KR100390850B1 - Sensing control equipment - Google Patents
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Abstract
본 발명은 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치에 관한 것으로서 핸들러 쇼터에 장착되어 이송되는 반도체 디바이스의 통과 상태에 따른 신호를 발생시켜 주는 핸들러의 디바이스 감지 센서 제어 장치에 있어서, 상기 핸들러 쇼터에 장착되어 반도체 디바이스의 통과 여부에 따라 발생하는 자장의 변화에 유도되어 전류를 출력하도록 보빈에 권취되어 핸들러 쇼터에 장착되는 코일 센서와, 상기 코일 센서를 상기 핸들러 쇼터에 장착시켜 주는 보빈과, 상기 코일 센서로부터 출력되는 전류를 입력받아 디지털 신호로 변환하여 출력하는 센서 신호 처리부와, 상기 핸들러 쇼터를 통과하는 반도체 디바이스의 통과 여부를 시각적으로 표시해 주는 통과 표시부와, 상기 핸들러 쇼터를 통과하는 반도체 디바이스의 통과를 광신호로 변조하여 출력하는 발광부와, 상기 센서 신호 처리부로부터 입력되는 신호를 입력받아 상기 핸들러 쇼터를 통과하는 반도체 디바이스의 통과 여부를 상기 통과 표시부를 통하여 표시하고, 그 결과를 상기 발광부를 통하여 출력하는 제어부와, 상기 센서 신호 표시부와 통과 표시부 및 발광부, 제어부의 동작에 필요한 전원을 공급해 주는 전원 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 디바이스 감지 센서 제어 장치를 제공한다.The present invention relates to a device detection control device of a handler, comprising: a device detecting sensor control device for a handler that generates a signal according to a passing state of a semiconductor device that is mounted and transported on a handler shorter; A coil sensor wound on the bobbin and mounted on the handler shorter so as to be induced by a change in the magnetic field generated depending on whether or not it passes, a bobbin mounting the coil sensor on the handler shorter, and a current output from the coil sensor A sensor signal processing unit for receiving and converting the digital signal into a digital signal, a pass display unit for visually displaying whether the semiconductor device passes through the handler shorter, and a pass through the semiconductor device passing through the handler shorter is modulated into an optical signal. Light emitting unit for outputting A control unit for receiving a signal input from the sensor signal processing unit and indicating whether the semiconductor device passes through the handler shorter through the pass display unit, and outputs the result through the light emitting unit; and a pass through the sensor signal display unit. Provided is a device detecting sensor control apparatus for a handler, comprising a display unit, a light emitting unit, and a power supply unit for supplying power required for the operation of the controller.
Description
본 발명은 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 여러 종류의 반도체 디바이스를 자동으로 분류하여 이송시켜 주는 핸들러에서 디바이스의 통과 여부와 디바이스 종류를 정확하게 감지하는 디바이스 감지 센서를 이용한 제어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for controlling a device detection of a handler, and more particularly, a control device using a device detection sensor for accurately detecting whether a device passes and a device type in a handler for automatically classifying and transferring various types of semiconductor devices. It is about.
일반적으로 반도체의 공정에서 만들어진 반도체는 테스트공정을 거처 양품과 불량품으로 선별되거나 제품의 종류에 따라 분리되도록 핸들러의 장치를 사용하고 있다.In general, semiconductors made in the process of semiconductors are used in the handler's device to be sorted as good or bad through the test process or separated according to the type of product.
이러한 핸들러 장치는 최근들어 디램용 반도체 디바이스가 얇고 경량화되며 작아져서 반도체디바이스를 선별할 수 있는 전용 핸들러가 필요하게 되었으며 이러한 핸들러는 제품을 선별하여 공급하는 공급부와 선별되는 제품을 각각 수납할 수 있도록 모터에 의해 회전되면서 공급하는 쇼터와, 쇼터에서 공급되는 제품을 수납통에 수납할 수 있도록 안내하는 다수의 분리파이프로 구성되어 있다.In recent years, such a handler device has become a thinner, lighter, and smaller semiconductor device for DRAM. Therefore, a handler for sorting semiconductor devices has been needed. It is composed of a shorter to be supplied while being rotated by a plurality of separation pipes for guiding the product supplied from the shorter to be accommodated in the housing.
