KR100485656B1 - 쵸크랄스키 법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의시드 척 - Google Patents
쵸크랄스키 법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의시드 척 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (2)
- 쵸크랄스키(CZ) 법에 의하여 실리콘 단결정 잉곳을 성장시키는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드 척(seed chuck)에 있어서,상기 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 상부에 설치되어 상승ㆍ하강하는 로프(rope)와 결합되도록 상부에 형성된 로프 결합부와,상기 로프 결합부의 하부에 연장되며 상기 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치에서 성장시키고자 하는 상기 실리콘 단결정 잉곳의 지름과 동일하거나 작은 지름을 갖는 최대 지름부를 갖는 몸체부와,상기 로프 결합부의 하부에 형성되어 상기 실리콘 단결정 잉곳을 성장시키는 시드가 결합되는 시드 결합부를 포함하는 쵸크랄스키 법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드 척.
- 청구항 1에 있어서 상기 몸체부는 상기 로프 결합부로부터 상기 최대 지름부의 상부까지 그 지름이 서서히 증가하여 그 단면이 대각선이 되도록 형성되며, 상기 최대 지름부의 상부로 부터 하부까지 수직을 이루다가, 상기 최대 지름부의 하부로 부터 상기 시드 결합부까지 그 지름이 서서히 감소하여 그 단면이 대각선이 되도록 형성된 쵸크랄스키 법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드 척.
Priority Applications (1)
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Publications (2)
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KR20040057336A KR20040057336A (ko) | 2004-07-02 |
KR100485656B1 true KR100485656B1 (ko) | 2005-04-27 |
Family
ID=37349928
Family Applications (1)
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KR10-2002-0084032A KR100485656B1 (ko) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 쵸크랄스키 법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의시드 척 |
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KR (1) | KR100485656B1 (ko) |
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2002
- 2002-12-26 KR KR10-2002-0084032A patent/KR100485656B1/ko active IP Right Grant
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