KR100437656B1 - Organic Electroluminescent Device Having Shorting Bar for Aging and Panel Test - Google Patents
Organic Electroluminescent Device Having Shorting Bar for Aging and Panel Test Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 유기 EL 소자의 테스트 배선에 관한 것으로 투명기판위에 형성되는 양극층은 상기 유기 EL 소자의 다수개의 스캔 라인(Scan Line)과 각각 연결되어 일정한 길이를 가진 다수개의 로우패드와, 상기 유기 EL 소자의 다수개의 시그널 라인(Signal Line)에 각각 연결되는 일정한 길이를 가진 다수개의 컬럼패드와, 상기 다수개의 로우패드와 전기적으로 연결이 가능한 하나의 로우 프루빙패드와, 상기 컬럼패드와 전기적으로 연결이 가능한 하나의 컬럼 프루빙패드를 포함하며, 상기 로우패드와 컬럼패드의 단말에 콘택홀을 가지도록 형성된 절연층과, 상기 절연층 위에 상기 로우패드 및 컬럼패드와 직교하고 상기 콘택홀을 가리지 않으며 일정간격과 두께를 가지고 형성된 다수개의 격벽과, 상기 격벽위, 격벽과 격벽사이의 절연층위 및 콘텍홀과, 상기 로우 프루빙패드와 컬럼 프루빙패드의 단말부가 덮이며 상기 격벽 보다는 얇은 두께로 형성된 음극층을 구비하여 포토리소그라피 공정을 하지 않아도 되는 유기 EL 소자에 적합한 테스트 배선의 구조를 제공한다.The present invention relates to a test wiring of an organic EL device, wherein an anode layer formed on a transparent substrate includes a plurality of low pads having a predetermined length connected to each of a plurality of scan lines of the organic EL device, and the organic EL device. A plurality of column pads having a predetermined length respectively connected to a plurality of signal lines of the device, one row probing pad electrically connected to the plurality of low pads, and electrically connected to the column pads And a single column probing pad, wherein the insulating layer is formed to have a contact hole in the terminal of the row pad and the column pad, and is orthogonal to the row pad and the column pad on the insulating layer and does not cover the contact hole. A plurality of barrier ribs having a predetermined thickness and thickness, the barrier ribs, an insulation layer and contact holes between the barrier ribs and the barrier ribs, and the furnace The terminal of the right proving pad and the column proving pad is covered with a cathode layer formed with a thickness thinner than that of the partition wall to provide a test wiring structure suitable for an organic EL device that does not require a photolithography process.
Description
본 발명은 유기 EL 소자에 관한 것으로서, 특히 유기 EL 소자를 스크라이브(scribe) 공정 전의 전체 기판상태에서 에이징(aging) 및 패널 테스트(panel test)가 가능한 테스트 배선의 구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic EL device, and more particularly, to a structure of test wirings capable of aging and panel testing in an entire substrate state before a scribe process.
도 1은 통상의 TFT-LCD 패널의 쇼팅바 구성도이다.1 is a configuration of a shorting bar of a conventional TFT-LCD panel.
종래의 TFT-LCD 패널에서는 TFT 어레이를 형성할 때 동시에 쇼팅바를 패터닝 한다. 격자 구조의 TFT 어레이(Array)의 다수개 데이터 라인(Data line)에는 데이터 오드라인(Odd line)(3-1)과 데이터 이븐라인(Even line)(3-2)이 한 쌍을 이루어 순차적으로 연결되고, 상기 데이터 오드라인(3-1)과 데이터 이븐라인(3-2)에는 데이터 오드패드(Odd pad)(1-1)와 데이터 이븐패드(Even pad)(1-2)가 각각 연결된다. 상기 다수개의 데이터 오드패드(1-1)의 다른 일 측은 모두 하나의 라인으로 형성된 데이터 오드 쇼팅바(5-1)에 모두 연결되고 상기 다수개의 데이터 이븐패드(1-2)의 다른 일 측은 하나의 라인으로 형성된 데이터 이븐 쇼팅바(Shorting bar)(5-2)에 모두 연결된다. 데이터 오드 쇼팅바(5-1) 및 데이터 이븐 쇼팅바(5-2)의 종단에는 데이터 오드 프루빙패드(7-1)와 데이터 이븐 프루빙패드(7-2)가 형성된다.In the conventional TFT-LCD panel, the shorting bar is patterned at the same time when forming the TFT array. A plurality of data lines (Odd line) 3-1 and data even lines (3-2) are sequentially formed in a plurality of data lines of a TFT array having a lattice structure. A data odd pad 1-1 and a data even pad 1-2 are respectively connected to the data odd line 3-1 and the data even line 3-2. do. The other side of the plurality of data odd pads 1-1 are all connected to the data odd shorting bar 5-1 formed in one line, and the other side of the plurality of data even pads 1-2 is one. Are all connected to a data even shorting bar 5-2 formed as a line of. At the ends of the data odd shorting bar 5-1 and the data even shorting bar 5-2, a data odd proofing pad 7-1 and a data even proofing pad 7-2 are formed.
