KR100461025B1 - Laser marking method using eccentric camera lens - Google Patents

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KR100461025B1 KR10-2002-0023109A KR20020023109A KR100461025B1 KR 100461025 B1 KR100461025 B1 KR 100461025B1 KR 20020023109 A KR20020023109 A KR 20020023109A KR 100461025 B1 KR100461025 B1 KR 100461025B1
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이정구
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주식회사 이오테크닉스
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Abstract

본 발명은 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법에 관하여 개시한다. 개시된 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법은, 트레이 내 다수의 칩들을 CCD 카메라로 인식하여 개별 칩에 따른 마킹 패턴을 설정한 후, 레이저 발진기로부터의 레이저 빔을 갈바노 스캐너 및 f-세타렌즈를 통하여 트레이 내 다수의 칩들 상에 마킹을 하는 방법에 있어서, 상기 CCD 카메라의 전단에 부착되는 결상렌즈의 중심선이 상기 CCD 카메라의 중심선으로부터 소정거리 이격되게 위치시켜 촬상하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 트레이 내의 칩들을 CCD 카메라를 사용하여 흐트러져 있어도 칩들의 일정한 위치에 문자 등을 마킹할 수 있는 이점이 있다.The present invention discloses a laser marking method using an eccentric camera lens. In the disclosed laser marking method using a eccentric camera lens, a plurality of chips in a tray are recognized as a CCD camera, a marking pattern is set according to individual chips, and a laser beam from a laser oscillator is used to scan a galvano scanner and an f-theta lens. In the method of marking on a plurality of chips in the tray through, the center line of the imaging lens attached to the front end of the CCD camera is characterized in that the imaging is located at a predetermined distance away from the center line of the CCD camera. According to this, even if the chips in the tray are distracted by using a CCD camera, there is an advantage that it is possible to mark characters and the like at a certain position of the chips.

Description

편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법{Laser marking method using eccentric camera lens}Laser marking method using eccentric camera lens

본 발명은 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 CCD 카메라로부터 편심된 카메라 렌즈를 사용하여 트레이 내의 다수의 칩들의 개별 위치를 인식하여 레이저 마킹을 하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a laser marking method using an eccentric camera lens, and more particularly, to a method of laser marking by recognizing individual positions of a plurality of chips in a tray using an eccentric camera lens from a CCD camera.

도 1은 종래의 레이저 마킹 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 레이저 발진기(10)로부터의 레이저 빔은 갈바노 스캐너(20)의 x 미러(21) 및 y 미러(22)와 f-세타렌즈(30)를 거쳐서 트레이(40) 내의 다수의 칩들(c)의 표면을 마킹한다.1 is a view schematically showing the configuration of a conventional laser marking system. Referring to FIG. 1, the laser beam from the laser oscillator 10 passes through the x mirror 21 and y mirror 22 of the galvano scanner 20 and the f-theta lens 30 in the plurality of trays 40. Mark the surface of chips (c).

도 2는 일반적인 트레이(40) 및 그 내부에 위치하는 칩들(c)을 설명하는 평면도이다. 도 2를 참조하면, 트레이(40)는 다수의 칩들(c)이 위치하도록 각 칩(c)이 들어가는 방들로 구획되어 있다. 이 방의 크기는 칩의 크기에 비해서 다소 크므로 트레이(40)를 이송시 각 방에서의 칩이 움직일 수 있다. 따라서, 레이저 마킹 시스템으로 트레이(40) 내의 각 칩들을 마킹시 각각의 칩들의 위치에 따라서 칩의 표면에 마킹되는 위치가 달라진다. 정상적인 칩들도 칩마다의 마킹 위치가 일정하지 않으면 소비자로부터 칩 자체의 품질에 대한 신뢰를 주지 못하며, 불만의 원인이 된다.2 is a plan view illustrating a general tray 40 and chips c located therein. Referring to FIG. 2, the tray 40 is partitioned into rooms where each chip c enters such that a plurality of chips c are located. Since the size of this room is somewhat larger than the size of the chip, the chip in each room may move when the tray 40 is transferred. Therefore, when marking each chip in the tray 40 with the laser marking system, the marking position on the surface of the chip varies according to the position of each chip. Even the normal chips do not give the consumer confidence in the quality of the chip itself if the marking positions of the chips are not constant and cause dissatisfaction.

