KR100393186B1 - Optical goniometer transfer device - Google Patents

Optical goniometer transfer device Download PDF

Info

Publication number
KR100393186B1
KR100393186B1 KR1019970047189A KR19970047189A KR100393186B1 KR 100393186 B1 KR100393186 B1 KR 100393186B1 KR 1019970047189 A KR1019970047189 A KR 1019970047189A KR 19970047189 A KR19970047189 A KR 19970047189A KR 100393186 B1 KR100393186 B1 KR 100393186B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
goniometer
pedestal
support member
fixing
optical
Prior art date
Application number
KR1019970047189A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR19990025524A (en
Inventor
이재철
최진학
송세안
아이. 페트로프 에이.
제이알. 포그레비츠키 케이.
엔. 유레프 유.
Original Assignee
삼성전자주식회사
에이. 에프. 이오페 피지코-테크니컬 인스티튜트 오브 라스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사, 에이. 에프. 이오페 피지코-테크니컬 인스티튜트 오브 라스 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1019970047189A priority Critical patent/KR100393186B1/en
Publication of KR19990025524A publication Critical patent/KR19990025524A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100393186B1 publication Critical patent/KR100393186B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0275Details making use of sensor-related data, e.g. for identification of sensor parts or optical elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/18Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for positioning only
    • B23Q3/186Aligning devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

PURPOSE: An optical goniometer transfer device is provided to freely move an optical goniometer to a desired position by using a motor to the transfer device instead of an arm the length of which is fixed. CONSTITUTION: An optical goniometer transfer device comprises a goniometer strut(11) having a seating part(11a) for mounting an optical goniometer; plural strut-moving rollers(12a,12b) installed to the goniometer strut, to enable the goniometer strut to move on a structure of a specific track along the specific track while bearing up the weight of the goniometer strut and the optical goniometer; plural strut-fixing rollers(13a,13b,13c,13d) installed to the goniometer strut, to movably fix the goniometer strut to the structure of the specific track; and a driving device installed to the lower part of the goniometer strut, to enable the goniometer strut to move on the structure of the specific track along the specific track.

Description

광학 고니오미터 이송장치Optical Goniometer Feeder

본 발명은 광학 고니오미터(goniometer) 이송장치에 관한 것으로서, 특히 이송장치에 모터 시스템을 채용함으로써 광학 고니오미터를 원하는 위치로 자유롭게 이동시킬 수 있는 광학 고니오미터 이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical goniometer transfer apparatus, and more particularly, to an optical goniometer transfer apparatus capable of freely moving an optical goniometer to a desired position by employing a motor system in the transfer apparatus.

광학 고니오미터는 마이크로미터급의 정밀도로 각도를 조정할 수 있는 장치로서 약 30kg 정도의 중량을 가진다. 이와 같은 고니오미터를 탑재하고 정해진 궤도를 따라 마이크로미터급의 정밀도로 움직이기 위해서는 고니오미터의 중량을 지탱해주는 장치와, 궤도에 고정시켜주는 장치와, 궤도를 따라 움직이게 하는 구동장치 등이 필요하다.The optical goniometer is a device that can adjust the angle with micrometer accuracy and weighs about 30 kg. In order to mount the Goniometer and move it with a micrometer-class accuracy along a predetermined track, a device supporting the weight of the Goniometer, a device fixed to the track, and a driving device moving along the track is required. Do.

