KR100514099B1 - Laser cutting device and cutting method - Google Patents

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KR100514099B1 KR10-1998-0053539A KR19980053539A KR100514099B1 KR 100514099 B1 KR100514099 B1 KR 100514099B1 KR 19980053539 A KR19980053539 A KR 19980053539A KR 100514099 B1 KR100514099 B1 KR 100514099B1
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Abstract

본 발명은 절단선이 시작하는 양 단부와 절단선의 교차점에 예비 절단홈을 형성하기 위한 예비 절단홈 형성장치를 구비한, 레이저를 이용한 절단장치를 개시한다. 본 발명의 절단장치는 액정표시기 패널을 위한 합착 상태의 모 유리기판을 절단하는데 사용되고, 특정 파장의 레이저 빔을 조사하는 레이저와, 레이저의 전단에 설치되어, 절단선의 시작 단부와 절단선의 종료 단부에 시작 절단홈과 마감 절단홈을 각각 형성하는 예비 절단홈 형성장치를 포함한다. The present invention discloses a cutting device using a laser having a preliminary cutting groove forming device for forming a preliminary cutting groove at an intersection of both ends and a cutting line at which the cutting line starts. The cutting device of the present invention is used to cut a mother glass substrate in a bonded state for a liquid crystal display panel, and is provided at a laser beam for irradiating a laser beam of a specific wavelength, and at the front end of the laser, at the start end of the cutting line and the end end of the cutting line. And a preliminary cutting groove forming device for forming the starting cutting groove and the finishing cutting groove, respectively.

Description

레이저를 이용한 절단 장치 및 절단 방법Laser cutting device and cutting method

본 발명은 레이저를 이용한 절단기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저 빔을 이용하여 합착상태의 액정표시기 패널용 모 유리기판을 절단하는 절단기에 관한 것이다.The present invention relates to a cutter using a laser, and more particularly, to a cutter for cutting a mother glass substrate for a liquid crystal display panel in a bonded state using a laser beam.

액정표시기(Liquid Crystal Display, 이하 LCD로 언급함)는, 최근 소형, 경량화 및 저소비전력 등의 장점으로 음극선관(Cathode Ray Tube:CRT)의 대체품으로 각광을 받고 있는 평판 표시기의 일종이다. Liquid crystal displays (hereinafter referred to as LCDs) are a type of flat panel display that has been in the spotlight as an alternative to cathode ray tubes (CRTs) due to the advantages of small size, light weight, and low power consumption.

액정표시기는 두 장의 유리기판 사이에 개재된 액정을 포함한다. 액정은 전기장에 따라 정렬 상태가 변화되어, 입사광을 통과 및 차단시키는 광 셔터 역할을 한다.The liquid crystal display includes a liquid crystal interposed between two glass substrates. The liquid crystal changes in alignment with the electric field, and serves as an optical shutter for passing and blocking incident light.

이러한 액정표시기의 제조에 있어서, 생산성을 높이기 위하여, 한 번의 공정동안 다수의 패널을 제작하는 방법이 제안되고 있다. 그 중, 한 가지는, 단위 패널의 면적을 다수개 합한 면적에 해당하는 면적을 가진 유리기판, 예를 들어 6개의 단위 셀 면적에 해당하는 면적을 가진 모 유리기판의 사용이다. In manufacturing such a liquid crystal display, in order to increase productivity, a method of manufacturing a plurality of panels during one process has been proposed. One of them is the use of a glass substrate having an area corresponding to the area of a plurality of unit panels, for example, a parent glass substrate having an area corresponding to six unit cell areas.

모 유리기판을 사용하여 박막 트랜지스터 액정표시장치를 제조할 때, 두 장의 모 유리기판 중 하나의 기판에는 6매의 단위 TFT 기판에 필요한 게이트 라인, 데이트 라인, 박막 트랜지스터, 화소전극 및 배향막 등이 형성되고, 다른 하나의 기판에는 6매의 단위 컬러 필터 기판에 필요한 컬러 필터층, 대향전극, 및 블랙 매트릭스 등이 형성된다. When manufacturing a thin film transistor liquid crystal display device using a mother glass substrate, one of two mother glass substrates has gate lines, data lines, thin film transistors, pixel electrodes, and alignment films necessary for six unit TFT substrates. On the other substrate, color filter layers, counter electrodes, black matrices, and the like required for six unit color filter substrates are formed.

상기한 구성요소들이 형성된 2 매의 모 유리기판은 합착을 위한 조립공정과, 단위 패널로 분리하기 위한 절단공정, 액정 주입공정, 액정 주입구를 밀봉하는 엔드 씰 공정을 거쳐서, 단위 패널로 분리된다.The two mother glass substrates on which the above components are formed are separated into a unit panel through an assembly process for bonding, a cutting process for separating into unit panels, a liquid crystal injection process, and an end seal process for sealing the liquid crystal inlet.

절단공정 동안, 정확한 절단을 위하여 합착된 모 유리기판에는 도 1에 도시된 바와 같이 액정표시기(Liquid Crystal Display; 이하, LCD로 언급함) 단위쎌 A∼F의 경계를 따라서 절단선인 스크라이브 라인(scribe line;10)이 형성된다. 그런 다음, 스크라이브 라인(10)을 따라서 경도가 높은 다이아몬드 유리 커터 등이 지나가면서 경도가 낮은 모 유리기판(2)에는 소정 깊이의 예비 절단 홈이 형성된다. 이후, 모 유리기판(2)에 약한 충격을 가하여 단위 LCD 패널 A∼F로 분리한다. During the cutting process, the mother glass substrate bonded for accurate cutting has a scribe line which is a cutting line along the boundary of the liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD) unit A to F as shown in FIG. line; 10) is formed. Then, as the high hardness diamond glass cutter or the like passes along the scribe line 10, a precut groove having a predetermined depth is formed in the mother glass substrate 2 having a low hardness. Thereafter, a weak impact is applied to the mother glass substrate 2 to separate the unit LCD panels A to F.

그러나, 이러한 다이아몬드 커터를 이용한 절단장치는, 예비 절단홈의 형성후, 완전한 분할을 위하여 모 유리기판에 충격을 가하여야 하므로, 모 유리기판이 절단될 때 발생하는 미세 유리 파티클이 다른 곳으로 분산되지 않도록 별도의 집진 설비를 필요로 한다.However, in the cutting device using the diamond cutter, after forming the preliminary cutting grooves, the mother glass substrate must be impacted for complete division, so that the fine glass particles generated when the mother glass substrate is cut are not dispersed elsewhere. In order to prevent this, a separate dust collector is required.

또한, 일정 크기로 절단되어 반입된 모 유리기판의 에지 부분에는 도 2a와 도 2b의 확대도에 도시된 바와 같이 다이아몬드 유리 커터에 의하여 절단될 때 발생한 날카로운 요철 부분이 다수 존재한다. 이 날카로운 요철 부분에는 요철이 없는 부분에 비하여 높은 응력(stress)이 집중되고, 특히 요철 정도가 심한 부분(4)에는 더 높은 응력이 집중된다. 그러므로, 예비 절단 홈의 형성 후 충격을 가하여 모 유리기판(2)을 절단할 때, 예비 절단 홈 부분(점선)을 따라 절단되지 않고 높은 응력이 걸려 있는 부분(4)을 따라 절단되는 불량이 종종 발생된다.In addition, the edge portion of the mother glass substrate cut into a predetermined size, as shown in the enlarged view of Figs. 2a and 2b there are a number of sharp irregularities generated when cut by the diamond glass cutter. In this sharp uneven portion, a higher stress is concentrated than the uneven portion, and in particular, a higher stress is concentrated in the portion 4 having a high degree of unevenness. Therefore, when cutting the mother glass substrate 2 by applying an impact after the formation of the preliminary cutting groove, a defect that is often cut along the high stressed portion 4 without being cut along the preliminary cutting groove portion (dotted line) is often used. Is generated.

상기한 두 번째 문제점은, 다이아몬드 커터 뿐만 아니라 스크라이브 라인을 따라 레이저 빔을 조사하고, 레이저 빔이 조사된 부분을 냉각시켜 균열을 발생시키므로써, 기판을 절단하는 레이저 빔을 이용한 절단 장치에도 동일하게 발생될 수 있다.The second problem described above also applies to a cutting device using a laser beam for cutting a substrate by irradiating a laser beam along a scribe line as well as a diamond cutter, and cooling a portion to which the laser beam is irradiated to generate a crack. Can be.

