KR100479455B1 - The layout of a decoder and the method thereof - Google Patents

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Abstract

m x n개의 노드들을 가진 디코더의 배치 구조와 그 방법이 제공된다. 노드는 복수의 트랜지스터 노드들과 복수의 채널 노드들을 포함한다. 트랜지스터 노드의 제조 방법은 게이트, 제1 소스/드레인 영역 및 제2 소스/드레인 영역을 형성하는 단계를 포함한다. 채널 노드는 채널을 형성하는 단계에 의해 제조된다. 채널, 제1 소스/드레인 영역 및 제2 소스/드레인 영역은 동시에 동일한 재료로 형성된다. 본 발명에서 더욱 작은 폭을 가진 디코더 회로가 추가적인 마스크 없이 달성된다. An arrangement and method of a decoder with m x n nodes is provided. The node includes a plurality of transistor nodes and a plurality of channel nodes. The method of manufacturing a transistor node includes forming a gate, a first source / drain region, and a second source / drain region. Channel nodes are manufactured by forming channels. The channel, the first source / drain region and the second source / drain region are simultaneously formed of the same material. In the present invention a smaller width decoder circuit is achieved without additional masks.

Description

디코더의 배치와 그 방법{THE LAYOUT OF A DECODER AND THE METHOD THEREOF}LAYOUT OF A DECODER AND THE METHOD THEREOF

본 발명은 디코더의 배치 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 더 적은 수의 마스크와 더 작은 회로 폭을 가진 디코더의 배치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to the arrangement and method of the decoder, and more particularly to the arrangement and method of the decoder having a smaller number of masks and a smaller circuit width.

본 출원은 2001년 1월 18일자로 출원된 타이완 출원 제90101196호를 여기에 인용함으로써 본 명세서의 일부를 이루게 한다. This application forms a part of this specification by citing here Taiwan Application No. 90101196, filed January 18, 2001.

LCD(액정 표시장치)는 데이터 구동기와 주사 구동기를 가진다. 표시장치 상의 색 또는 영상은 다음의 기구에 의해 변환된다. 첫째, 주사될 필요가 있는 주사선 중 하나가 주사 구동기에 의해 결정된다. 다음에는, 한 주사선 내의 모든 화소가 데이터 구동기로부터 데이터 신호를 입력함으로써 갱신된다. 칼라(color) TFT LCD(박막 트랜지스터 LCD)를 예로서 취하면, 각각의 화소는 3개의 부 화소(sub-pixel)를 포함하는데, 각각의 부 화소의 계조(gray scale)는 TFT(박막 트랜지스터)에 의해 제어된다. 3개의 부 화소는 각각 적, 녹 및 청의 3개의 색을 나타낸다. 따라서, 각각의 화소의 색은 3개의 TFT에 의해 제어된다. LCD (Liquid Crystal Display) has a data driver and a scan driver. The color or image on the display device is converted by the following mechanism. First, one of the scan lines that needs to be scanned is determined by the scan driver. Next, all the pixels in one scan line are updated by inputting data signals from the data driver. Taking a color TFT LCD (thin film transistor LCD) as an example, each pixel includes three sub-pixels, and the gray scale of each sub pixel is a TFT (thin film transistor). Controlled by The three subpixels represent three colors of red, green, and blue, respectively. Thus, the color of each pixel is controlled by three TFTs.

도 1은 칼라 TFT LCD(100)용 구동 회로의 구조를 도시한다. 칼라 LCD의 해상도가 1280 화소 x 1024 라인에 의해 달성될 때, 3840(1280x3) 개의 부 화소 및 TFT가 각각의 주사선에 대해 요구된다. 첫째, 데이터 구동기(106)는 디지털 영상 데이터(D)를 수신하고 디지털 영상 데이터(D)를 DAC(108)(디지털 아날로그 변환기, D/A)에 의해 아날로그 영상 데이터로 변환한다. 다음에는 주사 구동기(104)는 주사선[114(m)]을 선택하고, 주사선(m) 상의 부 화소의 데이터는 데이터 구동기(106)로부터 데이터선(112)을 통해 갱신된다. 1 shows the structure of a drive circuit for the color TFT LCD 100. When the resolution of the color LCD is achieved by 1280 pixels by 1024 lines, 3840 (1280x3) subpixels and TFTs are required for each scan line. First, the data driver 106 receives the digital image data D and converts the digital image data D into analog image data by the DAC 108 (Digital Analog Converter, D / A). Next, the scan driver 104 selects the scan line 114 (m), and the data of the subpixels on the scan line m is updated from the data driver 106 via the data line 112.

LCD에서, 각각의 부 화소는 그 부 화소의 투과율을 결정하는 액정을 포함하고, 투과율은 액정에 인가된 전압에 의해 제어된다. 동일한 극성을 가진 전압이 부 화소에 계속적으로 인가되면, 액정은 쉽게 손상될 것이다. 각각의 부 화소의 투과율은 인가된 전압의 값에 관련되며, 인가된 전압의 극성에는 관련되지 않는다. 따라서, 손상의 문제는 극성 반전에 의해 해결될 수 있다. In the LCD, each sub pixel includes a liquid crystal which determines the transmittance of the sub pixel, and the transmittance is controlled by the voltage applied to the liquid crystal. If a voltage having the same polarity is continuously applied to the subpixel, the liquid crystal will be easily damaged. The transmittance of each subpixel is related to the value of the applied voltage, not to the polarity of the applied voltage. Thus, the problem of damage can be solved by polarity reversal.