한편, 이와 같은 고니오미터와 유관한 광학장치로서 X-선 회절분광기가 있다. X-선 회절분광기에서는 고니오미터가 일정한 지점에 고정되어 있어서, 별도의 이송장치가 필요하지 않다. 이에 반해 입사 X-선의 에너지 변화가 필요한 X-선 분광기에서는 고니오미터를 일정한 길이의 팔에 연결하고, 팔의 움직임에 따라 고니오미터가 이동하도록 되어 있다. 이때, 팔의 위치는 X-선 광원의 위치와 고니오미터 사이의 각이 브래그(Bragg) 조건 nλ=2dsinθ를 만족하도록 고정되어 있다. 이 경우에는 팔의 길이가 고정되어 있고, 팔은 정해진 궤도를 따라 움직이기 때문에 고니오미터의 위치가 팔의 위치에 의해서 한정된다. 분광기를 최적의 조건으로 만들기 위해서는 기계적인 얼라인먼트(alignment)와 광학적인 얼라인먼트가 이루어져야 한다. 최적의 얼라인먼트를 이루기 위해서는 고니오미터가 정해진 궤도상에서 자유롭게 이동하여 원하는 위치에 오도록 해야 한다.On the other hand, there is an X-ray diffraction spectrometer as an optical device associated with such a goniometer. In the X-ray diffraction spectrometer, the goniometer is fixed at a fixed point, so that a separate transfer device is not necessary. In contrast, in an X-ray spectrometer that requires energy change of the incident X-ray, the goniometer is connected to an arm of a certain length, and the goniometer is moved as the arm moves. At this time, the position of the arm is fixed so that the angle between the position of the X-ray light source and the goniometer satisfies the Bragg condition nλ = 2dsinθ. In this case, the length of the arm is fixed and the position of the goniometer is limited by the position of the arm because the arm moves along a defined trajectory. In order to make the spectrometer optimal, mechanical alignment and optical alignment must be performed. In order to achieve optimal alignment, the goniometer should move freely on a defined track to the desired position.

본 발명은 상기와 같은 점들을 감안하여 창출된 것으로서, 길이가 고정되어 있는 팔 대신 이송장치에 모터를 사용함으로써 광학 고니오미터를 원하는 위치로 자유롭게 이동시킬 수 있는 광학 고니오미터 이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above points, and provides an optical goniometer transfer apparatus that can freely move an optical goniometer to a desired position by using a motor in a transfer apparatus instead of an arm having a fixed length. The purpose is.

도 1은 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치를 나타내 보인 평면도.1 is a plan view showing an optical goniometer transfer apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치를 나타내 보인 정면도.Figure 2 is a front view showing an optical goniometer transfer apparatus according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치를 나타내 보인 저면도.Figure 3 is a bottom view showing the optical goniometer transfer apparatus according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치의 밀착용 스프링 장치의 구조를 나타내 보인 부분 발췌 단면도.Figure 4 is a partial cross-sectional view showing the structure of the spring device for close contact of the optical goniometer transfer apparatus according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치가 설치되는 특정 궤도의 구조체를 나타내 보인 평면도.Figure 5 is a plan view showing a structure of a specific track on which the optical goniometer feed apparatus according to the present invention is installed.

도 6은 고니오미터를 탑재한 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치가 도 5의 특정 궤도의 구조체에 설치된 상태도.6 is a state in which the optical goniometer feeder according to the present invention equipped with a goniometer is installed in the structure of the specific track of FIG.

도 7은 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치에 있어서, 구동장치를 구성하는 스텝핑 모터와 동력전달용 기어 어셈블리를 보여주는 장치구성도.7 is a device configuration showing a stepping motor and a power transmission gear assembly constituting the drive in the optical goniometer transfer apparatus according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

11...고니오미터 받침대 12a,12b...받침대 이동용 로울러11 Goniometer pedestals 12a, 12b ...

13a∼13d...받침대 고정용 로울러 14a,14b,18...로울러 고정용 지지부재13a to 13d Roller Supporting Rollers 14a, 14b, 18 ...

15a,15b,19...밀착용 스프링 장치 16...기어 어셈블리 고정용 지지부재15a, 15b, 19 ... Contact spring device 16 ... Support member for gear assembly fixing

17...기어 어셈블리 지지부재 고정용 로울러 20...엘보우형 지지부재17 ... Roller for fixing the gear assembly support member 20 ... Elbow support member

41...제1하우징 42...제2하우징41 ... 1 housing 42 ... 2 housing

43...압축스프링 51...특정 궤도(반원형 궤도) 구조체43.Compression spring 51 ... Specific orbital (semicircular orbital) structure

