KR100475168B1 - Laminating Apparatus of Substrate - Google Patents

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KR100475168B1
KR100475168B1 KR10-2001-0029235A KR20010029235A KR100475168B1 KR 100475168 B1 KR100475168 B1 KR 100475168B1 KR 20010029235 A KR20010029235 A KR 20010029235A KR 100475168 B1 KR100475168 B1 KR 100475168B1
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Abstract

본 발명은 기판 합착장치의 제1 및 제2 정반의 표면에 가이드 홈을 형성함으로써 이물질에 의해 초래되는 합착불량을 최소화하도록 한 기판 합착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate bonding apparatus in which guide grooves are formed on the surfaces of the first and second surface plates of the substrate bonding apparatus to minimize adhesion failure caused by foreign matter.

본 발명에 따른 기판 합착장치는 두개의 기판 중 어느 하나가 안착되는 제1 정반과, 상기 두개의 기판 중 나머지 하나가 안착되는 제2 정반과, 이물질이 삽입 가능하도록 상기 제1 정반 및 제2 정반의 표면에 격자선 형태로 형성된 가이드 홈을 구비한다. The substrate bonding apparatus according to the present invention includes a first surface plate on which any one of two substrates is seated, a second surface plate on which the other one of the two substrates is seated, and the first surface plate and the second surface plate to allow foreign substances to be inserted therein. It is provided with a guide groove formed in the form of a grid line on the surface.

이러한 구성에 의하여, 본 발명에 따른 기판 합착장치는 상부 및 하부 기판이 안착되는 합착정반의 표면 상에 이물질이 삽입될 수 있는 가이드 홈을 형성함으로써 이물질이 잔존하는 부위에서의 스페이서에 의한 눌림 현상을 방지할 수 있다. 또한, 이물질에 의한 스페이서에 의한 눌림 현상을 방지함으로써 생산성이 크게 향상된다.By such a configuration, the substrate bonding apparatus according to the present invention forms a guide groove through which foreign matter can be inserted on the surface of the bonding table on which the upper and lower substrates are seated, thereby preventing the phenomenon of pressing by the spacer at the site where the foreign matter remains. You can prevent it. In addition, the productivity is greatly improved by preventing the crushing phenomenon caused by the spacer by the foreign matter.

Description

기판 합착장치{Laminating Apparatus of Substrate} Substrate Bonding Device {Laminating Apparatus of Substrate}

본 발명은 액정표시장치의 제조장치에 관한 것으로, 특히 기판 합착장치의 제1 및 제2 정반의 표면에 가이드 홈을 형성함으로써 이물질에 의해 초래되는 합착불량을 최소화하도록 한 기판 합착장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a substrate bonding apparatus for minimizing adhesion failure caused by foreign matter by forming guide grooves on the surfaces of the first and second surface plates of the substrate bonding apparatus.

액정표시장치(Liquid Crystal Display)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절하여 화상을 표시하게 된다. 이를 위해, 액정패널은 m ×n 매트릭스 형태로 배열되어진 다수의 액정셀들과 이들 액정셀들 각각에 공급될 영상신호를 절환하는 다수의 제어용 스위치, 즉 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)들로 구성된다.A liquid crystal display displays an image by adjusting a transmission amount of a light beam to correspond to an image signal. To this end, the liquid crystal panel is composed of a plurality of liquid crystal cells arranged in an m × n matrix and a plurality of control switches, that is, thin film transistors, for switching image signals to be supplied to each of the liquid crystal cells. .