따라서 상기 레이저 마킹시스템에 CCD 카메라를 갖추어서 트레이 내 칩들의 위치를 인식하여 칩별로 마킹하는 방법이 제안되고 있다.Therefore, a method of marking chips by chip by recognizing positions of chips in a tray by equipping the laser marking system with a CCD camera has been proposed.

그러나, 이 방법을 적용시 f-세타렌즈 및 트레이 사이에 설치되는 CCD 카메라가 f-세타렌즈와의 간섭으로 하방의 트레이 표면을 전부 커버하지 못하는 문제가 발생된다.However, when applying this method, a problem arises that the CCD camera installed between the f-theta lens and the tray does not cover all of the lower tray surface due to the interference with the f-theta lens.

본 발명은 상기의 문제점을 개선하기 위해 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 편심된 카메라 렌즈를 이용하여 트레이 내의 각 칩들의 위치를 인식하여 개별 칩들에 대응하여 레이저 마킹을 하는 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method of laser marking corresponding to individual chips by recognizing the position of each chip in a tray using an eccentric camera lens.

도 1은 종래의 레이저 마킹 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing the configuration of a conventional laser marking system.

도 2는 일반적인 트레이 및 그 내부에 위치하는 칩들을 설명하는 도면이다.2 is a diagram illustrating a general tray and chips located therein.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.3 is a view schematically showing the configuration of a laser marking system according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 개별 칩이 트레이 내에서 편향되게 위치하는 것을 보여주는 평면도이다.4 is a plan view showing the individual chips being deflected within the tray.

도 5는 도 3의 카메라 및 트레이를 발췌한 것으로서, 카메라가 트레이 상에서 인식하는 영역을 도시한 도면이다.FIG. 5 is an extract of the camera and tray of FIG. 3 and illustrates an area recognized by the camera on the tray.

도 6은 도 5에서 카메라를 기울여서 트레이 상의 영역을 전부 커버하는 것을 도시한 도면이다.FIG. 6 is a view illustrating tilting the camera in FIG. 5 to completely cover an area on a tray.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카메라 및 트레이의 배치를 보여주는 도면이다.7 is a view showing the arrangement of the camera and the tray according to a preferred embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플로우 차트이다.8 is a flow chart according to a preferred embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호설명** Description of Signs of Major Parts of Drawings *

10: 레이저 발진기 20: 갈바노 스캐너10: laser oscillator 20: galvano scanner

21: x 미러 22: y 미러21: x mirror 22: y mirror

30: f-세타 렌즈 32: CCD 카메라30: f-theta lens 32: CCD camera

34: 라이트 36: 결상 렌즈34: light 36: imaging lens

40: 트레이40: tray

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법은, 트레이 내 다수의 칩들을 CCD 카메라로 인식하여 개별 칩에 따른 마킹 패턴을 설정한 후, 레이저 발진기로부터의 레이저 빔을 갈바노 스캐너 및 f-세타렌즈를 통하여 트레이 내 다수의 칩들 상에 마킹을 하는 방법에 있어서,In order to achieve the above object, the laser marking method using the eccentric camera lens of the present invention recognizes a plurality of chips in a tray as a CCD camera, sets a marking pattern according to individual chips, and then uses the laser beam from the laser oscillator. A method of marking on a plurality of chips in a tray via a galvano scanner and an f-theta lens,

상기 CCD 카메라의 전단에 부착되는 결상렌즈의 중심선이 상기 CCD 카메라의 중심선으로부터 소정거리 이격되게 위치시켜 촬상하는 것을 특징으로 한다.A center line of the imaging lens attached to the front end of the CCD camera is positioned to be spaced apart from the center line of the CCD camera by a predetermined distance for imaging.

상기 결상렌즈의 중심선은 상기 카메라의 중심선보다 소정 거리 상기 f-세타렌즈 쪽으로 이격된다.The center line of the imaging lens is spaced apart from the center line of the camera toward the f-theta lens by a predetermined distance.