한편, 레이저 빔을 이용한 유리 모 기판의 커팅에서, 레이저로 1차 절단선(10a)을 따라 1차 풀 커팅을 완료한 후, 1차 절단선(10a)과 직교하는 2차 절단선(10b)을 따라 레이저로 2차 커팅을 행할 때, 1차 절단선(10a)과 2차 절단선(10b)의 교차점(P1) 부근에서 크랙 전파가 일어나지 않아 2차 커팅이 문제가 된다. 즉, 레이저로 절단된 1차 절단면은 절단면의 표면에 미끈하여, 미세 크랙이 존재하지 않기 때문에, 레이저의 조사와 냉각 유체의 분사로 모 유리기판의 시작 단부에서 시작된 크랙은 교차점(P1)에 도달하기 전에 크랙 전파가 멈춘다. 그러므로, 기존의 레이저 설비를 이용하여 교차 절단을 행하는 것이 불가능하게 된다. On the other hand, in the cutting of the glass mother substrate using a laser beam, after completing the first full cutting along the primary cutting line 10a with a laser, the secondary cutting line 10b orthogonal to the primary cutting line 10a. Accordingly, when the secondary cutting is performed with the laser, crack propagation does not occur near the intersection point P1 of the primary cutting line 10a and the secondary cutting line 10b, and secondary cutting becomes a problem. That is, since the first cut surface cut by the laser is slippery on the surface of the cut surface, and there are no micro cracks, the cracks started at the start end of the parent glass substrate reach the intersection point P1 by the irradiation of the laser and the injection of the cooling fluid. Crack propagation stops before Therefore, it becomes impossible to cross-cut using existing laser equipment.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 유리기판 및 패널의 절단동안 절단선의 시작 및 종료 단부에서 발생하는 절단선 불량을 방지하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to prevent cut line defects occurring at the start and end ends of cut lines during cutting of glass substrates and panels.

본 발명의 다른 목적은, 절단선이 교차하는 유리기판 또는 패널을 레이저를 이용하여 절단이 가능하도록 하는데 있다. Another object of the present invention is to enable the cutting of the glass substrate or panel intersecting the cutting line using a laser.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 레이저 빔을 이용한 절단장치는, 특정 파장의 레이저 빔을 합착된 유리 모 기판과 같은 절단 대상물로 조사하는 레이저의 진행방향의 전단에 설치되어, 선택 절단선이 시작하는 제 1 단부와 선택 절단선이 끝나는 제 2 단부에 절단 개시홈과 절단 마감홈을 각각 형성하기 위한 프리 스크라이버를 포함한다. 레이저의 후단에는 레이저 빔이 조사된 절단선을 냉각시키는 냉각 유닛이 설치된다. 상기 레이저, 상기 절단홈 형성수단, 및 상기 냉각수단은 이송 장치에 설치되고, 이송장치의 이동에 따라 선택 방향의 절단선으로 이송한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a cutting device using a laser beam is provided at the front end of the laser beam traveling direction for irradiating a laser beam of a specific wavelength to a cutting object such as a bonded glass wool substrate And a prescriber for forming a cut start groove and a cut finish groove respectively at a first end at which the selection cut line begins and at a second end at which the selection cut line ends. At the rear end of the laser, a cooling unit for cooling the cutting line irradiated with the laser beam is provided. The laser, the cutting groove forming means, and the cooling means are installed in the conveying apparatus, and are conveyed to the cutting line in the selected direction according to the movement of the conveying apparatus.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 레이저 빔을 이용한 절단방법은, 먼저 절단대상물의 절단선과 절단 시작점을 감지한다. 절단선과 절단 시작점의 감지신호에 따라 절단선의 시작 단부에 소정 길이의 절단 개시홈을 형성한다. 다음으로, 절단선을 따라 레이저 빔을 조사하고, 레이저 빔이 조사된 절단선을 급속 냉각시킨다. 다음으로, 절단 대상물의 절단 종료점을 감지한다. 다음으로, 절단 종료점 감지신호에 따라 절단선의 종료점에 절단 마감홈을 형성한다.According to another aspect of the invention, the cutting method using a laser beam, first detects the cutting line and the cutting start point of the cutting object. A cutting start groove of a predetermined length is formed at the start end of the cutting line according to the detection signal of the cutting line and the cutting start point. Next, the laser beam is irradiated along the cutting line, and the cutting line irradiated with the laser beam is rapidly cooled. Next, the cutting end point of the cutting object is detected. Next, a cutting finish groove is formed at an end point of the cutting line according to the cutting end point detection signal.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 교차 절단선을 갖는 절단 대상물을 레이저로 절단하는 방법은 먼저 절단 대상물의 1차 절단선과 1차 절단 시작점을 감지한다. 1차 절단선과 1차 절단 시작점의 감지신호에 따라 1차 절단선을 따라 레이저 빔을 조사하고, 레이저 빔이 조사된 1차 절단선을 급속 냉각시킨다. 1차 절단선을 따라 레이저 빔의 조사후, 2차 절단선의 2차 절단 시작점을 감지하면, 2차 절단선의 시작 단부에 예비 절단홈을 형성한다. 그런 다음, 2차 절단선의 시작 단부부터 종료단부까지 레이저 빔을 조사하고, 레이저 빔이 조사된 2차 절단선을 급속 냉각시킨다. According to another aspect of the present invention, a method of laser cutting a cutting object having a cross cutting line first detects the first cutting line and the first cutting start point of the cutting object. The laser beam is irradiated along the primary cutting line according to the detection signal of the primary cutting line and the primary cutting start point, and the primary cutting line irradiated with the laser beam is rapidly cooled. After irradiating the laser beam along the primary cutting line and detecting the starting point of the secondary cutting line, a preliminary cutting groove is formed at the starting end of the secondary cutting line. Then, the laser beam is irradiated from the start end to the end of the secondary cut line, and the secondary cut line irradiated with the laser beam is rapidly cooled.

여기서, 1차 절단선의 시작단부와 마감 단부, 및 2차 절단선의 마감 단부의 각각에 선택적으로 예비 절단홈을 형성하므로써, 절단선을 벗어난 높은 응력 집중점의 존재로 인하여 1차 절단선의 시작단부와 마감 단부, 및 2차 절단선의 마감 단부에서 절단 불량이 발생하는 것이 실질적으로 방지된다.Here, by selectively forming a preliminary cutting groove in each of the starting end and the finishing end of the primary cutting line, and the finishing end of the secondary cutting line, due to the presence of a high stress concentration point beyond the cutting line, The occurrence of cut failures at the finish end and at the finish end of the secondary cut line is substantially prevented.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 본 발명의 상세한 설명에서 보다 명확해질 것이다.Other objects and advantages of the present invention will become apparent from the detailed description of the invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 레이저 빔을 이용한 절단장치(200)의 사시도이다. 3 is a perspective view of a cutting device 200 using the laser beam of the present invention.

도 3에서 절단 대상물은, 적어도 2개, 예를 들어 6개의 단위 셀 면적에 해당하는 면적을 갖는 2 매의 모 유리기판, 즉 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 기판이 합착된 액정표시기 패널(100)로서, 참조부호 120은 절단선을 나타낸다.In FIG. 3, the object to be cut is a liquid crystal display panel 100 in which at least two parent glass substrates having an area corresponding to six unit cell areas, that is, a thin film transistor substrate and a color filter substrate are bonded. , Reference numeral 120 denotes a cut line.

도 3에 도시하지는 않았지만, 박막 트랜지스터 기판은, 내표면에 형성된 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터에 연결된 데이터 및 게이트 버스 라인, 박막 트랜지스터에 연결된 화소전극을 포함하고, 컬러 필터 기판은, 내표면에 형성된 컬러 필터층 및 대향전극을 포함한다.Although not shown in FIG. 3, the thin film transistor substrate includes a thin film transistor formed on the inner surface, data and gate bus lines connected to the thin film transistor, and a pixel electrode connected to the thin film transistor, and the color filter substrate includes a color filter layer formed on the inner surface. And a counter electrode.