61...고니오미터 62...스텝핑 모터61 Goniometer 62 Stepping motor

63...동력전달용 기어 어셈블리 63a∼63j...기어63 Gear Drive Assembly 63a to 63j Gears

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치는, 광학 고니오미터의 탑재를 위한 안착부를 가지는 고니오미터 받침대; 상기 고니오미터 받침대의 소정 부위에 설치되며, 고니오미터 받침대 및 탑재된 고니오미터의 중량을 견디면서 고니오미터 받침대를 특정 궤도의 구조체 상에서 궤도를 따라 이동가능하게 하는 복수의 받침대 이동용 로울러; 상기 고니오미터 받침대의 소정 부위에 설치되며, 고니오미터 받침대를 상기 특정 궤도의 구조체에 궤도를 따라 이동가능하게 고정시키는 복수의 받침대 고정용 로울러; 및 상기 고니오미터 받침대의 하부에 설치되며, 고니오미터 받침대가 상기 특정 궤도의 구조체 상에서 궤도를 따라 이동가능하게 하는 구동력을 제공하는 구동장치를 포함하는 점에 그 특징이 있다.In order to achieve the above object, the optical goniometer transfer apparatus according to the present invention, the goniometer pedestal having a mounting portion for mounting the optical goniometer; A plurality of pedestal moving rollers installed on a predetermined portion of the goniometer pedestal, the bearer for moving the goniometer pedestal along the trajectory on the structure of the specific trajectory while bearing the weight of the goniometer pedestal and the mounted goniometer; A plurality of pedestal fixing rollers installed at a predetermined portion of the goniometer pedestal, the pedestal fixing rollers fixing the goniometer pedestal to the structure of the specific trajectory so as to be movable along the trajectory; And a driving device installed under the goniometer pedestal, and providing a driving force that allows the goniometer pedestal to move along the track on the structure of the particular track.

이와 같은 본 발명에 의하면, 고니오미터가 탑재된 받침대가 로울러와 모터 구동력에 의해 궤도를 따라 자유롭게 움직일 수 있도록 되어 있어, 광학 고니오미터가 일정한 길이의 팔에 고정되어 있는 종래의 장치에 비해 광학 고니오미터를 원하는 곳에 정밀하게 위치 이동시킬 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, the pedestal on which the goniometer is mounted is freely movable along the track by the roller and the motor driving force, so that the optical goniometer is optical in comparison with the conventional device fixed to the arm of constant length. The advantage is that the goniometer can be precisely positioned where it is desired.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3은 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치를 나타내 보인 것으로서, 도 1은 평면도이고, 도 2는 정면도이며, 도 3은 저면도이다.1 to 3 show an optical goniometer feed apparatus according to the present invention, Figure 1 is a plan view, Figure 2 is a front view, Figure 3 is a bottom view.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치는 그 몸체의 일부위에 광학 고니오미터(61:도 6 참조)를 탑재시키기 위한 안착부(11a)가 마련되어 있는 소정 형상의 고니오미터 받침대(11)와, 그 고니오미터 받침대(11)의 양측에 설치되어 특정 궤도(예컨대, 반원형 궤도)의 구조체(51:도 5 참조)의 상면(51u) 궤도를 따라 이동하며, 고니오미터 받침대(11) 및 탑재된 고니오미터(61)의 중량을 견디면서 고니오미터(61)를 상기 특정 궤도의 구조체 상에서 정밀 이동가능하게 하는 2개의 받침대 이동용 로울러(12a)(12b)와, 상기 고니오미터 받침대(11)의 전면 양단부 및 상기 2개의 받침대 이동용 로울러(12a)(12b)의 후방에 각각 마련되며, 고니오미터 받침대(11)를 상기 특정 궤도의 구조체(51)에 궤도를 따라 이동가능하게 고정시키는 4개의 받침대 고정용 로울러(13a)(13b)(13c)(13d) 및 상기 고니오미터 받침대(11)의 하부에 설치되며, 고니오미터 받침대(11)가 상기 특정 궤도의 구조체(51) 상에서 궤도를 따라 이동가능하게 하는 구동력을 제공하는 구동장치를 구비한다.1 to 3, the optical goniometer transfer apparatus according to the present invention is a predetermined shape provided with a seating portion (11a) for mounting the optical goniometer (see Fig. 6) on a portion of the body Is installed on both sides of the goniometer pedestal 11 and the goniometer pedestal 11 to move along the orbit of the upper surface 51u of the structure 51 (see FIG. 5) of a specific trajectory (e.g., a semi-circular orbit). Two pedestal moving rollers 12a and 12b to withstand the weight of the goniometer pedestal 11 and the mounted goniometer 61 while allowing the goniometer 61 to be precisely moved on the structure of the particular trajectory. And the front end portions of the goniometer pedestal 11 and the rear of the two pedestal moving rollers 12a and 12b, respectively, and the goniometer pedestal 11 is provided with the structure 51 of the specific track. Four pedestals for movably securing tracks Installed below the rollers 13a, 13b, 13c, 13d and the goniometer pedestal 11, the goniometer pedestal 11 is movable along the trajectory on the structure 51 of the specific trajectory. And a driving device for providing a driving force.

