KR100386861B1 - 반사형 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반사형 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 반사율이 개선된 반사형 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법에 관한 것이다.

종래에는 반사형 액정표시장치의 반사율을 개선하기 위해, 감광성 수지를 패턴하여 다수의 볼록 형상을 구성하고, 상기 볼록 형상의 상부에 도전성 금속을 증착하여, 표면이 연속적인 요철형상으로 구성된 반사전극을 형성하였다.

이와 같은 종래의 공정은 감광성 수지를 볼록 형상으로 패턴하기 위한 별도의 마스크가 필요하다. 따라서 마스크 비용이 추가되기 때문에 생산성이 저하되는 문제가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위한 본 발명은, 상기 감광성 수지를 패턴하기 위한 식각공정 중 배면노광법을 사용하는 방법을 제안한다.

즉, 게이트전극 또는 데이터전극을 형성하는 공정과 동시에 상기 볼록 형상의 크기에 맞는 차광패턴을 형성한 후, 이를 이용하여 감광성 수지를 배면 노광하게 되면, 별도의 마스크가 필요치 않다.

따라서, 추가적인 비용이 요구되지 않기 때문에 제품의 수율을 개선할 수 있다.

Description

반사형 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법{A reflective LCD and method for fabricating of the same}

본 발명은 반사형 액정표시장치용 어레이기판에 관한 것으로, 요철형상으로 구성된 반사판을 가진 반사전극을 가진 액정표시장치와 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용한다.

상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.

따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 편광된 빛이 임의로 변조되어 화상정보를 표현할 수 있다.

이러한 액정표시장치는 광원에 따라 투과형, 반사형 액정표시장치로 분류 할수 있다.

상기 투과형은 배면광원을 사용하기 때문에 액정패널의 배면에 광원을 부착하여 사용하게 되는데, 상기 광원의 수명이 제한되고 광원에 의한 전력소모가 큰 단점이 있다.

반면, 이를 해결하기 위한 방법으로 외부의 자연광 또는 인공광원을 사용하기 위해 제작된 것이 반사형 액정표시장치이다.

상기 반사형 액정표시장치는 태양광을 사용하거나 실내등으로부터 조사된 빛을 사용하기 때문에 전력소모는 크지 않지만, 외부로부터 액정패널에 입사하여 반사된 빛을 통한 화상을 보기 때문에 반사율이 뛰어나지 않으면 화질이 좋지 않은 단점이 있다.

전술한 두 종류 외에도 때와 장소를 적절히 이용할 수 있도록, 상기 투과형의 특성과 반사형의 특성을 모두 가지는 투과반사형 액정표시장치가 있다.

상기 3종류의 액정표시장치 중 상기 반사형 액정표시장치는 반사율만 획기적으로 개선된다면, 전력소모가 제일 작기 때문에 상업적으로 이용가치가 놓은 상품이다.

이하 도 1을 참조하여, 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 구성을 개략적 설명한다.

도 1은 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 도시한 단면도이다.

도시한 바와 같이, 반사형 액정표시장치용 어레이기판(10)은 화소영역(P)에반사전극(22)이 구성된 것을 특징으로 한다.

상세히 설명하면, 반사형 액정표시장치용 어레이기판(10)은 수직으로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 다수의 게이트배선(32)과 데이터배선(34)이 구성되며, 상기 두 배선(32,34)의 교차지점에는 게이트전극(36)과 액티브층(38)과 소스전극(40)및 드레인전극(42)을 포함하는 박막트랜지스터(T)가 구성된다.

상기 게이트배선의 일부에는 보조용량부인 스토리지 캐패시터(C)가 구성된다.

상기 화소영역(P)에는 상기 드레인전극(42)과 접촉된 반사전극(22)이 구성되며, 상기 반사전극(22)은 반사율이 뛰어난 알루미늄(Al)과 알루미늄합금을 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하여 형성한다.