레이저 절단 장치(200)는, 합착 기판(100)의 절단선(120)을 따라 레이저 빔을 조사하는 레이저(220), 레이저(220)의 이동방향의 전단에 설치되며, 레이저 빔의 조사에 앞서 합착 기판(100)의 Y방향 절단선이 시작되는 시작 단부(Ps)와 절단선이 끝나는 종료 단부(미도시)에 예비 절단홈을 형성하는 절단홈 형성수단인 프리 스크라이버(260), 레이저(220)의 후단에 설치되며, 레이저 빔이 조사된 절단선(120)을 냉각하는 냉각장치(240)와, 이들 냉각장치(240), 프리 스크라이버(260), 및 레이저(220)가 설치되고, 냉각장치(240), 프리 스크라이버(260), 및 레이저(220)를 절단선 방향인 X축 및 Y축 방향으로 이동시키는 이송장치(280)를 포함한다.The laser cutting device 200 is installed at the front end of the laser 220 for irradiating the laser beam along the cutting line 120 of the bonded substrate 100 and the moving direction of the laser 220, and prior to the irradiation of the laser beam. Prescriber 260, which is a cutting groove forming means for forming preliminary cutting grooves at a starting end Ps at which the Y-direction cutting line of the bonded substrate 100 starts and an ending end (not shown) at which the cutting line ends, and a laser ( It is installed at the rear end of the 220, the cooling device 240 for cooling the cutting line 120 irradiated with the laser beam, these cooling devices 240, pre-scriber 260, and the laser 220 is installed , A cooling device 240, a prescriber 260, and a transfer device 280 for moving the laser 220 in the X-axis and Y-axis directions, which are cutting line directions.

레이저(220)는 레이저 빔을 발진시키는 레이저 발진 유닛(222)과, 레이저 발진 유닛(222)으로부터 발진된 레이저 빔의 조사 방향을 굴절시키는 굴절 렌즈(224)와, 상하 이동에 의하여 굴절된 레이저 빔의 초점을 조절하는 포커싱 렌즈군이 수납되는 포커싱 렌즈군 하우징(226)을 포함한다. The laser 220 includes a laser oscillation unit 222 that oscillates a laser beam, a refractive lens 224 that refracts the irradiation direction of the laser beam oscillated from the laser oscillation unit 222, and a laser beam refracted by vertical movement. It includes a focusing lens group housing 226 is housed a focusing lens group for adjusting the focus of the.

레이저 발진 유닛으로는, 발진 파장(λ)이 약 10.6㎛ 이고 50∼250(W) 정도의 고출력을 갖는 야그(YAG) 레이저, CO2 레이저, 다이오드를 이용한 레이저 등이 사용될 수 있다. 여기서, 레이저(226)의 출력은 절단대상인 합착기판이 유리기판인 경우, 절단선 부분이 고상에서 액상으로 상변환되는 유리전이온도(Glass Transition Temperature; Tg)에 이른다.As the laser oscillation unit, a yag laser, a CO 2 laser, a laser using a diode, or the like, having an oscillation wavelength λ of about 10.6 μm and a high output of about 50 to 250 (W), may be used. Here, the output of the laser 226 reaches a glass transition temperature (Tg) in which the cutting line portion is phase-converted from a solid phase to a liquid phase when the bonded substrate to be cut is a glass substrate.

모 유리기판 냉각장치(240)는 레이저(220)의 진행 방향을 기준으로 레이저(220)의 후단에 설치되며, 냉각 유체가 저장된 냉각 유체 저장부(242)와, 냉각 유체 저장부(242)로부터 공급받은 냉각 유체를 레이저 빔이 조사된 모 유리기판(100)의 절단선(120)을 따라 분사하는 분사 노즐(242)을 포함한다.The mother glass substrate cooling device 240 is installed at the rear end of the laser 220 based on the advancing direction of the laser 220, from the cooling fluid storage unit 242 and the cooling fluid storage unit 242 in which the cooling fluid is stored. And a spray nozzle 242 for spraying the supplied cooling fluid along the cutting line 120 of the parent glass substrate 100 to which the laser beam is irradiated.

냉각유체로는 순수, 냉각 오일, 액체 질소 및 액체 헬륨으로 구성되는 그룹으로부터 선택된 하나의 물질이 사용될 수 있고, 냉각 유체는 분사 노즐(242)로부터 0.1초∼0.3초의 간격을 두고 급속 가열된 모 유리기판(100)으로 분사된다.As the cooling fluid, one material selected from the group consisting of pure water, cooling oil, liquid nitrogen, and liquid helium may be used, and the cooling fluid is rapidly heated from the spray nozzle 242 at intervals of 0.1 to 0.3 seconds. Sprayed onto the substrate 100.

절단 개시홈 및 절단 마감홈 형성을 위한 프리 스크라이버(260)는 레이저(226)의 전단에 설치되어, 비작동 상태에서는 패널(100)과 평행한 상태로 위치하다가, 작동상태에서는 패널(100)에 수직한 방향으로 접절 가능한 몸체부(266), 몸체부(266)에 결합되어 회전하는 회동축(262)과, 회동축(262)에 결합되어 몸체부(266)에 대하여 회동축(262)이 수직 하방으로 선회한 후에 특정 알피엠(RPM:Round per minute)으로 회동하는 회전톱날(264)를 포함한다.The prescriber 260 for forming the cutting start groove and the cutting finish groove is installed at the front end of the laser 226, and is positioned in parallel with the panel 100 in the inoperative state, and in the operating state, the panel 100 Body portion 266 that can be grafted in a direction perpendicular to the rotating shaft 262 is coupled to the rotating shaft 262 coupled to the body portion 266, the rotating shaft 262 is coupled to the rotating shaft 262 with respect to the body portion 266 The rotary saw blade 264 is rotated to a specific RPM after turning vertically downward.

여기서, 프리 스크라이버(260)의 회동축(262)은 모 유리기판(100)의 절단 시작점과 절단 종료점을 감지하는 위치 감지센서의 감지신호에 따라 동작한다. 위치 감지센서(290)는, 도 4a 내지 도 4c에 도시한 것처럼, 레이저(226)의 이동방향의 전단에 설치된다.Here, the rotation shaft 262 of the prescriber 260 operates according to a detection signal of a position sensor for detecting a cutting start point and a cutting end point of the parent glass substrate 100. The position sensor 290 is provided at the front end of the moving direction of the laser 226, as shown in FIGS. 4A to 4C.

레이저(220), 냉각장치(240), 프리 스크라이버(260), 및 위치 감지센서(290)는 이송장치(280)에 장착되어, 절단선 방향인 X축 방향과 Y축 방향으로 움직인다. The laser 220, the cooling device 240, the prescriber 260, and the position sensor 290 are mounted to the transfer device 280 and move in the X-axis direction and the Y-axis direction, which are cutting line directions.

구체적으로, 레이저(220), 냉각장치(240), 프리 스크라이버(260), 및 위치 감지센서(290)는, Y축 이송 플레이트(282)에 형성된 홈 형태의 레일(284)을 따라 Y축 방향으로 움직이고, Y축 이송 플레이트(282)는 X축 이송 플레이트(232)를 따라 움직인다. 즉, Y축 방향으로의 이동은 Y축 플레이트(282)가 고정된 상태에서 레이저(220), 냉각장치(240), 및 프리 스크라이버(260)의 이동에 의하여 수행되지만, X축 방향으로의 이동은 X축 플레이트(232)를 따라서 Y축 플레이트(282)가 이동하는 것에 의하여, Y축 이송 플레이트(282)에 설치된 레이저(220), 냉각장치(240), 및 프리 스크라이버(260)가 이동하는 것이다. Specifically, the laser 220, the cooling device 240, the free scriber 260, and the position sensor 290, the Y-axis along the groove-shaped rail 284 formed on the Y-axis transfer plate 282 Direction, the Y-axis feed plate 282 moves along the X-axis feed plate 232. That is, the movement in the Y-axis direction is performed by the movement of the laser 220, the cooling device 240, and the prescriber 260 in the state where the Y-axis plate 282 is fixed, but in the X-axis direction. The movement is performed by the movement of the Y-axis plate 282 along the X-axis plate 232, whereby the laser 220, the cooling device 240, and the free scriber 260 installed on the Y-axis transfer plate 282 move. To move.

도 4a 내지 도 4c를 참조하면, Y축 이송 플레이트(282)의 하부면에는 보조 이송 플레이트(283)가 설치되고, 보조 이송 플레이트(283)에는 냉각장치(240)의 노즐(244), 레이저(220)의 포커싱 렌즈군 하우징(226), 위치 감지센서(290)가 장착된다. 4A to 4C, an auxiliary transfer plate 283 is installed on a lower surface of the Y-axis transfer plate 282, and a nozzle 244 and a laser (2) of the cooling device 240 are installed on the auxiliary transfer plate 283. The focusing lens group housing 226 of the 220 and the position sensor 290 are mounted.

상기한 구성을 갖는 레이저 절단 장치(200)를 사용하여 합착 상태의 모 유리기판(100)을 절단하는 방법을 도 3, 도 4a 내지 도 4c와 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다. A method of cutting the mother glass substrate 100 in a bonded state using the laser cutting device 200 having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. 3, 4A to 4C and FIG. 5.