여기서, 상기 4개의 받침대 고정용 로울러(13a)(13b)(13c)(13d)중 고니오미터 받침대(11)의 전면 양단부에 위치하는 2개의 받침대 고정용 로울러(13a)(13b)는 도시된 바와 같이 고니오미터 받침대(11)에 직접 고정된다. 그리고, 나머지 2개의 받침대 고정용 로울러(13c)(13d)는 엘보우(elbow) 형상의 로울러 고정용 지지부재(14a)(14b)에 각각 고정되고, 그 지지부재(14a)(14b)는 고니오미터 받침대(11)에 각각 결합된다. 특히, 이 지지부재(14a)(14b)에는 상기 2개의 받침대 고정용 로울러(13c)(13d)를 상기 특정 궤도의 구조체(51)의 궤도면에 밀착시키기 위한 탄성력을 제공하는 밀착용 스프링 장치(15a)(15b)가 각각 설치된다. 여기서, 이 밀착용 스프링 장치(15a)(15b)는 도 4에 도시된 바와 같이, 탄성력을 제공하는 압축스프링(43)과, 그 압축스프링(43)을 내장하는 원통형의 제1,제2하우징(41)(42)으로 구성되는데, 제1하우징(41)은 로울러 고정용 지지부재(14b)에 압입 고정되고, 제2하우징(42)은 상기 압축스프링(43)의 스프링력에 의해 제1하우징(41)의 내외부로 출몰 가능하게 제1하우징(41)에 결합된다.Here, among the four pedestal fixing rollers 13a, 13b, 13c, and 13d, two pedestal fixing rollers 13a and 13b which are positioned at both front ends of the goniometer pedestal 11 are shown. As is fixed directly to the goniometer pedestal (11). Then, the remaining two pedestal fixing rollers 13c and 13d are fixed to elbow-shaped roller fixing support members 14a and 14b, respectively, and the supporting members 14a and 14b are gonio. It is coupled to the meter pedestal 11, respectively. In particular, the support member 14a, 14b has a close spring device that provides an elastic force for bringing the two pedestal fixing rollers 13c, 13d into close contact with the track surface of the structure 51 of the specific track. 15a) and 15b are respectively provided. Here, the close contact spring device (15a, 15b) is, as shown in Figure 4, the compression spring 43 for providing an elastic force, and the cylindrical first, second housings in which the compression spring 43 is embedded It consists of (41) (42), the first housing (41) is press-fit fixed to the roller fixing support member (14b), the second housing (42) by the spring force of the compression spring (43) It is coupled to the first housing 41 so as to be sunk in and out of the housing 41.