상기와 같은 핸들러의 장치에는 제품의 분리장치가 구성되어 있어 제품의 분리를 정확하게 하기 위하여 제품이 투입되는 것을 감지하도록 되어있다.The device of the handler is configured to separate the product is configured to detect the input of the product in order to accurately separate the product.
상기와 같은 종래의 전형적인 핸들러의 분리감지장치의 일예가 도 1 및 도 2에 도시되어 있다.One example of the separation detection device of the conventional typical handler as described above is illustrated in FIGS. 1 and 2.
도 1 및 도 2에서 부재번호 1은 레일, 2는 쇼터, 3은 센서, 4는 분리파이프를 각각 나타낸다.1 and 2, reference numeral 1 denotes a rail, 2 a shorter, 3 a sensor, and 4 a separation pipe.
도 1에 도시된 바와같이 공급부에서 레일(1)을 통하여 공급되는 제품을 분리 투입하기 위하여 형성된 쇼터(2)를 상단부에 센서(3)를 설치하여 제품의 투입을 감지하고 다른 실시예로서 도 2에 도시된 바와같이 쇼터(2)의 끝부분에 센서(3)를 설치하여 분리파이프(4)로 투입되는 제품의 투입을 감지하기도 하였다.As shown in FIG. 1, a sensor 3 is installed at an upper end of a shorter 2 formed in order to separate and input a product supplied through a rail 1 from a supply unit. As shown in Figure 5, the sensor 3 is installed at the end of the shorter 2 to detect the input of the product introduced into the separation pipe (4).
상기 도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이, 상기 센서를 기존에는 광소자를 이용하여 반도체 디바이스의 통과 여부를 확인하였으나, 광소자는 그 특성상 발광 소자와 수광 소자간의 광경로가 다른 오염 물질에 의하여 오염되는 그 감지 능력이 현저하게 저하되기 때문에 주기적으로 광경로에 위치한 소자의 표면을 닦아주어야만 하는 문제점과, 광경로가 오염되어 반도체 디바이스의 통과 여부를 정확하게 확인할 수 없기 때문에 핸들러의 동작이 부정확해져서 서로 다른 부품이 혼합되는 문제점도 발생하였다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the sensor is conventionally confirmed whether the semiconductor device has passed through the optical device. However, the optical device has a characteristic that the optical path between the light emitting device and the light receiving device is contaminated by other contaminants. Degradation of remarkable deterioration results in the need to periodically clean the surface of the device located in the optical path, and because the optical path is contaminated and cannot accurately determine whether the semiconductor device has passed, the operation of the handler becomes incorrect and different parts There was also a problem of mixing.
따라서, 본 발명은 이러한 종래 기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 핸들러에서 반도체 디바이스의 통과 여부를 항상 정확하게 확인할 수 있고, 유지보수상의 불편함을 해소할 수 있는 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the problems of the prior art, the object of which is to accurately check whether the semiconductor device passes in the handler at all times, the device detection control device of the handler that can eliminate the inconvenience in maintenance To provide.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치를 설명하기 위한 핸들러의 구조를 나타낸 구성도.1 and 2 is a block diagram showing the structure of a handler for explaining the device detection control device of the handler according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치의 구성을 설명하기 위한 블록도.3 is a block diagram for explaining a configuration of a device sensing control apparatus of a handler according to the present invention;
도 4는 본 발명에 따른 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치의 회로를 나타낸 회로도.4 is a circuit diagram showing a circuit of a device sensing control apparatus of a handler according to the present invention.