격자 구조의 TFT 어레이의 다수개의 게이트 라인(Gate line)에는 게이트 오드라인(4-1)과 게이트 이븐라인(4-2)이 한 쌍을 이루어 순차적으로 연결되고, 상기게이트 오드라인(4-1)과 게이트 이븐라인(4-2)에는 게이트 오드패드(2-1)와 게이트 이븐패드(2-2)가 각각 연결된다. 상기 다수개의 게이트 오드패드(2-1)의 다른 일측은 모두 하나의 라인으로 형성된 게이트 오드 쇼팅바(6-1)에 모두 연결되고 상기 다수개의 게이트 이븐패드(2-2)의 다른 일 측은 하나의 라인으로 형성된 게이트 이븐 쇼팅바(6-2)에 모두 연결된다. 게이트 오드 쇼팅바(6-1) 및 게이트 이븐 쇼팅바(6-2)의 종단에는 게이트 오드 프루빙패드(8-1)와 게이트 이븐 프루빙패드(8-2)가 형성된다.A gate odd line 4-1 and a gate even line 4-2 are sequentially connected to a plurality of gate lines of the TFT array having a lattice structure, and the gate odd lines 4-1 are sequentially connected. ) And gate even line 4-2 are connected to gate odd pad 2-1 and gate even pad 2-2, respectively. The other sides of the plurality of gate odd pads 2-1 are all connected to the gate odd shorting bars 6-1 formed in one line, and the other side of the plurality of gate even pads 2-2 is one. It is connected to both gate even shorting bars 6-2 formed by lines of. The gate odd proving pad 8-1 and the gate even proving pad 8-2 are formed at the ends of the gate odd shorting bar 6-1 and the gate even shorting bar 6-2.
상술한 종래의 TFT-LCD패널의 쇼팅바는 포토리소그라피 방식으로 형성한다. 현재 상태는 데이터 오드 쇼팅바(5-1), 데이터 이븐 쇼팅바(5-2), 게이트 오드 쇼팅바(6-1) 및 게이트 이븐 쇼팅바(6-2)는 TFT어레이를 테스트 할 때만 필요하고 실제 제품에서는 필요치 않은 부분이므로 더미(Dummy)부로 형성한후 테스트 후에는 잘라내어 제거한다.The shorting bar of the above-described conventional TFT-LCD panel is formed by a photolithography method. The current state requires the data odd shorting bar (5-1), data even shorting bar (5-2), gate odd shorting bar (6-1) and gate even shorting bar (6-2) only when testing the TFT array. And since it is not necessary in the actual product, it is formed into a dummy part and then cut and removed after the test.
그러나, 유기 EL 소자에 있어서, 양극층 이후에 형성되는 유기물층은 수분에 매우 취약하기 때문에 포토리소그라피 공정을 사용할 수 없다. 즉 테스트를 하기 위해서는 원하는 신호를 각각의 라인에 분배하기 위하여 최소한 두개 이상의 도전막을 양극층과 음극층에 연결하도록 형성하여야 하지만 음극층은 유기물층을 형성한후에 새도우 마스크를 사용한 증착공정으로 진행하여 통상의 쇼팅바 형성방법인 포토리소그라피 공정을 진행 할 수 없다.However, in the organic EL device, the organic material layer formed after the anode layer is very vulnerable to moisture, so that a photolithography process cannot be used. In order to test, at least two conductive films should be formed to connect the anode layer and the cathode layer in order to distribute the desired signal to each line, but the cathode layer is formed by the organic material layer and then proceeds to the deposition process using a shadow mask. It is not possible to proceed with the photolithography process, which is a method of forming bars.
상술한 문제점으로 인하여 유기 EL 장치는 쇼팅바를 포함하지 않으며, 따라서 그 신뢰도를 테스트하기 위한 에이징(aging) 및 점등 검사는 일반적으로 스크라이빙과 브레이킹(scribing & breaking) 공정 후에 실시하였다. 즉 패널(panel) 또는 셀(cell) 상태에서 에이징 및 점등검사가 이루어졌다.Due to the above-described problems, the organic EL device does not include a shorting bar, and therefore, aging and lighting tests for testing its reliability are generally performed after scribing and breaking & breaking processes. In other words, aging and lighting tests were performed in a panel or cell state.
종래의 유기 EL 장치의 에이징 및 점등 검사는 스크라이빙과 브레이킹 공정을 마친 후 패널 상태의 제품에 올 쇼트 지그(all short jig)등을 사용하여 전압 및 전류를 인가하여 점등 상태를 점검하고, 에이징 패리트(aging pallet)에도 동일한 지그를 장착하여 장시간 동안 에이징을 실시한다. 즉 신뢰도 검사는 절단된 각각의 패널 및 셀 상태에서 이루어지는 것이다.In the aging and lighting inspection of the conventional organic EL device, after the scribing and breaking process is completed, the lighting state is checked by applying voltage and current to the products in the panel state by using all short jig, etc. The same jig is also attached to the aging pallet for aging for a long time. In other words, the reliability test is performed in each panel and cell state that is cut.