액티브 매트릭스 구동방식의 액정표시장치의 제조공정은 기판 세정과, 기판 패터닝, 배향막형성, 기판합착/액정주입, 실장 공정으로 나뉘어진다. 기판세정 공정에서는 상부/하부기판의 패터닝 전후에 기판들의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다. 기판 패터닝 공정에서는 상부기판의 패터닝과 하부기판의 패터닝으로 나뉘어진다. 상부기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성된다. 데이터라인과 게이트라인 사이에 접속되는 화소영역에는 화소전극이 형성된다. 기판합착/액정주입 공정에서는 하부기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(Seal)재를 이용한 상부/하부기판 합착공정, 액정주입, 주입구 봉지공정이 순차적으로 이루어진다. 마지막으로, 실장공정에서는 게이트 드라이브 집적회로 및 데이터 드라이브 집적회로 등의 집적회로가 실장된 테이프 캐리어 패키지(Tape Carrier Package : TCP)를 기판 상의 패드부에 접속시키게 된다. The manufacturing process of the active matrix liquid crystal display device is divided into substrate cleaning, substrate patterning, alignment film formation, substrate bonding / liquid crystal injection, and mounting process. In the substrate cleaning process, foreign substances on the substrates are removed by using a cleaning agent before and after patterning of the upper and lower substrates. In the substrate patterning process, the upper substrate is patterned and the lower substrate is patterned. A color filter, a common electrode, a black matrix, and the like are formed on the upper substrate. Signal lines such as data lines and gate lines are formed on the lower substrate, and TFTs are formed at intersections of the data lines and gate lines. A pixel electrode is formed in the pixel region connected between the data line and the gate line. In the substrate bonding / liquid crystal injection process, an alignment film is coated and rubbed on the lower substrate, followed by an upper / lower substrate bonding process using a seal material, liquid crystal injection, and an injection hole encapsulation process. Finally, in the mounting process, a tape carrier package (TCP) in which integrated circuits such as a gate drive integrated circuit and a data drive integrated circuit is mounted is connected to a pad portion on a substrate.

도 1은 액정표시장치의 제조 공정 중 합착공정에 사용되는 기판 합착장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a substrate bonding apparatus used in a bonding process in a manufacturing process of a liquid crystal display device.

도 1을 참조하면, 종래의 기판 합착장치는 상부기판(4)이 안착되는 제1 정반(2)과 하부기판(8)이 안착되는 제2 정반(10)을 공기압 또는 유압으로 가압하여 상부기판(4) 및 하부기판(8)을 합착하게 된다. 여기서, 제1 및 제2 정반(2,10)은 도 2와 같이 평탄한 면으로 제작된다. 이를, 도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to FIG. 1, the conventional substrate bonding apparatus presses the first substrate 2 on which the upper substrate 4 is seated and the second surface plate 10 on which the lower substrate 8 is seated by pneumatically or hydraulically to press the upper substrate. (4) and the lower substrate 8 are to be bonded. Here, the first and second surface plates 2 and 10 are manufactured to have a flat surface as shown in FIG. 2. This will be described below with reference to FIGS. 3A and 3B.

도 3a에는 기판 합착장치의 제1 정반(2)에 진공 및 유압에 의해 흡착된 상부기판(4)이 안착되어 있다. 이 상부기판(4)에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성되어 있다. 상부기판(4) 상에는 합착공정 이전에 합착시 하부 및 상부기판(4, 8)을 일정한 간격으로 유지시키기 위한 스페이서(Spacer)(6)가 산포되어 있다. 또한, 상부기판(4)의 외곽부에는 하부 및 상부기판(4, 8)의 공간을 밀봉하는 역할을 하는 도시하지 않은 실(Seal)재가 인쇄되어 있다.In FIG. 3A, the upper substrate 4 adsorbed by vacuum and hydraulic pressure is seated on the first surface plate 2 of the substrate bonding apparatus. The upper substrate 4 is formed with a color filter, a common electrode, a black matrix and the like. On the upper substrate 4, spacers 6 for dispersing the lower and upper substrates 4 and 8 at regular intervals during the bonding process are scattered on the upper substrate 4. In addition, a seal material (not shown), which serves to seal the spaces of the lower and upper substrates 4 and 8, is printed on the outer portion of the upper substrate 4.

도 3b에는 기판 합착장치의 제2 정반(10)에 도시하지 않은 회전장치에 의해 180°회전된 하부기판(8)이 진공 및 유압에 의해 흡착되어 상부기판(4)과 마주보도록 흡착된다. 이 하부기판(8) 상에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선의 교차부에 TFT가 형성되어 있다.In FIG. 3B, the lower substrate 8 rotated by 180 ° by a rotating device not shown in the second surface plate 10 of the substrate bonding device is sucked by vacuum and hydraulic pressure so as to face the upper substrate 4. On the lower substrate 8, TFTs are formed at intersections of signal lines such as data lines and gate lines.

