 이탈이 방지되면서 배플 플레이트(10)의 수직 방향으로의 유동이 최대한 방지되도록 한다.
잠금 수단과 동시에 형성되는 가이드 수단은 고정판(20)의 외주연 단부과 이에 접하는 배플 플레이트(10)의 사이에 형성되는 구성으로서, 고정판(20)의 외주연 단부에는 위의 잠금 수단에서와 마찬가지로 상향 개방되게 제2 걸림홈(22)을 형성하되 제2 걸림홈(22)의 바닥면으로부터는 일측의 회전 방향으로 홈이 연장되도록 한다.
그리고 배플 플레이트(10)의 고정판(20)의 외주연 단면에 근접하게 면대향하는 단면으로부터는 소정의 두께와 제2 걸림홈(22)으로 제2 돌기(13)가 수용될 수 있는 크기로 내측을 향해 복수개가 형성되도록 한다.
이와 같은 구성의 가이드 수단은 결국 배플 플레이트(10)를 고정판(20)에 동심원상에 위치되도록 안내하는 동시에 잠금 수단의 잠금 기능도 동시에 수행할 수가 있도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.
한편 가이드 수단은 잠금 수단의 돌기(12)를 걸림홈(21)에 끼우게 될 때 동시에 제2 돌기(13)가 제2 걸림홈(22)으로 끼워지도록 하며, 측방으로 연장되는 홈의 방향은 걸림홈(21)과 제2 걸림홈(22)이 동일하도록 한다.
이러한 구성에서와 같이 고정판(20)에 배플 플레이트(10)를 안착시키게 되면 잠금 수단의 결합 시 동시에 가이드 수단에서도 동일한 결합 방식에 의해 이중 잠금이 이루어지게 되므로 배플 플레이트(10)의 수직 방향으로의 유동을 더욱 강력하게 방지시키게 되며, 특히 가이드 수단에 의해서는 단면간 면접촉에 의해 측방으로의 유동을 최대한 방지시킬 수가 있게 되므로 결국 고정판(20)에서 보다 견고한 배플 플레이트(10)의 고정을 제공할 수가 있다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예를 도시한 전단면도로서, 배플 플레이트(10)의 중앙에 형성한 관통홀(11)의 내경부 하단부에 복수의 돌기(12)가 중앙을 향해 소정의 길이로 돌출되게 하고, 배플 플레이트(10)가 안치되면서 배플 플레이트(10)의 돌기(12)와 동일 수직선상에 위치하는 고정판(20)에는 돌기(12)가 삽입되어 일방향으로 회전하면서 슬라이딩 이동하도록 하는 걸림홈(21)이 형성되도록 하여 잠금 수단을 구비하는 구성은 전기한 제2 실시예의 구성과 동일하다.
다만 본 실시예에서는 제2 실시예에서와는 달리 가이드의 제3 돌기(23)를 고정판(20)의 외주연 끝단면에 형성되도록 하고, 제3 걸림홈(14)은 제3 돌기(23)와 면대향하는 배플 플레이트(10)에 형성되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.
이렇게 고정판(20)에 제3 돌기(23)를 형성하고, 배플 플레이트(10)에는 제3 걸림홈(14)이 형성되도록 하면 배플 플레이트(10)를 고정판(20)에 안착 시 잠금 수단에서는 제1 돌기(12)가 고정판(20)의 제1 걸림홈(21)에 끼워지면서 가이드 수단에서는 반대로 고정판(20)에 형성한 제3 돌기(23)가 배플 플레이트(10)의 제3 걸림홈(14)에 끼워지면서 상호 반대쪽에서 제1 돌기(12)와 제3 돌기(23)를 받치게 되므로 보다 견고한 결합 구조를 이룰 수가 있게 된다.
한편 가이드 수단은 제2 실시예와 제3 실시예에서는 잠금 수단과 동일 갯수로 형성할 수도 있고, 그보다 많은 갯수로 형성되게 할 수도 있으며, 형성 위치는 잠금 수단과 동일 각도 또는 엇갈린 각도로도 형성은 가능하다.
다만 복수의 잠금 수단간 간격은 동일하게 이루어지도록 하는 것이 가장 바람직하다.
이상과 같은 구성에 따라 고정판(20)에 배플 플레이트(10)를 안착시키게 되면 가이드 수단에 의해서는 배플 플레이트(10)가 고정판(20)에 안치된 상태에서 최소한 측방으로의 유동을 방지시키게 된다.
즉 배플 플레이트(10)가 안치된 상태에서 스핀 척에 웨이퍼를 안착시킨 다음 스핀 코팅의 공정을 수행하게 되면 회전하는 스핀 척의 회전 구동 구성들에 의해서 고정판(20)을 고정하는 구조물이 미세 유동하게 되므로 이때의 고정판(20) 유동에 의해서 배플 플레이트(10)도 측방으로 유동할 수가 있으므로 이를 본 발명에서는 가이드 수단에 의해서 고정판(20)과 일체로 유동은 되나 더 이상의 측방 유동은 방 지되도록 하는 것이다.
또한 잠금 수단에 의해서는 배플 플레이트(10)를 고정판(20)에 얹어지게 하면서 돌기(12)가 걸림홈(21)에 끼워지게 하는 동시에 배플 플레이트(10)를 일방향으로 회전시켜 고정판(20)에서 배플 플레이트(10)의 이탈, 특히 상측으로의 이탈이 방지되도록 한다.
