KR100531801B1 - Light emitting diode lighting apparatus and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR100531801B1 KR10-2003-0100838A KR20030100838A KR100531801B1 KR 100531801 B1 KR100531801 B1 KR 100531801B1 KR 20030100838 A KR20030100838 A KR 20030100838A KR 100531801 B1 KR100531801 B1 KR 100531801B1
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김근호
이승엽
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    • H05K2201/10106Light emitting diode [LED]

Abstract

본 발명은 발광 다이오드 조명장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 종래 발광 다이오드(LED)를 배열하여 백라이트 등의 조명장치로 사용하는 경우 크기, 광 균일성, 비용 문제로 인해 패키지 형태의 LED로 조명 장치를 구현하기 어려우며, 칩 형태로 인쇄 회로기판 상에 직접 부착하여 사용하는 경우에는 정밀한 와이어 본딩 공정이 필요하여 수율과 신뢰성이 악화되는 문제점이 있었다. 또한, 최근 제안되는 실리콘 서브 마운트에 LED를 접합한 후 이를 스템에 부착한 경우라도 외부 전원 인가를 위해서는 와이어 본딩 공정이 필수적이므로 수율과 신뢰성이 낮으며, 선광원을 제조하고자 하는 경우 특수하게 제작된 공정 장비가 필요한 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 발광 다이오드(LED)를 칩 상태로 부착할 수 있고, LED로부터의 방출광을 전면으로 집광하면서 인접 LED들 간의 광 간섭을 방지할 수 있도록 그루브를 형성하고, 상기 그루브 내부에서 외부로 연장되는 전극을 형성한 서브 마운트에 LED를 부착한 구조물을 전극 배선이 형성된 투명한 기판 상에 상하 반전하여 배치한 후 플립칩 본딩 방식으로 접합할 수 있도록 한 발광 다이오드 조명장치 및 그 제조 방법을 제공함으로써, 공정 시간과 비용 및 신뢰성을 크게 높일 수 있으며,방출광의 산란을 방지하고 상호 광 간섭을 줄여 광 효율을 크게 높일 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a light emitting diode lighting device and a method of manufacturing the same, when using a conventional light emitting diode (LED) as an illumination device such as a backlight, the lighting device as a package type LED due to size, light uniformity, cost problems It is difficult to implement, and when used directly attached to the printed circuit board in the form of a chip requires a precise wire bonding process, there was a problem that the yield and reliability deteriorate. In addition, even when the LED is bonded to the stem after the recently proposed silicon sub-mount, the wire bonding process is essential for the external power supply, so the yield and reliability are low. There was a problem that process equipment was needed. In view of the above problems, the present invention can attach a light emitting diode (LED) to a chip state, and form a groove to prevent light interference between adjacent LEDs while condensing the emitted light from the LED to the front, and the groove Light emitting diode lighting apparatus and a fabrication method of manufacturing a light emitting diode illuminating device in which a structure in which an LED is attached to a sub-mount in which an electrode extends from the inside to the outside is arranged upside down on a transparent substrate on which electrode wiring is formed, and then bonded by flip chip bonding By providing a method, it is possible to greatly increase the process time, cost and reliability, it is possible to prevent the scattering of the emitted light and to reduce the mutual optical interference to significantly increase the light efficiency.

Description

발광 다이오드 조명장치 및 그 제조 방법{LIGHT EMITTING DIODE LIGHTING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}LIGHT EMITTING DIODE LIGHTING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

본 발명은 발광 다이오드 조명장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 발광 다이오드 어레이로 이루어진 조명 장치에서 발광 다이오드를 전극이 형성된 그루브를 가진 서브 마운트에 접합한 후 이들의 발광면이 기판측 방향이 되도록 투명 기판 상에 플립칩 본딩할 수 있도록 하여 접합 용이성을 높인 발광 다이오드 조명장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting diode lighting apparatus and a method of manufacturing the same, and in particular, in a lighting apparatus consisting of a light emitting diode array, the light emitting diode is transparent so that the light emitting surface thereof is directed toward the substrate side after bonding the light emitting diode to a submount having grooves formed with electrodes The present invention relates to a light emitting diode illuminating device capable of flip chip bonding on a substrate, and to easily bonding.

일반적으로 광 방출 소자는 단순한 발광을 이용한 표시 장치로서 사용되었으나, 최근에는 다양한 파장 및 에너지를 가지는 광원으로서의 가능성이 연구되고 있다. 현재 활발하게 사용되는 발광소자로서는 레이저 다이오드(Laser Diode:LD)와 발광 다이오드(Light Emitting Diode:LED)로 크게 나눌 수 있는데, LD는 광통신 분야에서 광원으로 널리 사용되고 있으며, LED는 일반적인 표시 장치는 물론이고 조명장치나 엘씨디(LCD) 표시장치의 백라이트 소자에도 응용되는 등 적용 영역이 점차 다양해 지고 있다. In general, the light emitting device has been used as a display device using simple light emission, but recently, the possibility of a light source having various wavelengths and energy has been studied. Currently, active light emitting devices are classified into laser diodes (LDs) and light emitting diodes (LEDs). LDs are widely used as light sources in the optical communication field. In addition, the application area is gradually becoming diverse, such as being applied to backlight devices of lighting devices or LCD displays.

특히 LED는 비교적 낮은 전압으로 구동이 가능하면서도 높은 에너지 효율로 인해 발열이 낮고 수명이 긴 장점을 가지고 있으며, 종래에는 구현이 어려웠던 백색광을 고휘도로 제공할 수 있는 기술이 속속 개발됨에 따라 현재 사용되는 대부분의 조명 장치를 대체할 꿈의 기술로 기대되고 있다. In particular, LEDs can operate at a relatively low voltage, but have a low heat generation and a long lifespan due to high energy efficiency.As a result, technologies that can provide white light with high brightness, which have been difficult to implement in the past, have been developed one after another. Is expected to be the dream technology to replace the lighting device.