도 2는 도 1의 DAC(108)에 따른 회로 블록도를 도시한다. DAC(108)는 복수의 P-형 DAC 장치(202), 복수의 N-형 DAC 장치(204), 복수의 버퍼(206), 및 스위칭 소자(210, 212)를 포함한다. P-형 DAC 장치(202)는 복수의 PMOS(P-형 금속-산화막 반도체)를 포함하고, N-형 DAC 장치(204)는 복수의 NMOS(N-형 금속-산화막 반도체)를 포함한다. 이러한 P-형 및 N-형 DAC 장치는 교대로 배열되고, 그들은 서로 다른 전압 레벨을 출력하기 위해서 사용된다. 주사선의 디지털 영상 데이터 D가 DAC 장치(108)에 입력될 때, 각각의 부 화소에 대한 디지털 데이터[D(n)] 도트 반전 방법 또는 칼럼 반전 방법에 따라 스위칭 소자(210)에 의해 선택되어 P-형 DAC 장치(202) 또는 N-형 DAC 장치(204)로 입력된다. 디지털 데이터[D(n)]가 P-형 DAC 장치(202)에 입력되면, 디지털 데이터[D(n)]는 아날로그 신호(Vp)로 변환될 것이다. 디지털 데이터[D(n)]가 N-형 DAC 장치(204)에 입력되면, 디지털 데이터[D(n)]는 아날로그 신호(Vn)으로 변환될 것이다. 그 후에, 아날로그 신호(Vp, Vn)은 버퍼(206)에 입력되고, 출력 신호(Vp', Vn')가 각각 발생된다. 다음에, 스위칭 소자(212)는 스위칭 소자(210)에 의해 사용된 방법에 따라 출력 신호(Vp', Vn')를 데이터 선들 중의 하나로 출력한다. 본 기술분야에 익숙한 자에게는, 아날로그 신호(Vp', Vn')가 다른 극성을 가진 전압이라는 것이 잘 알려져 있다. FIG. 2 shows a circuit block diagram in accordance with the DAC 108 of FIG. 1. The DAC 108 includes a plurality of P-type DAC devices 202, a plurality of N-type DAC devices 204, a plurality of buffers 206, and switching elements 210, 212. The P-type DAC device 202 includes a plurality of PMOSs (P-type metal-oxide semiconductors), and the N-type DAC device 204 includes a plurality of NMOSs (N-type metal-oxide semiconductors). These P-type and N-type DAC devices are arranged alternately, and they are used to output different voltage levels. When the digital image data D of the scanning line is input to the DAC device 108, it is selected by the switching element 210 according to the digital data [D (n)] dot inversion method or column inversion method for each sub-pixel and is P. Input to the -type DAC device 202 or the N-type DAC device 204. When digital data D (n) is input to the P-type DAC device 202, the digital data D (n) will be converted into an analog signal Vp. When digital data D (n) is input to the N-type DAC device 204, the digital data D (n) will be converted into an analog signal Vn. Thereafter, the analog signals Vp and Vn are input to the buffer 206, and output signals Vp 'and Vn' are generated, respectively. Next, the switching element 212 outputs the output signals Vp 'and Vn' to one of the data lines according to the method used by the switching element 210. It is well known to those skilled in the art that analog signals Vp ', Vn' are voltages with different polarities.

도 3은 도 2의 N-형 DAC 장치(204)의 회로도를 도시한다. 여기에서, 3-비트의 입력이 도시되고, 3 비트의 디지털 데이터[D(n)]가 제공된다. N-형 DAC 장치(204)는 저항 열(Rs), 출력선(OUT), 및 디코더(302)를 포함한다. 저항 열(Rs)의 2개의 단부는 각각 전압(Vc, Vd)에 연결된다. 저항 열(Rs)은 직렬 연결된 R0 내지 R6로 구성되었다. 따라서, V(0) 내지 V(7)까지의 8 종류의 서로 다른 전압이 제공된다. FIG. 3 shows a circuit diagram of the N-type DAC device 204 of FIG. 2. Here, a three-bit input is shown, and three bits of digital data D (n) are provided. The N-type DAC device 204 includes a resistor row Rs, an output line OUT, and a decoder 302. The two ends of the resistor row Rs are connected to voltages Vc and Vd, respectively. The resistor row Rs consists of series connected R0 to R6. Thus, eight different voltages from V (0) to V (7) are provided.

디코더(302)는 어레이 배열의 복수의 트랜지스터 노드(310)와 복수의 채널 노드(320)로 구성된다. 트랜지스터 노드(310)의 각각의 칼럼 내의 트랜지스터의 게이트는 서로 연결되어 디코더 입력[B(0) 내지 B(5)]이 발생된다. 트랜지스터 노드(310)와 채널 노드(302)의 각각의 로우 내의 트랜지스터(Q)의 소스/드레인은 직렬로 연결되어 신호선[L(0) 내지 L(7)]이 형성된다. The decoder 302 is composed of a plurality of transistor nodes 310 and a plurality of channel nodes 320 in an array arrangement. The gates of the transistors in each column of transistor node 310 are connected to each other to generate decoder inputs B (0) to B (5). Source / drain of the transistor Q in each row of the transistor node 310 and the channel node 302 are connected in series to form signal lines L (0) to L (7).

도 4a와 도 4b를 동시에 참조한다. 그 도면들은 트랜지스터(Q)를 포함하는 트랜지스터 노드(310)의 회로도와 연결선(K)을 포함하는 채널 노드(320)의 회로도를 각각 도시한다. 디코더 입력[B(0) 내지 B(5)]는 디지털 데이터[D(n)]를 수신하기 위해 사용된다. 디지털 데이터[D(n)](b0', b0, b1', b1, b2', b2)는 각각 디코더 입력[B(0) 내지 B(5)]에 입력되는데, b0, b1, b2는 b0', b1', b2'의 반전된 값이다. 신호선[L(0) 내지 L(7)]의 입력단들은 저항 열(Rs)의 출력단과 결합된다. 신호선[L(0) 내지 L(7)]의 모든 출력단은 출력선(OUT)에 공통으로 연결된다. 출력선(OUT)은 디지털 데이터가 디지털-아날로그 변환에 의해 처리되는 동안에 아날로그 신호를 출력하는 데에 사용된다. 저항 열(Rs)로부터 출력된 전압[V(0) 내지 V(7)]은 신호선[L(0) 내지 L(7)]에 입력된다. 신호선[L(i)] 상의 트랜지스터의 게이트는 디코더 입력(B)에 의해 제어된다. 신호선[L(i)] 상의 트랜지스터가 도통될 때, 출력선(OUT)은 전압[V(i)]을 출력한다. 그 동안에, 출력선(OUT) 상의 트랜지스터만 도통되고, 신호선[L(i)] 상의 입력단과 출력단만 도통되는데, 여기에서 0≤i≤7이다. 예로서, 디지털 데이터[D(n)]이 000일 때, b0', b1' 및 b2'는 모두 1이고, 신호선 L(0) 상의 트랜지스터만이 도통된다. 따라서, 출력선(OUT)은 전압[V(0)]의 아날로그 신호(Vn)를 출력한다. Reference is made simultaneously to FIGS. 4A and 4B. The figures show a circuit diagram of a transistor node 310 including a transistor Q and a circuit diagram of a channel node 320 including a connection line K, respectively. Decoder inputs B (0) to B (5) are used to receive digital data D (n). Digital data [D (n)] (b0 ', b0, b1', b1, b2 ', b2) are input to decoder inputs B (0) to B (5), respectively, where b0, b1 and b2 are b0. It is the inverted value of ', b1', b2 '. The input ends of the signal lines L (0) to L (7) are coupled with the output ends of the resistor rows Rs. All output terminals of the signal lines L (0) to L (7) are commonly connected to the output line OUT. The output line OUT is used to output an analog signal while digital data is processed by digital-to-analog conversion. The voltages V (0) to V (7) output from the resistor row Rs are input to the signal lines L (0) to L (7). The gate of the transistor on the signal line L (i) is controlled by the decoder input B. When the transistor on the signal line L (i) is turned on, the output line OUT outputs the voltage V (i). In the meantime, only the transistor on the output line OUT is conducted, and only the input terminal and the output terminal on the signal line L (i) are conducted, where 0 ≦ i ≦ 7. For example, when the digital data D (n) is 000, b0 ', b1' and b2 'are all 1, and only the transistor on the signal line L (0) is turned on. Therefore, the output line OUT outputs the analog signal Vn of the voltage V (0).