전술한 바와 같은 구성은 일반적인 반사형 어레이기판의 구성이며, 외부로부터 액정패널의 내부로 조사되는 빛은 상기 반사전극(22)에 의해 반사되어 소정의 방향성을 가지고 배향된 액정(미도시)을 지나면서 외부로 출사된다.

이때, 상기 반사형 액정표시장치는 앞서도 언급하였지만 반사율이 커야만 선명한 화질을 얻을 수 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 상기 반사전극(22)의 표면에 요철을 형성하여 반사율을 개선하려는 시도가 있어왔다.

도 2는 반사판의 표면이 요철 형상으로 구성된 종래의 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 단면도이다.

도시한 바와 같이, 화소영역(P)을 정의하는 반사전극(22)을 올록볼록한 요철형상으로 형성하면 빛의 반사율을 높일 수 있는 효과가 있다.

이러한 요철형상이 구성된 반사전극(22)형성방법이 일본 특개평 "4-243226"에 제안되었다. 이하, 도 3a 내지 도 3d를 참조하여 종래의 제 1 예에 따른 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법을 설명한다.

도 3a 내지 도 3d는 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절단하여 공정 순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.(요철형상의 일부를 형성하는 부분의 공정만을 간략히 설명하도록 한다.)

도 3a에 도시한 바와 같이, 기판(10)상에 절연물질을 증착한 후 절연층(12)을 형성하고, 상기 절연층(12) 상부에 빛을 받은 부분이 현상되지 않는 음성(negative) 감광성 수지를 도포하여 감광성 수지막(14)을 형성한다.

상기 감광성 수지막(14)은 볼록 형상을 구성하기 위해 사용된다.

다음으로, 상기 감광성 수지막(14)의 상부에 투과부(A)와 차단부(B)로 구성된 마스크(16)를 위치시킨다. 이때 상기 마스크(16)는 상기 감광성 수지막(14)중 볼록 형상이 구성되는 영역에 대응하는 부분에 상기 마스크(16)의 투과부(A)가 위치한다.

다음으로, 상기 마스크(16)의 상부로 자외선(L)을 조사하여 노광공정(exposure)을 진행한다.

다음으로, 도 3b에 도시한 바와 같이, 상기 노광공정이 완료된 후 현상액(developer)으로 감광성 수지막(14)을 현상하면, 상기 빛(L)을 받은 부분이 단면적으로 사각형상인 다수의 패턴된 감광성 수지막(15)이 남게 된다.

상기 사각형상의 패턴된 감광성 수지막(15)은 볼록 형상의 뼈대가 되기 때문에, 상기 사각형상의 외곽을 부드러운 곡선형상으로 바꿀 필요가 있다.

이를 위하여, 상기 단면적으로 사각형상으로 패턴된 감광성 수지막(32)을 소정의 온도로 열처리하면, 도 3c에 도시한 바와 같이, 상기 단면적으로 사각형상으로 패턴된 감광성 수지막(도 3b의 15)의 외곽이 흐르면서, 돔형상과 유사하게 볼록한 형상(18)으로 재 성형된다.

다음으로, 도 3d에 도시한 바와 같이, 상기 볼록한 형상의 감광성 수지막(18)상부에 오버코팅층(over coating layer)(20)을 형성한다.

다음으로, 상기 오버코팅층(20)상부에 알루미늄(Al)또는 알루미늄 합금과 같은 반사율이 뛰어난 도전성 금속을 증착하여 반사전극(22)을 형성한다.

이때, 상기 반사전극(22)은 볼록 형상으로 패턴된 감광성 수지막(18)과 오버코팅층(20)에 의해 연속적인 요철형상으로 구성된다.

전술한 바와 같은 방법으로 종래의 제 1 예에 따른 요철형상의 반사전극을 가진 반사형 액정표시장치용 어레이기판을 제작할 수 있다.

그러나, 전술한 방법은 연속적인 요철형상을 얻기 위해, 상기 반사판과 볼록 형상의 감광성 수지 사이에 오버코팅층을 형성하는 단계를 필요로 한다.

