KR100414302B1

KR100414302B1 - Contactor of semiconductor package inspection apparatus

Info

Publication number: KR100414302B1
Application number: KR1019960027899A
Authority: KR
Inventors: 전준우
Original assignee: 주식회사 하이닉스반도체
Priority date: 1996-07-11
Filing date: 1996-07-11
Publication date: 2004-03-30
Also published as: KR980012172A

Abstract

PURPOSE: A contactor of a semiconductor package inspection apparatus is provided to be capable of preventing the inspection and result signals transmitted through neighboring contactors from electromagnetically influencing on each other. CONSTITUTION: A contactor of a semiconductor package inspection apparatus is provided with a wire(41) connected with a PCB(Printed Circuit Board) through its one side and connected with a pin of a semiconductor package(10) through its the other side, a shielding plate(51) for electromagnetically shielding neighboring wires, and an elastic part(61) for supplying elastic force to the wire in order to contact the pin of the semiconductor package. At this time, a cylindrical type conductive plate is used as the shielding plate. At the time, the shielding plate is coated with insulation material. Preferably, the contactor further includes a fixing part for fixing the shielding plate.

Description

Contactor of semiconductor package inspection device

본 발명은 반도체패키지 검사장치(Tester)에 관한 것으로, 특히 반도체패키지와 검사장치를 전기적으로 접속시키기 위하여, 그 반도체패키지의 핀(Pin)과 접촉되는 반도체패키지 검사장치의 콘택터(Contactor)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor package tester, and more particularly, to a contactor of a semiconductor package tester in contact with a pin of the semiconductor package for electrically connecting the semiconductor package and the tester. .

제 1 도는 종래 기술에 따른 핸들러(반도체패키지 검사장치) 콘택터(Handler Contactor)의 구성도로서, 이에 도시된 바와 같이 검사를 받는 반도체패키지(10)와 그 패키지(10)를 검사하기 위한 테스트신호를 입출력하는 피씨비(PCB)회로(20)를 전기적으로 연결하는 판스프링 콘택터(30)가 그의 탄성력에 의해 상기 패키지(10)의 핀(11)과 접촉되었다. 즉, 판스프링 콘택터(30)는 피씨비회로(20)의 테스트신호 입출력단자와 연결된 일측이 고정되고, 그 일측을 지지축으로 하는 탄성력에 따라 그의 타측이 좌우로 움직이는 도체판으로서, 그의 타측이 패키지(10)의 핀(11)과 접촉됨으로써, 일측을 통해 입력되는 피씨비회로(20)의 테스트신호가 타측의 접촉점을 통해 패키지(10)의 핀(11)으로 출력된다(이와 반대되는 경로로 패키지의 출력신호가 피씨비회로로 전송된다).FIG. 1 is a block diagram of a handler (semiconductor package inspection device) contactor according to the prior art, and as shown therein, a test signal for inspecting a semiconductor package 10 to be inspected and a package 10 thereof. The leaf spring contactor 30 that electrically connects the input / output PCB circuit 20 is in contact with the pin 11 of the package 10 by its elastic force. That is, the leaf spring contactor 30 is a conductor plate having one side connected to a test signal input / output terminal of the PCB circuit 20 fixed thereto, the other side of which is moved left and right according to an elastic force having one side as a support shaft, and the other side of which is a package. By contacting the pin 11 of the (10), the test signal of the PCB circuit 20 input through one side is output to the pin 11 of the package 10 through the contact point of the other side (package in the opposite path Output signal is transmitted to PCB circuit).

이와 같은 판스프링 콘택터(30)는 패키지(10)의 전체 핀(11)과 피씨비회로(20)의 입출력단자를 일대일로 연결하도록 배치되어, 피씨비회로(20)의 테스트신호를 패키지(10)로 전달함과 아울러 그 테스트신호에 따른 패키지(10)의 결과신호를 피씨비회로(20)로 전달한다.The leaf spring contactor 30 is arranged to connect the entire pin 11 of the package 10 and the input / output terminals of the PCB circuit 20 in a one-to-one manner, thereby connecting the test signal of the PCB circuit 20 to the package 10. In addition to the transfer, the result signal of the package 10 according to the test signal is transferred to the PCB circuit 20.