도 5는 본 발명에 따른 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치의 보빈 구조를 나타낸 분해사시도.5 is an exploded perspective view showing a bobbin structure of a device detection control device of a handler according to the present invention;
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 코일센서 15 : 센서 처리 신호부10 coil sensor 15 sensor processing signal unit
20 : 통과 표시부 30 : 발광부20: passing display portion 30: light emitting portion
40 : 제어부 50 : 공급부40: control unit 50: supply unit
60 : 보빈 61 : 권취보빈60: bobbin 61: winding bobbin
62 : 결합공 63 : 결합나선62: coupling hole 63: coupling helix
64 : 코일 권취홈 65 : 커버64: coil winding groove 65: cover
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 핸들러 쇼터에 장착되어 이송되는 반도체 디바이스의 통과 상태에 따른 신호를 발생시켜 주는 핸들러의 디바이스감지 센서 제어 장치에 있어서, 상기 핸들러 쇼터에 장착되어 반도체 디바이스의 통과 여부에 따라 발생하는 자장의 변화에 유도되어 전류를 출력하도록 보빈에 권취되어 핸들러 쇼터에 장착되는 코일 센서와, 상기 코일 센서로부터 출력되는 전류를 입력받아 디지털 신호로 변환하여 출력하는 센서 신호 처리부와, 상기 핸들러 쇼터를 통과하는 반도체 디바이스의 통과 여부를 시각적으로 표시해 주는 통과 표시부와, 상기 핸들러 쇼터를 통과하는 반도체 디바이스의 통과를 광신호로 변조하여 출력하는 발광부와, 상기 센서 신호 처리부로부터 입력되는 신호를 입력받아 상기 핸들러 쇼터를 통과하는 반도체 디바이스의 통과 여부를 상기 통과 표시부를 통하여 표시하고, 그 결과를 상기 발광부를 통하여 출력하는 제어부와, 상기 센서 신호 표시부와 통과 표시부 및 발광부, 제어부의 동작에 필요한 전원을 공급해 주는 전원 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a device sensing sensor control device of a handler for generating a signal according to the passing state of the semiconductor device is mounted on the handler shorter, the processor short circuit is mounted on the handler shorter A coil sensor wound on the bobbin and mounted on the handler shorter so as to be induced by a change in the magnetic field generated according to whether or not, and a sensor signal processing unit which receives the current output from the coil sensor and converts the current into a digital signal; A pass display unit for visually displaying whether the semiconductor device passes through the handler shorter, a light emitting unit for modulating and outputting a pass of the semiconductor device passing through the handler shorter into an optical signal, and a signal input from the sensor signal processing unit Receives input through the handler shorter An excess power supply unit displays whether the semiconductor device passes through the pass display unit, and outputs the result through the light emitting unit, and supplies a power supply for supplying power required for the operation of the sensor signal display unit, the pass display unit, the light emitting unit, and the control unit. It provides a device detection control device of a handler comprising a unit.
이와같은 상기 코일센서가 권취되는 보빈은 핸들러 쇼터의 하단에 장착되도록 하측으로 단턱지게 형성한 코일 권취보빈의 상측에 다수의 결합공을 형성하고 단턱진 하측 상단에는 결합나선을 형성하고 상기 결합나선의 하측으로 코일 권취홈을 형성하며 상기 코일 권취보빈의 결합나선에 체결하여 코일을 보호하며 원통형의 커버로 형성된 것을 특징으로 하는 핸들러의 디바이스 감지 센서 장치를 제공한다.The bobbin in which the coil sensor is wound is formed with a plurality of coupling holes on the upper side of the coil winding bobbin stepped downward so as to be mounted on the lower end of the handler shorter, and a coupling spiral is formed on the upper end of the stepped spiral. It forms a coil winding groove in the lower side and secures the coil by fastening to the coupling spiral of the coil winding bobbin and provides a device detection sensor device of the handler, characterized in that formed in a cylindrical cover.
(실시예)(Example)
이하에 상기한 본 발명을 바람직한 실시예가 도시된 첨부 도면을 참고하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings showing a preferred embodiment of the present invention described above in more detail.