상기 구동장치는 도 7에 도시된 바와 같이 구동력을 발생시키는 모터(62)와, 그 모터(62)와 결합되며, 모터(62)로부터 발생된 동력을 전달하기 위한 다수의 기어군(63a∼63j)으로 이루어진 동력전달용 기어 어셈블리(63)로 구성된다. 여기서, 동력을 발생시키기 위한 모터(62)로는 고니오미터(61)의 정밀한 위치이동을 위해 바람직하게는 스텝핑(stepping) 모터가 사용된다. 특히, 이 스텝핑 모터로는 1 스텝당 1.8°씩 회전하는 스텝핑 모터가 사용되며, 상기 기어 어셈블리(63)는 스텝핑 모터(62)가 1 스텝 회전할 때, 이송장치가 1.83×10-4mm 만큼씩 궤도를 따라 움직이도록 구성된다. 그리고, 이 동력전달용 기어 어셈블리(63)는 최종 기어가 상기 특정 궤도의 구조체(51)의 내측면(51i)에 형성되어 있는 기어(미도시)와 상호 맞물림 결합될 수 있도록 후술되는 기어 어셈블리 고정용 지지부재(16)에 설치된다.As shown in FIG. 7, the driving device includes a motor 62 generating a driving force, and a plurality of gear groups 63a to 63j coupled to the motor 62 to transfer power generated from the motor 62. It is composed of a power transmission gear assembly (63) consisting of. Here, as the motor 62 for generating power, a stepping motor is preferably used for precise positioning of the goniometer 61. In particular, this stepping motor is used as a stepping motor that rotates by 1.8 ° per step, and the gear assembly 63 has a feeder of 1.83 × 10 -4 mm when the stepping motor 62 rotates by one step. It is configured to move along the orbit each time. In addition, the power transmission gear assembly 63 is fixed to the gear assembly described below so that the final gear can be engaged with the gear (not shown) formed on the inner surface 51i of the structure 51 of the specific track. It is installed on the support member (16).

한편, 상기 고니오미터 받침대(11)의 하부에는 상기 동력전달용 기어 어셈블리(63)의 설치를 위해 도 2에 도시된 바와 같이 U형의 기어 어셈블리 고정용 지지부재(16)가 설치된다. 그리고, 그 지지부재(16)의 하단부에는 고니오미터 받침대(11)에 결합된 상기 지지부재(16)가 상기 특정 궤도의 구조체(51)의 측면 궤도를 따라 안정되게 이동될 수 있도록 지지부재(16)를 고정 및 안내하는 별도의 지지부재 고정용 로울러(17)가 설치된다. 이때, 이 별도의 지지부재 고정용 로울러(17)는 로울러 고정용 지지부재(18)에 고정되고, 그 지지부재(18)는 기어 어셈블리 고정용 지지부재(16)의 저면에 결합된다. 또한, 상기 로울러 고정용 지지부재(18)의 일측에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 별도의 지지부재 고정용 로울러(17)를 상기 특정 궤도의 구조체(51)의 궤도면에 밀착시키기 위한 밀착용 스프링 장치(19)가 마련된다. 이때, 이 밀착용 스프링 장치(19)는 엘보우형 지지부재(20)에 고정되고, 그 엘보우형 지지부재(20)는 로울러 고정용 지지부재(18) 및 고니오미터 받침대(11)에 각각 고정 결합된다.On the other hand, the lower portion of the goniometer pedestal 11 is provided with a support member 16 for fixing the U-shaped gear assembly, as shown in Figure 2 for the installation of the power transmission gear assembly 63. And, at the lower end of the support member 16, the support member 16 coupled to the goniometer pedestal 11 so that the support member (16) can be stably moved along the side track of the structure 51 of the specific track ( A separate support member fixing roller 17 for fixing and guiding 16 is installed. At this time, the separate supporting member fixing roller 17 is fixed to the roller fixing supporting member 18, and the supporting member 18 is coupled to the bottom of the gear assembly fixing supporting member 16. In addition, on one side of the roller fixing support member 18 for close contact for adhering the separate support member fixing roller 17 to the raceway surface of the structure 51 of the specific track as shown in FIG. A spring device 19 is provided. At this time, the contact spring device 19 is fixed to the elbow-type support member 20, the elbow-type support member 20 is fixed to the roller fixing support member 18 and the goniometer pedestal 11, respectively. Combined.

