KR100520727B1

KR100520727B1 - Rectangular gate vacuum valve

Info

Publication number: KR100520727B1
Application number: KR1020050013558A
Authority: KR
Inventors: 지종우
Original assignee: 주식회사 에스티에스
Priority date: 2005-02-18
Filing date: 2005-02-18
Publication date: 2005-10-13

Abstract

본 발명은 사각 게이트 진공밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 사각 게이트 진공밸브는 밸브하우징(100); 상기 밸브하우징(100) 상단의 홀을 통하여 수직으로 움직이는 한 쌍의 메인샤프트(210); 상기 한 쌍의 메인샤프트(210)의 선단부에 연결되어 웨이퍼 이동통로를 개폐하는 블레이드(150); 상기 한 쌍의 메인샤프트(210)의 후단부에 고정연결된 하나의 롤링플레이트(220); 상기 블레이드(150)를 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 직선 운동시키는 밸브구동부; 상기 밸브구동부와 결합되어 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 직선 운동하는 무빙유닛(230); 일단이 상기 무빙유닛(230)에 결합되고 타단이 상기 롤링플레이트(220)에 결합되어, 상기 무빙유닛의 직선 운동력으로 상기 롤링플레이트를 소폭 회전운동시키어 상기 메인샤프트(210) 및 상기 블레이드(150)를 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면과 수직한 방향으로 이동시키는 링크(240);를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a square gate vacuum valve, the square gate vacuum valve according to the present invention includes a valve housing (100); A pair of main shafts 210 vertically moving through the holes in the upper end of the valve housing 100; A blade 150 connected to the distal end of the pair of main shafts 210 to open and close a wafer movement path; A rolling plate 220 fixedly connected to the rear end of the pair of main shafts 210; A valve driver for linearly moving the blade 150 in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement path; A moving unit 230 coupled to the valve driving unit to linearly move in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement path; One end is coupled to the moving unit 230 and the other end is coupled to the rolling plate 220, and the main shaft 210 and the blade 150 by slightly rotating the rolling plate by the linear movement force of the moving unit. It characterized in that it comprises a; link (240) for moving in a direction perpendicular to the inlet surface of the wafer movement passage.

상기와 같은 본 발명에 따른 사각 게이트 진공밸브에 의하면 반도체 웨이퍼 이동통로를 보다 견고하게 밀폐할 수 있으며, 열에 의한 밸브손상을 막아 주어 고온의 환경에서도 오래 사용할 수 있는 효과가 있다.According to the square gate vacuum valve according to the present invention as described above, the semiconductor wafer movement path can be sealed more firmly, and the valve damage caused by heat can be prevented, so that it can be used for a long time even in a high temperature environment.

Description

Rectangular Gate Vacuum Valve

본 발명은 사각 게이트 진공밸브에 관한 것으로서, 더 상세하게는 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 이동통로를 개폐하기 위한 사각 게이트 진공밸브를 개선한 사각 게이트 진공밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a square gate vacuum valve, and more particularly, to a square gate vacuum valve having an improved square gate vacuum valve for opening and closing a wafer moving path in a semiconductor manufacturing process.

본 출원인이 출원하여 등록받은 공개번호 제10-2004-0004195호를 종래기술로 설명하기로 한다. 도 1에는 공개번호 제10-2004-0004195호에 개시된 슬릿밸브가 도시되어 있다.Publication No. 10-2004-0004195 filed and registered by the present applicant will be described in the prior art. 1 shows a slit valve disclosed in Publication No. 10-2004-0004195.

상기 종래기술은 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 이동통로를 개폐하기 위한 슬릿밸브에 형성된 이동통로 주위에 배치되는 밀봉재의 배치구조를 개선함으로써, 웨이퍼 이동통로를 밀폐하는 밀봉재의 손상을 방지하고 부품의 내구성을 향상시키며 부품의 파손으로 인한 밸브의 부품 교체시간 및 부품 교체비용을 줄이기 위한 것이다. 상기 종래기술의 구성은 밸브하우징, 메인샤프트, 블레이드어셈블리, 밸브구동부를 포함하고 있다.The prior art improves the arrangement of the sealing material disposed around the moving path formed in the slit valve for opening and closing the moving path of the wafer in the semiconductor manufacturing process, thereby preventing damage to the sealing material sealing the wafer moving path and improving durability of the parts. It is to improve the parts replacement time and reduce the cost of valve replacement due to component breakage. The prior art configuration includes a valve housing, a main shaft, a blade assembly, and a valve driving unit.