따라서, 비용이 증가할 뿐 아니라 다수의 공정을 필요로 하는 문제가 있다.

이를 해결하기 위한 방법이 한국 특허공개번호 "특 1999-0065724"에 제안되었으며, 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 설명한다.

도 4a 내지 도 4d는 종래의 제 2 예에 따른 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.(도 3a 내지 도 3d와 동일한 구성은 동일 번호를 사용함.)

먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이, 기판(10)상에 음성 감광성 수지를 스핀코팅(spin coating)하여 감광성 수지막(14)을 형성한다.

상기 감광성 수지막(14)상부에 투과부(A)와 차단부(B)로 구성된 마스크(16)를 위치시킨다.

상기 투과부(A)는 감광성 수지막(14)중 볼록 형상이 패턴될 영역에 대응하여 위치한다.

이와 같은 상태에서, 상기 기판(10)의 하부와 상기 마스크(16)의 상부에서 동시에 빛(L1,L2)을 조사하는 전면 노광과 배면 노광을 동시에 진행한다.

이때, 상기 배면 노광을 위해 조사하는 빛(L1)의 강도는 상기 전면노광에 비해 약 1/2의 강도(intensity)를 가진다.

따라서, 도 4b에 도시한 바와 같이, 상기 전면 노광에 의해 상기 마스크의 투과부(A)에 대응하는 감광성 수지막(C1)은 전부 남게되고, 배면 노광에 의해 마스크의 차단부(B)에 해당하는 부분은 일부의 감광성 수지막(C2)이 남게된다. 이때, 상기 감광성 수지막(14)의 노광된 영역의 형상은 단면적으로 사각형상에 가까운 요철형상이다.

따라서, 상기 요철형상의 외곽라인을 부드러운 곡선으로 형성하기 위해 열처리를 진행한다.

상기 열처리 후에는 도 4c에 도시한 바와 같이, 연속하여 상기 감광성 수지막(15)은 올록볼록한 요철형상으로 재형성된다.

다음으로, 상기 연속적으로 올록볼록한 요철형상의 감광성 수지막(15) 상부에 알루미늄(Al)또는 알루미늄 합금과 같은 반사율이 뛰어난 도전성 금속을 증착하여 반사전극(22)을 형성한다.

전술한 바와 같은 공정으로, 종래의 제 2 예에 따른 요철형상의 반사전극(22)을 구비한 반사형 액정표시장치용 어레이기판을 제작할 수 있다.

그러나, 종래의 제 1 예와 제 2 예는 상기 볼록 형상을 패턴하는 공정 중 별도의 추가적인 마스크를 사용해야 한다.

따라서, 볼록 형상의 패턴이 없는 반사형 어레이기판을 구성하는 공정보다 비용이 상승하는 문제가 있다.

전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명은, 어레이기판 공정 중 상기 볼록 형상에 대응하는 하부에 차광패턴을 형성하고, 상기 차광패턴을 이용한 배면노광 방식을 이용하여 노광공정을 진행한다.

이와 같이 하면, 상기 감광성 수지막을 볼록 형상으로 패턴하는 경우 별도의 마스크를 사용할 필요가 없다.

도 1은 일반적인 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이고,

도 2는 종래에 따른 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이고,

도 3a 내지 도 3d는 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절단하여, 종래의 제 1 예에 따른 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이고,

도 4a 내지 도 4d는 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절단하여, 종래의 제 2 예에 따른 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이고,

도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이고,

도 6a 내지 도 6d는 도 5의 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단하여 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이고,

도 7은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단 단면도로서, 데이터배선과 동일 층에 차광패턴이 형성된 것을 도시한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>