상기 칩들을 인식하는 단계는, 상기 CCD 카메라를 사용하여 각 칩의 기준점이 상기 트레이 내 기준점으로부터 벗어난 x, y 변위 및 기울어진 각도를 측정한다.Recognizing the chips, using the CCD camera to measure the x, y displacement and the tilt angle of the reference point of each chip deviated from the reference point in the tray.

상기 마킹 단계는, 상기 칩의 마킹 패턴에 따라 상기 갈바노 스캐너의 x 미러 및 y 미러의 각도를 조절하여 마킹한다.In the marking step, marking is performed by adjusting the angles of the x mirror and the y mirror of the galvano scanner according to the marking pattern of the chip.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법을 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 층이나 영역들의 두께는 명세서의 명확성을 위해 과장되게 도시된 것이다.Hereinafter, a laser marking method using an eccentric camera lens according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of layers or regions illustrated in the drawings are exaggerated for clarity.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 마킹 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이며, 종래의 발명과 동일한 구조의 물건에는 동일한 참조번호를 사용하고 상세한 설명을 생략한다.3 is a view schematically showing the configuration of a laser marking system according to a preferred embodiment of the present invention, the same reference numerals are used for objects having the same structure as the conventional invention, and detailed description thereof will be omitted.

도 3을 참조하면, 레이저 마킹시스템은 레이저 발진기(10)와 갈바노 스캐너(20) 및 f-세타렌즈(30)와, 마킹 대상물인 트레이(40) 내 다수의 칩들(c)로부터 광을 수광하여 전기적 영상신호를 발생하는 CCD 카메라(32)와, 상기 트레이(40)에 광을 조사하는 라이트(34)와, 상기 CCD 카메라(32)로부터의 칩의 위치정보에 따라서 상기 갈바노 스캐너(20)의 x 미러(21) 및 y 미러(22)를 조절하는 콘트롤러(미도시)가 마련된다. 상기 CCD 카메라(32)의 전단에는 피사물을 결상하는 결상렌즈(36)가 배치된다.Referring to FIG. 3, a laser marking system receives light from a laser oscillator 10, a galvano scanner 20, an f-theta lens 30, and a plurality of chips c in a tray 40, which is a marking object. The galvano scanner 20 according to the CCD camera 32 for generating an electrical image signal, the light 34 for irradiating light to the tray 40, and the position information of the chip from the CCD camera 32. There is provided a controller (not shown) for adjusting the x mirror 21 and the y mirror 22. In front of the CCD camera 32, an imaging lens 36 is formed to form an object.

상기 갈바노 스캐너(20)는 x 미러(21) 및 y 미러(22)와 이들을 각각 구동시키는 모터(미도시)를 구비하며, 이들 미러(21, 22)의 위치를 조정하여 레이저 빔을소정 영역에 X-Y 방향으로 주사시킨다.The galvano scanner 20 has an x mirror 21 and a y mirror 22 and a motor (not shown) for driving them, respectively, and adjusts the positions of the mirrors 21 and 22 to produce a laser beam. To the XY direction.

상기 f-세타렌즈(30)는 입사된 레이저 빔이 마킹 대상물(40)의 전체에 대해 동일한 크기의 초점을 형성하게 한다.The f-theta lens 30 causes the incident laser beam to form the same sized focal point for the entirety of the marking object 40.

상기 CCD 카메라(32)의 CCD(charge coupled device)는 빛을 전기 신호로 변환하는 광전변환 센서이다. 카메라(32) 전단의 결상렌즈(36)로 들어온 빛의 세기는 먼저 CCD에 기록된다. 이 때 촬영된 영상의 빛은 CCD에 붙어 있는 RGB색필터에 의해 각기 다른 색으로 분리된다. 분리된 색은 CCD를 구성하는 수십 만 개의 광센서(화소에 대응하는)에서 전기적 신호로 변환된다. CCD에서 나온 아날로그 신호는 0과 1의 디지털 신호로 변환되어 영상 신호가 만들어져서 출력된다.The charge coupled device (CCD) of the CCD camera 32 is a photoelectric conversion sensor that converts light into an electrical signal. The intensity of light entering the imaging lens 36 in front of the camera 32 is first recorded in the CCD. At this time, the light of the captured image is separated into different colors by the RGB color filter attached to the CCD. The separated colors are converted into electrical signals by the hundreds of thousands of light sensors (corresponding to the pixels) that make up the CCD. The analog signal from the CCD is converted into digital signals of 0 and 1, and an image signal is produced and output.