도 5는 종래의 방법에 따른 도 3의 디코더(302)의 배치를 도시한다. 디코더(302)용 각각의 트랜지스터 노드(310)의 배치는 트랜지스터 영역에 대응되는 게이트(530), 소스 영역(532) 및 드레인 영역(534)을 포함한다. 게이트(530), 소스 영역(532) 및 드레인 영역(534) 외에도, 채널 노드(320)의 배치는 도핑(doped) 영역(526)을 더 포함하는데, 도핑 영역(526)은 채널 노드(320)의 소스 영역(532)과 드레인 영역(534) 사이에 단락 회로를 형성하며 트랜지스터가 항상 도통하게 한다. 채널 노드(320)는 채널 영역에 대응된다. 도 6a 내지 도 6e는 도 5의 신호선 L(0)의 제조 방법을 도시한다. 디코더(302) 제조 공정은 다음과 같다. 도 6a에 도시하듯이, 기판이 제공된다. 다음에는, 도핑된 층(526)이 채널 영역 내에 형성된다. 다음에, 트랜지스터가 디코더(302)의 전체 트랜지스터 노드(310)와 전체 채널 노드(320)에 형성되는데, 이것은 도 6c 내지 도 6e에 대응된다. 도 6c에서, 산화층(628)이 기판 상에 형성된다. 도 6d에 도시하듯이, 복수의 게이트(530)가 산화층(638) 상에 형성되고, 소스 영역(532)과 드레인 영역(534)이 도 6e에서 기판 내에 형성된다. 이들 게이트(530)들은 디코더 입력(B)에 연결되고, 채널 노드(320)에서 트랜지스터들은 도핑 층(526)이 있기 때문에 단락 된다. 이러한 방법으로, 트랜지스터들은 도통되고, 디코더 입력(B)에 의해 제어되지 않는다. DAC[108(n)]는 P-형 DAC 장치(202)와 N-형 DAC 장치(204)를 포함하기 때문에, P-형 도핑된 층과 N-형 도핑된 층을 2개의 추가적인 마스크를 사용하여 독립적으로 형성할 필요가 있다. 5 illustrates the layout of the decoder 302 of FIG. 3 according to a conventional method. The arrangement of each transistor node 310 for the decoder 302 includes a gate 530, a source region 532, and a drain region 534 corresponding to the transistor region. In addition to the gate 530, source region 532, and drain region 534, the placement of the channel node 320 further includes a doped region 526, where the doped region 526 is a channel node 320. A short circuit is formed between the source region 532 and the drain region 534 of the transistor so that the transistor is always conductive. The channel node 320 corresponds to the channel region. 6A to 6E show a method of manufacturing the signal line L (0) of FIG. The manufacturing process of the decoder 302 is as follows. As shown in Fig. 6A, a substrate is provided. Next, a doped layer 526 is formed in the channel region. Next, transistors are formed at all transistor nodes 310 and all channel nodes 320 of decoder 302, which correspond to FIGS. 6C-6E. In FIG. 6C, an oxide layer 628 is formed on the substrate. As shown in FIG. 6D, a plurality of gates 530 are formed on the oxide layer 638, and a source region 532 and a drain region 534 are formed in the substrate in FIG. 6E. These gates 530 are connected to the decoder input B and the transistors at the channel node 320 are shorted because there is a doping layer 526. In this way, the transistors are turned on and are not controlled by the decoder input B. Since the DAC 108 (n) includes a P-type DAC device 202 and an N-type DAC device 204, two additional masks are used for the P-type doped layer and the N-type doped layer. It is necessary to form independently.