이러한 LED를 어레이(array)로 배열하여 자체 발광이 어려운 표시 소자의 백라이트로 사용하고자 하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 최근 사용이 급증하고 있는 박막 필름 트랜지스터(TFT) LCD에서 사용되는 냉음극관(CCFL)을 대체할 수 있는 백라이트 광원으로 기대를 모으고 있다.Research is being actively conducted to arrange such LEDs in an array and use them as backlights of display devices that are difficult to emit light. In particular, it is expected to be a backlight light source that can replace the cold cathode tube (CCFL) used in thin film transistor (TFT) LCD, which is rapidly increasing in use.

TFT LCD는 평행하게 대향하는 한 쌍의 투명전극 사이에 인가되는 전압의 크기에 따라 액정의 방향이 바뀌어 빛의 투과율을 변화시킴으로써 색을 구현하는 장치로서, 가볍고 얇으며 표시 화면이 선명할 뿐 아니라 쉽게 대면적화가 가능하여 점차 CRT(Chathod Ray Tube)를 대체해 가고 있다. 하지만, TFT LCD는 플라즈마 표시패널, 전계 발광 표시소자, CRT등과 다르게 자체적으로 발광하지 않으므로 표시장치에 빛을 공급하는 백라이트 유닛이 요구된다. 이러한 백라이트 유닛은 발광부에서 방출되는 빛이 패널 전체에 고루 퍼질 수 있도록 하는 면광원 발생장치이다.TFT LCD is a device that realizes color by changing the transmittance of light by changing the direction of liquid crystal according to the voltage applied between a pair of transparent electrodes facing in parallel. Large area is possible, and it is gradually replacing CRT (Chathod Ray Tube). However, since the TFT LCD does not emit light by itself unlike a plasma display panel, an electroluminescent display device, or a CRT, a backlight unit for supplying light to a display device is required. The backlight unit is a surface light source generator that allows the light emitted from the light emitting unit to be spread evenly throughout the panel.

도 1은 일반적인 백라이트 유닛(10)의 구조를 보이는 단면도로서, 도시한 바와 같이 다층으로 이루어져 있으며, 이러한 백라이트 유닛의 측면에서 선발광하는 광원(8)의 빛을 받아 이를 면발광시켜 고르게 퍼진 빛을 상기 백라이트 유닛(10) 상부의 LCD 패널(1)에 공급한다.1 is a cross-sectional view showing a structure of a general backlight unit 10, and is made of a multi-layer as shown in the drawing, and receives light from the light source 8 pre-emitting from the side of the backlight unit to emit light and spread the light evenly. The LCD panel 1 is supplied to the upper portion of the backlight unit 10.

상기 백라이트 유닛(10)은 상기 광원(8)에서 제공되는 빛을 받아들여 내부에 형성된 유리물질에 의해 받아들인 빛을 산란시키는 도광판(6), 상기 도광판(6)의 일측에 형성되어 빛을 반사시키는 반사판(7), 상기 도광판(6)의 타측에 위치하여 도광판(6)에서 제공되는 빛을 산란시키는 확산판(5), 상기 확산판(7)을 통해 확산된 빛이 고르게 퍼질 수 있도록 서로 직교하여 배치된 수직/수평 프리즘(4,3), 상기 수직/수평 프리즘(4,3) 상에 배치된 보호층(2)으로 이루어진다.The backlight unit 10 is formed on one side of the light guide plate 6 and the light guide plate 6 that receives the light provided from the light source 8 and scatters the light received by the glass material formed therein to reflect the light. The reflective plate 7, the diffuser plate 5 positioned at the other side of the light guide plate 6 to scatter the light provided from the light guide plate 6, and the light diffused through the diffuser plate 7 can be spread evenly. It consists of a vertical / horizontal prism 4,3 arranged at right angles and a protective layer 2 disposed on the vertical / horizontal prism 4,3.

상기 광원(8)은 일반적으로 발열량이 적으며 고른 선발광을 제공하는 냉음극관(CCFL)이 사용되지만, 구동 전압이 높으며 전력 소모가 심한 문제점으로 인해 점광원인 LED를 일렬로 배열하여 선광원 처럼 사용하기도 한다. LED를 배열하여 선광원으로 사용하면 제조 비용, 구동 전력 및 전력 제어부 크기가 크게 줄어드는 이점이 있으며 점차 높은 휘도의 LED가 제공됨에 따라 표시부 밝기 역시 CCFL 광원에 비해 손색이 없다.The light source 8 generally uses a cold cathode tube (CCFL) that generates a small amount of heat and provides even light emission. Also used. By arranging LEDs as a line light source, manufacturing cost, driving power, and power control unit size are greatly reduced, and the brightness of the display unit is also comparable to that of the CCFL light source due to the provision of increasingly high brightness LEDs.

도 2는 백라이트 광원으로 사용되는 일반적인 LED의 구조를 보이는 단면도로서, 도시한 바와 같이 사파이어나 n-GaAs 등의 기판(21) 상부에 순차적으로 버퍼층(22), n-접촉(n-contact)층(23), 활성층(24), p-접촉층(25)을 화학 기상 증착 기법에 의하여 연속 증착하고, 사진 식각 공정 및 습식/건식 식각 방법에 의하여 n-접촉층(23)이 노출되도록 패터닝 한다. 이후, 형성된 구조물 상부에 절연층(26)을 증착하고 전기적인 연결을 위하여 구조물 상부의 p-접촉층(25)과 상기 과정에서 노출시킨 n-접촉층(23)의 일부가 드러나도록 패터닝한다. 그리고, 상기 노출된 p-접촉층(25)과 n-접촉층(23) 상부에 금속을 성막후 패터닝하여 p-전극(27)과 n-전극(28)을 형성한다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a structure of a general LED used as a backlight light source, and a buffer layer 22 and an n-contact layer are sequentially formed on a substrate 21 such as sapphire or n-GaAs, as shown. (23), the active layer 24 and the p-contact layer 25 are continuously deposited by chemical vapor deposition, and patterned to expose the n-contact layer 23 by a photolithography process and a wet / dry etching method. . Thereafter, the insulating layer 26 is deposited on the formed structure and patterned to expose the p-contact layer 25 on the structure and a portion of the n-contact layer 23 exposed in the above process for electrical connection. Then, a metal is formed on the exposed p-contact layer 25 and n-contact layer 23 after patterning to form a p-electrode 27 and an n-electrode 28.