첨부한 도 3은 본 발명에 따른 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치의 구성을 설명하기 위한 블록도이고 도 4는 본 발명에 따른 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치의 회로를 나타낸 회로도이며 도 5는 본 발명에 따른 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치의 보빈 구조를 나타낸 분해사시도이다.Attached FIG. 3 is a block diagram for explaining a configuration of a device sensing control apparatus of a handler according to the present invention, FIG. 4 is a circuit diagram showing a circuit of a device sensing control apparatus of a handler according to the present invention, and FIG. 5 is according to the present invention. An exploded perspective view showing a bobbin structure of a device detection control device of a handler.
본 발명에 따른 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치는 도 3에 나타낸 바와 같이 코일 센서(10)는 핸들러 쇼터(2)에 장착되어 반도체 디바이스의 통과 여부에 따라 발생하는 자장의 변화에 유도되어 전류를 출력하며 상기 코일 센서(10)를 보빈(60)에 권취되어 상기 핸들러 쇼터(2)에 장착된다.In the device sensing control apparatus of the handler according to the present invention, as shown in FIG. 3, the coil sensor 10 is mounted on the handler shorter 2 to induce a change in the magnetic field generated depending on whether the semiconductor device passes or not, and outputs a current. The coil sensor 10 is wound around the bobbin 60 and mounted on the handler shorter 2.
이와같은 코일 센서(10)로부터 출력되는 전류를 입력받는 센서 신호 처리부(15)는 전류를 입력 받아 디지털 신호로 변환하여 출력하고 상기 핸들러 쇼터(2)를 통과하는 반도체 디바이스의 통과 여부를 출력하는 디지털 신호를 통과 표시부(20)에서 시각적으로 표시해 준다.The sensor signal processor 15 which receives the current output from the coil sensor 10 receives the current, converts the current into a digital signal, outputs the digital signal, and outputs whether or not the semiconductor device passing through the handler shorter 2 passes. The signal is visually displayed on the passage display unit 20.
이러한 통과 표시부(20)에서는 발광부(30)에서 핸들러 쇼터(2)를 통과하는 반도체 디바이스의 통과를 광신호로 변조하여 출력하며 상기 센서 신호 처리부(15)로부터 입력되는 신호를 입력받아 상기 핸들러 쇼터(2)를 통과하는 반도체 디바이스의 통과 여부를 상기 통과 표시부(20)를 통하여 표시하고, 그 결과를 상기 발광부(30)를 통하여 출력하는 광신호를 미도시된 수광부에서 감지하여 핸들러를 전체적으로 제어하는 제어부에서 제어한다.The pass display unit 20 modulates and outputs a pass of the semiconductor device passing through the handler shorter 2 by the light emitter 30 into an optical signal, and receives a signal input from the sensor signal processor 15 to receive the handler shorter. (2) indicates whether the semiconductor device passes through the pass display unit 20, and the result of the optical signal output through the light emitting unit 30 is detected by the light receiving unit (not shown) to control the handler as a whole Controlled by the control unit.
또한 전원 공급부(50)는 센서 신호 표시부(15)와 통과 표시부(20) 및 발광부(30), 제어부(40)의 동작에 필요한 전원을 공급해 주도록 구성된다. 이러한 핸들러의 디바이스 감지 센서 제어 장치의 보빈(60)은 도 5에 도시된 바와 같이 핸들러 쇼터(2)의 하단에 장착되도록 하측으로 단턱지게 형성한 코일 권취보빈(61)의 상측으로 다수의 피스에 의해 결합 고정되도록 결합공(62)을 형성하고 단턱진 하측 상단에는 결합나선(63)을 형성하고 상기 결합나선(63)의 하측으로 코일 권취홈(64)을 형성하며 상기 코일 권취보빈(61)의 결합나선(63)에 원통형상의 커버(65)를 체결하여 코일센서(10)을 보호하도록 형성한다.In addition, the power supply unit 50 is configured to supply power for the operation of the sensor signal display unit 15, the pass display unit 20, the light emitting unit 30, and the control unit 40. The bobbin 60 of the device sensing sensor control device of such a handler is provided in a plurality of pieces on the upper side of the coil winding bobbin 61 which is stepped downward so as to be mounted on the lower end of the handler shorter 2 as shown in FIG. 5. The coupling hole 62 is formed to be fixed by coupling, and the coupling spiral 63 is formed at the upper end of the stepped recess, and the coil winding groove 64 is formed below the coupling spiral 63, and the coil winding bobbin 61 is formed. Fasten the cylindrical cover 65 to the coupling spiral 63 of the coil sensor 10 is formed to protect.