상기 CCD 카메라(32)는 트레이(40)의 표면 전체를 촬상하도록 다수의 카메라가 사용될 수도 있다.A plurality of cameras may be used for the CCD camera 32 to photograph the entire surface of the tray 40.

도 4는 트레이 내의 하나의 칩이 트레이 내에서 편향되게 위치하는 것을 보여주는 평면도이다. 도 4를 참조하면, 트레이(40) 내의 하나의 방에는 하나의 칩(c)이 위치한다. 상기 칩(c)은 방 내에서 이동되면서 방의 일정한 점으로부터 벗어나게 위치할 수 있다. 상기 칩의 위치를 정의하기 위해서 상기 방의 내측면의 모서리 하나를 기준점(P1)으로 잡는다. 도면에서는 좌측 상단의 모서리를 기준점(P1)으로 하였다. 다음에 칩(c)에서 상기 기준점(P1)에 대응하며 인접한 하나의 모서리(P2)가 상기 기준점(P1)으로부터 떨어져 있는 위치를 정한다. 즉, 도면에서 보면, x 축 및 y 축으로 벗어난 정도를 각각 dx 및 dy 로 정의한다. 다음으로 칩(c)이 위치하는 모양을 표현하기 위해서 칩의 기준점(P2)을 지나는 x 축 선으로부터 칩의 일면이 이루는 선분 사이의 각도를 θ로 정의하면 트레이(40) 내의 하나의 칩(c)의 위치가 정의된다.4 is a plan view showing one chip in the tray being deflected in the tray. Referring to FIG. 4, one chip c is positioned in one room of the tray 40. The chip c may be moved away from a certain point of the room while being moved in the room. To define the location of the chip, one corner of the inner surface of the room is taken as the reference point P1. In the figure, the upper left corner was defined as the reference point P1. Next, at the chip c, a position corresponding to the reference point P1 and adjacent one edge P2 is separated from the reference point P1 is determined. That is, in the drawings, the deviations from the x and y axes are defined as dx and dy, respectively. Next, in order to express the shape in which the chip c is located, the angle between the x-axis line passing through the reference point P2 of the chip and the line segment formed by one surface of the chip is defined as θ, and one chip c in the tray 40 is defined. ) Position is defined.

도 5는 도 3의 카메라 및 트레이를 발췌한 것으로서, 카메라가 트레이 상에서 인식하는 영역을 도시한 도면이며, 도 6은 도 5에서 상기 카메라를 기울여서 트레이 상의 영역을 커버하는 것을 도시한 것이다.FIG. 5 is an excerpt of the camera and tray of FIG. 3 and illustrates an area recognized by the camera on the tray, and FIG. 6 shows an inclination of the camera in FIG. 5 to cover an area on the tray.

도 5를 참조하면, 카메라(32)를 트레이(40)에 수직으로 설치한 경우에는 f-세타렌즈(30)와의 간섭으로 카메라(32)를 자유롭게 설치하는 것이 제한된다. 따라서 도 4에 도시된 바와 같이 트레이(40) 상에는 두 개의 카메라(32)로 커버되지 않는 데드(dead)(D) 영역이 존재하게 된다. 이 경우 카메라 렌즈의 화각이 넓은 것을 사용하면 트레이(40) 상의 모든 영역을 커버할 수는 있지만 화각이 넓어지는 만큼 초점거리는 짧아지므로 카메라의 분해능이 떨어지게 된다.Referring to FIG. 5, when the camera 32 is vertically installed on the tray 40, the camera 32 is freely installed due to interference with the f-theta lens 30. Therefore, as shown in FIG. 4, a dead (D) area exists on the tray 40, which is not covered by the two cameras 32. In this case, when a wide field of view of the camera lens is used, it is possible to cover all areas on the tray 40, but the resolution of the camera is reduced because the focal length is shortened as the angle of view is widened.