상기와 같이 구성된 발광 다이오드는 p-전극(27)과 n-전극(28) 사이에 전압을 인가하는 것으로 발광하게 되는데, 전압이 인가되면 p-전극(27)과 n-전극(28)으로 정공과 전자가 주입되고 활성층(24)에서 정공과 전자가 재결합하면서 광을 외부로 방출하는 원리를 이용한다.The light emitting diode configured as described above emits light by applying a voltage between the p-electrode 27 and the n-electrode 28, and when a voltage is applied, holes are formed into the p-electrode 27 and the n-electrode 28. And electrons are injected and holes and electrons are recombined in the active layer 24 to emit light to the outside.

상기 칩 상태로 형성된 LED는 직접 기판 상에 적용될 수 있고, 다양한 패키지(에폭시 몰딩, 캔형 패키지)에 부착되어 사용되기도 한다. 하지만, 에폭시 몰딩형으로 형성되는 경우 에폭시에 의해 광 효율이 낮아지고 고른 발광 효과를 얻기 힘들며, 발생하는 열을 외부로 발산시키기 어렵다. 그리고 크기가 크기 때문에 조밀한 배치가 어렵다. 캔형 패키지(TO-can)에 부착되어 사용되는 경우 패키지의 크기가 크기 때문에 선광원 형성을 위한 조밀한 배치가 어려우며 비용이 높아진다. 따라서, 인쇄 회로 기판 상에 전극 패턴을 형성한 후 해당 패턴에 LED칩을 직접 접착한 후 와이어 본딩으로 전극을 연결하는 방식이 주로 사용되는데, 공정 시간이 오래 걸리며 불량 발생이 심하고 신뢰성이 낮은 와이어 본딩 기법으로 LED에 전원을 인가하므로 수율이 낮고 비용이 높아지게 된다. 또한, 인쇄 회로 기판은 조밀하게 배치된 LED 소자들이 구동하는 경우 발생하는 열을 효과적으로 분산시키기 어려워 소자의 수명을 낮추고 특성을 변화시킬 수 있다.The LED formed in the chip state may be directly applied on a substrate, and may be attached to various packages (epoxy molding, can-type package). However, when formed in the epoxy molding type, the light efficiency is lowered by the epoxy, it is difficult to obtain an even light emission effect, and it is difficult to dissipate the generated heat to the outside. And because of its large size, compact placement is difficult. When used in a can-type package (TO-can), the size of the package is large, which makes it difficult and dense to form a line light source. Therefore, a method of forming an electrode pattern on a printed circuit board and directly attaching an LED chip to the pattern, and then connecting the electrode by wire bonding is mainly used. It takes a long process time, generates bad defects, and has low reliability. The technique powers the LEDs, resulting in lower yields and higher costs. In addition, the printed circuit board is difficult to effectively dissipate heat generated when the densely arranged LED devices are driven, which can lower the life of the device and change its characteristics.

따라서, 최근에는 반도체 공정을 이용하여 LED 서브 마운트를 형성한 후, 상기 서브 마운트에 LED를 연결하여 전극 배선이 형성된 기판 상에 LED가 부착된 서브 마운트를 배열하여 사용하고 있다. 하지만, 일반적인 서브 마운트는 실리콘 기판 상에 LED 전극와 연결되는 전극층을 형성하여 상기 전극층에 LED를 배치하고, 연장된 전극층을 와이어 본딩 패드로 이용하여 기판 상에 형성된 전극 배선과 와이어 본딩 기법을 이용하여 연결시키도록 한다. 이 경우 직접 기판 상에 LED 칩을 부착하는 경우에 비해 넓은 와이어 본딩 패드를 이용할 수 있어 공정이 용이해진다.Therefore, in recent years, after the LED sub-mount is formed by using a semiconductor process, LEDs are connected to the sub-mounts, and sub-mounts with LEDs are arranged and used on a substrate on which electrode wiring is formed. However, the general sub-mount forms an electrode layer connected to the LED electrode on the silicon substrate to arrange the LED on the electrode layer, and connects the electrode wiring formed on the substrate using the extended electrode layer as a wire bonding pad and a wire bonding technique. Let's do it. In this case, a wider wire bonding pad can be used than in the case of directly attaching the LED chip on the substrate, thereby facilitating the process.

하지만, 이렇게 종래 서브 마운트를 이용하는 경우라도 외부 전원과의 연결을 위해서는 수율이 낮은 와이어 본딩을 사용해야 하므로 불량률이 높고 공정 시간이 오래 걸리며, 전체적인 신뢰성 역시 크게 낮아지게 된다. 특히 선광원을 형성하기 위해서는 길이가 긴 구조에 대한 와이어 본딩이 실시되어야 하므로 특수하게 제작된 와이어 본딩 장비가 필요하다.However, even in the case of using a conventional sub-mount, a low yield wire bonding should be used to connect to an external power source, so that the defect rate is high, the process takes a long time, and the overall reliability is also greatly lowered. In particular, wire bonding for a long structure must be performed to form a linear light source, and thus a specially manufactured wire bonding equipment is required.