그러나 상기 종래기술은 블레이드가 웨이퍼 이동통로를 닫고 있을 때 이를 지지하는 수단이 미흡한 단점이 있었다.However, the related art has a disadvantage in that the means for supporting the blade when the wafer is closing the wafer movement path is insufficient.

한편 종래 슬릿밸브는 공정챔버와 이송챔버 사이에 삽입되는 것보다 공정챔버 또는 이송챔버 내에 삽입되어 설치되는 것이 공간활용에 적합하고 밸브의 부품교체 등 보수 관리에 유리하다고 알려져 있다. 그러나 밸브가 공정챔버내에 설치되는 경우에는 공정챔버 내의 고열(대략 500 내지 700℃ 정도)이 밸브로 열전달되어 밸브의 온도는 150℃ 정도까지 올라가게 되어 밸브에 손상을 주게 되며, 특히 하루에 800여번 정도의 반복작용에 의한 벨로우즈의 손상으로 인하여 밸브의 수명이 단축되는 문제점이 있었음에도 이에 대한 해결책이 제시되어 있지 않았다. On the other hand, it is known that the conventional slit valve is installed in the process chamber or the transfer chamber to be installed in the process chamber or the transfer chamber, rather than being inserted between the process chamber and the transfer chamber. However, when the valve is installed in the process chamber, high heat (approximately 500 to 700 ° C) in the process chamber is transferred to the valve, and the temperature of the valve rises to about 150 ° C, causing damage to the valve, especially 800 times a day. Even though there was a problem of shortening the life of the valve due to damage of the bellows due to the degree of repetitive action, no solution has been proposed.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서 본 발명의 목적은 블레이드가 웨이퍼 이동통로를 닫고 있을 때 이를 균형있고 견고하게 지지하며, 고온에서도 잘 견딜수 있는 사각 게이트 진공밸브를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a square gate vacuum valve that can support a balanced and robust when the blade is closing the wafer movement path and can withstand high temperatures.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에 따른 사각 게이트 진공밸브는 밸브하우징(100); 상기 밸브하우징(100) 상단의 홀을 통하여 수직으로 움직이는 한 쌍의 메인샤프트(210); 상기 한 쌍의 메인샤프트(210)의 선단부에 연결되어 웨이퍼 이동통로를 개폐하는 블레이드(150); 상기 한 쌍의 메인샤프트(210)의 후단부에 고정연결된 하나의 롤링플레이트(220); 상기 블레이드(150)를 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 직선 운동시키는 밸브구동부; 상기 밸브구동부와 결합되어 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 직선 운동하는 무빙유닛(230); 일단이 상기 무빙유닛(230)에 결합되고 타단이 상기 롤링플레이트(220)에 결합되어, 상기 무빙유닛의 직선 운동력으로 상기 롤링플레이트를 소폭 회전운동시키어 상기 메인샤프트(210) 및 상기 블레이드(150)를 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면과 수직한 방향으로 이동시키는 링크(240);를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the square gate vacuum valve according to the present invention includes a valve housing (100); A pair of main shafts 210 vertically moving through the holes in the upper end of the valve housing 100; A blade 150 connected to the distal end of the pair of main shafts 210 to open and close a wafer movement path; A rolling plate 220 fixedly connected to the rear end of the pair of main shafts 210; A valve driver for linearly moving the blade 150 in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement path; A moving unit 230 coupled to the valve driving unit to linearly move in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement path; One end is coupled to the moving unit 230 and the other end is coupled to the rolling plate 220, and the main shaft 210 and the blade 150 by slightly rotating the rolling plate by the linear movement force of the moving unit. It characterized in that it comprises a; link (240) for moving in a direction perpendicular to the inlet surface of the wafer movement passage.

또한 상기 밸브구동부의 좌우 측면과 롤링플레이트(220) 사이에는 롤베어링(250)이 더 포함되는 것을 특징으로 한다.In addition, a roll bearing 250 is further included between the left and right side surfaces of the valve driving unit and the rolling plate 220.

또한 상기 메인샤프트(210) 또는 상기 밸브하우징 상판(110)에는 냉각부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the main shaft 210 or the valve housing upper plate 110 is characterized in that it further comprises a cooling unit.