104 : 게이트전극 106 : 차광패턴

110 : 액티브층 114 : 데이터배선

116 : 소스전극 118 : 드레인전극

128 : 반사전극

전술한 본 발명의 기술적 구성을 실현하기 위한 본 발명에 따른 반사형 액정표시장치용 어레이기판은 기판과; 상기 기판 상에 구성되고, 서로 수직하게 교차하여 화소영역을 정의하는 다수의 게이트배선과 데이터배선과; 상기 게이트배선과 데이터배선의 교차지점에 위치한 박막트랜지스터와; 상기 화소영역에 구성된 원판형상의 다수의 차광패턴과; 상기 차광패턴의 상부에 감광성 수지로 구성된 볼록 형상 패턴과; 상기 볼록 형상 패턴의 상부에 요철형상으로 구성된 오버코팅막과; 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되면서, 상기 화소영역 상의 오버코팅막 상에 요철형상으로 구성된 반사전극을 포함한다.

상기 차광패턴은 게이트배선과 동일물질로 동일 층에 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 차광패턴은 데이터배선과 동일물질로 동일층에 구성된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 특징에 따른 반사형 액정표시장치용 어레이기판 제조방법은 기판을 준비하는 단계와; 상기 기판 상에 화소영역을 정의하는 단계와; 상기 화소영역이 정의된 기판 상에, 상기 화소영역의 주변으로 일 방향으로 형성된 게이트배선과, 상기 게이트배선에서 수직하게 돌출 형성된 게이트전극과, 상기 화소영역에 원형 형상의 다수의 차광패턴을 형성하는 단계와; 상기 게이트배선과 차광패턴이 형성된 기판의 전면에 제 1 절연막인 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트전극 상부에 평면적으로 겹쳐 형성된 아일랜드 형상의 액티브층과 오믹콘택층을 형성하는 단계와; 상기 게이트배선과 교차하면서 상기 화소영역의 주변에 일 방향으로 형성된 데이터배선과, 상기 데이터배선에서 상기 액티브층의 일 측 상부로 돌출 형성된 소스전극과 이와는 소정간격 이격된 드레인전극을 형성하는 단계와; 상기 데이터배선과 소스전극 및 드레인전극이 형성된 기판의 화소영역 상에 다수의 볼록형상 패턴을 형성하는데 있어서,

상기 기판에 감광성수지를 도포하는 감광성 수지막을 형성하는 단계와; 상기 감광성 수지막이 도포된 기판의 배면에서 빛을 조사하여, 상기 감광성 수지막을 노광하는 단계와; 상기 감광성 수지막을 현상하여, 상기 차광패턴 상부에 감광성 수지패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광성 수지패턴을 열처리하여 볼록한 형상으로 성형하는 단계를 포함하는 볼록패턴 형성 단계와; 상기 볼록패턴이 형성된 기판의 전면에 절연물질을 도포하한 후 패턴하여, 상기 드레인전극의 일부를 노출하는 요철형상의 오버코팅막을 형성하는 단계와; 상기 오버코팅막 상에 반사율이 뛰어난 도전성 금속물질을 증착한 후 패턴하여, 상기 드레인전극과 접촉하면서 상기 화소영역에 구성되는 요철형상의 반사전극을 형성하는 단계를 포함한다.

상기 감광성 수지막은 빛을 받은 부분이 현상액에 의해 제거되는 특성을 가진다.

상기 차광패턴은 게이트배선과 동일물질로 형성된다.

상기 차광패턴은 상기 데이터배선을 형성하는 공정 화소영역 상에 형성할 수 있으며, 이 경우에는 상기 차광패턴은 데이터배선과 동일물질로 동일층에 형성한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.

-- 실시예 --

본 발명은 어레이기판에 구성되는 게이트배선 또는 데이터배선을 형성하는 공정 중 화소영역에 다수의 차광패턴을 형성하고, 상기 감광성 수지막을 볼록하게 형성하기 위해 상기 차광패턴을 이용한 배면 노광방법을 사용하는 것을 특징으로 한다.

도 5는 본 발명에 따른 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다.