상기한 바와 같이 종래 발광 다이오드(LED)를 배열하여 백라이트 등의 조명장치로 사용하는 경우 크기, 광 균일성, 비용 문제로 인해 패키지 형태의 LED로 조명 장치를 구현하기 어려우며, 칩 형태로 인쇄 회로기판 상에 직접 부착하여 사용하는 경우에는 정밀한 와이어 본딩 공정이 필요하여 수율과 신뢰성이 악화되는 문제점이 있었다. 또한, 최근 제안되는 실리콘 서브 마운트에 LED를 접합한 후 이를 스템에 부착한 경우라도 외부 전원 인가를 위해서는 와이어 본딩 공정이 필수적이므로 수율과 신뢰성이 낮으며, 선광원을 제조하고자 하는 경우 특수하게 제작된 공정 장비가 필요한 문제점이 있었다. As described above, when the LEDs are arranged and used as a lighting device such as a backlight, it is difficult to implement the lighting device as a packaged LED due to size, light uniformity, and cost, and a printed circuit board in the form of a chip. In the case of using directly attached to the phase, a precise wire bonding process is required, and thus there is a problem that the yield and reliability deteriorate. In addition, even when the LED is bonded to the stem after the recently proposed silicon sub-mount, the wire bonding process is essential for the external power supply, so the yield and reliability are low. There was a problem that process equipment was needed.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 발광 다이오드(LED)를 칩 상태로 부착할 수 있고, LED로부터의 방출광을 전면으로 집광하면서 인접 LED들 간의 광 간섭을 방지할 수 있도록 그루브를 형성하고, 상기 그루브 내부에서 외부로 연장되는 전극을 형성한 서브 마운트에 LED를 부착한 구조물을 전극 배선이 형성된 투명한 기판 상에 뒤집어 배치한 후 플립칩 본딩 방식으로 접합할 수 있도록 함으로써, 수율과 신뢰성이 낮고 비용이 높은 와이어 본딩 공정을 생략하여 공정 시간과 비용 및 신뢰성을 높이고, 방출광의 산란을 방지하고 상호 광 간섭을 줄여 광 효율을 크게 높일 수 있는 발광 다이오드 조명장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. In view of the above problems, the present invention can attach a light emitting diode (LED) in a chip state, and form a groove to prevent optical interference between adjacent LEDs while condensing the emitted light from the LED to the front. Structures with LEDs attached to the sub-mounts with electrodes extending from the inside to the outside of the grooves can be placed upside down on a transparent substrate with electrode wiring, and then bonded by flip chip bonding, resulting in low yield, reliability and low cost. It is an object of the present invention to provide a light emitting diode lighting apparatus and a method of manufacturing the same, which can increase process time, cost, and reliability by preventing a high wire bonding process, prevent scattering of emitted light, and greatly increase light efficiency by reducing mutual light interference.

상기와 같은 목적을 달성하기위한 본 발명은, 다수의 발광 다이오드가 배치되어 선광원 혹은 면광원 역할을 하는 발광 다이오드 조명장치에 있어서, 발광 다이오드가 접합될 영역에 발광 다이오드 높이 이상의 그루브가 형성되며, 상기 그루브 내부에서 외부까지 연장되는 전극이 형성된 실리콘 서브 마운트와; 상기 각 서브 마운트의 그루브에 형성된 전극과 솔더층을 이용하여 연결된 발광 다이오드와; 상기 발광 다이오드가 연결된 서브 마운트의 전극이 표면에 형성된 전극 배선과 플립칩 본딩되는 투명한 기판을 포함하는 것을 특징으로 한다. In the present invention for achieving the above object, in the light emitting diode lighting apparatus in which a plurality of light emitting diodes are arranged to serve as a line light source or a surface light source, grooves of a light emitting diode height or more are formed in a region to which the light emitting diodes are bonded. A silicon sub-mount in which electrodes extending from the groove to the outside are formed; A light emitting diode connected to the electrodes formed on the grooves of the sub-mounts by using a solder layer; The electrode of the sub-mount, to which the light emitting diode is connected, comprises a transparent substrate that is flip-chip bonded with electrode wiring formed on a surface thereof.

또한, 본 발명은 실리콘 기판의 일부를 마스크층을 이용하여 벌크 식각하는 것으로 발광 다이오드가 배치될 그루브를 형성하는 단계와; 상기 형성된 그루브 내부에서 그루브 외부까지 연장되는 전극층을 형성하는 단계와; 상기 실리콘 기판 구조물을 그루부 단위로 절삭하여 서브 마운트를 형성한 후, 그루브 내부의 전극층에 발광 다이오드를 접합하는 단계와; 별도의 공정을 통해 전극 배선을 표면 상에 형성한 투명 기판을 준비하는 단계와; 상기 발광 다이오드가 배치되며, 기판 상에 연장된 전극을 가진 서브 마운트를 뒤집어 상기 서브 마운트 상의 전극을 상기 투명 기판 상의 전극 배선에 플립칩 본딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention provides a method of forming a groove in which a light emitting diode is to be disposed by bulk etching a portion of a silicon substrate using a mask layer; Forming an electrode layer extending from the inside of the groove to the outside of the groove; Cutting the silicon substrate structure by a groove to form a sub-mount, and then bonding a light emitting diode to an electrode layer in the groove; Preparing a transparent substrate on which an electrode wiring is formed on a surface through a separate process; And disposing a sub-mount having an electrode extending on the substrate to flip-chip bond the electrode on the sub-mount to the electrode wiring on the transparent substrate.