그러나 패널의 크기가 소형이고 하나의 원판에서 다수개의 패널이 생산될 때 에이징 공정 및 점등검사 공정의 처리용량을 산정하기 어려우며, 에이징 공정 및 점등검사 공정의 처리용량을 늘리기 위한 장비의 증설 및 작업자의 추가배치로 생산원가를 상승시키는 원인이 되며 생산 모델이 변경 될 경우에는 유휴 설비가 발생되는 문제점을 가진다.However, when the panel is small in size and a large number of panels are produced in one disc, it is difficult to estimate the processing capacity of the aging process and the lighting inspection process. The additional arrangement causes the production cost to rise, and if the production model is changed, an idle facility is generated.
따라서, 본 발명은 에이징 공정 및 점등검사 공정을 위한 특별한 장비를 필요치 않으며 유기 EL 소자에 포토리소그라피 공정이 필요 없이 쇼팅바를 구성할 수 있는 테스트 배선을 제공하는데 있다.Therefore, the present invention does not require any special equipment for the aging process and the lighting inspection process, and provides a test wiring for constructing a shorting bar without the need for a photolithography process for the organic EL device.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 유기 EL소자의 테스트 배선은 투명기판위에 형성되는 양극층을 가지며 이 양극층은 상기 유기 EL 소자의 다수개의 스캔 라인(Scan Line)과 각각 연결되어 일정한 길이를 가진 다수개의 로우패드와, 상기 유기 EL 소자의 다수개의 시그널 라인(Signal Line)에 각각 연결되는 일정한 길이를 가진 다수개의 컬럼패드와, 상기 다수개의 로우패드와 전기적으로 연결이 가능한 하나의 로우 프루빙패드와, 상기 컬럼패드와 전기적으로 연결이 가능한 하나의 컬럼 프루빙패드를 포함하며, 상기 로우패드와 컬럼패드의 단말에 콘택홀을 가지도록 형성된 절연층과, 상기 절연층 위에 상기 로우패드 및 컬럼패드와 직교하고 상기 콘택홀을 가리지 않으며 일정간격과 두께를 가지고 형성된 다수개의 격벽과, 상기 격벽위, 격벽과 격벽사이의 절연층위 및 콘택홀과, 상기 로우 프루빙패드와 컬럼 프루빙패드의 단말부가 덮이며 상기 격벽보다는 얇은 두께로 형성된 음극층을 포함하여 상기 음극층은 절연층의 콘택홀을 통하여 상기 로우패드 및 컬럼패드는 각각 상기 로우 프루빙패드와 상기 컬럼 프루빙패드와 전기적으로 연결한다.In order to achieve the above object, the test wiring of the organic EL device according to the present invention has an anode layer formed on a transparent substrate, and the anode layer is connected to a plurality of scan lines of the organic EL device, respectively, to have a constant length. A plurality of row pads, a plurality of column pads each having a predetermined length connected to a plurality of signal lines of the organic EL element, and one row probing electrically connected to the plurality of row pads. A pad and a column probing pad electrically connected to the column pad, an insulating layer formed to have contact holes in the terminal of the row pad and the column pad, and the row pad and the column on the insulating layer. A plurality of barrier ribs orthogonal to the pad and formed at a predetermined interval and thickness without covering the contact hole; The cathode layer includes a cathode layer formed on the insulating layer and the contact hole between the walls and the terminal portion of the row probing pad and the column probing pad and having a thickness thinner than that of the partition wall. The pad and the column pad are electrically connected to the low probing pad and the column probing pad, respectively.
도 1은 통상의 TFT-LCD 패널의 쇼팅바 구성도1 is a configuration of a shorting bar of a conventional TFT-LCD panel
도 2는 본 발명의 제 1 실시예(단색)에 따른 테스트 배선의 평면도,2 is a plan view of a test wiring according to a first embodiment (monochrome) of the present invention;
도 3a 및 도 3b는 도 2의 A-A' 및 B-B'를 도시한 단면도.3A and 3B are cross-sectional views illustrating A-A 'and B-B' of FIG. 2;
도 4는 본 발명의 제 2 실시예(풀-컬러)에 따른 테스트 배선의 평면도,4 is a plan view of a test wiring according to a second embodiment (full-color) of the present invention;
도 5a 및 도 5b는 도 5의 A-A' 및 B-B'를 도시한 단면도.5A and 5B are cross-sectional views illustrating A-A 'and B-B' of FIG. 5;
도 6은 본 발명의 제 3 실시예(단색)에 따른 테스트 배선의 평면도,6 is a plan view of a test wiring according to a third embodiment (monochrome) of the present invention;
도 7a 및 도 7b는 도 5의 A-A' 및 B-B'를 도시한 단면도.7A and 7B are cross-sectional views illustrating A-A 'and B-B' of FIG. 5;
도 8은 본 발명의 제 4 실시예(풀-컬러)에 따른 테스트 배선의 평면도.8 is a plan view of a test wiring according to the fourth embodiment (full-color) of the present invention.
도 9a 및 도 9b는 도 8의 A-A' 및 B-B'를 도시한 단면도9A and 9B are cross-sectional views illustrating A-A 'and B-B' of FIG. 8.
