KR100540528B1

KR100540528B1 - 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법

Info

Publication number: KR100540528B1
Application number: KR1020030085573A
Authority: KR
Inventors: 이규남; 강병완; 편도선; 박정훈
Original assignee: 홍덕스틸코드주식회사; 주식회사 실트론
Priority date: 2003-11-28
Filing date: 2003-11-28
Publication date: 2006-01-11
Also published as: KR20050051900A

Abstract

본 발명은 와이어 쏘우 장치에서 쏘우 와이어의 균일한 권취를 위한 자동 트래버싱 제어 방법에 관한 것이다.

본 발명의 방법은, 트레버싱 장치의 초기 리미트 값과 댄서 위치의 상·하한값을 입력하는 단계(100)와; 와이어 쏘우 장치를 구동시키는 단계(200)와; 댄서의 위치와 메인 모터의 회전수가 주기적으로 입력되는 단계(300)와; 댄서의 위치를 비교하는 단계(400)와; 댄서의 위치에 따라 트레버싱 장치를 제어하는 단계(500) 또는 와이어 쏘우 장치를 정지시키는 단계(500')와; 트레버싱 장치를 제어하는 경우, 정지 신호 입력 판단 단계(600)를 통하여 이루어지며, 댄서의 위치를 이용하여 트래버싱 장치의 리미트 값을 제어함에 본 발명 방법의 기술적 특징이 있다.

본 발명 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법은, 트래버싱 장치 직전에 설치된 댄서의 움직임을 기본적인 제어 입력 신호로 하여 트래버싱 장치에 대한 제어가 효율적으로 이루어져 쏘우 와이어의 단선 발생율이 현저히 감소하고, 작업성이 우수할 뿐 아니라, 생산성이 향상되는 이점이 있다.

와이어 쏘우 장치, 쏘우 와이어, 트래버싱, 댄서, 웨이퍼 절단

Description

와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법{The control method for automatic traversing in wire saw machine}

도 1은 와이어 쏘우 장치의 개략 구성도.

도 2는 본 발명 일실시예 장치의 구성도.

도 3은 본 발명 일실시예 방법의 제어 흐름도.

도 4는 쏘우 와이어의 권취 상태를 보인 권취 보빈의 부분 정면도.

((도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명))

2. 피절단물 11. 공급릴

12,18. 트래버싱 장치 13,16. 가이드 롤러

14,17. 댄서 15. 메인 롤러

19. 권취릴 21. 롬

22. 램 23. 마이크로 프로세서

24. 모니터

B. 보빈 S. 쏘우 와이어

본 발명은 쏘우 와이어의 균일한 권취를 위한 자동 트래버싱 제어 방법에 관한 것으로, 더 자세하게는 반도체 재료나 자성 재료 등을 쏘우 와이어로 절단하는 와이어 쏘우 장치에서 공급릴로부터 해권되는 쏘우 와이어가 피절단물을 절단한 후 감기게 되는 권취릴 앞에 설치되어 쏘우 와이어의 권취가 일정한 장력 하에서 균일하게 이루어지도록 권취릴의 축 방향과 평행하게 왕복 이동하면서 쏘우 와이어를 권취릴로 유도하는 트래버싱 장치의 왕복 이동 거리를 결정하는 좌·우 양측 리미트 값을, 트레버싱 장치의 앞에 설치되어 쏘우 와이어의 장력이 일정하게 유지되도록 장력의 변화에 따라 상·하로 유동하는 댄서(dancer)의 움직임에 따라 실시간으로 보정하여 쏘우 와이어가 균일하게 권취되도록 하는 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법에 관한 것이다.

일반적으로 와이어 쏘우 장치는 반도체 웨이퍼용 잉고트나 세라믹을 비롯한 초경합금 등의 절단시 평탄한 절단면을 갖도록 하면서 여러 매를 동시에 절단할 수 있는 장치로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 공급릴(11)에 장착된 보빈(B)으로 부터 해권되어 공급되는 쏘우 와이어(S)는, 입측 트래버싱 장치(12), 댄서(14)가 중간에 구비된 다수의 입측 가이드 롤러(13), 세 개의 롤러가 단면 역삼각형의 꼭지점을 이루도록 서로 평행하게 설치된 메인 롤러(15), 댄서(17)가 중간에 설치된 다수의 출측 가이드 롤러(16), 출측 트래버싱 장치(18)를 거쳐 권취릴(19)에 장착된 보빈(B)에 재권취 되며, 상기 메인 롤러(15), 공급릴(11), 권취릴(19)에는 각각 정역 가능한 구동 모터가 연결되고, 이들 모터는 함께 연동됨으로써 쏘우 와이어(S)의 장력이 조절된다.