또한 상기 밸브구동부는 압축공기에 의하여 구동되는 피스톤(310); 상기 피스톤에 결합되고 상기 웨이퍼 이동통로 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(320); 상기 피스톤을 지지하며 상기 피스톤을 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면에 평행한 방향으로 구동하게 하는 실린더(330)를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the valve driving unit piston 310 driven by compressed air; A piston shaft 320 coupled to the piston and moving in parallel with the wafer movement passage inlet surface; And a cylinder 330 for supporting the piston and for driving the piston in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement passage.

또한 상기 무빙유닛(230)의 좌, 우 측면에는 록베어링(410)이 더 포함되고, 상기 하우징(100)의 하부의 좌, 우 내측면에는 상기 록베어링을 정지시키는 록킹브라켓(420)을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the left and right sides of the moving unit 230 further includes a lock bearing 410, the left and right inner surface of the lower portion of the housing 100 includes a locking bracket 420 for stopping the lock bearing Characterized in that.

또한 상기 록킹브라켓(420)은 상기 록베어링(410)을 정지시키기 위하여 돌출부(423)가 형성된 록킹지지부(421)를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the locking bracket 420 is characterized in that it comprises a locking support portion 421 is formed with a protrusion 423 to stop the lock bearing 410.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 사각 게이트 진공밸브의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 사각 게이트 진공밸브의 종단면도이다. 도 2와 도 3을 이용하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.Figure 2 is a perspective view of a square gate vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a longitudinal sectional view of the square gate vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention. 2 and 3, a preferred embodiment of the present invention will be described.

도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 사각 게이트 진공밸브는 밸브하우징(100), 한 쌍의 메인샤프트(210), 블레이드(150), 하나의 롤링플레이트(220), 밸브구동부, 무빙유닛(230), 링크(240)로 구성되어 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the square gate vacuum valve includes a valve housing 100, a pair of main shafts 210, a blade 150, a rolling plate 220, a valve driving unit, and a moving unit 230. ) And a link 240.

먼저 블레이드(150)는 웨이퍼 통로를 개폐하는 셧터의 역할을 한다. 일반적으로는 주로 사각형의 플레이트의 형상을 하고 있으며, 블레이드의 외형을 따라 입구보다 바닥이 더 넓게 형성되는 홈(미도시) 및 홈에 삽입되는 오(○)형 밀봉재가 배치된다.First, the blade 150 serves as a shutter to open and close the wafer passage. In general, the shape of the rectangular plate, the groove (not shown) is formed in a wider bottom than the inlet along the outer shape of the blade and the (○) type sealing material inserted into the groove is disposed.

메인샤프트(210)는 상기 블레이드(150)의 하단부에 고정결합된다. 따라서 메인샤프트의 이동과 함께 상기 블레이드는 함께 움직이게 된다. 본 발명에 있어서 메인샤프트는 한 쌍으로 이루어져 있다. 따라서 상기 블레이드(150)의 움직임이 안정스러워지며, 상기 블레이드(150)가 웨이퍼 통로를 닫고 있을 때 상기 블레이드(150)를 보다 견고하게 지지할 수 있다.The main shaft 210 is fixedly coupled to the lower end of the blade 150. Therefore, the blade moves together with the movement of the main shaft. In the present invention, the main shaft is composed of a pair. Therefore, the movement of the blade 150 is stabilized, and when the blade 150 is closing the wafer passage, the blade 150 can be more firmly supported.

하우징(100)내에는 블레이드(150)를 제외한 나머지 구성요소들이 배치된다. 하우징(100)의 하부 좌, 우 내측면에는 록킹브라켓(420)이 설치되는 것이 바람직하다. 록킹브라켓(420)에 대하여는 후술하기로 한다. 하우징의 상단부에는 홀(111)이 형성되어 있으며, 상기 홀을 관통하여 메인샤프트(210)가 운동하게 된다. 한편 상기 홀에는 이물질이 유입방지를 위하여 벨로우즈(260)를 설치하는 것이 바람직하다.In the housing 100, other components except for the blade 150 are disposed. It is preferable that the locking bracket 420 is installed on the lower left and right inner surfaces of the housing 100. The locking bracket 420 will be described later. A hole 111 is formed at the upper end of the housing, and the main shaft 210 moves through the hole. On the other hand, it is preferable to install a bellows 260 in the hole to prevent foreign matter from entering.