도 7은 다른 종래 방법에 따른 도 3의 디코더(302)의 배치를 도시한다. 디코더(302)는 어레이 배열의 복수의 트랜지스터 노드(310)와 복수의 채널 노드(320)로 구성된다. 디코더(302)용 각각의 트랜지스터 노드(310)의 배치는 트랜지스터 영역에 대응되는 게이트(730), 소스 영역(732) 및 드레인 영역(734)을 포함한다. 게이트(730), 소스 영역(732) 및 드레인 영역(734) 외에도, 채널 노드(320)의 배치는 단락 회로 장치(736)를 더 포함하는데, 단락 회로 장치(736)는 채널 노드(320)용 소스 영역(732)과 드레인 영역(734) 사이에 단락 회로를 형성한다. 채널 노드(320)는 채널 영역에 대응된다. 도 8a 내지 도 8e는 도 7의 신호선 L(0)의 제조 방법을 도시한다. 디코더(302)의 전체 트랜지스터 노드와 채널 노드 내의 트랜지스터를 형성하는 공정은 다음과 같다. 도 8a에 도시하듯이, 기판(824)이 제공된다. 다음에는 산화층(828)이 도 8Bb 같이 기판(824) 상에 형성된다. 다음에는, 복수의 게이트(730)가 도 8c와 같이 산화층(828) 상에 형성된다. 도 8d에서, 소스 영역(732)과 드레인 영역(734)이 기판(824)에 형성되고, 트랜지스터의 배치가 완성된다. 도 8e를 참조하면, 절연층(838)이 기판(824) 상에 형성되고, 단락 회로 장치(736)가 절연층(838) 상에 금속층을 형성함으로써 채널 영역에 형성된다. 단락 회로 장치(736)의 제1 접점(740)과 제2 접점(742)은 절연층(838)을 관통하고, 각각 소스 영역(732)과 드레인 영역(734)에 연결된다. 따라서, 단락 회로는 소스(732)와 드레인(734) 사이에 형성된다. 더욱이, 게이트(730)는 디코더 입력(B)에 연결되고, 트랜지스터는 항상 도통된다. 단락 회로 장치(736)는 채널 영역 내의 트랜지스터의 소스(732)와 드레인(734)에 연결되기 때문에, 트랜지스터는 디코더 입력(B)의 어느 것에 의해서도 제어되지 않는다. 7 illustrates the placement of the decoder 302 of FIG. 3 according to another conventional method. The decoder 302 is composed of a plurality of transistor nodes 310 and a plurality of channel nodes 320 in an array arrangement. The arrangement of each transistor node 310 for the decoder 302 includes a gate 730, a source region 732, and a drain region 734 corresponding to the transistor region. In addition to the gate 730, source region 732, and drain region 734, the placement of the channel node 320 further includes a short circuit device 736, the short circuit device 736 for the channel node 320. A short circuit is formed between the source region 732 and the drain region 734. The channel node 320 corresponds to the channel region. 8A to 8E show a method of manufacturing the signal line L (0) of FIG. The process of forming transistors in all transistor nodes and channel nodes of the decoder 302 is as follows. As shown in FIG. 8A, a substrate 824 is provided. An oxide layer 828 is then formed on the substrate 824 as shown in FIG. 8BB. Next, a plurality of gates 730 are formed on the oxide layer 828 as shown in FIG. 8C. In FIG. 8D, a source region 732 and a drain region 734 are formed in the substrate 824, and the arrangement of the transistors is completed. Referring to FIG. 8E, an insulating layer 838 is formed on the substrate 824, and a short circuit device 736 is formed in the channel region by forming a metal layer on the insulating layer 838. The first contact 740 and the second contact 742 of the short circuit device 736 pass through the insulating layer 838 and are connected to the source region 732 and the drain region 734, respectively. Thus, a short circuit is formed between the source 732 and the drain 734. Moreover, the gate 730 is connected to the decoder input B and the transistor is always conductive. Since the short circuit device 736 is connected to the source 732 and the drain 734 of the transistor in the channel region, the transistor is not controlled by any of the decoder inputs B.

그러한 종래의 방법은 추가적 마스크들, 즉 P-형 및 N-형을 사용하여 도핑 층을 형성하는 단계를 갖지 않지만, DAC 장치의 회로폭은 단락 회로 장치(736)와 소스(732) 및 드레인(734) 사이의 접속이 접점에 의해 완성되기 때문에 증가된다. 또한, 10개의 데이터 구동기가 패널에 사용되면, 데이터 구동기 내에 384개의 DAC 장치가 있으며, 그것은 DAC 장치의 전체 회로폭을 크게 만든다. 6 비트를 가진 DAC 장치에 대해서, 후자의 종래의 방법은 어렵지만 실시될 수 있다. 또한 이 데이터 구동기는 DAC 장치가 8 비트이면 너무 길어 사용할 수 없게 될 것이다. Such a conventional method does not have the step of forming a doped layer using additional masks, namely P-type and N-type, but the circuit width of the DAC device is short circuit device 736 and source 732 and drain ( 734 is increased because the connection between them is completed by the contacts. In addition, if 10 data drivers are used in the panel, there are 384 DAC devices in the data driver, which makes the overall circuit width of the DAC device large. For DAC devices with 6 bits, the latter conventional method is difficult but can be implemented. The data driver will also be too long to use if the DAC device is 8 bits.

본 발명의 목적은 디코더가 작은 회로폭을 갖고 적은 마스크를 사용하여 제조되는 디코더의 배치와 그 방법을 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide an arrangement and method of the decoder in which the decoder has a small circuit width and is manufactured using a small mask.

본 발명의 목적에 따라서, m x n개의 노드를 가진 디코더 구조물이 제공되고, 노드는 복수의 트랜지스터 노드들과 복수의 채널 노드들을 포함한다. 트랜지스터 노드[N(i1, j1)]는 트랜지스터 영역[A(i1, j1)]에 대응되고, 채널 노드[N(i2, j2)]은 채널 영역[A(i2, j2)]에 대응되며, i1, i2, j1 및 j2는 1≤i1, i2≤m, 1≤j1, j2≤n, i1≠i2, j1≠j2의 관계를 만족시킨다. 디코더 구조물은 기판, 제1 소스/드레인 영역, 제2 소스/드레인 영역, 채널, 제1 절연층, 게이트, 제2 절연층 및 금속층을 포함한다. 제1 소스/드레인 영역과 제2 소스/드레인 영역은 트랜지스터 영역[A(i1, j1)] 내의 기판 상에 위치된다. 채널 영역[A(i2, j2)] 상의 채널은 기판 내에 배치된다. 제1 절연층은 제1 소스/드레인 영역, 제2 소스/드레인 영역 및 상기 채널을 덮는다. 게이트는 제1 절연층 상에서 제1 소스/드레인 영역과 제2 소스/드레인 영역 사이에 배치된다. 제2 절연층은 게이트를 덮는다. 금속층은 게이트 위에 위치되고, 동일 칼럼 내의 게이트들을 전기적으로 접속하여 디코더 입력을 형성한다. According to the object of the present invention, a decoder structure having m x n nodes is provided, the node comprising a plurality of transistor nodes and a plurality of channel nodes. The transistor node N (i1, j1) corresponds to the transistor region A (i1, j1), the channel node N (i2, j2) corresponds to the channel region A (i2, j2), i1, i2, j1, and j2 satisfy a relationship of 1≤i1, i2≤m, 1≤j1, j2≤n, i1 ≠ i2, j1 ≠ j2. The decoder structure includes a substrate, a first source / drain region, a second source / drain region, a channel, a first insulating layer, a gate, a second insulating layer, and a metal layer. The first source / drain region and the second source / drain region are located on the substrate in the transistor region A (i1, j1). The channel on the channel region A (i2, j2) is disposed in the substrate. The first insulating layer covers the first source / drain region, the second source / drain region, and the channel. The gate is disposed between the first source / drain region and the second source / drain region on the first insulating layer. The second insulating layer covers the gate. The metal layer is located above the gate and electrically connects the gates in the same column to form a decoder input.