먼저, 도 3과 도 4a를 참조하면, 절단 대상용 합착 모 유리기판(100)이 고정 플레이트(미도시)에 안치된다. 레이저 절단 장치(200)는 모 유리기판(100)을 향하여 이동하고, 레이저(220)의 포커싱 렌즈군 하우징(226)의 전단에 설치된 위치 감지 센서(290)는 절단선(120)과, 절단선(120)이 시작되는 모 유리기판(100)의 시작점을 감지한다.First, referring to FIG. 3 and FIG. 4A, the bonding parent glass substrate 100 for cutting is placed on a fixing plate (not shown). The laser cutting device 200 moves toward the mother glass substrate 100, and the position detecting sensor 290 installed at the front end of the focusing lens group housing 226 of the laser 220 includes a cutting line 120 and a cutting line. Detects the starting point of the parent glass substrate 100 to start 120.

절단선(120)과 절단선 시작점이 감지됨에 따라, 프리 스크라이버(260)의 회동축(262)이 시계방향으로 회동하여, 회전톱날(264)을 모 유리기판(100)의 절단선(120)의 시작 단부에 위치시킨다. As the cutting line 120 and the starting point of the cutting line are sensed, the rotation shaft 262 of the prescriber 260 rotates clockwise, so that the rotary saw blade 264 cuts the cutting line 120 of the mother glass substrate 100. ) At the start end.

회전톱날(264)은 선택된 RPM으로 회동하는 것에 의하여 절단선(120)의 시작 단부에 예비 절단홈을 형성한다. The rotary saw blade 264 forms a preliminary cutting groove at the start end of the cutting line 120 by rotating at the selected RPM.

다음으로, 도 3과 도 4b를 참조하면, 예비 절단홈의 형성후, 회전톱날(264)은 동작을 멈추고, 회동축(262)은 반시계 방향으로 회동하여 원래의 위치로 복귀한다. Next, referring to FIGS. 3 and 4B, after the formation of the preliminary cutting groove, the rotary saw blade 264 stops the operation, and the rotation shaft 262 rotates counterclockwise to return to the original position.

다음으로, 포커싱 렌즈 하우징(226)은 위치 감지센서(290)와의 간격만큼 이동하여, 레이저 빔의 조사 시작점을 예비 절단홈이 형성된 모 유리기판(100)의 절단선 시작 단부에 위치되도록 한다. 그런 다음, 포커싱 렌즈 하우징(226)은 레이저 빔을 조사하면서 절단선(120)을 따라 이동한다.Next, the focusing lens housing 226 moves by an interval with the position sensor 290 so that the irradiation start point of the laser beam is positioned at the cutting line start end of the mother glass substrate 100 on which the preliminary cutting groove is formed. The focusing lens housing 226 then moves along the cutting line 120 while irradiating the laser beam.

이때, 레이저 빔(228)이 조사된 모 유리기판(100)의 절단선(120) 부분은 급속 가열되면서 국부적인 열팽창과 함께 높은 응력 집중이 발생된다.At this time, the portion of the cutting line 120 of the parent glass substrate 100 irradiated with the laser beam 228 is rapidly heated to generate high stress concentration with local thermal expansion.

이와 같이 국부적으로 가열되면서 국소 열팽창이 발생된 모 유리기판(100)에는 포커싱 렌즈 하우징(226)의 후단에 설치되어 뒤따르는 노즐(242)로부터 모 유리기판(100)의 가열 부분 온도에 비하여 매우 낮은 저온의 유체가 0.1초∼0.3초 간격으로 단속적으로 공급되면서 가열된 모 유리기판(100)을 급속 냉각시킨다.As described above, the mother glass substrate 100 in which local thermal expansion occurs while being locally heated is installed at the rear end of the focusing lens housing 226 and is very low than the heating portion temperature of the mother glass substrate 100 from the nozzle 242 which follows. The low temperature fluid is intermittently supplied at intervals of 0.1 to 0.3 seconds to rapidly cool the heated mother glass substrate 100.

급속 냉각된 모 유리기판(100)의 절단선(120) 부분에는 열 팽창 및 열 수축에 의한 높은 열응력이 발생된다.High thermal stress is generated in the cutting line 120 of the rapidly cooled mother glass substrate 100 by thermal expansion and thermal contraction.

열응력의 크기가 유리 분자와 분자를 결합시키는 결합력보다 커질 경우 비정질 유리 분자 구조는 깨지게 되고, 분자 구조가 깨짐에 따라서 모 유리기판(100)의 절단선(120)을 따라서 크랙이 생성된다.When the magnitude of the thermal stress is greater than the bonding force that bonds the glass molecules and molecules, the amorphous glass molecular structure is broken, and as the molecular structure is broken, cracks are generated along the cutting line 120 of the parent glass substrate 100.

이때, 크랙의 생성 및 크랙 진행 방향은 레이저 빔(228)의 주사 방향과 동일하게 즉, 모 유리기판(100)의 평면에 대하여 수직 방향으로 진행되므로 모 유리기판(100)은 완전하게 절단된다.At this time, the generation of cracks and the crack propagation direction are the same as the scanning direction of the laser beam 228, that is, perpendicular to the plane of the parent glass substrate 100, so that the mother glass substrate 100 is completely cut.

다음으로, 도 3과 도 4c를 참조하면, Y축 이송 플레이트(282)를 따라서 포커싱 렌즈 하우징(226)이 레이저 빔을 조사하면서 진행하는 동안, 위치 감지센서(290)가 모 유리기판(100)의 절단선(120)의 종점 단부를 감지하면, 회동축(262)은 다시 시계 방향으로 선회하여 절단 개시 홈과 동일 형상을 갖는 절단 마감 홈을 형성한다.Next, referring to FIGS. 3 and 4C, while the focusing lens housing 226 proceeds while irradiating a laser beam along the Y-axis transfer plate 282, the position sensor 290 is the mother glass substrate 100. Upon detecting the end point of the cutting line 120 of the rotating shaft 262 is rotated clockwise again to form a cutting finish groove having the same shape as the cutting start groove.

절단 마감 홈의 형성후, 회동축(262)은 다시 반시계 방향으로 회전하여 원래의 위치로 복귀하고, 포커싱 렌즈 하우징(226)은 모 유리기판(100)의 절단선(120)의 종점 단부까지 레이저 빔을 조사한 다음, 동작을 멈춘다. After the formation of the cutting finish groove, the rotation shaft 262 is rotated counterclockwise again to return to the original position, the focusing lens housing 226 to the end point of the cutting line 120 of the parent glass substrate 100 After irradiating the laser beam, the operation is stopped.

도 5는 상기한 과정에 따라 절단을 수행하는 레이저 절단장치에서, 포커싱 렌즈 하우징(226)와 회전톱날(264)의 진행경로를 도시한 도면으로서, 참조부호 52는 회전톱날(264)의 진행경로를, 참조부호 54는 레이저(226)의 진행경로를 나타낸다.FIG. 5 is a diagram illustrating a traveling path of the focusing lens housing 226 and the rotary saw blade 264 in the laser cutting device for cutting according to the above-described process, and reference numeral 52 denotes the traveling route of the rotary saw blade 264. Reference numeral 54 denotes a traveling path of the laser 226.

도 5에 도시한 것처럼, 회전톱날(264)의 진행경로(52)는 절단선의 시작 단부와 종료 단부에서 유리기판(100)의 표면으로부터 소정 깊이내에 있고, 양 단부를 제외한 부분에서는 유리기판(100)의 표면으로부터 소정 간격을 두고 이격된 상부에 있다.As shown in FIG. 5, the traveling path 52 of the rotary saw blade 264 is within a predetermined depth from the surface of the glass substrate 100 at the start end and the end end of the cutting line, and the glass substrate 100 at portions except both ends. The upper part spaced at a distance from the surface.

도 6은 본 발명의 레이저 절단장치에서 프리 스크라이버의 다른 실시예를 보여주는 도면으로서, 앞선 실시예에서 제시된 것처럼, 작동시점에 따라서 회전톱날이 시계방향 및 반시계방향으로 회동하는 것이 아니라, 상하로 왕복운동하는 경우를 보여준다. 도 6에서 참조부호 382는 Y축 이송 플레이트를, 참조부호 383은 보조 이송 플레이트를 각각 나타낸다. Figure 6 is a view showing another embodiment of the free scriber in the laser cutting device of the present invention, as shown in the previous embodiment, the rotary saw blade does not rotate clockwise and counterclockwise depending on the operating point, but up and down Shows the case of reciprocating motion. In FIG. 6, reference numeral 382 denotes a Y-axis transfer plate, and reference numeral 383 denotes an auxiliary transfer plate, respectively.