상기와 같이 구성된 본 발명의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation and effects of the present invention configured as described above are as follows.
먼저 핸들러 장치에 전원을 인가하면 코일 센서(10)는 상기 코일 권취보빈(61)의 코일 권취홈(64)에 감겨서 핸들러 쇼터(2)에 장착되어 이는 상기 핸들러 쇼터(2)에 장착된 보빈(60)의 중앙 원통을 통과하는 반도체 디바이스가 코일 센서(10)를 통과하면서 코일에 형성되어 있는 자기장을 변화시키면, 그에 따라 유도 전류가 변화하게 된다.When power is first applied to the handler device, the coil sensor 10 is wound around the coil winding groove 64 of the coil winding bobbin 61 and mounted on the handler shorter 2, which is mounted on the handler shorter 2. When the semiconductor device passing through the central cylinder of 60 changes the magnetic field formed in the coil while passing through the coil sensor 10, the induced current changes accordingly.
따라서, 상기 코일 센서에 출력되는 전류는 반도체 디바이스의 통과하는 순간에는 변화하며, 통과하는 반도체 디바이스의 종류에 따라서도 출력되는 전류의 양이 다르게 출력된다.Therefore, the current output to the coil sensor changes at the moment of passing through the semiconductor device, and the amount of output current is output differently according to the type of semiconductor device passing through.
상기 센서 신호 처리부(15)는 상기 코일 센서(10)로부터 출력되는 아날로그 신호인 전류를 입력받아서 이를 디지털 신호로 변환시켜, 그 결과를 상기 제어부(CPU, 40)로 입력시킨다.The sensor signal processor 15 receives a current which is an analog signal output from the coil sensor 10, converts it into a digital signal, and inputs the result to the controller 40.
상기 센서 신호 처리부(15)는 도 3 및 도 4에서 보는 바와 같이, 상기 코일 센서(10)에서 출력되는 유도 전류를 입력받아 디지털 신호로 변환시켜서 상기 제어부(40)로 입력시켜 준다.As shown in FIGS. 3 and 4, the sensor signal processor 15 receives the induced current output from the coil sensor 10, converts the induced current into a digital signal, and inputs the digital signal to the controller 40.
상기 제어부(40)는 상기 코일 신호 처리부(15)로부터 출력되는 신호를 분석하여, 반도체 디바이스가 통과하는 순간을 확인하며, 입력되는 전류의 크기를 근거로 하여 통과하는 반도체 디바이스의 종류를 판단한다.The controller 40 analyzes the signal output from the coil signal processor 15 to check the moment at which the semiconductor device passes, and determines the type of semiconductor device passing based on the magnitude of the input current.
그리고, 상기 제어부(40)는 반도체 디바이스가 통과하는 순간에 통과 여부를 트랜지스터 Q2을 이용하여 LED1,2로 이루어진 통과 표시부(20)를 통하여 관리자에게 알려주고, 동시에 트랜지스터 Q1을 이용하여 발광소자 LD1,2로 이루어진 발광부(30)를 통하여 반도체 통과에 따른 데이터를 광신호로 변조하여 출력한다.In addition, the control unit 40 informs the manager through the pass display unit 20 consisting of LEDs 1 and 2 using the transistor Q 2 at the moment when the semiconductor device passes, and at the same time, the light emitting device using the transistor Q 1 . Through the light emitting unit 30 made of LD 1 and 2 , data according to the passage of the semiconductor is modulated into an optical signal and output.
