KR100399632B1 - 급속열처리 장치의 방사보정계수 추출 방법 - Google Patents
급속열처리 장치의 방사보정계수 추출 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
시료 1 | 시료 2 | 시료 3 | ||||||
TPYRO | 방사율 | TC | TPYRO | 방사율 | TC | TPYRO | 방사율 | TC |
505.0 | 0.674 | 500.2 | 503.4 | 0.197 | 475.5 | 503.1 | 0.937 | 505.3 |
555.9 | 0.670 | 548.2 | 554.2 | 0.192 | 524.1 | 554.3 | 0.936 | 555.3 |
604.3 | 0.668 | 595.8 | 604.1 | 0.119 | 570.7 | 605.1 | 0.934 | 605.2 |
655.3 | 0.668 | 645.0 | 655.4 | 0.200 | 619.3 | 655.9 | 0.932 | 655.8 |
706.0 | 0.671 | 694.8 | 705.3 | 0.212 | 667.8 | 705.2 | 0.932 | 704.0 |
755.9 | 0.671 | 742.8 | 755.8 | 0.221 | 714.6 | 755.7 | 0.932 | 753.8 |
807.2 | 0.672 | 791.6 | 805.2 | 0.228 | 763.1 | 805.9 | 0.931 | 804.1 |
857.9 | 0.674 | 840.2 | 856.4 | 0.235 | 807.9 | 856.5 | 0.930 | 853.9 |
908.8 | 0.675 | 888.9 | 906.8 | 0.245 | 855.1 | 906.6 | 0.928 | 902.3 |
958.8 | 0.674 | 936.8 | 957.8 | 0.259 | 905.9 | 957.9 | 0.927 | 951.8 |
1009.1 | 0.676 | 987.0 | 1009.0 | 0.273 | 955.0 | 1008.9 | 0.925 | 1001.4 |
1059.9 | 0.679 | 1035.4 | 1059.1 | 0.288 | 1002.3 | 1058.3 | 0.924 | 1050.5 |
Claims (5)
- 급속열처리 장치의 챔버 내에 서로 다른 방사율을 갖는 m개의 시료 웨이퍼를 순차적으로 하나씩 각각 안착시키고 열처리하면서 각각의 상기 시료 웨이퍼에 대하여 열전대 온도계 및 방사 온도계를 이용하여 각각 n번씩 온도와 방사율을 측정하고;상기 열전대 온도계를 이용하여 측정한 온도는 TC(WF1-1), TC(WF1-2), ‥, TC(WF1-n),‥TC(WFm-n)라 하며, 상기 방사 온도계를 이용하여 측정한 온도는 TPYRO(WF1-1), TPYRO(WF1-2), ‥, TPYRO(WF1-n),‥TPYRO(WFm-n)라 하고, 측정된 상기 방사율을 ε(WF1-1), ε(WF1-2), ‥, ε(WF1-n),‥ε(WFm-n)라 하며, 상기 급속열처리 장치에 적용되는 상수로서의 방사보정계수를 eCONV라 하고, 상기 방사보정계수에 의하여 보정된 각각의 유효 방사율을 εeff(WF1-1), εeff(WF1-2), ‥, εeff(WF1-n),‥εeff(WFm-n)라 할 때,하기의 수학식 1의 방사보정계수(eCONV) 항목에 0∼1사이의 숫자를 각각 대입하되, 하기의 수학식 2에서 SUM 값이 최소가 되는 경우의 방사보정계수를 상기 급속열처리 장치의 방사보정계수로 정하는 것을 특징으로 하는 급속열처리 장치의 방사보정계수 추출 방법.(수학식 1)(수학식 2)
- 제 1항에 있어서, 상기 시료 웨이퍼들은 베어 웨이퍼들과 상면에 폴리 실리콘이 증착된 웨이퍼들과, 상면에 Si3N4막이 증착된 웨이퍼들의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 급속열처리 장치의 방사보정계수 추출 방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 시료 웨이퍼들을 400∼1250℃의 온도로 가열하면서 온도 및 방사율을 각각 측정하여 상기 방사보정계수를 구하는 것을 특징으로 하는 급속열처리 장치의 방사보정계수 추출 방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 시료 웨이퍼의 측정면으로부터 상기 방사 온도계의 입사단까지의 거리가 1∼5mm로 되도록 상기 방사 온도계가 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리 장치의 방사보정계수 추출 방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 급속열처리 장치에 복수 개의 방사 온도계가 설치되는 경우에는, 방사 온도계의 입사단과 대응하는 웨이퍼의 소정영역에 열전대 온도계가 위치되도록 방사 온도계들과 열전대 온도계들을 각각 설치하고, 각각의 방사 온도계에 대하여 상기 방사보정계수를 각각 추출하는 것을 급속열처리 장치의 방사보정계수 추출 방법.
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KR10-2003-0029386A KR100399632B1 (ko) | 2003-05-09 | 2003-05-09 | 급속열처리 장치의 방사보정계수 추출 방법 |
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KR101983326B1 (ko) * | 2017-09-29 | 2019-05-29 | 에이피시스템 주식회사 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
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- 2003-05-09 KR KR10-2003-0029386A patent/KR100399632B1/ko active IP Right Grant
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