한편 제2 실시예와 제3 실시예에서와 같이 가이드 수단에 측방 유동을 방지하는 기능과 함께 잠금 수단에서와 같은 잠금 기능이 동시에 부여되게 함으로써 이중 잠금에 의하여 더욱 견고한 결합 구조를 제공하게 되는 것이다.
이와 같이 본 발명은 배플 플레이트(10)를 고정판(20)에서 고정되는 방식으로 조립되도록 하여 공정 수행 중 발생할 수 있는 배플 플레이트(10)의 지나친 유동에 따른 웨이퍼와의 충돌을 방지하면서 보다 안정된 공정 수행을 제공하게 된다.
한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.
따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 배플 플레이트(10)와 이 배플 플레이트(10)가 안치되는 고정판(20)과의 서로 인접한 내측단부와 외측단부에 각각 잠금 수단과 가이드 수단이 형성되도록 하여 배플 플레이트(10)의 측방 유동 및 수직 방향의 유동이 최소화되게 조립시켜 공정 수행 중 웨이퍼와의 충돌에 따른 웨이퍼 손상을 방지하여 공정 수율 및 제품 생산성을 극대화시킬 수 있도록 하는 매우 경제적 잇점을 제공하는 효과가 있다.

Claims (10)

  1. 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서,
    상기 배플 플레이트에서 중앙의 관통공 내경부와 상기 내경부에 접하는 고정판 및 상기 고정판의 외주연 단부와 상기 외주연 단부에 접하는 배플 플레이트에 각각 상호 결합에 의해 상하 이탈이 방지되게 하는 잠금 수단과 함께 측방 유동이 방지되도록 하는 가이드 수단이 형성되도록 하는 반도체 제조용 스피너 장치.
  2. 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서,
    상기 배플 플레이트에서 중앙의 관통공의 내경부 하단부에는 소정의 길이로 중앙을 향해 돌출되게 복수의 돌기를 형성하고, 상기 배플 플레이트가 안치되는 상기 고정판의 동일 수직선상에는 상기 돌기가 삽입되면서 일방향으로 회전하여 슬라이딩 이동하도록 하는 걸림홈을 형성하여 잠금 수단을 구비하고, 상기 고정판의 외주연 끝단면과 그에 마주보는 위치에 구비되는 상기 배플 플레이트의 결합면으로 상기 배플 플레이트를 상부로부터 안착이 가능토록 하면서 면간 미세하게 접촉되도 록 하여 가이드 수단을 형성한 반도체 제조용 스피너 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 가이드 수단은 상호 미세하게 접촉되는 상기 배플 플레이트와 상기 고정판의 접촉면은 수직면으로 이루어지는 반도체 제조용 스피너 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 가이드 수단은 상호 미세하게 접촉되는 상기 배플 플레이트와 상기 고정판의 접촉면은 소정의 각도로 경사진 경사면으로 이루어지는 반도체 제조용 스피너 장치.
  5. 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서,
    상기 배플 플레이트의 관통공의 내경부 하단부에는 중앙을 향해 소정의 길이로 돌출되게 복수의 제1 돌기를 형성하고, 상기 배플 플레이트가 안치되는 상기 제1 돌기와 동일 수직선상의 고정판에는 상기 제1 돌기가 삽입되어 일방향으로 회전하면서 슬라이딩 이동하도록 하는 제1 걸림홈을 형성하여 잠금 수단을 구비하고, 상기 고정판의 외주연 끝단부에는 상향 개방되면서 바닥면으로부터는 일측의 회전 방향으로 홈이 연장되도록 제2 걸림홈을 형성하며, 상기 배플 플레이트의 고정판의 외주연 단면에 근접하게 면대향하는 단면으로부터는 소정의 두께로서 제2 걸림홈으로 수용 가능한 크기의 제2 돌기가 내측을 향해 복수개로서 형성하여 가이드 수단을 형성한 반도체 제조용 스피너 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 고정판의 제2 걸림홈은 제1 걸림홈과 동일한 회전 방향으로 연장되는 반도체 제조용 스피너 장치.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 고정판의 끝단면과 그에 마주보는 상기 배플 플레이트는 상호 대응되는 형상의 단면으로 이루어지는 반도체 제조용 스피너 장치.
  8. 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서,
    상기 배플 플레이트의 관통공의 내경부 하단부에는 중앙을 향해 소정의 길이로 돌출되게 복수의 제1 돌기를 형성하고, 상기 배플 플레이트가 안치되는 상기 제1 돌기와 동일 수직선상의 고정판에는 상기 제1 돌기가 삽입되어 일방향으로 회전하면서 슬라이딩 이동하도록 하는 제1 걸림홈을 형성하여 잠금 수단을 구비하고, 상기 고정판의 외주연 끝단면으로부터는 외측으로 복수개의 제3 돌기를 형성하면서 그에 면대향하는 상기 배플 플레이트에는 하향 개방되도록 하면서 소정의 높이에서 일측의 회전 방향으로 연장되도록 한 제3 걸림홈을 형성하여 가이드 수단을 형성하는 반도체 제조용 스피너 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 배플 플레이트의 제3 걸림홈은 제1 걸림홈과 동일한 회전 방향으로 연장되는 반도체 제조용 스피너 장치.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 고정판의 끝단면과 그에 마주보는 상기 배플 플레이트는 상호 대응되는 형상의 단면으로 이루어지는 반도체 제조용 스피너 장치.
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