그러나 상기와 같은 종래 콘택터는 그의 표면이 노출되어 있을 뿐만 아니라 다른 콘택터들과 서로 이웃하도록 배치되기 때문에, 이웃하는 다른 콘택터와 전자기적 영향을 주고받게 되어 각각의 콘택터를 흐르는 신호에 노이즈가 발생되는 문제점이 있었다. 이와 같은 노이즈는 반도체패키지의 정확한 검사를 방해하는 유해한 성분으로서, 콘택터를 통해 흐르는 신호가 아날로그신호일수록, 그리고 핀간격이 조밀할수록 크게 발생하는 특성이 있다. 그리고 종래 콘택터가 판스프링으로 구성됨으로써, 핀과의 접촉이 불안정할 뿐만 아니라 장시간 사용하게 되면 그 판스프링이 노화되어 정상적인 접촉이 이루어지지 않는다는 문제점이 있었다.However, such a conventional contactor is not only exposed on the surface thereof, but also disposed to neighbor each other with other contactors, so that it is subject to electromagnetic influences with other neighboring contactors so that noise is generated in a signal flowing through each contactor. There was this. Such noise is a harmful component that interferes with the accurate inspection of the semiconductor package, and the signal flowing through the contactor is an analog signal and the pin spacing is denser. In addition, since the conventional contactor is configured as a leaf spring, not only the contact with the pin is unstable, but also when used for a long time, the leaf spring ages and there is a problem that normal contact is not made.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 서로 이웃하는 콘택터를 통해 흐르는 검사 및 결과신호가 전자기적 영향을 받지않도록 함으로써, 각 신호에 노이즈가 발생하지 않도록 한 반도체패키지 검사장치의 콘택터를 제공함에 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the above-mentioned conventional problems, and the semiconductor package inspection in which noise and noise are not generated in each signal by preventing the inspection and result signals flowing through neighboring contactors from being affected by electromagnetic. It is an object to provide a contactor of the device.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 반도체패키지와 검사장치를 전기적으로 접속시키기 위한 콘택터가, 일측은 테스트신호가 입출력하는 피씨비회로와 고정연결되고 타측은 소정의 힘을 받아 반도체패키지의 핀과 접촉되는 도선과, 서로 이웃하는 도선이 전자기적 영향을 주고받지 않도록 그들을 차폐하는 차폐수단과, 도선이 상기 패키지의 핀과 접촉되도록 그 도선에 접촉력을 주는 탄성부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a contactor for electrically connecting the semiconductor package and the inspection apparatus, one side is fixedly connected to the PCB circuit input and output the test signal and the other side is in contact with the pin of the semiconductor package under a predetermined force And conductors, shielding means for shielding neighboring conductors from exchanging electromagnetic influences, and an elastic member for applying a contact force to the conductors so that the conductors contact the pins of the package.

이때 상기 차폐수단은 그의 내면과 외면을 절연물로 피복함과 아울러 그의 일측단자를 접지시킨 원통형 도체판으로서, 그 중심축이 상기 도선과 일치하도록 배치되는 차폐판으로 구성될 수 있다.In this case, the shielding means is a cylindrical conductor plate covering its inner and outer surfaces with an insulator and grounding one side terminal thereof, and may be constituted by a shielding plate whose central axis is aligned with the conductor.

이와 같은 차폐판은 그의 중심축을 따라 배치된 도선을 전자기적으로 차폐함으로써, 그 도선이 다른 도선의 전자기 현상에 의한 간섭을 받거나 그 자신이 발생시키는 전자기 현상이 다른 도선에 영향을 미치는 것을 막는 역할을 한다. 이에 따라 상기 차폐판은 그 내부도선을 흐르는 신호에 노이즈가 발생되지 않도록 한다.Such a shield plate electromagnetically shields the conductors arranged along its central axis, thereby preventing the conductors from being affected by the electromagnetic phenomena of other conductors or affecting other conductors. do. Accordingly, the shielding plate prevents noise from occurring in the signal flowing through the inner conductor.

이하, 제 3 도 내지 제 5 도의 단면도를 참조하여 본 발명에 대해서 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the cross-sectional views of FIGS. 3 to 5.