〈 도면의 주요 부분에 대한 참조번호의 설명 〉<Description of Reference Numbers for Main Parts of Drawings>
1-1 : 데이터 오드패드 1-2 : 데이터 이븐패드1-1: Data odd pad 1-2: Data even pad
2-1 : 게이트 오드패드 2-2 : 게이트 이븐패드2-1: gate odd pad 2-2: gate even pad
3-1 : 데이터 오드라인 3-2 : 데이터 이븐라인3-1: Data Order Line 3-2: Data Even Line
4-1 : 게이트 오드라인 4-2 : 게이트 이븐라인4-1: Gate odd line 4-2: Gate even line
5-1 : 데이터 오드 쇼팅바 5-2 : 데이터 이븐 쇼팅바5-1: Data odd shorting bar 5-2: Data even shorting bar
6-1 : 게이트 오드 쇼팅바 6-2 : 게이트 이븐 쇼팅바6-1: Gate Eod Shorting Bar 6-2: Gate Even Shorting Bar
7-1 : 데이터 오드 프루빙패드 7-2 : 데이터 이븐 프루빙패드7-1: Data Even Proving Pad 7-2: Data Even Proving Pad
8-1 : 게이트 오드 프루빙패드 8-2 : 게이트 이븐 프루빙패드8-1: Gate Eid Proving Pad 8-2: Gate Even Proving Pad
11 : 로우패드 11-1 : 오드 로우패드11: Low pad 11-1: Eau low pad
11-2 : 이븐 로우패드 12 : 컬럼패드11-2: Even row pad 12: Column pad
12-1 : 레드패드 12-2 : 그린패드12-1: Red Pad 12-2: Green Pad
12-3 : 블루패드 12-4 : 오드 컬럼패드12-3: Blue Pad 12-4: Aether Column Pad
12-5 : 이븐 컬럼패드 13 : 로우 쇼팅바12-5: Even column pad 13: Low shorting bar
13-1 : 오드 로우 쇼팅바 13-2 : 이븐 로우 쇼팅바13-1: Aude Low Shorting Bar 13-2: Even Low Shorting Bar
14 : 컬럼 쇼팅바 14-1 : 레드 쇼팅바14: column shorting bar 14-1: red shorting bar
14-2 : 그린 쇼팅바 14-3 : 블루 쇼팅바14-2: Green Shorting Bar 14-3: Blue Shorting Bar
14-4 : 오드 컬럼 쇼팅바 14-5 : 이븐 컬럼 쇼팅바14-4: Aude Column Shorting Bar 14-5: Even Column Shorting Bar
15 : 로우 프루빙패드 15-1 : 오드 로우 프루빙패드15: Low Probing Pad 15-1: Eau De Probing Pad
15-2 : 이븐 로우 프루빙패드 16 : 컬럼 프루빙패드15-2: Even low probe pad 16: Column probe pad
16-1 : 레드 프루빙패드 16-2 : 그린 프루빙패드16-1: red proofing pad 16-2: green proofing pad
16-3 : 블루 프루빙패드 16-4 : 오드 컬럼 프루빙패드16-3: blue proofing pad 16-4: aude column proofing pad
16-5 : 이븐 컬럼 프루빙패드 21 : 양극층16-5: Even column probe pad 21: Anode layer
22 : 절연층 23 : 격벽22: insulating layer 23: partition
24 : 음극층 25 : 투명기판24: cathode layer 25: transparent substrate
31 : 콘택홀 41 : 절단선31: contact hole 41: cutting line
42 : 유기 EL 패널부 43 : 테스트 더미부42: organic EL panel portion 43: test dummy portion
이하 도면을 참고하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[제 1 실시예][First Embodiment]
도 2는 본 발명의 제 1 실시예(단색)에 따른 테스트 배선의 평면도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 2의 A-A' 및 B-B'를 도시한 단면도이다.2 is a plan view of a test wiring according to the first embodiment (monochrome) of the present invention, and FIGS. 3A and 3B are sectional views showing A-A 'and B-B' of FIG.
제 1 실시예는 단색(Mono Color) 유기 전계발광 표시소자에 적용되는 경우이다.The first embodiment is applied to a mono color organic electroluminescent display device.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 EL 소자의 테스트 배선은 투명기판(25)위에 ITO로 양극층(21)이 형성된다. 이때 형성되는 양극층(21)은 다음과 같은 패턴을 가지고 형성된다. 유기 EL 소자(이하, OELD)의 다수개의 스캔 라인(Scan Line)과 각각 연결되는 로우패드(11)가 동일한 길이를 가지고 형성되며, OELD의 다수개의 시그널 라인(Signal Line)에 각각 연결되는 컬럼패드(12)가 로우패드(11)와는 다른 길이로 일정하게 형성되며, 로우패드(11)와 전기적으로 연결될 로우 프루빙패드(15)가 일 측에 형성되고, 컬럼패드(12)와 전기적으로 연결될 컬럼 프루빙패드(16)가 형성된다.In the test wiring of the organic EL device according to the first embodiment of the present invention, the anode layer 21 is formed of ITO on the transparent substrate 25. At this time, the anode layer 21 is formed to have a pattern as follows. Row pads 11 connected to a plurality of scan lines of an organic EL element (hereinafter, OELD) are formed to have the same length, and column pads are respectively connected to a plurality of signal lines of the OELD. 12 is formed to have a length different from that of the low pad 11, and a row proving pad 15 to be electrically connected to the low pad 11 is formed at one side and electrically connected to the column pad 12. The column probe pad 16 is formed.