메인샤프트(210) 또는 밸브하우징 상판(110)에는 냉각부가 포함되는 것이 바람직하다. 도 7은 냉각부의 실시예이다. 도 7에서와 같이 메인샤프트(210)의 냉각부는 메인샤프트의 세로축을 따라 거꾸로된 유(U)자형태의 냉각수유체관(500)을 형성케 하고, 냉각수유입구(510)를 통하여 냉각수 혹은 냉각유체를 냉각수유체관(500)에 유입시킴으로써 간단히 구성할 수 있다. 상기 냉각수가 냉각수유체관(500)을 통하여 메인샤프트(210)의 내부를 순환함으로써 블레이드(150)로부터 전달되는 열의 상당량을 차단할 수 있게 된다. 이 때 냉각수유체관(500)에 연결되어 냉각수 공급의 통로가 되는 유체연결관(미도시)은 메인샤프트(210)의 상하운동으로 인한 힘에 대응하기 위하여 충분한 길이의 여유를 두고 설치하는 것이 바람직하며, 그 재질은 휨이 가능한 것이 바람직하다.Preferably, the main shaft 210 or the valve housing upper plate 110 includes a cooling unit. 7 is an embodiment of a cooling unit. As shown in FIG. 7, the cooling unit of the main shaft 210 forms an inverted U-shaped cooling water fluid pipe 500 along the longitudinal axis of the main shaft, and the cooling water or the cooling fluid through the cooling water inlet 510. It can be configured simply by flowing into the cooling water fluid pipe (500). The coolant circulates inside the main shaft 210 through the coolant fluid pipe 500, thereby blocking a considerable amount of heat transferred from the blade 150. At this time, the fluid connection pipe (not shown) connected to the cooling water fluid pipe 500 and serving as a cooling water supply passage is preferably installed with a sufficient length to cope with the force caused by the vertical movement of the main shaft 210. It is preferable that the material be capable of bending.

또한 밸브하우징 상판(110)의 냉각부 역시 도 7에서 보는 바와 같이 밸브하우징상판(110)에 ㄷ자 형태의 냉각수유체관(500)을 형성케 하고, 냉각수 유입구(510)를 통하여 냉각수 혹은 냉각유체를 냉각수유체관(500)에 유입시킴으로써 간단히 구성할 수 있다. 또는 밸브하우징상판(110)은 움직임이 없으므로 내부에 관을 설치하는 것이 번거로움 대신에 밸브하우징상판(110) 외부의 둘레를 따라 냉각수유체관을 설치하는 것도 좋다.In addition, the cooling unit of the valve housing upper plate 110 also forms a C-shaped cooling water fluid pipe 500 in the valve housing upper plate 110 as shown in FIG. 7, and allows the cooling water or the cooling fluid to flow through the cooling water inlet 510. It can be configured simply by flowing into the cooling water fluid pipe (500). Alternatively, since the valve housing upper plate 110 does not move, it may be necessary to install a cooling water fluid pipe along the outer circumference of the valve housing upper plate 110 instead of installing a pipe therein.

롤링플레이트(220)의 상단에는 전술한 메인샤프트(210) 각각이 고정결합되어 있으며, 하단부에는 후술할 링크(240)가 연결되어 있다. 롤링플레이트(220)에는 롤베어링(250)이 설치되는 것이 바람직하며, 상기 롤베어링을 축으로 롤링플레이트가 소폭 회전(롤링)하게 된다.Each of the above-described main shafts 210 is fixedly coupled to an upper end of the rolling plate 220, and a link 240 to be described later is connected to the lower end. The rolling plate 220 is preferably provided with a roll bearing 250, the rolling plate is rotated slightly (rolling) around the roll bearing.

밸브구동부는 피스톤(310)과 상기 피스톤에 연결된 피스톤샤프트(320)와 상기 피스톤을 구동하는 실린더(330)로 구성되어 있다. 실린더(330)는 압축공기에 의하여 작동하는 뉴메틱타입이 바람직하다. 압축공기는 두 개의 압축공기유입구(350)를 통하여 유입되며, 한 쪽은 피스톤을 상향으로 움직이게 하며 다른 쪽은 피스톤을 하향으로 움직이게 한다.The valve driving unit includes a piston 310, a piston shaft 320 connected to the piston, and a cylinder 330 driving the piston. The cylinder 330 is preferably a pneumatic type that operates by compressed air. Compressed air is introduced through the two compressed air inlets 350, one side to move the piston upward and the other side to move the piston downward.