상기와 같은 방법으로 실시되는 본 발명의 실시예들을 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. DETAILED DESCRIPTION OF THE EMBODIMENTS Embodiments of the present invention implemented as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명 일 실시예의 구조를 보이는 단면도로서, 도시한 바와 같이 투명한 기판(40) 상에 형성된 전극 배선(41) 상부에 발광 다이오드(LED)(36)가 부착된 서브 마운트(30)를 정렬시켜 선발광 혹은 면발광이 가능한 LED 조명 장치를 구성한 것이다. 상기 구조에서 광의 방출 방향은 상기 투명한 기판(40) 쪽이라는 것에 주목한다.3 is a cross-sectional view showing a structure of an embodiment of the present invention, as shown in the sub-mount 30 is attached to the light emitting diode (LED) 36 on the electrode wiring 41 formed on the transparent substrate 40 It is an LED lighting device that can be aligned or surface-emitting. Note that the emission direction of light in the structure is toward the transparent substrate 40.

상기 도시된 구조의 상부, 즉 서브 마운트(30)의 기판 부분에는 발광 다이오드(36)의 구동에 의한 열을 발산시키는 방열판이 더 형성될 수 있으나, 본 구조에서는 서브 마운트들이 상호 이격되어 있으므로 열 간섭이 없고, 열발산을 위한 표면적이 넓으므로 자체적으로도 방열 효율은 높은 편이다.A heat sink for dissipating heat generated by the driving of the light emitting diodes 36 may be further formed on the upper portion of the illustrated structure, that is, the substrate portion of the sub-mount 30. The heat dissipation efficiency is also high on its own since there is no surface area for heat dissipation.

상기 전극 배선(41)은 투명한 전극(Indume Tin Oxide:ITO, ZnO 등)을 이용하는 경우 광 방출 효율을 크게 높일 수 있으나, 광의 방출 경로를 피할 수 있는 전극 패선 패터닝이 가능하다면 일반적인 불투명한 금속 전극을 이용할 수도 있어 비용을 줄일 수 있다.The electrode wiring 41 may greatly improve light emission efficiency when using transparent electrodes (Indume Tin Oxide (ITO, ZnO, etc.)), but may be generally opaque metal electrodes if electrode patterning is possible to avoid light emission paths. Can also be used to reduce costs.

상기 LED(36)를 지지하는 서브 마운트(30)는 본 발명의 핵심이 되는 구조물로서, 실리콘 기판(31)을 벌크 식각하여 LED(36)가 배치될 부분에 소정 깊이의 그루브(groove)를 형성한다. 도시된 바와 같이 상기 서브 마운트(30)는 LED(36)를 장착한 후 상하 반전되어 투명 기판(40) 상에 장착되므로 상기 실리콘 기판(31)의 두께는 LED(36)의 장착에 필요한 깊이 이상이어야 하며, 상기 그루브의 깊이 역시 LED(36)의 높이 보다 높아야 한다. The sub-mount 30 supporting the LED 36 is a core structure of the present invention. The silicon substrate 31 is bulk-etched to form grooves having a predetermined depth in a portion where the LED 36 is to be disposed. do. As shown, since the sub-mount 30 is mounted upside down after mounting the LED 36 on the transparent substrate 40, the thickness of the silicon substrate 31 is greater than or equal to the depth required for mounting the LED 36. The depth of the groove should also be higher than the height of the LED 36.

상기 그루부는 실리콘 기판의 결정 구조에 의해 벌크 식각 시 소정의 각도를 가지도록 식각되며, 이러한 특성에 의해 도시된 바와 같이 전극층(34)을 쉽게 형성할 수 있다. 상기 전극층(34)은 실리콘 기판(31)에 형성된 그루브 내부로부터 그루브가 형성되지 않은(LED(36)의 장착 위치를 벗어난) 실리콘 기판(31) 상부까지 연장되도록 한다. 상기 연장된 부분은 이후 상기 LED(36)에 전원을 제공하기 위한 플립칩 본딩용 패드로 사용된다. 상기와 같은 그루브를 형성한 서브 마운트(30)는 대단히 다양한 효과를 얻을 수 있도록 하는데, 먼저 도시된 바와 같은 플립칩 본딩이 가능하도록 하며, LED(36)의 동작 시 발생할 수 있는 열을 공기중으로 빠르게 분산하도록 LED(36) 장착 부분의 실리콘 두께를 줄일 수 있다. 그리고, 인접한 LED(36)들간의 광 간섭을 방지하고 광의 방출 방향을 전면으로 집광할 수 있으며 그루브 상에 반사층을 더 형성하는 경우 발광 효율을 크게 향상시킬 수 있도록 한다.The groove is etched to have a predetermined angle during bulk etching by the crystal structure of the silicon substrate, and the electrode layer 34 can be easily formed as shown by this characteristic. The electrode layer 34 extends from the inside of the groove formed in the silicon substrate 31 to the top of the silicon substrate 31 where the groove is not formed (out of the mounting position of the LED 36). The extended portion is then used as a flip chip bonding pad for powering the LED 36. The sub-mount 30 having the grooves as described above can achieve a wide variety of effects. First, flip chip bonding as shown in the drawing can be achieved, and heat generated during operation of the LED 36 can be rapidly generated in the air. The silicon thickness of the LED 36 mounting portion can be reduced to disperse. In addition, light interference between adjacent LEDs 36 may be prevented and the light emission direction may be focused to the front, and the light emitting efficiency may be greatly improved when a reflective layer is further formed on the groove.

상기 그루브 영역에서의 실리콘 기판(31) 두께는 물리적으로 가능한 한계까지 낮아질 수 있으며, 이러한 경우라도 그루브를 둘러싸는 실리콘 기판(31)이 충분한 물리적 강도를 가지므로 전체적으로는 물리적 강도를 유지할 수 있다.The thickness of the silicon substrate 31 in the groove region can be lowered to a physically possible limit, and even in this case, the silicon substrate 31 surrounding the groove has sufficient physical strength, so that the overall physical strength can be maintained.