상기 문제는 도 6에 도시된 바와 같이 카메라를 일정한 각도로 기울여 설치함으로써 트레이 상면을 모두 인식하게 할 수 있다.The problem may be to recognize all the upper surface of the tray by installing the camera inclined at a predetermined angle as shown in FIG.

그러나, 이렇게 카메라를 기울어지게 설치하는 방법을 사용시는 다른 문제점이 발생된다. 즉, 카메라 렌즈로 트레이(40) 내의 칩들이 경사지게 입사되므로 입사되는 거리의 원근에 따라서 칩의 형상이 왜곡되게 인식된다. 즉, 가까운 거리의 길이가 먼 거리의 길이보다 길게 인식된다. 따라서, 정확히 칩의 위치를 인식하기 위한 카메라가 부정확한 왜곡된 형상으로 칩을 인식함으로써 카메라를 사용하는 목적이 훼손되게 된다.However, other problems arise when using this method of tilting the camera. That is, since the chips in the tray 40 are obliquely incident to the camera lens, the shape of the chips is perceived to be distorted according to the perspective of the incident distance. In other words, it is recognized that the length of the near distance is longer than the length of the far distance. Thus, the purpose of using the camera is undermined by the camera for accurately recognizing the position of the chip and recognizing the chip in an incorrectly distorted shape.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 카메라(32) 및 트레이(40)의 배치를 보여주는 도면이다. 도 7을 참조하면, CCD 카메라(32)는 그 전단에 결상렌즈(36)가 부착되어 있다. 이때 CCD 카메라(32)는 고정된 상태에서 피사물을 관측하는 결상렌즈(36)를 서로 마주보는 방향으로 이동시키켜서 CCD 카메라(32)의 중심선으로부터 결상렌즈(36)의 중심선이 쉬프트(shift)되게 하였다. 이에 따라 도 4에서와 동일한 화각을 가지는 CCD 카메라(32)를 사용하고도 트레이 상에는 데드 영역없이 정상적인 상을 인식할 수 있게 된다.7 is a view showing the arrangement of the camera 32 and the tray 40 according to a preferred embodiment of the present invention. Referring to Fig. 7, the CCD camera 32 has an imaging lens 36 attached to its front end. At this time, the CCD camera 32 moves the imaging lenses 36 for observing the subject in a fixed state in a direction facing each other so that the centerline of the imaging lenses 36 shifts from the centerline of the CCD camera 32. It was made. Accordingly, even when the CCD camera 32 having the same angle of view as in FIG. 4 is used, a normal image can be recognized without a dead area on the tray.

상기 레이저 시스템을 사용하여 트레이(40) 내 다수의 칩들의 표면에 마킹하는 방법을 상세히 설명한다. 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플로우 차트를 도시한 것이다.The method of marking the surface of the plurality of chips in the tray 40 using the laser system will be described in detail. 8 shows a flow chart according to a preferred embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 먼저, 트레이(40)의 각 방에 각각 하나의 칩들(c)이 위치하도록 한다. 이어서 이 트레이(40)를 카메라가 설치된 작업대로 위치시킨다(S1). 이 때 각 칩들의 표면이 f-세타 랜즈(30)의 초점거리에 위치하게 하는 것이 중요하다.Referring to the drawings, first, one chip (c) is positioned in each room of the tray 40. Subsequently, the tray 40 is positioned on a work bench on which a camera is installed (S1). At this time, it is important that the surface of each chip is located at the focal length of the f-theta lens 30.

이어서, 라이트(34)가 온(on)되어서 하방의 트레이(40)를 비추는 상태에서 각 카메라(32)로 하방의 트레이(40) 내의 각 칩의 위치를 촬상한다(S2). 이 때 트레이(40)의 크기에 따라서 다수의 카메라(32)가 설치되는 경우에는 미리 카메라(32)마다 촬상하는 영역을 구별하여 놓는다.Next, in the state where the light 34 is turned on to illuminate the lower tray 40, each camera 32 captures the position of each chip in the lower tray 40 (S2). At this time, when a plurality of cameras 32 are provided in accordance with the size of the tray 40, the area for imaging each camera 32 is distinguished in advance.