한편 도 4에는 사각 게이트 진공밸브의 밸브구동부의 외측에 설치된 가이드홈(340)이 도시되어 있다. 상기 가이드홈을 따라 전술한 롤베어링(250)이 상하로 슬라이딩되며, 상기 롤베어링(250)이 상기 가이드홈의 상단 끝부분에 도달하게 되면 더 이상 롤베어링(250)은 상승할 수 없으며, 롤베어링에 연결된 롤링플레이트(220)도 더 이상 상승할 수 없게 된다.On the other hand, Figure 4 shows a guide groove 340 provided on the outside of the valve drive portion of the rectangular gate vacuum valve. The above-described roll bearing 250 slides up and down along the guide groove, and when the roll bearing 250 reaches the upper end of the guide groove, the roll bearing 250 may not rise any more, and the roll The rolling plate 220 connected to the bearing can no longer be lifted.

무빙유닛(230)의 중앙부분은 상기 밸브구동부의 피스톤샤프트(320)와 고정결합되어 있으며, 따라서 무빙유닛(230)의 움직임은 피스톤샤프트(320)의 움직임과 동일하다. 무빙유닛(230)의 양 끝부분에는 후술할 링크(240)에 의하여 전술한 롤링플레이트(220)가 연결된다. The central portion of the moving unit 230 is fixedly coupled to the piston shaft 320 of the valve driving portion, so that the movement of the moving unit 230 is the same as the movement of the piston shaft 320. Both ends of the moving unit 230 are connected to the rolling plate 220 by the link 240 to be described later.

한편 무빙유닛(230)의 양 끝단에는 록베어링(410)이 설치되는 것이 바람직하며, 상기 하우징(100)의 하부의 좌, 우 내측면에는 상기 록베어링(410)을 정지시키는 록킹브라켓(420)이 설치되는 것이 바람직하다. 또한 상기 록킹브라켓(420)은 상기 록베어링(410)을 정지시키기 위하여 돌출부(423)가 형성된 록킹지지부(421)가 설치되는 것이 바람직하다. 도 5에는 상기 록베어링(410)과 록킹브라켓(420)이 도시되어 있다. Meanwhile, it is preferable that lock bearings 410 are installed at both ends of the moving unit 230, and locking brackets 420 for stopping the lock bearings 410 on the left and right inner surfaces of the lower portion of the housing 100. It is preferable to be installed. In addition, the locking bracket 420 is preferably provided with a locking support portion 421 having a protrusion 423 is formed to stop the lock bearing 410. 5, the lock bearing 410 and the locking bracket 420 are shown.

링크(240)는 그 일단이 상기 무빙유닛(230)에 결합되고 타단이 상기 롤링플레이트(220)에 결합된다. 상기 무빙유닛은 록베어링에 의하여 직선 운동만 하게 되므로 상기 롤링플레이트를 소폭 회전운동(롤링)시키기 위하여 무빙유닛의 직선운동력을 상기 롤링플레이트에 전달하게 된다. 상기 롤링플레이트가 롤링하면 결국 상기 롤링플레이트와 고정결합된 상기 메인샤프트(210) 및 상기 블레이드(150)는 상기 웨이퍼 이동통로의 입구면과 수직한 방향으로 이동하는 결과가 된다.One end of the link 240 is coupled to the moving unit 230, and the other end of the link 240 is coupled to the rolling plate 220. Since the moving unit has only linear motion by the rock bearing, the linear motion of the moving unit is transmitted to the rolling plate in order to narrowly rotate the rolling plate (rolling). When the rolling plate is rolled, the main shaft 210 and the blade 150 fixedly coupled to the rolling plate may be moved in a direction perpendicular to the entrance surface of the wafer movement path.

이하에서는 상기와 같은 구성으로 된 사각 게이트 진공밸브를 밀폐하는 작용을 도 6을 이용하여 설명하기로 한다. Hereinafter, an operation of closing the square gate vacuum valve having the above configuration will be described with reference to FIG. 6.