제 3 도는 본 발명에 따른 콘택터의 X-축 방향(도선축 방향)에 대한 수직단면도로서, 이에 도시된 바와 같이 테스트신호를 입/출력하는 피씨비회로(20)와 그 테스트신호를 인가받아 그 결과신호를 출력하는 반도체패키지(10)를 전기적으로 연결하기 위한 반도체패키지 검사장치의 콘택터가, 그 일측은 피씨비회로(20)의 입출력단자와 고정연결되고 타측은 소정의 힘을 받아 반도체패키지(10)의 핀(11)과 접촉되는 도선(41)과, 그 도선(41)을 원통형으로 포위함과 아울러 그의 일측이 피씨비회로(20)의 접지회로(21)와 접속되고 절연체(52)로 피복된 차폐판(51)과, 도선(41)의 외면과 절연체(52)의 내주면을 따라 각각 형성된 고리형 지지부(41a,52a)에 의해 그의 양측이 지지됨으로써 상기 도선(41)에 축방향의 병진력을 주는 코일스프링(61)으로 구성된다. 이때 상기 코일스프링(61)은 패키지(10)와 가까운 지점에 배치된다.3 is a vertical cross-sectional view of the contactor according to the present invention in the X-axis direction (conductor axis direction), and as shown therein, a PCB circuit 20 that inputs / outputs a test signal and a test signal thereof are applied as a result. The contactor of the semiconductor package inspection apparatus for electrically connecting the semiconductor package 10 for outputting a signal, one side of which is fixedly connected to the input / output terminal of the PCB circuit 20, and the other side of the semiconductor package 10 receives a predetermined force. The wire 41 in contact with the pin 11 of the wire and the wire 41 are cylindrically enclosed, and one side thereof is connected to the ground circuit 21 of the PCB circuit 20 and covered with an insulator 52. Both sides thereof are supported by the shielding plate 51 and the annular support portions 41a and 52a formed along the outer surface of the conductive wire 41 and the inner circumferential surface of the insulator 52, respectively, so that the translation force in the axial direction is applied to the conductive wire 41. It is composed of a coil spring 61 giving. In this case, the coil spring 61 is disposed at a point close to the package 10.

그리고 제 4 도는 상기 제 3 도에 도시된 콘택터를 Y-축 방향(도선축에 수직)에 따라 절단한 수직단면도로서, X-축 방향으로 평행하게 배치되는 4개의 콘택터가, 그들의 도선(41)이 각각 패키지의 핀(11)과 일대일로 접촉되고, 그 표면이 절연체(52)로 피복됨과 아울러 접지회로와 접속된 원통형 금속인 차폐판(51)이 상기 도선(41)을 포위하도록 구성되어 있음을 보여주고 있다. 도면에 표시된 점선은핀(11)의 윤곽을 나타낸다.4 is a vertical cross-sectional view of the contactor shown in FIG. 3 taken along the Y-axis direction (perpendicular to the conductor axis), wherein four contactors disposed in parallel in the X-axis direction are connected to the conductors 41. Each of these packages is in contact with the pin 11 of the package, the surface is covered with an insulator 52, and a shielding plate 51 made of a cylindrical metal connected to a ground circuit surrounds the conductive wire 41. Is showing. The dotted line shown in the figure represents the outline of the pin 11.