이러한, 상부 및 하부 기판(4, 8)에는 합착공정 후 움직임 및 경화도중 틀어짐을 방지하기 위한 마크 얼라인(Mark Align)이 표시되어 있다. 이러한 기판 합착장치는 2kN 정도의 압력으로 상부 및 하부 기판(4, 8) 상에 가압됨으로써 도 1과 같이 상부 및 하부기판(4, 8)을 합착된다.The upper and lower substrates 4 and 8 are marked with mark alignment to prevent movement during the bonding process and distortion during curing. The substrate bonding device is pressed onto the upper and lower substrates 4 and 8 at a pressure of about 2 kN, thereby bonding the upper and lower substrates 4 and 8 as shown in FIG.

그러나 합착공정의 전공정인 실 인쇄공정과 스페이서 산포공정에서 기판을 이송하기 위한 이송장치 및 로봇에 묻어 있는 먼지 등과, 이송 중에 파손된 기판의 조각 등의 이물질이 상부 및 하부기판(4, 8)의 배면 및 제1 및 제2 정반(2, 10) 상에 잔존하게 된다. 이런 경우에 기판 합착공정이 진행되면, 도 4와 같이 상부 및 하부기판(4, 8)의 배면에 이물질(20)이 잔존하는 부분에서 스페이서(6)에 의해 상부 및 하부기판(4, 8)이 눌려지게 된다. However, foreign materials such as dust on the transfer device and robot to transfer the substrate in the seal printing process and the spacer spreading process, which are the preliminary processes of the bonding process, and pieces of the substrate that are damaged during the transfer, are applied to the upper and lower substrates 4 and 8. It remains on the back and the first and second surface plates 2 and 10. In this case, when the substrate bonding process is performed, the upper and lower substrates 4 and 8 are formed by the spacers 6 at the portions where the foreign matter 20 remains on the rear surfaces of the upper and lower substrates 4 and 8 as shown in FIG. 4. Will be pressed.

이러한, 이물질(20)에 의한 상부 및 하부기판(4, 8)의 눌림 현상은 기판 합착공정의 다음 공정인 에이징(Asing) 공정에서도 복원이 불가능하게 되어 불량의 원인이 된다. 또한, 불량을 발생시킨 이물질(20)이 계속 잔존하는 경우 연속적인 합착공정에서 대량 불량을 유발하게 된다. 이에 따라, 액정주입 공정에서 주입되는 액정의 배향이 불균일하게 된다. 이 결과, 액정은 영상신호에 대응되는 광빔의 투과량을 조절할 수 없게 되므로 정확한 화상을 표시할 수 없게 된다.The pressing phenomenon of the upper and lower substrates 4 and 8 due to the foreign matter 20 is impossible to restore even in an aging process, which is the next step of the substrate bonding process, which causes a failure. In addition, if the foreign matter 20 that caused the defect is still remaining will cause a large amount of defect in the continuous bonding process. Accordingly, the alignment of the liquid crystal injected in the liquid crystal injection process is nonuniform. As a result, the liquid crystal cannot adjust the amount of transmission of the light beam corresponding to the video signal, and thus cannot display an accurate image.

따라서, 본 발명의 목적은 기판 합착장치의 제1 및 제2 정반의 표면에 가이드 홈을 형성함으로써 이물질에 의해 초래되는 합착불량을 최소화하도록 한 기판 합착장치를 제공하는데 있다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a substrate bonding apparatus for minimizing adhesion failure caused by foreign matter by forming guide grooves on the surfaces of the first and second surface plates of the substrate bonding apparatus.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 합착장치는 두개의 기판 중 어느 하나가 안착되는 제1 정반과, 상기 두개의 기판 중 나머지 하나가 안착되는 제2 정반과, 이물질이 삽입 가능하도록 상기 제1 정반 및 제2 정반의 표면에 격자선 형태로 형성된 가이드 홈을 구비한다. 상기 가이드 홈은 등간격으로 형성된다. 상기 가이드 홈은 삼각형, 사각형 및 반원 중 어느 한 형태로 형성된다. 본 발명에 따른 기판 합착장치는 두개의 기판 중 어느 하나가 안착되는 제1 정반과, 상기 두개의 기판 중 나머지 하나가 안착되는 제2 정반과, 상기 제1 정반 및 제2 정반의 표면에 마련되어 상기 기판과 접촉되는 표면을 가지게끔 상기 제1 및 제2 정반에 마련된 다수의 돌출부들과, 상기 제1 및 제2 정반의 표면에서 상기 돌출부들 사이에 위치하는 이물질이 삽입 가능한 홈을 구비한다. 상기 돌출부들 각각은 사각형의 표면을 가지게끔 형성된다. 상기 돌출부들이 매트릭스 형태로 배열되어진다. 상기 돌출부들이 지그재그 형태로 배열된다. In order to achieve the above object, the substrate bonding apparatus according to the present invention includes a first surface plate on which any one of the two substrates is seated, a second surface plate on which the other one of the two substrates is seated, and the foreign material is inserted Guide grooves formed in the form of lattice lines are provided on the surfaces of the first and second plates. The guide grooves are formed at equal intervals. The guide groove is formed in any one of a triangle, a square and a semicircle. According to an embodiment of the present invention, a substrate bonding apparatus includes a first surface plate on which one of two substrates is seated, a second surface plate on which one of the two substrates is seated, and a surface of the first surface plate and the second surface plate. And a plurality of protrusions provided on the first and second surface plates to have a surface in contact with the substrate, and a groove into which foreign substances located between the protrusions on the surfaces of the first and second surface plates can be inserted. Each of the protrusions is formed to have a rectangular surface. The protrusions are arranged in a matrix form. The protrusions are arranged in a zigzag form.