사각 게이트 진공밸브가 닫히는 동작은 블레이드(150)가 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 수직 상승하는 1단계와 블레이드(150)가 웨이퍼 이동통로의 입구면과 수직한 방향으로 이동하여 웨이퍼 이동통로를 밀폐시키는 2단계로 나누어진다.The operation of closing the square gate vacuum valve is performed in a step 1 in which the blade 150 vertically rises in a direction parallel to the inlet surface of the wafer passage, and the blade 150 moves in a direction perpendicular to the inlet surface of the wafer passage. It is divided into two stages to seal the passage.

먼저 블레이드(150)가 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 수직 상승하는 제 1단계를 설명하기로 한다.First, a first step in which the blade 150 vertically rises in a direction parallel to the entrance surface of the wafer movement path will be described.

압축공기에 의하여 구동하는 피스톤(310)이 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 상승하면, 피스톤에 결합되는 피스톤사프트(320) 및 피스톤샤프트 하단부에 고정결합된 무빙유닛(230) 또한 함께 상승하게 된다. 무빙유닛(230)이 상승하면, 일단이 무빙유닛(230)에 연결되고 타단이 롤링플레이트(220)에 결합되는 링크(240)는 무빙유닛(230)의 동력을 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 롤링플레이트(220)에 전달하고, 무빙유닛의 동력을 전달 받은 롤링플레이트(220), 메인샤프트(210) 및 블레이드(150)는 상승하게 된다. 롤링플레이트(220), 메인샤프트(210) 및 블레이드(150)의 상승은 롤링플레이트에 설치된 롤베어링(250)이 밸브구동부의 외측에 설치된 가이드홈(340)의 상단 끝에 걸리게 되면 상승을 멈추게 되며, 이 때의 블레이드(150)의 위치는 웨이퍼 통로에 마주하게 된다.When the piston 310 driven by the compressed air rises in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement passage, the piston shaft 320 coupled to the piston and the moving unit 230 fixedly coupled to the lower end of the piston shaft also rise together. Done. When the moving unit 230 is raised, the link 240 having one end connected to the moving unit 230 and the other end coupled to the rolling plate 220 has the power of the moving unit 230 parallel to the inlet surface of the wafer movement path. The rolling plate 220, the main shaft 210, and the blade 150 which are transmitted to the rolling plate 220 in one direction and received the power of the moving unit are raised. The rising of the rolling plate 220, the main shaft 210 and the blade 150 is stopped when the roll bearing 250 installed on the rolling plate is caught by the upper end of the guide groove 340 provided on the outer side of the valve driving unit. At this time, the position of the blade 150 faces the wafer passage.

다음으로 블레이드(150)가 웨이퍼 이동통로의 입구면과 수직한 방향으로 이동하여 웨이퍼 이동통로를 밀폐시키는 2단계를 설명하기로 한다.Next, a second step in which the blade 150 moves in a direction perpendicular to the entrance surface of the wafer movement path to seal the wafer movement path will be described.

롤링플레이트(220), 메인샤프트(210) 및 블레이드(150)의 상승은 롤베어링(250)이 밸브구동부의 외측에 설치된 가이드홈(340)의 상단 끝에 걸릴 때 상승을 멈추게 된다. 한편 실린더(330)내의 피스톤(310)이 더 상승되고 이에 따라 피스톤샤프트(320) 및 피스톤샤프트에 고정연결된 무빙유닛(230)이 더 상승하게 된다면, 롤링플레이트(220)는 더이상 위로 상승할 수 없으므로 링크(240)는 시계방향으로 소폭 회전(롤링)할 수 밖에 없으며 링크로부터 동력을 전달받은 롤링플레이트(220)는 롤베어링(250)을 축으로 하여 반시계방향으로, 블레이드(150)는 롤베어링(250)을 축으로 하여 시계방향으로 소폭 회전하게 되어 결국 웨이퍼 통로를 밀폐하게 되는 것이다.The rising of the rolling plate 220, the main shaft 210 and the blade 150 stops the rising when the roll bearing 250 is caught by the upper end of the guide groove 340 installed on the outside of the valve driving part. On the other hand, if the piston 310 in the cylinder 330 is further raised, and thus the piston shaft 320 and the moving unit 230 fixedly connected to the piston shaft are further raised, the rolling plate 220 can no longer rise upward. The link 240 is forced to rotate in a small clockwise direction (rolling), and the rolling plate 220 receives power from the link in the counterclockwise direction with the roll bearing 250 as an axis, and the blade 150 is a roll bearing. A small rotation in the clockwise direction with reference to the axis 250 causes the wafer passage to be sealed.