도시한 바와 같이, 게이트배선(102)과 데이터배선(114)이 서로 수직하게 교차하여 화소영역(P)을 정의하고, 상기 두 배선의 교차지점에는 박막트랜지스터(T)를 구성한다.

상기 박막트랜지스터(T)는 게이트전극(102)과, 액티브층(110)과 소스전극 및 드레인전극(116,118)으로 구성된다

상기 게이트배선(102)의 일부 상부에는 스토리지 캐패시터(C)가 구성되며, 상기 게이트배선(102)의 일부가 제 1 스토리지 전극의 기능을 하고, 상기 게이트배선의 일부 상에 구성된 아일랜드 형상의 스토리지 금속층(115)이 제 2 스토리지 전극의 기능을 하게 된다.

상기 화소영역(P)상에는 일 측이 상기 드레인전극(116)과 접촉하고, 타측은 상기 스토리지 금속층(115)과 접촉하는 반사전극(128)을 구성한다.

상기 반사전극(128)은 연속된 요철형상으로 구성하고, 상기 반사전극(128)의 형상 중 볼록한 형상의 하부에는 상기 게이트배선(102)또는 데이터배선(114)을 형성하는 공정 중 형성한 다수의 아일랜드 형상의 차광패턴(106)이 구성된다.

상기 차광패턴(106)은 상기 반사전극(128) 하부에 구성된 감광성 수지막(125)을 배면 노광방식으로 패턴하기 위한 수단이다.

상기 차광패턴(106)을 이용한 배면노광 방법은, 상기 볼록 형상을 패턴하기 위한 별도의 마스크를 필요로 하지 않는 장점이 있다.

이하, 도 6a 내지 도 6d를 참조하여, 본 발명에 따른 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 제조공정을 설명한다.(도 6a 내지 도 6d는 상기 게이트배선을 형성하는 공정과 동시에 화소영역에 차광패턴을 형성한다.)

먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이, 기판(100)상에 알루미늄(Al) 알루미늄합금, 텅스텐(W), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo)등을 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 게이트배선(도 5의 102)과 상기 게이트배선(미도시)에서 소정면적 돌출 형성된 게이트전극(104)과, 다수의 원형형상의 차광패턴(106)을 형성한다.

상기 차광패턴(106)은 이후에 형성되는 데이터배선(미도시)과 상기 게이트배선(도 5의 102)이 교차하여 정의되는 화소영역(P)에 형성한다.

다음으로, 상기 게이트배선(도 5의 102)및 다수의 차광패턴(106)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiN_x)과 산화 실리콘(SiO₂)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여, 제 1 절연막인 게이트 절연막(108)을 형성한다.

연속하여, 상기 게이트 절연막(108) 상부에 비정질 실리콘(a-Si:H)과 불순물 비정질 실리콘(n+ 또는 p+a-Si:H)을 연속으로 증착한 후, 아일랜드 형상으로 패턴하여 액티브층(110)과 오믹콘택층(112)을 형성한다.

다음으로, 상기 액티브층(110)과 오믹콘택층(112)이 형성된 기판(100)의 전면에 전술한 바와 같은 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 데이터배선(114)과 상기 데이터배선에서 상기 게이트전극(104)상부의 액티브층(110)으로 돌출 형성한 소스전극(116)과, 상기 소스전극(116)과 소정간격 이격한 드레인전극(118)을 형성한다.

상기 게이트 절연막(108)이 형성된 기판(100)의 전면에 양성(positive) 감광성 수지를 도포하여 감광성 수지막(120)을 형성한다.

상기 감광성 수지막(120)이 형성된 기판(100)의 하부로부터 빛(L)을 조사하여, 빛(L)에 노출된 상기 양성(positive)감광성 수지막(120)을 노광하는 공정을 진행한다.

다음으로, 노광된 수지막(120)을 현상액을 이용하여 현상하게 되면, 도 6b에 도시한 바와 같이 빛에 노출된 부분은 모두 제거되고, 상기 게이트배선(도 5의 102)과 데이터배선(114)과 박막트랜지스터(T)의 상부에 감광성 수지막(121)이 남게되고, 그리고 상기 차광패턴(106)의 상부는 원형형상의 볼록한 기둥모양의 감광성 수지막(122)이 남게된다.

다음으로, 상기 화소영역(P)의 기둥모양의 감광성 수지막(122)을 부드러운 곡선형상으로 재 성형하기 위해 소정의 온도에서 열처리하는 공정을 진행한다.

이와 같이 하면, 도 6c에 도시한 바와 같이 상기 기둥형상의 감광성 수지막(도 6b의 122)은 곡선형상으로 재 성형된다.

이때, 상기 박막트랜지스터(T)의 소스전극(116)및 드레인전극(118)상부에 구성된 감광성 수지막(도 1의 121)또한 부드럽게 되어, 상기 드레인전극(118)의 끝단으로 갈수록 높이가 작아진다.

따라서, 드레인 전극의 끝단은 얇게 수지막이 덮여 있는 형상이 된다.

다음으로, 상기 열처리에 의해 재 성형된 감광성 수지막(124, 125)이 형성된 기판(100)의 전면에 절연물질을 도포하여 오버코팅층(126)을 형성한다.

상기 오버코팅층(126)은 볼록 형상으로 패턴된 감광성 수지막(125)사이를 소정의 높이로 채우면서 오목형상과 볼록 형상이 연속으로 구성된 요철형상이 된다.

상기 오버코팅층(126)을 패턴하여, 상기 드레인전극(118)의 일부 상부를 식각하여, 드레인 콘택홀(128)을 형성한다.

이때, 되도록 이면 상기 드레인전극(118)의 일측 끝단의 상부에 상기 드레인콘택홀(128)을 식각하여, 상기 드레인전극(118)의 측면을 노출하도록 한다.

왜냐하면, 상기 드레인 콘택홀(122)을 통해서 노출된 부분에 일부 감광성 수지가 남아있을 경우를 고려해야 하기 때문이다.

상기 오버코팅층(126)을 사진식각하는 공정 중, 상기 오버코팅층(126)을 식각한 후, 잔류 PR을 제거하는 공정 중 상기 드레인 콘택홀(126)사이로 노출된 잔류 감광성 수지막을 제거할 수 있다.

또는, 상기 오버코팅층(126)을 건식식각 하는 공정 중, 상기드레인전극(118)에 잔류한 상기 감광성 수지막을 제거할 수 도 있다.

다음으로, 상기 화소영역(P)에 대응되는 부분이 요철형상이 된 오버코팅층(120)의 상부에 알루미늄(Al)과 알루미늄 합금을 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여 도 6d에 도시한 바와 같이, 상기 드레인 콘택홀(128)을 통해 노출된 드레인전극(118)과 접촉하는 동시에, 상기 오버코팅층(126)의 요철을 따라 증착되어 표면이 다수의 요철형상으로 구성된 반사전극(128)을 형성한다.

전술한 공정에서, 상기 차광패턴(106)은 상기 데이터배선(114)을 형성하는 공정 중 제작할 수 있다.

이하, 도 7을 참조하여 개략적으로 설명한다.

도시한 바와 같이, 차광패턴(106)은 데이터배선(114)과 소스전극 및 드레인전극(116,118)과 동일층 동일물질로 구성할 수 있다.

화소영역(도 5의 P)에 다수의 차광패턴을(106) 형성하고, 전술한 바와 같은 공정으로 상기 차광패턴(106)의 상부에 볼록 형상의 감광성 수지막(125)과, 상기 볼록 형상의 감광성 수지막(125)과의 사이에 요철형상의 오버코팅층(106)을 개재한 후 이를 이용한 요철형상의 반사전극(128)을 형성할 수 있다.