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상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 5 내지 도 10c를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 10C.

도 5는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 기판 합착장치를 나타내는 단면도이다. 5 is a cross-sectional view illustrating a substrate bonding apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 합착장치는 상부기판(24)이 안착되는 제1 정반(22)과 하부기판(28)이 안착되는 있는 제2 정반(30)을 공기압 또는 유압으로 가압하여 액정표시패널의 상부기판(24) 및 하부기판(28)을 합착하게 된다. 여기서, 액정표시패널의 상부기판(24) 및 하부기판(28)은 기판 합착장치에 따라 제1 및 제2 정반(22,30)의 어느 정반에 안착될 수 있다. 이를, 도 6a 및 도 6b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.5, the substrate bonding apparatus according to the present invention pressurizes the first surface plate 22 on which the upper substrate 24 is seated and the second surface plate 30 on which the lower substrate 28 is seated by air pressure or hydraulic pressure. The upper substrate 24 and the lower substrate 28 of the liquid crystal display panel are bonded to each other. Here, the upper substrate 24 and the lower substrate 28 of the liquid crystal display panel may be mounted on any of the first and second surface plates 22 and 30 according to the substrate bonding device. This will be described below with reference to FIGS. 6A and 6B.

도 6a에는 기판 합착장치의 제1 정반(22)에 진공 및 유압에 의해 흡착된 상부기판(24)이 안착되어 있다. 이 상부기판(24)에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성되어 있다. 상부기판(24) 상에는 합착공정 이전에 합착시 상부 및 하부기판(24, 28)을 일정한 간격으로 유지시키기 위한 스페이서(Spacer)(26)가 산포되어 있다. 또한, 상부기판(24)의 외곽부에는 상부 및 하부기판(24, 28)의 공간을 밀봉하는 역할을 하는 도시하지 않은 실(Seal)재가 인쇄되어 있다.In FIG. 6A, the upper substrate 24 adsorbed by vacuum and hydraulic pressure is seated on the first surface plate 22 of the substrate bonding apparatus. The upper substrate 24 is formed with a color filter, a common electrode, a black matrix and the like. Spacers 26 are disposed on the upper substrate 24 to maintain the upper and lower substrates 24 and 28 at regular intervals during bonding before the bonding process. In addition, a seal material (not shown), which serves to seal the spaces of the upper and lower substrates 24 and 28, is printed on the outer portion of the upper substrate 24.

도 6b에는 기판 합착장치의 제2 정반(30)에 도시하지 않은 회전장치에 의해 180°회전된 하부기판(28)이 진공 및 유압에 의해 흡착되어 상부기판(24)과 마주보도록 흡착된다. 이 하부기판(28) 상에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선의 교차부에 TFT가 형성되어 있다.In FIG. 6B, the lower substrate 28 rotated 180 ° by a rotating device not shown in the second surface plate 30 of the substrate bonding device is sucked by vacuum and hydraulic pressure so as to face the upper substrate 24. On the lower substrate 28, TFTs are formed at intersections of signal lines such as data lines and gate lines.