블레이드(150)가 웨이퍼 통로를 밀폐하는 때에 무빙유닛(230)의 록베어링(410)은 록킹지지부(421)의 상부의 돌출(423)부에 걸리게 되고 상기 밀폐상태를 더욱 견고하게 한다.When the blade 150 seals the wafer passage, the lock bearing 410 of the moving unit 230 is caught by the protruding portion 423 of the upper portion of the locking support 421, thereby making the sealing state more firm.

사각 게이트 진공밸브를 개방하는 동작은 상기 개선된 사각 게이트 진공밸브를 밀폐하는 동작의 역순이다.The operation of opening the square gate vacuum valve is the reverse of the operation of closing the improved square gate vacuum valve.

압축공기에 의하여 피스톤(310)이 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 하강하면, 피스톤(310)에 결합되는 피스톤샤프트(320) 및 피스톤샤프트에 결합되는 무빙유닛(230)은 하강한다. 무빙유닛(230)이 하강하게 될 경우, 일단이 무빙유닛(230)에 연결되고 타단이 롤링플레이트(220)에 결합되는 링트(240)는 시계방향으로 회전하고 무빙유닛의 동력을 전달받은 롤링플레이트(220)는 롤베어링(250)을 중심으로 반시계방향으로 회전하게 되며, 블레이드(150)는 롤베어링(250)을 중심으로 시계방향으로 회전하게 되어 결국 블레이드는 웨이퍼 이동통로와 수직방향으로 이동하여 웨이퍼 이동통로를 개방하고 웨이퍼 이동통로의 입구면의 정면에 떨어져 위치하게 된다.When the piston 310 descends in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement path by the compressed air, the piston shaft 320 coupled to the piston 310 and the moving unit 230 coupled to the piston shaft descend. When the moving unit 230 descends, the ring 240 having one end connected to the moving unit 230 and the other end coupled to the rolling plate 220 rotates in a clockwise direction and receives the power of the moving unit. 220 is rotated in a counterclockwise direction around the roll bearing 250, the blade 150 is rotated in a clockwise direction around the roll bearing 250 so that the blade is moved in the vertical direction with the wafer movement path As a result, the wafer transfer passage is opened and positioned away from the front of the entrance face of the wafer transfer passage.

블레이드(150)가 웨이퍼 이동통로를 개방하면 무빙유닛(230)에 장착된 록베어링(410)이 록킹지지부(421)의 돌출부(423)를 이탈하게 된다.When the blade 150 opens the wafer movement path, the lock bearing 410 mounted on the moving unit 230 leaves the protrusion 423 of the locking support 421.

블레이드(150)가 웨이퍼 이동통로의 입구면 정면에 위치한 후 무빙유닛(230)이 하강하게 되면 일단이 무빙유닛에 결합되고 타단이 롤링플레이트에 결합되는 링크(240)는 무빙유닛의 동력을 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 롤링플레이트(220)에 전달하게 된다. 무빙유닛의 동력을 전달받은 롤링플레이트(220), 메인샤프트(210) 및 블레이드(150)는 웨이퍼 이동통로의 입구면과 평행한 방향으로 하강하게 된다.After the blade 150 is positioned in front of the entrance surface of the wafer movement path, when the moving unit 230 descends, the link 240 having one end coupled to the moving unit and the other end coupled to the rolling plate moves wafer power of the moving unit. It is transmitted to the rolling plate 220 in a direction parallel to the inlet surface of the passage. The rolling plate 220, the main shaft 210, and the blade 150 that receive the power of the moving unit are lowered in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement path.

피스톤(310)이 실린더(330)의 하단에 이르면 무빙유닛(230)은 정지하게 된다.When the piston 310 reaches the lower end of the cylinder 330, the moving unit 230 is stopped.