그리고 제 5 도는 상기 제 3 도와 제 4 도에서 보여주는 콘택터의 수평단면도로서, 이에 도시된 바와 같이 패키지(10)의 핀(11)과 피씨비회로(20)의 입출력단자를 일대일로 접속시키는 콘택터가, 도선(41)과 피씨비회로(20)의 접지단자(21)와 접속된 차폐판(51) 및 도선(41)에 접촉력을 주는 코일스프링(61)으로 구성됨을 보여줌과 아울러, 그 콘택터가 그의 도선(41)과 차폐판(51)을 고정시키기 위한 콘택터 고정장치(71)를 포함하여 구성됨을 보여주고 있다. 이때 상기 콘택터 고정장치(71)는 코일스프링(61)에 의하여 발생되는 도선(41)과 핀(11) 사이의 접촉력의 반작용으로 피씨비회로(20)가 힘을 받게 되는 것을 방지하기 위한 것으로, 도선(41) 및 절연체(52)가 피복된 차폐판(51)의 피씨비회로(20) 쪽이 고정되도록 그들의 중심부를 고정시킨다.5 is a horizontal cross-sectional view of the contactor shown in FIGS. 3 and 4, wherein a contactor for connecting the pin 11 of the package 10 and the input / output terminals of the PCB circuit 20 in a one-to-one manner, as shown in FIG. The shielding plate 51 connected to the ground terminal 21 of the conductive wire 41 and the PCB circuit 20 and the coil spring 61 which gives contact force to the conductive wire 41 are shown. And a contactor fixing device 71 for fixing the 41 and the shielding plate 51. At this time, the contactor fixing device 71 is to prevent the PCB circuit 20 from receiving a force by the reaction of the contact force between the conductive wire 41 and the pin 11 generated by the coil spring 61. The centers of the PCBs 20 of the shielding plate 51 coated with the 41 and the insulator 52 are fixed.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 콘택터가 서로 이웃하는 도선이 전자기적 영향을 주고받지 못하도록 그 각 도선의 전자기 현상을 차폐하는 차폐수단을 포함하여 구성됨으로써, 각 도선에 흐르는 신호에 노이즈가 발생하지 않게 되는 효과가 발생한다. 그리고 패키지의 핀과 접속하는 도선의 일측에 접촉력을 줌으로써 그들의 접촉을 돕는 코일스프링과 함께 그 핀과 도선의 접촉력에 의하여 피씨비회로가 힘을 전달받지 않도록 하는 콘택터 고정장치를 구비함으로써, 그들의 전기적 접속에 대한 신뢰성과 콘택터의 수명이 향상되는 효과가 발생한다.As described above, the contactor according to the present invention is configured to include shielding means for shielding the electromagnetic phenomenon of each of the conductors so that neighboring conductors do not receive electromagnetic influences, thereby generating noise in the signal flowing through each conductor. The effect of not doing it occurs. And a contactor fixing device which prevents the PCB circuit from being transmitted by the contact force between the pin and the conductor, along with a coil spring that assists their contact by applying a contact force to one side of the conductor connecting to the pin of the package. The reliability and the life of the contactor are improved.

제 1 도는 종래 기술에 따른 패키지 검사장치 콘택터의 대략적인 사시도.1 is a schematic perspective view of a package inspection device contactor according to the prior art.

제 2 도의 (가)와 (나)는 상기 제 1 도에 도시된 콘택터의 정면도 및 측면도.(A) and (b) of FIG. 2 are front and side views of the contactor shown in FIG.

제 3-5 도는 본 발명에 따른 반도체패키지 검사장치 콘택터의 X-축 방향에 대한 수직단면도(제 3 도) 및 Y-축 방향에 대한 수직단면도(제 4 도)와 수평단면도(제 5 도).3-5 is a vertical cross section (FIG. 3) and a vertical cross section (FIG. 4) and a horizontal cross section (FIG. 5) in the X-axis direction of the semiconductor package inspection device contactor according to the present invention. .

****** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ************ Explanation of symbols for main parts of the drawings ******

10: 반도체패키지 11: 핀10: Semiconductor Package 11: Pin

20: 피시비회로 21: 접지회로20: PCB circuit 21: ground circuit

41: 도선 41a: 스프링지지부41: conductor 41a: spring support

51 : 차폐판 52: 피복절연체51 shielding plate 52 cover insulation

52a: 스프링지지부 61: 스프링52a: spring support 61: spring

71: 콘택터고정장치71: contactor fixing device

Claims

A contactor of a semiconductor package inspection device for electrically connecting a semiconductor package and an inspection device, wherein one side is fixedly connected to a PCB circuit through which a test signal is inputted and outputted, and the other side is connected to a pin of the semiconductor package by a predetermined force. A shielding plate which is composed of a cylindrical conductor plate whose inner and outer surfaces are covered with an insulator and whose one terminal is grounded and the conductor is positioned on its central axis, shielding them so that neighboring conductors do not receive electromagnetic influence; And a resilient member for applying a contact force to the conductive wire such that the conductive wire contacts the pin of the package.

The contactor of claim 1, further comprising a fixing device for fixing the shield plate covered with the conductive wire and the insulator.

The semiconductor package inspection apparatus of claim 1, wherein the elastic member is configured of a coil spring which transmits a force applied in one direction to the conductive line between the inner circumferential surface of the insulator and the support portions formed along the outer surface of the conductive line, respectively. Contactor.