그러면, 이상과 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치의 동작에 대해 간략히 설명해 보기로 한다.Then, the operation of the optical goniometer feeder according to the present invention having the above configuration will be briefly described.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치가 상기 특정 궤도(반원형 궤도)의 구조체(51)에 설치되고, 고니오미터 받침대(11)에 고니오미터(61)가 탑재된 상태에서 스텝핑 모터(62)에 전원을 인가하면, 스텝핑 모터(62)가 구동된다. 이에 따라, 스텝핑 모터(62)로부터 발생된 회전력은 모터(62) 축에 결합되어 있는 동력전달용 기어 어셈블리(63)로 전달되고, 기어 어셈블리(63)의다수의 기어들을 연속적으로 거쳐 전달된 회전력이 최종적으로 상기 특정 궤도(반원형 궤도)의 구조체(51)의 내측면에 형성되어 있는 기어에 전달되면, 그 반력으로 본 발명의 이송장치는 궤도를 따라 이동하게 된다. 이때, 이 이동은 전술한 바와 같이 상기 스텝핑 모터(62)가 1 스텝 회전할 때, 이송장치가 1.83×10-4mm 만큼씩 궤도를 따라 움직이도록 구성되어 있으므로, 매우 세분화된 이동이며, 따라서 이송장치에 탑재된 광학 고니오미터(61)는 정밀한 위치이동을 하게 된다.As shown in Fig. 6, the optical goniometer feeder according to the present invention is installed in the structure 51 of the specific trajectory (semi-circular orbit), and the goniometer 61 is mounted on the goniometer pedestal 11; When power is applied to the stepping motor 62 in the mounted state, the stepping motor 62 is driven. Accordingly, the rotational force generated from the stepping motor 62 is transmitted to the power transmission gear assembly 63 coupled to the shaft of the motor 62, and the rotational force transmitted through a plurality of gears of the gear assembly 63 continuously. When finally transmitted to the gear formed on the inner surface of the structure 51 of the specific track (semi-circular track), the transfer device of the present invention by the reaction force moves along the track. At this time, this movement is a very subdivided movement because the transfer device is configured to move along the track by 1.83 × 10 -4 mm when the stepping motor 62 rotates one step as described above. The optical goniometer 61 mounted in the device makes precise positioning.

이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 광학 고니오미터 이송장치는, 고니오미터가 탑재된 받침대가 로울러와 스텝핑 모터의 구동력에 의해 궤도를 따라 자유롭게 움직일 수 있도록 되어 있고, 특히 스텝핑 모터의 구동력을 전달하는 기어 어셈블리가 스텝핑 모터가 1 스텝 회전할 때, 이송장치가 1.83×10-4mm 만큼씩 궤도를 따라 움직이도록 구성되어 있어, 광학 고니오미터가 일정한 길이의 팔에 고정되어 있는 종래의 이송장치에 비해 광학 고니오미터를 원하는 곳에 정밀하게 위치이동 시킬 수 있는 장점이 있다.As described above, in the optical goniometer feeder according to the present invention, the pedestal on which the goniometer is mounted is freely movable along the track by the driving force of the roller and the stepping motor, and particularly, the driving force of the stepping motor is transmitted. The conventional gearing device is configured such that when the stepping motor rotates one step, the feeder moves along the track by 1.83 × 10 -4 mm so that the optical goniometer is fixed to the arm of a certain length. Compared to this, the optical goniometer can be precisely positioned where desired.

Claims (14)