상기 구조만으로도 본 발명을 달성할 수 있지만, 이미 언급한 바와 같이 보다 효과적으로 LED(36)의 광 방출을 전면 방향으로 집중시키기 위해서 상기 실리콘 기판(31) 상에 반사층(32)을 형성할 수 있다. 일반적으로 이러한 반사층(32)은 반사 계수가 높은 Ag나 Al등의 금속을 이용하기 때문에 상기 전극층(34)과의 전기적인 접촉을 방지하기위해 반사층(32) 상부에 투명한 절연층(33)을 더 형성해 주는 것이 바람직하다. 하지만, 상기 전극층(34)을 반사율이 높은 물질로 만들면서 적절히 패터닝한다면 전극과 절연되는 반사층을 한번의 금속 공정으로 만들 수도 있다. Although the present invention can be achieved with the above structure alone, as described above, the reflective layer 32 may be formed on the silicon substrate 31 to more effectively concentrate the light emission of the LED 36 in the front direction. In general, since the reflective layer 32 uses a metal such as Ag or Al having a high reflection coefficient, a transparent insulating layer 33 is further formed on the reflective layer 32 to prevent electrical contact with the electrode layer 34. It is preferable to form. However, if the electrode layer 34 is properly patterned while being made of a material having a high reflectance, the reflective layer insulated from the electrode may be made in one metal process.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명 일 실시예의 제조 과정을 보인 수순 단면도로서, 도시한 바와 같이 도 3에 설명한 본 발명 일 실시예의 구성 중 서브 마운트(30)에 대한 제조 과정과 LED(36) 접합 과정을 보인 것이다. 4A to 4E are sectional views illustrating a manufacturing process of an embodiment of the present invention, and the manufacturing process for the sub-mount 30 and the LED 36 bonding process of the configuration of the embodiment of the present invention described with reference to FIG. 3 as shown. Will be shown.

먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이 실리콘 기판(31) 상에 마스크층을 형성하거나 이미 마스크층이 형성된 실리콘 기판(31)을 이용하여 LED 장착 영역에 대한 벌크 식각에 필요한 마스크 패턴을 형성한다.First, as shown in FIG. 4A, a mask layer is formed on the silicon substrate 31 or a mask pattern necessary for bulk etching the LED mounting region is formed using the silicon substrate 31 on which the mask layer is already formed.

그 다음, 도 4b에 도시한 바와 같이 상기 마스크 패턴을 이용하여 상기 실리콘 기판(31)의 일부를 습식 식각한다. 이러한 벌크 식각 공정을 통해 소정의 각도를 가지는 그루브들이 LED가 배치될 영역마다 형성되는데, 그 깊이는 이후 장착될 LED의 높이 보다 깊도록 하여 측면으로 새어 나가는 빛을 최대한 줄일 수 있도록 하며, 구조물을 상하 반전하여 플립칩 본딩이 가능하도록 한다. 이후 상기 마스크층을 제거한 후, 형성된 구조물 상부 전면에 높은 반사계수를 가지는 금속 반사층(32)과 절연을 위한 절연층(33)을 차례로 형성한다. 상기 금속 반사층(32)은 Ag나 Al과 같은 높은 반사도의 금속을 증착법, 리프트 오프(lift-off)법 등을 통해 형성하며 전면이 아닌 필요한 부분에만 부분적으로 형성할 수도 있다. 하지만, 이미 설명한 바와 같이 이후 형성할 전극 형성 공정에서 일괄 실시될 수도 있다는데 주의한다. 그리고, 상기 절연층(33)은 실리콘 질화막등의 반도체 공정 상 사용되는 일반적인 절연막을 사용할 수 있다. 그러나 높은 반사 효과를 위해서 투명한 절연체를 이용하는 것이 바람직하다.Next, as shown in FIG. 4B, a portion of the silicon substrate 31 is wet etched using the mask pattern. Through such a bulk etching process, grooves having a predetermined angle are formed in each area where the LED is to be disposed, and the depth thereof is deeper than the height of the LED to be mounted thereafter, so as to reduce the light leaking out to the side as much as possible. Inverted to enable flip chip bonding. After removing the mask layer, a metal reflective layer 32 having a high reflection coefficient and an insulating layer 33 for insulation are sequentially formed on the entire upper surface of the formed structure. The metal reflective layer 32 is formed of a highly reflective metal, such as Ag or Al, by a deposition method, a lift-off method, or the like. However, as described above, it may be carried out in a batch process in the electrode forming process to be formed later. As the insulating layer 33, a general insulating film used in a semiconductor process such as a silicon nitride film may be used. However, it is preferable to use a transparent insulator for high reflection effect.

그 다음, 도 4c에 도시한 바와 같이 상기 형성된 절연층(33) 상부에 금속 식각 혹은 리프트 오프법으로 이후 장착될 LED에 전압을 인가하기 위한 전극층(34)을 형성하는데, 상기 전극층(34)은 그루브의 하단 부분부터 그루브가 형성되지 않은 실리콘 기판(31) 상부 영역까지 연장되도록 한다. 상기 전극층(34)은 LED의 장착을 위한 솔더용 패드(그루브 내부)와 외부 전원 연결을 위한 플립칩 본딩 패드(그루브 외부)를 구비해야 한다.Next, as shown in FIG. 4C, an electrode layer 34 is formed on the formed insulating layer 33 to apply a voltage to the LED to be subsequently mounted by metal etching or lift-off. It extends from the lower end of the groove to the upper region of the silicon substrate 31 where the groove is not formed. The electrode layer 34 should have a solder pad (inside the groove) for mounting the LED and a flip chip bonding pad (outside the groove) for external power connection.