트랜지스터 노드[N(i1, j1)]와 채널 노드[N(i2, j2)]가 동일 로우 상에 있고 서로 접속될 때, 트랜지스터 영역[A(i1, j1)]의 제1 소스/드레인 영역과 제2 소스/드레인 영역은 채널 영역[A(i2, j2)]의 채널에 접속된다.When transistor node N (i1, j1) and channel node N (i2, j2) are on the same row and connected to each other, the first source / drain region of transistor region A (i1, j1) and The second source / drain region is connected to the channel of the channel region A (i2, j2).

트랜지스터 노드[N(i1, j1)]가 동일한 로우 상의 트랜지스터 노드[N(i3, j3)]의 다음에 있을 때, 트랜지스터 노드[N(i1, j1)]의 제1 소스/드레인 영역 또는 제2 소스/드레인 영역은 트랜지스터 노드[N(i3, j3)]의 상기 제1 소스/드레인 영역 또는 제2 소스/드레인 영역에 접속된다.When the transistor node N (i1, j1) is next to the transistor node N (i3, j3) on the same row, the first source / drain region or second of the transistor node N (i1, j1). The source / drain region is connected to the first source / drain region or the second source / drain region of the transistor node N (i3, j3).

채널 노드[N(i2, j2)]가 동일한 로우 상의 채널 노드[N(i4, j4)]에 인접할 때에, 채널 노드[N(i2, j2)]의 채널이 채널 노드[N(i4, j4)]의 채널과 접속된다. When the channel node [N (i2, j2)] is adjacent to the channel node [N (i4, j4) on the same row, the channel of the channel node [N (i2, j2)] becomes the channel node [N (i4, j4). )] Channel.

동일한 칼럼 상의 노드의 한 단자는 신호를 수신하기 위한 것이고, 노드의 다른 단자는 데이터 선에 접속되며, 데이터 선은 각각 신호를 출력하는 데에 사용된다. 금속층은 동일한 칼럼 상의 상기 트랜지스터 노드들의 상기 게이트들을 전기적으로 접속하는 데에 사용되어, 디지털 신호 데이터를 수신하는 Y 디코더 입력을 형성한다.One terminal of the node on the same column is for receiving a signal, the other terminal of the node is connected to the data line, and the data line is used to output the signal, respectively. A metal layer is used to electrically connect the gates of the transistor nodes on the same column to form a Y decoder input that receives digital signal data.

본 발명의 다른 목적에 따라, 디코더의 구조를 제조하는 방법이 제공된다. 디코더는 m개의 신호선, n개의 디코더 입력, p개의 트랜지스터 노드 및 (m x n - p)개의 채널 노드를 포함하며, p는 m x n보다 작은 정수이다. 먼저, 기판이 제공되고, 절연층이 기판 상에 형성된다. 다음에는, p개의 게이트가 트랜지스터 영역 상에 형성되며, p개의 제1 소스/드레인 영역과 p개의 제2 소스/드레인 영역이 트랜지스터 영역 상에 형성되고, 한편, (m x n - p)개의 채널이 채널 영역 상에 형성되어 m개의 신호선을 완성한다. 그 후에, 제2 절연층이 형성되고, 디코더 입력은 금속층을 패터닝하여 선택적으로 증착함으로써 형성된다. 디코더 입력은 복수의 접점에 의해 게이트에 전기적으로 접속된다. According to another object of the present invention, a method of manufacturing the structure of a decoder is provided. The decoder comprises m signal lines, n decoder inputs, p transistor nodes and (m x n-p) channel nodes, where p is an integer less than m x n. First, a substrate is provided, and an insulating layer is formed on the substrate. Next, p gates are formed on the transistor region, p first source / drain regions and p second source / drain regions are formed on the transistor region, while (mxn-p) channels are channels. It is formed on the area to complete m signal lines. Thereafter, a second insulating layer is formed, and the decoder input is formed by patterning and selectively depositing a metal layer. The decoder input is electrically connected to the gate by a plurality of contacts.

본 발명의 상기 목적 및 다른 이점들은 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 기술함으로써 더욱 명백하게 될 것이다. The above and other advantages of the present invention will become more apparent by describing the preferred embodiments of the present invention in detail with reference to the accompanying drawings.

도 9a에 도시하듯이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 도 3의 디코더(302)의 배치가 도시된다. 디코더(302)는 8x6 노드를 포함하는데, 각각의 노드는 각각 트랜지스터 영역과 채널 영역에 대응되는 복수의 트랜지스터 노드(310)와 복수의 채널 노드(320)를 포함한다. 각각의 트랜지스터 노드(310)의 배치는 게이트, 소스 및 드레인을 포함한다. 채널 노드(320)는 채널을 포함한다. 트랜지스터 노드의 동일한 칼럼 상의 게이트들은 서로 연결되어 디코더 입력[B(0) 내지 B(5)]가 형성된다. 각각의 로우 상의 트랜지스터 노드와 채널 노드는 직렬로 연결되고, 따라서 신호선[L(0) 내지 L(7)]이 형성된다. As shown in FIG. 9A, an arrangement of the decoder 302 of FIG. 3 in accordance with a preferred embodiment of the present invention is shown. The decoder 302 includes 8x6 nodes, each node including a plurality of transistor nodes 310 and a plurality of channel nodes 320 respectively corresponding to transistor regions and channel regions. The placement of each transistor node 310 includes a gate, a source and a drain. Channel node 320 includes a channel. Gates on the same column of the transistor node are connected to each other to form decoder inputs B (0) to B (5). The transistor node and the channel node on each row are connected in series, thus forming signal lines L (0) to L (7).