이렇게 출력되는 광신호 데이터는 핸들러의 제어에 이용된다.The optical signal data thus output is used for the control of the handler.
상기, 전원 공급부(50)는 상기 센서 신호 처리부(15), 통과 표시부(20), 발광부(30), 제어부(40) 등의 동작에 필요한 전원을 공급해 주는 것으로, 이를 위하여 트랜스(T)를 통하여 입력된 교류 전압을 브릿지 형태의 전파 정류 회로인 다이오드 D1∼D4와 그 주변 소자를 통하여 직류로 변환하여 출력하고, 특히 상기 제어부(40)와 코일 신호 처리부(15)의 경우에는 보다 안정적인 직류 전원을 공급할 필요가 있으므로, 별도의 전압 안정화 소자(TO-92)를 이용하여 5V의 전압으로 안정화시켜서 공급한다.The power supply unit 50 supplies power required for the operation of the sensor signal processing unit 15, the pass display unit 20, the light emitting unit 30, the control unit 40, and the like. The AC voltage inputted through the diode D1 to D4, which is a bridge-type full-wave rectifier circuit, and its peripheral elements, is converted into direct current, and in particular, the control unit 40 and the coil signal processing unit 15 are more stable DC power. Since it is necessary to supply, it is stabilized at a voltage of 5V using a separate voltage stabilization element (TO-92) and supplied.
또한 보빈(60)의 코일 권취보빈(61)과 커버(65)를 나선에 의하여 체결 고정 시킴으로서 핸들러의 쇼터(2)의 회전시 보빈의 커버(65)가 이탈되는 것을 방지하여 기기와의 충동로 인한 파손을 방지하고 광센서에 의한 감지보다 제품의 투입감지가확실하고 오염물질제거 및 유지보수가 용이하다.In addition, the coil winding bobbin 61 and the cover 65 of the bobbin 60 are fastened and fixed by a spiral to prevent the cover 65 of the bobbin from being detached during the rotation of the shorter 2 of the handler, thereby causing an impulse to the machine. It prevents damage and prevents the input of products more accurately than the detection by optical sensors, and it is easy to remove contaminants and maintain them.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명은 주변 환경의 오염 정도에 상관없이 핸들러의 쇼터를 통과하는 반도체디바이스의 통과 여부를 정확하게 확인하여 핸들러의 제어를 수행할 수 있기 때문에 오동작에 따른 부품의 혼합 현상을 방지하는 효과를 제공한다.The present invention made as described above can prevent the mixing of the components due to malfunction because the control of the handler can be performed by accurately checking whether the semiconductor device passing through the shorter of the handler regardless of the degree of contamination of the surrounding environment. Provide effect.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.In the above, the present invention has been illustrated and described with reference to specific preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments and the general knowledge in the technical field to which the present invention pertains without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be made by those who possess.
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| KR10-2000-0084222A KR100390850B1 (en) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | Sensing control equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100390850B1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06258386A (en) * | 1992-10-14 | 1994-09-16 | Advantest Corp | Alarm display system for automatic test handler and alarm displaying method |
| KR950034694A (en) * | 1994-05-23 | 1995-12-28 | 곽노권 | Semiconductor package tube stacker |
| KR970052087A (en) * | 1995-12-29 | 1997-07-29 | 김광호 | Semiconductor manufacturing device with handler |
| JPH10115660A (en) * | 1996-10-15 | 1998-05-06 | Nec Corp | Ic handling device |
| KR19990080213A (en) * | 1998-04-14 | 1999-11-05 | 정문술 | Grade device unloading device of horizontal handler |
-
2000
- 2000-12-28 KR KR10-2000-0084222A patent/KR100390850B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
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|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20020054936A (en) | 2002-07-08 |
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