도 6을 참조하면, 프리 스크라이버(370)는, 포커싱 렌즈 하우징(326)의 이동방향의 전단에 별도로 설치된다.Referring to FIG. 6, the prescriber 370 is separately installed at the front end of the focusing lens housing 326 in the moving direction.

프리 스크라이버(370)는, 위치 감지센서(390)의 감지신호에 따라 회동하는 모터(352)와, 모터(352)의 회동축에 편심 연결되어, 소정 각도로 회동하는 편심 캠(354)과, 편심캠(354)의 회동에 따라 상하로 왕복운동하는 푸시 로드(356)와, 푸시 로드(356)의 상하 운동에 따라 상하로 왕복 운동하는 회전톱날용 로드(358)와, 푸시 로드(356)에 의하여 하방으로 가압된 회전톱날용 로드(358)를 상방으로 밀어주는 탄성부재(359)와, 회전톱날용 로드(358)의 단부에 연결되어 특정 RPM으로 회동하는 회전톱날(364) 및 상기한 구성 요소들이 내부에 설치되는 하우징(350)을 포함한다. The prescriber 370 includes an eccentric cam 354 which is eccentrically connected to a rotational shaft of the motor 352 and a rotation shaft of the motor 352, and rotates according to a detection signal of the position sensor 390. , A push rod 356 reciprocating up and down according to the rotation of the eccentric cam 354, a rotary saw blade rod 358 reciprocating up and down according to the up and down movement of the push rod 356, and a push rod 356 Elastic member 359 for pushing the rotary saw blade rod 358 pressed downward by upward) and the rotary saw blade 364 connected to the end of the rotary saw blade rod 358 to rotate at a specific RPM and the One component includes a housing 350 installed therein.

도 6에 도시된 것처럼, 회전톱날용 로드(358)는, 푸시 로드(356)에 의하여 가압되는 제 1 로드와, 제 1 로드의 단부에 수직으로 고정된 제 2 로드로 분할되게 구성하는 것도 가능하지만, "ㄱ"자 형태로 일체화된 구조의 사용도 가능하다.As shown in FIG. 6, the rotary saw blade rod 358 may be configured to be divided into a first rod pressurized by the push rod 356 and a second rod fixed perpendicular to an end of the first rod. However, it is also possible to use an integrated structure in the form of "a".

편심캠(354)은, 도 7a 및 도 7b에 도시된 것처럼, 푸시로드(356)의 상단을 가압하도록 타원판 형상을 가지며, 중심축으로부터 장방향측으로 편향된 축을 가진다.The eccentric cam 354 has an elliptic plate shape to press the upper end of the push rod 356 as shown in FIGS. 7A and 7B and has an axis deflected from the central axis to the longitudinal direction.

포커싱 렌즈 하우징(326)이 합착 상태의 모 유리기판(100)의 일측면의 향하여 이동하는 동안, 레이저(326)의 전단에 설치된 위치 감지센서(390)가 절단선의 시작 단부를 감지하면, 모터(352)가 소정각도로 회동한다. 도 7a에 도시된 것처럼, 모터(352)의 회동으로 편심 캠(354)은 편심축으로부터 멀리 떨어진 일측 단부가 푸시 로드(356)를 가압하고, 이에 따라 회전톱날용 로드(368)가 절단선의 시작 단부를 향하여 아래쪽으로 이동한다. 회전톱날(364)이 모 유리기판(100)에 닿으면, 회전톱날(364)은 특정 RPM으로 회동하여 절단선의 시작 단부에 예비 절단홈을 형성한다.While the focusing lens housing 326 moves toward one side of the parent glass substrate 100 in the bonded state, when the position sensor 390 installed at the front end of the laser 326 detects the start end of the cutting line, the motor ( 352 rotates at a predetermined angle. As shown in FIG. 7A, the rotation of the motor 352 causes the eccentric cam 354 to press the push rod 356 at one end far from the eccentric shaft, so that the rotary saw blade rod 368 starts the cutting line. Move down towards the end. When the rotary saw blade 364 touches the parent glass substrate 100, the rotary saw blade 364 rotates at a specific RPM to form a preliminary cutting groove at the start end of the cutting line.

예비 절단홈의 형성후, 다시 모터(352)가 회전함에 따라, 도 7b에 도시한 것처럼, 편심캠(354)은 편심축으로부터 가까이에 있는 일측 단부가 푸시 로드(356)를 가압하도록 회동한다. 편심캠(354)의 회동에 따라 탄성부재(359)는 반발력으로 회전톱날용 로드(368)를 위쪽으로 밀어올리면, 회전톱날(364)은 모 유리기판(100)으로부터 분리된다.After the formation of the preliminary cutting groove, as the motor 352 rotates again, as shown in FIG. 7B, the eccentric cam 354 rotates so that one end close to the eccentric shaft presses the push rod 356. In response to the rotation of the eccentric cam 354, the elastic member 359 pushes the rotary saw blade rod 368 upward with a repulsive force, and the rotary saw blade 364 is separated from the mother glass substrate 100.

위치 감지센서(390)의 절단선 시작 단부의 감지 위치로부터 레이저(326)의 빔 출사축 사이의 거리(S1)만큼 포커싱 렌즈군 하우징(326)이 이동하면, 레이저(326)는 레이저 빔을 조사하기 시작한다.When the focusing lens group housing 326 moves by the distance S1 between the beam emission axis of the laser 326 from the detection position at the start end of the cut line of the position sensor 390, the laser 326 irradiates the laser beam. To start.

앞선 실시예와 마찬가지로, 이동 플레이트(383)의 후단에 설치된 노즐(344)은 레이저 빔의 조사경로를 따라서 냉각제를 산포한다. As in the previous embodiment, the nozzle 344 provided at the rear end of the moving plate 383 distributes the coolant along the irradiation path of the laser beam.

이동하던 위치감지센서(390)가 절단선 종료 단부를 감지하면, 다시 모터(352)가 회전하여 편심캠(352)을 도 7a와 같은 상태로 만들고, 모 유리기판(100)을 향하여 하강한 회전톱날(364)은 마감 홈을 형성한다. When the moving position detecting sensor 390 detects the end of the cutting line, the motor 352 rotates again to make the eccentric cam 352 as shown in FIG. 7A, and rotates downward toward the mother glass substrate 100. The saw blade 364 forms a finishing groove.

위치 감지센서(390)의 절단선 종료 단부의 감지 위치로부터 레이저(326)의 빔 출사축 사이의 거리(S1)만큼 포커싱 렌즈 하우징(326)이 이동하면, 레이저(326)는 레이저 빔의 조사를 멈춘다.When the focusing lens housing 326 is moved by the distance S1 between the beam exit axis of the laser 326 from the detection position at the end of the cut line end of the position sensor 390, the laser 326 performs irradiation of the laser beam. Stop

아울러, 레이저(326)의 레이저 빔 출사동작의 종료와 동시에, 노즐(342)은 냉각제의 산포 동작을 멈춘다.At the same time as the end of the laser beam exiting operation of the laser 326, the nozzle 342 stops the spraying operation of the coolant.

한편, 상기한 과정으로 절단이 완료된 Y축 방향의 절단면은 미끈하다. 그러므로, Y축 방향과 직교하는 X축 방향으로 2차 절단을 레이저로 행할 때, 교차점 앞에서 크랙의 전파가 멈추는 것을 방지하도록, 교차점에 예비 절단홈을 형성한다. On the other hand, the cutting surface in the Y-axis direction is complete, the cutting is completed in the above process. Therefore, when performing secondary cutting in a laser in the X-axis direction orthogonal to the Y-axis direction, a preliminary cutting groove is formed at the intersection so as to prevent the propagation of the cracks in front of the intersection.

도 8과 도 9은 서로 직교하는 교차 절단선이 있는 경우에 상기한 레이저 절단장치를 이용하여 절단하는 과정을 도시한 흐름도이다. 8 and 9 are flowcharts illustrating a process of cutting using the laser cutting device when there is a cross cutting line perpendicular to each other.