그리고, 상기 세 메인 롤러(15)의 각 외주면에는 다수의 원호상 홈이 일정한 간격으로 형성되어 쏘우 와이어(S)가 그 홈을 따라 세 메인 롤러 사이를 평행하게 다수 회 왕복하면서 통과하게 되며, 피절단물 장착 장치 상부 두 메인 롤러 사이에 위치하게 된다.

상기와 같은 구조로 이루어진 와이어 쏘우 장치를 이용한 반도체 잉고트 등의 피절단물(2)의 절단 과정은, 각 구동모터를 구동시켜 메인 롤러(15)와 가이드 롤러(13)(16) 사이에 감긴 쏘우 와이어(S)에 적정한 장력이 유지되도록 하면서 공급릴(11)로부터 권취릴(19)측으로 쏘우 와이어(S)가 이송되도록 한 후, 상부 두 메인 롤러 중앙 직상에 위치한 피절단물(2)을 하강시켜 이동하는 쏘우 와이어(S)에 밀착시키면 피절단물(2)이 여러 장으로 절단된다.

상기와 같은 와이어 쏘우 장치는 일반적으로 컴퓨터로 구성된 제어부에 연결되어 제어되며, 절단 작업전 쏘우 와이어의 이송 속도, 피절단물의 사양 등 각종 절단 작업 조건에 대한 자료를 입력하게 되어 있고, 이 초기 입력 자료와 각 구동 모터 등으로 부터 입력되는 피드 백 자료를 연산하여 최적의 절단 작업이 수행되도록 제어된다.

상기와 같이 쏘우 와이어를 이용한 절단 작업에 있어서 경질의 피절단물과 접촉하고 있는 쏘우 와이어의 장력이 일정하게 유지되도록 하는 것이 매우 중요한 바, 각 구동 모터들 사이의 연동 속도를 정밀하게 제어해야 함은 물론, 쏘우 와이어가 권취된 공급릴과 권취릴에서의 해권 및 권취가 일정 범위의 장력 하에서 균일하게 이루어지도록 하여야만 한다.

특히, 권취릴과 공급릴에 장착되어 쏘우 와이어가 해권되거나 감기게 되는 보빈의 몸체는 원통형으로서, 보빈의 일측 단부에서 타측 단부로, 타측 단부에서 일측 단부로 쏘우 와이어가 이동하면서 순차적으로 적층되는 상태로 감기게 되는 바, 이와 같이 좌·우 방향으로 왕복 이동하면서 해권 및 권취되는 쏘우 와이어의 왕복 이동을 유도하는 것이 트래버싱 장치이다.

그리고, 상기 트레버싱 장치와 가이드 롤러 사이에는 와이어 장력 변화를 흡수하여 일정한 장력이 유지되도록 하기 위하여 쏘우 와이어의 장력 변화에 따라 상·하 방향으로 왕복 이동이 가능한 댄서가 구비된다.

즉, 상기 댄서는 쏘우 와이어의 장력이 커지면 상승하고, 장력이 작아지면 하강하여 쏘우 와이어에 부여되는 장력을 일정하게 유지되도록 한다.

상기와 같이 쏘우 와이어의 권취 또는 해권이 일정하고 균일하게 이루어지도록 트레버싱 장치와 댄서가 설치되는 바, 종래의 트레버싱 제어 방법을 살펴보면 다음과 같다.

종래에는 절단 작업을 하기 전에 작업자가 트레버싱 장치의 양 방향 이동 리미트 값을 사전에 입력함으로써 작업 중 트레버싱 장치가 왕복 이동해야 하는 거리가 결정되었으며, 상기 리미트 값은 기계 정지시 작업자가 재입력하지 않으면 트레버싱 장치는 그 범위 내에서만 일정하게 왕복 이동하게 되어 있다.

그러나, 권취릴에 장착된 보빈에 쏘우 와이어의 권취가 계속적으로 이루어져 권취경이 증가함에 따라 보빈 양 단부의 플랜지에 걸리게 되는 권취압이 증가하게 되고, 그 결과 보빈의 플랜지 구조에 다소의 차이는 있으나, 보빈 양단부의 플랜지가 외측으로 벌어지는 현상이 발생하게 되면서 피권취부인 보빈의 원통형 몸체에 쏘우 와이어가 권취된 권취면이 몸체의 전 길이에 걸쳐 수평면을 이루지 못하고 프랜지에 접한 권취면 얀 단부가 상측 또는 하측으로 기울게 된다.

그에 따라, 보빈 플랜지에 인접한 부위에 쏘우 와이어가 권취될 때 댄서의 상·하 방향 움직임이 급격히 커지게 되어 쏘우 와이어의 장력 불균일이 유발되고, 불균일한 장력이 진행하는 와이어 쏘우에 대하여 충격을 가함으로써, 절단 작업 중 쏘우 와이어의 단선을 초래하게 되고, 그 결과 절단 중인 웨어퍼의 절단면 불량이 발생하면서 생산성을 떨어뜨리게 된다.

본 발명은 종래 와이어 쏘우 장치에서 쏘우 와이어의 권취를 위한 트래버싱 제어 방법이 가지고 있는 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 쏘우 와이어의 권취 압력에 따른 보빈 플랜지 인접부에서의 권취면 변화에 의한 댄서의 움직임을 감지하여 트래버싱 장치의 양 방향 이동 리미트 값을 실시간으로 보정함으로써 권취면을 수평면으로 유지시키고, 쏘우 와이어의 단선을 최소화할 수 있는 트레버싱 장치의 제어 방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.

본 발명의 상기 목적은 댄서의 상·하 위치와 쏘우 와이어의 진행 속도를 이용하여 새로운 트래버싱 리미트 값을 산출하여 주는 제어 로직에 의하여 달성된다.

본 발명 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법은, 권취가 진행됨에 따라 보빈 플랜지의 벌어짐에 의한 권취 불균일 상태를 계속적으로 파악하여 트레버싱 장치의 이동 거리를 결정하는 트래버싱 리미트 값을 적절히 변화시켜 주는 방법을 통하여 보빈에의 권취면이 항상 수평이 되도록 하고 있는 바, 이를 제어하는 수단이 상기 제어 로직이다.

상기 제어 로직은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제어 로직이 저장되어 있는 롬(ROM)(21)과, 작업자가 미리 입력한 댄서의 상·하 위치 범위 및 트레버싱 장치의 초기 리미트 값을 저장하는 램(RAM)(22)과, 램에 저장된 값으로부터 상기 롬의 제어 로직에 따라 새로운 리미트 값을 연산하고 제어 명령을 하는 마이크로 프로세서(23)와, 각종 입력값과 출력값을 화면상에 표시하여 주는 모니터(24)를 포함하여 구성되는 제어기에 의하여 구현된다.

그리고, 상기 제어기에 의해 구현 되는 제어 로직은, 작업자가 입력한 초기값인 기입력 트래버싱 리미트 값과 댄서 위치의 허용 범위값에 대하여 메인 모타의 회전수와 댄서 위치를 입력값으로 하여 비교 연산하여 출력되는 새로운 트레버싱 리미트 값으로 트레버싱 장치의 서보 모터 구동 드라이브를 제어하는 방식으로 이루어지며, 제어 주기는 트레버싱 장치가 트레버싱 리미트 값에 위치한 횟수 또는 쏘우 와이어의 진행거리 등으로 설정이 가능하다.

즉, 본 발명 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법은, 댄서의 위치를 감지하여 허용 범위 내의 위치 변화에 따라 트래버싱 장치의 최적 리미트 값을 새로이 연산하여 실시간 보정함에 본 발명의 기술적 특징이 있다.

이때, 상기 롬에 저장되어 트레버싱 장치의 제어에 적용되는 제어 로직은 다음의 식 1과 같다.

상기 식에서, A는 새로운 트래버싱 리미트 값, A'는 기입력된 트래버싱 리미트 값, α는 보정계수, h(x)는 댄서의 상·하 위치에 대한 함수, V(y)는 메인 모터 회전수로 계산된 쏘우 와이어의 속도에 대한 함수이다.