도 9b는 도 9a의 신호선[L(0)]의 단면도를 도시한다. 신호선[L(0)]은 기판(924), 제1 소스/드레인 영역(932), 제2 소스/드레인 영역(934), 채널 영역(936), 제1 절연층(928), 게이트(930), 제2 절연층(938), 금속층(940)을 포함한다. 제1 소스/드레인 영역(932)과 제2 소스/드레인 영역(934)은 트랜지스터 영역[A(0,1), A(0,3),및 A(0,5)] 내에서 기판(924) 내에 위치된다. 채널(936)은 채널 영역[A(0,0), A(0,2), A(0,4)] 내에서 기판(924) 내에 배치된다. 제1 소스/드레인 영역(932), 제2 소스/드레인 영역(934) 및 채널(936)은 제1 절연층(928)으로 덮인다. 제1 절연층(928) 상에 형성된 게이트(930)는 제1 소스/드레인 영역(932)과 제2 소스/드레인 영역(934) 사이에 배치된다. 더욱이, 게이트(930)는 제2 절연층(938)으로 덮이고, 제2 절연층(938) 상에 형성된 금속층(940)은 게이트(930)에 전기적으로 접속된다. FIG. 9B shows a cross-sectional view of the signal line L (0) in FIG. 9A. The signal line L (0) includes a substrate 924, a first source / drain region 932, a second source / drain region 934, a channel region 936, a first insulating layer 928, and a gate 930. ), A second insulating layer 938, and a metal layer 940. The first source / drain region 932 and the second source / drain region 934 are the substrates 924 in the transistor regions A (0,1), A (0,3), and A (0,5). ) Is located within. Channel 936 is disposed within substrate 924 in channel regions A (0,0), A (0,2), A (0,4). The first source / drain region 932, the second source / drain region 934, and the channel 936 are covered with a first insulating layer 928. The gate 930 formed on the first insulating layer 928 is disposed between the first source / drain region 932 and the second source / drain region 934. Further, the gate 930 is covered with a second insulating layer 938, and the metal layer 940 formed on the second insulating layer 938 is electrically connected to the gate 930.

동일한 로우 상의 인접한 트랜지스터 노드[N(0,1)]와 채널 노드[N(0,0)]는 서로 접속된다. 제 1 소스/드레인 영역(932)은 채널 영역[A(0,0)]의 채널에 접속된다. 동일한 칼럼 상의 트랜지스터의 게이트(930)는 금속층(940)에 의해 서로 전기적으로 접속되고, 따라서 6개의 디코더 입력이 데이터 신호[D(n)]를 수신하도록 형성된다. Adjacent transistor nodes N (0,1) on the same row and channel nodes N (0,0) are connected to each other. The first source / drain region 932 is connected to the channel of the channel region A (0, 0). The gates 930 of the transistors on the same column are electrically connected to each other by the metal layer 940, so that six decoder inputs are formed to receive the data signal D (n).

본 발명의 트랜지스터 노드(310)는 종래의 공정을 사용하여 제조된다. 게이트(930), 제1 소스/드레인 영역(932) 및 제2 소스/드레인 영역(934)은 순차적으로 형성된다. 채널 노드(320)의 제조는 채널을 형성함으로써 완성된다. 추가적 마스크 없이, 채널(936), 제1 소스/드레인 영역(932) 및 제2 소스/드레인 영역(934)은 동시에 형성된다. 도 10a 내지 도 10e는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 디코더(302)의 신호선[L(0)]을 제조하는 단면도이다. 도 10a에서, 기판(924)이 제공된다. 다음에는, 도 10b와 도 10c에 도시하듯이 절연층(928)이 기판(924) 상에 형성되고, 복수의 게이트(930)가 트랜지스터 영역[A(0,1), A(0,3), A(0,5)] 내에 형성된다. 도 10d를 참조하면, 채널(936)은 게이트가 채널 영역[A(0,0), A(0,2), A(0,4)]를 덮지 않기 때문에 A(0,0), A(0,2) 및 A(0,4) 내에서 기판(924) 내에 직접 형성된다. 따라서, 신호선[L(0) 내지 L(7)]이 형성된다. 한편, 채널 영역[A(0,0), A(0,2), A(0,4)]의 채널은 트랜지스터 영역[A(0,1), A(0,3), A(0,5)]의 제1 소스/드레인 영역(932) 및 제2 소스/드레인 영역(934)과 전기적으로 접속된다. 다음에는, 도 10e를 참조하면, 금속층(940)은 기판(924) 상에 형성되고, 디코더 입력[B(0) 내지 B(5)]를 형성하도록 패터닝되는데, 디코더 입력[B(0) 내지 B(5)]는 복수의 접점(942)에 의해 동일한 칼럼 상의 게이트(930)와 전기적으로 접속된다. The transistor node 310 of the present invention is manufactured using a conventional process. The gate 930, the first source / drain region 932 and the second source / drain region 934 are sequentially formed. Fabrication of channel node 320 is completed by forming a channel. Without an additional mask, channel 936, first source / drain region 932 and second source / drain region 934 are formed simultaneously. 10A to 10E are cross-sectional views of manufacturing the signal line L (0) of the decoder 302 according to the preferred embodiment of the present invention. In FIG. 10A, a substrate 924 is provided. Next, as shown in FIGS. 10B and 10C, an insulating layer 928 is formed on the substrate 924, and a plurality of gates 930 are formed in the transistor regions A (0,1) and A (0,3). , A (0,5)]. Referring to FIG. 10D, the channel 936 is A (0,0), A (because the gate does not cover the channel regions A (0,0), A (0,2), A (0,4)). It is formed directly in the substrate 924 in 0,2) and A (0,4). Thus, signal lines L (0) to L (7) are formed. On the other hand, the channels of the channel regions A (0,0), A (0,2) and A (0,4) are transistor regions A (0,1), A (0,3) and A (0,0). 5)] and the first source / drain region 932 and the second source / drain region 934 are electrically connected. Next, referring to FIG. 10E, a metal layer 940 is formed on the substrate 924 and is patterned to form decoder inputs B (0) through B (5), which are formed from decoder inputs B (0) through. B (5)] is electrically connected to the gate 930 on the same column by the plurality of contacts 942.

채널 영역의 채널과 트랜지스터 영역의 소스/드레인 영역은 본 발명에서 동시에 형성되기 때문에, 종래 방법과 같이 P-형 및 N-형 채널을 추가할 필요가 없다. 따라서, 본 발명에서 2개의 마스크가 감소된다. 더욱이, 본 발명에서의 회로폭은 금속층에 의한 단락을 형성하지 않고 감소된다. 따라서, 더욱 작은 회로폭의 디코더 배치가 추가적 마스크 없이 달성된다. Since the channel of the channel region and the source / drain region of the transistor region are formed simultaneously in the present invention, there is no need to add P-type and N-type channels as in the conventional method. Thus, two masks are reduced in the present invention. Moreover, the circuit width in the present invention is reduced without forming a short circuit by the metal layer. Thus, smaller circuitry decoder placement is achieved without additional masks.

일단 상기 설명이 주어지면, 많은 다른 특징, 변형 및 개량은 익숙한 자에게 명백하게 될 것이다. 따라서, 그러한 다른 특징, 변형 및 개량은 본 발명의 일부를 이룬다고 간주되며, 본 발명의 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 결정되어야 한다. Given the above description, many other features, modifications, and improvements will become apparent to those skilled in the art. Accordingly, such other features, modifications, and improvements are considered to be part of this invention, and the scope of the invention should be determined by the following claims.

도 1은 칼라 TFT LCD용 구동 회로를 도시하는 도면이다.1 is a diagram showing a driving circuit for a color TFT LCD.

도 2는 도 1의 DAC의 구동 회로의 블록도이다.FIG. 2 is a block diagram of a driving circuit of the DAC of FIG. 1.

도 3은 도 2의 N-형 DAC 장치의 종래의 회로도이다. 3 is a conventional circuit diagram of the N-type DAC device of FIG.

도 4a는 트랜지스터 노드의 회로도이다.4A is a circuit diagram of a transistor node.

도 4b는 채널 노드의 회로도이다.4B is a circuit diagram of a channel node.

도 5는 도 3의 디코더의 종래의 배치를 도시하는 도면이다.5 is a diagram showing a conventional arrangement of the decoder of FIG.

도 6a 내지 도 6e는 도 5의 신호선[L(0)]의 제조를 도시하는 단면도이다.6A to 6E are cross-sectional views illustrating the manufacture of the signal line L (0) of FIG. 5.

도 7은 도 3의 디코더의 또 다른 종래의 배치를 도시하는 도면이다.FIG. 7 illustrates another conventional arrangement of the decoder of FIG. 3.

도 8a 내지 도 8e는 도 7의 신호선[L(0)]의 제조를 도시하는 단면도이다.8A to 8E are cross-sectional views illustrating the manufacture of the signal line L (0) of FIG. 7.

도 9a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 도 3의 디코더의 배치를 도시하는 도면이다.9A is a diagram illustrating an arrangement of the decoder of FIG. 3 according to a preferred embodiment of the present invention.

도 9b는 도 9a의 신호선[L(0)]의 단면도이다.FIG. 9B is a cross-sectional view of the signal line L (0) in FIG. 9A.

도 10a 내지 도 10e는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디코더의 신호선[L(0)]의 제조를 도시하는 단면도이다.10A to 10E are cross-sectional views showing the manufacture of the signal line L (0) of the decoder according to the preferred embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

104 ; 주사 구동기 106 ; 데이터 구동기 104; Scan driver 106; Data driver

108 ; DAC 202 ; P-형 DAC 장치108; DAC 202; P-type DAC device

204 ; N-형 DAC 장치 302 ; 디코더 204; N-type DAC device 302; Decoder

310 ; 트랜지스터 노드 320 ; 채널 노드310; Transistor node 320; Channel node

526 ; 도핑된 영역 736 ; 단락 회로 장치526; Doped region 736; Short circuit device

930 ; 게이트 932 ; 제1 소스/드레인 영역930; Gate 932; First source / drain region

934 ; 제2 소스/드레인 영역 936 ; 채널 영역934; Second source / drain region 936; Channel area

940 ; 금속층940; Metal layer

Claims (9)