상기 로우패드(11)와 컬럼패드(12)상에는 절연층(22)이 형성되는데 이때 각각의 로우패드(11)와 컬럼패드(12)의 단말에 콘택홀(31)을 가지도록 절연층(22)이 패터닝 된다.An insulating layer 22 is formed on the row pad 11 and the column pad 12, wherein the insulating layer 22 has a contact hole 31 in each of the row pad 11 and the column pad 12. ) Is patterned.
절연층(22)위에는 로우패드(11)와 컬럼패드(12)와 직교하고 콘택홀(31)을 가리지 않고 일정간격을 가진 격벽(23)이 일정두께(2~10㎛)로 형성된다.On the insulating layer 22, a partition wall 23 having a predetermined thickness orthogonal to the row pad 11 and the column pad 12 and covering the contact hole 31 is formed to have a predetermined thickness (2 to 10 μm).
상기 격벽(23)위, 격벽(23)과 격벽(23)사이의 절연층(22) 위 및 콘택홀(31)과, 상기 로우 프루빙패드(15)와 컬럼 프루빙패드(16)의 단말부가 덮이도록 음극층(24)이 패터닝 된다. 이때 음극층(24)은 격벽(23)보다 현저히 얇은 두께를 가지도록 형성한다.On the partition 23, the insulating layer 22 between the partition 23 and the partition 23 and the contact hole 31, the terminals of the low probing pad 15 and the column probing pad 16. The cathode layer 24 is patterned to cover the additional portion. At this time, the cathode layer 24 is formed to have a significantly thinner thickness than the partition wall (23).
도 3a에서 보면 패터닝 되는 음극층(24)이 절연층(22)의 콘택홀(31)을 통하여 양극층(21)의 로우패드(11) 및 컬럼패드(12)와 전기적으로 연결된다. 또한 로우프루빙패드(15)와 컬럼 프루빙패드(16)상에는 절연층(22)이 형성되어 있지 않으므로 일 측에서 직접 음극층(24)과 전기적으로 연결된다. 따라서 상기 형성되는 음극층(24)은 로우 쇼팅바(13)와 컬럼 쇼팅바(14) 역할을 한다.In FIG. 3A, the patterned cathode layer 24 is electrically connected to the row pad 11 and the column pad 12 of the anode layer 21 through the contact hole 31 of the insulating layer 22. In addition, since the insulating layer 22 is not formed on the low probing pad 15 and the column probing pad 16, it is directly connected to the negative electrode layer 24 at one side. Therefore, the cathode layer 24 formed serves as the row shorting bar 13 and the column shorting bar 14.
도 3b에서 보면 격벽(23)에 의하여 로우 쇼팅바(13)와 컬럼 쇼팅바(14)가 전기적으로 분리되어 있다.In FIG. 3B, the row shorting bar 13 and the column shorting bar 14 are electrically separated by the partition 23.
이와 같이 형성된 OELD의 테스트 패널은 로우 프루빙패드(15)와 컬럼 프루빙패드(16)에 OELD 패널이 동작 할 수 있는 적절한 신호를 탐침을 통하여 인가하여 점등검사와 에이징 공정을 실시 할 수 있다.The test panel of the OELD formed as described above may apply the appropriate signal for operating the OELD panel to the low probing pad 15 and the column probing pad 16 through a probe to perform a lighting test and an aging process.
상기와 같은 테스트 공정을 거친 후 절단선(41)을 따라서 절단을 하게 되면 OELD 패널부(42)와 테스트 패널부(43)로 나누어져 실제 제품에서는 테스트 패널부(43)가 분리되어진다.After the test process as described above is cut along the cutting line 41 is divided into the OELD panel 42 and the test panel 43 is separated from the test panel 43 in the actual product.
[제 2 실시예]Second Embodiment
도 4는 본 발명의 제 2 실시예(풀-컬러)에 따른 테스트 배선의 평면도이고, 도 5a 및 도 5b는 도 4의 A-A' 및 B-B'를 도시한 단면도이다.4 is a plan view of a test wiring according to a second embodiment (full-color) of the present invention, and FIGS. 5A and 5B are cross-sectional views illustrating A-A 'and B-B' of FIG. 4.