이때, 상기 h(x)와 V(y)는 각각 다음 식으로 나타낼 수 있다.

상기 식에서, L은 댄서암(도면 미도시)의 길이, x는 댄서암의 회전 각도, D는 메인 모터에 의해 구동되는 메인 롤러의 직경, y는 메인 모터의 회전수이다.

그리고, 상기 보정계수 α는 계산된 각 h(x) 및 V(y)에 대한 제어 보정 정도를 결정하는 계수로서, 0∼10 범위의 값을 갖는바, 예를 들어, α= 0 은 제어가 이루어지지 않는 경우이며, α= 10 은 α= 1일 때의 10배로 제어치에 대한 보정 출력이 이루어지게 된다.

상기 식 1에 의해 새로운 트래버싱 리미트 값을 연산하여 트래버싱 장치를 제어하는 본 발명 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법이 이루어지는 단계를 도 3의 제어 루프를 통하여 살펴보면 다음과 같다.

본 발명의 방법은, 작업자가 트레버싱 장치의 초기 리미트 값과 댄서 위치의 상·하한값을 입력하는 단계(100)와; 와이어 쏘우 장치를 구동시켜 절단 작업을 시작하는 단계(200)와; 댄서의 위치 신호와 메인 모터의 회전수가 주기적으로 입력되는 단계(300)와; 기 설정된 댄서 위치의 상·하한값과 입력되는 댄서의 위치를 비교하는 단계(400)와; 입력된 댄서의 위치가 허용범위 내에 있는 경우 제어기를 사용하여 트레버싱 장치를 제어하는 단계(500) 또는 허용범위를 벗어난 경우 와이어 쏘우 장치를 정지시키는 단계(500')와; 트레버싱 장치를 제어하는 단계(500)의 경우, 와이어 쏘우 장치를 정지시키는 단계(500')와 댄서의 위치를 비교하는 단계(400) 중의 어느 일측 단계로 전이되는 정지 신호 입력 판단 단계(600)를 통하여 이루어진다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명 제어 방법을 도 1에 의거하여 기계적인 측면에서 살펴보면 다음과 같다.

메인 롤러(15)를 통과한 쏘우 와이어(S)가 권취릴(19)에 장착된 보빈(B) 측 으로 진행을 하는 동안 댄서(17)과 트레버싱 장치(18)를 거치며, 쏘우 와이어에 적절한 장력이 유지된 상태에서 상기 트레버싱 장치는 좌·우 양 측의 트레버싱 리미트 값 사이를 움직이며 정해진 피치로 쏘우 와이어를 권취릴의 보빈에 권취하게 된다.

이때, 작업자가 입력한 트레버싱 리미트 값이 쏘우 와이어의 정상 귄취에 적합하지 않거나, 권취가 진행됨에 따라 보빈 플랜지가 벌어지게 되면 도 3에 도시된 바와 같이, 보빈 플랜지(f) 인접부의 권취면(S_U)(S_D)이 보빈 중앙부의 권취면(S_C) 보다의 높아지거나 낮아지게 되는 현상이 발생하게 된다.

즉, 쏘우 와이어가 정상적으로 권취될 때에는 주어진 트레버싱 리미트 값 하에서 보빈 플랜지(f) 인접부의 권취면(S_U)(S_D)과 보빈 중앙부의 권취면(S_C)이 수평 상태를 유지하게 되고, 댄서의 위치도 일정 범위 내에서 안정적으로 상·하 유동된다.

그러나, 트레버싱 리미트 값이 권취 끝단부를 지나치게 되는 경우, 권취 작업이 진행될수록 권취 끝단부, 즉 보빈 플랜지 인접부에 권취되는 쏘우 와이어의 권취경이 보빈 중앙부의 권취경 보다 크게 되고, 일정한 쏘우 와이어의 진행 속도 하에서 보빈 플랜지 인접부의 권취량 증가에 의하여 댄서가 상향 이동하게 된다.

그리고, 상기와 달리 트레버싱 리미트 값이 권취 끝단부에 이르지 못하는 경우에는 권취 작업이 진행될수록 권취 끝단부에서의 와이어 권취량이 부족하게 되고, 그 결과 일정한 쏘우 와이어의 진행 속도 하에서 보빈 플랜지 인접부의 권취량 감소에 의하여 댄서가 하향 이동하게 된다.