각각 복수의 트랜지스터 노드들과 복수의 채널 노드들을 포함하는 m x n개의 노드들을 가지며, 상기 트랜지스터 노드[N(i1, j1)] 중의 하나는 트랜지스터 영역[A(i1, j1)]에 대응되고, 상기 채널 노드[N(i2, j2)] 중의 하나는 채널 영역[A(i2, j2)]에 대응되며, 1≤i1, i2≤m, 1≤j1, j2≤n, i1≠i2, j1≠j2인 디코더 구조물로서,Each having a plurality of mxn nodes including a plurality of transistor nodes and a plurality of channel nodes, one of the transistor nodes N (i1, j1) corresponds to a transistor region A (i1, j1), and the channel One of the nodes N (i2, j2) corresponds to the channel region A (i2, j2), wherein 1≤i1, i2≤m, 1≤j1, j2≤n, i1 ≠ i2, j1 ≠ j2 As a decoder structure, 기판, Board, 상기 트랜지스터 영역[A(i1, j1)]에서 상기 기판 내에 형성된 제1 소스/드레인 영역과 제2 소스/드레인 영역,A first source / drain region and a second source / drain region formed in the substrate in the transistor region A (i1, j1), 상기 채널 영역[A(i2, j2)] 내에서 상기 기판 내에 형성된 채널,A channel formed in the substrate in the channel region A (i2, j2), 상기 제1 소스/드레인 영역, 상기 제2 소스/드레인 영역 및 상기 채널 상에 형성된 제1 절연층,A first insulating layer formed on the first source / drain region, the second source / drain region, and the channel, 상기 제1 소스/드레인 영역과 제2 소스/드레인 영역 사이에서 사이 제1 절연층 상에 형성된 게이트,A gate formed on the first insulating layer between the first source / drain region and the second source / drain region, 상기 게이트 상에 형성된 제2 절연층, 그리고A second insulating layer formed on the gate, and 상기 게이트 위에 형성되고 상기 게이트와 전기적으로 접속된 금속층A metal layer formed over the gate and electrically connected to the gate 을 포함하며,Including; 상기 트랜지스터 노드[N(i1, j1)가 동일한 로우 상의 상기 채널 노드[N(i2, j2)]의 다음에 있을 때, 상기 트랜지스터 영역[A(i1, j1)]의 상기 제1 소스/드레인 영역과 제2 소스/드레인 영역 중의 하나의 영역이 상기 채널 영역[A(i2, j2)]의 상기 채널과 접속되고,The first source / drain region of the transistor region A (i1, j1) when the transistor node N (i1, j1) is next to the channel node N (i2, j2) on the same row One of the and second source / drain regions is connected with the channel of the channel region A (i2, j2), 상기 트랜지스터 노드[N(i1, j1)]가 동일한 로우 상의 상기 트랜지스터 노드[N(i3, j3)]의 다음에 있을 때, 상기 트랜지스터 노드[N(i1, j1)]의 상기 제1 소스/드레인 영역과 제2 소스/드레인 영역 중의 하나의 영역이 상기 트랜지스터 노드[N(i3, j3)]의 상기 제1 소스/드레인 영역과 제2 소스/드레인 영역 중의 하나의 영역과 접속되며,When the transistor node N (i1, j1) is next to the transistor node N (i3, j3) on the same row, the first source / drain of the transistor node N (i1, j1) One of a region and a second source / drain region is connected to one of the first source / drain region and the second source / drain region of the transistor node [N (i3, j3)], 상기 채널 노드[N(i2, j2)]가 동일한 로우 상의 상기 채널 노드[N(i4, j4)]의 다음에 있을 때, 상기 채널 노드[N(i2, j2)]의 상기 채널이 상기 채널 노드[N(i4, j4)]의 상기 채널과 접속되고, When the channel node N (i2, j2) is next to the channel node N (i4, j4) on the same row, the channel of the channel node N (i2, j2) is the channel node. Connected to the channel of [N (i4, j4)], 상기 금속층은 디지털 신호 데이터를 수신하기 위한 복수의 디코더 입력을 형성하기 위해서 동일한 칼럼 상의 상기 트랜지스터 노드들의 상기 게이트들을 전기적으로 접속하는 디코더 구조물. The metal layer electrically connects the gates of the transistor nodes on the same column to form a plurality of decoder inputs for receiving digital signal data. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 절연층은 산화물층인 디코더 구조물.And the first insulating layer is an oxide layer. p개의 트랜지스터 노드들과 (m x n - p)개의 채널 노드들을 포함하는 m x n개의 노드들을 가지며, 상기 트랜지스터 노드들은 트랜지스터 영역에 대응되고, 상기 채널 노드들은 채널 영역에 대응되며, p는 m x n보다 작은 정수인 디코더를 제조하는 방법으로서,a decoder having mxn nodes comprising p transistor nodes and (mxn-p) channel nodes, the transistor nodes corresponding to a transistor region, the channel nodes corresponding to a channel region, p being an integer less than mxn As a method of manufacturing 기판을 제공하는 단계,Providing a substrate, 상기 기판 상에 절연층을 형성하는 단계,Forming an insulating layer on the substrate, 상기 트랜지스터 영역 상에 p개의 게이트들을 형성하는 단계,Forming p gates on the transistor region, 상기 트랜지스터 영역 상에 p개의 제1 소스/드레인과 p개의 제2 소스/드레인을 형성하고, 상기 채널 영역 상에 (m x n - p)개의 채널들을 형성하여 m개의 신호선들을 형성하는 단계,Forming p first sources / drains and p second sources / drains on the transistor region, and forming m signal lines by forming (m × n−p) channels on the channel region; 제2 절연층을 형성하는 단계, 그리고Forming a second insulating layer, and 상기 제2 절연층 상에 복수의 접점들에 의해 상기 게이트들과 전기적으로 접속되는 n개의 디코더 입력들을 형성하는 단계Forming n decoder inputs electrically connected to the gates by a plurality of contacts on the second insulating layer 를 포함하는 방법.How to include. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제1 절연층은 산화층인 방법.And the first insulating layer is an oxide layer. 복수의 트랜지스터 노드들과 복수의 채널 노드들을 가지며, 상기 트랜지스터 노드 중의 하나는 트랜지스터 영역에 대응되고, 상기 채널 노드 중의 하나는 채널 영역에 대응되는 디코더 구조물로서,A decoder structure having a plurality of transistor nodes and a plurality of channel nodes, one of the transistor nodes corresponding to a transistor region, and one of the channel nodes corresponding to a channel region, 기판,Board, 게이트와 상기 기판 내에서 상기 게이트 옆에 형성된 소스/드레인 영역들을 포함하며, 상기 트랜지스터 영역 내에 배치된 트랜지스터,A transistor disposed in the transistor region, the transistor comprising source and drain regions formed in the substrate and next to the gate; 상기 게이트 상에 배치되며 상기 기판과 절연된 금속층, 그리고A metal layer disposed on the gate and insulated from the substrate, and 상기 기판 내에서 상기 채널 영역 내에 형성된 채널A channel formed in the channel region in the substrate 을 포함하며, Including; 상기 트랜지스터 노드들 중의 제1 트랜지스터 노드가 동일한 로우 상의 상기 채널 노드들 중의 제1 채널 노드에 접속될 때, 상기 트랜지스터 영역의 상기 소스/드레인 영역들 중의 하나는 상기 채널 영역의 상기 채널과 접속되고,When a first transistor node of the transistor nodes is connected to a first channel node of the channel nodes on the same row, one of the source / drain regions of the transistor region is connected with the channel of the channel region, 상기 트랜지스터 노드들 중의 상기 제1 트랜지스터 노드가 동일한 로우 상의 상기 트랜지스터 노드들 중의 제2 트랜지스터 노드에 접속될 때, 상기 제1 트랜지스터 노드의 소스/드레인 영역들 중의 하나는 상기 제2 트랜지스터 노드의 소스/드레인 영역들 중의 하나와 접속되며, When the first transistor node of the transistor nodes is connected to a second transistor node of the transistor nodes on the same row, one of the source / drain regions of the first transistor node is the source / drain of the second transistor node. Connected to one of the drain regions, 상기 제1 채널 노드가 동일한 로우 상의 상기 채널 노드의 제2 채널 노드에 접속될 때, 상기 제1 채널 노드의 상기 채널이 상기 제2 채널 노드의 상기 채널과 접속되고, When the first channel node is connected to a second channel node of the channel node on the same row, the channel of the first channel node is connected to the channel of the second channel node, 상기 금속층이 적어도 하나의 접점에 의해 동일한 칼럼 상의 상기 트랜지스터 노드들의 상기 게이트들을 전기적으로 접속하여 디지털 신호 데이터를 수신하기 위한 복수의 디코더 입력을 형성하는 디코더 구조물.And the metal layer electrically connects the gates of the transistor nodes on the same column by at least one contact to form a plurality of decoder inputs for receiving digital signal data. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 게이트와 상기 기판을 전기적으로 절연시키기 위해서 상기 게이트와 상기 기판 사이에 제1 절연층을 더 포함하는 디코더 구조물.And a first insulating layer between the gate and the substrate to electrically insulate the gate and the substrate. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 금속층과 상기 기판을 절연시키기 위해서 상기 금속층과 상기 기판 사이에 제2 절연층을 더 포함하는 디코더 구조물.And a second insulating layer between the metal layer and the substrate to insulate the metal layer and the substrate. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 기판 상의 상기 채널 영역은 상기 트랜지스터의 상기 게이트를 포함하지 않는 디코더 구조물.And the channel region on the substrate does not include the gate of the transistor. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 채널 영역 내의 금속층은 상기 채널 영역과 전기적으로 절연되는 디코더 구조물.And a metal layer in the channel region is electrically insulated from the channel region.
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