이러한 액정표시패널의 상부 및 하부기판(24, 28)에는 합착공정 후 움직임 및 경화도중 틀어짐을 방지하기 위한 마크 얼라인(Mark Align)이 표시되어 있다. 기판 합착장치는 2kN 정도의 압력으로 상부 및 하부기판(24, 28) 상에 가압됨으로써 도 5와 같이 상부 및 하부기판(24, 28)을 합착한다.Mark alignments of the upper and lower substrates 24 and 28 of the liquid crystal display panel to prevent distortion during movement and curing during the bonding process are displayed. The substrate bonding apparatus is pressed onto the upper and lower substrates 24 and 28 at a pressure of about 2 kN to bond the upper and lower substrates 24 and 28 as shown in FIG. 5.

그러나, 합착공정의 전공정인 실 인쇄공정과 스페이서 산포공정에서 기판을 이송하기 위한 이송장치 및 로봇에 묻어 있는 먼지 등과, 이송 중에 파손된 기판의 조각과, 기판 합착장치의 제1 및 제2 정반(22, 30)에 먼지 등의 이물질이 상부 및 하부기판(24, 28)의 배면 및 제1 및 제2 정반(22, 30)에 잔존하게 된다.However, in the seal printing process and the spacer spreading process, which are the preliminary steps of the bonding process, the transfer device for transferring the substrate and the dust on the robot, the pieces of the board broken during the transfer, and the first and second surface plates of the substrate bonding device ( Foreign substances such as dust and the like remain on the rear surfaces of the upper and lower substrates 24 and 28 and the first and second surface plates 22 and 30.

이러한 이물질을 제거하기 위하여, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 합착장치의 제1 및 제2 정반(22, 30)에는 도 7과 같이 표면에 가이드홈(31, 33)이 형성된다.In order to remove such foreign matter, guide grooves 31 and 33 are formed in the first and second surface plates 22 and 30 of the substrate bonding apparatus according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 7.

도 7을 참조하면, 가이드홈(31, 33)은 밀링머신 등의 공작기계를 사용하여 제작될 수 있으며, 등간격의 격자선 형태로 형성된다. 이러한, 가이드홈(31, 33)은 도 8a 내지 도 8c와 같은 홈을 갖는다.Referring to FIG. 7, the guide grooves 31 and 33 may be manufactured by using a machine tool such as a milling machine, and are formed in the form of grids of equal intervals. The guide grooves 31 and 33 have grooves as shown in FIGS. 8A to 8C.

가이드홈(31, 33)은 상부 및 하부기판(24,28)의 배면에 잔존하는 이물질을 담을 수 있는 형태가 된다. 이러한, 가이드홈(31, 33)의 단면은 도 8a와 같이 "V"자 형태일 수 있으며, 도 8b와 같이 사각형 형태 또는 도 8c와 같이 반원형태를 갖을 수 있다.The guide grooves 31 and 33 may be formed to contain foreign substances remaining on the rear surfaces of the upper and lower substrates 24 and 28. The cross-sections of the guide grooves 31 and 33 may have a “V” shape as shown in FIG. 8A, and may have a rectangular shape as shown in FIG. 8B or a semicircular shape as shown in FIG. 8C.

또한, 제1 및 제2 정반(22, 30)의 표면은 상부 및 하부기판(24, 28)과 접촉시 스크래치 현상이 발생하지 않도록 면접촉이 가능한 어떠한 형태의 가이드홈(31,33)이라도 가능하다. In addition, the surfaces of the first and second surface plates 22 and 30 may be any type of guide grooves 31 and 33 capable of surface contact so that scratches do not occur when the upper and lower substrates 24 and 28 are in contact with each other. Do.

따라서, 가이드홈(31, 33)은 기판 합착시 상부 및 하부기판(24, 28)의 배면 및 제1 및 제2 정반(22, 30)에 잔존하는 이물질(40)이 존재하더라도 가이드홈(31, 33)에 슬라이딩되어 떨어지게 됨으로써, 이물질에 의한 스페이서(26)에 의해 상부 및 하부기판(24, 28)이 눌려지게 되는 현상을 방지하게 된다.Accordingly, the guide grooves 31 and 33 may be guide grooves 31 even when there are foreign substances 40 remaining on the rear surfaces of the upper and lower substrates 24 and 28 and the first and second surface plates 22 and 30 when the substrates are bonded. By sliding down to 33, it is possible to prevent the phenomenon that the upper and lower substrates 24 and 28 are pressed by the spacer 26 by foreign matter.