전술한 바와 같이, 배면노광을 통해 요철형상의 반사전극을 포함하는 반사형 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법은, 상기 볼록 형상을 패턴하기 위해 별도의 마스크를 사용하지 않는 것을 특징으로 한다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 반사형 액정표시장치용 어레이기판을 제작하게되면 상기 볼록 형상을 제작하기 위한 별도의 마스크를 필요로 하지 않아 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한, 반사전극의 표면에 다수의 요철형상이 구성되므로 반사율이 개선되어 선명한 화질의 반사형 액정패널을 제작할 수 있다.

Claims (8)

1. 기판과;

   상기 기판 상에 구성되고, 서로 수직하게 교차하여 화소영역을 정의하는 다수의 게이트배선과 데이터배선과;

   상기 게이트배선과 데이터배선의 교차지점에 위치한 박막트랜지스터와;

   상기 화소영역에 구성된 원판형상의 다수의 차광패턴과;

   상기 차광패턴의 상부에 감광성 수지로 구성된 볼록형상 패턴과;

   상기 볼록형상 패턴의 상부에 요철형상으로 구성된 오버코팅막과;

   상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되면서, 상기 화소영역 상의 오버코팅막 상에 요철형상으로 구성된 반사전극

   을 포함하는 반사형 액정표시장치용 어레이기판
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 차광패턴은 게이트배선과 동일물질로 동일 층에 구성된 액정표시장치용 어레이기판.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 차광패턴은 데이터배선과 동일물질로 동일층에 구성된 액정표시장치용 어레이기판.
4. 기판을 준비하는 단계와;

   상기 기판 상에 화소영역을 정의하는 단계와;

   상기 화소영역이 정의된 기판 상에, 상기 화소영역의 주변으로 일 방향으로 형성된 게이트배선과, 상기 게이트배선에서 수직하게 돌출 형성된 게이트전극과

   상기 화소영역에 원형 형상의 다수의 차광패턴을 형성하는 단계와;

   상기 게이트배선과 차광패턴이 형성된 기판의 전면에 제 1 절연막인 게이트 절연막을 형성하는 단계와;

   상기 게이트전극 상부에 평면적으로 겹쳐 형성된 아일랜드 형상의 액티브층과 오믹콘택층을 형성하는 단계와;

   상기 게이트배선과 교차하면서 상기 화소영역의 주변에 일 방향으로 형성된 데이터배선과, 상기 데이터배선에서 상기 액티브층의 일 측 상부로 돌출 형성된 소스전극과 이와는 소정간격 이격된 드레인전극을 형성하는 단계와;

   상기 데이터배선과 소스전극 및 드레인전극이 형성된 기판의 화소영역 상에 다수의 볼록형상 패턴을 형성하는데 있어서,

   상기 기판에 감광성수지를 도포하는 감광성 수지막을 형성하는 단계와;

   상기 감광성 수지막이 도포된 기판의 배면에서 빛을 조사하여, 상기 감광성수지막을 노광하는 단계와;

   상기 감광성 수지막을 현상하여, 상기 차광패턴 상부에 감광성 수지패턴을 형성하는 단계와;

   상기 감광성 수지패턴을 열처리하여 볼록한 형상으로 성형하는 단계를 포함하는 볼록패턴 형성 단계와;

   상기 볼록패턴이 형성된 기판의 전면에 절연물질을 도포하한 후 패턴하여, 상기 드레인전극의 일부를 노출하는 요철형상의 오버코팅막을 형성하는 단계와;

   상기 오버코팅막 상에 반사율이 뛰어난 도전성 금속물질을 증착한 후 패턴하여, 상기 드레인전극과 접촉하면서 상기 화소영역에 구성되는 요철형상의 반사전극을 형성하는 단계

   을 포함하는 반사형 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 감광성 수지막은 빛을 받은 부분이 현상액에 의해 제거되는 특성을 가진 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 차광패턴은 게이트배선과 동일물질로 형성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
7. 제 4 항에 있어서,

   상기 차광패턴은 데이터배선과 동일물질로 동일층에 형성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
8. 제 4 항에 있어서,

   상기 도전성 금속물질은 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금인 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.