제 2 실시예는 풀-컬러(Full Color) OELD에 적용되는 경우이다.The second embodiment is a case where it is applied to a full color OELD.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 OELD의 테스트 배선은 투명기판(25)위에 ITO로 양극층(21)이 형성된다. 이때 형성되는 양극층(21)은 다음과 같은 패턴을 가지고 형성된다. OELD의 다수개 스캔 라인(Scan Line)파 각각 연결되는 로우패드(11)가 동일한 길이를 가지고 형성되며, OELD의 각각의 색을 표현하는 다수개의 시그널 라인(Signal Line)에 각각 연결되는 레드패드(12-1), 그린패드(12-2) 및 블루패드(12-3)가 로우패드(11)와는 서로 다른 길이를 가지고록 형성되며, 로우패드(11)와 전기적으로 연결될 로우 프루빙패드(15)가 일 측에 형성되고,In the test wiring of the OELD according to the second embodiment of the present invention, the anode layer 21 is formed of ITO on the transparent substrate 25. At this time, the anode layer 21 is formed to have a pattern as follows. The row pads 11 connected to each of the plurality of scan line waves of the OELD are formed to have the same length, and the red pads respectively connected to the plurality of signal lines representing respective colors of the OELD ( 12-1, the green pad 12-2 and the blue pad 12-3 are formed to have different lengths from the low pad 11, and the low probing pad to be electrically connected to the low pad 11. 15) is formed on one side,
레드패드(12-1)와 전기적으로 연결될 레드 프루빙패드(16-1), 그린패드(12-2)와 전기적으로 연결될 그린 프루빙패드(16-2) 및 블루패드(12-3)와 전기적으로 연결될 블루 프루빙패드(16-3)가 형성된다.A red probing pad 16-1 to be electrically connected to the red pad 12-1, a green probing pad 16-2 and a blue pad 12-3 to be electrically connected to the green pad 12-2; A blue proving pad 16-3 to be electrically connected is formed.
상기 로우패드(11)와 레드패드(12-1)와 그린패드(12-2) 및 블루패드(12-3)상에는 절연층(22)이 형성되는데 이때 각각의 로우패드(11)와 레드패드(12-1)와 그린패드(12-2) 및 블루패드(12-3)의 단말에 콘택홀(31)을 가지도록 절연층(22)이 패터닝 된다.An insulating layer 22 is formed on the low pad 11, the red pad 12-1, the green pad 12-2, and the blue pad 12-3, wherein the low pad 11 and the red pad are respectively formed. The insulating layer 22 is patterned to have contact holes 31 in the terminals 12-1, the green pads 12-2, and the blue pads 12-3.
절연층(22)위에는 로우패드(11), 레드패드(12-1), 그린 패드(12-2) 및 블루패드(12-3)와 직교하고 콘택홀(31)을 가리지 않고 일정간격을 가진 격벽(23)이 일정두께(2~10㎛)로 형성된다.The insulating layer 22 is orthogonal to the low pad 11, the red pad 12-1, the green pad 12-2, and the blue pad 12-3, and has a predetermined interval without covering the contact hole 31. The partition 23 is formed to have a constant thickness (2 to 10 µm).
상기 격벽(23)위, 격벽(23)과 격벽(23)사이의 절연층(22) 위 및 콘택홀(31)과, 상기 로우 프루빙패드(15), 레드 프루빙패드(16-1), 그린 프푸빙패드(16-2) 및 블루 프루빙패드(16-3)의 단말부가 덮이도록 음극층(24)이 패터닝 된다. 이때 음극층(24)은 격벽(23)보다 현저히 얇은 두께를 가지도록 형성한다.On the barrier 23, on the insulating layer 22 between the barrier 23 and the barrier 23 and the contact hole 31, the low proving pad 15 and the red proving pad 16-1. The cathode layer 24 is patterned to cover the terminal portions of the green probing pad 16-2 and the blue probing pad 16-3. At this time, the cathode layer 24 is formed to have a significantly thinner thickness than the partition wall (23).
도 5a에서 보면 패터닝 되는 음극층(24)이 절연층(22)의 콘택홀(31)을 통하여 양극층(21)의 로우패드(11), 레드패드(12-1), 그린 패드(12-2) 및 블루패드(12-3)와 전기적으로 연결된다. 또한 로우 프루빙패드(15), 레드 프루빙패드(16-1), 그린프루빙패드(16-2) 및 블루 프루빙패드(16-3) 상에는 절연층(22)이 형성되어 있지 않으므로 일 측에서 직접 음극층(24)과 전기적으로 연결된다. 따라서 상기 형성되는 음극층(24)은 로우 쇼팅바(13), 레드 쇼팅바(14-1), 그린 쇼팅바(14-2) 및 블루쇼팅바(14-3) 역할을 한다.In FIG. 5A, the cathode layer 24 to be patterned is connected to the low pad 11, the red pad 12-1, and the green pad 12-of the anode layer 21 through the contact holes 31 of the insulating layer 22. 2) and the blue pad 12-3. In addition, the insulating layer 22 is not formed on the low probing pad 15, the red probing pad 16-1, the green probing pad 16-2, and the blue probing pad 16-3. It is electrically connected to the cathode layer 24 directly at the side. Therefore, the cathode layer 24 formed serves as a low shorting bar 13, a red shorting bar 14-1, a green shorting bar 14-2, and a blue shorting bar 14-3.
도 5b에서 보면 격벽(23)에 의하여 로우 쇼팅바(13), 레드 쇼팅바(14-1), 그린 쇼팅바(14-2) 및 블루 쇼팅바(14-3)는 각각 전기적으로 분리되어 있다.In FIG. 5B, the row shorting bar 13, the red shorting bar 14-1, the green shorting bar 14-2, and the blue shorting bar 14-3 are electrically separated by the partition 23. .
이후의 테스트 과정은 실시예 1과 대동소이 하므로 설명을 생략한다.Since the test procedure is similar to Example 1, the description thereof is omitted.