따라서, 보빈 플랜지 인접부의 권취 끝단부에서 쏘우 와이어의 권취량이 과다하게 되거나 부족하게 될 경우, 권취 끝단부에서의 권취시 댄서가 상향 또는 하향으로 요동하게 되고, 그 결과 쏘우 와이어의 진행이 불안정하게 되는 동시에 쏘우 와이어의 장력 역시 심하게 변화되는 바, 댄서의 상·하 움직임에 대한 위치와 구동 모터 회전수를 입력 받아 특정 쏘우 와이어의 속도 하에서 실제 권취 끝단부에서의 권취 상태에 따라 적절한 트레버싱 리미트 값을 실시간으로 보정하여 권취 끝단부에서의 쏘우 와이어 권취 상태가 수평으로 유지되도록 하여 주는 것이 본 발명의 방법이다.

즉, 권취 끝단부에서 댄서의 위치가 상향 이동될 때는 현재 적용되고 있는 트레버싱 리미트 값을 내측 방향으로 이동되도록 트레버싱 리미트 값을 새로이 계산 적용하고, 댄서 위치가 하향 이동될 때는 현재 적용되고 있는 트레버싱 리미트 값을 외측으로 이동되도록 트레버싱 리미트 값을 새로이 계산 적용함으로써 안정적인 권취를 구현할 수 있게 된다.

그리고, 상기와 같은 제어 방법에 적용되는 식 1은, 권취 불균일 정도와 댄서의 상하 움직임 거리가 서로 비례하고, 동일한 정도의 권취 불균일 하에서는 쏘우 와이어의 진행 속도 증가에 따라 댄서의 움직임 거리가 증가하게 되는 바, 트레버싱 리미트 값의 보정값은 h(x)에 비례하고, V(y)에 대해서는 반비례하도록 적용하였다.

또한, 상기와 다른 제어 방법으로서, 덴서의 상하 위치에 대한 함수인 상기 h(x)를 대신하여 보빈의 회전수 차이를 이용하는 것도 바람직하다.

즉, 일반적으로 덴서의 상하 움직임에 대하여 보빈은 덴서가 중앙 위치에 유지되도록 그 회전수가 제어되는 바, 권취 보빈의 회전수 제어시 덴서가 아래로 내려갈 경우에는 권취 보빈의 회전수를　빠르게 하여 덴서를 상향 이동시키며, 덴서가 위로 올라갈 경우에는 권취 보빈의 회전수를 느리게 하여 덴서가 상향 이동하는 것을 방지하게 되고, 공급 보빈에서는 그에 상반되는 제어가 이루어진다.

그리고, 일반적으로 보빈의 중앙에서는 덴서암이 중앙에 위치하게　되며, 보빈 권취면의 양 단부에서는 쏘우 와이어의 권취면 상태에 따라 보빈의 회전수가 변화게 되는 바, 새로운 트레버싱 리미트 값은 다음 식 3과 같이 표현될 수 있다.

상기 식에서, β는 보정계수, ΔV(z)는 (보빈 권취면 중앙부 권취시의 보빈 회전수)-(보빈 권취면 각 단부 권취시의 보빈 회전수)이다.

또한, 상기 식 1과 3을 함께 사용할 수도 있으며, 그러한 경우에는 다음 식 4와 같이 된다. 그러한 경우에는 다음 식 4와 같이 된다. 그리고, 상기 보정계수 β는 계산된 각 ΔV(z) 및 V(y)에 대한 제어 보정 정도를 결정하는 계수로서, 0∼10 범위의 값을 갖는바, 예를 들어, β= 0 은 제어가 이루어지지 않는 경우이며, α= 10 은 α= 1일 때의 10배로 제어치에 대한 보정 출력이 이루어지게 된다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법은 트래버싱 장치 직전에 설치된 댄서의 움직임을 기본적인 제어 입력 신호로 하기 때문에 트래버싱 장치에 대한 제어 편차가 작고 효율적으로 이루어져 쏘우 와이어에 발생되는 장력의 불균일 및 충격 감소에 의한 단선 발생율이 현저히 감소할 뿐 아니라, 작업성이 우수하여 고품질의 웨어퍼 생산이 가능하며 생산성이 향상된다.