도 8을 참조하면, 먼저 교차점에 도 10에 도시한 "+"형태 또는 도 11에 도시한 원형의 절단 개시홈(125, 127)을 형성한다(ST81). 그런 다음, 1차 절단선(120a)의 시작 단부에 절단 개시홈을 형성하고(ST82), 1차 절단선(120a)을 따라 레이저 빔을 조사하는 동시에 레이저 빔이 조사된 1차 절단선(120a)을 급속 냉각시키고, 1차 절단선(120a)의 마감 단부에 절단 마감홈을 형성하고, 레이저 빔을 1차 절단선(120a)의 마감 단부까지 조사하는 과정을 통하여 1차 절단을 완료한다(ST83). 1차 커팅 후, 2차 커팅의 시작 단부에 절단 개시홈을 형성하고, 1차 절단선과 직교하는 2차 절단선(120b)을 따라 레이저 빔을 조사하는 동시에 레이저 빔이 조사된 2차 절단선(120b)을 급속 냉각시키고, 교차점을 지나서 2차 절단선(120b)의 마감 단부에 절단 마감홈을 형성하고, 레이저 빔을 2차 절단선(120b)의 마감 단부까지 조사하는 과정을 통하여 2차 절단을 완료한다(ST84). Referring to FIG. 8, first, the cutting start grooves 125 and 127 of the "+" shape shown in FIG. 10 or circular shape shown in FIG. 11 are formed at an intersection point (ST81). Then, a cutting start groove is formed at the start end of the primary cutting line 120a (ST82), and the primary cutting line 120a irradiated with the laser beam while irradiating the laser beam along the primary cutting line 120a. ) Is rapidly cooled, a cutting finish groove is formed at the finishing end of the primary cutting line 120a, and the primary cutting is completed by irradiating a laser beam to the finishing end of the primary cutting line 120a ( ST83). After the first cutting, a cutting start groove is formed at the start end of the second cutting, and the second cutting line irradiated with the laser beam is irradiated with the laser beam along the second cutting line 120b orthogonal to the first cutting line ( 120b) is rapidly cooled, a cutting finish groove is formed at the finishing end of the second cutting line 120b past the intersection point, and the secondary cutting is performed by irradiating a laser beam to the finishing end of the second cutting line 120b. To complete (ST84).

상기한 방법에 따르면, 2차 절단선(120b)을 따라 크랙이 전파되는 동안, 교차점을 만나더라도 교차점에는 교차점 절단 개시홈이 형성되어 있으므로, 크랙은 선형성을 갖고서, 2차 절단선(120b)의 마감 단부까지 전파된다.According to the above method, while the crack propagates along the secondary cutting line 120b, even if it meets the intersection, since the intersection cutting start groove is formed at the intersection, the crack has linearity, and thus the crack of the secondary cutting line 120b It propagates to the finish end.

한편, 도 9의 방법은 도 2와 같이 1차 절단선이 절단 대상물의 양측 단부까지 연장되지 않고, 도 12에 도시된 것처럼, 1차 절단선의 종점이 절단 대상물의 내측 소정 위치에서 끝나는 경우에 적용될 수 있다. Meanwhile, the method of FIG. 9 is applied when the primary cutting line does not extend to both ends of the cutting object as shown in FIG. 2, and as shown in FIG. 12, the end point of the primary cutting line ends at a predetermined position inside the cutting object. Can be.

도 9와 도 12을 참조하면, 먼저 1차 절단선(144)의 시작 단부에 절단 개시홈(142)을 형성한다(ST91). 그런 다음, 1차 절단선(144)을 따라 레이저 빔을 조사하는 동시에 레이저 빔이 조사된 1차 절단선(144)을 급속 냉각시키고, 1차 절단선(144)의 마감 단부에 절단 마감홈(146)을 형성하고, 레이저 빔을 1차 절단선(144)의 마감 단부까지 조사하는 과정을 통하여 1차 절단을 완료한다. 1차 절단의 완료 후, 프리 스크라이버의 회전톱날의 방향을 90도 회전시켜 2차 절단선의 시작 단부에 절단 개시홈(148)을 형성하고, 1차 절단선(144)과 직교하는 2차 절단선(149)을 따라 레이저 빔을 조사하는 동시에 레이저 빔이 조사된 2차 절단선(149)을 급속 냉각시키는 과정을 통하여 2차 절단을 완료한다. 9 and 12, first, a cutting start groove 142 is formed at a start end of the primary cutting line 144 (ST91). Then, the laser beam is irradiated along the primary cutting line 144 and at the same time, the primary cutting line 144 irradiated with the laser beam is rapidly cooled, and a cutting finish groove ( 146 is formed, and the primary cutting is completed by irradiating a laser beam to the finishing end of the primary cutting line 144. After completion of the primary cutting, the direction of the rotary saw blade of the prescriber is rotated 90 degrees to form a cutting start groove 148 at the start end of the secondary cutting line, and the secondary cutting perpendicular to the primary cutting line 144. The secondary cutting is completed by irradiating the laser beam along the line 149 and rapidly cooling the secondary cutting line 149 irradiated with the laser beam.

상기한 방법에 따르면, 2차 절단선(149)을 따라 레이저 빔이 조사되기 전에, 2차 절단선(149)의 시작 단부에 절단 개시홈(148)이 형성되므로, 크랙은 선형성을 갖고서, 2차 절단선(149)의 마감 단부까지 전파된다. 선택적으로, 2차 절단선(149)의 마감 단부가 레이저에 의하여 절단된 절단면과 같이 미끈한 경우, 2차 절단선(149)의 마감 단부에 절단 마감홈을 형성한 다음 레이저 빔을 2차 절단선(149)의 마감 단부까지 조사한다.According to the above method, before the laser beam is irradiated along the secondary cutting line 149, since the cutting start groove 148 is formed at the start end of the secondary cutting line 149, the crack has a linearity, 2 It propagates to the finishing end of the secondary cut line 149. Optionally, if the finishing end of the secondary cutting line 149 is as smooth as the cutting plane cut by the laser, a cutting finishing groove is formed at the finishing end of the secondary cutting line 149 and then the laser beam is cut into the secondary cutting line. Irradiate to the finish end of 149.

한편, 도 8 내지 도 12에서 언급한 제 1 절단선과 제 2 절단선에서의 절단 개시홈과 절단 마감홈은, 전단에서 언급한 다이아몬드나 텅스텐의 재질로 된 회전톱날을 이용하여 형성하거나, 냉각 공정을 하지 않는 블라인드 스크라이브로 발생시키는 두 가지 방법이 적용 가능하다. Meanwhile, the cutting start grooves and the cutting finish grooves in the first cutting line and the second cutting line mentioned in FIGS. 8 to 12 are formed by using a rotary saw blade made of diamond or tungsten mentioned in the previous step, or a cooling process. Two methods of generating blind scribes that do not work are applicable.

상기한 과정을 통하여 합착 기판의 일측 모 유리기판의 절단이 완료되면, 합착 기판을 뒤집어서, 타측 모 유리기판의 절단을 동일한 방법으로 수행한다.When the cutting of the mother glass substrate on one side of the bonded substrate is completed through the above process, the bonding substrate is turned over, and the other mother glass substrate is cut in the same manner.

한편, 상기한 실시예들에서 절단대상물은 박막 트랜지스터 기판과 컬러 필터 기판이 합착된 기판을 예를 들어 설명하였지만, 절단 대상물은 그들에만 한정되지 않는다. 즉, 절단선의 시작 단부와 종료 단부에 크랙 발생 가능성이 있는 낮은 인성(Toughness)을 갖는 모든 종류의 기판들, 예를 들어 실리콘 기판도 본 발명의 레이저 빔을 이용한 절단장치에 적용될 수 있다.Meanwhile, in the above-described embodiments, the cutting object has been described as an example in which the thin film transistor substrate and the color filter substrate are bonded, but the cutting object is not limited thereto. That is, all kinds of substrates having low toughness, for example, silicon substrates, which are likely to have cracks at the start end and the end end of the cutting line, may also be applied to the cutting device using the laser beam of the present invention.

또한, 상기한 실시예들에서는 절단장치가 이송하면서 절단 대상물을 절단하는 경우를 보이고 설명하였지만, 절단장치는 고정된 상태로 있고, 절단 대상물을 지지하는 플레이트가 이송하면서 절단을 수행하는 것도 가능하다. 즉, 레이저와 절단 대상물의 상대적인 위치 변경에 의하여 절단 대상물의 절단선을 따라 레이저 빔을 조사하는 것이 가능하다. In addition, in the above embodiments has been shown and described a case where the cutting device is cutting the cutting object while transporting, the cutting device is in a fixed state, it is also possible to perform the cutting while the plate supporting the cutting object. That is, it is possible to irradiate a laser beam along the cutting line of a cutting object by changing the relative position of a laser and a cutting object.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 절단장치는, 절단대상용 모 유리기판의 절단시작 및 절단마감 단부에 예비 절단홈 형성장치를 구비하여, 절단선으로 레이저 빔이 조사되기 전에, 예비 절단홈을 형성하므로써, 절단선의 단부에서 절단선이 아닌 다른 위치로 절단되는 것이 실질적으로 방지될 수 있다.As described above, the cutting device of the present invention includes a preliminary cutting groove forming device at the start of cutting and the end of the cutting of the mother glass substrate for cutting, and before the laser beam is irradiated to the cutting line, By forming, cutting to a position other than the cut line at the end of the cut line can be substantially prevented.