촬상된 이미지로부터 각 칩의 위치정보 즉, 트레이(40) 내의 각 방의 기준점(P1)으로부터 해당 칩이 벗어난 정도인 dx 및 dy 와 기준선으로부터 기울어진 각도 θ를 측정한다(S2).From the picked-up image, the positional information of each chip, that is, dx and dy, which are degrees of deviation of the corresponding chip from the reference point P1 of each room in the tray 40, and the angle of inclination from the reference line are measured (S2).

이어서 콘트롤러에 기억된 마킹 패턴과 측정된 각 칩의 위치를 병합하여서 개별 칩마다 칩의 위치를 보정한 마킹 패턴을 콘트롤러에 입력한다(S3).Subsequently, the marking pattern stored in the controller and the measured position of each chip are merged to input the marking pattern in which the chip position is corrected for each individual chip to the controller (S3).

다음에 개별 칩의 표면을 각각 설정된 마킹 패턴으로 마킹한다(S4).Next, the surfaces of the individual chips are marked with a predetermined marking pattern (S4).

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법에 따르면 트레이 내의 칩들을 CCD 카메라를 사용하여 흐트러져 있어도 칩들의 일정한 위치에 문자 등을 마킹할 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the laser marking method using the eccentric camera lens according to the present invention, even if the chips in the tray are distracted using the CCD camera, there is an advantage in that characters can be marked at a certain position of the chips.

본 발명은 도면을 참조하여 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 한해서 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments with reference to the drawings, this is merely exemplary, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined only by the appended claims.

Claims (4)

트레이 내 다수의 칩들의 위치를 CCD 카메라로 인식하여 개별 칩에 따른 마킹 패턴을 설정한 후, 레이저 발진기로부터의 레이저 빔을 갈바노 스캐너 및 f-세타렌즈를 통하여 트레이 내 다수의 칩들 상에 마킹을 하는 방법에 있어서,After recognizing the position of the plurality of chips in the tray with the CCD camera and setting the marking pattern according to the individual chips, the laser beam from the laser oscillator is marked on the plurality of chips in the tray through the galvano scanner and the f-theta lens. In the way, 상기 CCD 카메라는 상기 트레이에 대해 실질적으로 수직으로 배치되며, 상기 CCD 카메라의 전단에 부착되는 결상렌즈의 중심선이 상기 CCD 카메라의 중심선으로부터 상기 f-쎄타렌즈의 중심 방향으로 소정거리 이동되게 위치시켜 상기 칩들을 인식하는 단계; 및The CCD camera is disposed substantially perpendicular to the tray, and the center line of the imaging lens attached to the front end of the CCD camera is positioned to be moved a predetermined distance from the center line of the CCD camera toward the center of the f-theta lens. Recognizing chips; And 상기 인식된 각 칩에 따라 해당 칩 상에 마킹하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법.And marking on the chip according to each of the recognized chips. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 칩들을 인식하는 단계는,The method of claim 1, wherein the recognizing the chips comprises: 상기 카메라를 사용하여 각 칩의 기준점이 상기 트레이 내 기준점으로부터 벗어난 x, y 변위 및 기울어진 각도를 측정하는 것을 특징으로 하는 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법.And an x, y displacement and an inclination angle at which the reference point of each chip deviates from the reference point in the tray using the camera. 제 1 항에 있어서, 상기 마킹 단계는,The method of claim 1, wherein the marking step, 상기 칩의 마킹 패턴에 따라 상기 갈바노 스캐너의 x 미러 및 y 미러의 각도를 조절하여 마킹하는 것을 특징으로 하는 편심된 카메라 렌즈를 이용한 레이저 마킹방법.And marking by adjusting the angles of the x mirror and the y mirror of the galvano scanner according to the marking pattern of the chip.
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