도 9를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 합착장치의 제1 및 제2 정반(42, 44)은 표면에 주기적으로 배열 형성된 돌출부(46)를 구비한다. Referring to FIG. 9, the first and second surface plates 42 and 44 of the substrate bonding apparatus according to the second embodiment of the present invention have protrusions 46 periodically arranged on the surface thereof.

돌출부(46) 각각은 사각형의 표면을 가지도록 형성되어 상부 및 하부기판(24, 28) 안착시 면접촉을 한다.Each of the protrusions 46 is formed to have a rectangular surface to make surface contact when the upper and lower substrates 24 and 28 are seated.

또한, 제1 및 제2 정반(42, 44)은 돌출부(46)를 제외한 부분에 돌출부(46)와 소정 깊이로 단차를 이루도록 도 10a 내지 도 10c와 같은 홈(48)이 형성된다.In addition, the grooves 48 as shown in FIGS. 10A to 10C are formed in the first and second surface plates 42 and 44 to form a step with the protrusion 46 at a predetermined depth except for the protrusion 46.

홈(48)은 상부 및 하부기판(24, 28)의 배면에 잔존하는 이물질을 담을 수 있는 형태가 된다. 이러한, 홈(48)의 단면은 도 10a와 같이 "V"자 형태일 수 있으며, 도 10b와 같이 사각형 형태 또는 도 10c와 같이 반원형태를 갖을 수 있다.The groove 48 has a shape capable of containing foreign matter remaining on the rear surfaces of the upper and lower substrates 24 and 28. The cross section of the groove 48 may have a “V” shape as shown in FIG. 10A, and may have a rectangular shape as shown in FIG. 10B or a semicircular shape as shown in FIG. 10C.

제1 및 제2 정반(42, 44)의 돌출부(46)는 상부 및 하부기판(24, 28)과 접촉시 스크래치 현상이 발생하지 않도록 면접촉을 하며, 돌출부(46)를 제외한 부분은 이물질을 담을수 있는 어떠한 형태의 홈(48)이라도 갖을 수 있다.The protrusions 46 of the first and second surface plates 42 and 44 are in surface contact so as not to cause a scratch phenomenon when the upper and lower substrates 24 and 28 are in contact with each other. It can have any shape of groove 48 that it can contain.

따라서, 상부 및 하부기판(24, 28) 합착시 기판의 배면 및 제1 및 제2 정반(42, 44)에 잔존하는 이물질(40)이 존재하더라도 홈(48)에 슬라이딩 되어 떨어지게 됨으로써, 이물질에 잔존하는 부위에서의 스페이서(26)에 의해 상부 및 하부기판(24, 28)이 눌려지게 되는 현상을 방지하게 된다.Therefore, when the upper and lower substrates 24 and 28 are bonded together, even if there is a foreign material 40 remaining on the back surface of the substrate and the first and second surface plates 42 and 44, the foreign material 40 is slid to the groove 48 so that the foreign material may be removed. This prevents the upper and lower substrates 24 and 28 from being pressed by the spacers 26 at the remaining portions.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 합착장치는 상부 및 하부 기판이 안착되는 합착정반의 표면 상에 이물질이 삽입될 수 있는 가이드 홈을 형성함으로써 이물질이 잔존하는 부위에서의 스페이서에 의한 눌림 현상을 방지할 수 있다. 또한, 이물질에 의한 스페이서에 의한 눌림 현상을 방지함으로써 생산성이 크게 향상된다.As described above, the substrate bonding apparatus according to the present invention forms a guide groove through which foreign matter can be inserted on the surface of the bonding table on which the upper and lower substrates are seated, thereby preventing the phenomenon of pressing by the spacer at the site where the foreign matter remains. You can prevent it. In addition, the productivity is greatly improved by preventing the spacer from being pressed by the foreign material.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

도 1은 종래의 기판 합착장치를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional substrate bonding apparatus.

도 2는 도 1에 도시된 제1 및 제2 정반을 나타내는 사시도.FIG. 2 is a perspective view showing the first and second surface plates shown in FIG. 1. FIG.