Claims

반도체 재료 등을 절단하는 와이어 쏘우 장치에서 쏘우 와이어의 권취시 권취되는 쏘우 와이어의 트래버싱을 제어하는 방법에 있어서, 트레버싱 장치의 초기 리미트 값과 댄서 위치의 상·하한값을 제어기에 입력하는 단계(100)와; 와이어 쏘우 장치를 구동시켜 공급릴로의 쏘우 와이어가 권취릴측으로 이송되도록 하는 단계(200)와; 쏘우 와이어의 이송 중 댄서의 위치 신호와 메인 모터의 회전수를 주기적으로 입력하는 단계(300)와; 기 설정된 댄서 위치의 상·하한값과 주기적으로 입력되는 댄서의 위치를 비교하는 단계(400)와; 입력된 댄서의 위치가 허용범위 내에 있는 것으로 판단되는 경우 제어기로 트레버싱 장치를 제어하는 단계(500)로 이행하고, 허용범위를 벗어난 것으로 판단되는 경우 와이어 쏘우 장치를 정지시키는 단계(500')와; 트레버싱 장치를 제어하는 단계(500)의 경우, 정지 신호 입력 여부에 따라 와이어 쏘우 장치를 정지시키는 단계(500')와 댄서의 위치를 비교하는 단계(400) 중의 어느 일측 단계로 이행되는 정지 신호 입력 판단 단계(600)를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법.
제 1항에 있어서, 상기 제어기는, 제어 로직이 저장되어 있는 롬(21)과, 댄서의 상·하 위치 범위 및 트레버싱 장치의 초기 리미트 값을 저장하는 램(22)과, 램에 저장된 값으로부터 상기 롬의 제어 로직에 따라 새로운 리미트 값을 연산한 후 출력값에 따른 제어 명령을 내리는 하는 마이크로 프로세서(23)와, 저장값과 출력값을 표시하는 모니터(24)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법.
제 2항에 있어서, 상기 롬(21)에 저장된 제어 로직은 다음의 수학식으로 이루어짐을 특징으로 하는 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법.

수학식

상기 식에서, A는 새로운 트래버싱 리미트 값, A'는 기입력된 트래버싱 리미트 값, α는 보정계수, h(x)는 댄서의 상·하 위치에 대한 함수, V(y)는 메인 모터 회전수로 계산된 쏘우 와이어에 대한 함수, L은 댄서암의 길이, x는 댄서암의 회전 각도, D는 메인 모터에 의해 구동되는 메인 롤러의 직경, y는 메인 모터의 회전수이다.
제 2항에 있어서, 상기 롬(21)에 저장된 제어 로직은 다음의 수학식으로 이루어짐을 특징으로 하는 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법.

수학식

상기 식에서, A는 새로운 트래버싱 리미트 값, A'는 기입력된 트래버싱 리미트 값, β는 보정계수, V(y)는 메인 모터 회전수로 계산된 쏘우 와이어의 속도에 대한 함수, D는 메인 모터에 의해 구동되는 메인 롤러의 직경, y는 메인 모터의 회전수, ΔV(z)는 (보빈 권취면 중앙부 권취시의 보빈 회전수)-(보빈 권취면 각 단부 권취시의 보빈 회전수).
제 2항에 있어서, 상기 롬(21)에 저장된 제어 로직은 다음의 수학식으로 이루어짐을 특징으로 하는 와이어 쏘우 장치의 자동 트래버싱 제어 방법.

수학식

상기 식에서, A는 새로운 트래버싱 리미트 값, A'는 기입력된 트래버싱 리미트 값, α와 β는 보정계수, h(x)는 댄서의 상·하 위치에 대한 함수, V(y)는 메인 모터 회전수로 계산된 쏘우 와이어에 대한 함수, L은 댄서암의 길이, x는 댄서암의 회전 각도, D는 메인 모터에 의해 구동되는 메인 롤러의 직경, y는 메인 모터의 회전수, V(y)는 메인 모터 회전수로 계산된 쏘우 와이어에 대한 함수, ΔV(z)는 (보빈 권취면 중앙부 권취시의 보빈 회전수)-(보빈 권취면 각 단부 권취시의 보빈 회전수).