또한, 절단선이 직교하는 절단물의 경우에도 2차 절단선의 시작 단부에 절단 개시홈을 형성하므로써, 교차 절단선이 있는 절단 대상물에도 레이저 절단 장치의 적용을 가능하게 한다. In addition, even when the cutting line crosses perpendicularly, the cutting start groove is formed at the start end of the secondary cutting line, thereby enabling the application of the laser cutting device to the cutting object having the cross cutting line.

아울러, 위치 감지센서를 이용하여 예비 절단홈의 형성시점과, 레이저 빔의 출사 시점을 정확하게 제어하므로써, 불필요한 전력의 사용 및 냉각제의 낭비를 방지할 수 있다.In addition, by using the position sensor to precisely control the formation of the preliminary cutting groove and the exit point of the laser beam, it is possible to prevent unnecessary use of power and waste of the coolant.

여기에서는, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 통상의 지식을 가진 자에 의하여 변형과 변경이 가능할 것이다. 따라서, 이하 특허청구범위는 본 발명의 사상과 범위를 벗어나지 않는 한 그러한 모든 변형과 변경을 포함하는 것으로 간주된다.Although specific embodiments of the present invention have been illustrated and described herein, modifications and variations will be apparent to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the following claims are intended to embrace all such alterations and modifications without departing from the spirit and scope of the invention.

도 1은 모 유리기판의 평면도.1 is a plan view of a mother glass substrate.

도 2a는 도 1의 E1부분의 확대도.2A is an enlarged view of a portion E1 in FIG. 1.

도 2b는 도 1의 E2부분의 확대도.FIG. 2B is an enlarged view of portion E2 of FIG. 1.

도 3는 본 발명의 실시예에 따른 절단장치의 개략적 사시도.3 is a schematic perspective view of a cutting device according to an embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4c는 도 3의 절단장치를 이용하여 모 유리기판을 절단하는 과정을 도시한 설명도.4A to 4C are explanatory views illustrating a process of cutting a mother glass substrate using the cutting device of FIG. 3.

도 5는 도 3의 절단장치에 의하여 절단된 유리기판에서 레이저 빔과 예비 절단홈 형성장치의 경로를 보여주는 단면도.5 is a cross-sectional view illustrating a path of a laser beam and a preliminary cutting groove forming apparatus in the glass substrate cut by the cutting device of FIG.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 빔을 이용한 절단장치의 부분 단면도.6 is a partial cross-sectional view of a cutting device using a laser beam according to another embodiment of the present invention.

도 7a와 도 7b는 도 6의 절단장치의 동작을 설명하기 위한 설명도.7A and 7B are explanatory views for explaining the operation of the cutting device of Fig. 6;

도 8과 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 빔을 이용한 절단방법을 보여주는 공정흐름도.8 and 9 is a process flow diagram showing a cutting method using a laser beam according to another embodiment of the present invention.

도 10과 도 11은 도 8의 방법을 설명하기 위한 절단 대상물의 부분 평면도.10 and 11 are partial plan views of cutting objects for explaining the method of FIG. 8;

도 12는 도 9의 방법을 설명하기 위한 절단 대상물의 부분 평면도. 12 is a partial plan view of a cutting object for explaining the method of FIG. 9;

Claims (23)