그 다음, 도 4d에 도시한 바와 같이 상기 형성된 그루브 내부의 전극층(34) 상에 LED 접합을 위한 솔더층(35)을 형성하고, 서브 마운트 형태로 절삭(dicing)한다. 상기 솔더층(35)은 Au-Sn, In, Pb, Pb-Sn등의 전기적, 구조적으로 LED를 연결할 수 있는 소재를 사용한다.Next, as shown in FIG. 4D, a solder layer 35 for LED bonding is formed on the electrode layer 34 inside the formed groove, and cut into a sub-mount. The solder layer 35 uses a material that can electrically connect LEDs such as Au-Sn, In, Pb, and Pb-Sn.

그 다음, 도 4e에 도시한 바와 같이 칩 형태로 절삭된 서브 마운트 상에 LED(36)를 배치한 후 열처리하여 상기 LED(36)를 서브 마운트에 접합한다.Next, as shown in FIG. 4E, the LED 36 is disposed on the chip-cut submount, and then heat-treated to bond the LED 36 to the submount.

이후, 상기 형성된 LED(36) 및 서브 마운트(30)를 상하 반전하여 전극 배선이 형성된 투명한 기판 상에 다양한 정렬 방식으로 부착하여 조명장치를 구현한다. 상기 LED(36)는 동일한 파장의 발광 색상으로 통일될 수 있으며, 색상 형성을 위해 적색, 녹색, 청색과 같은 빛의 3원색으로 적절히 배치할 수 있다.Thereafter, the formed LED 36 and the sub-mount 30 are inverted up and down to attach to the transparent substrate on which the electrode wiring is formed in various alignment methods to implement the lighting apparatus. The LED 36 may be unified in the emission color of the same wavelength, it may be appropriately arranged in three primary colors of light, such as red, green, blue to form a color.

도 5는 상기 형성한 서브 마운트 구조물(30)이 장착될 투명 기판(40) 및 전극 배선(41)을 나타낸 것이다. 5 shows the transparent substrate 40 and the electrode wiring 41 on which the formed submount structure 30 is to be mounted.

도시된 바와 같이, 유리기판 혹은 석영 기판등의 투명한 기판(40) 전면에 투명 전극 물질을 성막 및 패터닝하여 전극 배선(41)을 형성한다. 본 실시예에서는 모든 LED를 병렬 구동하기 위한 전극 배선(41)이 형성되어 있으나 개별 LED를 구동하거나 소정의 조합으로 LED를 구동하기 위한 배선이 형성될 수도 있다. 상기 전극 배선(41)의 상부 일부 서브 마운트 연결 부분에 접합을 위한 솔더층(42)을 형성한다. 상기 전극 배선(41)의 형태에 따라 LED가 접합된 서브 마운트를 다양한 정렬 방식으로 부착할 수 있으므로 다양한 용도의 조명 장치를 형성할 수 있다.As illustrated, the electrode wiring 41 is formed by forming and patterning a transparent electrode material on the entire surface of the transparent substrate 40 such as a glass substrate or a quartz substrate. In this embodiment, although the electrode wiring 41 for driving all LEDs in parallel is formed, the wiring for driving the individual LEDs or the LEDs in a predetermined combination may be formed. A solder layer 42 for bonding is formed on a portion of the submount connection of the upper part of the electrode wiring 41. According to the shape of the electrode wiring 41, the sub-mount to which the LED is bonded can be attached in various alignment methods, thereby making it possible to form lighting devices for various uses.

이후, 도 3에 이미 도시한 바와 같이 상기 솔더층(42) 상부에 LED가 장착된 서브 마운트(30)를 상하 반전하여 정렬한 후 열처리하여 플립칩 접합을 실시한다. Thereafter, as shown in FIG. 3, the sub-mount 30 having the LED mounted on the solder layer 42 is vertically inverted and then heat-treated to perform flip chip bonding.

전술한 바와 같이 본 발명은 LED 어레이로 이루어진 조명장치에서 LED의 발광 방향을 광 방출면으로 집중시켜 효율을 높이고, 인접한 LED와의 간섭을 억제하할 수 있으며, 무엇보다도 플립칩 본딩 방식을 이용하여 공정 용이성을 높이고 비용을 줄일 수 있다. 상기와 같은 방식으로 형성되는 조명 장치는 표시부 백라이트를 비롯하여 단순 조명, 신호등, 차량의 표시 라이트 등 다양한 응용 분야에서 활용될 수 있다.As described above, the present invention can improve the efficiency by focusing the light emitting direction of the LED to the light emitting surface in the illumination device consisting of LED array, can suppress the interference with the adjacent LED, and most of all the process using a flip chip bonding method It can increase ease of use and reduce costs. The lighting device formed in the above manner may be utilized in various applications such as a display backlight, simple lighting, a traffic light, and a display light of a vehicle.

상기한 바와 같이 본 발명 발광 다이오드 조명장치 및 그 제조 방법은 발광 다이오드(LED)를 칩 상태로 부착할 수 있고, LED로부터의 방출광을 전면으로 집광하면서 인접 LED들 간의 광 간섭을 방지할 수 있도록 그루브를 형성하고, 상기 그루브 내부에서 외부로 연장되는 전극을 형성한 서브 마운트에 LED를 부착한 구조물을 전극 배선이 형성된 투명한 기판 상에 상하 반전하여 배치한 후 플립칩 본딩 방식으로 접합할 수 있도록 함으로써, 공정 시간과 비용 및 신뢰성을 크게 높일 수 있으며,방출광의 산란을 방지하고 상호 광 간섭을 줄여 광 효율을 크게 높일 수 있는 효과가 있다.As described above, the LED lighting apparatus of the present invention and a method of manufacturing the same can attach a light emitting diode (LED) in a chip state, and collect light emitted from the LED to the front to prevent optical interference between adjacent LEDs. By forming a groove, the structure in which the LED is attached to the sub-mount in which the electrode extends from the groove to the outside is disposed upside down on the transparent substrate on which the electrode wiring is formed, and then bonded by flip chip bonding. In addition, the process time, cost and reliability can be greatly increased, and the light efficiency can be greatly increased by preventing scattering of emitted light and reducing mutual light interference.