도 3a 및 도 3b는 상부 및 하부기판이 합착되는 과정을 나타내는 단면도.3A and 3B are cross-sectional views illustrating a process in which the upper and lower substrates are bonded together.

도 4는 종래의 기판 합착장치에서의 이물질과 스페이스에 의한 기판의 눌림 현상을 나태내는 단면도.Figure 4 is a cross-sectional view showing the pressing phenomenon of the substrate by the foreign matter and space in the conventional substrate bonding apparatus.

도 5는 본 발명에 따른 기판 합착장치를 나타내는 단면도.5 is a cross-sectional view showing a substrate bonding apparatus according to the present invention.

도 6a 및 도 6b는 상부 및 하부기판이 합착되는 과정을 나타내는 단면도.6A and 6B are cross-sectional views illustrating a process in which the upper and lower substrates are bonded together.

도 7은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 기판 합착장치의 합착정반을 나타내는 사시도.7 is a perspective view showing a bonding table of the substrate bonding apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 8a 내지 도 8c는 도 7에 도시된 합착정반의 가이드 홈을 나타내는 사시도.8A to 8C are perspective views illustrating the guide grooves of the cementation table shown in FIG. 7.

도 9는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 기판 합착장치의 합착정반을 나타내는 사시도.9 is a perspective view showing a bonding table of the substrate bonding apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 10a 내지 도 10c는 도 9에 도시된 합착정반의 돌출부를 나타내는 사시도.10A to 10C are perspective views showing the protrusions of the cementation table shown in Fig. 9;

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

2, 22 : 제1 정반 4, 24 : 상부기판2, 22: first plate 4, 24: upper substrate

6, 26 : 스페이서 8, 28 : 하부기판6, 26: spacer 8, 28: lower substrate

10, 30 : 제2 정반 20, 40 : 이물질10, 30: 2nd plate 20, 40: foreign material

31, 33 : 가이드홈 46 : 돌출부31, 33: guide groove 46: protrusion

48 : 홈48: home

Claims (7)

액정을 사이에 두고 대면될 두개의 기판을 합착하는 합착장치에 있어서,A bonding apparatus for bonding two substrates to be faced with liquid crystals interposed therebetween, 상기 두개의 기판 중 어느 하나가 안착되는 제1 정반과,A first surface plate on which any one of the two substrates is seated; 상기 두개의 기판 중 나머지 하나가 안착되는 제2 정반과,A second surface plate on which the other one of the two substrates is seated; 이물질이 삽입 가능하도록 상기 제1 정반 및 제2 정반의 표면에 격자선 형태로 형성된 가이드 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.Substrate bonding apparatus comprising a guide groove formed in the form of grid lines on the surface of the first and second surface plate so that foreign matter can be inserted. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드 홈은 등간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.And the guide grooves are formed at equal intervals. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드 홈은 삼각형, 사각형 및 반원 중 어느 한 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.The guide groove is a substrate bonding apparatus, characterized in that formed in any one of a triangle, a square and a semi-circle. 액정을 사이에 두고 대면될 두개의 기판을 합착하는 합착장치에 있어서,A bonding apparatus for bonding two substrates to be faced with liquid crystals interposed therebetween, 상기 두개의 기판 중 어느 하나가 안착되는 제1 정반과,A first surface plate on which any one of the two substrates is seated; 상기 두개의 기판 중 나머지 하나가 안착되는 제2 정반과,A second surface plate on which the other one of the two substrates is seated; 상기 제1 정반 및 제2 정반의 표면에 마련되어 상기 기판과 접촉되는 표면을 가지게끔 상기 제1 및 제2 정반에 마련된 다수의 돌출부들과,A plurality of protrusions provided on the surfaces of the first and second tables and provided on the first and second tables to have a surface in contact with the substrate; 상기 제1 및 제2 정반의 표면에서 상기 돌출부들 사이에 위치하는 이물질이 삽입 가능한 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.And a groove into which foreign substances located between the protrusions on the surfaces of the first and second surface plates can be inserted. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 돌출부들 각각은 사각형의 표면을 가지게끔 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.And each of the protrusions is formed to have a rectangular surface. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 돌출부들이 매트릭스 형태로 배열되어지는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.Substrate bonding apparatus characterized in that the protrusions are arranged in a matrix form. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 돌출부들이 지그재그 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.Substrate bonding apparatus characterized in that the protrusions are arranged in a zigzag form.
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