특정 파장의 레이저 빔을 절단 대상물의 절단 예정선을 따라 조사하는 레이저; A laser for irradiating a laser beam of a specific wavelength along a cutting target line of the cutting object; 상기 레이저가 조사되는 상기 절단 대상물의 선택 위치에, 상기 레이저 빔이 조사되기 전에 절단 홈을 형성하는 절단홈 형성수단; 및 Cutting groove forming means for forming a cutting groove before the laser beam is irradiated at a selected position of the cutting object to which the laser is irradiated; And 상기 레이저의 레이저 빔이 조사된 상기 절단 대상물의 절단선을 냉각시키는 냉각수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단장치.And a cooling means for cooling the cutting line of the cutting object to which the laser beam of the laser is irradiated. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저와 상기 절단홈 형성수단이 장착되고, 상기 레이저와 상기 절단홈 형성수단을 선택 방향으로 이송하는 이송수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단장치.According to claim 1, The laser and the cutting groove forming means is mounted, the cutting device using a laser beam, characterized in that it further comprises a transfer means for transferring the laser and the cutting groove forming means in a selection direction. 제 1 항에 있어서, 상기 절단홈 형성수단은 절단홈이 끝나는 가장자리에 절단 마감홈을 추가로 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단장치.According to claim 1, wherein the cutting groove forming means is a cutting device using a laser beam, characterized in that for further forming a cutting finishing groove at the edge of the cutting groove ends. 제 1 항에 있어서, 상기 절단 대상물은 합착상태의 2매의 액정표시기용 유리기판인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단장치.The cutting device according to claim 1, wherein the cutting object is a glass substrate for two liquid crystal displays in a bonded state. 제 4 항에 있어서, 상기 2매의 유리기판은, 적어도 2매의 단위 패널 면적에 대응하는 면적을 갖는 모 유리기판인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단장치.The cutting device according to claim 4, wherein the two glass substrates are parent glass substrates having an area corresponding to at least two unit panel areas. 제 1 항에 있어서, 상기 절단홈 형성수단은,According to claim 1, wherein the cutting groove forming means, 상기 레이저의 진행방향의 전단에 설치된 제 1 로드; 상기 제 1 로드와 피봇 결합되어 시계 및 반시계 방향으로 회동하는 제 2 로드; 및 상기 제 2 로드의 단부에 설치되어, 상기 절단대상물의 절단선에 예비 절단홈을 형성하는 회전톱날을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단장치.A first rod provided at a front end of the laser in the advancing direction; A second rod pivotally coupled with the first rod to rotate clockwise and counterclockwise; And a rotary saw blade provided at an end of the second rod to form a preliminary cutting groove in a cutting line of the cutting object. 제 6 항에 있어서, 상기 레이저의 전단에 설치되어, 상기 절단대상물의 절단 시작 단부와 절단 종료 단부의 위치를 감지하며, 상기 절단수단의 작동 시점을 알려주는 위치 감지센서를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단장치.According to claim 6, It is installed in the front end of the laser, and detects the position of the cutting start end and the cutting end of the cutting object, and further comprising a position sensor for indicating the operation time of the cutting means. Cutting device using a laser beam. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저는, 야그 레이저, CO2 레이저, 다이오드 레이저로 구성되는 그룹으로부터 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단장치. The cutting device according to claim 1, wherein the laser is one selected from the group consisting of a yag laser, a CO2 laser, and a diode laser. 절단대상물의 절단선과 절단 시작점을 감지하는 단계;Detecting a cutting line and a cutting start point of the cutting object; 상기 절단선과 절단 시작점의 감지신호에 따라 상기 절단선의 시작 단부에 소정 길이의 절단 개시홈을 형성하는 단계; 및Forming a cut start groove of a predetermined length at a start end of the cut line according to a detection signal of the cut line and the cut start point; And 상기 절단선의 상기 절단 개시홈에서부터 절단 종료점까지 레이저 빔을 조사하고, 레이저 빔이 조사된 상기 절단선을 급속 냉각시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.And irradiating a laser beam from the cut start groove to the cut end point of the cut line, and rapidly cooling the cut line to which the laser beam is irradiated. 제 9 항에 있어서, 상기 레이저 빔의 조사동안, 상기 절단 대상물의 절단 종료점을 감지하여, 상기 절단선의 마감 단부에 절단 마감홈을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.10. The method of claim 9, further comprising: detecting a cutting end point of the cutting object during the irradiation of the laser beam, and forming a cutting finish groove at a finish end of the cutting line. Way. 제 9 항에 있어서, 상기 절단 대상물은 합착상태의 2매의 액정표시기용 유리기판인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.10. The method of claim 9, wherein the cutting object is a glass substrate for two liquid crystal displays in a bonded state. 제 11 항에 있어서, 상기 2매의 유리기판은, 적어도 2매의 단위 패널 면적에 대응하는 면적을 갖는 모 유리기판인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.12. The cutting method according to claim 11, wherein the two glass substrates are parent glass substrates having an area corresponding to at least two unit panel areas. 서로 직교하는 1차 절단선과 2차 절단선을 갖는 절단 대상물을 레이저로 절단하는 방법으로서, A method of cutting a cutting object having a primary cutting line and a secondary cutting line perpendicular to each other, 상기 절단 대상물의 1차 절단선과 1차 절단 시작점을 감지하여, 상기 1차 절단선의 시작 단부에 절단 개시홈을 형성하는 단계;Sensing a first cutting line and a first cutting start point of the cutting object, and forming a cutting start groove at a start end of the first cutting line; 상기 절단 개시홈을 시작으로 상기 1차 절단선을 따라 레이저 빔을 조사하고, 상기 레이저 빔이 조사된 상기 1차 절단선을 급속 냉각시키는 단계;Irradiating a laser beam along the primary cutting line starting with the cutting start groove, and rapidly cooling the primary cutting line irradiated with the laser beam; 상기 2차 절단선의 2차 절단 시작점을 감지하여, 상기 2차 절단선의 시작 단부에 절단 개시홈을 형성하는 단계; 및 Sensing a second cut start point of the second cut line and forming a cut start groove at a start end of the second cut line; And 상기 2차 절단선의 절단 개시홈을 시작으로 상기 2차 절단선을 따라 레이저 빔을 조사하고, 상기 레이저 빔이 조사된 상기 2차 절단선을 급속 냉각시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 절단방법. Irradiating a laser beam along the secondary cutting line starting from the starting start groove of the secondary cutting line, and rapidly cooling the secondary cutting line to which the laser beam is irradiated. Cutting method. 제 13 항에 있어서, 상기 2차 절단 개시홈의 형성 단계 이전에, 상기 1차 절단선의 종료점을 감지하여 상기 1차 절단선의 마감 단부에 절단 마감홈을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 절단방법.15. The method of claim 13, Before the step of forming the secondary cutting start groove, further comprising the step of forming a cutting closing groove in the end of the first cutting line by detecting the end point of the primary cutting line. Cutting method using a laser. 제 14 항에 있어서, 상기 2차 절단선으로의 레이저 빔의 조사동안, 상기 2차 절단선의 마감 단부를 감지하여, 상기 2차 절단선의 마감 단부에 절단 마감홈을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 절단방법.15. The method of claim 14, further comprising, during irradiation of the laser beam to the secondary cutting line, sensing a finishing end of the secondary cutting line to form a cutting finishing groove at the finishing end of the secondary cutting line. Cutting method using a laser, characterized in that. 제 15 항에 있어서, 상기 절단 대상물은 합착상태의 2매의 액정표시기용 유리기판인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.The method according to claim 15, wherein the cutting object is a glass substrate for two liquid crystal displays in a bonded state. 서로 직교하는 1차 절단선과 2차 절단선을 갖는 절단 대상물을 레이저로 절단하는 방법으로서, A method of cutting a cutting object having a primary cutting line and a secondary cutting line perpendicular to each other, 상기 1차 절단선과 상기 2차 절단선의 교차점에 예비 절단홈을 형성하는 단계;Forming a preliminary cutting groove at an intersection point of the first cutting line and the second cutting line; 상기 절단 대상물의 1차 절단선과 1차 절단 시작점을 감지하여, 상기 1차 절단선의 시작 단부에 절단 개시홈을 형성하는 단계;Sensing a first cutting line and a first cutting start point of the cutting object, and forming a cutting start groove at a start end of the first cutting line; 상기 절단 개시홈을 시작으로 상기 1차 절단선을 따라 레이저 빔을 조사하고, 상기 레이저 빔이 조사된 상기 1차 절단선을 급속 냉각시키는 단계;Irradiating a laser beam along the primary cutting line starting with the cutting start groove, and rapidly cooling the primary cutting line irradiated with the laser beam; 상기 2차 절단선의 2차 절단 시작점을 감지하여, 상기 2차 절단선의 절단 개시홈을 시작으로 상기 2차 절단선을 따라 레이저 빔을 조사하고, 상기 레이저 빔이 조사된 상기 2차 절단선을 급속 냉각시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법. Detecting the secondary cutting start point of the secondary cutting line, and irradiating a laser beam along the secondary cutting line starting from the starting start groove of the secondary cutting line, and rapidly the secondary cutting line irradiated with the laser beam Cutting method using a laser beam comprising the step of cooling. 제 17 항에 있어서, 상기 2차 절단 개시홈의 형성 단계 이전에, 상기 1차 절단선의 종료점을 감지하여 상기 1차 절단선의 마감 단부에 절단 마감홈을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.18. The method of claim 17, Before the forming of the secondary cutting start groove, further comprising the step of forming a cutting closing groove in the end of the first cutting line by detecting the end point of the first cutting line. Cutting method using a laser beam. 제 18 항에 있어서, 상기 2차 절단선으로의 레이저 빔의 조사동안, 상기 2차 절단선의 마감 단부를 감지하여, 상기 2차 절단선의 마감 단부에 절단 마감홈을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.19. The method of claim 18, further comprising: sensing the end of the second cut line during irradiation of the laser beam to the second cut line, thereby forming a cut end groove in the end of the secondary cut line. Cutting method using a laser beam, characterized in that. 제 17 항에 있어서, 상기 교차점에 형성된 예비 절단홈은 상기 교차점을 따라 직교하는 "+"형상인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.18. The cutting method according to claim 17, wherein the preliminary cutting grooves formed at the intersection points have a "+" shape orthogonal to the intersection points. 제 17 항에 있어서, 상기 교차점에 형성된 예비 절단홈은 원형인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.18. The method of claim 17, wherein the preliminary cutting grooves formed at the intersections have a circular shape. 제 17 항에 있어서, 상기 각각의 예비 절단홈은 냉각공정 없이, 레이저 빔을 조사하여 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.18. The method of claim 17, wherein each of the preliminary cutting grooves is formed by irradiating a laser beam without a cooling process. 제 19 항에 있어서, 상기 각각의 예비 절단홈은 회전톱날을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 절단방법.20. The method of claim 19, wherein each of the preliminary cutting grooves is formed by using a rotary saw blade.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100799434B1 (en) 2005-09-12 2008-01-30 폭스세미콘 인티그리티드 테크놀로지, 인코포레이티드 Laser cutting apparatus and method
KR100972488B1 (en) * 2005-12-29 2010-07-26 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus and method of cutting liquid crystal display device and method of fabricating liquid crystal display device using thereof

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100400059B1 (en) * 2000-10-10 2003-09-29 삼성전자주식회사 Apparatus and method for cutting non-metal substrate
KR100569105B1 (en) * 2004-05-14 2006-04-07 현대자동차주식회사 A teaching device of robot for laser welding
DE102009023602B4 (en) * 2009-06-02 2012-08-16 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Device for the industrial production of elastically deformable large-area glass plates in large quantities
KR101366873B1 (en) * 2012-07-31 2014-02-25 (주)하드램 Edge detection apparatus for film attached to glass substrate and laser cutting system having the same
KR101999336B1 (en) * 2013-04-09 2019-07-11 엘지디스플레이 주식회사 Liquid crystal display, method of manufacturing the same
JP6837202B2 (en) * 2017-01-23 2021-03-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 Substrate heating device and method and manufacturing method of electronic device
CN113894443B (en) * 2021-11-29 2024-01-30 杭州美齐科技有限公司 Laser cutting device and method for tooth socket

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5886743A (en) * 1981-11-18 1983-05-24 Nec Home Electronics Ltd Manufacture of semiconductor device
JPS60130491A (en) * 1983-12-20 1985-07-11 Komatsu Ltd Method and device for cooling material to be cut in laser cutting
JPS6383221A (en) * 1986-09-29 1988-04-13 Toshiba Corp Cutting method by laser light
KR20000014954A (en) * 1998-08-26 2000-03-15 윤종용 Cutting apparatus and method of lcd glass and large-sized flat display device fabricating method using the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5886743A (en) * 1981-11-18 1983-05-24 Nec Home Electronics Ltd Manufacture of semiconductor device
JPS60130491A (en) * 1983-12-20 1985-07-11 Komatsu Ltd Method and device for cooling material to be cut in laser cutting
JPS6383221A (en) * 1986-09-29 1988-04-13 Toshiba Corp Cutting method by laser light
KR20000014954A (en) * 1998-08-26 2000-03-15 윤종용 Cutting apparatus and method of lcd glass and large-sized flat display device fabricating method using the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100799434B1 (en) 2005-09-12 2008-01-30 폭스세미콘 인티그리티드 테크놀로지, 인코포레이티드 Laser cutting apparatus and method
KR100972488B1 (en) * 2005-12-29 2010-07-26 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus and method of cutting liquid crystal display device and method of fabricating liquid crystal display device using thereof

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