도면과 명세서에서 최적 실시예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The best embodiments have been disclosed in the drawings and the specification. Although specific terms have been used herein, they are used only for the purpose of describing the present invention and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible from this. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

이상 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 블레이드가 웨이퍼 이동통로를 밀폐시 이중의 메인샤프트에 의하여 블레이드를 균형있게 지지할 뿐만 아니라, 록킹지지부에 의하여 보다 견고하게 지지하여 웨이퍼 이동통로를 보다 효과적으로 밀폐할 수 있을 뿐만 아니라, 메인샤프트에 냉각부를 설치하여 고온의 환경에서도 잘 견뎌낼 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, when the blade seals the wafer movement path, the blade not only supports the blades in a balanced manner by the double main shaft, but also more firmly supports the wafer movement path by more effectively sealing the wafer movement path. In addition, there is an effect that can withstand the high temperature environment by installing a cooling unit on the main shaft.

도 1은 종래의 사각 게이트 진공밸브의 단면도,1 is a cross-sectional view of a conventional rectangular gate vacuum valve,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 사각 게이트 진공밸브의 사시도,2 is a perspective view of a square gate vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 사각 게이트 진공밸브의 종단면도,3 is a longitudinal sectional view of a square gate vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 사각 게이트 진공밸브의 밸브구동부의 외측에 설치된 가이드홈을 설명하는 설명도,4 is an explanatory diagram illustrating a guide groove provided on an outer side of a valve driving unit of a square gate vacuum valve according to an exemplary embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 사각 게이트 진공밸브의 록킹브라켓의 단면도,5 is a cross-sectional view of a locking bracket of a square gate vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 사각 게이트 진공밸브의 작용을 설명하는 설명도이다.6 is an explanatory view for explaining the operation of the square gate vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention.

*도면의 주요부위에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100: 밸브하우징 150: 블레이드100: valve housing 150: blade

210: 메인샤프트 220: 롤링플레이트210: main shaft 220: rolling plate

230: 무빙유닛 240: 링크230: moving unit 240: link

250: 롤베어링 310: 피스톤250: roll bearing 310: piston

320: 피스톤샤프트 330: 실린더320: piston shaft 330: cylinder

340: 가이드홈 350: 압축공기유입구340: guide groove 350: compressed air inlet

410: 록베어링 420: 록킹브라켓410: rock bearing 420: locking bracket

421: 록킹지지부 423: 돌출부421: locking support 423: protrusion

500: 냉각수유체관 510: 냉각수유입구500: cooling water fluid pipe 510: cooling water inlet

Claims

Valve housing 100;

A main shaft 210 moving vertically through a hole in the upper end of the valve housing 100 and including a cooling unit;

A blade 150 connected to the distal end of the main shaft 210 to open and close a wafer movement path;

A rolling plate 220 fixedly connected to the rear end of the main shaft 210;

A valve driver for linearly moving the blade 150 in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement path;

A moving unit 230 coupled to the valve driving unit to linearly move in a direction parallel to the inlet surface of the wafer movement path;

One end is coupled to the moving unit 230 and the other end is coupled to the rolling plate 220, and the main shaft 210 and the blade 150 by slightly rotating the rolling plate by the linear movement force of the moving unit. And a link (240) for moving in a direction perpendicular to the inlet surface of the wafer movement passage.

The method of claim 1,

Square gate vacuum valve, characterized in that further comprising a roll bearing 250 between the left and right sides of the valve driving portion and the rolling plate (220).

delete

Valve housing 100;

A cooling unit included in the upper plate of the valve housing;

A rolling plate 220 fixedly connected to the rear end of the main shaft 210;

The method according to claim 1 or 4,

The cooling unit is a rectangular gate vacuum valve, characterized in that the cooling water fluid pipe formed inside the main shaft or the upper plate of the valve housing.

The method of claim 1,

The valve driving unit is a piston 310 driven by compressed air;

A piston shaft 320 coupled to the piston and moving in parallel with the wafer movement passage inlet surface;

And a cylinder (330) for supporting the piston and for driving the piston in a direction parallel to the inlet surface of the wafer passage.

The method of claim 1,

Rock bearings 410 are further included on the left and right sides of the moving unit 230, and a locking bracket 420 is provided on the left and right inner surfaces of the lower portion of the housing 100 to stop the rock bearings. Square gate vacuum valve, characterized in that.

The method of claim 7, wherein

The locking bracket 420 is a rectangular gate vacuum valve, characterized in that it comprises a locking support (421) formed with a protrusion (423) for stopping the lock bearing (410).