도 1은 박막 필름 트랜지스터 엘씨디의 백라이트 구조를 보인 단면도.1 is a cross-sectional view showing a backlight structure of a thin film transistor LCD.

도 2는 일반적인 발광 다이오드의 단면도.2 is a cross-sectional view of a general light emitting diode.

도 3은 본 발명 일 실시예에 따른 발광 다이오드 백라이트 광원.3 is a light emitting diode backlight light source according to an embodiment of the present invention.

도 4a내지 도4e는 본 발명 일 실시예의 제조과정을 도시한 수순단면도.Figures 4a to 4e is a cross-sectional view showing the manufacturing process of an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명 일 실시예에 따른 투명 기판 및 전극 배선을 나타낸 평면도.5 is a plan view showing a transparent substrate and the electrode wiring according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

30: 서브 마운트 31: 기판30: submount 31: substrate

32: 반사층 33: 절연층32: reflective layer 33: insulating layer

34: 전극층 35: 솔더층34: electrode layer 35: solder layer

36: 발광 다이오드 40: 투명기판36: light emitting diode 40: transparent substrate

41: 전극 배선 42: 기판 솔더층41: electrode wiring 42: substrate solder layer

Claims (7)

다수의 발광 다이오드가 배치되어 선광원 혹은 면광원 역할을 하는 발광 다이오드 조명장치에 있어서, 발광 다이오드가 접합될 영역에 발광 다이오드 높이 이상의 그루브가 형성되며, 상기 그루브 내부에서 외부까지 연장되는 전극이 형성된 실리콘 서브 마운트와; 상기 각 서브 마운트의 그루브에 형성된 전극과 솔더층을 이용하여 연결된 발광 다이오드와; 상기 발광 다이오드가 연결된 서브 마운트의 전극이 표면에 형성된 전극 배선과 플립칩 본딩되는 투명한 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 조명장치.In a light emitting diode lighting apparatus in which a plurality of light emitting diodes are disposed to serve as a line light source or a surface light source, grooves having a height greater than the light emitting diodes are formed in a region to which the light emitting diodes are bonded, and silicon having electrodes extending from the grooves to the outside. A submount; A light emitting diode connected to the electrodes formed on the grooves of the sub-mounts by using a solder layer; And a transparent substrate on which the electrodes of the sub-mount to which the light emitting diodes are connected are flip chip bonded to the electrode wirings formed on the surface thereof. 제 1항에 있어서, 상기 투명 기판은 유리 기판이나 석영기판을 포함하는 투명한 소재의 기판인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 조명장치.The light emitting diode illuminating device according to claim 1, wherein the transparent substrate is a substrate made of a transparent material including a glass substrate or a quartz substrate. 제 1항에 있어서, 상기 투명 기판의 표면에 형성된 전극 배선은 투명한 전극인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 조명장치. The light emitting diode illuminating device according to claim 1, wherein the electrode wiring formed on the surface of the transparent substrate is a transparent electrode. 제 1항에 있어서, 상기 서브 마운트를 이루는 실리콘 기판 상에 빛의 반사도가 높은 반사층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 조명장치.The light emitting diode illuminating device according to claim 1, further comprising a reflective layer having high reflectance of light on the silicon substrate forming the sub-mount. 실리콘 기판의 일부를 마스크층을 이용하여 벌크 식각하는 것으로 발광 다이오드가 배치될 그루브를 형성하는 단계와; 상기 형성된 그루브 내부에서 그루브 외부까지 연장되는 전극층을 형성하는 단계와; 상기 실리콘 기판 구조물을 그루부 단위로 절삭하여 서브 마운트를 형성한 후, 그루브 내부의 전극층에 발광 다이오드를 접합하는 단계와; 별도의 공정을 통해 전극 배선을 표면 상에 형성한 투명 기판을 준비하는 단계와; 상기 발광 다이오드가 배치되며, 기판 상에 연장된 전극을 가진 서브 마운트를 뒤집어 상기 서브 마운트 상의 전극을 상기 투명 기판 상의 전극 배선에 플립칩 본딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 조명장치 제조 방법.Bulk etching a portion of the silicon substrate using a mask layer to form a groove in which the light emitting diode is to be disposed; Forming an electrode layer extending from the inside of the groove to the outside of the groove; Cutting the silicon substrate structure by a groove to form a sub-mount, and then bonding a light emitting diode to an electrode layer in the groove; Preparing a transparent substrate on which an electrode wiring is formed on a surface through a separate process; And disposing a sub-mount having an electrode extending on the substrate, flip-bonding the electrode on the sub-mount to the electrode wiring on the transparent substrate. . 제 5항에 있어서, 상기 실리콘 기판 상에 전극을 형성하는 단계는, 상기 그루브가 형성된 실리콘 기판 상부에 반사도가 높은 금속 반사층을 형성하고 그 상부에 투명한 절연층을 형성하는 단계와; 상기 형성된 절연층 상부 일부에 상기 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 조명장치 제조 방법.6. The method of claim 5, wherein forming an electrode on the silicon substrate comprises: forming a highly reflective metal reflective layer on the grooved silicon substrate and forming a transparent insulating layer thereon; And forming the electrode layer on the upper part of the formed insulating layer. 제 5항에 있어서, 상기 실리콘 기판 상에 전극을 형성하는 단계는, 상기 그루브가 형성된 실리콘 기판 상부에 반사도가 높은 금속층을 형성하고 전극 패턴 및 반사층을 동시에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 조명장치 제조 방법.The method of claim 5, wherein the forming of the electrode on the silicon substrate comprises forming a metal layer having high reflectivity on the silicon substrate on which the groove is formed, and simultaneously forming an electrode pattern and a reflective layer. Method of manufacturing diode lighting device.
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