광학 고니오미터의 탑재를 위한 안착부를 가지는 고니오미터 받침대;A goniometer pedestal having a mounting portion for mounting the optical goniometer; 상기 고니오미터 받침대의 소정 부위에 설치되며, 고니오미터 받침대 및 탑재된 고니오미터의 중량을 견디면서 고니오미터 받침대를 특정 궤도의 구조체 상에서 궤도를 따라 이동가능하게 하는 복수의 받침대 이동용 로울러;A plurality of pedestal moving rollers installed on a predetermined portion of the goniometer pedestal, the bearer for moving the goniometer pedestal along the trajectory on the structure of the specific trajectory while bearing the weight of the goniometer pedestal and the mounted goniometer; 상기 고니오미터 받침대의 소정 부위에 설치되며, 고니오미터 받침대를 상기 특정 궤도의 구조체에 궤도를 따라 이동가능하게 고정시키는 복수의 받침대 고정용 로울러; 및A plurality of pedestal fixing rollers installed at a predetermined portion of the goniometer pedestal, the pedestal fixing rollers fixing the goniometer pedestal to the structure of the specific trajectory so as to be movable along the trajectory; And 상기 고니오미터 받침대의 하부에 설치되며, 고니오미터 받침대가 상기 특정 궤도의 구조체 상에서 궤도를 따라 이동가능하게 하는 구동력을 제공하는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.And a driving device installed under the goniometer pedestal, the driving device providing a drive force for allowing the goniometer pedestal to move along the trajectory on the structure of the specific trajectory. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 받침대 고정용 로울러는 4개로 구성되되, 2개의 로울러는 상기 고니오미터 받침대의 전면 양단부에 직접 고정되고, 나머지 2개의 로울러는 소정 형상의 로울러 고정용 지지부재에 각각 고정되며, 그 로울러 고정용 지지부재는 상기 고니오미터 받침대에 각각 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.The pedestal fixing rollers are composed of four, two rollers are directly fixed to both front ends of the goniometer pedestal, the remaining two rollers are fixed to the roller fixing support member of a predetermined shape, respectively, for fixing the rollers The support member is an optical goniometer transport apparatus, characterized in that coupled to each of the goniometer pedestal. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 로울러 고정용 지지부재에는 상기 나머지 2개의 로울러를 상기 특정 궤도의 구조체의 궤도면에 밀착시키기 위한 탄성력을 제공하는 밀착용 스프링 장치가 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.And a contact spring device for providing an elastic force for contacting the two rollers to the raceway surface of the structure of the specific track. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 밀착용 스프링 장치는 탄성력을 제공하는 압축스프링과, 그 압축스프링을 공유 내장하는 2개의 원통형 하우징으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.The close contact spring device is an optical goniometer transport device, characterized in that it is composed of a compression spring for providing an elastic force and two cylindrical housings that share the compression spring. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 2개의 원통형 하우징중 일측 하우징은 상기 로울러 고정용 지지부재에 압입 고정되고, 타측 하우징은 상기 압축스프링의 스프링력에 의해 상기 일측 하우징의 내외부로 출몰 가능하게 일측 하우징에 결합되는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.One housing of the two cylindrical housings are press-fitted to the roller fixing support member, and the other housing is coupled to one housing to be protruded into and out of the one housing by the spring force of the compression spring. Goniometer feeder. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구동장치는 구동력을 발생시키는 모터와, 그 모터와 결합되며, 모터로부터 발생된 동력을 전달하기 위한 다수의 기어군으로 이루어진 동력전달용 기어 어셈블리로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.The drive device is an optical goniometer transport comprising a motor for generating a driving force, and a power transmission gear assembly coupled to the motor and composed of a plurality of gear groups for transmitting power generated from the motor. Device. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 모터는 스텝핑 모터인 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.And the motor is a stepping motor. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 스텝핑 모터는 1 스텝당 1.8°씩 회전하는 회전특성을 가진 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.The stepping motor is an optical goniometer feed device, characterized in that it has a rotational characteristic to rotate by 1.8 ° per step. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 동력전달용 기어 어셈블리는 상기 스텝핑 모터가 1 스텝 회전할 때, 이송장치가 1.83×10-4mm 만큼씩 궤도를 따라 움직이도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.And the power transmission gear assembly is configured such that when the stepping motor rotates by one step, the feeder moves along the track by 1.83 × 10 −4 mm. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고니오미터 받침대의 하부에는 상기 동력전달용 기어 어셈블리의 설치를 위한 기어 어셈블리 고정용 지지부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.The lower portion of the goniometer pedestal, the optical goniometer transport apparatus, characterized in that the support for fixing the gear assembly for the installation of the power transmission gear assembly is installed. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 기어 어셈블리 고정용 지지부재의 하단부에는 상기 고니오미터 받침대에 결합된 상기 기어 어셈블리 고정용 지지부재가 상기 특정 궤도의 구조체의 측면 궤도를 따라 안정되게 이동될 수 있도록 그 지지부재를 고정 및 안내하는 별도의 기어 어셈블리 지지부재 고정용 로울러가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.Fixing and guiding the support member to the lower end of the support member for fixing the gear assembly so that the gear assembly fixing support member coupled to the goniometer bracket can be stably moved along the side track of the structure of the specific track. Optical goniometer feed device, characterized in that a separate gear assembly support member fixing roller is installed. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 별도의 기어 어셈블리 지지부재 고정용 로울러는 별도의 로울러 고정용 지지부재에 고정되고, 그 별도의 로울러 고정용 지지부재는 상기 기어 어셈블리 고정용 지지부재의 저면에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.The separate gear assembly support member fixing roller is fixed to a separate roller fixing support member, and the separate roller fixing support member is coupled to the bottom surface of the gear assembly fixing support member. Ohm Feeder. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 별도의 로울러 고정용 지지부재의 일측에는 상기 별도의 지지부재 고정용 로울러를 상기 특정 궤도의 구조체의 궤도면에 밀착시키기 위한 밀착용 스프링 장치가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.One side of the separate roller fixing support member is an optical goniometer transfer device, characterized in that the contact spring fixing device for contacting the separate support member fixing roller to the raceway surface of the structure of the specific track. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 밀착용 스프링 장치는 소정 형상의 지지부재에 고정되고, 그 지지부재는 상기 별도의 로울러 고정용 지지부재 및 고니오미터 받침대에 각각 고정 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 고니오미터 이송장치.The contact spring device is fixed to a support member of a predetermined shape, the support member is an optical goniometer transfer apparatus, characterized in that fixed to each of the separate roller fixing support member and the goniometer pedestal.
KR1019970047189A 1997-09-12 1997-09-12 Optical goniometer transfer device KR100393186B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970047189A KR100393186B1 (en) 1997-09-12 1997-09-12 Optical goniometer transfer device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970047189A KR100393186B1 (en) 1997-09-12 1997-09-12 Optical goniometer transfer device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990025524A KR19990025524A (en) 1999-04-06
KR100393186B1 true KR100393186B1 (en) 2003-09-19