[제 3 실시예]Third Embodiment
도 6은 본 발명의 제 3 실시예(단색)에 따른 테스트 배선의 평면도이고, 도 7a 및 도 7b는 도 6의 A-A' 및 B-B'를 도시한 단면도이다.FIG. 6 is a plan view of a test wiring according to a third embodiment (monochrome) of the present invention, and FIGS. 7A and 7B are sectional views showing A-A 'and B-B' of FIG.
제 3 실시예는 단색(Mono Color) OELD에 적용되는 경우이다.The third embodiment is a case where the mono color OELD is applied.
본 발명의 제 3 실시예에 따른 OELD의 테스트 배선은 투명기판(25)위에 ITO로 양극층(21)이 형성된다. 이때 형성되는 양극층(21)은 다음과 같은 패턴을 가지고 형성된다. OELD의 다수개의 스캔 라인(Scan Line)을 홀수 번째와 짝수 번째로 나누어 각각 연결되는 오드 로우패드(11-1)와 이븐 로우패드(11-2)가 서로 다른 길이를 가지고 형성되며, OELD의 다수개의 시그널 라인(Signal Line)의 홀수 번째와 짝수 번째로 나누어 각각 연결되는 오드 컬럼패드(12-4)와 이븐 컬럼패드(12-5)는 서로 다른 길이로 형성되며, 오드 로우패드(11-1)와 전기적으로 연결될 오드 로우 프루빙패드(15-1), 이븐 로우패드(11-2)와 전기적으로 연결될 이븐 로우 프루빙패드(15-2), 오드 컬럼패드(12-1)와 전기적으로 연결될 오드 컬럼 프루빙패드(16-4) 및 이븐 컬럼패드(12-2)와 전기적으로 연결될 이븐 컬럼 프루빙패드(16-5)가 일 측에 형성된다.In the test wiring of the OELD according to the third embodiment of the present invention, the anode layer 21 is formed of ITO on the transparent substrate 25. At this time, the anode layer 21 is formed to have a pattern as follows. The odd low pads 11-1 and the even low pads 11-2 are formed to have different lengths and are divided into odd-numbered and even-numbered scan lines of the OELD, respectively. The odd column pads 12-4 and the even column pads 12-5, which are divided into odd-numbered and even-numbered lines of the two signal lines, are formed to have different lengths, and the odd row pads 11-1. ) Is electrically connected to the odd row proving pad 15-1 to be electrically connected to the even row proving pad 15-2 and the odd column pad 12-1 to be electrically connected to the even row pad 11-2. An even column probing pad 16-5 to be electrically connected to the odd column probing pad 16-4 and the even column pad 12-2 to be connected is formed at one side.
상기 오드 로우패드(11-1), 이븐 로우패드(11-1), 오드 컬럼패드(12-1) 및 이븐 컬럼패드(12-2)상에는 절연층(22)이 형성되는데 이때 각각의 상기 오드 로우패드(11-1), 이븐 로우패드(11-2), 오드 컬럼패드(12-1) 및 이븐 컬럼패드(12-2)의 단말에 콘택홀(31)을 가지도록 절연층(22)이 패터닝 된다.An insulating layer 22 is formed on the odd row pad 11-1, the even row pad 11-1, the odd column pad 12-1, and the even column pad 12-2. The insulating layer 22 to have contact holes 31 in the terminals of the low pad 11-1, the even low pad 11-2, the odd column pad 12-1, and the even column pad 12-2. This is patterned.
절연층(22)위에는 오드 로우패드(11-1), 이븐 로우패드(11-2), 오드 컬럼패드(12-1) 및 이븐 컬럼패드(12-2)와 직교하고 콘택홀(31)을 가리지 않으며 일정간격을 가진 격벽(23)이 일정두께(2~10㎛)로 형성된다.The contact layer 31 is orthogonal to the lower row pad 11-1, the even row pad 11-2, the odd column pad 12-1, and the even column pad 12-2 on the insulating layer 22. The barrier rib 23 having a predetermined interval is not formed to have a predetermined thickness (2 to 10㎛).
상기 격벽(23)위, 격벽(23)과 격벽(23)사이의 절연층(22) 위 및 콘택홀(31)과, 상기 오드 로우 프루빙패드(15-1), 이븐 로우 프루빙패드(15-2), 오드 컬럼 프루빙패드(16-4) 및 이븐 컬럼 프루빙패드(16-5)의 단말부가 덮이도록 음극층(24)이 패터닝 된다. 이때 음극층(24)은 격벽(23)보다 현저히 얇은 두께를 가지도록 형성한다.On the barrier 23, on the insulating layer 22 between the barrier 23 and the barrier 23, and the contact hole 31, the odd low proving pad 15-1 and the even low probing pad ( 15-2), the cathode layer 24 is patterned so as to cover the terminal portions of the odd column probe pad 16-4 and the even column probe pad 16-5. At this time, the cathode layer 24 is formed to have a significantly thinner thickness than the partition wall (23).
도 7a에서 보면 패터닝 되는 음극층(24)이 절연층(22)의 콘택홀(31)을 통하여 양극층(21)의 오드 로우패드(11-1), 이븐 로우패드(11-2), 오드 컬럼패드(12-1) 및 이븐 컬럼패드(12-2)와 전기적으로 연결된다. 또한 오드 로우 프루빙패드(15-1), 이븐 로우 프루빙패드(15-2), 오드 컬럼 프루빙패드(16-4) 및 이븐 컬럼 프루빙패드(16-5) 상에는 절연층(22)이 형성되어 있지 않으므로 일 측에서 직접 음극층(24)과 전기적으로 연결된다. 따라서 상기 형성되는 음극층(24)은 로우 쇼팅바(13)와 컬럼 쇼팅바(14) 역할을 한다.In FIG. 7A, the cathode layer 24 to be patterned has an odd low pad 11-1, an even low pad 11-2, and an odd layer of the anode layer 21 through the contact hole 31 of the insulating layer 22. It is electrically connected to the column pad 12-1 and the even column pad 12-2. In addition, the insulating layer 22 is formed on the odd row probe pad 15-1, the even row probe pad 15-2, the odd column probe pad 16-4, and the even column probe pad 16-5. Since it is not formed is directly connected to the negative electrode layer 24 on one side. Therefore, the cathode layer 24 formed serves as the row shorting bar 13 and the column shorting bar 14.
도 7b에서 보면 격벽(23)에 의하여 오드 로우 쇼팅바(13-1), 이븐 로우 쇼팅바(13-2), 오드 컬럼 쇼팅바(14-4) 및 이븐 컬럼 쇼팅바(14-5)가 전기적으로 분리되어 있다.In FIG. 7B, the barrier 23 has an odd row shorting bar 13-1, an even row shorting bar 13-2, an odd column shorting bar 14-4, and an even column shorting bar 14-5. It is electrically isolated.
이와 같이 로우 쇼팅바 및 컬럼 쇼팅바를 홀수 번째와 짝수 번째로 나누어 구성하면 테스트 공정시 OELD패널부 내부의 인접한 라인의 단락 상태도 검사 할 수 있다.Thus, if the row shorting bar and the column shorting bar are divided into odd and even numbers, the shorting state of adjacent lines in the OELD panel part can be checked during the test process.
[제 4 실시예][Example 4]
도 8은 본 발명의 제 4 실시예(풀-컬러)에 따른 테스트 배선의 평면도이고, 도 9a 및 도 9b는 도 4의 A-A' 및 B-B'를 도시한 단면도이다.8 is a plan view of a test wiring according to a fourth embodiment (full-color) of the present invention, and FIGS. 9A and 9B are cross-sectional views illustrating A-A 'and B-B' of FIG. 4.
제 4 실시예는 풀-컬러(Full Color) OELD에 적용되는 경우이다.The fourth embodiment is a case where it is applied to a full color OELD.
본 발명의 제 4 실시예에 따른 OELD의 테스트 배선은 OELD의 다수개의 스캔 라인(Scan Line)을 홀수 번째와 짝수 번째로 나누어 각각 연결되는 오드 로우패드(11-1)와 이븐 로우패드(11-2)가 서로 다른 길이를 가지고 형성되며, 오드 로우패드(11-1)와 전기적으로 연결될 오드 로우 프루빙패드(15-1)와 이븐 로우패드(11-2)와 전기적으로 연결될 이븐 로우 프루빙패드(15-2)가 각각 구성되는 것이 제 2 실시예와 다르고 다른 구성은 모두 같다.In the test wiring of the OELD according to the fourth embodiment of the present invention, an odd low pad 11-1 and an even low pad 11- 11 are divided into odd-numbered and even-numbered scan lines of the OELD, respectively. 2) are formed to have different lengths, and even low probing to be electrically connected to the odd low probing pad 15-1 and the even low pad 11-2 to be electrically connected to the odd low pad 11-1. Each of the pads 15-2 is configured differently from the second embodiment, and all other configurations are the same.
이와 같이 로우 쇼팅바를 홀수 번째와 짝수 번째로 나누어 구성하면 테스트 공정시 OELD 패널부 내부의 인접한 라인의 단락 상태도 검사 할 수 있다.If the low shorting bar is divided into odd-numbered and even-numbered lines, the short-circuit state of adjacent lines in the OELD panel part can be checked during the test process.
상기 실시예를 참고하면 더 많은 조합으로의 구성은 통상의 기술을 가진 자가 쉽게 구성할 수 있다.Referring to the above embodiment, the configuration in more combinations can be easily configured by those skilled in the art.
따라서, 본 발명은 포토리소그라피 공정이 적용될 수 없는 유기 EL 소자에 적합한 테스트 배선의 구조를 제공하여 스크라이빙과 브레이킹(scribing & breaking) 공정 이전에 테스트를 실시할 수 있어 에이징 및 점등검사의 처리용량을 늘리기 위한 장비의 증설 및 작업자의 추가배치가 필요 없으므로 생산 단가를 낮추는 효과가 있다.Accordingly, the present invention provides a test wiring structure suitable for organic EL devices to which the photolithography process cannot be applied, so that the test can be performed before the scribing and breaking & breaking process, thereby reducing the processing capacity of the aging and lighting test. It does not need to add equipment to increase and additional arrangement of workers, which reduces the production cost.
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