Family

ID=37422003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970047189A KR100393186B1 (en) 1997-09-12 1997-09-12 Optical goniometer transfer device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100393186B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101184423B1 (en) 2012-05-22 2012-09-20 주식회사 재원 Automatic gonio-stage

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100881373B1 (en) * 2007-08-23 2009-02-02 주식회사 에스엠 엔터테인먼트 Camera support using goniometer

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06294762A (en) * 1993-04-09 1994-10-21 Rigaku Corp Goniometer for x-ray apparatus
JPH08136698A (en) * 1994-11-09 1996-05-31 Nippon Steel Corp Arc slider driving type goniometer and solid angle diffraction meter

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06294762A (en) * 1993-04-09 1994-10-21 Rigaku Corp Goniometer for x-ray apparatus
JPH08136698A (en) * 1994-11-09 1996-05-31 Nippon Steel Corp Arc slider driving type goniometer and solid angle diffraction meter

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101184423B1 (en) 2012-05-22 2012-09-20 주식회사 재원 Automatic gonio-stage

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990025524A (en) 1999-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0896855B1 (en) Actuator
JP3899617B2 (en) Actuator
KR970021679A (en) Gas turbine disassembly and assembly device
US5017820A (en) Piezoelectric rotary union system
CN114572426B (en) Space on-orbit centrifuge and space experiment cabinet body
US4975746A (en) Process cartridge and image forming apparatus using same
KR100393186B1 (en) Optical goniometer transfer device
KR100341720B1 (en) Vibration Drive
US4784015A (en) Momentum compensated rotary actuator with harmonic drive
US7085082B2 (en) Objective pivoting device having crossed swivelling axes
IL163918A (en) Control moment gyro for attitude control of spacecraft
CA3122498A1 (en) Actuator arrangement
US5529412A (en) Print guide mechanism
WO1986002059A1 (en) Element moving device
CN114476146B (en) Space on-orbit automatic balance adjusting mechanism and space on-orbit turntable assembly
US5280309A (en) Single degree of freedom belt drive tensioning system for a plotter apparatus
CA1145802A (en) Lightened pivoting stator and rotor device
RU2159485C2 (en) Electromechanical drive
BR9807811A (en) Steering device.
US5808439A (en) Satellite small angle tilting mechanism
CN215334308U (en) Motion mechanism of linear push-pull handle
US5071254A (en) Device for guiding and controlling displacement of a mobile member relative to a fixed member parallel to a translation axis and optical instrument comprising same
RU2124143C1 (en) Inertia engine
JPH06105503A (en) Power transmission mechanism
JP4556030B2 (en) Angle adjustment device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080708

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee